WO2007066633A1 - 超音波アクチュエータ - Google Patents

Abstract

　超音波アクチュエータは、振動方向が互いに異なる複数の振動を発生させる圧電素子１０と、圧電素子１０に設けられて圧電素子１０の振動に従って動作することで所定の駆動方向への駆動力を出力する駆動子２，２と、圧電素子１０に設けられて圧電素子１０と電気的に接続された給電電極８，８，…と、給電電極８，８，…と当接して圧電素子１０を弾性的に支持すると共に、給電電極８，８，…に給電するための給電端子となる支持給電部６Ａ，６Ｂ，７Ａ，７Ｂ，９Ａとを備える。

Description

音波アクチ タ

術分野

０００1 、各種 子機器に用 られる振動 クチ タに関するものであり、さら に言えば、電気 子を用 た超音波 クチ タに関する。

０００2 来の 音波 クチ タを 2 22に示す。 2 は従来の 音波 クチ タの 電素子 の であり、 22は同断面図である。

０００3 電素子 は5 所の支持部 C にて支持さ れており、この 電素子 には、4 2a 2b 2c 2dが形成さ れ、反対 の 電素子 面には全面 ( ず)が形成されて る。

０００4 ワイヤ 4aは、は 5aにより 2aと、は 5cにより 2c 接続されて る。また、ワイヤ 4bは、は 5bにより 2bと、は

5dにより 2d 接続されて る。さらに、ワイヤ 4 は、前記 接 続されて る。これらのワイヤ 4a 4b 4 を通じて 電素子 に電圧が 印 される。

０００5 電素子 の 面には駆動 2が設けられ、その 可動体 3に接 触して る。この 2の 、前記 持部 Cにより可動体 3に しており、これにより 2の 動体 3との を高めて 電素 子 の 動を駆動 ０2を介してより確実に可動体 3に さ て る。

０００6 次にこの 音波 クチ タの 動方法に て 単に説明する。

０００7 23、 24、 25(a)～(d)は、それぞれ 電素子の 態を説明する

である。

０００8 ワイヤ 4 をグランドに接続し、前記ワイヤ 4aには特定の 波数の の 圧を、前記ワイヤ 4bには基準 位相 。

が9 、または 9 ずれた電圧を印 する。すると、 23に示すよ に、圧電素子 に、屈曲 動の2 ドおよび、 24に示す ( 、 )の ドが誘起される。 ０００9 動の 波数、 、伸縮 動の 波数はそれぞれ 電素子 の 料、形状 決定されるが、この の 波数を略 さ 、その の 波数の 圧を印 することに 、圧電素子 には、屈曲2 ド

ドが調和的に誘起され、 2 (a) (b、 (c) (d)に示す 状の を順番 に起こす。

００1０ その 果、圧電素子 に設けられた駆動 2が紙面 向 ら見て

動を起こす。 まり、圧電素子 の 動と 動の 成に 2 が 動を起こす。この 動に 2に支持された可動体 3が または の 向に可動し、超音波アクチ タとしての 割をなして る。 ００11 ここで、圧電素子の 動のノ ド ( )に て説明する。

００12 動のノ ド部は、 24に示すとおり、圧電素子の 向の であり、 屈曲 動のノ ド部は、 23に示すとおり、圧電素子の 向の 、 素子の 状に 変位するが、中央 ら さの35～4 れた部分であ る。

００13 まり 動と 動が調和的に発生した場合の 通のノ ドは、圧電素子 の 向の 心部のみとなる。

００14 なお、本出願の 明に関する先行 術文献 報としては、例えば、特許 、

2が知られて る。

1 8 23797

2 6985 報

発明の

明が解決しよ とする課題

００15 し しながら、特許 に係る超音波アクチ タの に、圧電素子の 面に 給電電極を設けて、 電電極にはんだに ワイヤを接続して、このワイヤを通じて 電素子の 電電極に電圧を印 する構成にお ては、圧電素子におけるはん を設けた部分に応力が集中して 電素子が割れる虞がある 題がある。

００16 方、ワイヤ びは を用 ずに圧電素子に給電する超音波アクチ タとし て特許 2に開示された超音波アクチ タがあるが、 音波アクチ タ の に圧電素子 アクチ タ 体をし りと固定する構成にお ては、圧 電素子 アクチ タ 体の 動を阻害し、その 果、超音波アクチ タとしての 率を低下さ る 題がある。

００17 そこで 、圧電素子の 動 の 影響を低減して 音波アクチ タとし ての 率を向上さ ると共に、圧電素子における 電素子に給電するためのワイ ヤの 続部分に応力が集中して 電素子が割れることを防止することを目的とす る。

題を解決するための

００18 、圧電素子を有し、振動方向が互 に異なる複数の 動を発生さ るア クチ タ 体と、前記アクチ タ 体に設けられて アクチ タ 体の 動に従 て動作することで所定の 動方向 の 動力を出力する 、前記 アクチ タ 体に設けられて前記 電素子と電気 に接続された 電電極 、 前記 電電極 して前記アクチ タ 体を弾性的に支持すると共に、 電電極に給電するための 子となる 電部とを備えるものとする。

明の

００19 、圧電素子を有するアクチ タ 体を支持 電部により 性的に支 持することによ て、アクチ タ 体及び 電素子の 動の 害を低減すること ができ、その 果、効率を向上さ ることができる 果を有する。それに加 えて、 、支持 電部により 電素子と 電電源との を実現する ことによ て 電素子にはん を設ける必要がな なるため、は を設けた部分に 応力が集中して 電素子が割れることを防止することができる 果を有す る。

００2０ は、 明の に係る超音波アクチ タの である。

2 2は、超音波アクチ タの 面図である。

3 3の(a)～(d)は、それぞれ に係る超音波アクチ タの 電素 子の 作を示す である。

4 4は、実施 の に係る超音波アクチ タの であ 。

5 5は、超音波アクチ タの 面図である。

6 6は、実施 の 2に係る超音波アクチ タの であ る。

7 7は、超音波アクチ タの 面図である。

8 8は、実施 2に係る超音波アクチ タの である。

9 9は、超音波アクチ タの である。

1０ は、超音波アクチ タの 面図である。

11 (a)～(d)は、それぞれ 2に係る超音波アクチ タの 電 素子の 作を示す である。

12 2は、実施 2の に係る超音波アクチ タの で ある。

13 3は、超音波アクチ タの 面図である。

14 4は、実施 2の 2に係る超音波アクチ タの で ある。

15 5は、超音波アクチ タの 面図である。

16 6は、参考 に係る超音波アクチ タの 面図である。

17 7は、別の参 に係る超音波アクチ タの 面図である。

18 8は、さらに別の参 に係る超音波アクチ タの 面図である。 19 9は、その他の実 態に係る超音波アクチ タの である。 2０ 2 は、別のその他の実 態に係る超音波アクチ タの である 21 2 は、従来の 音波アクチ タにおける 電素子 の である。 22 22は、従来の 音波アクチ タの 面図である。

23 23は、屈曲 動の2 ドの である。

24 24は、伸縮 動の ドの である。

25 25の(a～( は、それぞれ 電素子の 作を説明する である。 号の ００21

2

3 動体

4 4a 4b 4 ワイヤ

5 はんだ

6 52

6 6 52 の 持部

7 53 2

7 7 53 2 の 持部

8 8a 8b 8c 8d 電電極

9 54 3

g 54 3 の 持部

6 電素子

8

5 82 電部

発明を実施するための 良の

００22 下、本 明の 音波アクチ タに て、実施の および 面を用 て 説明する。

００23 明の

電素子 は、 2に示すよ に、 に設けられた 、 2、 3 6 7 9の 持部6 6 7 7 g にて支持されて る。この 電素子 が アクチ タ 体を構成する。

００24 3 9は、この 音波アクチ タが実装される に設けられて おり、この に超音波アクチ タを実装することにより 電素子 を支 持部g を介して 面 ら支持するとともに駆動 2を可動体3 して る。 ００25 これら支持部6 6 7 7 g はそれぞれ弾性体よりなり、具体的には、 ラ スト 、 ン ム、 ネが挙げられる。

００26 特に、 ン ムを用 た場合は支持部と 電素子 との 触、支持部と支持 との がそれぞれ 接触になり、これにより安定して 電素子 を支持すること ができ、さらに他の ラストラ 比較して弾性の 度変 が少な 安定して支持 できる 果を有する。 えて、圧電素子 の 動に起因する音の発生を 防止することができる 果も有する。

００27 このよ に少な とも支持部に弾性体を用 ることで、圧電素子 の 動が 害さ れるのを低減し、その 果、超音波アクチ タの 率を向上さ ることができると 果を有する。特に、 3 9の 持部g は圧電素子 のノ ド部で はな ( ノ ド )を支持して るため弾性体を用 ることによる ( )の 減の 大き のである。

００28 方、第 、 2 6 7の 持部6 6 7 7 に ては屈曲 動のノ ド部を支持して るが、これら支持部6 6 7 7 を弾性体にすることで、し りと 電素子に固定して た従来のものと比較して 動の 減の 果を 有するとともに、 ノ ド となる 動の 減の 果も有する。

００29 特に、近年要望される超音波アクチ タの を考えた場合、圧電素子も小 型 されるが、その 、製造上ノ ド部のみに支持 を接合することが精度上より難 し なる。し し、支持部に弾性体を用 ることで多少ノ ド部 らずれたとしても振 動の 害を緩和できるため、製造にお てより高 度を必要としな なり、小型の 音波アクチ タを製造しやす 果を有する。

００3０ また、前記 性体を実装する場合は、圧電素子と 性体の 着性、支持 性 体の 着性のそれぞれを向上さ るためこの 性体を圧縮した状態で実装すること が望ま 。

００31 電素子 の 面には、給電電極8が設けられて る。この 電電極8に電圧が 印 されることにより 電素子 が 圧の 波数に応じて 動する。 電電 極8a(8b 8c 8d) 、 省略するが、その 部が圧電素子 の まで延 びて 成され、圧電素子 の ( し は、 、後述する 持部6 6 7 7 g の 電部5 が する部分)に露出して外部電極を形成して る。

００32 また、 、 2、 3 6 7 9には導電部5 5 設け、 、 2、 3 6 7 9には引出 を設けて る。そして、 電部5 が圧電 素子 の に露出する 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 すること によ て、 電部5 を介して 電素子 の 電電極8a(8b 8c 8d)

とを電気 に導 さ て る。すなわち、支持部6 6 7 7 g は、 電電極8a(8b 8c 8d)に給電する 子として機能しており、支持 電部 を構成する。

００33 このよ な構成にすることにより 電素子 にはんだによるワイヤ 続を設ける 要がな なるため、は を設けた 電素子の 位に応力が集中して 電素子 が割れる恐れがな なると 果を有する。また、圧電素子 の み方向に 設けて たはんだが不要になるためその を図ることができる。

００34 また、 、 2、 3 6 7 9の 持部6 6 7 7 g の 性体とし て ン ムを用 、この ン ムを圧縮 5～4 囲で圧縮して 実装することにより、圧電素子 の 電電極 電部5 、 電部5 支持 の のそれぞれの 着性が安定するので 抗が安定となり、その 果、 超音波アクチ タとしての 性の を図ることができる。ここで言 と は、変形前後の さの 、変形前の長さとの比である。 体的には長さ の ，

・ g まで圧縮した場合、圧縮 である。

００35 この 電部5 は、一 の 持部に複数 けることで信頼性を向上さ ることができ る。この 電部5 としては、金属 、金属 子を用 ることができ、特に、金属 子を 用 た場合は繰り返し 縮に強 ため 久性が向上すると 果を有する。 ００36 すなわち、支持部6 6 7 7 g は、 ムで構成することができる。 ００37 また、 電部5 の 料としては、金属 としては ッケ 、 、または、必要に応 じてそれらの 面を金め きしたものを用 ることができる。また、金属 子としては 電気伝導 のよ 銀を用 ることが望まし 。

００38 さらに、給電電極8a～8d、特に、その中でも外部電極は、 し は ラジウム

( Pd)等で構成する( 、銀を主成分として構成する)、又は銀 し は ラジウム 金等を焼き付け処理 し は 理することが好まし 。

００39 ここで、 電電極8a(8b 8c 8d) し はその 面を銀を主成分として構成する と共に、 電部5 し はその 面を銀を主成分として構成することによ て、 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 電部5 との することを防 止することができ、 における の 大を防止することができる。 し は、銀は大気中の 素及び 硫酸ガスによ て 質を有する ため、少な ともその 面が銀を主成分として構成された 電電極8a(8b 8c 8d )の 部電極 少な ともその 面が銀を主成分として構成された 電部5 とを さ てお と、 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極及び 電部5 の 大気に された表面に位置する銀が大気中の 硫酸ガス 反応して となる。これにより、 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 電部5 との 周囲には 電電極8a(8b 8c 8d) 電部5 を一体的に覆 に 銀の膜が形成される。その 果、各 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 電部5 との 銀の膜によ て大気中の 化水素及び 硫酸ガス ら保護され、 化を防止することができる。

００4０ なお、この 電部5 は、全ての 持部( 、 2、 3 6 7 9の 持部6

6 7 7 g )に設けてもよ し、任意の 持部に設けることもできる。

００41 電素子 の 面には駆動 2が設けられ、可動体3に して る。

００42 次に、前記 成の 音波アクチ タの 作に て説明する。 3は 明 の 音波アクチ タの 電素子の 作を示す である。

００43 電素子 の 定の 電電極に特定の 波数の 流電圧を印 することにより 電素子 は、 23に示す 動の2 ド、および 24に示す 動の ドが誘起される。 し は、屈曲 動の 波数、および、伸縮 動の 波数はそれぞれ 電素子 の 料、形状 により決定されるが、この の 波数を略 さ 、その の 波数の 圧を、4 の 電電極8の 、圧電 素子 の 角線上に位置する 電電極8a 8cと8b 8d 。

にそれぞれ 相が9 又 は 。

9 ずらして することにより、圧電素子 は屈曲2 ド

ドの 動が調和的に誘起される。ここで、屈曲2 ドの 動方向は、可動体の 動方向、 、駆動 2により出力される 動力の 動方向であり、伸縮 ド の 動方向は、可動体の 動方向( 、駆動方向)とは 直方向で 電素子 動体3を結ぶ ( 2が可動体3を支持する方向)である。 ００44 そして 電素子 は、 3(a) (b) (c) (d)に示す 状の を順番に起こし、 その 果、圧電素子 に設けられた駆動 2が紙面 向 ら見て 動を起 こす。すなわち、圧電素子 の 動と 動の 成により 2が 動を起こす。この 動により 2が する可動体3が 2 または の 向に可動し、超音波アクチ タとしての 割をなして る。すなわち、駆 動 2は、矢印 の びる方向( 定の 動方向)に駆動力を出力して る。 ００45 下、具体的に説明すると、例えば、チタン ジ ン の セラ ック 料 を圧電素子 に用 た場合、圧電素子の 状を長さ6 、 ・ 7 、厚み に作製し、その 電素子 に に示したものと同様の 置にし、厚み方向に 分 を掛けた場合、伸縮 動の ドの 波数、および 動の2 ドの 波数は、ほぼ一致し27 z にな た。

００46 そして、圧電素子 の 面のほぼ全面に形成された電極に接続されて る、支持 部g の 電部5 をグランドに接続し、電極8 8。に接続されて る、支持部6 7 の 電部5 5 に引出 を介して27 z 2 sの の 圧 を、電極8b 8dに接続されて る、支持部6 7 の 電部5 5 に引出 を介して基準 同一周波数、同一 9 。 または 9 。 の 圧を 印 することで、圧電素子 に屈曲 動の2 ド 動の ドが調 和的に誘起され、 3に示すよ 形状の 化を順に起こし、振動 2に 動 さ ることができた。

００47 さて、前記 明では、 、 2 6 7の 持部6 6 7 7 は、可動体 3の 動方向( 2の 、 ) 向に設けた 、 2 6 7にそれぞれ けたが、可動体3の 動方向( 2の 、 ) ( 電素子の 面及び )に設けた 、 2 に設けることも可能であるし、それぞれを組み合 わ て設けても良 。 、 2 の 持部を可動体3の 動方向( 2の 、 ) 向の 、 2 に設けた場合、振動に伴 向 の 電素子 のぶれを抑制することができ、これにより、圧電素子 の 動をより よ 2の 動に変換することができる 果を有する。 ００48 の

て、実施 の に て説明する。 4 5に実施 の を 示す。

００49 この に係る超音波アクチ タにお て、圧電素子 は、ケ ス2 の 部に収容されており、このケ ス2 の 壁面には 23 23 23 23 が設けられそれぞれ 電素子 を支持して る。

００5０ また、ケ ス2 の 面にも 24Cが設けられ、圧電素子 を支持して る。これら支持 23 23 23C 23 23 はそれぞれ弾性体よりなり、この 性体は、圧電素子 ケ ス2 より 性の ものが用 られる。 体的には、 ラスト 、 ン ム、 ネが挙げられる。

００51 特に、 ン ムを用 た場合は圧電素子 との 触、ケ ス2 との がそ れぞれ 接触になり、これにより安定して 電素子 を支持することができ、さらに 他の ラストラ 比較して弾性の 度変 が少な 安定して支持できると

果を有する。 えて、圧電素子 の 動に起因する音の発生を防止することが できる 果も有する。

００52 このよ に支持 に弾性体を用 ることで、圧電素子 の 動が 害されるのを低 減し、その 果、超音波アクチ タの 率を向上さ ることができる 用数 を有する。特に、 24Cは圧電素子 のノ ド部ではな ( ノ ド )を支持して るため弾性体を用 ることによる ( )の 減 の 大き のである。

００53 方、壁面 23 23 23 23 に ては屈曲 動のノ ド部を支持 して るが、これら支持 23 23 23 23 を弾性体にすることで、し りと 電素子に固定して た従来のものと比較して 動の 減の 果を有す るとともに、 ノ ド となる 動の 減の 果も有する。

００54 特に、近年要望される超音波アクチ タの を考えた場合、圧電素子も小 型 されるが、その 、製造上ノ ド部のみに支持 を接合することが精度上より難 し なる。し し、支持 に弾性体を用 るこ で多少ノ ド部 らずれた しても振 動の 害を緩和できるため、製造にお てより高 度を必要としな なり、小型の 音波アクチ タを製造しやす 果を有する。

００55 また、前記 性体を実装する場合は、圧電素子 性体の 着性、ケ ス2 性体の 着性のそれぞれを向上さ るためこの 性体を圧縮した状態で実装す ることが望ま 。

００56 電素子 の 面には、給電電極8が設けられて る。この 電電極8に電圧が 印 されることにより 電素子 が 圧の 波数に応じて 動する。 電電 極8a(8b 8c 8d) 、 省略するが、その 部が圧電素子 の まで延 びて 成され、圧電素子 の ( し は、 、後述する

23 23 23 23 24Cの 電部5 が する部分)に露 出して外部電極を形成して る。

００57 また、壁面 23 23 23 23 24Cには導電部5 5 設け、ケ ス2 には引出 52 52 設けて る。そして、 電部 5 が圧電素子 の に露出する 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 することによ て、 電部5 を介して 電素子 の 電電極8a(8b 8c 8d ) 52とを電気 に導 さ て る。

００58 このよ 構成にすることにより 電素子 にはんだによるワイヤ 続を設ける 要がな なるため、は を設けた 電素子の 位に応力が集中して 電素子 が割れる恐れがな なる 果を有する。また、圧電素子 の み方向に 設けて たはんだが不要になるためその を図ることができる。

００59 また、壁面 23 23 23 23 24Cの 性体として ン ムを用 、この ン ムを圧縮 5～4 囲で圧縮して実装す ることにより、圧電素子 の 電電極 電部5 、 電部5 ケ ス2 の

52のそれぞれの 着性が安定するので 抗が安定となり、その 果、超音波ア クチ タとしての 性の を図ることができる。ここで とは、変形 前後の さの 、変形前の長さとの比である。 体的には長さ の 性体を ・ g まで圧縮した場合、圧縮 である。

００6０ この 電部5 は、一 の に複数 けることで信頼性を向上さ ることができ る。この 電部5 としては、金属 、金属 子を用 ることができ、特に、金属 子を 用 た場合は繰り返し 縮に強 ため 久性が向上する 果を有する。 ００61 また、 電部5 の 料としては、金属 としては ッケ 、 、または、必要に応 じてそれらの 面を金め きしたものを用 ることができる。また、金属 子としては 電気伝導 のよ 銀を用 ることが望ま 。

００62 さらに、給電電極8a～8d、特に、その中でも外部電極は、 し は ラジウム

( Pd)等で構成する( 、銀を主成分として構成する)、又は銀 し は ラジウム 金等を焼き付け処理 し は 理することが好ま 。

００63 ここで、 電電極8a(8b 8c 8d) し はその 面を銀を主成分として構成する と共に、 電部5 し はその 面を銀を主成分として構成することによ て、 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 電部5 との することを防 止することができ、 における の 大を防止することができる。 し は、銀は大気中の 素及び 硫酸ガスによ て 質を有する ため、少な ともその 面が銀を主成分として構成された 電電極8a(8b 8c 8d )の 部電極 少な ともその 面が銀を主成分として構成された 電部5 とを さ てお と、 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極及び 電部5 の 大気に された表面に位置する銀が大気中の 硫酸ガス 反応して となる。これにより、 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 電部5 との 周囲には 電電極8a(8b 8c 8d) 電部5 を一体的に覆 に 銀の膜が形成される。その 果、各 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 電部5 との 銀の膜によ て大気中の 化水素及び 硫酸ガス ら保護され、 化を防止することができる。

００64 なお、この 電部5 は、全ての ( 23 23 23 23 および

24C)に設けてもよ し、任意の に設けることもできる。

００65 さて、圧電素子 の 面には駆動 2が設けられ、ケ ス2 の 面に設けられた 開口部22 ら駆動 2が突出しておりケ ス2 の 方にある可動体3 して る。

００66 の 音波アクチ タの 作に ては、前述の に係る超 音波アクチ タ 同様である。 ００67 の 2

次に、実施 の 2に て説明する。 6 7には、実施 の 2を示す。

００68 この に係る超音波アクチ タにお て、圧電素子 は、ケ ス2 の 部に収容されており、このケ ス2 の 壁面には 23 23 23 23 が設けられそれぞれ 電素子 を支持して る。

００69 また、このケ ス2 の 面には開口部22が設けられており、この 口部22に張り 出した 65がケ ス2 に設けられて る。この 65には圧電素子 を支 持する表面 6 6 が設けられて る。そして、前記 23 23 23 23 6 6 は、弾性体よりなる。ケ ス2 の 面に も 24Cが設けられ、圧電素子 を支持して る。この 24Cも 性体よりなる。

００7０ 性体は、圧電素子 ケ ス2 より 性の ものが用 られる。 体 的には、 ラスト 、 ン ム、 ネが挙げられる。

００71 特に、 ン ムを用 た場合は圧電素子 との 触、ケ ス2 との がそ れぞれ 接触になり、これにより安定して 電素子 を支持することができ、さらに 他の ラスト と比較して弾性の 度変 が少な 安定して支持できる

果を有する。 えて、圧電素子 の 動に起因する音の発生を防止することがで きる 果も有する。

００72 このよ に支持 に弾性体を用 ることで、圧電素子 の 動が 害されるのを低 減し、その 果、超音波アクチ タの 率を向上さ ることができる

果を有する。特に、 24C、表面 6 6 は圧電素子 のノ ド部 ではな ( ノ ド )を支持して るため弾性体を用 ることによる (

)の 減の 大き 祐のである。

００73 また、表面 6 6 を設けることにより、圧電素子 は、 24Cと の間に され、壁面 23 23 23 23 による 持と相 てより安定 な支持を実現できる 果も有する。

００74 方、壁面 23 23 23 23 に ては屈曲 動のノ ド部を支持 して るが、これら支持 23 23 23 23 を弾性体にすることで、し りと 電素子に固定して た従来のものと比較して 動の 減の 果を有す るとともに、 ノ ド となる 動の 減の 果も有する。

００75 特に、近年要望される超音波アクチ タの を考えた場合、圧電素子も小 型 されるが、その 、製造上ノ ド部のみに支持 を接合することが精度上より難 し なる。し し、支持 に弾性体を用 ることで多少ノ ド部 らずれたとしても振 動の 害を緩和できるため、製造にお てより高 度を必要としな なり、小型の 音波アクチ タを製造しやす 果を有する。

００76 また、前記 性体を実施する場合は、圧電素子 性体の 着性、ケ ス2 性体の 着性のそれぞれを向上さ るためこの 性体を圧縮した状態で実装す ることが望ま 。

００77 電素子 の 面には、給電電極8が設けられて る。この 電電極8に電圧が 印 されることにより 電素子 が 圧の 波数に応じて 動する。 電電 極8a(8b 8c 8d) 、 省略するが、その 部が圧電素子 の まで延 びて 成され、圧電素子 の ( し は、 、後述する

23 23 23 23 24Cの 電部5 が する部分)に露 出して外部電極を形成して る。

００78 また、壁面 23 23 23 23 24Cには導電部5 5 設け、ケ ス2 には引出 52 52 設けて る。そして、 電部 5 が圧電素子 の に露出する 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 することによ て、 電部5 を介して 電素子 の 電電極8a(8b 8c 8d ) 52とを電気 に導 さ て る。この 電部は表面 6 6 に設けることも可能である。

００79 このよ 構成にすることにより 電素子 にはんだによるワイヤ 続を設ける 要がな なるため、は を設けた 電素子の 位に応力が集中して 電素子 が割れる恐れがな なる 果を有する。また、圧電素子 の み方向に 設けて たはんだが不要になるためその 化を図るこ ができる。

００8０ また、壁面 23 23 23 23 、 24C 6 6 の 性体として ン ムを用 、この ン ムを圧縮 5～4 囲で圧縮して実装することにより、圧電素子 の 電電極8a(8b 8c 8d) 電部5 と、 電部5 ケ ス2 の 52とのそれぞれの 着性が安 定するので 抗が安定となり、その 果、超音波アクチ タとしての 性の を図ることができる。ここで とは、変形前後の さの 、変形前の 長さとの比である。 体的には長さ の 性体を ・ g まで圧縮した場合、圧 縮 である。

００81 また、ケ ス2 を より可動体3に向 するため、 24Cの 、ケ ス2 の 力に直接 される。ケ ス2 の 、超音波アクチ タの 性が最適になるよ に設定するので、その 力が裏 24Cの の 適な とは異なる危険性がある。し し、表面 6 6 を設けて るので、 24Cの を別途 することができるので、特性の が れる。

００82 この 電部5 は、一 の に複数 けることで信頼性を向上さ ることができ る。この 電部5 としては、金属 、金属 子を用 ることができ、特に、金属 子を 用 た場合は繰り返し 縮に強 ため 久性が向上する 果を有する。 ００83 また、 電部5 の 料としては、金属 としては ッケ 、 、または、必要に応 じてそれらの 面を金め きしたものを用 ることができる。また、金属 子としては 電気伝導 のよ 銀を用 ることが望ま 。

００84 さらに、給電電極8a～8d、特に、その中でも外部電極は、 し は ラジウム

( Pd)等で構成する( 、銀を主成分として構成する)、又は銀 し は ラジウム 金等を焼き付け処理 し は 理することが好ま 。

００85 ここで、 電電極8a(8b 8c 8d) し はその 面を銀を主成分として構成する と共に、 電部5 し はその 面を銀を主成分として構成することによ て、 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 電部5 との することを防 止することができ、 における の 大を防止することができる。 し は、銀は大気中の 素及び 硫酸ガスによ て と 質を有する ため、少な ともその 面が銀を主成分として構成された 電電極8a(8b 8c 8d 部電極 少な ともその 面が銀を主成分として構成された 電部5 とを さ てお と、 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極及び 電部5 の 大気に された表面に位置する銀が大気中の 硫酸ガスの 応して となる。これにより、 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 電部5 との 周囲には 電電極8a(8b 8c 8d) 電部5 を一体的に覆 に 銀の膜が形成される。その 果、各 電電極8a(8b 8c 8d)の 部電極 電部5 との 銀の膜によ て大気中の 化水素及び 硫酸ガス ら保護され、 化を防止することができる。

００86 なお、この 電部5 は、全ての ( 23 23 23 23 、

24C 6 6 )に設けてもよ し、任意の に設けること もできる。

００87 さて、圧電素子 の 面には駆動 2が設けられ、ケ ス2 の 面に設けられた 開口部22 ら駆動 2が突出しておりケ ス2 の 方にある可動体3 して る。

００88 2の 音波アクチ タの 作に ては、前述の に係る超 音波アクチ タ 同様である。

００89 明の 2》

て、 明の 2に て説明する。 8～ に実施 2に係る超 音波アクチ タの 成を示す。 実施 2が実施 異なる点は、圧 電素子6 の 動の 動方向と 動体3の 動方向( 、超音波アクチ タの 動方向)が 向であり、屈曲 動の 動方向が可動体3の 動方向と垂直 で 電素子6 動体3を結ぶ ( まり、駆動 2が可動体3を支持する方 向)である 点である。

００9０ 2に係る超音波アクチ タにお ては、圧電素子6 の 動の 動方向が可動体3の 動方向と同 ( の 、 )になるよ 電素子6 を 、 2 52 53間に配置し、この 動体3の 動方向と同 向の 、 2 52 53に支持部 53 を設けて る。また、圧電素子6 の にも 3 54が設けられ、その 持部54 にて 電素子6 を支持して る。 電素子 6 の 面には駆動 2 2が二個 けられ、これら駆動 2 2が可動体3に して る。

００91 3 54は、この 個の 2 2が 力にて 動体3 するよ に しており、これにより可動体3を安定して動作さ ることができる。

００92 、 2、 3 52 53 54の 持部 5 54 には、 に 示すよ に、実施 同様に導電部が設けられて る。また、 、 2、 3 52 53 54に引出 8 8 を設けて る。そして、 電部82が圧電素子6 の に露出する 電電極8の 部電極 することによ て、 電部82 を介して 電素子6 の 電電極8 8 とを電気 に通電さ て る。 ００93 の 、実施 2が実施 異なる点は圧電素子6 の 勢であり、 支持部52 53 5 8 8 の 質や 、実施 同様で ある。

００94 ただし、実施 にお ては、圧電素子 の の 面に2 の 持部6 6 (7 7 )が されて るのに対し、実施 2にお ては、圧電素子6 の の 面に の 持部 (53 )が されて る。 まり、圧電素子6 は4 の 電電極8a 8b 設けることによ て実質的に4 されて るため、4 の 電 電極8a 8b らそれぞれ 部電極を圧電素子6 の まで延ばして 成す ると共に、 4 の 部電極にそれぞれ する合計4 の 持部( ム)を 介して給電するのが通常であるが、実施 2では圧電素子6 の 側面に設けた2 の 持部52 5 を介して4 の 電電極8a 8b 給電して る。 まり、 実施 2に係る超音波アクチ タでは、圧電素子6 の 角線上に位置する 一方の組の給電電極8a 8cに所定の 流電圧を印 する一方、別の組の給電電 極8b 8dに別の所定の 流電圧を印 することで屈曲 動と 動とを発生さ るよ に構成されて るが、 定の 流電圧が印 される 方の組の給電電極 8a 8cの 部電極を圧電素子6 の 方の 面に形成する一方、 の 定 の 流電圧が印 される 方の組の給電電極8b 8dの 部電極を圧電素子6 の 方の 面に形成して る。 することで、圧電素子6 の 面には 同じ 流電圧が印 される外部電極が集まるため、 面にお て支持部を さ ることができると共に、引出 8 を共通 さ ることができる。 まり、 圧電素子6 の 方の に位置する引出 8 に所定の 流電圧を印 することによ て 電素子6 の 角線上に位置する 電電極8a 8cに 定の 流電圧が印 される一方、圧電素子6 の 方の に位置する引出 8 に別の所定の 流電圧を印 することによ て 電素子6 の 角線上に位置す る 電電極8b 8dに の 定の 流電圧が印 される。 、同じ 流電圧が印 される一組の 電電極8a 8cの 部電極を圧電素子6 の の 面に形成 する方法としては、2 の 電電極8a 8c らそれぞれ に の まで 外部電極を引き延ばして 成してもよ し、給電電極8a 電電極8cとを電気 に 導 さ ると共に一方の 電電極8a(8c)のみ の まで外部電極を引き 延ばして 成してもよ 。 流電圧が印 される別の 組の 電電極8b 8dに ても同様である。このよ に、圧電素子6の には、同じ 流電圧が印 される き 電電極8a 8c(又は8b 8d)の 部電極のみが設けられて るため、 圧電素子6 の に当 する 持部( ム)52 (52 )

8 を ず で構成することができ、構成を簡素 することができる。 えば、実 施 の 2 3のよ に、 電電極8の 部電極ごとに支持部23 (Z3 23 23 ) 52を設ける構成の 合、超音波アクチ タを組み立 てる際に、圧電素子に形成された外部電極 支持部を23 23 23 23 の わ を 行わなければならな 。特に、超音波アクチ タが小型であ る場合には、高 組立精度が要求される。それに対し、実施 2に係る超音波アク チ タでは、圧電素子6 の には同じ 流電流が印 される き 電 電極8 8の 部電極のみが設けられ、その 部電極に給電するための 持部及び 共通化されて るため、組立精度がそれほど高 な ても、組立時に給 電電極8 8の 部電極 支持部とを さ ることができ、電気 を確保するこ とができる。

、支持部52 (52 ) 8 は、圧電素子6 の の 面にお て共通 ずに構成してもよ 。 えば、異なる交流電圧が印 される 電電極8a 8b(又は8c 8d)の 部電極を圧電素子6 の の 面に設けてもよ 。この 合、一の 面にお て2 の 部電極にそれぞれ 応する2 の 持部を 設け 2 の 持部にそれぞれ 応する2 の 8 8 ( 5 7 )を 設けてもよ 。 る構成では、2 の 8 8 にそれぞれ なる交流電圧 を印 することで、各支持部を介して給電電極8a 8bにそれぞれ なる交流電圧が 印 さ る。ある は、一の 面にお て2 の 部電極にそれぞれ 応する 2 の 電部を絶縁 で電気 に絶縁した状態で の 持部を設け 2 の 電部82 82にそれぞれ 応する2 の 8 8 を設けてもよ 。 る構成では、2 の 8 8 にそれぞれ なる交流電圧を印 すること で、 電部82 82を介して給電電極8a 8bにそれぞれ なる交流電圧が印 さ れる。

００96 次に、 を用 て前記 成の 音波アクチ タの 作に て説明する。 ００97 電部82を介して 電素子6 の 定の 電電極に特定の 波数の 流電 圧を印 することにより 電素子6 は、 23に示す 動の2 ドおよび、 24に示す 動の ドが誘起される。 動の 波数、および、 伸縮 動の 波数はそれぞれ 電素子の 料、形状 により決定されるが、こ の の 波数を略 さ 、その の 波数の 圧を、4 の 電電極8の 、圧電素子 の 角線上に位置する 電電極8a 8cと8b 8dにそれぞれ 相 。 。

が9 又は 9 ずらして さ ることにより、圧電素子6 には、屈曲2 ド ドが調和的に誘起される。その 果、圧電素子6 は、 (a) (b )、 ( 、 d)に示す 状の を順番に起こし、 電素子6 に設けられた二個の 2 2が紙面 向 ら見て 動を起こす。すなわち、圧電素子6 の 動と 動の 成により二個の 2 2が 動を起こす。この 動により二個の 2 2が する可動体3が の または の 向 に可動し、超音波アクチ タとしての 割をなして る。

００98 上のよ に、 、圧電素子の の な とも支持部は 性体としたも のであり、超音波アクチ タの 率を向上さ ることができる 果を有する ものである。

００99 また、圧電素子6 にはんだによるワイヤ 続を設ける必要がな なるため、は 設けた 電素子の 位に応力が集中して 電素子6 が割れる恐れがな なる と 果を有する。さらに、圧電素子6 の み方向に設けて たはんだが不 要になるためその を図ることができる。

０1００ その 、実施 同様の 果を奏することができる。

０1０1 2の

て、実施 2の に て説明する。 2 3に実施 2の を示す。

０1０2 この に係る超音波アクチ タは、圧電素子6 をケ ス2 内に配置し、 この 動体3の 動方向と同 向のケ ス2 壁面に壁面 62 6 Cを設 けて る。また、ケ ス2 の 面にも 63 が設けられ、圧電素子6 を 支持して る。 電素子6 の 面には駆動 2 2が二個 けられ、これら駆動 2 2がケ ス2 の 面に設けられた開口部22 ら突出して、ケ ス2 の 方にある 可動体3に して る。

０1０3 63 は、この 個の 2 2が 力にて 動体3 する よ に しており、これにより可動体3を安定して動作さ ることができる。

０1０4 62 6 C 63 には、実施 同様に導電 部が設けられて る。 3に示すよ に、ケ ス2 の 面内部に引出 8 8 を設けるとともにケ ス2 の 面内部にも引出 8 を設けて る。そして、 電 部82が圧電素子6 の に露出する 電電極8 することによ て、 電部82を介して 電素子6 の 電電極8 8 とを電気 に導 さ て る。

０1０5 に係る超音波アクチ タの 作に ては、前述の 2に係る 超音波アクチ タ 同様である。

０1０6 2の 2

次に、実施 2の 2に て説明する。 4 5には実施 2の 2を示す。

０1０7 この 2に係る超音波アクチ タは、圧電素子6 をケ ス2 内に配置し、 この 動体3の 動方向と同 向のケ ス2 壁面に壁面 62 6 Cを けて る。また、ケ ス2 の 面にも 63 が設けられ、ケ ス2 の 65にも表面 66 66 が設けられ、それぞれ 電素子6 を支持して る。 電素子6 の 面には駆動 2 2が二個 けられ、これら駆動2 2がケ ス2 の 面に設けられた開口部22 ら駆動 2 2が突出して、ケ ス2 の 方にある 可動体3に して る。

０1０8 63 は、この 個の 2 2が 力にて 動体3 する よ に しており、これにより可動体3を安定して動作さ ることができる。

０1０9 62 6 C 63 には、実施の 同様に導 電部を設けられて る。 5に示すよ に、ケ ス2 の 面内部に引出 8 を 設けるとともにケ ス2 の 面内部にも引出 8 を設けて る。そして、 電 部82が圧電素子6 の に露出する 電電極8 することによ て、 電部2を介して 電素子6 の 電電極8 8 とを電気 に導 さ て る。

０11０ その 、壁面 62 62C 63 8 8

質や 、前述の 2に係る超音波アクチ タの 成と同様である。 ０111 2に係る超音波アクチ タの 作に ても、前述の 2に係る 超音波アクチ タ 同様である。

０112 》

2にお ては、圧電素子 6 を導電 ムで支持して るが、 圧電素子 6 を弾性的に支持することだけを目的とすれば、 6～ 8に示す 成であ てもよ 。 6に示す超音波アクチ タは、実施 2に係る超音波ア クチ タ 基本的には同じ構成であるが、圧電素子6 を支持する 持部52 53 5 が導電部を含まな 。 まり、支持部 5 54 は 性体( 体 的には、 ラスト 、 ン ム、 ネ等)で構成されて るが、 性体は 導電 ムではな 。 7に示す超音波アクチ タは、実施 2の に係る超音波アクチ タ 基本的には同じ構成であるが、圧電素子6 を支持す る 62 6 C 63 が導電部を含まな 。 まり、壁面 62 62C 63 は 性体( 体的には、 ラスト 、 ン ム、 ネ等 構成されて るが、 性体は導電 ムではな 。 8に示 す超音波アクチ タは、実施 2に変形 2に係る超音波アクチ タ 基 本的には同じ構成であるが、圧電素子6 を支持する 62 62C

63 が導電部を含まな 。 まり、壁面 62 62C 63 は 性体( 体的には、 ラスト 、 ン ム、 ネ等)で構成されて るが、 性体は導電 ムではな 。

０113 記の 成の 合、特に、 リ ムを用 た場合は、支持部と 電素子6 と の 触、支持部と支持 との がそれぞれ 接触になり、これにより安定して 電 素子6 を支持することができ、さらに他の ラストラ 比較して弾性の 度変 が少な 安定して支持できる 果を有する。 えて、圧電素子6 の 動に 起因する音の発生を防止することができる 果も有する。

０114 このよ に少な とも支持部に弾性体を用 ることで、圧電素子6 の 動が 害さ れるのを低減し、その 果、超音波アクチ タの 率を向上さ ることができると 果を有する。特に、支持部 53 62 6 Cは圧電 素子6 のノ ド部ではな ( ノ ド )を支持して るため弾性体を用 るこ とによる 動の 減の 大き のである。

０115 方、第 、 2 6 7の 持部6 6 7 7 に ては屈曲 動のノ ド部を、 63 に ては 動及び 動のノ ド部を支持して るが、これら支持部6 6 7 7 63 を弾性体にすることで 、し りと 電素子に固定して た従来のものと比較して 動の 減の 果を有するとともに、 ノ ド となる 動の 減の 果も有する。

０116 特に、近年要望される超音波アクチ タの を考えた場合、圧電素子も小 型 されるが、その 、製造上ノ ド部のみに支持 を接合することが精度上より難 し なる。し し、支持部に弾性体を用 ることでノ ド部 ら多少ずれたとしても振 動の 害を緩和できるため、製造にお てより高 度を必要としな なり、小型の 音波アクチ タを製造しやす 果を有する。

０117 また、前記 性体を実装する場合は、圧電素子と 性体の 着性、支持 性 体の 着性のそれぞれを向上さ るためこの 性体を圧縮した状態で実装すること が望ま 。

０118 ここで、超音波アクチ タは、可動体3を単に動 すだけでな 、可動体3を高 位置 度で めしながら動 すことが要求される場合もある。このよ に、 高 位置 度が要求される場合 には、圧電素子6 の 対的な位置、即 、 に対する 置が精度 制御 能であることが好ま 。 6～ 8に示 すよ に、参考 に係る超音波アクチ タは、駆動 2 2が可動体3に して るため、駆動方向と直 する方向 の 電素子6 の きが可動体3により 制さ れて る一方で、圧電素子6 の 動方向 の きは比較的自由である。 まり、圧 電素子6 の 動方向に て安定した 持が要求される。

０119 そこで、 にお ては、支持部 53 により 電素子6 を駆動方向に おける両側 ら支持するよ に構成して る。 することで、例えば 電素子6 を支 持部54 のみで支持する構成 比較して、圧電素子6 を安定して支持することが できる。

０12０ そして、このよ に、圧電素子6 を駆動方向における両側 ら支持する構成にお ては、圧電素子6 をその 手方向が駆動方向を向 よ に配置する場合には、圧電 素子6 の 動方向における両端 動の ノ ド となるため、伸縮 動を 阻害してしま 虞がある。そこで、 にお ては、圧電素子6 の 動方向に おける両端を支持する 持部 53 を弾性体で構成して る。 まり、この によれば、圧電素子6 の 動方向における両端 が振動の ノ ド部であ ても 、 動を阻害することな 、圧電素子6 を安定して支持することができ、その 果、 度の 音波アクチ タを実現することができる。

０121 また、圧電素子6 を支持する構成としては、本実施 態のよ に圧電素子6 の を支持するのではな 、圧電素子6 を厚さ 向に貫通する を設けて により 電素子6 を支持する構成もあるが、 により支持する構成と 比較して、圧電素子6 の 向の 法を小さ して、 ン クト化を図ることができ る。

０122 また、圧電素子6 の 面には給電電極8が設けられ、この 電電極8にはんだ5に ワイヤ 4が接続されており、このワイヤ 4を通じて 電素子6 の 電電極8 されることにより 電素子 が 圧の 波数に応じて 動する。

０123 体的には、チタン ジ ン の セラ ック 料を圧電素子6 に用 た場合、圧電素子の 状を長さ6 、 ・ 7 、厚み に作製し、その 電 素子6 に 6に示したものと同様の 置にし、厚み方向に分 を掛けた場合 、伸縮 動の ドの 波数、および 動の2 ドの 波数 は、ほぼ一致し27 z になる。

０124 そして、圧電素子6 の 面のほぼ全面に形成された電極に接続されて るワイヤ

4 をグランドに接続し、電極8" 8。に接続されて るワイヤ 4"に27 、2 sの の 圧を、電極8b 8dに接続されて るワイヤ 4bに基準 同一周波数、同一 9 。 または 9 。 の 圧を印 することで 、圧電素子6 に屈曲 動の2 ド 動の ドが調和的に誘起され 、 示すよ 形状の を順に起こし、振動 2 2に 動さ ることが できた。

０125 はんだ5が形成されて る 電素子6 の部 、伸縮 および 動 のノ ド 周辺であり、ワイヤ 4を接続する部位としてこのノ ド部を使用することに より 電素子6 の 動におよぼす 影響、すなわち、はんだ5 成による 電素子 6 の 要な負荷をできるだけ 制しよ とするものである。

０126 その他の実 》

態では、超音波アクチ タの 動力が付与されて駆動される可動 体3は平板状であるが、これに限られるものではな 、可動体の 成としては任意の 成を採用することができる。 えば、 9に示すよ に、可動体は所定の X り に 能な円板 3 であり、超音波アクチ タの 2が 3 の 3 するよ に構成されて てもよ 。 る構成の 合、超音波アク チ タを駆動すると、駆動 2の 動によ て、 3 が所定の X りに さ られる。また、 2 に示すよ に、可動体は所定の X りに 能な円板 32であり、超音波アクチ タの 2が 32の 面 部32 するよ に構成されて てもよ 。 る構成の 合、超音波アクチ タを駆動すると、駆動 2の 動によ て、 32が駆動 2 における 線方向に駆動され、結果として 32が所定の X りに さ られる。

０127 また、前記 態では、振動 ドは ド 2 ドで説明し たが、その他の伸 4 、縦 捻り ドなどその他の ドでも わな ０128 また、支持 、壁面 、裏 す てを弾性体としたが、少な とも一 を弾性体にしてもよ 、環状の のみを圧電素子の 囲に支持 を貫通 するよ に設け、この の 電素子との のみを弾性体としても同様の 果を得ることができる。

０129 また、前記 態では、圧電素子の 面、背面に給電電極8を形成する単板 成で説明したが、電極 を積層構造にする の 例でも同様である。そ の 、複数の 部電極 接続され 電素子の 意の面に形成される外部電極 に圧電を印 する事により、駆動 動を発生さ ることができる。

０13０ また、給電電極の 、最も単純な 面の4 、背面の 極の 成で説明したが、 2 、 5 極などその他の電 成にした場合も、同 様の 果を得ることができる。

０131 また、圧電素子のみを用 て駆動 の 動を誘起さ た例を説明したが、圧 電素子を他の物質に 付けたり、他の物質の中に入れたりした共振 を用 た場 合も同様の 果を得ることができる。この 合、圧電素子を含む アクチ タ 体を構成する。

０132 、以上の実 、本質的に好ま 例示であ て、 明、その 、あ る はその 途の 囲を制限することを意図するものではな 。

上の利用 性

０133 上 明したよ に、 明の 音波アクチ タは、圧電素子の に弾性 体を用 る 徴を有し、 、小型 が可能なため、特に、 、小 型 が要求される電子機器 に有用である。

Claims

求の

電素子で構成、又は圧電素子を含んで構成され、振動方向が互 に異なる複数 の 動を発生さ るアクチ タ 体と、

前記アクチ タ 体に設けられて アクチ タ 体の 動に従 て動作 することで所定の 動方向 の 動力を出 する 、

前記アクチ タ 体に設けられて前記 電素子と電気 に接続された 電電 極 、

前記 電電極 して前記アクチ タ 体を弾性的に支持すると共に、 電電極に給電するための 子となる 電部とを備える超音波アクチ タ。

2 電部は、 ムである 載の 音波アクチ タ。3 アクチ タ 、少な とも屈曲 動と 動とを合成して発生さ る 載の 音波アクチ タ。

4 動方向は、 アクチ タ 体の 動の 動方向と同 向である 載の 音波アクチ タ。

5 電部は、前記アクチ タ 体の 動における ノ ド部を支持 する 載の 音波アクチ タ。

6 電電極は、前記アクチ タ 体の 動方向に位置する両側面に 設けられており、

前記 電部は、 電電極 して アクチ タ 体を 動方向に おける両側 ら支持する 載の 音波アクチ タ。

7 電電極は、前記アクチ タ 体の 動方向と直 する方向に位置 する側面に設けられ、

前記 電部は、 電電極 して アクチ タ 体を 動方向と 直 する方向に位置する側面にて支持する 載の 音波アクチ タ。8 ムは、圧縮された状態で実装されて る 2 載の 音波アク チ タ。

9 ムは、 ン ムである 2 載の 音波アクチ 。

０ ムは、その 5～4 態で実装されて る 9 載 の 音波アクチ タ。

電素子に給電するための 極を有する をさらに備え、 前記 電部は、前記アクチ タ 体を に対して弾性的に支持す ると共に、 前記 電電極とを電気 に導 さ る 2 載の 音 波アクチ タ。

2 ムは、金属線及び金属 子の な とも一方を含んで構成されて る 2 載の 音波アクチ タ。

3 電電極は、銀を主成分として構成されており、

前記 ムは、銀を含んで構成されて る 2 載の 音波アクチ タ。

4 アクチ タ 体における、前記 が設けられた と対向する対向 に当 して アクチ タ 体を支持する 持部を設けた 載の 音波アクチ タ。

5 、その な とも一部が弾性体で構成されて る 4 載 の 音波アクチ タ。

6 、前記 性体が圧縮された状態で実装されて る 5 載の 音波アクチ タ。

7 、前記アクチ タ 体の 一面に複数 けられており、

前記 持部は、複数の の 置を前記 に投影した位置に 設けられて る 6 載の 音波アクチ タ。

8 性体は、 ン ムである 5 載の 音波アクチ タ。 9 に設けられ 電素子と電気 に接続された対向 電電極をさら に備え、

前記 性体は、 電電極に給電するための 子となる ムで ある 5 載の 音波アクチ タ。

2 ムは、 ン ムであり、その 5～4 実装 れて る 9 載の 音波アクチ タ。

2 電素子に給電するための 極を有する をさらに備え、

前記 、 電電極 して前記アクチ タ 体を に対して弾性的に支持すると共に、 電電極とを電気 に導 さ る 9 載の 音波アクチ タ。

22 ムは、金属線及び金属 子の な とも一方を含んで構成されて る 9 載の 音波アクチ タ。

23 電電極は、銀を主成分として構成されており、

前記 ムは、銀を含んで構成されて る 9 載の 音波アクチ タ。