JP2002079449A

JP2002079449A - 研磨姿勢制御機構

Info

Publication number: JP2002079449A
Application number: JP2000273244A
Authority: JP
Inventors: Masaharu Mori; 正春森; Akihiro Fuchigami; 明弘渕上
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2000-09-08
Filing date: 2000-09-08
Publication date: 2002-03-19

Abstract

(57)【要約】【課題】研磨対象部材の姿勢を制御することにより、
研磨対象部材の研磨面の法線方向が変化しても研磨条件
が一定になるようにして均質な研磨加工ができるし、治
具の大型化も防ぐことができる研磨姿勢制御機構を提供
する。【解決手段】回転研磨工具により曲面形状の表面を研
磨加工される研磨対象部材の姿勢を制御する研磨姿勢制
御機構において、片持ち支持部材２と、片持ち支持部材
２により支持されて揺動するスインガ４と、スインガ４
を揺動させるコロ軸受付きダイレクトドライブモータ３
と、スインガ４の揺動中心軸Ｊと直交方向でスイングベ
ース５と平行な面内に揺動中心軸を持つサブスインガ６
と、スインガ４の揺動角規制用センサ８とを備え、研磨
対象部材10をサブスインガ６に載置させて揺動する構成
にした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転研磨工具によ
り表面を研磨加工される光学部材など研磨対象部材の研
磨時の姿勢を制御する研磨姿勢制御機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転研磨工具により光学部材などの表面
を研磨加工する場合、従来は、回転研磨工具と研磨対象
部材との関係が固定されているのが普通で、まれに、特
開平08−197404号公報に示されているように、両端支持
部材で支持して研磨対象部材を揺動する方法が用いられ
ている。特開平08−197404号公報に示された研磨制御方
法では、図７に示したように、Z軸スライド61のベアリ
ングスライド63に、自重によって鉛直方向に下降自在な
加圧軸62を嵌装し、その下端に工具64を取り付ける。そ
して、被加工物65の加工面の法線方向が鉛直方向となる
よう、被加工物65の姿勢を制御する。これにより、工具
64の接触圧力は前記軸の自重を利用して発生させること
ができ、専用の加圧手段が不要となる。一方、Z軸スラ
イド61の移動方向は、加工を行なっている間は下降させ
続けるか上昇させ続けるかのいずれか一方に保つ。これ
により、Z軸スライド61が加圧軸62に与える動摩擦力の
方向が一定になるので、接触圧力の大きさが加工の途中
で変化せず、精密な加工が可能となる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た、回転研磨工具と研磨対象部材との関係が固定されて
いる従来技術では、研磨対象部材の形状によって（自由
曲面や湾曲面）研磨工具の作用する方向と研磨力を発生
させたい方向とが異なり、PRESTONの経験則に基づいた
効率的な研磨ができず、研磨品質が変化してしまうこと
が多い。また、特開平08−197404号公報に示された従来
技術では、両端を支持するので、精度・剛性は向上する
が、治具が大型・重量化して消費電力が増加するし、２
面しか開いていないので作業性が低下する。本発明の目
的は、このような従来技術の問題を解決し、研磨対象部
材の姿勢を制御することにより、研磨対象部材の研磨面
の法線方向が変化しても研磨条件が一定になるようにし
て均質な研磨加工ができ、治具の大型化も防ぐことがで
き、それにより、追随性を向上して加工精度を向上する
ことができ、電力消費量を低減することができ、作業性
もよい研磨姿勢制御機構を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めに、請求項１記載の発明では、回転研磨工具により曲
面形状の表面を研磨加工される研磨対象部材の姿勢を制
御する研磨姿勢制御機構において、片持ち支持手段と、
前記片持ち支持手段により支持されて揺動する揺動部材
と、前記揺動部材を揺動させる駆動手段とを備え、研磨
対象部材を前記揺動部材に載置させる構成にした。ま
た、請求項２記載の発明では、請求項１記載の発明にお
いて、ダイレクトドライブモータにより直接駆動して揺
動部材を揺動させる構成にした。また、請求項３記載の
発明では、請求項１記載の発明において、ＡＣサーボモ
ータおよびそのＡＣモータにより駆動されるタイミング
ベルトを備え、そのタイミングベルトにより駆動して揺
動部材を揺動させる構成にした。また、請求項４記載の
発明では、請求項１記載の発明において、ＡＣサーボモ
ータおよびそのＡＣモータにより駆動される歯車伝動機
構を備え、その歯車伝動機構により駆動して揺動部材を
揺動させる構成にした。また、請求項５記載の発明で
は、請求項１記載の発明において、ＡＣサーボモータお
よびそのＡＣサーボモータにより駆動される摩擦伝動機
構を備え、その摩擦伝動機構により駆動して揺動部材を
揺動させる構成にした。また、請求項６記載の発明で
は、請求項１記載の発明において、ダイレクトドライブ
モータおよびそのダイレクトドライブモータにより駆動
される摩擦伝動機構を備え、その摩擦伝動機構により駆
動して揺動部材を揺動させる構成にした。また、請求項
７記載の発明では、請求項１記載の発明において、空気
圧シリンダまたは油圧シリンダ、およびその空気圧シリ
ンダまたは油圧シリンダにより駆動されるラック・ピニ
オン伝動機構を備え、そのラック・ピニオン伝動機構に
より駆動して揺動部材を揺動させる構成にした。また、
請求項８記載の発明では、請求項２乃至請求項７記載の
発明において、ころがりまたは滑りによる回転軸受を用
いた。また、請求項９記載の発明では、請求項２乃至請
求項７記載の発明において、回転軸受として静圧軸受を
用いた。また、請求項10記載の発明では、請求項２乃至
請求項９記載の発明において、揺動部材の円弧状の揺動
を案内する円弧状の直動案内部材を用いた。また、請求
項11記載の発明では、請求項２乃至請求項10記載の発明
において、揺動部材にバランサを備えた。また、請求項
12記載の発明では、請求項２乃至請求項11記載の発明に
おいて、揺動速度を変化させる速度制御手段を備えた。

【０００５】

【作用】前記のように構成したので、請求項１記載の発
明では、片持ち支持手段により支持された揺動部材が揺
動し、それにより、前記揺動部材に載置された研磨対象
部材が揺動する。請求項２記載の発明では、請求項１記
載の発明において、ダイレクトドライブモータにより直
接駆動されて揺動部材が揺動する。請求項３記載の発明
では、請求項１記載の発明において、ＡＣサーボモータ
によりタイミングベルトが駆動され、そのタイミングベ
ルトにより駆動されて揺動部材が揺動する。請求項４記
載の発明では、請求項１記載の発明において、ＡＣサー
ボモータにより歯車伝動機構が駆動され、その歯車伝動
機構により駆動されて揺動部材が揺動する。請求項５記
載の発明では、請求項１記載の発明において、ＡＣサー
ボモータにより摩擦伝動機構が駆動され、その摩擦伝動
機構により駆動されて揺動部材が揺動する。請求項６記
載の発明では、請求項１記載の発明において、ダイレク
トドライブモータにより摩擦伝動機構が駆動され、その
摩擦伝動機構により駆動されて揺動部材が揺動する。請
求項７記載の発明では、請求項１記載の発明において、
空気圧シリンダまたは油圧シリンダによりラック・ピニ
オン伝動機構が駆動され、そのラック・ピニオン伝動機
構により駆動されて揺動部材が揺動する。請求項８記載
の発明では、請求項２乃至請求項７記載の発明におい
て、ころがりまたは滑りによる回転軸受を用いた回転軸
の回転により揺動部材が揺動する。請求項９記載の発明
では、請求項２乃至請求項７記載の発明において、静圧
軸受を用いた回転軸の回転により揺動部材が揺動する。
請求項10記載の発明では、請求項２乃至請求項９記載の
発明において、円弧状の直動案内部材に案内されて揺動
部材が円弧状に揺動する。請求項11記載の発明では、請
求項２乃至請求項10記載の発明において、揺動部材にバ
ランサが備えられている。請求項12記載の発明では、請
求項２乃至請求項11記載の発明において、揺動速度を変
化させることができる。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の実施の
形態を詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形
態を示す研磨姿勢制御機構の構成図である。図示したよ
うに、この実施の形態の研磨姿勢制御機構は、固定ベー
ス１、その固定ベース１に固定して設けた片持ち支持部
材２、その片持ち支持部材２に回転軸（出力軸）が水平
方向になるように取り付けられて揺動部材を揺動させる
駆動手段であるコロ軸受付きダイレクトドライブモータ
（以下、ＤＤモータと称す）３、そのＤＤモータ３の回
転軸の端部に揺動可能に固定された揺動部材であるスイ
ンガ４、スインガ４の揺動角規制用センサ８などを備
え、そのスインガ４は、スイングベース５、そのスイン
グベース５上に固定されたサブスインガ６、研磨対象部
材10を磁気吸着するマグネットベッド７などから構成さ
れている。なお、マグネットベッド７を用いるのは、研
磨対象物が成型用の金型などの場合である。また、前記
サブスインガ６は，スインガ４の揺動中心軸Ｊと直交方
向でスイングベース５と平行な面内に揺動中心軸を持
ち、スインガ４と直交方向に揺動可能に配置してある。
また、ＤＤモータ３の回転軸はころがりによる回転軸
受、つまりコロ軸受により回転可能に支持部材２に取り
付けられているが、すべりによる回転軸受などを用いて
もよい。なお、マグネットベッド７に固定された研磨対
象部材10の研磨対象面は自由曲面形状である。このよう
な構成で、図示していない回転研磨工具により研磨対象
部材10の研磨面を研磨するとき、ＤＤモータ３は例えば
まず正方向に回転し、これにより、スインガ４が揺動中
心軸Ｊを中心として一方の方向に回転する。そして、セ
ンサ８がスインガ４の幅方向（図１(a)において左右方
向）の端部を検出すると、図示していない制御部がそれ
を認識し、ＤＤモータ３の回転方向を逆方向に変える。
そうすると、スインガ４がこれまでとは逆方向に回転
し、やがて他方のセンサ８がスインガ４の他方の端部を
検出して、揺動を繰り返す。

【０００７】一方、図示していない他のモータがＤＤモ
ータ３に比べて充分に長い周期で回転方向を変えなが
ら、揺動中心軸Ｊと平行な長手方向を持つ送りねじを回
転させ、これにより、サブスインガ６がスインガ４に比
べて充分に長い周期で揺動する。研磨対象部材10の研磨
面内の研磨位置は図示していない３軸位置決め機構で固
定ベース１ごと位置決めする。この研磨位置の変化によ
り、もし、研磨対象部材10の姿勢を固定にするならば、
研磨位置における研磨面の法線方向と回転研磨工具の加
圧方向とは不一致状態になるが（研磨面が曲面であるた
め）、前記のように揺動部材を揺動させることにより研
磨対象部材10の姿勢を変え、研磨位置における研磨面の
法線方向を回転研磨工具の加圧方向に常に一致させるこ
とができる。このように第１の実施の形態によれば、研
磨位置が変化しても研磨条件が一定となり、したがっ
て、均質な研磨加工ができるし、片持ち構造であるの
で、治具の大型化を防ぐことができ、それにより、追随
性を向上して加工精度を向上することができ、電力消費
量を低減することができる。また、作業性も良くなる。
また、ダイレクトドライブモータで駆動するので、構造
が簡単になる。

【０００８】図２は本発明の第２の実施の形態を示す研
磨姿勢制御機構の構成図である。図示したように、この
実施の形態の研磨姿勢制御機構は、固定ベース11、その
固定ベース11に固定して設けた片持ち支持部材12、その
片持ち支持部材12に回転軸が水平方向になるように取り
付けられたＤＤモータ13、そのＤＤモータ13の回転軸
（出力軸）と同軸に設けたピニオンローラ19、そのピニ
オンローラに圧接して揺動する揺動部材であるスインガ
14、スインガ14の揺動角規制用センサ18などを備え、そ
のスインガ14は、スイングベース15、研磨対象部材10を
磁気吸着するマグネットベッド17とで構成される。スイ
ンガ14は図示したように半円筒形状を成し、ＤＤモータ
12の回転軸（出力軸）と同軸のピニオンローラ19に圧接
するのである。圧接している円筒部は、研磨またはラッ
ピングにより超精密円筒を成し、摩擦伝動機構（トラク
ション・ドライブ）を構成する。なお、マグネットベッ
ド17に固定された研磨対象部材10の研磨面は自由曲面形
状である。このような構成で、図示していない回転研磨
工具により研磨対象部材10の研磨面を研磨するとき、Ｄ
Ｄモータ13は例えばまず正方向に回転し、これにより、
ピニオンローラ19を介してスインガ14が一方の方向に回
転する。そして、センサ18がスインガ14の幅方向（図２
(a)において左右方向）の端部を検出すると、図示して
いない制御部がそれを認識し、ＤＤモータ13の回転方向
を逆方向に変える。そうすると、スインガ14がこれまで
とは逆方向に回転し、やがて他方のセンサ18がスインガ
14の他方の端部を検出して、揺動を繰り返す。このよう
にすることで、第１の実施の形態と同様にして、揺動部
材であるスインガ14を揺動させることにより研磨対象部
材の姿勢を変え、研磨位置における研磨面の法線方向を
回転研磨工具の加圧方向に常に一致させることができ、
第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。ま
た、ダイレクトドライブモータ駆動および摩擦伝動であ
るので、位置精度の高精度化が図れる。なお、この実施
の形態で、ＤＤモータをＡＣサーボモータに置き換えた
構成も可能で、このような構成では、細かな制御ができ
る上にダイレクト駆動であるので、超高精度化が図られ
る。

【０００９】図３は本発明の第３の実施の形態を示す研
磨姿勢制御機構の構成図である。この実施の形態の研磨
姿勢制御機構は、ＡＣサーボモータおよびそのＡＣサー
ボモータにより駆動されるタイミングベルトまたは歯車
伝動機構を備え、そのタイミングベルトまたは歯車伝動
機構により駆動して揺動部材を揺動させる。図３に示し
たように、固定ベース21、その固定ベース21に固定して
設けた片持ち支持部材22、その片持ち支持部材22にスイ
ンガ24の回転軸が水平方向になるように取り付け、その
回転軸をＡＣサーボモータ23によりタイミングベルト
（または歯車伝動機構）29を介して駆動するのである。
こうして、第３の実施の形態によれば、ＡＣサーボモー
タを周期的に回転方向を変えながら両方向に回転させ、
第１の実施の形態と同様にして、揺動部材であるスイン
ガ24を揺動させることにより研磨対象部材の姿勢を変
え、研磨位置における研磨面の法線方向を回転研磨工具
の加圧方向に常に一致させることができ、第１の実施の
形態と同様の効果を得ることができる。また、ＡＣサー
ボモータを用いているので、細かな制御が可能になる。
また、タイミングベルトを用いた構成では、騒音が少な
くなり、歯車伝動機構を用いた構成では、タイミングベ
ルトの場合に比べ小型になる。図４は本発明の第４の実
施の形態を示す研磨姿勢制御機構の構成図である。この
実施の形態の研磨姿勢制御機構は、空気圧シリンダまた
は油圧シリンダ、およびその空気圧シリンダまたは油圧
シリンダにより駆動されるラック・ピニオン伝動機構を
備え、そのラック・ピニオン伝動機構により駆動して揺
動部材を揺動させる構成にしている。図４に示したよう
に、固定ベース31、その固定ベース31に固定して設けた
片持ち支持部材32、その片持ち支持部材32にスインガ34
の回転軸が水平方向になるように取り付け、その回転軸
を空気圧または油圧のシリンダ33により、ラック34およ
びピニオン35を介して駆動するのである。こうして、第
４の実施の形態によれば、シリンダ33によりラック34を
周期的に方向を変えながら両方向に移動させ、それによ
りピニオン35を両方向に回転させ、第１の実施の形態と
同様にして、揺動部材であるスインガ24を揺動させるこ
とにより研磨対象部材の姿勢を変え、研磨位置における
研磨面の法線方向を回転研磨工具の加圧方向に常に一致
させることができ、第１の実施の形態と同様の効果を得
ることができる。また、シリンダ、ラックおよびピニオ
ンを用いているので、大トルクを安価に実現することが
できる。

【００１０】図５は本発明の第５の実施の形態を示す研
磨姿勢制御機構の構成図である。この実施の形態の研磨
姿勢制御機構は、揺動部材であるスインガの揺動を案内
する円弧状の直動案内部材を備える。図５に示したよう
に、固定ベース41、その固定ベース41に固定して設けた
片持ち支持部材42、その片持ち支持部材42に直動案内部
材を構成している円弧状直動レール45を固定して設け、
スインガ44には直動案内部材を構成している円弧状直動
ブロック46を固定して設け、スインガ44が例えばピニオ
ンローラ19の両方向の回転により揺動するとき、円弧状
直動ブロック46が円弧状直動レール45に嵌合して回転す
ることによりスインガ44が正確に（計算通りに）円弧状
に揺動するように案内する。なお、この第５の実施の形
態は第１乃至第４の各実施の形態に併せて実施すること
ができる。こうして、第５の実施の形態によれば、スイ
ンガ44が計算通りに揺動するので、より均一に研磨する
ことができる。図６は本発明の第６の実施の形態を示す
研磨姿勢制御機構の構成図である。この実施の形態の研
磨姿勢制御機構は、前記各実施の形態において揺動部材
にバランサを備える。図６に示したように、固定ベース
51、その固定ベース51に固定して設けた片持ち支持部材
52、その片持ち支持部材52に支持され、図示していない
駆動手段により駆動されて揺動するスインガ54を備え、
スインガ54にはその回転軸に対して研磨対象部材10が固
定される位置とは反対側にバランサ55を固定して設け
る。こうして、第６の実施の形態によれば、バランサを
設けたことにより、駆動源やタイミングベルトなど減速
手段の負荷変動を少なくすることができ、速度むらを少
なくすることができる。なお、以上の各実施の形態にお
ける回転軸受はころがり軸受だけでなく、滑り軸受や静
圧軸受も可能である。静圧軸受とは、空気圧を用いて軸
を非接触状態に保つ軸受方式である。また、以上の各実
施の形態において、揺動速度を変化させる速度制御手段
を備えた構成も可能である。研磨が不十分である箇所が
明らかになった時点で、モータ制御プログラムを変更す
ることにより、研磨が不十分な箇所では、例えばステッ
ピングモータの場合で言えばモータに与えるクロックの
周波数を低くして揺動速度を遅くしたりするのである。

【００１１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は以下のよ
うな効果を奏する。請求項１記載の発明では、片持ち支
持手段により支持された揺動部材が揺動し、それによ
り、前記揺動部材に載置された研磨対象部材が揺動する
ので、研磨対象部材の研磨面の法線方向が変化しても研
磨条件が一定になるようにすることができ、したがっ
て、均一な研磨加工ができるし、片持ち支持であるため
治具の大型化も防ぐことができ、したがって、追随性を
向上して加工精度を向上することができるし、電力消費
量を低減することができ、作業性もよくなる。また、請
求項２記載の発明では、請求項１記載の発明において、
ダイレクトドライブモータにより直接駆動されて揺動部
材が揺動するので、構造が簡単になる。また、請求項３
記載の発明では、請求項１記載の発明において、ＡＣサ
ーボモータによりタイミングベルトが駆動され、そのタ
イミングベルトにより駆動されて揺動部材が揺動するの
で、細かな制御が可能になるし、騒音が少なくなる。ま
た、請求項４記載の発明では、請求項１記載の発明にお
いて、ＡＣサーボモータにより歯車伝動機構が駆動さ
れ、その歯車伝動機構により駆動されて揺動部材が揺動
するので、細かな制御が可能になるし、タイミングベル
トに比べると、小型になる。また、請求項５記載の発明
では、請求項１記載の発明において、ＡＣサーボモータ
により摩擦伝動機構が駆動され、その摩擦伝動機構によ
り駆動されて揺動部材が揺動するので、極めて精密な制
御が可能になる。また、請求項６記載の発明では、請求
項１記載の発明において、ダイレクトドライブモータに
より摩擦伝動機構が駆動され、その摩擦伝動機構により
駆動されて揺動部材が揺動するので、細かな制御が可能
になる。

【００１２】また、請求項７記載の発明では、請求項１
記載の発明において、空気圧シリンダまたは油圧シリン
ダによりラック・ピニオン伝動機構が駆動され、そのラ
ック・ピニオン伝動機構により駆動されて揺動部材が揺
動するので、大トルクを安価に実現することができる。
また、請求項８記載の発明では、請求項２乃至請求項７
記載の発明において、ころがりまたは滑りによる回転軸
受を用いた回転軸の回転により揺動部材が揺動するの
で、高剛性な回転機構を実現できる。また、請求項９記
載の発明では、請求項２乃至請求項７記載の発明におい
て、静圧軸受を用いた回転軸の回転により揺動部材が揺
動するので、極めて精密な制御を行なうことができる。
また、請求項10記載の発明では、請求項２乃至請求項９
記載の発明において、円弧状の直動案内部材に案内され
て揺動部材が計算通りに正確に円弧状に揺動するので、
予めプログラミングした通りに均一に研磨することがで
きる。また、請求項11記載の発明では、請求項２乃至請
求項10記載の発明において、揺動部材にバランサが備え
られているので、駆動源や減速機構の負荷変動を少なく
することができ、したがって、速度むらを少なくするこ
とができる。また、請求項12記載の発明では、請求項２
乃至請求項11記載の発明において、揺動速度を変化させ
ることができるので、例えば、研磨が不十分である箇所
が明らかになった時点でモータ制御プログラムを変更し
て、研磨が不十分な箇所で揺動速度を遅くすることによ
り、均一な研磨を実現したりすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態を示す研磨姿勢制御
機構の構成図である。

【図２】本発明の第２の実施の形態を示す研磨姿勢制御
機構の構成図である。

【図３】本発明の第３の実施の形態を示す研磨姿勢制御
機構の構成図である。

【図４】本発明の第４の実施の形態を示す研磨姿勢制御
機構の構成図である。

【図５】本発明の第５の実施の形態を示す研磨姿勢制御
機構の構成図である。

【図６】本発明の第６の実施の形態を示す研磨姿勢制御
機構の構成図である。

【図７】従来技術の一例を示す研磨姿勢制御機構の構成
図である。

【符号の説明】

１固定ベース、２片持ち支持部材、３コロ軸受付
きダイレクトドライブモータ、４スインガ、６サブ
スインガ、７マグネットベッド、８揺動角規制用セ
ンサ、10 研磨対象部材、11 固定ベース、12 片持ち
支持部材、13 コロ軸受付きダイレクトドライブモー
タ、14 スインガ、19 ピニオンローラ、22片持ち支持
部材、23 ＡＣサーボモータ、33 シリンダ、34 ラッ
ク、35 ピニオン、44 スインガ、45 円弧状直動レー
ル、46 円弧状直動ブロック、55バランサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転研磨工具により曲面形状の表面を研
磨加工される研磨対象部材の姿勢を制御する研磨姿勢制
御機構において、片持ち支持手段と、前記片持ち支持手
段により支持されて揺動する揺動部材と、前記揺動部材
を揺動させる駆動手段とを備え、研磨対象部材を前記揺
動部材に載置させる構成にしたことを特徴とする研磨姿
勢制御機構。
【請求項２】請求項１記載の研磨姿勢制御機構におい
て、ダイレクトドライブモータにより直接駆動して揺動
部材を揺動させる構成にしたことを特徴とする研磨姿勢
制御機構。
【請求項３】請求項１記載の研磨姿勢制御機構におい
て、ＡＣサーボモータおよびそのＡＣモータにより駆動
されるタイミングベルトを備え、そのタイミングベルト
により駆動して揺動部材を揺動させる構成にしたことを
特徴とする研磨姿勢制御機構。
【請求項４】請求項１記載の研磨姿勢制御機構におい
て、ＡＣサーボモータおよびそのＡＣモータにより駆動
される歯車伝動機構を備え、その歯車伝動機構により駆
動して揺動部材を揺動させる構成にしたことを特徴とす
る研磨姿勢制御機構。
【請求項５】請求項１記載の研磨姿勢制御機構におい
て、ＡＣサーボモータおよびそのＡＣサーボモータによ
り駆動される摩擦伝動機構を備え、その摩擦伝動機構に
より駆動して揺動部材を揺動させる構成にしたことを特
徴とする研磨姿勢制御機構。
【請求項６】請求項１記載の研磨姿勢制御機構におい
て、ダイレクトドライブモータおよびそのダイレクトド
ライブモータにより駆動される摩擦伝動機構を備え、そ
の摩擦伝動機構により駆動して揺動部材を揺動させる構
成にしたことを特徴とする研磨姿勢制御機構。
【請求項７】請求項１記載の研磨姿勢制御機構におい
て、空気圧シリンダまたは油圧シリンダ、およびその空
気圧シリンダまたは油圧シリンダにより駆動されるラッ
ク・ピニオン伝動機構を備え、そのラック・ピニオン伝
動機構により駆動して揺動部材を揺動させる構成にした
ことを特徴とする研磨姿勢制御機構。
【請求項８】請求項２乃至請求項７記載の研磨姿勢制
御機構において、ころがりまたは滑りによる回転軸受を
用いたことを特徴とする研磨姿勢制御機構。
【請求項９】請求項２乃至請求項７記載の研磨姿勢制
御機構において、回転軸受として静圧軸受を用いたこと
を特徴とする研磨姿勢制御機構。
【請求項１０】請求項２乃至請求項９記載の研磨姿勢
制御機構において、揺動部材の円弧状の揺動を案内する
円弧状の直動案内部材を用いたことを特徴とする研磨姿
勢制御機構。
【請求項１１】請求項２乃至請求項10記載の研磨姿勢
制御機構において、揺動部材にバランサを備えたことを
特徴とする研磨姿勢制御機構。
【請求項１２】請求項２乃至請求項11記載の研磨姿勢
制御機構において、揺動速度を変化させる速度制御手段
を備えたことを特徴とする研磨姿勢制御機構。