JPH05157504A - 測定機の駆動連結装置 - Google Patents
測定機の駆動連結装置Info
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- JPH05157504A JPH05157504A JP32047891A JP32047891A JPH05157504A JP H05157504 A JPH05157504 A JP H05157504A JP 32047891 A JP32047891 A JP 32047891A JP 32047891 A JP32047891 A JP 32047891A JP H05157504 A JPH05157504 A JP H05157504A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ナット部材の振れやコニカル運動を吸収で
き、かつ、送り方向の剛性も高めることができる測定機
の駆動連結装置を提供する。 【構成】 送りねじ軸１１に螺合するナット部材１３に
自動調芯機構２１を設け、スライダ４側に自動調芯機構
２１を送り方向の前後面側から挟持して送り方向には変
位不能かつそれと直交する方向には変位可能に保持する
保持機構３１を設ける。また、ナット部材１３に突設し
た回り止めピン４２をナット部材１３の周方向両側から
挟持してナット部材をスライダ４に対して相対回転不能
に保持する回り止め機構４１を設ける。ナット部材の振
れを保持機構によって、コニカル運動を自動調芯機構に
よって吸収でき、かつ、送り剛性も高められる。
き、かつ、送り方向の剛性も高めることができる測定機
の駆動連結装置を提供する。 【構成】 送りねじ軸１１に螺合するナット部材１３に
自動調芯機構２１を設け、スライダ４側に自動調芯機構
２１を送り方向の前後面側から挟持して送り方向には変
位不能かつそれと直交する方向には変位可能に保持する
保持機構３１を設ける。また、ナット部材１３に突設し
た回り止めピン４２をナット部材１３の周方向両側から
挟持してナット部材をスライダ４に対して相対回転不能
に保持する回り止め機構４１を設ける。ナット部材の振
れを保持機構によって、コニカル運動を自動調芯機構に
よって吸収でき、かつ、送り剛性も高められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定機の駆動連結装置
に関する。詳しくは、測定機の可動部を送りねじ軸とそ
れに螺合するナット部材とによって送る測定機の駆動連
結装置に関する。例えば、三次元測定機などにおいて、
スライダの駆動装置に利用できる。
に関する。詳しくは、測定機の可動部を送りねじ軸とそ
れに螺合するナット部材とによって送る測定機の駆動連
結装置に関する。例えば、三次元測定機などにおいて、
スライダの駆動装置に利用できる。
【０００２】
【背景技術】自動三次元測定機では、図４に示す如く、
基台１の両側に立設したコラム２間に移動レール３を前
後方向（Ｙ軸方向）へ移動自在に設け、この移動レール
３に沿ってスライダ４を左右方向（Ｘ軸方向）へ移動自
在に設け、このスライダ４に下端に測定子を有するスピ
ンドル５を上下方向（Ｚ軸方向）へ移動自在に設けると
ともに、各軸ごとにその可動部（３，４，５）を各軸方
向へ移動させるための駆動装置を設け、これらの駆動装
置をプログラムあるいはジョイスティツクなどによって
制御するようにしている。
基台１の両側に立設したコラム２間に移動レール３を前
後方向（Ｙ軸方向）へ移動自在に設け、この移動レール
３に沿ってスライダ４を左右方向（Ｘ軸方向）へ移動自
在に設け、このスライダ４に下端に測定子を有するスピ
ンドル５を上下方向（Ｚ軸方向）へ移動自在に設けると
ともに、各軸ごとにその可動部（３，４，５）を各軸方
向へ移動させるための駆動装置を設け、これらの駆動装
置をプログラムあるいはジョイスティツクなどによって
制御するようにしている。
【０００３】ところで、例えば、スライダ４をＸ軸方向
へ移動させる駆動装置をボールねじ構造によって構成す
る場合、図４に示すように、移動レール３にボールねじ
構造の送りねじ軸１１をスライダ４の移動方向に沿って
かつ回転自在に支持し、この送りねじ軸１１の一端にモ
ータ１２を連結するとともに、送りねじ軸１１に螺合し
たナット部材（図示省略）をスライダ４に連結する。そ
の際、ナット部材をスライダ４に直接的に連結してしま
うと、送りねじ軸１１の回転に伴ってナット部材は、送
りねじ軸１１の精度誤差や組み込み誤差などによって、
送りねじ軸１１の軸線に対して直交する面内で振れ運動
したり、あるいは、送りねじ軸１１の軸線方向に沿って
コニカル運動するため、スライダ４の運動精度が低下す
るという問題がある。
へ移動させる駆動装置をボールねじ構造によって構成す
る場合、図４に示すように、移動レール３にボールねじ
構造の送りねじ軸１１をスライダ４の移動方向に沿って
かつ回転自在に支持し、この送りねじ軸１１の一端にモ
ータ１２を連結するとともに、送りねじ軸１１に螺合し
たナット部材（図示省略）をスライダ４に連結する。そ
の際、ナット部材をスライダ４に直接的に連結してしま
うと、送りねじ軸１１の回転に伴ってナット部材は、送
りねじ軸１１の精度誤差や組み込み誤差などによって、
送りねじ軸１１の軸線に対して直交する面内で振れ運動
したり、あるいは、送りねじ軸１１の軸線方向に沿って
コニカル運動するため、スライダ４の運動精度が低下す
るという問題がある。
【０００４】そこで、本出願人は、先に、これらの欠点
を解消できる測定機の駆動連結構造を提案している（実
公平２−４９５２７号公報）。これは、図５に示す如
く、送りねじ軸１１に螺合したナット部材１３の外周
に、連結板１４を遊嵌するとともに、その連結板１４を
送り方向の前後側からそれぞれ複数の鋼球１５で挟持し
て送り方向に対しては変位不能にかつそれと直交する方
向に対しては変位可能に保持する保持機構１６を設ける
一方、スライダ４側に、前記連結板１４を２つの鋼球１
７で送り方向の前後側から挟持して送り方向に対しては
変位不能にかつ送り方向に対して直交する方向に対して
所定の範囲内で傾斜可能に保持するガイド機構１８を設
けた構造である。なお、１９はナット部材１３をスライ
ダ４に対して相対回転不能に保持する回り止め機構であ
る。
を解消できる測定機の駆動連結構造を提案している（実
公平２−４９５２７号公報）。これは、図５に示す如
く、送りねじ軸１１に螺合したナット部材１３の外周
に、連結板１４を遊嵌するとともに、その連結板１４を
送り方向の前後側からそれぞれ複数の鋼球１５で挟持し
て送り方向に対しては変位不能にかつそれと直交する方
向に対しては変位可能に保持する保持機構１６を設ける
一方、スライダ４側に、前記連結板１４を２つの鋼球１
７で送り方向の前後側から挟持して送り方向に対しては
変位不能にかつ送り方向に対して直交する方向に対して
所定の範囲内で傾斜可能に保持するガイド機構１８を設
けた構造である。なお、１９はナット部材１３をスライ
ダ４に対して相対回転不能に保持する回り止め機構であ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の構造の場合、送り方向の剛性は、連結板１４を送り方
向の前後側から挟持した各１個の鋼球１７によって決ま
るから比較的低い。従って、比較的小型、中型の測定機
の駆動装置に適用するには問題が少ないものの、超大型
測定機の駆動装置に適用するには送り方向の剛性が不足
するという問題がある。例えば、スライダ４が高速移動
していて急停止すると、そのときの慣性力が前または後
の鋼球１７に加わので、慣性力がより大きくなる超大型
測定機の駆動装置に適用するには精度上や耐久性の点で
問題が残る。
の構造の場合、送り方向の剛性は、連結板１４を送り方
向の前後側から挟持した各１個の鋼球１７によって決ま
るから比較的低い。従って、比較的小型、中型の測定機
の駆動装置に適用するには問題が少ないものの、超大型
測定機の駆動装置に適用するには送り方向の剛性が不足
するという問題がある。例えば、スライダ４が高速移動
していて急停止すると、そのときの慣性力が前または後
の鋼球１７に加わので、慣性力がより大きくなる超大型
測定機の駆動装置に適用するには精度上や耐久性の点で
問題が残る。
【０００６】そこで、送り方向の剛性を高めるための方
法として、鋼球１７に予圧を与えて送り方向の剛性を高
める方法、あるいは、鋼球１７の数を増やす方法などが
考えられる。しかし、前者の方法では、鋼球１７の耐久
性が低下し実用的でない。また、後者の方法では、連結
板１４がスライダ４に複数点で支持されることになるか
ら、ナット部材１３のコニカル運動が吸収できないとい
う問題がある。
法として、鋼球１７に予圧を与えて送り方向の剛性を高
める方法、あるいは、鋼球１７の数を増やす方法などが
考えられる。しかし、前者の方法では、鋼球１７の耐久
性が低下し実用的でない。また、後者の方法では、連結
板１４がスライダ４に複数点で支持されることになるか
ら、ナット部材１３のコニカル運動が吸収できないとい
う問題がある。
【０００７】ここに、本発明の目的は、このような従来
の問題を解消し、ナット部材の振れやコニカル運動を吸
収できるとともに、送り方向の剛性を従来のものより高
めることができる測定機の駆動連結装置を提供すること
にある。
の問題を解消し、ナット部材の振れやコニカル運動を吸
収できるとともに、送り方向の剛性を従来のものより高
めることができる測定機の駆動連結装置を提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明の測定
機の駆動連結装置は、測定機本体に可動部を移動可能に
設けるとともに、この可動部を送りねじ軸に螺合された
ナット部材に連結して前記移動方向へ送る測定機の駆動
連結装置において、前記ナット部材に固定されかつ前記
送りねじ軸の軸線上の一点を中心とする凸球面を有する
凸球面部材、この凸球面部材の外側を覆うとともに前記
凸球面と所定の隙間を隔てて対向しかつ前記一点を中心
とする凹球面を有する凹球面部材および前記凸球面部材
の凸球面と凹球面部材の凹球面との間に挿入された複数
の硬質球を含む自動調芯機構と、前記可動部側におい
て、前記自動調芯機構の凹球面部材を前記送り方向の前
後面から挟持して送り方向には変位不能にかつ送り方向
と直交する方向には変位可能に保持する保持機構と、前
記可動部およびナット部材のいずれか一方に設けられた
回り止めピンを含み、その回り止めピンを前記ナット部
材の周方向の両側から挟持してナット部材を可動部に対
して相対回転不能に保持する回り止め機構とをそれぞれ
設けた、ことを特徴としている。
機の駆動連結装置は、測定機本体に可動部を移動可能に
設けるとともに、この可動部を送りねじ軸に螺合された
ナット部材に連結して前記移動方向へ送る測定機の駆動
連結装置において、前記ナット部材に固定されかつ前記
送りねじ軸の軸線上の一点を中心とする凸球面を有する
凸球面部材、この凸球面部材の外側を覆うとともに前記
凸球面と所定の隙間を隔てて対向しかつ前記一点を中心
とする凹球面を有する凹球面部材および前記凸球面部材
の凸球面と凹球面部材の凹球面との間に挿入された複数
の硬質球を含む自動調芯機構と、前記可動部側におい
て、前記自動調芯機構の凹球面部材を前記送り方向の前
後面から挟持して送り方向には変位不能にかつ送り方向
と直交する方向には変位可能に保持する保持機構と、前
記可動部およびナット部材のいずれか一方に設けられた
回り止めピンを含み、その回り止めピンを前記ナット部
材の周方向の両側から挟持してナット部材を可動部に対
して相対回転不能に保持する回り止め機構とをそれぞれ
設けた、ことを特徴としている。
【０００９】
【作用】送りねじ軸を回転させると、それに螺合された
ナット部材が送りねじ軸の軸線方向へ移動される。この
とき、ナット部材が送りねじ軸の軸線に対して直交する
方向へ振れると、自動調芯機構の凹球面部材が送り方向
の前後面から挟持した複数個のボールによって送り方向
に対して直交する方向に変位するから、送りねじ軸の軸
線に対して直交する方向への振れを吸収することができ
る。また、ナット部材が送りねじ軸の軸線方向に沿って
コニカル運動すると、自動調芯機構の凸球面部材が凹球
面部材に対して回動するから、送りねじ軸の軸線方向に
沿ったコニカル運動を吸収することができる。しかも、
送り方向の剛性についても、保持機構によって凹球面部
材を送り方向の前後面から挟持して送り方向には変位不
能かつ送り方向と直交する方向には変位可能に保持すれ
ばよいから、従来の各１個の鋼球によって保持する構造
に比べ送り方向の剛性を高めることができる。
ナット部材が送りねじ軸の軸線方向へ移動される。この
とき、ナット部材が送りねじ軸の軸線に対して直交する
方向へ振れると、自動調芯機構の凹球面部材が送り方向
の前後面から挟持した複数個のボールによって送り方向
に対して直交する方向に変位するから、送りねじ軸の軸
線に対して直交する方向への振れを吸収することができ
る。また、ナット部材が送りねじ軸の軸線方向に沿って
コニカル運動すると、自動調芯機構の凸球面部材が凹球
面部材に対して回動するから、送りねじ軸の軸線方向に
沿ったコニカル運動を吸収することができる。しかも、
送り方向の剛性についても、保持機構によって凹球面部
材を送り方向の前後面から挟持して送り方向には変位不
能かつ送り方向と直交する方向には変位可能に保持すれ
ばよいから、従来の各１個の鋼球によって保持する構造
に比べ送り方向の剛性を高めることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明に係る測定機の駆動連結装置に
ついて好適な実施例を挙げ、図１〜図３に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明の駆動連結装置を三次元測定
機のスライダに適用した実施例を示す断面図、図２は図
１のII−II線断面図、図３は図１の III−1II 線断面図
である。なお、これらの図の説明に当たって、前述した
図４および図５と同一構成要件については、同一符号を
付し、その説明を省略もしくは簡略化する。
ついて好適な実施例を挙げ、図１〜図３に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明の駆動連結装置を三次元測定
機のスライダに適用した実施例を示す断面図、図２は図
１のII−II線断面図、図３は図１の III−1II 線断面図
である。なお、これらの図の説明に当たって、前述した
図４および図５と同一構成要件については、同一符号を
付し、その説明を省略もしくは簡略化する。
【００１１】図１において、可動部である前記スライダ
４はガイドレール７を介してＸ軸方向へ移動可能に設け
られている。また、前記送りねじ軸１１に螺合されたナ
ット部材１３は、自動調芯機構２１および保持機構３１
を介して前記スライダ４に連結されている。なお、８
は、送りねじ軸１１の端部側を回転自在に支持する軸受
けで、一端側のみを図示し、他端側については図示省略
してある。また、送りねじ軸１１の一端側には、カップ
リングやタイミングベルトなどを介して前記モータ１２
が連結される。
４はガイドレール７を介してＸ軸方向へ移動可能に設け
られている。また、前記送りねじ軸１１に螺合されたナ
ット部材１３は、自動調芯機構２１および保持機構３１
を介して前記スライダ４に連結されている。なお、８
は、送りねじ軸１１の端部側を回転自在に支持する軸受
けで、一端側のみを図示し、他端側については図示省略
してある。また、送りねじ軸１１の一端側には、カップ
リングやタイミングベルトなどを介して前記モータ１２
が連結される。
【００１２】前記自動調芯機構２１は、前記ナット部材
１３の外周に固定されかつ前記送りねじ軸１１の軸線上
の一点を中心とする凸球面２２を有する凸球面部材２３
と、この凸球面部材２３の外側を覆うとともに前記凸球
面２２と所定の隙間を隔てて対向しかつ前記一点を中心
とする凹球面２４を有する凹球面部材２５と、前記凸球
面部材２３の凸球面２２と凹球面部材２５の凹球面２４
との間に挿入された複数の硬質球としての鋼球２６とを
含んで構成されている。従って、凹球面部材２５に対し
て凸球面部材２３がその中心点を中心として回動できる
から、ナット部材１３の軸方向に沿ったコニカル運動を
吸収できる。なお、凹球面部材２５は、中間材２５Ａ
と、これを挟んで送り方向前後面にねじ止めされた前後
板２５Ｂ，２５Ｃとから構成されている。中間材２５Ａ
には貫通孔２７が送りねじ軸１１の軸線に対して直角に
形成されている。前後板２５Ｂ，２５Ｃの内面には前記
凹球面２４が形成されている。
１３の外周に固定されかつ前記送りねじ軸１１の軸線上
の一点を中心とする凸球面２２を有する凸球面部材２３
と、この凸球面部材２３の外側を覆うとともに前記凸球
面２２と所定の隙間を隔てて対向しかつ前記一点を中心
とする凹球面２４を有する凹球面部材２５と、前記凸球
面部材２３の凸球面２２と凹球面部材２５の凹球面２４
との間に挿入された複数の硬質球としての鋼球２６とを
含んで構成されている。従って、凹球面部材２５に対し
て凸球面部材２３がその中心点を中心として回動できる
から、ナット部材１３の軸方向に沿ったコニカル運動を
吸収できる。なお、凹球面部材２５は、中間材２５Ａ
と、これを挟んで送り方向前後面にねじ止めされた前後
板２５Ｂ，２５Ｃとから構成されている。中間材２５Ａ
には貫通孔２７が送りねじ軸１１の軸線に対して直角に
形成されている。前後板２５Ｂ，２５Ｃの内面には前記
凹球面２４が形成されている。
【００１３】前記保持機構３１は、前記送りねじ軸１１
に螺合されたナット部材１３を囲む箱型に形成されかつ
前記スライダ４に固定された枠体３２と、この枠体３２
内に設けられ前記自動調芯機構２１の凹球面部材２５を
送り方向の前後面から挟持するそれぞれ複数個のボール
３３とを含み構成され、前記自動調芯機構２１の凹球面
部材２５を送り方向には変位不能にかつ送り方向に対し
て直交する方向には変位可能に保持している。なお、枠
体３２は、上下板３２Ａ，３２Ｂと、この上下板３２
Ａ，３２Ｂの前後端に連結された前後板３２Ｃ，３２Ｄ
とから箱型に形成されている。下板３２Ｂには、前記中
間材２５Ａの貫通孔２７と対応する貫通孔３４が形成さ
れている。
に螺合されたナット部材１３を囲む箱型に形成されかつ
前記スライダ４に固定された枠体３２と、この枠体３２
内に設けられ前記自動調芯機構２１の凹球面部材２５を
送り方向の前後面から挟持するそれぞれ複数個のボール
３３とを含み構成され、前記自動調芯機構２１の凹球面
部材２５を送り方向には変位不能にかつ送り方向に対し
て直交する方向には変位可能に保持している。なお、枠
体３２は、上下板３２Ａ，３２Ｂと、この上下板３２
Ａ，３２Ｂの前後端に連結された前後板３２Ｃ，３２Ｄ
とから箱型に形成されている。下板３２Ｂには、前記中
間材２５Ａの貫通孔２７と対応する貫通孔３４が形成さ
れている。
【００１４】前記凸球面部材２３と前記枠体３２との間
には、前記ナット部材１３をスライダ４に対して相対回
動不能に保持する回り止め機構４１が設けられている。
回り止め機構４１は、前記凸球面部材２３に前記貫通孔
２７，３４を通って送りねじ軸１１の軸線に対して直角
に突設された回り止めピン４２と、この回り止めピン４
２の突出端側の前記枠体３２に固定されたブラケット４
３と、このブラケット４３に前記回り止めピン４２を挟
んで前記送りねじ軸１１の軸線と平行に支持された一対
の軸４４と、この各軸４４に複数の鋼球４５を介してそ
れぞれ回転可能かつ軸方向へ移動可能に取り付けられた
外筒４６とから構成されている。
には、前記ナット部材１３をスライダ４に対して相対回
動不能に保持する回り止め機構４１が設けられている。
回り止め機構４１は、前記凸球面部材２３に前記貫通孔
２７，３４を通って送りねじ軸１１の軸線に対して直角
に突設された回り止めピン４２と、この回り止めピン４
２の突出端側の前記枠体３２に固定されたブラケット４
３と、このブラケット４３に前記回り止めピン４２を挟
んで前記送りねじ軸１１の軸線と平行に支持された一対
の軸４４と、この各軸４４に複数の鋼球４５を介してそ
れぞれ回転可能かつ軸方向へ移動可能に取り付けられた
外筒４６とから構成されている。
【００１５】次に、本実施例の作用を説明する。送りね
じ軸１１を回転させと、ナット部材１３は送りねじ軸１
１の軸線方向へ移動される。すると、スライダ４も同方
向へ移動される。このとき、ナット部材１３の移動力は
自動調芯機構２１および保持機構３１の複数の鋼球２
６，３３を介してスライダ４へ伝達されるから、ナット
部材１３の移動方向については比較的高い剛性を得るこ
とができる。このことは、スライダ４を位置制御する上
できわめて有利であり、高精度な測定機を実現できる。
じ軸１１を回転させと、ナット部材１３は送りねじ軸１
１の軸線方向へ移動される。すると、スライダ４も同方
向へ移動される。このとき、ナット部材１３の移動力は
自動調芯機構２１および保持機構３１の複数の鋼球２
６，３３を介してスライダ４へ伝達されるから、ナット
部材１３の移動方向については比較的高い剛性を得るこ
とができる。このことは、スライダ４を位置制御する上
できわめて有利であり、高精度な測定機を実現できる。
【００１６】ところで、ナット部材１３が送りねじ軸１
１の軸線方向へ移動される際、ナット部材１３が送りね
じ軸１１の軸線に対して直交する方向へ振れると、自動
調芯機構２１の凹球面部材２５が送り方向の前後面から
挟持した鋼球３３によって送り方向に対して直交する方
向に変位するから、ナット部材１３の送りねじ軸１１の
軸線に対して直交する方向への振れを吸収することがで
きる。また、ナット部材１３が送りねじ軸１１の軸線方
向に沿ってコニカル運動すると、自動調芯機構２１の凸
球面部材２３が凹球面部材２５に対して回動するから、
ナット部材１３が送りねじ軸１１の軸線方向に沿って移
動する際に生じるコニカル運動を吸収することができ
る。
１の軸線方向へ移動される際、ナット部材１３が送りね
じ軸１１の軸線に対して直交する方向へ振れると、自動
調芯機構２１の凹球面部材２５が送り方向の前後面から
挟持した鋼球３３によって送り方向に対して直交する方
向に変位するから、ナット部材１３の送りねじ軸１１の
軸線に対して直交する方向への振れを吸収することがで
きる。また、ナット部材１３が送りねじ軸１１の軸線方
向に沿ってコニカル運動すると、自動調芯機構２１の凸
球面部材２３が凹球面部材２５に対して回動するから、
ナット部材１３が送りねじ軸１１の軸線方向に沿って移
動する際に生じるコニカル運動を吸収することができ
る。
【００１７】しかも、ナット部材１３が送りねじ軸１１
の軸線に対して直交する方向へ振れても、あるいは、送
りねじ軸１１の軸線方向に沿ってコニカル運動しても、
回り止め機構４１は、ナット部材１３の回動を規制しつ
つ、ナット部材１３のこれらの運動を許容できる構造で
あるから、振れやコニカル運動を確実に吸収できる。
の軸線に対して直交する方向へ振れても、あるいは、送
りねじ軸１１の軸線方向に沿ってコニカル運動しても、
回り止め機構４１は、ナット部材１３の回動を規制しつ
つ、ナット部材１３のこれらの運動を許容できる構造で
あるから、振れやコニカル運動を確実に吸収できる。
【００１８】従って、本実施例によれば、送りねじ軸１
１に螺合されたナット部材１３に、自動調芯機構２１お
よびこの自動調芯機構２１の凹球面部材２５を送り方向
に対して直交する方向へのみ変位可能に保持する保持機
構３１を介して、スライダ４を連結するようにしたの
で、送りねじ軸１１の回転によってナット部材１３が送
りねじ軸１１の軸線方向へ移動されるとき、ナット部材
１３の送りねじ軸１１の軸線に対して直交する方向への
振れを保持機構３１によって吸収できるとともに、ナッ
ト部材３の送りねじ軸１１の軸線方向に沿うコニカル運
動を自動調芯機構２１によって吸収することができる。
１に螺合されたナット部材１３に、自動調芯機構２１お
よびこの自動調芯機構２１の凹球面部材２５を送り方向
に対して直交する方向へのみ変位可能に保持する保持機
構３１を介して、スライダ４を連結するようにしたの
で、送りねじ軸１１の回転によってナット部材１３が送
りねじ軸１１の軸線方向へ移動されるとき、ナット部材
１３の送りねじ軸１１の軸線に対して直交する方向への
振れを保持機構３１によって吸収できるとともに、ナッ
ト部材３の送りねじ軸１１の軸線方向に沿うコニカル運
動を自動調芯機構２１によって吸収することができる。
【００１９】しかも、送り方向の剛性についても、自動
調芯機構２１の複数の鋼球２６および凹球面部材２５を
送り方向の前後面から挟持した複数個の鋼球３３によっ
て確保できる。つまり、従来の各１個の鋼球によって保
持する構造に比べ、鋼球の数を増やすことができるか
ら、送り方向の剛性を高めることができる。更に、送り
方向の剛性は、必要に応じて、鋼球３３の数を増やした
り、あるいは、鋼球３３の予圧量により調節すれば、よ
り高い剛性も得ることができる。
調芯機構２１の複数の鋼球２６および凹球面部材２５を
送り方向の前後面から挟持した複数個の鋼球３３によっ
て確保できる。つまり、従来の各１個の鋼球によって保
持する構造に比べ、鋼球の数を増やすことができるか
ら、送り方向の剛性を高めることができる。更に、送り
方向の剛性は、必要に応じて、鋼球３３の数を増やした
り、あるいは、鋼球３３の予圧量により調節すれば、よ
り高い剛性も得ることができる。
【００２０】また、回り止め機構４１は、、送りねじ軸
１１の軸線と平行に支持された一対の軸４４と、この各
軸４４に鋼球４５を介して回転可能かつ軸方向へスライ
ド可能に設けられ前記凸球面部材２３に突設した回り止
めピン４２を挟む外筒４６とによって構成したので、ナ
ット部材１３の軸線に対して直交する方向の振れや軸線
方向におけるコニカル運動を許容しつつ、ナット部材１
３の回転を確実に規制することができる。
１１の軸線と平行に支持された一対の軸４４と、この各
軸４４に鋼球４５を介して回転可能かつ軸方向へスライ
ド可能に設けられ前記凸球面部材２３に突設した回り止
めピン４２を挟む外筒４６とによって構成したので、ナ
ット部材１３の軸線に対して直交する方向の振れや軸線
方向におけるコニカル運動を許容しつつ、ナット部材１
３の回転を確実に規制することができる。
【００２１】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改
良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改
良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
【００２２】例えば、上記実施例では、回り止めピン４
２を凸球面部材２３側つまりナット部材１３側に突設し
たが、これとは逆に、枠体３２側つまりスライダ４側に
設けるようにしてもよい。また、上記実施例では、三次
元測定機のスライダ４の駆動装置に適用した例について
説明したが、本発明は、上記実施例に限られるものでな
く、他の測定機の可動部の駆動装置に適用できる。
２を凸球面部材２３側つまりナット部材１３側に突設し
たが、これとは逆に、枠体３２側つまりスライダ４側に
設けるようにしてもよい。また、上記実施例では、三次
元測定機のスライダ４の駆動装置に適用した例について
説明したが、本発明は、上記実施例に限られるものでな
く、他の測定機の可動部の駆動装置に適用できる。
【００２３】
【発明の効果】以上の通り、本発明の駆動連結装置によ
れば、ナット部材の振れやコニカル運動を吸収できると
ともに、送り方向の剛性を従来のものより高めることが
できる。
れば、ナット部材の振れやコニカル運動を吸収できると
ともに、送り方向の剛性を従来のものより高めることが
できる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】図１のII−II線断面図である
【図３】図１の III−III 線断面図である
【図４】三次元測定機を示す斜視図である。
【図５】従来の駆動連結装置を示す断面図である。
３ 移動レール（測定機本体） ４ スライダ（可動部） １１ 送りねじ軸 １３ ナット部材 ２１ 自動調芯機構 ２２ 凸球面 ２３ 凸球面部材 ２４ 凹球面 ２５ 凹球面部材 ２６ 鋼球（硬質球） ３１ 保持機構 ３３ 鋼球 ４１ 回り止め機構 ４２ 回り止めピン
Claims (1)
- 【請求項１】測定機本体に可動部を移動可能に設けると
ともに、この可動部を送りねじ軸に螺合されたナット部
材に連結して前記移動方向へ送る測定機の駆動連結装置
において、 前記ナット部材に固定されかつ前記送りねじ軸の軸線上
の一点を中心とする凸球面を有する凸球面部材、この凸
球面部材の外側を覆うとともに前記凸球面と所定の隙間
を隔てて対向しかつ前記一点を中心とする凹球面を有す
る凹球面部材および前記凸球面部材の凸球面と凹球面部
材の凹球面との間に挿入された複数の硬質球を含む自動
調芯機構と、 前記可動部側において、前記自動調芯機構の凹球面部材
を前記送り方向の前後面から挟持して送り方向には変位
不能にかつ送り方向と直交する方向には変位可能に保持
する保持機構と、 前記可動部およびナット部材のいずれか一方に設けられ
た回り止めピンを含み、その回り止めピンを前記ナット
部材の周方向の両側から挟持してナット部材を可動部に
対して相対回転不能に保持する回り止め機構とをそれぞ
れ設けた、 ことを特徴とする測定機の駆動連結装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32047891A JPH0794961B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 測定機の駆動連結装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32047891A JPH0794961B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 測定機の駆動連結装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157504A true JPH05157504A (ja) | 1993-06-22 |
| JPH0794961B2 JPH0794961B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=18121894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32047891A Expired - Fee Related JPH0794961B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 測定機の駆動連結装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0794961B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010066058A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Mitsutoyo Corp | 同期移動装置および画像測定装置 |
| DE102010038471A1 (de) | 2009-07-27 | 2011-02-03 | Mitutoyo Corp., Kawasaki-shi | Kugelgewindetriebmechanismus und industrielle Maschine |
| DE10128624B4 (de) * | 2000-06-13 | 2011-03-10 | Mitutoyo Corp., Kawasaki-shi | Maschine zum Messen des Aufbaus von Oberflächen |
| WO2011129317A1 (ja) * | 2010-04-14 | 2011-10-20 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
-
1991
- 1991-12-04 JP JP32047891A patent/JPH0794961B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10128624B4 (de) * | 2000-06-13 | 2011-03-10 | Mitutoyo Corp., Kawasaki-shi | Maschine zum Messen des Aufbaus von Oberflächen |
| JP2010066058A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Mitsutoyo Corp | 同期移動装置および画像測定装置 |
| DE102010038471A1 (de) | 2009-07-27 | 2011-02-03 | Mitutoyo Corp., Kawasaki-shi | Kugelgewindetriebmechanismus und industrielle Maschine |
| WO2011129317A1 (ja) * | 2010-04-14 | 2011-10-20 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
| CN102844633A (zh) * | 2010-04-14 | 2012-12-26 | 住友重机械工业株式会社 | 超低温制冷机 |
| JP5575880B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2014-08-20 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
| KR101440709B1 (ko) * | 2010-04-14 | 2014-09-17 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 극저온냉동기 |
| US8899053B2 (en) | 2010-04-14 | 2014-12-02 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryogenic refrigerator |
| CN102844633B (zh) * | 2010-04-14 | 2014-12-10 | 住友重机械工业株式会社 | 超低温制冷机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0794961B2 (ja) | 1995-10-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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