JPS63232943A - 研磨工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はエキシマ、Ｘ線光学素子の曲面をゴム膜等の弾
性体を使用して精密研磨する研磨工具に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の研磨工具は、例えば第４図に示すように
、圧だまりｌｌａが形成された凹状の研磨工具本体１１
の上面には工具軸１２が一体的あるいは結合手段により
固着され、本体１１の下方開放部にはゴム膜１３および
これに積層された研磨性樹脂膜（例えばポリウレタン）
目が締付ベルト１５により装着され、圧たまりＩｌａに
は圧力開口１１ｂより空気、油等の圧力媒体Ｐが適用さ
れる。

−・方ワーク軸＋６ａを有するワーク支持部１６の上部
にガラス製凸レンズの加工物１７が取付けられ、加工物
１７の表面は研磨性樹脂膜１４に圧接され、両者間に研
磨液が外部から供給されつつ、ワーク軸１６が回転して
加工物１７が研磨される。この場合工具軸１２を回転し
てもよく、また工具軸Ｉ２をワーク軸１６に対して傾斜
角をもたせてもよい。

上述した従来の研磨手段においては加工用のゴム膜１３
に研磨性樹脂膜１４を貼りつけであるので、例えば第５
図に示すように、加工物１７の形状曲率の変化が急激な
箇所Ｒ１では、すなわち研磨性樹脂膜１４の弾性限界外
では、研磨性樹脂膜１４が加工物１７に接触せず、部分
的に研磨不能となる欠点があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このように、従来のゴム膜を使用して曲面を研磨する手
段では部分的に研磨不能の箇所が発生するという問題点
があったが、本発明はこの問題点を克服し、急激な曲率
の変化のある加工物の表面の研磨を可能にし、加工面全
域にわたり均一の加工力で研磨できる研磨工具を提供す
ることを目的とするものである。

（問題点を解決するための手段〕 上記問題点を解決する本発明の手段は、被加工曲面を有
する加工物に回転を与え、該被加工曲面上に複数の球体
工具を配し、該球体工具の上から弾性体を圧接し、該弾
性体により該球体工具が前記被加工曲面に圧接するよう
にして該被加工曲面を加工するようにした研磨工具、で
あり、首記球体工具は弾性体よりなる球状の芯部と、該
芯部の外面に研磨性樹脂をコーティングしたものが使用
され、前記球体工具をリティナーにより連続保持したも
のが使用される。

〔作用〕

被加工曲面上に複数の球状工具を配し、その上から弾性
体により球状工具を被加工曲面に圧接し、加工物を回転
して加工する。被加工曲面に曲率の急激に変化する箇所
があっても、弾性体の弾性域内で追従できるので、この
ような箇所を十分研磨できる。

〔実施例〕

つぎに本発明を実施例により図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の縦断面図である。本発明の
研磨工具は圧だまり１ａを形成した凹状の研磨工具本体
１と、この本体１の上面に一体的に固着された工具１ｉ
ｔｂ　２と、本体１の下方開放部に圧だまり１ａを封鎖
して装着された加圧用ゴム＄３を有する。ゴム膜３はゴ
ム膜締付はベルト５により本体１に固定される。圧だま
り１ａには圧力開口１ｂより空気、油等の圧力媒体Ｐが
適用される°。

一方ワーク軸６ａを有するワーク支持部６の上部に例え
ばガラス製非球面レンズよりなる加工物７が取付けられ
る。

加工用ゴム膜３と加工物７との間に複数の球体研磨工具
４が配設される。すなわち、加圧用ゴム＠３は球体研磨
工具４を介して加工物７に圧接される。

球体研磨工具４は、第２図および第３図に示すように、
ゴム等の弾性体よりなる球４ａの外面にウレタン等の研
磨性樹脂４ｂがコーティングされる。球４ａの直径φは
一般に約５ｍｍ、研磨性樹脂４ｂのコーティング厚さｔ
は一般に約０．５ｍｍ程度のものが使用される。球体研
磨工具４は落下防止用にこれの直径より小さいメツシュ
のナイロンネットよりなるリティナ−８で保持される。

球体研磨工具４へ研磨液供給ノズル９により研磨液（例
えばＣｅＯ２６％濃度液）が供給される。

上記工具により研磨する場合、圧だまり１ａに圧力媒体
を封入し、球体研磨工具４を加圧用ゴム膜３により加工
物７に圧接させる。ワーク軸６ａを回転すると加工物７
は回転し、ノズル９より研磨液を供給し、研磨する。

第３図に示すように局所的に急激な曲率の変化のある加
工物７の非球面形状に対してもゴム膜３の弾性域内で追
従できる。

本発明において、第１図の工具軸２以下のものを研磨液
に浸漬して加工してもよく、工具４ｉｄ＋２を回転させ
てもよい。また加工物７が小型の時は圧力媒体を弾性率
の低い（軟かい）ゴムとし工具軸をワーク軸に対し加圧
してもよい。

球４ａにコーティングする研磨性樹脂４ｂ自体に研磨材
（酸化セリウム等）を含浸させ球体研磨工具４自体にも
研磨能力を持たせてもよい。また工具軸２がワーク軸６
ａに対して傾斜させてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明は複数の球体研磨工具を加
工物表面に弾性体（膜）により圧接して研磨することに
より、加工物の被研磨面に急激な曲率の変化のある非球
面形状面が存在しても、これに対しても弾性体（膜）の
弾性域内で追従できるので、急激曲率変動に十分対処で
きる。また従来のように研磨具と加工物との隙間が狭く
ないので研磨液を被研磨面に十分供給できるので良好な
研磨が遂行され、さらに球体研磨具の芯がゴム等の弾性
体であるので加工面全域にわたり、加工力の均一化が図
れる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図は本発明
の球体研磨工具の一実施例の断面図、第３図は本発明の
詳細な説明のための部分詳細断面図、第４図は従来の研
磨具の縦断面図、第５図は従来の研磨状態説明のための
断面図である。 １・・・・・・本体、１ａ・・・圧たまり２・・・・・
・工具軸゛、　　　　　３・・・・・・加圧用ゴム膜４
・・・・・・球体研磨工具、　４ａ・・・球４ｂ・・・
研磨性樹脂、　　５・・・・・・締付はベルト６・・・
・・・ワーク支持部、　　６ａ・・・ワーク軸７・・・
・・・加工物 銅１図 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被加工曲面を有する加工物に回転を与え、該被加工
   曲面上に複数の球状工具を配し、該球体工具の上から弾
   性体を圧接し、該弾性体により該球体工具が前記被加工
   曲面に圧接するようにして該被加工曲面を加工するよう
   にした研磨工具。 ２、前記球体工具は弾性体よりなる球状の芯部と、該芯
   部の外面に研磨性樹脂をコーティングした特許請求の範
   囲第１項記載の研磨工具。 ３、前記球体工具をリティナーにより連続保持した特許
   請求の範囲第１または２項に記載の研磨工具。