WO2007022862A3 - Verfahren zum herstellen einer mehrschichtigen elektrostatischen linsenanordnung - Google Patents

Verfahren zum herstellen einer mehrschichtigen elektrostatischen linsenanordnung Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer mehrschichtigen elektrostatischen Linsenanordnung mit zumindest einer Linsenelektrode im Allgemeinen, ein Verfahren zum Herstellen einer Phasenplatte im Speziellen sowie die Linsenanordnung, die Phasenplatte und ein Transmissionselektronenmikroskop mit der Phasenplatte. Die Linsenanordnung bzw. Phasenplatte wird aus einer dünnen selbsttragenden Silizium-Nitrid-Membran, welche in einen makroskopischen Chip eingespannt ist unter Abscheidung weiterer Schichten erzeugt. Die zentrale Bohrung sowie die Aperturöffnung werden mittels eines Ionenstrahls herausgefräst.
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