KR101440647B1 - 스크라이브 장치 - Google Patents

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KR101440647B1
KR101440647B1 KR1020097009218A KR20097009218A KR101440647B1 KR 101440647 B1 KR101440647 B1 KR 101440647B1 KR 1020097009218 A KR1020097009218 A KR 1020097009218A KR 20097009218 A KR20097009218 A KR 20097009218A KR 101440647 B1 KR101440647 B1 KR 101440647B1
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마사노리 미또
노부요시 메야나기
아끼오 하뉴
마사히꼬 나까무라
다까야 고노
요시아끼 시시도
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티에치케이 가부시끼가이샤
티에이치케이 인텍스 가부시키가이샤
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Abstract

스크라이브 장치에 회전 기구(스윙 기구)를 설치한 경우라도, 진동자의 진동을 감쇠시키지 않고 커터로 전달할 수 있는 스크라이브 장치를 제공한다. 스크라이브 장치는 커터(11)를 진동시키는 스크라이브 헤드(12)와, 스크라이브 헤드(12)를 공작물(17)의 표면을 따라서 이동시키는 이동 기구(13)를 구비한다. 스크라이브 헤드(12)는 공작물(17)의 표면에 접촉 가능한 커터(11)와, 커터(11)를 공작물(17)의 표면과 교차하는 방향으로 진동시키는 진동자(19)와, 진동자(19)의 진동 방향(L)의 단부에 밀착하여 진동자(19)의 진동을 커터(11)로 전하는 진동 전달부(22)를 갖는다. 진동자(19), 진동 전달부(22) 및 커터(11)가, 진동자(19)의 진동 방향(L)과 평행한 축선을 중심으로 하여 함께 회전할 수 있다.
스크라이브 장치, 스크라이브 헤드, 커터, 진동자, 공작물

Description

스크라이브 장치 {SCRIBE DEVICE}
본 발명은 유리, 반도체 등의 취성 재료로 이루어지는 공작물에 스크라이브선을 새기는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법에 관한 것이다.
취성 재료로 이루어지는 박판 형상의 공작물을 절단할 때에는, 공작물의 표면에는 미리 스크라이브선이 새겨진다. 스크라이브선을 따라서 공작물을 구부리면, 표면의 크랙이 이면까지 도달하여 공작물이 절단된다.
공작물에 스크라이브선을 새기는 스크라이브 방법으로서는, 주판알 형상의 회전 가능한 커터 휠을 공작물의 표면에 압박하여, 가압한 상태로 커터 휠을 공작물의 표면 상에서 굴리는 방법이나, 커터 휠을 굴리는 동안, 또한 커터 휠을 진동시키는 방법이 알려져 있다. 커터 휠을 진동시키면, 공작물의 표면에 깊은 수직 크랙을 형성할 수 있으므로, 풀 커트가 가능해진다.
그런데, 커터 휠은 사용하고 있는 동안에 열화된다. 커터 휠은 홀더에 회전 가능하게 유지되어 있어, 커터 휠을 교환할 때, 커터 휠은 홀더채로 스크라이브 장치의 홀더 설치면에 착탈된다. 홀더 설치면(커터 휠의 기울기와 평행)과 커터 휠이 주행하는 방향이 평행한지 여부는 커팅 품질에 중대한 영향을 미친다. 커터 휠의 주행 방향에 대해 커터 휠이 기울어져 있으면, 선을 긋는 도중에 커터 휠에 무 리한 힘이 가해져, 공작물의 커팅 품질이 나빠진다. 따라서, 홀더 설치면을 커터 휠의 주행 방향에 대해 고정밀도로 평행하게 하는 작업이 필요해진다. 나중에 정밀도가 바뀌어도 커팅 품질에 악영향을 미치므로, 평행한 것을 정기적으로 확인할 필요가 있다.
커터 휠의 기울기와 커터 휠의 주행 방향을 평행하게 하기 위해, 출원인은 도 5에 도시된 바와 같이, 커터 휠(1)을 수평면 내에서 선회시키는 회전 기구(스윙 기구)(2)를 조립한 스크라이브 헤드를 제안하였다(특허 문헌 1 참조). 이 스크라이브 헤드에 있어서는, 진동자(3)에 의해 진동되는 샤프트(4)와 홀더(5) 사이에, 샤프트(4)에 대해 홀더(5)를 수평면 내에서 회전시키는 회전 기구(2)가 설치된다. 진동자(3)의 진동은 샤프트(4), 홀더(5)를 통해 커터 휠(1)로 전달된다. 커터 휠(1)은 샤프트(4)에 대해 수평면 내에서 자유자재로 회전할 수 있으므로, 공작물(6)의 표면 상을 구를 때에 가장 저항이 적은 방향을 향한다. 이로 인해, 커터 휠(1)의 기울기는 커터 휠(1)의 주행 방향에 수동적으로 따른다.
특허 문헌 1 : 일본 공개 특허 제2000-335929호 공보
그러나, 상기 종래의 스크라이브 헤드에 있어서는, 샤프트(4)와 홀더(5) 사이에 베어링(7)이 개재되므로, 홀더(5)로 전달될 때까지 진동자(3)의 진동이 감쇠된다. 베어링(7)이 진동을 흡수하기 때문이다. 베어링(7)의 유격을 적게 하면, 진동이 감쇠되는 것을 방지하는 것은 분명하다. 그러나, 커터 휠의 진동 데이터를 측정해 보면, 가령 베어링(7)의 유격을 적게 했다고 해도, 스윙 기구를 설치한 스크라이브 헤드의 진동의 진폭은, 스윙 기구를 설치하지 않은 스크라이브 헤드에 비해 작아진다.
또한, 스크라이브선을 폐쇄 곡선 등의 이형의 곡선으로 하는 경우, 선을 긋는 도중에 커터 휠의 회전을 제어할 필요가 있다. 상기 종래의 스크라이브 장치에 있어서, 회전 기구(2)에 벨트를 걸어 커터 휠의 회전을 제어하면, 벨트까지 진동해 버린다. 벨트가 진동하면, 커터 휠의 회전을 제어하는 것이 곤란해져, 벨트를 거는 것 자체가 커터 휠의 진동을 감쇠시킨다.
그래서, 본 발명은 스크라이브 장치에 회전 기구(스윙 기구)를 설치한 경우라도, 진동자의 진동을 감쇠시키지 않고 커터로 전달할 수 있는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 1에 기재된 발명은, 공작물의 표면에 스크라이브선을 새기는 스크라이브 장치이며, 커터를 진동시키는 스크라이브 헤드와, 상기 스크라이브 헤드를 공작물의 표면을 따라서 상대적으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 스크라이브 헤드는 공작물의 표면에 접촉 가능한 커터와, 상기 커터를 공작물의 표면과 교차하는 방향으로 진동시키기 위한 진동자와, 상기 진동자의 진동을 상기 커터로 전달하는 진동 전달부를 갖고, 상기 진동자, 상기 진동 전달부 및 상기 커터가, 상기 진동자의 진동 방향과 평행한 축선을 중심으로 하여 함께 회전할 수 있는 스크라이브 장치이다.
청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 커터는 차축을 중심으로 하여 회전 가능한 커터 휠인 동시에, 상기 진동 전달부에 착탈 가능하게 설치되는 홀더에 유지되어, 상기 진동자, 상기 진동 전달부 및 상기 커터 휠이 상기 축선의 주위를 회전했을 때, 상기 커터 휠이 상기 축선의 주위를 선회하도록, 상기 커터 휠의 상기 차축이, 상기 진동자의 상기 축선으로부터 어긋나 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 스크라이브 장치는, 상기 진동자, 상기 진동 전달부 및 상기 커터를, 상기 축선의 주위를 회전 구동시키는 구동원과, 상기 구동원의 토크를, 상기 진동자의, 상기 진동 전달부가 접촉하는 진동자측의 단부와는 반대측의 단부를 받는 받침부로 전동하여, 상기 진동자, 상기 진동 전달부 및 상기 커터를 회전시키는 전동 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 스크라이브 헤드는, 상기 진동자 및 상기 진동 전달부의 적어도 일부가 수용되는 하우징과, 상기 진동자가 상기 하우징에 대해 상기 축선의 주위를 회전하는 것을 안내하는 회전 베어링과, 상기 진동 전달부가 상기 하우징에 대해 상기 축선의 주위를 회전하고, 또한 상기 축선의 방향으로 왕복 운동하는 것을 안내하는 회전ㆍ왕복 운동 베어링을 더 갖는 것을 특징으로 한다.
청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 스크라이브 장치에 있어서, 상기 스크라이브 헤드는, 상기 진동자에 예압을 부가하는 예압 부가 부재와, 상기 진동자 및 상기 진동 전달부의 적어도 일부가 수용되는 동시에, 상기 진동자가 설치되는 내측 하우징과, 상기 내측 하우징을 덮는 외측 하우징과, 상기 외측 하우징에 대해 상기 내측 하우징이 상기 진동자의 진동 방향과 평행한 축선을 중심으로 하여 회전하는 것을 안내하는 회전 베어링을 더 갖는다.
청구항 6에 기재된 발명은, 공작물에 스크라이브선을 새기는 스크라이브 장치이며, 커터를 진동시키는 스크라이브 헤드와, 상기 스크라이브 헤드를 공작물의 표면을 따라서 상대적으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 스크라이브 헤드는 공작물의 표면에 접촉 가능한 커터와, 상기 커터를 공작물의 표면과 교차하는 방향으로 진동시키는 진동자와, 상기 진동자의 진동 방향의 일단부에 밀착하는 받침부와, 상기 진동자의 진동 방향의 타단부에 밀착하여 상기 진동자의 진동을 상기 커터로 전달하는 진동 전달부와, 상기 진동자, 상기 받침부의 적어도 일부 및 상기 진동 전달부의 적어도 일부가 수용되는 하우징과, 상기 진동자, 상기 받침부 및 상기 진동 전달부가 상기 하우징에 대해 상기 진동자의 진동 방향과 평행한 축선을 중심으로 하여 회전하는 것을 안내하는 회전 베어링과, 상기 진동 전달부가 상기 하우징에 대해 상기 축선의 주위를 회전하고, 또한 상기 축선의 방향으로 왕복 운동하는 것을 안내하는 회전ㆍ왕복 운동 베어링과, 상기 진동 전달부의 상기 하우징으로부터 노출되는 부분에 설치되어, 상기 커터를 유지하는 홀더를 갖는 스크라이브 장치이다.
청구항 7에 기재된 발명은, 공작물에 스크라이브선을 새기는 스크라이브 장치이며, 커터를 진동시키는 스크라이브 헤드와, 상기 스크라이브 헤드를 공작물의 표면을 따라서 상대적으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 스크라이브 헤드는 공작물의 표면에 접촉 가능한 커터와, 상기 커터를 공작물의 표면과 교차하는 방향으로 진동시키는 진동자와, 상기 진동자의 진동 방향의 일단부에 밀착하는 받침부와, 상기 진동자의 진동 방향의 타단부에 밀착하여 상기 진동자의 진동을 상기 커터로 전달하는 진동 전달부와, 상기 진동자, 상기 받침부의 적어도 일부 및 상기 진동 전달부의 일부가 수용되는 내측 하우징과, 상기 내측 하우징에 설치되는 동시에, 상기 진동자에 예압을 부가하는 예압 부가 부재와, 상기 진동 전달부가 상기 내측 하우징에 대해 상기 진동자의 진동 방향과 평행한 축선의 방향으로 왕복 운동하는 것을 안내하는 왕복 운동 베어링과, 상기 진동 전달부의 상기 내측 하우징으로부터 노출되는 부분에 설치되어, 상기 커터를 유지하는 홀더와, 상기 내측 하우징을 덮는 외측 하우징과, 상기 외측 하우징에 대해 상기 내측 하우징이 상기 진동자의 진동 방향과 평행한 축선을 중심으로 하여 회전하는 것을 안내하는 회전 베어링을 갖는 스크라이브 장치이다.
청구항 8에 기재된 발명은, 공작물의 표면에 커터를 접촉시켜, 진동자에 의해 상기 커터를 공작물의 표면과 교차하는 방향으로 진동시키면서 상기 커터를 공작물의 표면을 따라서 상대적으로 이동시켜, 공작물에 스크라이브선을 새기는 스크라이브 방법에 있어서, 상기 커터를 공작물의 표면을 따라서 이동시킬 때에, 상기 진동자, 상기 커터 및 상기 진동자의 진동 방향의 단부에 밀착하여 상기 진동자의 진동을 상기 커터로 전달하는 진동 전달부가, 상기 진동자의 진동 방향과 평행한 축선을 중심으로 하여 함께 회전할 수 있는 스크라이브 방법이다.
청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 8에 기재된 스크라이브 방법에 있어서, 상기 커터를 공작물의 표면을 따라서 이동시킬 때에, 상기 진동자에 예압을 부가하는 예압 부가 부재도 함께 회전할 수 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 1에 기재된 발명에 따르면, 진동자, 진동 전달부 및 커터가 함께 회전하므로, 진동 전달부에 회전 기구를 설치할 필요가 없어진다. 진동자의 진동이 진동 전달부에 있어서 감쇠되는 경우가 없으므로, 커터로 진동을 확실하게 전달할 수 있다.
청구항 2에 기재된 발명에 따르면, 커터 휠이 공작물의 표면을 주행하면, 마치 의자에 설치한 캐스터와 같이, 커터 휠의 기울기가 커터 휠의 진행 방향을 따른다. 따라서, 커터 휠의 기울기와 커터 휠의 진행 방향을 평행하게 하기 위한 작업이 불필요해진다.
청구항 3에 기재된 발명에 따르면, 능동적으로 커터의 회전 방향을 제어함으로써, 이형의 형상으로 스크라이브선을 형성할 수 있다. 또한, 전동 기구가 구동원의 토크를 진동 전달부와는 반대측의 받침부로 전동하므로, 전동 기구가 진동하는 것을 방지할 수 있다.
청구항 4에 기재된 발명에 따르면, 하우징에 대해, 진동자, 진동 전달부 및 커터를 함께 회전시킬 수 있다.
청구항 5에 기재된 발명에 따르면, 예압 부가 부재가 진동자에 부여하는 압력을 회전 베어링에 작용시키지 않도록 할 수 있다. 회전 베어링에 회전의 저항이 되는 압력이 작용하지 않으므로, 커터의 방향을 커터의 진행 방향에 수동적으로 따르게 하는 것이 용이해진다.
청구항 6에 기재된 발명에 따르면, 진동자, 진동 전달부 및 커터가 함께 회전하므로, 진동 전달부에 회전 기구를 설치할 필요가 없어진다. 진동자의 진동이 진동 전달부에 있어서 감쇠되는 경우가 없으므로, 커터로 진동을 확실하게 전달할 수 있다.
청구항 7에 기재된 발명에 따르면, 진동자, 진동 전달부 및 커터가 함께 회전하므로, 진동 전달부에 회전 기구를 설치할 필요가 없어진다. 진동자의 진동이 진동 전달부에 있어서 감쇠되는 경우가 없으므로, 커터로 진동을 확실하게 전달할 수 있다. 또한, 예압 부가 부재가 진동자에 부여하는 압력을 회전 베어링에 작용시키지 않도록 할 수 있으므로, 커터의 방향을 커터의 진행 방향에 수동적으로 따르게 하는 것이 용이해진다.
청구항 8에 기재된 발명에 따르면, 진동자, 진동 전달부 및 커터가 함께 회전하므로, 진동 전달부에 회전 기구를 설치할 필요가 없어진다. 진동자의 진동이 진동 전달부에 있어서 감쇠되는 경우가 없으므로, 커터로 진동을 확실하게 전달할 수 있다.
청구항 9에 기재된 발명에 따르면, 예압 부가 부재가 진동자에 부여하는 압력을 회전 베어링에 작용시키지 않도록 할 수 있으므로, 커터의 방향을 커터의 진행 방향에 수동적으로 따르게 하는 것이 용이해진다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 수직 방향 단면도.
도 2는 회전ㆍ왕복 운동 베어링을 도시하는 사시도(일부 단면도를 포함함).
도 3은 커터 휠 및 홀더를 도시하는 상세도.
도 4는 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 수직 방향 단면도.
도 5는 종래의 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드의 수직 방향 단면도.
[부호의 설명]
11 : 커터 휠
11a : 차축
12 : 스크라이브 헤드
13 : 이동 기구
16 : 테이블
17 : 공작물
18 : 하우징
19 : 진동자
21 : 받침부
22 : 진동 전달부
23, 26, 48 : 회전 베어링
25 : 벨트(전동 기구)
28 : 모터(구동원)
29 : 회전ㆍ왕복 운동 베어링
37 : 홀더
42 : 내측 하우징
43 : 외측 하우징
44 : 예압 부가 부재
L : 진동 방향(축선)
이하, 첨부 도면에 기초하여 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치를 상세하게 설명한다. 도 1은 스크라이브 장치의 수직 방향 단면도를 도시한다.
스크라이브 장치는 하단부에 설치되는 커터 휠(11)을 상하 방향으로 진동시키는 스크라이브 헤드(12)와, 스크라이브 헤드(12)를 수평면 내의 X 및 Y축 방향으로 이동시키는 이동 기구(13)와, 공작물(17)을 흡착ㆍ유지하는 테이블(16)을 구비한다. 이동 기구(13)는 베이스(14)를 수평면 내로 이동시킨다. 베이스(14)에는 스크라이브 헤드(12)가 설치된다. 리니어 가이드(15)는 스크라이브 헤드(12)가 베이스(14)에 대해 상하 방향으로 슬라이드하는 것을 안내한다.
스크라이브 장치의 테이블(16) 상에는 진공 흡착 혹은 지그에 의해 공작물(17)이 고정된다. 공작물(17)의 상면에 커터 휠에 접촉할 때까지 스크라이브 헤드(12)를 강하시키고, 이동 기구에 의해 스크라이브 헤드(12)를 공작물(17)의 표면을 따라서 이동시키면, 공작물(17)의 표면에 스크라이브선이 새겨진다. 스크라이브선은 공작물(17)의 표층에 형성된 수직 크랙이 전파한 것이다. 또한, 도시하지 않지만, 스크라이브 헤드(12)는 에어 실린더 등의 가압 수단에 의해 공작물(17)에 가압되어 있어도 좋다.
스크라이브 헤드(12)의 통 형상의 하우징(18)에는 진동자(19)로서, 예를 들어 외부 전압을 가하면 왜곡이 발생하는 압전 소자(피에조 액추에이터)가 사용된다. 압전 소자에는 전선(20)이 접속된다. 압전 소자에 인가하는 전압을 소정의 주파수로 변화시키면, 압전 소자가 주기적으로 신축한다. 이 압전 소자의 신축 방향이 진동 방향(L)이 된다. 또한, 진동자(19)로서, 자계를 가하면 자성체에 왜곡을 발생시키는 자왜 소자 등의 자성 재료를 사용해도 좋다. 자왜 소자에 인가하는 자계를 소정의 주파수로 변화시키면, 자왜 소자가 주기적으로 신축한다.
진동자(19)를 진동시키기 전에, 미리 압력을 가하여 친숙하게 한 후, 전압을 가하여 진동자(19)를 신축시킬 필요가 있다. 진동자(19)에 예압을 부가하기 위해, 받침부(21)의 외측에는 예압 부가 부재(30)가 설치된다. 예압 부가 부재(30)의 외주에는 볼트가 가공된다. 하우징(18)의 통 형상 상부(18a)의 내주면에는 예압 부가 부재(30)에 나사 결합하는 너트가 가공된다. 예압 부가 부재(30)를 회전시키면, 나사의 작용에 의해 예압 부가 부재(30)가 하방향으로 이동한다. 예압 부가 부재(30)의 하방향으로의 압박력은 외륜 접촉 부재(24) → 회전 베어링(23) → 받침부(21) → 진동자(19)로 차례로 전해진다. 예압 부가 부재(30)의 스크류량을 조정함으로써, 진동자(19)에 가해지는 예압의 크기를 조정할 수 있다.
진동자(19)의 진동 방향(L)의 상단부에는 받침부(21)가 밀착하여 설치되고, 하단부에는 진동 전달부(22)가 밀착하여 설치된다. 진동자(19)는 받침부(21) 및 진동 전달부(22)에 의해 진동 방향(L)의 양측으로부터 끼워진다. 진동자(19)의 진 동은 진동 전달부(22)로 전달되고, 받침부(21)는 진동의 반작용을 받는다. 진동자(19)는 받침부(21) 및 진동 전달부(22)는 하우징(18)에 수용된다.
받침부(21)는 진동자(19)의 진동 방향(L)으로 축 형상으로 가늘고 길게 연신된다. 받침부(21)의 하단부에는 직경을 확대시킨 대경부(21a)가 설치된다. 대경부(21a)의 하면에는 진동자(19)를 수용하는 오목부(21b)가 형성된다. 받침부(21)에는 진동자(19)의 전선(20)을 통과시키기 위한 관통 구멍(21c)이 형성된다. 받침부(21)의 대경부(21a)는 하우징(18) 내에 수용되지만, 상단부는 하우징(18)으로부터 노출된다. 받침부(21)를 회전 구동하는 전동 기구가 설치되는 경우에는 이 상단부에 기어가 가공되고, 기어에 벨트(25)가 걸쳐진다. 물론, 전동 기구가 설치되지 않은 경우에는 받침부(21)의 상단부에 기어를 가공할 필요는 없다. 받침부(21)는 하우징에 설치한 회전 베어링(23)에 회전 가능하게 지지된다. 상술한 바와 같이, 받침부(21)는 진동의 반작용을 받는다. 이 반작용은 받침부(21) → 회전 베어링(23)의 내륜(23a) → 전동체(23b) → 회전 베어링(23)의 외륜(23c) → 외륜 접촉 부재(24) → 하우징(18)으로 순차적으로 전해진다.
진동 전달부(22)는 진동자(19)의 진동 방향(L)으로 축 형상으로 가늘고 길게 연신된다. 진동 전달부(22)의 상단부에는 직경을 확대시킨 대경부(22a)가 설치된다. 대경부(22a)의 상면에는 진동자(19)를 수용하는 오목부(22b)가 형성된다. 진동 전달부(22)의 주위에는 진동자(19)가 회전하는 것을 안내하는 회전 베어링(26)이 설치된다. 진동 전달부(22)와 회전 베어링(26)은 접촉되어 있지 않고, 진동 전달부(22)와 회전 베어링(26) 사이에는 간극이 있다. 진동 전달부(22)의 대경 부(22a)와 회전 베어링(26)의 내륜(26a) 사이에는, 진동 전달부(22)를 진동자(19)로 압박하는 압박 부재로서, 접시 스프링(27)이 설치된다. 진동자(19)가 진동하면, 진동자(19)에 밀착하는 진동 전달부(22)도 진동한다. 접시 스프링(27)을 설치함으로써, 진동자(19)의 진동에 진동 전달부(22)의 진동을 추종시킬 수 있다. 진동 전달부(22)의 진동에 의해 접시 스프링(27)이 신축한다.
회전 베어링(26)은 접시 스프링(27)을 통해 진동 전달부(22)가 회전 운동하는 것을 안내한다. 즉, 상측의 회전 베어링(23)은 받침부(21)가 회전하는 것을 안내하고, 하측의 회전 베어링(26)은 진동 전달부(22)가 회전하는 것을 안내한다. 받침부(21)와 진동 전달부(22) 사이에는 진동자(19)가 끼워져 있으므로, 진동자(19)는 간접적으로 한 쌍의 회전 베어링(23, 26)에 의해 회전하는 것이 안내된다. 진동자(19)가 회전할 때의 축선(L)은 진동자(19)의 진동 방향(L)과 평행이다(본 실시 형태에서는 일치하고 있음).
진동 전달부(22)는 축선(L)의 주위를 회전할 뿐만 아니라, 축선 방향으로 왕복 운동한다. 이로 인해, 진동 전달부(22)를 직접적으로 회전 베어링(26)으로 지지할 수는 없다. 진동 전달부(22)는 하우징(18)에 설치한 회전ㆍ왕복 운동 베어링(29)에 회전 가능하고, 또한 진동 방향(L)으로 왕복 운동 가능하게 지지된다.
도 2는 회전ㆍ왕복 운동 베어링(29)의 사시도를 도시한다. 회전ㆍ왕복 운동 베어링(29)은 원통형의 외통(31)의 내부에 볼 케이지(32)와 볼(33)을 조립하여 이루어진다. 외통(31)의 내면은 볼(33)이 구름 운동하므로 정밀하게 연삭된다. 원통형의 볼 케이지(32)에는 하중을 균등하게 부하하기 위해 볼(33)이 지그재그로 배 열된다. 외통(31)의 내경의 양단부에는 고정륜(34)이 설치되어, 볼 케이지(32)의 오버런을 방지하고 있다. 볼(33)과 진동 전달부(22) 및 볼(33)과 외통(31)의 내면은 점접촉하므로, 볼(33)은 매우 작은 마찰 계수로 구름 운동한다. 회전ㆍ왕복 운동 베어링(29)은 진동 전달부(22)의 축선(L) 주위의 회전 운동과, 축선 방향의 왕복 운동을 안내한다.
도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 하우징(18)으로부터 노출되는 진동 전달부(22)의 소경의 하단부에는 홀더 유지부(36)가 고정된다. 홀더 유지부(36)는 홀더 설치면(36a)을 갖고, 이 홀더 설치면(36a)에 홀더(37)가 착탈 가능하게 설치된다. 홀더(37)는 커터 휠(11)을 회전 가능하게 유지한다. 홀더(37)를 홀더 설치면(36a)에 설치하면, 홀더 설치면(36a)과 커터 휠(11)의 기울기가 평행이 된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 커터 휠(11)은 차축(11a)을 중심으로 하여 회전한다. 커터 휠(11)의 차축(11a)은 축선(L)으로부터 수평 방향으로 소정의 거리(h)만큼 이격되어 있다. 홀더가 축선(L)의 주위를 수평면 내에서 회전할 때, 커터 휠(11)이 수평면 내에서 반경(h)의 원형의 궤도 상을 선회한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 공작물(17)의 표면에 스크라이브 헤드(12)의 커터 휠을 놓고, 커터 휠(11)을 진동시키면서, 스크라이브 헤드(12)를 공작물(17)의 표면을 따라서 이동시키면, 공작물(17)의 표면에 스크라이브선이 새겨진다. 커터 휠(11)이 공작물(17)의 표면을 따라서 주행할 때, 마치 의자에 설치된 캐스터와 같이 커터 휠(11)의 기울기가 커터 휠(11)의 진행 방향을 따른다. 커터 휠(11)로부터 공작물(17)로 무리한 힘이 가해지지 않고, 또한 커터 휠(11)이 진동하고 있으므 로, 깨짐이나 흠집이 적은 수직 크랙을 형성할 수 있다. 따라서, 커팅 품질이 향상된다.
커터 휠(11)이 수평면 내를 선회할 때, 커터 휠(11) 뿐만 아니라, 진동자(19), 진동 전달부(22)도 축선(L)의 주위를 함께 회전한다. 진동 전달부(22)에 커터 휠(11)을 선회시키기 위한 회전 기구를 설치할 필요가 없으므로, 회전 기구에 의해 진동이 감쇠되는 경우가 없이, 커터 휠(11)로 진동을 확실하게 전달할 수 있다.
진동자(19)를 진동시켰을 때에, 받침부(21)에는 반작용이 작용하고, 이 반작용은 상측의 회전 베어링(23)으로도 전해진다. 강체로 반작용을 받은 경우에 비해, 회전 베어링(23)으로 반작용을 받으면, 진동이 약간 감쇠할 가능성이 있을 수도 있다. 그러나, 고정측의 받침부(21), 하우징(18), 리니어 가이드(15) 등의 질량은 진동측의 진동 전달부(22), 홀더(37), 커터 휠(11) 등의 질량에 비해 매우 크다. 고정측의 진동은 매우 작으므로, 회전 베어링(23)에서의 진동의 감쇠도 매우 작은 것이 된다.
도 1의 2점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 받침부(21)에 벨트를 걸어, 받침부(21)를 구동원으로서의 한 모터(28)로 회전 구동시켜도 좋다. 모터(28)의 출력축과 받침부(21) 사이에는 전동 기구로서의 벨트(25)가 걸쳐진다. 모터(28)로 커터 휠(11)의 회전 방향을 능동적으로 제어하면, 공작물(17)을 이형으로 절단할 수 있다. 벨트(25)는 고정측의 받침부(21)에 걸쳐져 있으므로, 벨트(25)가 진동하는 경우도 없다.
도 1에 도시되는 제1 실시 형태의 스크라이브 장치에 있어서는, 예압 부가 부재(30)의 스크류량을 조정함으로써, 진동자(19)에 가해지는 예압의 크기를 조정할 수 있다. 예압 부가 부재(30)의 압박력은 회전 베어링(23)을 통해 진동자(19)로 전해진다. 구체적으로는, 예압 부가 부재(30)의 압박력은 외륜 접촉 부재(24) → 외륜(23c) → 전동체(23b) → 내륜(23a)으로 전해진다. 회전 베어링(23)이 받아지는 힘이 진동자(19)에 가해지는 예압보다도 크면, 회전 베어링(23)이 문제없이 회전한다. 그러나, 회전 베어링(23)이 받는 힘이 진동자(19)에 가해지는 예압보다도 크면, 회전 베어링(23)의 회전에 저항이 발생한다. 회전에 저항이 발생하면, 커터 휠(11)의 경사를 커터 휠(11)의 진행 방향에 수동적으로 따르게 하는 것이 곤란해진다.
이 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 제2 실시 형태의 스크라이브 장치에 있어서는, 예압 부가 부재를 회전 베어링(23)의 내측에 배치하여, 예압 부가 부재까지도 회전시킨다. 도 4는 제2 실시 형태의 스크라이브 장치를 도시한다. 본 실시 형태의 스크라이브 장치도 제1 실시 형태의 스크라이브 장치와 마찬가지로, 커터 휠(11)을 상하 방향으로 진동시키는 스크라이브 헤드(41)와, 스크라이브 헤드(41)를 수평면 내에서 이동시키는 이동 기구(13)와, 공작물(17)을 흡착ㆍ유지하는 테이블(16)을 구비한다.
스크라이브 헤드(41)는 내측 하우징(42)과, 내측 하우징(42)을 덮는 외측 하우징(43)으로 구성된다. 내측 하우징(42)의 내부에는 진동자(19), 진동자(19)의 하단부에 밀착하여 진동자(19)의 진동을 커터 휠(11)로 전하는 진동 전달부(22), 진동자(19)의 상단부에 밀착하는 받침부(21)가 설치된다. 진동자(19), 받침부(21), 진동 전달부(22)의 구조는 상기 제1 실시 형태의 스크라이브 장치와 동일하므로, 동일한 부호를 부여하여 그 설명을 생략한다.
내측 하우징(42)의 통 형상 상부(42a)에는 예압 부가 부재(44)가 나사 결합된다. 예압 부가 부재(44)의 외주면에는 볼트가 가공된다. 내측 하우징(42)의 통 형상 상부(42a)의 내주면에는 예압 부가 부재(44)에 나사 결합하는 너트가 가공된다. 예압 부가 부재(44)를 회전시키면, 나사의 작용에 의해 예압 부가 부재(44)가 하강한다. 예압 부가 부재(44)는 받침부(21)를 압박하여, 진동자(19)에 예압을 부여한다. 예압량이 소정값으로 되었을 때, 예압 부가 부재(44)를 통 형상 상부(42a)에 비틀어 넣는 것을 정지하고, 예압 부가 부재(44)에 나사 결합하는 로크 너트(45)로 예압 부가 부재(44)를 고정한다.
내측 하우징(42)과 진동 전달부(22) 사이에는 내측 하우징(42)에 대해 진동 전달부(22)가 진동자의 진동 방향으로 진동(왕복 운동)하는 것을 안내하는 왕복 운동 베어링(46)이 설치된다. 진동 전달부(22)는 내측 하우징(42)에 대해 왕복 운동만을 행하므로, 왕복 운동 베어링(46)은 진동 전달부(22)의 왕복 운동만을 안내한다.
내측 하우징(42)과 외측 하우징(43) 사이에는 외측 하우징(43)에 대해 내측 하우징(42)이 회전하는 것을 안내하는 상하에 2개의 회전 베어링(48)이 설치된다. 각 회전 베어링(48)은 내륜(48a)과, 외륜(48c)과, 내륜(48a)과 외륜(48c) 사이에 개재되는 전동체(48b)로 구성된다. 내측 하우징(42)에는 예압 부가 부재(44), 진 동자(19), 받침부(21)의 일부, 진동 전달부(22)의 일부가 수용된다. 진동 전달부(22)에는 홀더(37)를 통해 커터 휠(11)이 설치된다. 이들은 진동자(19)의 진동 방향과 평행한 축선을 중심으로 하여 함께 회전한다.
본 실시 형태의 스크라이브 장치에 따르면, 예압 부가 부재(44)가 회전 베어링(48)의 내측에 배치되므로, 예압 부가 부재(44)가 진동자(19)에 부가하는 예압이 회전 베어링(48)에 영향을 미치지 않는다. 회전 베어링(48)에 여분의 압력이 가해지는 경우가 없으므로, 커터 휠(11)의 경사를 주행 방향에 대해 수동적으로 따르게 하는 것이 용이해진다.
또한, 본건 발명은 상기 실시 형태로 한정되지 않고, 그 요지를 변경하지 않고 다양한 실시 형태로 구현화할 수 있다. 예를 들어, 상기 실시 형태에 있어서는, 하우징(18)에 대해, 진동자(19), 진동 전달부(22), 커터 휠이 회전하도록 하고 있으나, 진동자, 진동 전달부 및 커터 휠은 하우징에 대해 회전할 수 없고, 진동자, 진동 전달부 및 커터 휠이 수용되는 하우징채로 회전하도록 해도 좋다. 또한, 커터에는 주판알 형상의 회전 가능한 커터 휠 외에, 홀더에 고정되는 사각뿔 형상의 커터를 사용해도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 스크라이브 헤드가 도 1의 종이면에 대해 직교하는 방향으로 이동하여 스크라이브선을 형성하고 있으나, 공작물이 도 1의 종이면의 좌우 방향으로 이동해도 좋다. 이 경우, 홀더 및 커터는 수평면 내에서 90도 회전한 방향, 즉 도 3의 방향에 설치된다. 그리고, 이동 기구는 스크라이브 장치의 테이블을 이동시킨다.
본 명세서는 2006년 10월 5일 출원의 일본 특허 출원 제2006-274456호에 기초한다. 그 내용은 모두 본 명세서에 포함된다.

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 공작물에 스크라이브선을 새기는 스크라이브 장치이며,
    커터를 진동시키는 스크라이브 헤드와, 상기 스크라이브 헤드를 공작물의 표면을 따라서 상대적으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
    상기 스크라이브 헤드는,
    공작물의 표면에 접촉 가능한 커터와,
    상기 커터를 공작물의 표면과 교차하는 방향으로 진동시키는 진동자와,
    상기 진동자의 진동 방향의 일단부에 밀착하는 받침부와,
    상기 진동자의 진동 방향의 타단부에 밀착하여 상기 진동자의 진동을 상기 커터로 전달하는 진동 전달부와,
    상기 진동자, 상기 받침부의 적어도 일부 및 상기 진동 전달부의 적어도 일부가 수용되는 하우징과,
    상기 진동자, 상기 받침부 및 상기 진동 전달부가 상기 하우징에 대해 상기 진동자의 진동 방향과 평행한 축선을 중심으로 하여 회전하는 것을 안내하는 회전 베어링과,
    상기 진동 전달부가 상기 하우징에 대해 상기 축선의 주위를 회전하고, 또한 상기 축선의 방향으로 왕복 운동하는 것을 안내하는 회전ㆍ왕복 운동 베어링과,
    상기 진동 전달부의 상기 하우징으로부터 노출되는 부분에 설치되어, 상기 커터를 유지하는 홀더를 갖고,
    상기 진동 전달부와 상기 진동 전달부가 회전 운동하는 것을 안내하는 상기 회전 베어링과의 사이에 상기 진동 전달부를 상기 진동자에 압박하는 압박 부재를 설치하고, 상기 회전 베어링이 상기 압박 부재를 통해 상기 진동 전달부가 회전 운동하는 것을 안내하는, 스크라이브 장치.
  7. 공작물에 스크라이브선을 새기는 스크라이브 장치이며,
    커터를 진동시키는 스크라이브 헤드와, 상기 스크라이브 헤드를 공작물의 표면을 따라서 상대적으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
    상기 스크라이브 헤드는,
    공작물의 표면에 접촉 가능한 커터와,
    상기 커터를 공작물의 표면과 교차하는 방향으로 진동시키는 진동자와,
    상기 진동자의 진동 방향의 일단부에 밀착하는 받침부와,
    상기 진동자의 진동 방향의 타단부에 밀착하여 상기 진동자의 진동을 상기 커터로 전달하는 진동 전달부와,
    상기 진동자, 상기 받침부의 적어도 일부 및 상기 진동 전달부의 일부가 수용되는 내측 하우징과,
    상기 내측 하우징과 상기 진동 전달부와의 사이에 설치되어, 상기 진동 전달부를 상기 진동자에 압박하는 압박 부재와,
    상기 내측 하우징에 설치되는 동시에, 상기 진동자에 예압을 부가하는 예압 부가 부재와,
    상기 진동 전달부가 상기 내측 하우징에 대해 상기 진동자의 진동 방향과 평행한 축선의 방향으로 왕복 운동하는 것을 안내하는 왕복 운동 베어링과,
    상기 진동 전달부의 상기 내측 하우징으로부터 노출되는 부분에 설치되어, 상기 커터를 유지하는 홀더와,
    상기 내측 하우징을 덮는 외측 하우징과,
    상기 외측 하우징에 대해 상기 내측 하우징이 상기 진동자의 진동 방향과 평행한 축선을 중심으로 하여 회전하는 것을 안내하는 회전 베어링을 갖는, 스크라이브 장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 커터는 차축을 중심으로 하여 회전 가능한 커터 휠인 동시에, 상기 진동 전달부에 착탈 가능하게 설치되는 홀더에 유지되고,
    상기 진동자, 상기 진동 전달부 및 상기 커터 휠이 상기 축선의 주위를 회전했을 때, 상기 커터 휠이 상기 축선의 주위를 선회하도록, 상기 커터 휠의 상기 차축이 상기 진동자의 상기 축선으로부터 어긋나 있는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.
  11. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 스크라이브 장치는,
    상기 진동자, 상기 진동 전달부 및 상기 커터를, 상기 축선의 주위를 회전 구동시키는 구동원과,
    상기 구동원의 토크를, 상기 진동자의, 상기 진동 전달부가 접촉하는 진동자측의 단부와는 반대측의 단부를 받는 받침부에 전동하여, 상기 진동자, 상기 진동 전달부 및 상기 커터를 회전시키는 전동 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5399768B2 (ja) * 2009-05-01 2014-01-29 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブヘッド及び該スクライブヘッドを用いたスクライブ装置
KR101796937B1 (ko) * 2011-04-26 2017-11-13 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
JP5287945B2 (ja) * 2011-07-15 2013-09-11 三星ダイヤモンド工業株式会社 ホルダユニット、スクライブヘッド及びスクライブ装置
CN102765875B (zh) * 2012-08-17 2015-04-22 江西联创电子股份有限公司 一种异形玻璃的切割方法
CN104015214B (zh) * 2014-05-29 2016-05-18 京东方科技集团股份有限公司 一种面板切割装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0551925U (ja) * 1991-12-06 1993-07-09 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板スクライブ用カッターヘッド
JP2000086262A (ja) * 1998-09-09 2000-03-28 Mitsuboshi Diamond Kogyo Kk ガラススクライバー
JP2000335929A (ja) * 1999-05-27 2000-12-05 Berudekkusu:Kk スクライブ装置
JP2003002675A (ja) * 2001-06-21 2003-01-08 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd ガラス板の割断方法及び装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0482609A (ja) * 1990-07-20 1992-03-16 Nippon Mente Kaihatsu Kk 超音波コアドリル
CN1229019A (zh) * 1998-03-16 1999-09-22 北京市石景山区京磁技术公司 一种振动磨削切割稀土磁体的方法
JP3469488B2 (ja) * 1999-01-21 2003-11-25 株式会社アルテクス 超音波振動切断装置
CN100396448C (zh) * 2003-01-15 2008-06-25 Thk株式会社 划线装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0551925U (ja) * 1991-12-06 1993-07-09 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板スクライブ用カッターヘッド
JP2000086262A (ja) * 1998-09-09 2000-03-28 Mitsuboshi Diamond Kogyo Kk ガラススクライバー
JP2000335929A (ja) * 1999-05-27 2000-12-05 Berudekkusu:Kk スクライブ装置
JP2003002675A (ja) * 2001-06-21 2003-01-08 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd ガラス板の割断方法及び装置

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