JP2001025949A - 研磨工具 - Google Patents
研磨工具Info
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- JP2001025949A JP2001025949A JP11198305A JP19830599A JP2001025949A JP 2001025949 A JP2001025949 A JP 2001025949A JP 11198305 A JP11198305 A JP 11198305A JP 19830599 A JP19830599 A JP 19830599A JP 2001025949 A JP2001025949 A JP 2001025949A
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- JP
- Japan
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- tool
- polishing
- small
- holding member
- diameter
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- Pending
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- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小径工具の追随性を向上させ、加工点に研磨
液を確実に供給する。 【解決手段】 小面積の研磨面を有する工具本体１０
は、ベアリング２４を介して磁石２１によって工具ホル
ダ２０に回転自在に支持される。工具ホルダ２０は、磁
石２１によって、支持体３０に吸着され、凸球面２０ａ
と凹球面３０ａの間に保持された球体３１によって、揺
動自在である。工具本体１０と、工具ホルダ２０と支持
体３０の中心に設けられた穴３３ａ〜３３ｃにはチュー
ブ３５が挿入され、ホース口３４から供給された研磨液
を工具本体１０の研磨面に噴出する。
液を確実に供給する。 【解決手段】 小面積の研磨面を有する工具本体１０
は、ベアリング２４を介して磁石２１によって工具ホル
ダ２０に回転自在に支持される。工具ホルダ２０は、磁
石２１によって、支持体３０に吸着され、凸球面２０ａ
と凹球面３０ａの間に保持された球体３１によって、揺
動自在である。工具本体１０と、工具ホルダ２０と支持
体３０の中心に設けられた穴３３ａ〜３３ｃにはチュー
ブ３５が挿入され、ホース口３４から供給された研磨液
を工具本体１０の研磨面に噴出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ミラーやレンズ等
の光学素子の曲面等を研磨加工するための研磨工具に関
するものである。
の光学素子の曲面等を研磨加工するための研磨工具に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】各種光学機器に用いられるミラーやレン
ズ等の曲面を研磨する加工方法として、ワークの被加工
面に比べて充分小さい外径の小径工具を用いるいわゆる
ローカル研磨法が知られている。
ズ等の曲面を研磨する加工方法として、ワークの被加工
面に比べて充分小さい外径の小径工具を用いるいわゆる
ローカル研磨法が知られている。
【０００３】図３は従来のローカル研磨法に用いられる
小径工具を示すもので、これは、図示下向きの研磨面を
有するポリシャ１１１と、緩衝材１１２と、ポリシャ支
持部材１１３からなる工具本体１１０と、複数個の球体
１２１を工具本体１１０に当接するホルダ１２０を備え
ている。
小径工具を示すもので、これは、図示下向きの研磨面を
有するポリシャ１１１と、緩衝材１１２と、ポリシャ支
持部材１１３からなる工具本体１１０と、複数個の球体
１２１を工具本体１１０に当接するホルダ１２０を備え
ている。
【０００４】ポリシャ支持部材１１３とホルダ１２０間
に案内部材１２２があり、複数個の球体１２１によって
工具本体１１０は回転自在となっている。ポリシャ支持
部材１１３の凸球面１１３ａの中央には、工具本体１１
０を中心軸Ｏのまわりに回転させるための回転伝達部材
１３０が固定されている。この回転伝達部材１３０は、
円弧状の溝部１３１とピン１３２からなるユニバーサル
ジョイントによって揺動自在に構成されている。
に案内部材１２２があり、複数個の球体１２１によって
工具本体１１０は回転自在となっている。ポリシャ支持
部材１１３の凸球面１１３ａの中央には、工具本体１１
０を中心軸Ｏのまわりに回転させるための回転伝達部材
１３０が固定されている。この回転伝達部材１３０は、
円弧状の溝部１３１とピン１３２からなるユニバーサル
ジョイントによって揺動自在に構成されている。
【０００５】また、ホルダ１２０と工具本体１１０の間
の空間はシール部材１４０によって密封されている。
の空間はシール部材１４０によって密封されている。
【０００６】図示しないワークの被加工面とポリシャ１
１１の間には、研磨工具の側傍に配置されたノズル等か
ら、研磨屑除去等を促進して研磨ムラや加工効率の低下
を防ぐための研磨液が供給される。
１１の間には、研磨工具の側傍に配置されたノズル等か
ら、研磨屑除去等を促進して研磨ムラや加工効率の低下
を防ぐための研磨液が供給される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、研磨時に研磨工具の研磨面とワークの
接する部分（加工点）に外部から研磨液を供給するた
め、特に研磨工具の加圧力が大きい場合や、運動速度が
速い等の加工条件においては、研磨工具の研磨面とワー
クの被加工面の間に研磨液が充分に供給されない状況が
生ずる。
の技術によれば、研磨時に研磨工具の研磨面とワークの
接する部分（加工点）に外部から研磨液を供給するた
め、特に研磨工具の加圧力が大きい場合や、運動速度が
速い等の加工条件においては、研磨工具の研磨面とワー
クの被加工面の間に研磨液が充分に供給されない状況が
生ずる。
【０００８】また、研磨工具を回転させるための回転伝
達部材がユニバーサルジョイントを有するため、曲率半
径の小さなワークを研磨する時などには、ジョイント部
の摩擦抵抗のために充分な追随性が得られないという未
解決の課題もある。
達部材がユニバーサルジョイントを有するため、曲率半
径の小さなワークを研磨する時などには、ジョイント部
の摩擦抵抗のために充分な追随性が得られないという未
解決の課題もある。
【０００９】さらに、ホルダの案内部においても、球体
が回転するときの球体と案内部材の摩擦が大きくて、曲
率半径の小さなワークを研磨する時や、高速回転での研
磨には不向きである。
が回転するときの球体と案内部材の摩擦が大きくて、曲
率半径の小さなワークを研磨する時や、高速回転での研
磨には不向きである。
【００１０】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、いかなる条件下にお
いても充分に加工点に研磨液を供給でき、さらには研磨
工具の動きをスムーズにして追随性を大幅に向上させる
ことのできる高性能な研磨工具を提供することを目的と
するものである。
課題に鑑みてなされたものであり、いかなる条件下にお
いても充分に加工点に研磨液を供給でき、さらには研磨
工具の動きをスムーズにして追随性を大幅に向上させる
ことのできる高性能な研磨工具を提供することを目的と
するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の研磨工具は、小面積の研磨面を有する小径工具
本体と、該小径工具本体を保持する工具保持部材と、該
工具保持部材を揺動自在に支持する球面状の案内部を備
えた支持手段と、該支持手段を介して前記小径工具本体
を被加工物に押圧する加圧手段を有し、前記小径工具本
体と前記工具保持部材と前記支持手段が、互いに連通す
る内部配管を備えており、前記支持手段に接続された研
磨液供給源から前記内部配管を通して研磨液が前記小径
工具本体の前記研磨面に噴出されるように構成されてい
ることを特徴とする。
本発明の研磨工具は、小面積の研磨面を有する小径工具
本体と、該小径工具本体を保持する工具保持部材と、該
工具保持部材を揺動自在に支持する球面状の案内部を備
えた支持手段と、該支持手段を介して前記小径工具本体
を被加工物に押圧する加圧手段を有し、前記小径工具本
体と前記工具保持部材と前記支持手段が、互いに連通す
る内部配管を備えており、前記支持手段に接続された研
磨液供給源から前記内部配管を通して研磨液が前記小径
工具本体の前記研磨面に噴出されるように構成されてい
ることを特徴とする。
【００１２】工具保持部材が、小径工具本体を吸着保持
するための磁気手段を備えており、該磁気手段によって
前記工具保持部材が支持手段に吸着されているとよい。
するための磁気手段を備えており、該磁気手段によって
前記工具保持部材が支持手段に吸着されているとよい。
【００１３】支持手段の案内部と工具保持部材の間に複
数の球体が配設されているとよい。
数の球体が配設されているとよい。
【００１４】内部配管が、小径工具本体から支持手段ま
でのびるチューブを備えているとよい。
でのびるチューブを備えているとよい。
【００１５】内部配管を通る研磨液の一部分が、支持手
段と工具保持部材の間に流出するように構成されていて
もよい。
段と工具保持部材の間に流出するように構成されていて
もよい。
【００１６】
【作用】小面積の研磨面を有する小径工具本体とこれを
保持する工具保持部材等の内部配管を通って、研磨面に
研磨液を噴出する。加圧手段から研磨工具に与えられる
加圧力が大きくても、被加工物との間に確実に研磨液を
供給して、研磨ムラや研磨除去量の変動を防ぐことがで
きる。
保持する工具保持部材等の内部配管を通って、研磨面に
研磨液を噴出する。加圧手段から研磨工具に与えられる
加圧力が大きくても、被加工物との間に確実に研磨液を
供給して、研磨ムラや研磨除去量の変動を防ぐことがで
きる。
【００１７】これによって、加工効率が高く、しかも高
精度で安定した研磨加工を行なうことができる。
精度で安定した研磨加工を行なうことができる。
【００１８】また、小径工具本体を保持する工具保持部
材を、磁気手段によって支持手段に吸着し、該支持手段
との間に球体や、内部配管から供給される研磨液の一部
を介在させる構成であるため、小径工具本体がスムーズ
に揺動自在であり、被加工物の被加工面に対する追随性
が極めて良好である。
材を、磁気手段によって支持手段に吸着し、該支持手段
との間に球体や、内部配管から供給される研磨液の一部
を介在させる構成であるため、小径工具本体がスムーズ
に揺動自在であり、被加工物の被加工面に対する追随性
が極めて良好である。
【００１９】このように被加工面に対する追随性が良好
で、しかも研磨液を加工点に確実に供給できるため、特
に曲率半径の小さな被加工物を研磨する場合や、高速度
で研磨する等のあらゆる加工条件において極めて高精度
で安定した研磨加工を行なうことができる。
で、しかも研磨液を加工点に確実に供給できるため、特
に曲率半径の小さな被加工物を研磨する場合や、高速度
で研磨する等のあらゆる加工条件において極めて高精度
で安定した研磨加工を行なうことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００２１】図１は第１の実施の形態による研磨工具を
示すもので、これは、図示しない被加工物（ワーク）の
被加工面に対して充分小さい小面積の研磨面を有するポ
リウレタン等のシートからなるポリシャ１１と、弾性体
層１２と、ポリシャ支持部材１３からなる小径工具本体
である工具本体１０を備えている。該工具本体１０を保
持する工具保持部材である工具ホルダ２０は、凸球面２
０ａを有する金属等の磁性体からなり、その中心部に
は、磁気手段である磁石２１を保持する金属製の磁石ホ
ルダ２２がネジ２３によって固定されている。
示すもので、これは、図示しない被加工物（ワーク）の
被加工面に対して充分小さい小面積の研磨面を有するポ
リウレタン等のシートからなるポリシャ１１と、弾性体
層１２と、ポリシャ支持部材１３からなる小径工具本体
である工具本体１０を備えている。該工具本体１０を保
持する工具保持部材である工具ホルダ２０は、凸球面２
０ａを有する金属等の磁性体からなり、その中心部に
は、磁気手段である磁石２１を保持する金属製の磁石ホ
ルダ２２がネジ２３によって固定されている。
【００２２】工具本体１０は、ポリシャ支持部材１３の
上部が工具ホルダ２０内のベアリング２４に嵌合され、
該ベアリング２４とともに工具ホルダ２０の穴に組み込
まれ、磁石２１の磁力によって工具ホルダ２０に吸着保
持されている。
上部が工具ホルダ２０内のベアリング２４に嵌合され、
該ベアリング２４とともに工具ホルダ２０の穴に組み込
まれ、磁石２１の磁力によって工具ホルダ２０に吸着保
持されている。
【００２３】磁石２１の磁力に抗して工具本体１０を引
き離すことにより、工具本体１０とベアリング２４を工
具ホルダ２０から抜き取ることができるように構成され
ている。
き離すことにより、工具本体１０とベアリング２４を工
具ホルダ２０から抜き取ることができるように構成され
ている。
【００２４】工具ホルダ２０の凸球面２０ａは、その中
心が工具本体１０の研磨面の中心軸Оと一致する。
心が工具本体１０の研磨面の中心軸Оと一致する。
【００２５】金属等の磁性体からなる支持手段である支
持体３０には工具ホルダ２０を揺動自在に支持する球面
状の案内部である凹球面３０ａが形成されており、凹球
面３０ａの中心は前記研磨面の中心軸Оと一致する。工
具ホルダ２０は、その凸球面２０ａと支持体３０の凹球
面３０ａとの間にステンレススチール等の非磁性体から
なる３個の球体３１を挟んだ状態で、前記磁石２１の磁
力によって支持体３０に吸着されている。
持体３０には工具ホルダ２０を揺動自在に支持する球面
状の案内部である凹球面３０ａが形成されており、凹球
面３０ａの中心は前記研磨面の中心軸Оと一致する。工
具ホルダ２０は、その凸球面２０ａと支持体３０の凹球
面３０ａとの間にステンレススチール等の非磁性体から
なる３個の球体３１を挟んだ状態で、前記磁石２１の磁
力によって支持体３０に吸着されている。
【００２６】各球体３１は、工具ホルダ２０が支持体３
０に対してどのように揺動運動を行なっても自由に転が
ることができ、リテナー３２によって、工具本体１０の
中心軸まわりに常に１２０°の間隔に保持される。各球
体３１の外径は、工具ホルダ２０の凸球面２０ａの半径
と支持体３０の凹球面３０ａの半径の差に等しくなって
いる。なお、球体３１の数は３個に限らず、いくつでも
よい。
０に対してどのように揺動運動を行なっても自由に転が
ることができ、リテナー３２によって、工具本体１０の
中心軸まわりに常に１２０°の間隔に保持される。各球
体３１の外径は、工具ホルダ２０の凸球面２０ａの半径
と支持体３０の凹球面３０ａの半径の差に等しくなって
いる。なお、球体３１の数は３個に限らず、いくつでも
よい。
【００２７】支持体３０にはネジ３２によってコネクタ
３３が固定されている。コネクタ３３は、支持体３０を
介して工具本体１０に加圧力を与える加圧手段等に連結
され、コネクタ３３の内部には内部配管である穴３３ａ
が設けられ、図示しない研磨液供給源に接続されるホー
ス口３４が固定されている。コネクタ３３の穴３３ａに
挿入されたチューブ３５は、支持体３０の内部配管であ
る穴３３ｂを通り、さらに、工具ホルダ２０の磁石２
１、工具本体１０のポリシャ支持部材１３、弾性体層１
２を貫通する内部配管である穴３３ｃを通り、ポリウレ
タン等のポリシャ１１の研磨面に開口しており、チュー
ブ３５と工具本体１０の間はОリング３６でシールされ
ている。
３３が固定されている。コネクタ３３は、支持体３０を
介して工具本体１０に加圧力を与える加圧手段等に連結
され、コネクタ３３の内部には内部配管である穴３３ａ
が設けられ、図示しない研磨液供給源に接続されるホー
ス口３４が固定されている。コネクタ３３の穴３３ａに
挿入されたチューブ３５は、支持体３０の内部配管であ
る穴３３ｂを通り、さらに、工具ホルダ２０の磁石２
１、工具本体１０のポリシャ支持部材１３、弾性体層１
２を貫通する内部配管である穴３３ｃを通り、ポリウレ
タン等のポリシャ１１の研磨面に開口しており、チュー
ブ３５と工具本体１０の間はОリング３６でシールされ
ている。
【００２８】本実施の形態によれば、支持体や工具ホル
ダ、工具本体の回転中心に配設された内部配管を通って
ポリシャの研磨面に研磨液を噴出するものであるため、
研磨工具の外部に配設されたノズル等から研磨液を供給
する場合に比べて、加工点に確実に研磨液を供給でき
る。
ダ、工具本体の回転中心に配設された内部配管を通って
ポリシャの研磨面に研磨液を噴出するものであるため、
研磨工具の外部に配設されたノズル等から研磨液を供給
する場合に比べて、加工点に確実に研磨液を供給でき
る。
【００２９】研磨工具をワークに押圧する加圧力が大き
い場合や、運動速度が速い研磨条件のもとにおいても、
研磨工具の研磨面とワークの被加工面の間に常に研磨液
が供給されるため、研磨屑の除去等を効率的に行なうこ
とができる。これによって、研磨ムラの発生や、研磨除
去量すなわち加工効率の変動等を効果的に回避して、高
精度で生産性の高い研磨加工を行なうことができる。
い場合や、運動速度が速い研磨条件のもとにおいても、
研磨工具の研磨面とワークの被加工面の間に常に研磨液
が供給されるため、研磨屑の除去等を効率的に行なうこ
とができる。これによって、研磨ムラの発生や、研磨除
去量すなわち加工効率の変動等を効果的に回避して、高
精度で生産性の高い研磨加工を行なうことができる。
【００３０】なお、工具ホルダは、その凸球面に押圧さ
れる球体とともにいわゆるエコライズ機構を構成し、工
具本体とともに揺動自在に支持されている。従って、ワ
ークの被加工面が曲率半径の小さい曲面である場合でも
スムーズに追随できる。
れる球体とともにいわゆるエコライズ機構を構成し、工
具本体とともに揺動自在に支持されている。従って、ワ
ークの被加工面が曲率半径の小さい曲面である場合でも
スムーズに追随できる。
【００３１】図２は第２の実施の形態を示す。これは、
図１の装置の球体を省略し、工具ホルダ４０の凸球面４
０ａと支持体５０の凹球面５０ａの間に研磨液が侵入で
きるような隙間Ｓをもたせて、支持体５０と工具ホルダ
４０と工具本体１０を貫通する内部配管５５の中断部分
５５ａから前記隙間Ｓに研磨液の一部が流出するように
構成したものである。
図１の装置の球体を省略し、工具ホルダ４０の凸球面４
０ａと支持体５０の凹球面５０ａの間に研磨液が侵入で
きるような隙間Ｓをもたせて、支持体５０と工具ホルダ
４０と工具本体１０を貫通する内部配管５５の中断部分
５５ａから前記隙間Ｓに研磨液の一部が流出するように
構成したものである。
【００３２】工具本体１０、磁石２１、コネクタ３３等
については第１の実施の形態と同様であるので、同一符
号で表わし、説明は省略する。
については第１の実施の形態と同様であるので、同一符
号で表わし、説明は省略する。
【００３３】エコライズ機構の球体の替わりに、工具ホ
ルダの凸球面と支持体の凹球面の間に研磨液を介在させ
ることにより、支持体に対して工具ホルダが自由に揺動
運動できる構成にする。これによって、ワークの被加工
面に追随する研磨工具の動きがスムーズになり、曲率半
径の小さなワークを研磨するときや、高速度で加工する
場合の加工精度と加工効率を大幅に改善できる。
ルダの凸球面と支持体の凹球面の間に研磨液を介在させ
ることにより、支持体に対して工具ホルダが自由に揺動
運動できる構成にする。これによって、ワークの被加工
面に追随する研磨工具の動きがスムーズになり、曲率半
径の小さなワークを研磨するときや、高速度で加工する
場合の加工精度と加工効率を大幅に改善できる。
【００３４】研磨液が研磨工具の内部を通って確実に加
工点に供給される点は、第１の実施の形態と同様であ
る。
工点に供給される点は、第１の実施の形態と同様であ
る。
【００３５】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
で、次に記載するような効果を奏する。
【００３６】研磨液が研磨工具の内部を通って研磨面に
噴出されるため、加圧力が高くてもワークとの間の加工
点に研磨液を確実に供給できる。また、工具本体がスム
ーズに揺動できるように構成されているため、研磨工具
の追随性が良好である。
噴出されるため、加圧力が高くてもワークとの間の加工
点に研磨液を確実に供給できる。また、工具本体がスム
ーズに揺動できるように構成されているため、研磨工具
の追随性が良好である。
【００３７】このように研磨工具の追随性が良好で、し
かも加工点に確実に研磨液を供給することができるた
め、加圧力が高い場合や、被加工物の曲率半径が小さい
場合、あるいは高速度で研磨加工する等のあらゆる加工
条件において、加工効率が高く、しかも研磨ムラや研磨
除去量の変動等のない高精度で安定した研磨加工を行な
うことができる。
かも加工点に確実に研磨液を供給することができるた
め、加圧力が高い場合や、被加工物の曲率半径が小さい
場合、あるいは高速度で研磨加工する等のあらゆる加工
条件において、加工効率が高く、しかも研磨ムラや研磨
除去量の変動等のない高精度で安定した研磨加工を行な
うことができる。
【図１】第１の実施の形態による研磨工具を示す模式断
面図である。
面図である。
【図２】第２の実施の形態による研磨工具を示す模式断
面図である。
面図である。
【図３】一従来例による研磨工具を示す模式断面図であ
る。
る。
１０ 工具本体 １１ ポリシャ １２ 弾性体層 １３ ポリシャ支持部材 ２０，４０ 工具ホルダ ２１ 磁石 ２２ 磁石ホルダ ２４ ベアリング ３０，５０ 支持体 ３１ 球体 ３３ コネクタ ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ 穴 ３５ チューブ ５５ 内部配管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C011 EE01 3C047 GG01 GG14 3C049 AA07 AA11 AA14 AA16 AC04 BB03 BC02 CA01 CB01 CB03
Claims (5)
- 【請求項１】 小面積の研磨面を有する小径工具本体
と、該小径工具本体を保持する工具保持部材と、該工具
保持部材を揺動自在に支持する球面状の案内部を備えた
支持手段と、該支持手段を介して前記小径工具本体を被
加工物に押圧する加圧手段を有し、前記小径工具本体と
前記工具保持部材と前記支持手段が、互いに連通する内
部配管を備えており、前記支持手段に接続された研磨液
供給源から前記内部配管を通して研磨液が前記小径工具
本体の前記研磨面に噴出されるように構成されているこ
とを特徴とする研磨工具。 - 【請求項２】 工具保持部材が、小径工具本体を吸着保
持するための磁気手段を備えており、該磁気手段によっ
て前記工具保持部材が支持手段に吸着されていることを
特徴とする請求項１記載の研磨工具 - 【請求項３】 支持手段の案内部と工具保持部材の間に
複数の球体が配設されていることを特徴とする請求項１
または２記載の研磨工具。 - 【請求項４】 内部配管が、小径工具本体から支持手段
までのびるチューブを備えていることを特徴とする請求
項１ないし３いずれか１項記載の研磨工具。 - 【請求項５】 内部配管を通る研磨液の一部分が、支持
手段と工具保持部材の間に流出するように構成されてい
ることを特徴とする請求項１または２記載の研磨工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11198305A JP2001025949A (ja) | 1999-07-13 | 1999-07-13 | 研磨工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11198305A JP2001025949A (ja) | 1999-07-13 | 1999-07-13 | 研磨工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001025949A true JP2001025949A (ja) | 2001-01-30 |
Family
ID=16388933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11198305A Pending JP2001025949A (ja) | 1999-07-13 | 1999-07-13 | 研磨工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001025949A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006507136A (ja) * | 2002-11-26 | 2006-03-02 | コマデュア エス．エー． | 鉱物材料例えばサファイアの形状を形成する整形する、特に時計用クリスタルの光学表面を整形する回転ツール |
| CN111531450A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-08-14 | 湘潭大学 | 一种带断屑槽硬质合金刀片化学机械抛光设备 |
| CN114850979A (zh) * | 2022-07-11 | 2022-08-05 | 太原精钨数控科技股份有限公司 | 一种硬质合金刀具刃口机械钝化设备 |
-
1999
- 1999-07-13 JP JP11198305A patent/JP2001025949A/ja active Pending
Cited By (4)
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