WO2008029557A1

WO2008029557A1 - Board storage container and check valve

Info

Publication number: WO2008029557A1
Application number: PCT/JP2007/064441
Authority: WO
Inventors: Yoshinori Sato
Original assignee: Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.
Priority date: 2006-09-04
Filing date: 2007-07-23
Publication date: 2008-03-13
Also published as: TW200816349A; EP2068356A4; KR20090060259A; JP2008066330A; CN101467241B; US8091592B2; JP4800155B2; US20090266441A1; EP2068356A1; CN101467241A; KR101419561B1; TWI409903B; EP2068356B1

Description

明細書

基板収納容器及び逆止弁

技術分野

[0001] 本発明は、半導体ウェハ、マスクガラス等の精密基板などを収納し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器、及び基板収納容器に取付けられる逆止弁に関する。

背景技術

[0002] 近年、半導体部品の微細化や配線の狭ピッチ化が進んでいる。このため、半導体ウェハ（精密基板）を収納する基板収納容器には、精密基板の汚染を防止するために高!/、密閉性と取极レ、の自動化とが求められて!/、る。このような基板収納容器では、ガスパージの際に利用される逆止弁を備えたものが知られている（例えば、特許文献 1〜3参照)。

[0003] 図 16は、従来の基板収納容器における逆止弁を示す分解斜視図である。図 16に示すように、従来の基板収納容器では、基板を収納する容器本体の壁体 51に貫通孔 51 aが形成され、この貫通孔 51aに、ガスパージの際に利用される逆止弁 52が装着されている。この逆止弁 52は、円環状のシール面を有する弁体 53と、この弁体 53 を収容する円筒状のハウジング 54とを備えている。このハウジング 54は、容器本体の内面側に配置される保持筒 55と、容器本体の外面側に配置される固定筒 56と有し、保持筒の 55の外面側、固定筒 56の内面側には、ねじ部 55a、 56aが形成されている。そして、壁体 51を挟むように保持筒 55及び固定筒 56を配置し、互いに螺合することで、ハウジング 54を形成させると共に壁体に固定して!/、る。

特許文献 1 :特開 2004— 146676号公報

特許文献 2：特開 2004— 179449号公報

特許文献 3 :特開 2002— 521189号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] しかしながら、上記特許文献 1及び 2に記載の従来技術では、逆止弁の組立の際に保持筒 55及び固定筒 56を互いに螺合するため、組立作業が複雑であり、組立作業の簡素化が求められている。また、逆止弁は、ねじ結合によって、容器本体に取り付けられているため、締め付けトルクの管理を行う必要があり、この締め付けトルクの管理に手間が掛かるという問題があった。

[0005] 本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、締め付けトルクの管理の必要性が無ぐ組立作業の簡素化を図った逆止弁及び逆止弁を備えた基板収納容器を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0006] 本発明による基板収納容器は、基板を収納する容器本体と、円筒状のハウジング及びハウジング内に配置された弁体を有し容器本体の内外に対する気体の流通を制御する逆止弁とを備え、ハウジングが容器本体の貫通孔に装入される基板収納容器において、容器本体の内部側を先端側とし、逆止弁は、後端側に装着されハウジングに対して相対回転可能とされると共に、ハウジングを後方から容器本体に固定する固定リングを具備し、ハウジングは、先端側に配置される第 1のハウジングと、先端部が第 1のハウジング内に挿入されて、第 1のハウジングに取り付けられる第 2のハウジングとを備え、第 1のハウジングは、後端部から後方へ突出する固定片と、固定片の後端部に形成され固定リングを固定する固定爪とを備え、固定リングは、前記第 1 のハウジングの外側に装着される円筒状の側壁部と、前記側壁部から外方へ突出するつば部とを備え、前記側壁部の内周面には、軸方向に延在し前記固定爪を案内する案内凹部と、内方に突出し前記固定片と当接可能とされた周り止め部と、前記周り止め部から周方向に屈曲され前記固定片に係止されるフック部とが設けられていることを特 ί毁としている。

[0007] このような基板収納容器によれば、容器本体の内面側を先端側とし、容器本体の内外に対する気体の流通を制御する逆止弁を具備し、この逆止弁のハウジングは、先端側に配置される第 1のハウジングと、後端側に配置される第 2のハウジングとを備えている。更に、基板収納容器は、ハウジングの後方から装着されハウジングに対して相対回転可能とされ、逆止弁を容器本体に固定するための固定リングを備えている。これにより、固定リングによって、逆止弁を容器本体に固定することができるので、従前のようにねじによって固定する必要がなぐ締め付けトルクの管理を行う必要がない。また、固定リングを第 1のハウジングに固定するための固定片及び固定爪を備えているため、固定リングを押し込むことで、逆止弁を確実に容器本体に固定することができる。また、固定リングは、外方に突出するつば部を備えているため、このつば部を容器本体に当接させることで、逆止弁を安定して固定することが可能となる。また、固定リングは、第 1のハウジングの外側に装着される円筒状の側壁部に、固定爪を軸方向に案内する案内凹部を備えているため、固定リングを円滑に第 1のハウジングに装着することができ、組立作業を効率の向上が図られる。また、固定リングの側壁部の内周面には、内方に突出し固定片と当接可能とされた周り止め部と、周り止め部から周方向に屈曲され固定片に係止されるフック部とが設けられているため、固定リングを固定片に装着し固定リングをハウジングに対して回転させることで、固定リングのフック部をハウジングの固定片に係止させることができる。

[0008] ここで、逆止弁は、第 1のハウジングに対して第 2のハウジングを位置決めする位置決め部と、第 1のハウジングに対して第 2のハウジングを係止させる係止部とを更に備えることが好ましい。これにより、位置決め部によって第 2のハウジングを第 1のハウジングに対して位置決めすることができ、係止部によって第 2のハウジングを第 1のハウジングに対して係止させることができる。そのため、第 1のハウジング及び第 2のハウジングの組立の際に、従前のようにねじ結合する必要がなぐ組立作業の簡素化が図られる。

[0009] また、第 2のハウジングは、先端部側から折り返され第 1のハウジングの内周面に全周にわたって当接する折り返しフランジ部を備え、係止部は、第 1のハウジングの内周面に形成された係止凹部と、第 2のハウジングの折り返しフランジ部に形成され係止凹部に係合する係止突起とを有することが好ましい。これにより、第 1のハウジングに対して、第 2のハウジングを押し込むことで、第 1のハウジングの内周面に形成された係止凹部と、第 2のハウジングの折り返しフランジ部に形成された係止突起とを係合させること力 Sできる。従って、組立作業の簡素化を図ることが可能となる。

[0010] また、位置決め部は、第 1のハウジングの後端に形成された位置決め用凹部と、第 2のハウジングの折り返しフランジ部に形成され位置決め用凹部に係合する位置決め用凸部とを備えていることが好ましい。これにより、第 1のハウジングの後端に形成された位置決め凹部と、第 2のハウジングの折り返しフランジ部に形成された位置決め凸部とによって、第 1のハウジングに対する第 2のハウジングの位置決めを行うことができる。

[0011] また、弁体は、円柱状を成し、環状のシール面が形成された一方の端部と、付勢手段によって付勢される環状の付勢面が形成された環状つば部と、気体の流通を可能とするガス抜き凹部が径方向に形成された他方の端部と備え、環状のシール面及び環状の付勢面は略同心とされ、環状の付勢面の外径は、環状のシール面の外径以上であることが好ましい。これにより、付勢手段によって付勢される環状の付勢面の外径カ弁体の環状のシール面の外径以上であるため、弁体の傾きを防止して確実に気体をシールすることができる。また、シール面が形成された一方の端部とは反対側の他方の端部に、気体の流通を可能とするガス抜き凹部が径方向に形成されているため、他方の端部が平坦面に接触した場合にあってもガス抜き凹部内における気体の流通が可能となる。従って、シール面と反対側で不要なシール面が形成されることがない。なお、付勢手段と環状つば部とが接触している部分が線状である場合、この線状の接触部分を付勢面とし、この線状の接触部分の径を「付勢面の外径」とする。

[0012] また、本発明による逆止弁は、基板を収納する基板収納容器の容器本体の貫通孔に装入され、基板収納容器の内外に対する気体の流通を制御する逆止弁において、容器本体の内部側を先端側とし、貫通孔に装着される円筒状のハウジングと、ハウジング内に収容された弁体と、ハウジングの後端側に装着されハウジングに対して相対回転可能とされると共に、ハウジングを後方から容器本体に固定する固定リングとを備え、ハウジングは、先端側に配置される第 1のハウジングと、先端部が第 1のハウジング内に挿入されて、第 1のハウジングに取り付けられる第 2のハウジングとを備え、第 1のハウジングは、後端部から後方へ突出する固定片と、固定片の後端部に形成され固定リングを固定する固定爪とを備え、固定リングは、第 1のハウジングの外側に装着される円筒状の側壁部と、側壁部から外方へ突出するつば部とを備え、側壁部の内周面には、軸方向に延在し固定爪を案内する案内凹部と、内方に突出し固定片と当接可能とされた周り止め部と、周り止め部から周方向に屈曲され固定片に係止されるフック部とが設けられて!/、ることを特徴として!/、る。

[0013] このような逆止弁によれば、容器本体の内面側を先端側とし、円筒状のハウジングは、先端側に配置される第 1のハウジングと、後端側に配置される第 2のハウジングとを備えている。更に、逆止弁は、ハウジングの後方から装着されハウジングに対して相対回転可能とされハウジングを容器本体に固定するための固定リングを備えている。これにより、固定リングによって、逆止弁を容器本体に固定することができるので、従前のようにねじによって固定する必要がなぐ締め付けトルクの管理を行う必要がない。また、固定リングを第 1のハウジングに固定するための固定片及び固定爪を備えているため、逆止弁を確実に容器本体に固定することができる。また、固定リングは、外方に突出するつば部を備えているため、このつば部を容器本体に当接させることで、逆止弁を安定して固定することが可能となる。また、固定リングは、第 1のハウジングの外側に装着される円筒状の側壁部に、固定爪を軸方向に案内する案内凹部を備えているため、固定リングを円滑に第 1のハウジングに装着することができ、組立作業を効率の向上が図られる。また、固定リングの側壁部の内周面には、内方に突出し固定片と当接可能とされた周り止め部と、周り止め部から周方向に屈曲され固定片に係止されるフック部とが設けられているため、固定リングを固定片に装着し固定リングをハウジングに対して回転させることで、固定リングのフック部をハウジングの固定片に係止させること力 Sでさる。

[0014] ここで、逆止弁は、第 1のハウジングに対して第 2のハウジングを位置決めする位置決め部と、第 1のハウジングに対して第 2のハウジングを係止させる係止部とを更に備えることが好ましい。これにより、位置決め部によって第 2のハウジングを第 1のハウジングに対して位置決めすることができ、係止部によって第 2のハウジングを第 1のハウジングに対して係止させることができる。そのため、第 1のハウジング及び第 2のハウジングの組立の際に、従前のようにねじ結合する必要がなぐ組立作業の簡素化が図られる。

発明の効果

[0015] 本発明によれば、締め付けトルクの管理の必要性が無ぐ組立作業の簡素化が図られた逆止弁及び逆止弁を備えた基板収納容器を提供することができる。図面の簡単な説明

[0016] [図 1]本発明の実施形態に係る給気弁及び排気弁を備えた基板収納容器を示す分解斜視図である。

[図 2]図 1に示す基板収納容器の底面図である。

[図 3]図 1中の給気弁を示す分解斜視図である。

[図 4]閉状態の給気弁を示す断面図である。

[図 5]開状態の給気弁を示す断面図である。

[図 6]図 3中のハウジングの filj面図である。

[図 7]図 6に示すハウジングの平面図である。

[図 8]図 6に示すハウジングの底面図である。

[図 9]固定リングが係止された状態のハウジングを示す底面図である。

[図 10]固定リングが係止されていない状態のハウジングを示す底面図である。

[図 11]図 3中の弁体を示す側面図である。

[図 12]図 1中の排気弁を示す分解斜視図である。

[図 13]閉状態の排気弁を示す断面図である。

[図 14]開状態の排気弁を示す断面図である。

[図 15]図 12中の弁体を示す側面図である。

[図 16]従来の基板収納容器における逆止弁を示す分解斜視図である。

符号の説明

[0017] 1···基板収納容器、 2···容器本体、 2d…容器本体の貫通孔、 8···給気弁（逆止弁) 、 9···排気弁（逆止弁）、 11···ハウジング、 12···固定筒（第 1のハウジング）、 12(1··· 係止凹部 (係止部）、 12e…位置決め用凹部 (位置決め部）、 12g…固定片、 12ί··· 固定爪、 13, 23…弁体、 13a, 23a…弁体の一方の端部、 13b, 23b…弁体の他方の端部、 13c, 23c…ガス抜き凹部、 13e, 23e…環状つば部、 13f, 23f…付勢面、 14···弁体収納筒（第 2のハウジング）、 14a…折り返しフランジ部、 14b…係止突起（係止部）、 14c…位置決め凸部 (位置決め部）、 17···圧縮コイルばね (付勢手段）、 1 8a…環状のシール面、 19…固定リング、 19a…側壁部、 19b…つば部、 19c…案内凹部、 19d…周り止め部、 19e…フック部。発明を実施するための最良の形態

[0018] 以下、本発明による基板収納容器及び逆止弁の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態の基板収納容器は、逆止弁として給気弁及び排気弁を備えている。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図 1は、本発明の実施形態に係る給気弁及び排気弁を備えた基板収納容器を示す分解斜視図、図 2は、図 1に示す基板収納容器の底面図である。

[0019] 図 1に示す基板収納容器 1は、例えば口径が 300mm (約 12インチ）の半導体ゥェノ、（基板;不図示）を複数枚 (例えば 25、 26枚)収容し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器である。この基板収納容器 1は、いわゆるフロントオープンボックスタイプのものであり、基板を収納する容器本体 2と、この容器本体 2に設けられた開口部を覆う蓋体 4とを備えている。また、本明細書において、開口部が形成された面（蓋体 4が配置された面）を「容器本体 2の前面」と定め、「前」「後」「左」「右」等の方向を表す語を用いることとする。

[0020] 容器本体 2は箱型を成し、図示左側の面には基板を出し入れする開口部が形成されている。容器本体 2の対向する一対の側壁 2aの内面には、複数の基板を上下方向に水平に並べて支持する支持部が各々設けられている。また、容器本体 2の底壁 2cには、内外を貫通する複数 (本実施形態では 2つ）の貫通孔 2dが形成されている（図 3参照）。これらの貫通孔 2dの周縁には、円筒形のリブ 10が下方に突出するように形成されている。また、容器本体 2の天板には、天井搬送用のロボティックハンドル 2 bが設置されている。

[0021] 蓋体 4は、容器本体 2と蓋体 4との間を封止するシール用ガスケットを介して、開口部を閉鎖するものである。この蓋体 4は、容器本体 2の開口部に係止されるラッチ機構を内蔵している。蓋体 4の正面側（基板収納容器の外面側）には、ラッチ機構を操作するための操作キーが揷入される操作孔 4aが形成されている。この操作孔 4aに操作キーを揷入して ± 90度回転させることで、ラッチ機構の係止爪を蓋体 4から容器本体 2側へと出没させること力 Sできる。操作キーを揷入し反時計回りに 90度回転させ、ラッチ機構の係止爪を容器本体 2側に突出し係止している位置から蓋体 4側に没入させることで、蓋体 4を容器本体 2から取外し可能な状態とすることができる。一方、蓋体 4を容器本体 2に取り付ける場合には、係止爪が内部に没入した状態の蓋体 4を容器本体 2に取り付け、操作キーを時計回りに 90度回転させ、ラッチ機構の係止爪を突出させることで、蓋体 4を容器本体 2に係止させることができる。また、蓋体 4の背面側（基板収納容器の外面側）には、複数の基板を上下方向に水平に並べて支持するリテーナが設けられて!/、る。

[0022] 図 2に示すように容器本体 2の底壁 2c (底部）の外面側には、ボトムプレート 7が固定されている。このボトムプレート 7は、底壁 2cを外面側から覆うものであり、基板収納容器 1が適用される加工装置等への位置決め行う位置決め部材 7aを有している。また、ボトムプレート 7には、給気弁 8、排気弁 9を外部に露出させる開口 7bが形成されている。この開口 7bは、容器本体 2の貫通孔 2dに対応する位置に形成されている。

[0023] また、基板収納容器 1は、上述したように、容器本体 2の内外に対する気体の流通を制御する給気弁 8及び排気弁 9を備えて!/、る。これらの給気弁 8及び排気弁 9は、基板収納容器 1内の気体を置換する際に利用されるものであり、給気弁 8は、内部に気体を供給する際に利用される供給側開閉バルブとして機能し、排気弁 9は、外部に気体を排出する際に利用される排出側開閉バルブとして機能するものである。

[0024] 次に、給気弁 8及び排気弁 9 (以下、給気弁 8及び排気弁 9の両方を指す場合には、逆止弁 8, 9という。）について説明する。図 3は、図 1中の給気弁を示す分解斜視図、図 4は、閉状態の給気弁を示す断面図、図 5は、開状態の給気弁を示す断面図、図 6は、図 3中のハウジングの側面図、図 7は、図 6に示すハウジングの平面図、図 8 は、図 6に示すハウジングの底面図、図 9は、固定リングが係止された状態のハウジングを示す底面図、図 10は、固定リングが係止されていない状態のハウジングを示す底面図、図 11は、図 3中の弁体を示す側面図、図 12は、図 1中の排気弁を示す分解斜視図、図 13は、閉状態の排気弁を示す断面図、図 14は、開状態の排気弁を示す断面図、図 15は、図 12中の弁体を示す側面図である。なお、給気弁 8及び排気弁 9 の説明にお!/、て、容器本体 2の内面側を先端側とする。

[0025] 逆止弁 8, 9は、図 3〜図 6、図 12〜図 14に示すように、円筒状のハウジング 11を具備している。このハウジング 11は、先端側に配置されて底壁 2cに固定される固定筒（第 1のハウジング） 12と、後端側に配置され弁体 13, 23を収納する弁体収納筒（第 2のハウジング） 14とを備えている。弁体収納筒 14は、給気弁 8では弁体 13を収納し、排気弁 9では弁体 23を収納する。ハウジング 11は、弁体 13, 23の他に、円形のフィルタ 15、このフィルタ 15を押さえるフィルタ押さえ 16、弁体 13, 23を付勢する圧縮コイルばね（付勢手段） 17、 Oリング 18, 21を収納している。また、逆止弁 8, 9 は、ハウジング 11を容器本体 2に固定するための固定リング 19を備えている。なお、給気弁 8と排気弁 9とが異なる点は、弁体 13, 23が異なる点と、 Oリング 18、弁体 13 , 23、圧縮コイルばね 17の配置が逆になる点である。

[0026] 固定筒 12は円筒状を成し、固定筒 12の一方の端部（先端部）には、図 7に示すように、格子状の窓枠 12aによって囲繞された複数の窓が形成されている。この格子状の窓枠 12aが形成された一方の端部が、容器本体 2の内面側に配置される。給気弁 8では、この窓を通って気体が容器本体 2内に流入し、排気弁 9では、この窓を通つて気体が容器本体 2外に流出する。また、固定筒 12の一方の端部には、外方に突出するつば部 12bが全周にわたつて形成されて!/、る。

[0027] また、固定筒 12の円筒状の側壁 12cの内周面には、図 3、図 6、図 8及び図 12に示すように、複数の係止凹部 12dが形成されている。そして、この係止凹部 12dが、弁体収納筒 14の後述する係止突起 (係止部） 14bと係合する。また、側壁 12cの外面には、つば部 12bの根元に沿って、 Oリング 20を装着するための溝部 12fが形成されている。

[0028] また、固定筒 12の側壁 12cの他方の端部（後端部）には、複数の位置決め用凹部（切欠き） 12eが形成されている。この位置決め凹部 12eは、側壁 12cの後端から前方へ凹むように形成されてレ、る。

[0029] また、固定筒 12の側壁 12cの他方の端部には、後方へ突出する複数 (本実施形態では 4つ）の固定片 12gが形成されている。この固定片 12gは、周方向において等間隔で配置されている。さらに、この固定片 12gの後端には、径方向の外方へ突出する固定爪 12iが設けられている。固定片 12gは可撓性を有し、固定爪 12iは内方から固定リング 19を係止するものである。

[0030] フィルタ 15は、固定筒 12内の一方の端部側に配置され、容器本体 2内への汚染物質の侵入を防止するものである。フィルタ 15としては、例えば、四フッ化工チレン、ポリエステル繊維、多孔質テフロン膜 (登録商標、商品名、多孔質フッ素樹脂膜）、ガラス繊維等によって形成される分子濾過フィルタ、活性炭素繊維等の濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタが挙げられる。なお、フィルタ 15を 1枚使用してもよく、複数枚使用してもよい。また、複数種類のフィルタ 15を使用してもよい。例えば、分子濾過フィルタとケミカルフィルタとを組み合わせることによって、容器本体 2内の基板のパーティクル汚染を防止することができ、加えて、有機ガスによる汚染を防止すること力 Sでさる。

[0031] フィルタ押さえ 16は、円盤部 16aと、この円盤部 16aから外方（後方）へ延びる円筒部 16bとを有している。この円盤部 16aは、フィルタ 15と略同じ大きさとされ、フィルタ 15を固定筒 12の窓枠 12aに対して内方から押さえつけるものである。また、円盤部 1 6aと円筒部 16bとは同軸上に配置され、円盤部 16aにおける円筒部 16bの付け根には、円盤部 16aの板厚方向に貫通する複数の貫通孔 16cが形成されている。そして、ハウジング 11内を通過する気体は、貫通孔 16cを通過する。なお、円筒部 16bの内部は、閉じられ、気体の通過が不可能な構成とされている。

[0032] 弁体 13, 23は、図 11及び図 15に示すように、円柱状を成し、一方の端面 13a, 23 aには、環状の溝部が形成され Oリング 18が装着されている。 Oリング 18は、弁体 13 , 23に装着された状態において、弁体 13, 23の一方の端面 13a, 23aより外方に突出している。この Oリング 18によって、環状のシール面 18aが形成される。弁体 13, 2 3の他方の端面 13b, 23bには、気体の流通を可能とするガス抜き凹部 13c, 23cが径方向に設けられている。

[0033] また、弁体 13, 23の周面には、外方に突出する環状つば部 13e, 23eが形成されている。この環状つば部 13e, 23eの他方の端部 13b, 23b側の面が、圧縮コイルばね 17によって付勢される環状の付勢面 13f, 23fを形成している。そして、弁体 13, 2 3、圧縮コイルばね 17、 Oリング 18は、略同軸 L上に配置され、環状の付勢面 13f, 2 3fの外径 D1は、環状のシール面 21aの外径 D2より大きな径とされている。

[0034] また、弁体 13, 23の周面には、環状つば部 13e, 23eに向かって突出するガイドリブ 13g, 23gが周方向において等間隔となるように複数設けられている。このガイドリブ 13g, 23gは、弁体 13, 23の周面及び環状つば部 13eと交差するように形成され、側面視において、三角形を成し、他方の端部 13b, 23b側から環状つば部 13e, 23e に向力、つて径方向に大きくなるように設置されている。このガイドリブ 13g, 23gによつて、圧縮コイルばね 17を案内することができるため、圧縮コイルばね 17を弁体 13と同軸上に配置させ易くなる。

[0035] また、弁体 13には、円形の開口部 13dが他方の端部 13bから軸方向に延びるように形成されている。この開口部 13dに、フィルタ押さえ 16の円筒部 16bが揷入される。一方、弁体 23には、円形の開口部 23dがー方の端部 23aから軸方向に延びるように形成されている。この開口部 23dに、フィルタ押さえ 16の円筒部 16bが揷入される。これらの弁体 13, 23は、フィルタ押さえ 16の円筒部 16bに装着されて、軸方向しに摺動可能な構成とされて!/、る。

[0036] 弁体収納筒 14は、円筒状を成し、弁体 13, 23を収容可能な大きさとされている。

一方の端部の外側の周縁部には、図 4〜図 6、図 14及び図 15に示すように、 Oリング 21が装着される段差部が形成されている。また、弁体収納筒 14は、一方の端部（先端部）から折り返され固定筒 12の内周面に全周にわたって当接する折り返しフランジ部 14aを有している。すなわち、折り返しフランジ部 14aが固定筒 12内に揷入されて、折り返しフランジ部 14aの外周面力固定筒 12の側壁 12cの内周面に当接す

[0037] また、折り返しフランジ部 14aの外周面には、図 6に示すように、固定筒 12の係止凹部 12dに対応する位置に係止突起 14bが設けられている（図 6参照）。この係止突起 14bは、折り返しフランジ部 14aから外方に突出し、係止凹部 12dに係合可能な構成とされている。固定筒 12の係止凹部 12dと、弁体収納筒 14の係止突起 14bとによつて、固定筒 12に対して弁体収納筒 14を係止させる本発明の係止部を構成している

[0038] また、折り返しフランジ部 14aの後端部には、図 8に示すように、固定筒 12の位置決め用凹部 12eに係合する位置決め凸部 14cが設けられている。この位置決め凸部 1 4cは、側面視において L字状を成し、折り返しフランジ部 14aの後端部から後方へ突出すると共にその後端から外方へ突出している。固定筒 12の位置決め用凹部 12eと、弁体収納筒 14の位置決め凸部 14cとによって、固定筒 12に対して弁体収納筒 14 の位置決めを行う本発明の位置決め部を構成している。

[0039] 弁体収納筒 14の他方の端部には、内方に突出するつば部 14dが形成されている。

このつば部 14dの内面は、平坦面とされている。弁体収納筒 14の他方の端部において、つば部 14dにより囲鐃された開口部力気体が通過する通気口 14eとなる。給気弁 8では、この通気口 14eを通って気体がハウジング 11内に流入し、排気弁 9では、この通気口 14eを通って気体がハウジング 11外に流出する。

[0040] 固定リング 19は、図 3〜図 5に示すように、円筒状の側壁部 19aと、この側壁部 19a の後端から外方へ突出するつば部 19bとを有している。この側壁部 19aの内径は、固定筒 12の側壁 12cの外径より少し大きくされ、側壁部 19aは、固定筒 12の側壁 12 cの外側に装着可能な構成とされている。この固定リング 19は、後方から固定筒 12に装着されるものである。

[0041] 側壁部 19aの内面には、図 9及び図 10に示すように、固定リング 19を固定筒 12に装着する際に、固定爪 12iを案内する案内凹部 19cが形成されている。案内凹部 19 cは、固定爪 12iに対応する位置で、軸方向に延在している。また、案内凹部 19cは、固定リング 19の後端近傍において、傾斜面を有している。この傾斜面は、後方に向力、うにつれて、内方へ傾斜している。固定リング 19を固定筒 12に装着する際には、固定爪 12iは、案内凹部 19cによって、案内され、傾斜面と固定爪 12iが接触することで、固定片 12gが内方に橈む。固定爪 12iが傾斜面を通過すると、固定爪 12iが固定リング 19の後端から突出した状態となり、固定片 12gが復元される。このとき、固定リング 19は、固定爪 12iによって内方力係止された状態となり、固定リング 19の後方への移動が拘束される。なお、図 10において、案内凹部 19cは、固定爪 12iと重なる位置に配置されている。

[0042] つば部 19bは、図 4及び図 5に示すように、固定筒 12のつば部 12bと対向するように、全周にわたって形成されている。この固定リング 19のつば部 12bと固定筒 12のつば部 12bと力 S、容器本体 2の底壁 2c、リブ 10を挟むことで、ハウジング 11を容器本体 2に固定することができる。

[0043] また、固定リング 19は、図 9及び図 10に示すように、内方に突出し、固定片 12gと当接可能とされた周り止め部 19dを有している。周り止め部 19dは、板状を成し、固定筒 12の固定片 12gに対応するように複数設けられている。固定リング 19を固定筒 12に装着して、周方向（本実施形態では右方向）に回転させた場合に、固定片 12g と周り止め部 19dが当接して、固定リング 19の周方向への移動を拘束させることができる。

[0044] また、固定リング 19は、周り止め部 19dから周方向（本実施形態では左方向）に屈曲され固定片 12gに係止されるフック部 19eを有している。フック部 19eは、板状を成し、周り止め部 19dの端部から屈曲されて、周方向に延在している。フック部 19eは、周方向において、固定片 12gの幅に対応する大きさとされ、内方から固定片 12を係止可能な突部を有している。固定リング 19が固定筒 12に係止された状態では、固定片 12gは、径方向において、側壁部 19aとフック部 19eとによって挟まれ、周方向において、周り止め部 19dとフック部 19eとによって挟まれている。

[0045] なお、逆止弁 8, 9の材質としては、例えば、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレン、シクロォレフインポリマー、ポリアセタール、ポリエーテルイミド等の樹脂が挙げられ、これらの樹脂から適宜選択して、逆止弁 8, 9を形成することが好ましい。また、ハウジング 11を構成する固定筒 12及び弁体収納筒 14は、内部状況を確認することができるように、透明な樹脂によって形成されることが好ましい。また、 Oリング 18, 2 0, 21の材質としては、例えば、メラミンゴム、イソプレンゴム、ブチノレゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等のゴム、ポリエステル系熱可塑性エラストマ一、ポリオレフイン系ェラストマー等の各種熱可塑性エラストマ一が挙げられる。また、圧縮コイルばね 17の材質としては、ステンレスなどの金属、樹脂等が挙げられる。金属製の圧縮コイルばね 17を適用する場合には、金属成分による容器本体 2内の汚染を防止するために、金属の表面に、 PEEKなどの樹脂成分を用いたコーティング、エラストマ一成分を用いたコーティング、ダイヤモンドライクコーティングなどを施工することが好ましい。

[0046] 次に、このように構成された基板収納容器 1の給気弁 8、排気弁 9の組立について説明する。まず、固定筒 12の他方の端部側（固定爪 12i側）が上方を向くようにし、固定筒 12内に、フィノレタ 15、フィルタ押さえ 16を揷入する。

[0047] 次に、給気弁 8では、圧縮コイルばね 17、 Oリング 18が装着された弁体 13をフィノレタ押さえ 16上に配置する。具体的には、圧縮コイルばね 17をフィルタ押さえ 16と弁体 13との間に配置し、弁体 13の開口部 13d内に、フィルタ押さえ 16の円筒部 16bを揷入させる。

[0048] 一方、排気弁 9では、 Oリング 18が装着された弁体 23、圧縮コイルばね 17をフィノレタ押さえ 16上に配置する。具体的には、弁体 23の開口部 23d内に、フィルタ押さえ 1 6の円筒部 16bを揷入させ、圧縮コイルばね 17を弁体 23の他方の端部 23b側から装着する。

[0049] 次に、 Oリング 21が装着された弁体収納筒 14を準備し、固定筒 12に装着する。具体的には、図 6に示すように、弁体収納筒 14の位置決め凸部 14cを固定筒 12の位置決め用凹部 12eに合わせて、弁体収納筒 14を固定筒 12に押し込んで、固定筒 1 2の係止凹部 12dに、弁体収納筒 14の係止突起 14bを嵌める。弁体収納筒 14の折り返しフランジ 14aの外周面力固定筒 12の側壁 12cの内周面に当接した状態となる。また、フィルタ 15、フィルタ押さえ 16の円盤部 16aは、弁体収納筒 14の一方の端部によって、固定筒 12の窓枠 12aに押し付けられて固定される。

[0050] 給気弁 8では、図 4に示すように、圧縮コイルばね 17の一方の端部がフィルタ押さえ 16の円盤部 16aに当接し、圧縮コイルばね 17の他方の端部が弁体 13の環状つば部 13bに当接した状態となっている。そして、弁体 13は、圧縮コイルばね 17によつて付勢され、弁体 13に装着された Oリング 18が弁体収納筒 14のつば部 14dの内面に押し当てられている。 Oリング 18によるシール面は、弁体収納筒 14の通気口 14e を囲繞するように、通気口 14eの外径よりも大きく形成されている。これにより、容器本体 2の密閉状態を維持することができる。

[0051] 一方、排気弁 9では、図 13に示すように、圧縮コイルばね 17の一方の端部が弁体 23の環状つば部 23bに当接し、圧縮コイルばね 17の他方の端部が弁体収納筒 14 のつば部 14dの内面に当接した状態となっている。そして、弁体 23は、圧縮コイルばね 17によって付勢され、弁体 23に装着された Oリング 18がフィルタ押さえ 16の円盤部 16bに押し当てられている。 Oリング 18によるシール面は、フィルタ押さえ 16の複数の貫通孔 16cの外側を囲繞するように、複数の貫通孔 16cの外側よりも大きく形成されている。これにより、容器本体 2の密閉状態を維持することができる。 [0052] ここで、排気弁 9の通気口 14eを、給気弁 8の通気口 14eよりも大きく形成しておくことができる。これにより、給気弁 8と排気弁 9との区別が容易となる。また、通気口 14e がシール面により閉鎖されない排気弁 9では、洗浄時に弁体収納筒 14内に洗浄液が浸入するので、通気口 14eを大きくしておくことで洗浄後の水切りや乾燥効率を向上させること力 Sでさる。

[0053] 次に、ハウジング 11の容器本体 2へ固定について説明する。まず、図 4、図 5、図 1 3及び図 14に示すように、 Oリング 20を固定筒 12の溝部 12fに装着する。次に、固定筒 12を容器本体 2の底壁 2cの貫通孔 2dに装着する。具体的には、固定筒 12の他方の端部を、容器本体 2の内面側から貫通孔 2dに揷入する。そして、固定筒 12のつば部 12を、貫通孔 2dの周縁に当接させる。このとき、固定筒 12の固定爪 12iは、リブ 10より外方に突出した状態となっている。

[0054] 次に、固定リング 19を容器本体 2の外面側から固定筒 12の固定爪 12iに装着する。具体的には、図 10に示すように、固定リング 19の案内凹部 19cを固定筒 12の固定爪 12iに対応する位置に配置し、固定リング 19を固定筒 12に対して押し込む。固定爪 12iは、案内凹部 19cによって案内されて、固定リング 19のつば部 19bの内側の周縁に係合する。次に、固定リング 19を固定筒 12に対して相対回転させて、固定筒 12の固定片 12gを固定リング 19の周り止め部 19dに当接させる。この状態で、固定リング 19のフック部 19eが固定片 12gに係止され、固定リング 19の移動が拘束される。そして、固定リング 19のつば部 19bがリブ 10の端部に当接した状態となる。すなわち、固定筒 12のつば部 12bと固定リング 19のつば部 19bとによって、容器本体 2の底壁 2cおよびリブ 10を挟むようにして、ハウジング 11は、容器本体 2確実に固定される。このように、固定リング 19を用いて、ハウジング 11を容器本体 2に固定しているため、従前のようにねじによって固定する必要がなぐ締め付けトルクの管理を行う必要がなくされている。

[0055] 次に、給気弁 8の動作について説明する。平常時において、給気弁 8は、図 4に示すように、弁体 13が弁体収納筒 14のつば部 14dに押し付けられて、閉状態となっている。そして、容器本体 2内に気体を供給する際には、気体の圧力によって、弁体 13 が圧縮コイルばね 17に抗して移動し、図 5に示すように、給気弁 8は開状態となる。容器本体 2内に供給される気体は、通気口 14eを通ってハウジング 1 1内に流入し、フィルタ押さえ 16の貫通孔 16c、フィルタ 15を通過する。フィルタ 15によって不純物が除去された気体は、固定筒 12の窓を通過して、容器本体 2内に供給される。供給される気体の圧力が低下すると、弁体 13は、圧縮コイルばね 17によって付勢されて移動し、給気弁 8は閉状態になる。

[0056] 次に、排気弁 9の動作について説明する。平常時において、排気弁 9は、図 13に示すように、弁体 23がフィルタ押さえ 16の円盤部 16aに押し付けられて、閉状態となつている。そして、容器本体 2外に気体を排出する際には、気体の圧力によって、弁体 23が圧縮コイルばね 17に抗して移動し、図 14に示すように、排気弁 9は開状態となる。容器本体 2外に排出される気体は、固定筒 12の窓を通って、フィルタ 15、フィルタ押さえ 16の貫通孔 16cを通過する。貫通孔 16cを通過した気体は、弁体収納筒 14内に流入し、通気口 14eを通って排出される。容器本体 2内の気体の圧力が低下すると、弁体 23は、圧縮コイルばね 17によって付勢されて移動し、排気弁 9は閉状態になる。

[0057] このような基板収納容器 1では、給気弁 8及び排気弁 9を備えているため、好適にガスパージを行うことができる。また、給気弁 8及び排気弁 9のハウジング 1 1は、固定筒 12と弁体収納筒 14とを備え、これらの固定筒 12及び弁体収納筒 14は、位置決め用凹部 12e及び位置決め凸部 14cを有している。このため、固定筒 12に対する弁体収納筒 14の位置決めを容易に行うことができ、効率良く給気弁 8及び排気弁 9を組み立てること力 Sできる。また、固定筒 12及び弁体収納筒 14は、係止凹部 12d及び係止突起 14bを備えているため、弁体収納筒 14を固定筒 12に対して係止させることができる。これにより、従前のようにねじによってハウジング 1 1を結合する必要がない。また、基板収納容器 1の給気弁 8及び排気弁 9は、固定リング 19を用いて、ハウジング 1 1を容器本体 2に固定することができるので、従前のようにねじによって固定する必要がない。従って、従前のようにねじ結合する必要がないので、締め付けトルクの管理を行う必要がない。その結果、組立作業の簡素化が図られている。

[0058] また、固定筒 12は、固定リング 19を固定するための固定片 12g及び固定爪 12iを備えているため、固定リング 19確実に固定筒 12に固定することができる。また、固定リング 19は、外方に突出するつば部 19bを備えているため、つば部 19bを容器本体 2の貫通孔 2dの周縁に当接させることで、ハウジング 11が安定して容器本体 2に固定されている。また、固定リング 19の側壁部 19aの内周面には、固定爪 12iの移動を案内する案内凹部 19cが設けられているため、固定リング 19をスムーズに固定筒 12 に装着することができる。これにより、組立作業の効率を一層向上させることができる。また、固定リング 19の側壁部 19aの内周面には、内方に突出し固定片 12gと当接可能とされた周り止め部 19eと、周り止め部 19eから周方向に屈曲され固定片 12gに係止されるフック部 19eとが設けられているため、固定リング 19を固定片 12gに装着し固定リング 19を固定筒 12に対して回転させることで、固定リング 19のフック部 19e を固定筒 12の固定片 12gに係止させることが可能とされている。

[0059] また、圧縮コイルばね 17によって付勢される環状の付勢面 13f, 23fの外径 D1が、弁体 13, 23の環状のシール面 18aの外径 D2より大きいため、弁体 13, 23の傾きを防止して確実に気体をシールすることができる。また、シール面 18aが形成された一方の端部 13a, 23aとは反対側の他方の端部 13b, 23bに、気体の流通を可能とするガス抜き凹部 13c, 23cが径方向に形成されているため、他方の端部 13bとフィルタ押さえ 16の円盤部 16aとが接触した場合、他方の端部 23bと弁体収納筒 14のつば部 14bとが接触した場合にあっても、ガス抜き凹部 13c, 23cによって、気体を流通させること力 Sできる。従って、シール面 18aと反対側で不要なシール面が形成されることを防止すること力できる。

[0060] 以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、本発明の基板収納容器による収納物を基板としているが、収納される基板は、半導体ウェハに限定されず、マスクガラスを始めとしたその他の基板でもよい。

[0061] また、上記実施形態では、ボトムプレート 7を備える構成としている力ボトムプレート 7を備えな!/、構成でもよ!/、。

[0062] また、上記実施形態では、付勢手段として圧縮コイルばね 17を用いている力 S、例えば、板ばねや、各種熱可塑性エラストマ一を始めとした各種ゴムを用いても良い。なお、板ばねの材質としては、ステンレスや樹脂等が挙げられる。 [0063] また、上記実施形態では、環状の付勢面の外径 D1が環状のシール面 18aの外径 D2より大きくなつている力 S、付勢面の外径 D1がシール面の外径 D2より小さくてもよい。

ただし、付勢面の外径 D1がシール面の外径 D2以上であることが好ましい。

産業上の利用可能性

[0064] 本発明は、締め付けトルクの管理の必要性が無ぐ組立作業の簡素化を図った逆止弁及び逆止弁を備えた基板収納容器を提供する。

Claims

請求の範囲

基板を収納する容器本体と、円筒状のハウジング及び前記ハウジング内に配置された弁体を有し前記容器本体の内外に対する気体の流通を制御する逆止弁とを備え、前記ハウジングが前記容器本体の貫通孔に装入される基板収納容器にお!/、て、前記容器本体の内部側を先端側とし、

前記逆止弁は、後端側に装着され前記ハウジングに対して相対回転可能とされると共に、前記ハウジングを後方から前記容器本体に固定する固定リングを具備し、前記ハウジングは、

先端側に配置される第 1のハウジングと、

先端部が前記第 1のハウジング内に挿入されて、前記第 1のハウジングに取り付けられる第 2のハウジングとを備え、

前記第 1のハウジングは、

後端部から後方へ突出する固定片と、

前記固定片の後端部に形成され固定リングを固定する固定爪とを備え、前記固定リングは、

前記第 1のハウジングの外側に装着される円筒状の側壁部と、

前記側壁部から外方へ突出するつば部とを備え、

前記側壁部の内周面には、

軸方向に延在し前記固定爪を案内する案内凹部と、

内方に突出し前記固定片と当接可能とされた周り止め部と、

前記周り止め部から周方向に屈曲され前記固定片に係止されるフック部とが設けられてレ、ることを特徴とする基板収納容器。

前記逆止弁は、

前記第 1のハウジングに対して前記第 2のハウジングを位置決めする位置決め部と前記第 1のハウジングに対して前記第 2のハウジングを係止させる係止部とを更に備えることを特徴とする請求項 1記載の基板収納容器。先端部側から折り返され前記第 1のハウジングの内周面に全周にわたって当接する折り返しフランジ部を備え、

前記係止部は、

前記第 1のハウジングの内周面に形成された係止凹部と、

前記第 2のハウジングの折り返しフランジ部に形成され前記係止凹部に係合する係止突起とを有することを特徴とする請求項 2記載の基板収納容器。

[4] 前記位置決め部は、

前記第 1のハウジングの後端に形成された位置決め用凹部と、

前記第 2のハウジングの折り返しフランジ部に形成され前記位置決め用凹部に係合する位置決め用凸部とを備えていることを特徴とする請求項 2又は 3に記載の基板収納容器。

[5] 前記弁体は、円柱状を成し、

環状のシール面が形成された一方の端部と、

付勢手段によって付勢される環状の付勢面が形成された環状つば部と、前記気体の流通を可能とするガス抜き凹部が径方向に形成された他方の端部と備え、

前記環状のシール面及び前記環状の付勢面は略同心とされ、前記環状の付勢面の外径は、前記環状のシール面の外径以上であること特徴とする請求項 1〜4の何れか一項に記載

の基板収納容器。

[6] 基板を収納する基板収納容器の容器本体の貫通孔に装入され、前記基板収納容器の内外に対する気体の流通を制御する逆止弁において、

前記容器本体の内部側を先端側とし、

前記貫通孔に装着される円筒状のハウジングと、

前記ハウジング内に収容された弁体と、

前記ハウジングの後端側に装着され前記ハウジングに対して相対回転可能とされると共に、前記ハウジングを後方から前記容器本体に固定する固定リングとを備え、前記ハウジングは、先端側に配置される第 1のハウジングと、

前記第 1のハウジングは、

後端部から後方へ突出する固定片と、

前記側壁部から外方へ突出するつば部とを備え、

前記側壁部の内周面には、

軸方向に延在し前記固定爪を案内する案内凹部と、

前記周り止め部から周方向に屈曲され前記固定片に係止されるフック部とが設けられて!/、ることを特徴とする逆止弁。

前記第 1のハウジングに対して前記第 2のハウジングを位置決めする位置決め部と前記第 1のハウジングに対して前記第 2のハウジングを係止させる係止部とを更に備えることを特徴とする請求項 6記載の逆止弁。