WO2008044507A1 - Appareil de découpe et procédé associé - Google Patents

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WO2008044507A1
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vibrator
cutter
vibration
workpiece
scribing
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French (fr)
Inventor
Takanobu Hoshino
Masanori Mito
Nobuyoshi Meyanagi
Akio Hanyu
Masahiko Nakamura
Takaya Kono
Yoshiaki Shishido
Original Assignee
Thk Co., Ltd.
Beldex Corporation
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Publication date
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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/22Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
    • B28D1/225Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising for scoring or breaking, e.g. tiles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/22Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
    • B28D1/24Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising with cutting discs
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/027Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033Apparatus for opening score lines in glass sheets
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/10Glass-cutting tools, e.g. scoring tools

Definitions

  • the present invention relates to a scribing apparatus and a scribing method for scribing a scribe line to a work made of a brittle material such as glass or semiconductor.
  • a abacus ball-shaped rotatable cutter wheel is pressed against the surface of the workpiece and the cutter wheel is rolled on the surface of the workpiece while being pressed.
  • the cutter wheel deteriorates during use.
  • the cutter wheel is rotatably held by the hono-redder, and when replacing the cutter wheel, the cutter wheel is attached to and detached from the holder mounting surface of the scribing device together with the holder.
  • the holder mounting surface parallel to the inclination of the cutter wheel
  • the direction in which the cutter wheel travels are parallel to the cutting quality. If the cutter wheel is tilted with respect to the traveling direction of the cutter wheel, excessive force S will be applied to the cutter wheel being written, and the cutting quality of the workpiece will deteriorate. Therefore, it is necessary to make the honoreda mounting surface accurately parallel to the traveling direction of the cutter wheel. If the accuracy changes later, the cutting quality will be adversely affected, so it is necessary to periodically check that they are parallel.
  • Patent Document 1 JP 2000-335929 A
  • the scribe line is an irregular curve such as a closed curve
  • the rotation of the cutter wheel is controlled by putting a belt on the rotation mechanism 2, the belt vibrates to the belt.
  • the belt vibrates, it becomes difficult to control the rotation of the cutter wheel, and pulling and pulling the belt itself attenuates the vibration of the cutter wheel.
  • the present invention provides a scribing device and a scribing method capable of transmitting vibration to a cutter without attenuating vibration of a vibrator even when a rotating mechanism (swing mechanism) is provided in the scribing device.
  • the purpose is to provide.
  • the invention described in claim 1 is a scribing device for scribing a scribe line on the surface of the work, the scribing head for vibrating the cutter, and the scribing head for the work.
  • a moving mechanism that relatively moves along the surface, the scribing head includes a cutter that can contact the surface of the workpiece, and the cutter.
  • a vibrator that vibrates in a direction that intersects the surface of the tape, and a vibration transmission portion that transmits the vibration of the vibrator to the force utter.
  • the vibrator, the vibration transmission portion, and the cutter one force S
  • a scribing device capable of rotating together around an axis parallel to the vibration direction of the vibrator.
  • the invention according to claim 2 is the scribing device according to claim 1, wherein the cutter is a cutter wheel rotatable about an axle, and is detachably attached to the vibration transmitting portion.
  • the axle force of the cutter wheel so that the cutter wheel turns around the axis when the vibrator, the vibration transmitting unit and the cutter wheel rotate around the axis. It is deviated from the axis of the vibrator! /.
  • the invention according to claim 3 is the scribing device according to claim 1 or 2, wherein the scribing device further rotates the vibrator, the vibration transmitting unit, and the cutter around the axis.
  • the drive source to be driven and the torque of the drive source are transmitted to a receiving portion that receives the end of the vibrator on the side opposite to the end on the vibrator side where the vibration transmitting portion contacts, and the vibration And a transmission mechanism for rotating the vibration transmission unit and the cutter.
  • the invention according to claim 4 is the scribing device according to claim 1 or 2, wherein the scribing head further includes a housing in which at least a part of the vibrator and the vibration transmitting portion is accommodated.
  • a rotary bearing for guiding the vibrator to rotate about the axis with respect to the housing; and the vibration transmitting portion rotates about the axis with respect to the housing and reciprocates in the direction of the axis. Rotating and reciprocating bearings for guiding movement, and bearings.
  • the invention according to claim 5 is the scribing device according to claim 1 or 2, wherein the scribing head further includes a preload adding member that applies a preload to the vibrator, the vibrator, and the vibration.
  • the invention according to claim 6 is a scribing device that engraves a scribe line on a workpiece, and a scribe head that vibrates a cutter, and a moving mechanism that relatively moves the scribe head along the surface of the workpiece.
  • the scribing head includes a cutter capable of contacting the surface of the workpiece, a vibrator that vibrates the cutter in a direction that intersects the surface of the workpiece, and one end of the vibrator in the vibration direction.
  • a receiving portion that is in close contact, a vibration transmitting portion that is in close contact with the other end portion in the vibration direction of the vibrator, and transmits the vibration of the vibrator to the cutter, the vibrator, at least a part of the receiving portion, and the vibration A housing in which at least a part of the transmission part is accommodated, and the vibrator, the receiving part, and the vibration transmission part are parallel to the vibration direction of the vibrator with respect to the housing
  • a rotary bearing that guides the rotation around the axis, and a rotation / reciprocating motion that guides the vibration transmitting portion rotating around the axis relative to the housing and reciprocating in the direction of the axis.
  • a sliver device comprising: a bearing; and a holder that is attached to a portion of the vibration transmitting portion exposed from the housing and holds the cutter.
  • the invention according to claim 7 is a scribing device for scribing a scribe line to a work, and a scribing head that vibrates a cutter, and a moving mechanism that relatively moves the scribing head along the surface of the work.
  • the scribing head includes a cutter capable of contacting the surface of the workpiece, a vibrator that vibrates the cutter in a direction that intersects the surface of the workpiece, and one end of the vibrator in the vibration direction.
  • a receiving portion that is in close contact, a vibration transmitting portion that is in close contact with the other end portion in the vibration direction of the vibrator, and transmits the vibration of the vibrator to the cutter, the vibrator, at least a part of the receiving portion, and the vibration
  • a reciprocating bearing for guiding reciprocating movement in the direction of an axis parallel to the vibration direction of the vibrator with respect to the housing, a bearing attached to a portion exposed from the inner housing of the vibration transmitting portion, and holding the cutter A sliver comprising: a holder; an outer housing that covers the inner housing; and a rotary bearing that guides the inner housing relative to the outer housing to rotate about an axis parallel to a vibration direction of the vibrator.
  • the cutter is brought into contact with the surface of the work, and the front is moved by the vibrator.
  • the cutter is moved along the workpiece surface.
  • a vibration transmitting portion that is in close contact with an end of the vibrator in the vibration direction of the vibrator and transmits the vibration of the vibrator to the cutter when moving the vibrator.
  • the invention according to claim 9 is the scribing method according to claim 8, wherein when the cutter is moved along the surface of the workpiece, a preload adding member for applying a preload to the vibrator is also provided. It is characterized by being able to rotate.
  • the scribe line can be formed in an irregular shape by actively controlling the rotation direction of the cutter.
  • the transmission mechanism transmits the torque of the drive source to the receiving portion opposite to the vibration transmitting portion, the force S is used to prevent the transmission mechanism from vibrating.
  • the vibrator, the vibration transmitting portion, and the forceter can be rotated together with respect to the housing.
  • the pressure applied to the vibrator by the preload adding member can be prevented from acting on the rotary bearing. Since no pressure acting on the rotating bearing acts as a resistance to rotation, it is easy to passively change the direction of the cutter in the direction of movement of the cutter. [0023] According to the invention of claim 6, since the vibrator, the vibration transmission unit and the cutter rotate together, it is not necessary to provide a rotation mechanism in the vibration transmission unit. Since the vibration of the vibrator is not damped at the vibration transmitting portion, the vibration can be reliably transmitted to the cutter.
  • the vibrator, the vibration transmission unit, and the cutter rotate together, it is not necessary to provide a rotation mechanism in the vibration transmission unit. Since the vibration of the vibrator is not damped at the vibration transmitting portion, the vibration can be reliably transmitted to the cutter. In addition, since the pressure applied to the vibrator by the preloading member can be prevented from acting on the rotary bearing, it is easy to passively change the direction of the cutter in the direction of movement of the cutter.
  • the vibrator, the vibration transmission unit, and the cutter rotate together, it is not necessary to provide a rotation mechanism in the vibration transmission unit. Since the vibration of the vibrator is not damped at the vibration transmitting portion, the vibration can be reliably transmitted to the cutter.
  • FIG. 1 is a vertical sectional view of a scribing device according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG.2 Perspective view (including a partial cross-sectional view) of a rotary / reciprocating bearing
  • FIG. 4 is a vertical sectional view of a scribing device according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG.5 Vertical sectional view of the scribe head of the conventional scribe device
  • FIG. 1 shows a vertical cross section of the scribing device.
  • the scribe device adsorbs the scribe head 12 that vibrates the cutter wheel 11 provided at the lower end in the vertical direction, the moving mechanism 13 that moves the scribe head 12 in the X and Y axis directions in the horizontal plane, and the workpiece 17.
  • a holding table 16 is provided.
  • the moving mechanism 13 moves the base 14 in the horizontal plane.
  • a scribe head 12 is attached to the base 14.
  • the linear guide 15 guides the scribe head 12 to slide up and down with respect to the base 14.
  • a workpiece 17 is fixed on the table 16 of the scribe device by vacuum suction or a jig.
  • the scribe head 12 is lowered onto the upper surface of the work 17 until it abuts the cutter wheel, and the scribe head 12 is moved along the surface of the work 17 by the moving mechanism, a scribe line is engraved on the surface of the work 17.
  • the scribe line The vertical crack formed in the surface layer is propagated.
  • the scribe head 12 may be pressed against the workpiece 17 by a pressing means such as an air cylinder.
  • a piezoelectric element piezoelectric actuator
  • An electric wire 20 is connected to the piezoelectric element.
  • the piezoelectric element When the voltage applied to the piezoelectric element is changed at a predetermined frequency, the piezoelectric element periodically expands and contracts.
  • the expansion / contraction direction of this piezoelectric element is the vibration direction L.
  • the vibrator 19 may be made of a magnetic material such as a magnetostrictive element that generates a distortion in a magnetic material when a magnetic field is applied. When the magnetic field applied to the magnetostrictive element is changed at a predetermined frequency, the magnetostrictive element periodically expands and contracts.
  • a preload adding member 30 is provided outside the receiving portion 21.
  • a male screw is machined on the outer periphery of the preload addition member 30.
  • a female screw that is screwed into the preload adding member 30 is processed.
  • the preload adding member 30 moves downward by the action of the screw.
  • the downward pressing force of the preload adding member 30 is transmitted in order from the outer ring contact member 24 ⁇ the rotary bearing 23 ⁇ the receiving portion 21 ⁇ the vibrator 19. Adjusting the amount of preload applied to the vibrator 19 by adjusting the screwing amount of the preload adding member 30 can be achieved with the force S.
  • a receiving portion 21 is provided in close contact with the upper end portion in the vibration direction L of the vibrator 19, and a vibration transmitting portion 22 is provided in close contact with the lower end portion.
  • the vibrator 19 is sandwiched by the receiving portion 21 and the vibration transmitting portion 22 from both sides in the vibration direction L.
  • the vibration of the vibrator 19 is transmitted to the vibration transmitting portion 22, and the receiving portion 21 receives the reaction of vibration.
  • the vibrator 19 has a receiving portion 21 and a vibration transmitting portion 22 accommodated in a housing 18.
  • the receiving portion 21 is elongated in the shape of a shaft in the vibration direction L of the vibrator 19.
  • a large diameter portion 21a having an enlarged diameter is provided at the lower end portion of the receiving portion 21.
  • a recess 21b for receiving the vibrator 19 is provided on the lower surface of the large diameter portion 21a.
  • a through hole 21 c for passing the electric wire 20 of the vibrator 19 is made.
  • the large diameter portion 21a of the receiving portion 21 is accommodated in the housing 18. 1S The upper end is exposed from the housing 18.
  • the receiving portion 21 is rotatably supported by a rotary bearing 23 provided in the housing. As described above, the receiving portion 21 receives a reaction of vibration. This reaction is sequentially transmitted to the receiving part 21 ⁇ the inner ring 23 a of the rotary bearing 23 ⁇ the rolling element 23 b ⁇ the outer ring 23 c of the rotary bearing 23 ⁇ the outer ring contact member 24 ⁇ the housing 18.
  • the vibration transmitting unit 22 extends in an elongated shape in the shape of a shaft in the vibration direction L of the vibrator 19.
  • a large-diameter portion 22a having an enlarged diameter is provided at the upper end portion of the vibration transmitting portion 22.
  • a concave portion 22b for receiving the vibrator 19 is provided on the upper surface of the large diameter portion 22a.
  • a rotary bearing 26 is provided for guiding the vibrator 19 to rotate. The vibration transmission unit 22 and the rotary bearing 26 are not touched, and a gap is left between the vibration transmission unit 22 and the rotary bearing 26.
  • a disc spring 27 is provided between the large diameter portion 22a of the vibration transmitting portion 22 and the inner ring 26a of the rotary bearing 26 as a biasing member that presses the vibration transmitting portion 22 against the vibrator 19.
  • the vibration transmitting unit 22 that is in close contact with the vibrator 19 also vibrates.
  • the disc spring 27 expands and contracts due to the vibration of the vibration transmitting portion 22.
  • the rotary bearing 26 guides the rotational movement of the vibration transmitting unit 22 via the disc spring 27. That is, the upper rotary bearing 23 guides the rotation of the receiving portion 21, and the lower rotary bearing 26 guides the rotation of the vibration transmitting portion 22. Since the vibrator 19 is sandwiched between the receiving portion 21 and the vibration transmitting portion 22, the vibrator 19 is indirectly guided to rotate by the pair of rotary bearings 23 and 26.
  • the axis L when the vibrator 19 rotates is parallel to the vibration direction L of the vibrator 19 (in this embodiment, they coincide with each other! /).
  • the vibration transmitting unit 22 reciprocates in the axial direction just by rotating around the axis L. For this reason, the vibration transmitting portion 22 cannot be directly supported by the rotary bearing 26.
  • the vibration transfer portion 22 is supported by a rotary / reciprocating bearing 29 provided in the housing 18 so as to be rotatable and reciprocally movable in the vibration direction L.
  • FIG. 2 is a perspective view of the rotary / reciprocating bearing 29.
  • Rotating / reciprocating bearing 29 is cylindrical A ball cage 32 and a ball 33 are squeezed into a cylindrical outer cylinder 31. The inner surface of the outer cylinder 31 is precisely ground because the ball 33 rolls.
  • balls 33 are arranged in a staggered manner in order to load the load evenly.
  • Retaining rings 34 are provided at both ends of the inner diameter of the outer cylinder 31 to prevent the ball cage 32 from being overrun. Since the ball 33 and the vibration transmitting portion 22 and the ball 33 and the inner surface of the outer cylinder 31 are in point contact, the ball 33 rolls with an extremely small coefficient of friction.
  • the rotary / reciprocating bearing 29 guides the rotational movement around the axis L of the vibration transmitting portion 22 and the reciprocating movement in the axial direction.
  • a holder holding portion 36 is fixed to the lower end portion of the small diameter of the vibration transmitting portion 22 exposed from the housing 18.
  • the holder holding part 36 has a holder attachment surface 36a, and a holder 37 is detachably attached to the holder attachment surface 36a.
  • the holder 37 holds the cutter wheel 11 rotatably. When the holder 37 is attached to the holder attachment surface 36a, the holder attachment surface 36a and the inclination of the cutter wheel 11 become parallel.
  • the cutter wheel 11 rotates about the axle 11a.
  • the axle 1 la of the cutter wheel 11 is separated from the axis L by a predetermined distance h in the horizontal direction! /.
  • the cutter wheel 11 turns on a circular path with a radius h in the horizontal plane.
  • the mass of the receiving part 21, the housing 18 and the linear guide 15 on the fixed side is considerably larger than the mass of the vibration transmitting part 22, the holder 37 and the cutter wheel 11 on the vibration side. Since the vibration on the fixed side is negligible, the vibration attenuation at the rotary bearing 23 is negligible.
  • a belt may be stretched around the receiving portion 21 and the receiving portion 21 may be rotationally driven by a motor 28 as a drive source.
  • a belt 25 as a transmission mechanism is stretched between the output shaft of the motor 28 and the receiving portion 21. If the rotation direction of the cutter wheel 11 is actively controlled by the motor 28, the workpiece 17 can be cut into an irregular shape. Since the belt 25 is stretched over the receiving part 21 on the fixed side, the belt 25 does not vibrate.
  • the magnitude of the preload applied to the vibrator 19 can be adjusted by adjusting the screwing amount of the preload adding member 30.
  • the pressing force of the preload adding member 30 is transmitted to the vibrator 19 through the rotary bearing 23. Specifically, the pressing force of the preload adding member 30 is transmitted from the outer ring contact member 24 ⁇ the outer ring 23c ⁇ the rolling element 23b ⁇ the inner ring 23a. If the force that can be received by the rotary bearing 23 is larger than the preload applied to the vibrator 19, the rotary bearing 23 rotates without any problem.
  • the preload adding member is arranged inside the rotary bearing 23, and the preload adding member is also rotated.
  • FIG. 4 shows the scribing device of the second embodiment.
  • the scribing device of this embodiment also has a scribing head 41 that vibrates the cutter wheel 11 in the vertical direction, a moving mechanism 13 that moves the scribing head 41 in a horizontal plane, and a workpiece 17. And a table 16 for adsorbing and holding.
  • the scribe head 41 includes an inner housing 42, an outer housing 43 that covers the inner housing 42, and a force.
  • the vibration transmission unit 22 that is in close contact with the lower end of the vibrator 19 and the vibrator 19 and transmits the vibration of the vibrator 19 to the cutter wheel 11 is in close contact with the upper end of the vibrator 19.
  • Part 21 is provided inside the inner housing 42. Since the structures of the vibrator 19, the receiving part 21, and the vibration transmitting part 22 are the same as those of the scribing device of the first embodiment, the same reference numerals are given and the description thereof is omitted.
  • a preload adding member 44 is screwed into the cylindrical upper portion 42a of the inner housing 42.
  • a male thread is machined on the outer peripheral surface of the preloading member 44.
  • On the inner peripheral surface of the cylindrical upper portion 42a of the inner housing 42 a female screw that is screwed into the preload adding member 44 is processed.
  • the preload adding member 44 is rotated, the preload adding member 44 is lowered by the action of the screw.
  • the preload adding member 44 presses the receiving portion 21 to apply a preload to the vibrator 19.
  • the preload amount reaches a predetermined value
  • the preloading member 44 is stopped from being screwed into the cylindrical upper portion 42a, and the preloading member 44 is fixed by the lock nut 45 screwed onto the preloading member 44.
  • a reciprocating bearing 46 for guiding the vibration transmitting portion 22 to vibrate (reciprocate) in the vibration direction of the vibrator with respect to the inner housing 42.
  • the reciprocating bearing 46 guides only the reciprocating motion of the vibration transmitting unit 22.
  • each rotary bearing 48 includes an inner ring 48a, an outer ring 48c, and a rolling element 48b interposed between the inner ring 48a and the outer ring 48c.
  • the inner housing 42 accommodates the preload adding member 44, the vibrator 19, the part of the receiving part 21, and the part of the vibration transmitting part 22.
  • a cutter wheel 11 is attached to the vibration transmission unit 22 via a holder 37. These rotate together around an axis parallel to the vibration direction of the vibrator 19.
  • the preload adding member 44 since the preload adding member 44 is disposed inside the rotary bearing 48, the preload applied to the vibrator 19 by the preload adding member 44 does not affect the rotary bearing 48. Since no excessive pressure is applied to the rotary bearing 48, it becomes easy to passively adjust the inclination of the cutter wheel 11 to the traveling direction.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be embodied in various embodiments without changing the gist thereof.
  • the vibrator 19, the vibration transmission unit 22, the force vibrator configured to rotate the cutter wheel, the vibration transmission unit, and the cutter wheel rotate with respect to the housing 18 with respect to the housing.
  • the entire housing in which the vibrator, the vibration transmission unit, and the cutter wheel are accommodated may be rotated.
  • the cutter in addition to the abacus ball-shaped rotatable cutter wheel, a square pyramid-shaped cutter fixed to the holder may be used.
  • the scribe head moves in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1 to form a scribe line, but the work moves in the left-right direction of the paper surface of FIG. May be.
  • the holder and cutter are mounted in a direction rotated 90 degrees in the horizontal plane, that is, in the direction shown in FIG.
  • the moving mechanism moves the table of the scribe device.

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Description

明 細 書
スクライブ装置及びスクライブ方法
技術分野
[0001] 本発明は、ガラス、半導体などの脆性材料からなるワークにスクライブ線を刻み付け るスクライブ装置及びスクライブ方法に関する。
背景技術
[0002] 脆性材料からなる薄板状のワークを切断する際には、ワークの表面にはあらかじめ スクライブ線が刻み付けられる。スクライブ線に沿ってワークを曲げると、表面のクラッ クが裏面まで到達し、ワークが切断される。
[0003] ワークにスクライブ線を刻み付けるスクライブ方法としては、算盤玉状の回転可能な カッターホイールをワークの表面に押し付け、加圧したままカッターホイールをワーク の表面上で転がす方法や、カッターホイールを転がす間、さらにカッターホイールを 振動させる方法が知られている。カッターホイールを振動させると、ワークの表面に深 い垂直クラックを形成することができるので、フルカットが可能になる。
[0004] ところで、カッターホイールは使用している間に劣化する。カッターホイールはホノレ ダに回転可能に保持されていて、カッターホイールを交換するとき、カッターホイール はホルダごとスクライブ装置のホルダ取付け面に着脱される。ホルダ取付け面(カツタ 一ホイールの傾きと平行)とカッターホイールが走行する方向とが平行であるかどうか は、カッティング品質に重大な影響を及ぼす。カッターホイールの走行方向に対して カッターホイールが傾いていると、昇書き中のカッターホイールに無理な力力 Sかかり、 ワークのカッティング品質が悪くなる。したがって、ホノレダ取付け面をカッターホイ一 ルの走行方向に対して精度よく平行にする作業が必要になる。後から精度が変わつ てもカッティング品質に悪影響を及ぼすので、平行であることを定期的に確認する必 要がある。
[0005] カッターホイールの傾きとカッターホイールの走行方向とを平行にするため、出願人 は、図 5に示されるように、カッターホイール 1を水平面内で旋回させる回転機構(首 振り機構) 2を組み込んだスクライブヘッドを提案した(特許文献 1参照)。このスクライ ブヘッドにおいては、振動子 3によって振動させられるシャフト 4とホルダ 5との間に、 シャフト 4に対してホルダ 5を水平面内で回転させる回転機構 2が設けられる。振動子 3の振動はシャフト 4、ホルダ 5を介してカッターホイール 1に伝達される。カッターホイ ール 1はシャフト 4に対して水平面内で自由に回転できるので、ワーク 6の表面上を転 力 ¾ときに最も抵抗の少ない方向を向く。このため、カッターホイール 1の傾きはカツタ 一ホイール 1の走行方向に受動的にならう。
特許文献 1 :特開 2000— 335929号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] し力、し、上記従来のスクライブヘッドにあっては、シャフト 4とホルダ 5との間に軸受 7 が介在されるので、ホルダ 5に伝達するまでに振動子 3の振動が減衰する。軸受 7が 振動を吸収するからである。たしかに軸受 7の遊びを少なくすれば、振動が減衰する のを防止すること力できる。しかし、カッターホイールの振動データを測定してみると、 たとえ軸受 7の遊びを少なくしたとしても、首振り機構を設けたスクライブヘッドの振動 の振幅は、首振り機構を設けなレ、スクライブヘッドに比べて小さくなる。
[0007] また、スクライブ線を閉曲線などの異形の曲線にする場合、昇書き中にカッターホイ ールの回転を制御する必要がある。上記従来のスクライブ装置において、回転機構 2 にベルトをかけてカッターホイールの回転を制御すると、ベルトまで振動してしまう。 ベルトが振動すると、カッターホイールの回転を制御するのが困難になるし、ベルトを 力、けること自体がカッターホイールの振動を減衰させる。
[0008] そこで、本発明は、スクライブ装置に回転機構(首振り機構)を設けた場合であって も、振動子の振動を減衰させることなくカッターに伝達することができるスクライブ装置 及びスクライブ方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0009] 上記課題を解決するために、請求項 1に記載の発明は、ワークの表面にスクライブ 線を刻み付けるスクライブ装置であって、カッターを振動させるスクライブヘッドと、前 記スクライブヘッドをワークの表面に沿って相対的に移動させる移動機構と、を備え、 前記スクライブヘッドは、ワークの表面に当接可能なカッターと、前記カッターをヮー クの表面と交差する方向に振動させるための振動子と、前記振動子の振動を前記力 ッターに伝える振動伝達部と、を有し、前記振動子、前記振動伝達部及び前記カツタ 一力 S、前記振動子の振動方向と平行な軸線を中心にして一緒に回転できるスクライ ブ装置である。
[0010] 請求項 2に記載の発明は、請求項 1に記載のスクライブ装置において、前記カツタ 一は、車軸を中心にして回転可能なカッターホイールであると共に、前記振動伝達 部に着脱可能に取り付けられるホルダに保持され、前記振動子、前記振動伝達部及 び前記カッターホイールが前記軸線の回りを回転したとき、前記カッターホイールが 前記軸線の回りを旋回するように、前記カッターホイールの前記車軸力 前記振動子 の前記軸線からずれて!/、ることを特徴とする。
[0011] 請求項 3に記載の発明は、請求項 1又は 2に記載のスクライブ装置において、前記 スクライブ装置はさらに、前記振動子、前記振動伝達部及び前記カッターを、前記軸 線の回りを回転駆動させる駆動源と、前記駆動源のトルクを、前記振動子の、前記振 動伝達部が接触する振動子側の端部とは反対側の端部を受ける受け部に伝動して 、前記振動子、前記振動伝達部及び前記カッターを回転させる伝動機構と、を備え ることを特徴とする。
[0012] 請求項 4に記載の発明は、請求項 1又は 2に記載のスクライブ装置において、前記 スクライブヘッドはさらに、前記振動子、及び前記振動伝達部の少なくとも一部が収 容されるハウジングと、前記振動子が前記ハウジングに対して前記軸線の回りを回転 するのを案内する回転軸受と、前記振動伝達部が前記ハウジングに対して前記軸線 の回りを回転し、かつ前記軸線の方向に往復運動するのを案内する回転 ·往復運動 軸受と、を有することを特徴とする。
[0013] 請求項 5に記載の発明は、請求項 1又は 2に記載のスクライブ装置において、前記 スクライブヘッドはさらに、前記振動子に予圧を付加する予圧付加部材と、前記振動 子、及び前記振動伝達部の少なくとも一部が収容されると共に、前記振動子が設け られる内側ハウジングと、前記内側ハウジングを覆う外側ハウジングと、前記外側ハウ ジングに対して前記内側ハウジングが前記振動子の振動方向と平行な軸線を中心 にして回転するのを案内する回転軸受と、を有する。 [0014] 請求項 6に記載の発明は、ワークにスクライブ線を刻み付けるスクライブ装置であつ て、カッターを振動させるスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドをワークの表面に 沿って相対的に移動させる移動機構と、を備え、前記スクライブヘッドは、ワークの表 面に当接可能なカッターと、前記カッターをワークの表面と交差する方向に振動させ る振動子と、前記振動子の振動方向の一端部に密着する受け部と、前記振動子の 振動方向の他端部に密着して前記振動子の振動を前記カッターに伝える振動伝達 部と、前記振動子、前記受け部の少なくとも一部、及び前記振動伝達部の少なくとも 一部が収容されるハウジングと、前記振動子、前記受け部、及び前記振動伝達部が 前記ハウジングに対して前記振動子の振動方向と平行な軸線を中心にして回転する のを案内する回転軸受と、前記振動伝達部が前記ハウジングに対して前記軸線の回 りを回転し、かつ前記軸線の方向に往復運動するのを案内する回転 ·往復運動軸受 と、前記振動伝達部の前記ハウジングから露出する部分に取り付けられ、前記カツタ 一を保持するホルダと、を有するスライブ装置である。
[0015] 請求項 7に記載の発明は、ワークにスクライブ線を刻み付けるスクライブ装置であつ て、カッターを振動させるスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドをワークの表面に 沿って相対的に移動させる移動機構と、を備え、前記スクライブヘッドは、ワークの表 面に当接可能なカッターと、前記カッターをワークの表面と交差する方向に振動させ る振動子と、前記振動子の振動方向の一端部に密着する受け部と、前記振動子の 振動方向の他端部に密着して前記振動子の振動を前記カッターに伝える振動伝達 部と、前記振動子、前記受け部の少なくとも一部、及び前記振動伝達部の一部が収 容される内側ハウジングと、前記内側ハウジングに設けられると共に、前記振動子に 予圧を付加する予圧付加部材と、前記振動伝達部が前記内側ハウジングに対して 前記振動子の振動方向と平行な軸線の方向に往復運動するのを案内する往復運動 軸受と、前記振動伝達部の前記内側ハウジングから露出する部分に取り付けられ、 前記カッターを保持するホルダと、前記内側ハウジングを覆う外側ハウジングと、前記 外側ハウジングに対して前記内側ハウジングが前記振動子の振動方向と平行な軸 線を中心にして回転するのを案内する回転軸受と、を有するスライブ装置である。
[0016] 請求項 8に記載の発明は、ワークの表面にカッターを当接させ、振動子によって前 記カッターをワークの表面と交差する方向に振動させながら前記カッターをワークの 表面に沿って相対的に移動させて、ワークにスクライブ線を刻み付けるスクライブ方 法において、前記カッターをワークの表面に沿って移動させる際に、前記振動子、前 記カッター、並びに前記振動子の振動方向の端部に密着して前記振動子の振動を 前記カッターに伝達する振動伝達部が、前記振動子の振動方向と平行な軸線を中 心にして一緒に回転できるスクライブ方法である。
[0017] 請求項 9に記載の発明は、請求項 8に記載のスクライブ方法において、前記カツタ 一をワークの表面に沿って移動させる際に、前記振動子に予圧を付加する予圧付加 部材も一緒に回転できることを特徴とする。
発明の効果
[0018] 請求項 1に記載の発明によれば、振動子、振動伝達部及びカッターが一緒に回転 するので、振動伝達部に回転機構を設ける必要がなくなる。振動子の振動が振動伝 達部において減衰されることがないので、カッターに振動を確実に伝達することがで きる。
[0019] 請求項 2に記載の発明によれば、カッターホイールがワークの表面を走行すると、あ た力、も椅子に取り付けたキャスターの如ぐカッターホイールの傾きがカッターホイ一 ルの進行方向にならう。よって、カッターホイールの傾きとカッターホイールの進行方 向とを平行にするための作業が不要になる。
[0020] 請求項 3に記載の発明によれば、能動的にカッターの回転方向を制御することで、 異形の形状にスクライブ線を形成することができる。また、伝動機構が駆動源のトルク を振動伝達部とは反対側の受け部に伝動するので、伝動機構が振動するのを防止 すること力 Sでさる。
[0021] 請求項 4に記載の発明によれば、ハウジングに対して、振動子、振動伝達部及び力 ッターを一緒に回転させることができる。
[0022] 請求項 5に記載の発明によれば、予圧付加部材が振動子に付与する圧力を回転 軸受に作用させないようにすることができる。回転軸受に回転の抵抗になる圧力が作 用しないので、カッターの向きをカッターの進行方向に受動的にならわすことが容易 になる。 [0023] 請求項 6に記載の発明によれば、振動子、振動伝達部及びカッターが一緒に回転 するので、振動伝達部に回転機構を設ける必要がなくなる。振動子の振動が振動伝 達部において減衰されることがないので、カッターに振動を確実に伝達することがで きる。
[0024] 請求項 7に記載の発明によれば、振動子、振動伝達部及びカッターが一緒に回転 するので、振動伝達部に回転機構を設ける必要がなくなる。振動子の振動が振動伝 達部において減衰されることがないので、カッターに振動を確実に伝達することがで きる。また、予圧付加部材が振動子に付与する圧力を回転軸受に作用させないよう にすることができるので、カッターの向きをカッターの進行方向に受動的にならわすこ とが容易になる。
[0025] 請求項 8に記載の発明によれば、振動子、振動伝達部及びカッターが一緒に回転 するので、振動伝達部に回転機構を設ける必要がなくなる。振動子の振動が振動伝 達部において減衰されることがないので、カッターに振動を確実に伝達することがで きる。
[0026] 請求項 9に記載の発明によれば、予圧付加部材が振動子に付与する圧力を回転 軸受に作用させないようにすることができるので、カッターの向きをカッターの進行方 向に受動的にならわすことが容易になる。
図面の簡単な説明
[0027] [図 1]本発明の第一の実施形態におけるスクライブ装置の垂直方向断面図
[図 2]回転 ·往復運動軸受を示す斜視図(一部断面図を含む)
[図 3]カッターホイール及びホルダを示す詳細図
[図 4]本発明の第二の実施形態におけるスクライブ装置の垂直方向断面図
[図 5]従来のスクライブ装置のスクライブヘッドの垂直方向断面図
符号の説明
[0028] 11 · · ·カッターホイール
11a…車車由
12· · ·スクライブヘッド
13· · ·移動機構 16…テープノレ
17…ワーク
19· 振動子
21…受け部
22· · ·振動伝達部
23, 26, 48…回転軸受
25· · ·ベルト(伝動機構)
28 · · ·モータ(駆動源)
29· · ·回転 ·往復運動軸受
37…ホルダ
42· · ·内側ハウジング
43· · ·外側ハウジング
44· · ·予圧付加部材
L…振動方向(軸線)
発明を実施するための最良の形態
[0029] 以下添付図面に基づいて、本発明の一実施形態におけるスクライブ装置を詳細に 説明する。図 1は、スクライブ装置の垂直方向断面図を示す。
[0030] スクライブ装置は、下端に設けられるカッターホイール 11を上下方向に振動させる スクライブヘッド 12と、スクライブヘッド 12を水平面内の X及び Y軸方向に移動させる 移動機構 13と、ワーク 17を吸着 ·保持するテーブル 16を備える。移動機構 13はべ ース 14を水平面内に移動させる。ベース 14には、スクライブヘッド 12が取り付けられ る。リニアガイド 15はスクライブヘッド 12がベース 14に対して上下方向にスライドする のを案内する。
[0031] スクライブ装置のテーブル 16上には、真空吸着あるいは治具によりワーク 17が固 定される。ワーク 17の上面にカッターホイールに当接するまでスクライブヘッド 12を 降下させ、移動機構によってスクライブヘッド 12をワーク 17の表面に沿って移動させ ると、ワーク 17の表面にスクライブ線が刻み付けられる。スクライブ線は、ワーク 17の 表層に形成された垂直クラックが伝播したものである。なお、図示しないが、スクライ ブヘッド 12はェアーシリンダなどの加圧手段によって、ワーク 17に加圧されていても よい。
[0032] スクライブヘッド 12の筒状のハウジング 18には、振動子 19として、例えば外部電圧 を加えると歪を生じる圧電素子(ピエゾァクチユエータ)が用いられる。圧電素子には 電線 20が接続される。圧電素子に印加する電圧を所定の周波数で変化させると、圧 電素子が周期的に伸縮する。この圧電素子の伸縮方向が振動方向 Lになる。なお、 振動子 19として、磁界を加えると磁性体に歪を生じる磁歪素子などの磁性材料を用 いてもよい。磁歪素子に印加する磁界を所定の周波数で変化させると、磁歪素子が 周期的に伸縮する。
[0033] 振動子 19を振動させる前に、あらかじめ圧力をかけてなじませてから、電圧をかけ て振動子 19を伸縮させる必要がある。振動子 19に予圧を付加するため、受け部 21 の外側には予圧付加部材 30が設けられる。予圧付加部材 30の外周には、雄ねじが 加工される。ハウジング 18の筒状上部 18aの内周面には、予圧付加部材 30に螺合 する雌ねじが加工される。予圧付加部材 30を回転させると、ねじの作用によって、予 圧付加部材 30が下方向へ移動する。予圧付加部材 30の下方向への押圧力は、外 輪当接部材 24→回転軸受 23→受け部 21→振動子 19に順番に伝わる。予圧付加 部材 30のねじ込み量を調整することで、振動子 19にかかる予圧の大きさを調整する こと力 Sでさる。
[0034] 振動子 19の振動方向 Lの上端部には、受け部 21が密着して設けられ、下端部に は、振動伝達部 22が密着して設けられる。振動子 19は、受け部 21及び振動伝達部 22によって振動方向 Lの両側から挟まれる。振動子 19の振動は振動伝達部 22に伝 達され、受け部 21は振動の反作用を受ける。振動子 19は、受け部 21及び振動伝達 部 22はハウジング 18に収容される。
[0035] 受け部 21は、振動子 19の振動方向 Lに軸状に細長く伸びる。受け部 21の下端部 には径を拡大させた大径部 21aが設けられる。大径部 21aの下面には、振動子 19を 受け入れる凹部 21bが設けられる。受け部 21には、振動子 19の電線 20を通すため の貫通孔 21cが空けられる。受け部 21の大径部 21aはハウジング 18内に収容される 1S 上端部はハウジング 18から露出する。受け部 21を回転駆動する伝動機構が設 けられる場合には、この上端部に歯車が加工され、歯車にベルト 25が掛け渡される。 勿論、伝動機構が設けられない場合には、受け部 21の上端部に歯車を加工する必 要はない。受け部 21はハウジングに設けた回転軸受 23に回転可能に支持される。 上述のように、受け部 21は振動の反作用を受ける。この反作用は、受け部 21→回転 軸受 23の内輪 23a→転動体 23b→回転軸受 23の外輪 23c→外輪当接部材 24→ ハウジング 18に順次伝わる。
[0036] 振動伝達部 22は、振動子 19の振動方向 Lに軸状に細長く伸びる。振動伝達部 22 の上端部には径を拡大させた大径部 22aが設けられる。大径部 22aの上面には、振 動子 19を受け入れる凹部 22bが設けられる。振動伝達部 22の周囲には、振動子 19 が回転するのを案内する回転軸受 26が設けられる。振動伝達部 22と回転軸受 26と は触れておらず、振動伝達部 22と回転軸受 26との間にはすきまが空く。振動伝達部 22の大径部 22aと回転軸受 26の内輪 26aとの間には、振動伝達部 22を振動子 19 に押し付ける付勢部材として、皿ばね 27が設けられる。振動子 19が振動すると、振 動子 19に密着する振動伝達部 22も振動する。皿ばね 27を設けることで、振動子 19 の振動に振動伝達部 22の振動を追従させることができる。振動伝達部 22の振動に よって、皿ばね 27が伸縮する。
[0037] 回転軸受 26は皿ばね 27を介して振動伝達部 22が回転運動するのを案内する。す なわち、上側の回転軸受 23は受け部 21が回転するのを案内し、下側の回転軸受 26 は振動伝達部 22が回転するのを案内する。受け部 21と振動伝達部 22との間には振 動子 19が挟まれているので、振動子 19は間接的に一対の回転軸受 23, 26によって 回転するのを案内される。振動子 19が回転するときの軸線 Lは、振動子 19の振動方 向 Lと平行である(この実施形態では一致して!/、る)。
[0038] 振動伝達部 22は軸線 Lの回りを回転するだけでなぐ軸線方向に往復運動する。こ のため、振動伝達部 22を直接的に回転軸受 26で支持することはできない。振動伝 達部 22は、ハウジング 18に設けた回転 ·往復運動軸受 29に回転可能に、かつ振動 方向 Lに往復運動可能に支持される。
[0039] 図 2は、回転 ·往復運動軸受 29の斜視図を示す。回転 ·往復運動軸受 29は、円筒 形の外筒 31の内部に、ボールケージ 32とボール 33とを,袓み込んでなる。外筒 31の 内面はボール 33が転がり運動するので精密に研削される。円筒形のボールケージ 3 2には、荷重を均等に負荷するためにボール 33が千鳥に配列される。外筒 31の内 径の両端には、止め輪 34が設けられて、ボールケージ 32のオーバーランを防止して いる。ボール 33と振動伝達部 22、及びボール 33と外筒 31の内面とは点接触するの で、ボール 33は極めて小さな摩擦係数で転がり運動する。回転 ·往復運動軸受 29は 、振動伝達部 22の軸線 Lの回りの回転運動と、軸線方向の往復運動を案内する。
[0040] 図 1及び図 3に示されるように、ハウジング 18から露出する振動伝達部 22の小径の 下端部には、ホルダ保持部 36が固定される。ホルダ保持部 36は、ホルダ取付け面 3 6aを有し、このホルダ取付け面 36aにホルダ 37が着脱可能に取り付けられる。ホル ダ 37は、カッターホイール 11を回転可能に保持する。ホルダ 37をホルダ取付け面 3 6aに取り付けると、ホルダ取付け面 36aとカッターホイール 11の傾きとが平行になる。
[0041] 図 3に示されるように、カッターホイール 11は車軸 11aを中心にして回転する。カツ ターホイール 11の車軸 1 laは軸線 Lから水平方向に所定の距離 hだけ離れて!/、る。 ホルダが軸線 Lの回りを水平面内で回転するとき、カッターホイール 11が水平面内で 半径 hの円形の軌道上を旋回する。
[0042] 図 1に示されるように、ワーク 17の表面にスクライブヘッド 12のカッターホイールを 載せ、カッターホイール 11を振動させながら、スクライブヘッド 12をワーク 17の表面 に沿って移動させると、ワーク 17の表面にスクライブ線が刻み付けられる。カッターホ ィール 11がワーク 17の表面に沿って走行するとき、あた力、も椅子に取り付けられたキ ヤスターの如ぐカッターホイール 11の傾きがカッターホイール 11の進行方向になら う。カッターホイール 11からワーク 17に無理な力力 Sかからず、し力、もカッターホイール 11が振動しているので、割れや欠けの少ない垂直クラックを形成することができる。よ つて、カッティング品質が向上する。
[0043] カッターホイール 11が水平面内を旋回するとき、カッターホイール 11だけでなく、 振動子 19、振動伝達部 22も軸線 Lの回りを一緒に回転する。振動伝達部 22にカツ ターホイール 11を旋回させるための回転機構を設ける必要がないので、回転機構で 振動が減衰することがなぐカッターホイール 11に振動を確実に伝達することができ [0044] 振動子 19を振動させたときに、受け部 21には反作用が働き、この反作用は上側の 回転軸受 23にも伝わる。剛体で反作用を受ける場合に比べて、回転軸受 23で反作 用を受けると、わずかに振動が減衰する力、もしれない。し力、し、固定側の受け部 21、 ハウジング 18、リニアガイド 15などの質量は、振動側の振動伝達部 22、ホルダ 37、 カッターホイール 11などの質量に比べてかなり大きい。固定側の振動はごく僅かであ るから、回転軸受 23での振動の減衰もごく僅かなものになる。
[0045] 図 1の二点鎖線にて示されるように、受け部 21にベルトを掛け渡し、受け部 21を駆 動源としてのモータ 28で回転駆動させてもよい。モータ 28の出力軸と受け部 21との 間には、伝動機構としてのベルト 25が掛け渡される。モータ 28でカッターホイール 1 1の回転方向を能動的に制御すれば、ワーク 17を異形に切断することができる。ベ ノレト 25は固定側の受け部 21に掛け渡されているので、ベルト 25が振動することもな い。
[0046] 図 1に示される第一の実施形態のスクライブ装置においては、予圧付加部材 30の ねじ込み量を調整することで、振動子 19にかかる予圧の大きさを調整することができ る。予圧付加部材 30の押圧力は、回転軸受 23を介して振動子 19に伝わる。具体的 には、予圧付加部材 30の押圧力は、外輪当接部材 24→外輪 23c→転動体 23b→ 内輪 23aに伝わる。回転軸受 23が受けられる力が振動子 19にかかる予圧よりも大き ければ、回転軸受 23が問題なく回転する。しかし、回転軸受 23が受けられる力が振 動子 19にかかる予圧よりも大きければ、回転軸受 23の回転に抵抗が発生する。回転 に抵抗が発生すると、カッターホイール 11の傾きをカッターホイール 11の進行方向 に受動的にならわせるのが困難になる。
[0047] この問題を解決するために、本発明の第二の実施形態のスクライブ装置において は、予圧付加部材を回転軸受 23の内側に配置し、予圧付加部材までも回転させる。 図 4は、第二の実施形態のスクライブ装置を示す。この実施形態のスクライブ装置も 第一の実施形態のスクライブ装置と同様に、カッターホイール 11を上下方向に振動 させるスクライブヘッド 41と、スクライブヘッド 41を水平面内で移動させる移動機構 1 3と、ワーク 17を吸着'保持するテーブル 16と、を備える。 [0048] スクライブヘッド 41は、内側ハウジング 42と、内側ハウジング 42を覆う外側ハウジン グ 43と、力も構成される。内側ハウジング 42の内部には、振動子 19,振動子 19の下 端部に密着して振動子 19の振動をカッターホイール 11に伝える振動伝達部 22,振 動子 19の上端部に密着する受け部 21が設けられる。振動子 19,受け部 21 ,振動伝 達部 22の構造は、上記第一の実施形態のスクライブ装置と同一なので、同一の符号 を附してその説明を省略する。
[0049] 内側ハウジング 42の筒状上部 42aには、予圧付加部材 44が螺合する。予圧付加 部材 44の外周面には、雄ねじが加工される。内側ハウジング 42の筒状上部 42aの 内周面には、予圧付加部材 44に螺合する雌ねじが加工される。予圧付加部材 44を 回転させると、ねじの作用により、予圧付加部材 44が下降する。予圧付加部材 44は 、受け部 21を押圧して、振動子 19に予圧を付与する。予圧量が所定値になったとき 、予圧付加部材 44を筒状上部 42aにねじ込むのを停止し、予圧付加部材 44に螺合 するロックナット 45で予圧付加部材 44を固定する。
[0050] 内側ハウジング 42と振動伝達部 22との間には、内側ハウジング 42に対して振動伝 達部 22が振動子の振動方向に振動 (往復運動)するのを案内する往復運動軸受 46 が設けられる。振動伝達部 22は、内側ハウジング 42に対して往復運動のみを行うの で、往復運動軸受 46は、振動伝達部 22の往復運動のみを案内する。
[0051] 内側ハウジング 42と外側ハウジング 43との間には、外側ハウジング 43に対して内 側ハウジング 42が回転するのを案内する上下に二つの回転軸受 48が設けられる。 各回転軸受 48は、内輪 48aと、外輪 48cと、内輪 48aと外輪 48cとの間に介在される 転動体 48bと、力 構成される。内側ハウジング 42には、予圧付加部材 44、振動子 1 9、受け部 21の一部、振動伝達部 22の一部が収容される。振動伝達部 22には、ホ ルダ 37を介してカッターホイール 11が取り付けられる。これらは、振動子 19の振動 方向と平行な軸線を中心にして一緒に回転する。
[0052] この実施形態のスクライブ装置によれば、予圧付加部材 44が回転軸受 48の内側 に配置されるので、予圧付加部材 44が振動子 19に付加する予圧が回転軸受 48に 影響しない。回転軸受 48に余分な圧力がかかることがないので、カッターホイール 1 1の傾きを走行方向に対して受動的にならわすことが容易になる。 [0053] なお本件発明は、上記実施形態に限られることなぐその要旨を変更しないで種々 の実施形態に具現化できる。例えば、上記実施形態においては、ハウジング 18に対 して、振動子 19、振動伝達部 22、カッターホイールが回転するようにしている力 振 動子、振動伝達部及びカッターホイールはハウジングに対して回転できずに、振動 子、振動伝達部及びカッターホイールが収容されるハウジングごと回転するようにし てもよい。さらに、カッターには、算盤玉状の回転可能なカッターホイールの他に、ホ ルダに固定される四角錐状のカッターを用いてもよい。
[0054] さらに、上記実施形態においては、スクライブヘッドが図 1の紙面に対して直交する 方向に移動して、スクライブ線を形成しているが、ワークが図 1の紙面の左右方向に 移動してもよい。この場合、ホルダ及びカッターは水平面内で 90度回転した方向、す なわち図 3の向きに取り付けられる。そして、移動機構はスクライブ装置のテーブルを 移動させる。
[0055] 本明細書は、 2006年 10月 5日出願の特願 2006— 274456に基づく。この内容は すべてここに含めておく。

Claims

請求の範囲
[1] ワークの表面にスクライブ線を刻み付けるスクライブ装置であって、
カッターを振動させるスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドをワークの表面に沿 つて相対的に移動させる移動機構と、を備え、
前記スクライブヘッドは、ワークの表面に当接可能なカッターと、前記カッターをヮー クの表面と交差する方向に振動させるための振動子と、前記振動子の振動を前記力 ッターに伝える振動伝達部と、を有し、
前記振動子、前記振動伝達部及び前記カッターが、前記振動子の振動方向と平 行な軸線を中心にして一緒に回転できるスクライブ装置。
[2] 前記カッターは、車軸を中心にして回転可能なカッターホイールであると共に、前 記振動伝達部に着脱可能に取り付けられるホルダに保持され、
前記振動子、前記振動伝達部及び前記カッターホイールが前記軸線の回りを回転 したとき、前記カッターホイールが前記軸線の回りを旋回するように、前記カッターホ ィールの前記車軸が、前記振動子の前記軸線からずれて!/、ることを特徴とする請求 項 1に記載のスクライブ装置。
[3] 前記スクライブ装置はさらに、
前記振動子、前記振動伝達部及び前記カッターを、前記軸線の回りを回転駆動さ せる駆動源と、
前記駆動源のトルクを、前記振動子の、前記振動伝達部が接触する振動子側の端 部とは反対側の端部を受ける受け部に伝動して、前記振動子、前記振動伝達部及 び前記カッターを回転させる伝動機構と、を備えることを特徴とする請求項 1又は 2に 記載のスクライブ装置。
[4] 前記スクライブヘッドはさらに、前記振動子、及び前記振動伝達部の少なくとも一部 が収容されるハウジングと、前記振動子が前記ハウジングに対して前記軸線の回りを 回転するのを案内する回転軸受と、前記振動伝達部が前記ハウジングに対して前記 軸線の回りを回転し、かつ前記軸線の方向に往復運動するのを案内する回転 ·往復 運動軸受と、を有することを特徴とする請求項 1又は 2に記載のスクライブ装置。
[5] 前記スクライブヘッドはさらに、 前記振動子に予圧を付加する予圧付加部材と、
前記振動子、及び前記振動伝達部の少なくとも一部が収容されると共に、前記振 動子が設けられる内側ハウジングと、前記内側ハウジングを覆う外側ハウジングと、前 記外側ハウジングに対して前記内側ハウジングが前記振動子の振動方向と平行な 軸線を中心にして回転するのを案内する回転軸受と、を有する請求項 1又は 2に記 載のスクライブ装置。
[6] ワークにスクライブ線を刻み付けるスクライブ装置であって、
カッターを振動させるスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドをワークの表面に沿 つて相対的に移動させる移動機構と、を備え、
前記スクライブヘッドは、
ワークの表面に当接可能なカッターと、前記カッターをワークの表面と交差する方 向に振動させる振動子と、前記振動子の振動方向の一端部に密着する受け部と、前 記振動子の振動方向の他端部に密着して前記振動子の振動を前記カッターに伝え る振動伝達部と、前記振動子、前記受け部の少なくとも一部、及び前記振動伝達部 の少なくとも一部が収容されるハウジングと、前記振動子、前記受け部、及び前記振 動伝達部が前記ハウジングに対して前記振動子の振動方向と平行な軸線を中心に して回転するのを案内する回転軸受と、前記振動伝達部が前記ハウジングに対して 前記軸線の回りを回転し、かつ前記軸線の方向に往復運動するのを案内する回転- 往復運動軸受と、前記振動伝達部の前記ハウジングから露出する部分に取り付けら れ、前記カッターを保持するホルダと、を有するスライブ装置。
[7] ワークにスクライブ線を刻み付けるスクライブ装置であって、
カッターを振動させるスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドをワークの表面に沿 つて相対的に移動させる移動機構と、を備え、
前記スクライブヘッドは、
ワークの表面に当接可能なカッターと、前記カッターをワークの表面と交差する方 向に振動させる振動子と、前記振動子の振動方向の一端部に密着する受け部と、前 記振動子の振動方向の他端部に密着して前記振動子の振動を前記カッターに伝え る振動伝達部と、前記振動子、前記受け部の少なくとも一部、及び前記振動伝達部 の一部が収容される内側ハウジングと、前記内側ハウジングに設けられると共に、前 記振動子に予圧を付加する予圧付加部材と、前記振動伝達部が前記内側ハウジン グに対して前記振動子の振動方向と平行な軸線の方向に往復運動するのを案内す る往復運動軸受と、前記振動伝達部の前記内側ハウジングから露出する部分に取り 付けられ、前記カッターを保持するホルダと、前記内側ハウジングを覆う外側ハウジン グと、前記外側ハウジングに対して前記内側ハウジングが前記振動子の振動方向と 平行な軸線を中心にして回転するのを案内する回転軸受と、を有するスライブ装置。
[8] ワークの表面にカッターを当接させ、振動子によって前記カッターをワークの表面と 交差する方向に振動させながら前記カッターをワークの表面に沿って相対的に移動 させて、ワークにスクライブ線を刻み付けるスクライブ方法において、
前記カッターをワークの表面に沿って移動させる際に、前記振動子、前記カッター 、並びに前記振動子の振動方向の端部に密着して前記振動子の振動を前記カツタ 一に伝達する振動伝達部力 前記振動子の振動方向と平行な軸線を中心にして一 緒に回転できるスクライブ方法。
[9] 前記カッターをワークの表面に沿って移動させる際に、前記振動子に予圧を付加 する予圧付加部材も一緒に回転できることを特徴とする請求項 8に記載のスクライブ 方法。
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