JP2010264549A - ワーク貼付部材および研磨加工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの従属回転性を向上させるとともに、ワークの振動現象をなくして、研磨精度を向上させる。
【解決手段】ワーク保持装置Ｈの側にベアリング１４を介して保持される保持軸６と、レンズ１が熱可塑性接着剤２を介して固定される貼付台座３とを、接続軸５を介して遊動状態に接続するとともに、貼付台座３と保持軸６の間に摩擦係数の小さな滑り部材４を配置した構成の貼付皿Ｓ１を用い、ベアリング１４の起動トルクの変動や振動等に影響されることなく、滑り部材４と保持軸６の相対的な滑り変位により、レンズ１の工具９に対する円滑な従属回転を実現し、レンズ１を高精度に研磨する。
【選択図】図３

Description

本発明は、ワーク貼付部材および研磨加工方法に関する。

たとえば、光学素子の研磨加工では、ガラス、セラミック、結晶材料等の光学素材であるレンズ素材と砥石等の工具とを対向させた状態で当接させると共に、レンズを支持するワーク軸部を介してレンズ素材を砥石に押圧しながらワーク軸部側もしくは砥石を支持する砥石軸部側を相対的に揺動させて加工している。

この研磨加工では、被加工体であるレンズ素材を貼付皿に貼り付け、この貼り付け状態でレンズ素材を貼付皿と共にワーク軸部に固定して加工に供している。
この種の貼付皿を用いて光学素材を加工する加工機に用いられるワーク保持装置は、特許文献１に開示されている。

図５は、特許文献１に開示されている従来技術のワーク保持装置の動作原理を示す斜視図である。
この図５において、ワーク６１は、コ字形状のアッパーアーム６２に支承されたワーク支持部６３に保持されるようになっている。ワーク支持部６３は、ワーク軸支持部６４を介してアッパーアーム６２に支承されている。

アッパーアーム６２の両端の各々は、平面コの字形状に形設された揺動アーム６５の両端の各々にアッパーアーム支持部６６を介して連結されており、さらに揺動アーム６５は揺動アーム支持部６７を介して装置筐体側のステー６８に連結されている。

そして、揺動アーム６５の回転中心の軸線をＸ、アッパーアーム６２の回転中心の軸線をＹ、ワーク軸支持部６４の軸線をＺとすると、各軸線Ｘ、Ｙ、Ｚが１点Ｏにて交わるように設定してある。

この図５の原理構成をより具体化した構成を図６Ａおよび図６Ｂに示す。図６Ａは、凸形状のワーク６１をワーク支持部に相当する貼付皿７３に保持させた構成例を示すものであり、図６Ｂは、凹形状のワーク６１を貼付皿７３に保持させた構成例を示すものである。

両図ともに、貼付皿７３はベアリング７０（図５におけるワーク軸支持部６４に相当する）を介して、アッパーアーム６２に回転自在に保持されている。前記ベアリング７０の外輪は止め具７１、ネジ６９によりアッパーアーム６２に固定されている。

また、アッパーアーム６２は図６Ａおよび図６Ｂにおける軸線Ｙ上でピン７２を介して揺動アーム６５に回転自在に保持されるように構成されている。
しかしながら、上述の従来技術によれば、以下のような技術的課題がある。

すなわち、上述の従来技術の構成によるワーク保持装置を用いた加工は、図７に示すように、ワーク６１の被加工面６１ａに対向して工具７４を接触させて行われる。

工具７４をα方向に揺動運動、あるいはワーク６１を前後揺動運動（β方向）によりワーク６１と工具７４とを相対的に揺動運動させる。また、工具７４を回転運動（γ方向）させる。
このとき、ワーク６１は工具７４の回転運動により同方向に連れ回りする（以下、この回転を従属回転とする）。このような状態により加工を行う。

しかし、ワーク６１の従属回転運動がないと、工具７４の外周部の方が内周部よりも周速度が大きいために内周部よりも摩耗が促進され、工具７４が偏摩耗する。その結果、ワーク６１の被加工面６１ａの形状も崩れてしまう。
故に、ワーク６１を従属回転させることは、工具７４の偏摩耗を防止し、安定した加工を実現する上で必須である。

ワーク６１の従属回転は、工具７４の回転力がワーク６１と工具７４との摩擦によりワーク６１に回転力となって伝わる。この回転力を低下させる要因として、貼付皿７３を保持しているベアリング７０に関するいくつかの技術的課題が挙げられる。

第１に、ベアリング７０の起動トルクが従属回転の回転力より大きいと、従属回転が不可能になる。

第２に、加工中にクーラント等の加工液がベアリング７０の内部に入ると、クーラントに混入された切り屑がベアリング７０の内外輪、および転動球にダメージを与える。これにより起動トルクが大きくなり、ワーク６１の従属回転が不可能になる。

よって、従来技術のワーク保持装置では、ベアリング７０の起動トルクを小さくするためにベアリング７０の転動球の公転直径を小さくしたものにすると、切り屑によるダメージが大きくなり、従属回転が不可能になるという技術的課題がある。

また、加工荷重がベアリング７０に加わるので、ベアリング７０の転動球の公転直径が加工対象のレンズ等のワーク６１の直径より小さいものを使用すると、転動球の寿命が本来の寿命も低下してしまう。そのため、従来技術では良好な従属回転を維持することが困難となり、安定した加工ができないという技術的課題がある。

また、従来技術では、加工中にベアリング７０における内外輪と球との隙間があるためにワーク６１と工具７４との間で振動が発生してしまい、ワーク６１が安定して保持されない一因となり、加工精度への悪影響が懸念される。

特開昭６３−１２００６９号公報

本発明の目的は、ワークの従属回転性を向上させるとともに、ワークの振動現象をなくして、研磨精度を向上させることが可能な技術を提供することにある。

本発明の第１の観点は、ワーク保持装置に嵌合する基体部と、
ワークが貼り付けられ、遊動結合手段を介して前記基体部に遊動自在に接続された貼付部と、
前記貼付部と前記基体部との間に介在し、前記貼付部を前記基体部に対して相対的に回転可能にする滑り部材と、
を具備するワーク貼付部材を提供する。

本発明の第２の観点は、ワーク貼付部材を介してワーク保持装置に支持されたワークの被加工面に工具の加工面を接触させて、前記ワークの前記被加工面に対して前記工具の前記加工面を相対的に揺動させる研磨加工方法であって、
前記ワークを前記ワーク保持装置に対して相対的に滑り変位自在にする研磨加工方法を提供する。

本発明によれば、ワークの従属回転性を向上させるとともに、ワークの振動現象をなくして、研磨精度を向上させることが可能な技術を提供することができる。

本発明の一実施の形態である研磨加工方法を実施するワーク貼付部材の構成の一例を示す断面図である。 本発明の一実施の形態であるワーク貼付部材を備えた研磨装置を正面から見た構成の一例を示す半断面図である。 本発明の一実施の形態であるワーク貼付部材を備えた研磨装置を側面から見た部分断面図である。 本発明の他の実施の形態であるワーク貼付部材の構成例を示す断面図である。 従来技術のワーク保持装置の動作原理を示す斜視図である。 従来技術のワーク保持装置の動作原理をより具体的に示す半断面図である。 従来技術のワーク保持装置の動作原理をより具体的に示す半断面図である。 従来技術のワーク保持装置の動作を示す断面図である。

本実施の形態の第１態様では、光学素子の被加工面に工具の加工面が接触した状態で光学素子及び工具が相対的に揺動する研磨加工に用いる光学素材の貼付部材であって、
前記光学素子が貼り付けられる貼付面を形成し、貼付面と反対側の面に螺合部が設けられた貼付部と、
前記貼付部に設けた螺合部に螺合可能な螺合端部を備え、螺合部と対向して支持部を有する接続軸と、
ワーク保持装置に嵌合可能な円柱状の凸部と大径のツバ部が連設され、ツバ部には接続部が挿入可能な凹形状が形成された保持軸と、
前記貼付部と保持軸との間に介在し両者を回転可能に支承する滑り部材と、を有する光学素材の貼付部材を例示する。

本実施の形態の第２態様では、光学素材の被加工面に工具の加工面が接触した状態で光学素子及び工具が相対的に揺動する研磨加工に用いる光学素材の貼付部材であって、
前記光学素子が貼り付けられる貼付面を形成し、貼付面と反対側の面に螺合部が設けられた貼付部と、
前記貼付部に設けられた螺合部に螺合可能な螺合端部を備え、螺合部と対向して支持部を有する接続部と、
接続部を貫通可能な空孔部を有する回転環と
ワーク保持装置に嵌合可能な円柱状の凸部と大径のツバ部が連設され、ツバ部には接続部が挿入可能な凹形状が形成された保持軸と、
保持軸と回転環を弾性的に保持する弾性部材と、
前記貼付部と保持軸との間に介在し両者を回転可能に支承する滑り部材と、を有する貼付部材を例示する。

（作用）
上述の本実施の形態の各態様の貼付部材によれば、ワークの従属回転がベアリングの起動トルクより小さくなるような場合でも、滑り部材による滑り変位により、工具に対してワークを容易に従属回転させることが可能になる。
また、貼付部は、保持軸に対して滑り部材を介して支承される構造のため振動も発生しない。

この結果、安定した高精度の研磨加工を行うことが可能となる。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。

（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態である研磨加工方法を実施するワーク貼付部材の構成の一例を示す断面図である。
図２は、本発明の一実施の形態であるワーク貼付部材を備えた研磨装置を正面から見た構成の一例を示す半断面図である。
図３は、本発明の一実施の形態であるワーク貼付部材を備えた研磨装置を側面から見た部分断面図である。

なお、本実施の形態では、図１および図２において、左右方向をＹ方向、上下方向をＺ方向、紙面に垂直な方向をＸ方向として説明する。また、一例として、Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ−Ｙ平面は水平面とする。本の図においても各軸の方向は図示の通りとする。

（構成）
最初に、図１を参照して、本実施の形態１の貼付皿Ｓ１（ワーク貼付部材）について説明する。
本実施の形態１で例示する貼付皿Ｓ１は、図１に示すように、上方から下方に向かって保持軸６（基体部）、接続軸５（遊動結合手段）、滑り部材４、貼付台座３（貼付部）の順に配置されることにより形成されている。

貼付台座３は、たとえば、Ｚ方向を軸方向とする円柱形状を呈し、その下端面面は貼付面３ａとなっている。
この貼付面３ａには、加工される光学素子としてのレンズ１（ワーク）がピッチ等の熱可塑性接着剤２を介して貼り付けられている。この貼付面３ａはレンズ１の被加工面１ａとほぼ等しい直径となっている。

貼付台座３において、貼付面３ａと反対側の上端面は滑り面３ｃとなっている。
この滑り面３ｃの中心部にはねじ穴３ｂが設けられており、接続軸５が、当該接続軸５の先端部に設けられたねじ端５ａを、ねじ穴３ｂに螺合させることで貼付台座３に同軸に螺合されている。

接続軸５は、ねじ端５ａから軸方向に同一径で連続して形成された継ぎ手５ｃに続いて、拡径されたフランジ部５ｂが上端部に設けられている。
このフランジ部５ｂは、上側の保持軸６に設けられた挿入穴６ｂに挿入されることにより保持されている。

保持軸６の挿入穴６ｂの内周部には、拡径された保持溝６ｅが形成されており、この保持溝６ｅの内部には、Ｏリングなどの弾性体からなる規制環７が装着されている。
上述のように、挿入穴６ｂに挿入される接続軸５のフランジ部５ｂはねじ端５ａから連続して形成される継ぎ手５ｃより大きな直径となっている。

一方、規制環７の内径は、継ぎ手５ｃの直径とほぼ等しく、フランジ部５ｂの直径より小さくなっている。
このため、挿入穴６ｂの規制環７に圧入された接続軸５は、先端のフランジ部５ｂが小径の規制環７に係合することにより、挿入穴６ｂの内部に止まるように保持軸６に軸方向（Ｚ方向）に遊動自在に保持される。

本実施の形態１の場合、保持軸６に設けられた保持部６ｃは円柱状となっている。
そして、図２および図３に示すように、この保持軸６の保持部６ｃは、研磨装置Ｍのワーク保持装置Ｈにおける第２揺動部材１２のレンズ保持部８に、ベアリング１４を介して挿入され、Ｚ方向の回りに空転自在に保持されている。

保持軸６において、貼付台座３に対向する端面には、保持部６ｃよりも大径のツバ部６ａが設けられている。
このツバ部６ａは、保持軸６の回りに位置するベアリング１４を隠蔽する程度の直径に設定され、ベアリング１４を隠蔽するように、レンズ保持部８の下面に当接している。

このツバ部６ａの、滑り部材４に接するツバ下面６ｄは、中心部に挿入穴６ｂに連成する貫通孔を有する平面形状に形成されている。

そして、このツバ下面６ｄに接する滑り部材４は、たとえば、アセタール樹脂であるポリアセタールや、テフロン（デュポン社の登録商標）等に代表されるフッ素樹脂などの、摩擦係数の小さな素材で構成されている。

すなわち、本実施の形態の場合、滑り部材４は、レンズ保持部８に設けられ、保持軸６が保持されるベアリング１４の起動トルク（ベアリング１４の回転開始に必要な最小のトルク）より小さなトルクで、レンズ１が固定された貼付台座３が保持軸６に対して相対的に回転可能となるような小さい摩擦係数を有する材料で構成されている。

次に、本実施の形態の貼付皿Ｓ１が保持される研磨装置Ｍの構成の一例について説明する。
図２および図３に例示されるように、本実施の形態の研磨装置Ｍは、ステー１０に支持されたワーク保持装置Ｈを備えている。

このワーク保持装置Ｈは、貼付皿Ｓ１を保持する第２揺動部材１２、および当該第２揺動部材１２をステー１０に連結する第１揺動部材１１を備えている。
第２揺動部材１２は、Ｚ−Ｙ平面（垂直面）内で、両端部が同一方向に下向きに直角に屈曲されたコ字形を呈している。

第１揺動部材１１は、Ｘ−Ｙ平面（水平面）内で、両端部が同一方向に直角に屈曲されたコ字形を呈している。
ステー１０は、研磨装置Ｍの図示しないシリンダ等の加圧機構を有する図示しない上軸に、Ｚ方向（垂直方向）に設けられている。

このステー１０の下端部には、図３に示すようにベアリング１７を介して取付軸１８がＸ軸の回りに回転自在に取り付けられている。
取付軸１８はステー１０を貫通しており、その貫通端部が、第１揺動部材１１の中心部に挿入されている。

これにより、第１揺動部材１１は取付軸１８の中心軸線（軸線Ｘ）を揺動中心として、Ｚ−Ｙ平面内で揺動できるようにステー１０の下端部に回転自在に支持されている。
なお、取付軸１８における第１揺動部材１１との反対側には、ナット２０が締結されることにより取付軸１８の抜け止めがなされている。

また、ベアリング１７の内輪と第１揺動部材１１との間の取付軸１８回りには、スペーサ１９が介挿されることにより、第１揺動部材１１とステー１０との間にはＸ方向に所定の間隙が形成され、取付軸１８の回りに回転する第１揺動部材１１のステー１０に対する接触が防止されている。

上述のように水平面内でコ字形に成形された第１揺動部材１１の屈曲先端部１１ａおよび屈曲先端部１１ｂの各々には、同じく水平面内でコ字形に成形された第２揺動部材１２の屈曲先端部１２ａ、屈曲先端部１２ｂがピン１３を介して回転自在に連結されている。

そして、図３に示すように、第２揺動部材１２は、第１揺動部材１１に対してＺ方向に貼付皿Ｓ１が下向きとなる姿勢で、門形に倒立した状態となっている。
従って、第２揺動部材１２は第１揺動部材１１の屈曲先端部１１ａ、屈曲先端部１１ｂを結ぶ軸線（軸線Ｙ）を揺動中心として揺動する。

第２揺動部材１２の中心部には、レンズ保持部８が配置されている。
第２揺動部材１２のレンズ保持部８は第２揺動部材１２の中心部に挿入されたベアリング１４を備えている。ベアリング１４は、ねじ１６を介した押さえ部材１５によって第２揺動部材１２の下面に固定されている。

ベアリング１４には、レンズ１を貼り付けた貼付皿Ｓ１の保持軸６が下方からＺ方向に挿入されている。これにより、貼付皿Ｓ１及びレンズ１は第２揺動部材１２に対して、Ｚ方向の回りに回転自在となっている。
この場合、貼付皿Ｓ１の回転中心線（軸線Ｚ）が第２揺動部材１２の中心軸線と一致するように構成されている。

また、第１揺動部材１１の揺動中心である軸線Ｘと第２揺動部材１２の揺動中心である軸線Ｙとが直交した点（直交点Ｏ）は、軸線Ｙとレンズ保持部８の回転中心である軸線Ｚの線上にあり、レンズ１の外周辺の１点からの接線と軸線Ｚとの交点と、前記直交点Ｏ点とは一致あるいは接近するように設定されている。

貼付皿Ｓ１の下方には、工具９が対向するように配置されている。工具９の加工作用面９ａは、貼付皿Ｓ１に支持されたレンズ１の被加工面１ａと凹凸逆形状（本実施の形態では凹形状）となっており、この加工作用面９ａがレンズ１の被加工面１ａと接触して研磨を行う。

この工具９は研磨装置Ｍの下軸９ｂに取り付けられおり、この下軸９ｂがα方向に揺動運動、あるいは研磨装置Ｍのステー１０を支持した図示しない上軸が前後方向に揺動運動（β方向）することにより、レンズ１と工具９とが相対的に揺動運動自在になっている。
さらに、工具９を支持する研磨装置Ｍの下軸９ｂは回転運動自在となっている。

（作用）
以下、本実施の形態の貼付皿Ｓ１を備えたワーク保持装置Ｈおよび研磨装置Ｍの作用を説明する。
本実施の形態の研磨装置Ｍの場合、まず、貼付台座３の貼付面３ａに熱可塑性接着剤２を介して、たとえば、凸面形状のレンズ１の背面を貼り付けて下向きの姿勢で固定する。

次に、研磨装置Ｍの加圧機構（図示省略）によって上軸及びステー１０を下降方向に駆動することにより、貼付皿Ｓ１およびワーク保持装置Ｈを介してステー１０に支持されたレンズ１が下降して工具９に当接する。
このとき、貼付台座３の滑り面３ｃは滑り部材４を介して保持軸６のツバ下面６ｄと接触する。

さらにねじ穴３ｂおよびねじ端５ａにて連結された接続軸５は保持軸６の挿入穴６ｂに収容された規制環７に挿入される。ただし、接続軸５のフランジ部５ｂのみが規制環７を通り抜けるように挿入穴６ｂに挿入されるだけであり、接続軸５は保持軸６に固着されていない。

すなわち、熱可塑性接着剤２を介して貼付台座３に貼り付けられたレンズ１は、滑り部材４及び接続軸５を介して保持軸６に回動自在に保持されることになる。

次に、研磨装置Ｍの下軸９ｂおよび工具９を回転運動させる。このとき、レンズ１の被加工面１ａと工具９の加工作用面９ａの界面には研磨加工による回転抵抗が生じることにより、貼付台座３に貼り付けられたレンズ１には工具９と同じ方向に連れ回り（従属回転）させる回転モーメントが作用する。

このとき、本実施の形態の貼付皿Ｓ１では、貼付台座３と保持軸６の間に設けられた滑り部材４は、レンズ保持部８に設けられたベアリング１４の起動トルクより小さなトルクで、貼付台座３と保持軸６が相対的に回転可能となるような小さい摩擦係数を有する材料で構成されているため、レンズ１は貼付台座３と共に保持軸６に対して相対的に回転（従属回転）する。

ここで、研磨加工中はレンズ１の被加工面１ａと工具９の加工作用面９ａの間に供給される図示しない加工液に含まれる水分等の流体が滑り部材４と保持軸６の界面に介在するため、滑り部材４に関しては摩擦係数が小さく、水分等に対して耐性の高い材料が好ましく、フッ素系樹脂、特にテフロンが最も有効であるが、レンズ保持部８に設けられたベアリング１４の起動トルクより小さなトルクで相対的に配置された部材が回転可能となるような摩擦係数を有する材料であればもちろん問題ない。

ここで従属回転を生じたレンズ１および貼付台座３には回転モーメントにより、中心軸に対して垂直方向（Ｚ方向）にズレが生じようとするが、接続軸５の中心軸（Ｚ方向）に対して垂直方向のＸ−Ｙ平面内の動きは、接続軸５の継ぎ手５ｃの外周に接する規制環７により弾性的に規制されるため、レンズ１は安定して保持される。

このように、レンズ１および貼付台座３は、滑り部材４を介して保持軸６に対して滑るため、円滑で良好な従属回転が得られ、保持軸６が挿入保持されるベアリング１４は、レンズ１および貼付台座３の従属回転を副次的に補助する役割を果たす。

このため、起動トルクを小さくするためにベアリング１４の転動球の公転直径を小さくする必要が無く、ベアリング１４の寿命まで安定に稼働させることができる。

（効果）
本実施の形態によれば、貼付台座３と保持軸６との間に介在する滑り部材４によって、貼付皿Ｓ１の貼付台座３が、ベアリング１４の状態に関係なく、ベアリング１４の側に固定された保持軸６に対して滑らかに空転する。

このため、レンズ１が固定された貼付皿Ｓ１を回転自在に第２揺動部材１２に支持するベアリング１４における起動トルクの大小や稼働中における当該起動トルクの変動等に影響されることなく、いかなる場合でも貼付皿Ｓ１に固定されたレンズ１の工具９に対する円滑な従属回転を得ることができるため、レンズ１の研磨精度の向上を実現することができる。

貼付皿Ｓ１の保持軸６を支持するベアリング１４における振動の発生も防止される。
この結果、レンズ１の工具９に対する従属回転性を向上させるとともに、レンズ１の振動現象をなくして、研磨精度を向上させることが可能となる。

（実施の形態２）
図４は、本発明の他の実施の形態であるワーク貼付部材の構成例を示す断面図である。

（構成）
この実施の形態２では、弾性部材の変形に依存してレンズ１を傾動自在に押圧する保持手段を利用する構造の貼付皿Ｓ２（ワーク貼付部材）を例示する。

なお、本実施の形態２の説明では、研磨装置Ｍおよびワーク保持装置Ｈの構成は上述の実施の形態１と共通であり、実施の形態１における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付して重複した説明は省略する。

図４に例示されるように、本実施の形態２における貼付皿Ｓ２では、保持軸６と滑り部材４との間に、接続軸５が挿通される回転環２１および弾性材２２を配置した点が、上述の実施の形態１の貼付皿Ｓ１と異なっている。

すなわち、本実施の形態２の場合、保持軸６に形成されたツバ下面６ｄには外筒２３が、貼付台座３と同心円状に突設され、この外筒２３の内部に、Ｏリング等の弾性材２２が、外周部を全周にわたって支持されるように装着されている。

回転環２１には、弾性材２２に接する側に球面２１ａが形成され、反対側の滑り部材４に接する部分は、支持平面２１ｂが形成されている。

そして、この回転環２１の支持平面２１ｂには、アセタール樹脂であるポリアセタールや、テフロン（デュポン社の登録商標）等に代表されるフッ素樹脂など摩擦係数の小さな素材からなる滑り部材４が接している。

この実施の形態２の場合、回転環２１の球面２１ａは凸形状で形成され、その球心Ｏ２１は、貼付台座３に固定されたレンズ１の外周端を通り被加工面１ａに接する接線ｔと、レンズ１の回転軸Ｚとの交点（この場合、直交点Ｏ）に、一致（ほぼ一致する場合を含む）するように構成されている。

そして、本実施の形態の貼付皿Ｓ２では、回転環２１に接する弾性材２２は研磨のときにレンズ１が加工力によって傾斜するときの位置変化を吸収する働きをする。

また、本実施の形態の貼付皿Ｓ２では、回転環２１の、弾性材２２に接する球面２１ａが凸球面をなすように形成されていることにより、弾性材２２がレンズ１の位置変化を吸収する際に、弾性材２２の変形で任意の位置変化を実現するだけでなく、当該位置変化を回転環２１の球面２１ａに沿って発生させることができる。

（作用）
上述のような構成の本実施の形態２の貼付皿Ｓ２によって、たとえば、凸面形状のレンズ１の被加工面１ａを研磨加工すると、上述の実施の形態１と同様に回転環２１と貼付台座３との間に設けられた滑り部材４の効果により、ベアリング１４の起動トルク等に影響されることなく、小さな回転モーメントでも１の工具９に対する従属回転を得ることができる。

さらに本実施の形態２の貼付皿Ｓ２では、貼付台座３に覆いかぶさるように配置される回転環２１が、弾性材２２を介して保持軸６と滑り部材４の間に設置されているため、加圧機構を有する研磨装置Ｍの図示しない上軸により、ワーク保持装置Ｈを介して貼付皿Ｓ２の保持軸６に作用する加工圧力は弾性材２２を介して回転環２１に伝達されると同時に、研磨加工中に生じるレンズ１及び貼付台座３の位置変化を弾性材２２が吸収することができる。

さらに弾性材２２は回転環２１に設けられた球面２１ａに接するように配置されているため、レンズ１の任意の位置変化を実現するだけでなく、回転環２１の球面２１ａに沿ったレンズ１の位置変化をも発生させることができる。

すなわち、本実施の形態２の貼付皿Ｓ２では、研磨中において、レンズ１が最も安定しやすい姿勢となるようにワーク保持装置Ｈに保持されることになる。

（効果）
本実施の形態２の貼付皿Ｓ２によれば、上述の実施の形態１と同様の効果が得られるとともに、さらに、工具９から作用する加工力に応じてレンズ１の自在な位置変化を実現するとともに、レンズ１の被加工面１ａの形状に応じて、レンズ１が最も安定しやすい姿勢となるようにワーク保持装置Ｈに保持させることができる。

この結果、研磨装置Ｍにおいて、貼付皿Ｓ２を介してワーク保持装置Ｈに保持されたレンズ１の研磨精度の向上を実現できる。

以上説明したように、本発明の上述の各実施の形態によれば、いかなる形状のレンズ１であっても、レンズ１の工具９に対する円滑な従属回転を実現できるとともに、レンズ１の振動現象を防止できるため、レンズ１の研磨精度の向上を図ることができる。

なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、ワークとしてはレンズ１に限らず、一般の精密製品等の加工に広く適用できる。

（付記１）
光学素子の被加工面に工具の加工面が接触した状態で光学素子及び工具が相対的に揺動する研磨加工に用いる光学素子の貼付部材であって、
前記光学素子が貼り付けられる貼付面を形成し、貼付面と反対側の面に螺合部が設けられた貼付部と、
前記貼付部に設けた螺合部に螺合可能な螺合端部を備え、螺合部と対向して支持部を有する接続軸と、
ワーク保持装置に嵌合可能な円柱状の凸部と大径のツバ部が連設され、ツバ部には接続部が挿入可能な凹形状の挿入部が形成された保持軸と、
前記貼付部と保持軸との間に介在し両者を回転可能に継承する滑り部材と、
を有することを特徴とする光学素子の貼付部材。

（付記２）
光学素材の被加工面に工具の加工面が接触した状態で光学素子及び工具が相対的に揺動する研磨加工に用いる光学素材の貼付部材であって、
前記光学素子が貼り付けられる貼付面を形成し、貼付面と反対側の面に螺合部が設けられた貼付部と、
前記貼付部に設けた螺合部に螺合可能な螺合端部を備え、螺合部と対向して支持部を有する接続軸と、
接続部を貫通可能な空孔部を有する回転環と
ワーク保持装置に嵌合可能な円柱状の凸部と大径のツバ部が連設され、ツバ部には接続部が挿入可能な凹形状が形成された保持軸と、
保持軸と回転環を弾性的に保持する弾性部材と、
前記貼付部と保持軸との間に介在し両者を回転可能に継承する滑り部材と、
を有することを特徴とする光学素子の貼付部材。

（付記３）
付記２に記載の貼付部材において、
前記貼付部材の回転軸は前記工具の球心を概略通るように配置され、
前記回転環は、前記弾性部材に接する凸球面部を有し、前記凸球面部の球心は前記光学素子の外周端を通り被加工面に接する接線と、前記光学素子の回転軸との交点に一致していることを特徴とする光学素子の貼付部材。

１ レンズ
１ａ 被加工面
２ 熱可塑性接着剤
３ 貼付台座
３ａ 貼付面
３ｂ ねじ穴
３ｃ 滑り面
４ 滑り部材
５ 接続軸
５ａ 螺合端
５ｂ フランジ部
５ｃ 継ぎ手
６ 保持軸
６ａ ツバ部
６ｂ 挿入穴
６ｃ 保持部
６ｄ ツバ下面
６ｅ 保持溝
７ 規制環
８ レンズ保持部
９ 工具
９ａ 加工作用面
９ｂ 下軸
１０ ステー
１１ 第１揺動部材
１１ａ 屈曲先端部
１１ｂ 屈曲先端部
１２ 第２揺動部材
１２ａ 屈曲先端部
１２ｂ 屈曲先端部
１３ ピン
１４ ベアリング
１５ 押さえ部材
１６ ねじ
１７ ベアリング
１８ 取付軸
１９ スペーサ
２０ ナット
２１ 回転環
２１ａ 球面
２１ｂ 支持平面
２２ 弾性材
２３ 外筒
Ｈ ワーク保持装置
Ｍ 研磨装置
Ｏ２１ 回転環２１の球心
Ｓ１ 貼付皿
Ｓ２ 貼付皿
ｔ 接線

Claims (5)

1. ワーク保持装置に嵌合する基体部と、
   ワークが貼り付けられ、遊動結合手段を介して前記基体部に遊動自在に接続された貼付部と、
   前記貼付部と前記基体部との間に介在し、前記貼付部を前記基体部に対して相対的に回転可能にする滑り部材と、
   を具備することを特徴とするワーク貼付部材。
2. 請求項１記載のワーク貼付部材において、
   さらに、前記基体部と前記滑り部材との間には、前記遊動結合手段が挿通された、前記基体部の側に接する球面を有する回転環を備えたことを特徴とするワーク貼付部材。
3. 請求項２記載のワーク貼付部材において、
   前記回転環の前記球面の中心は、前記ワークにおける球形の被加工面の外周端における接線と前記ワークの中心軸との交点に一致していることを特徴とするワーク貼付部材。
4. 請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のワーク貼付部材において、
   前記遊動結合手段は、
   前記貼付部に突設された、先端にフランジ部が設けられた接続軸と、
   前記基体部に穿設され、前記接続軸が挿入される挿入穴と、
   前記挿入穴の内部に設けられ、前記接続軸の前記フランジ部に嵌合する規制環と、
   を含むことを特徴とするワーク貼付部材。
5. ワーク貼付部材を介してワーク保持装置に支持されたワークの被加工面に工具の加工面を接触させて、前記ワークの前記被加工面に対して前記工具の前記加工面を相対的に揺動させる研磨加工方法であって、
   前記ワークを前記ワーク保持装置に対して相対的に滑り変位自在にすることを特徴とする研磨加工方法。