WO2006049121A1

WO2006049121A1 - プラズマディスプレイパネル用保護膜及びその保護膜の製造方法、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法

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Publication number: WO2006049121A1
Application number: PCT/JP2005/019993
Authority: WO
Inventors: Toshiharu Kurauchi; Muneto Hakomori; Kazuya Uchida; Shunji Misawa
Original assignee: Ulvac, Inc.
Priority date: 2004-11-05
Filing date: 2005-10-31
Publication date: 2006-05-11
Also published as: EP1808881B1; US20080182034A1; US20070108905A1; EP1808881A1; CN1957436A; TW200632972A; JP4343232B2; JPWO2006049121A1; EP1808881A4; US7626337B2; TWI390572B; KR20070085084A; KR101139662B1

Description

明細書

プラズマディスプレイパネル用保護膜及びその保護膜の製造方法、ブラズマディスプレイパネル及びその製造方法

技術分野

[0001] 本発明はプラズマディスプレイパネルに関し、特にその保護膜と、保護膜の製造方法に関するものである。

背景技術

[0002] 従来より、 PDP (プラズマディスプレイパネル）は表示装置の分野で広く用いられており、近年、大画面で高品質かつ、低価格の PDPが要求されている。

一般に PDPはガラス基板上に維持電極及び走査電極が形成された前面板と、ガラス基板上にアドレス電極が形成された背面板とが貼り合わされて構成されている 3電極面放電型が主流となってきて、る。

[0003] 前面板と背面板の間には封入ガスが封入されており、走査電極とアドレス電極との間で電圧を印加して放電を起こすと、封入された封入ガスがプラズマ化し、紫外線が放出される。放出された紫外線が照射される位置に蛍光体膜を配置しておけば、紫外線によって蛍光体膜が発光して、着色光が放出される。

[0004] 一般に、維持電極及び走査電極上には、誘電体膜が形成され、さらにその上に誘電体膜を保護するために MgOの保護膜が形成されて、る。

放電維持のために、走査電極と維持電極に交流電圧を印加すると、封入ガスのプラズマ化により発生した陽イオンが走査電極側及び維持電極側に入射するが、維持電極及び走査電極と、それら電極上の誘電体膜は保護膜によって陽イオンカゝら保護される。

[0005] 従って、プラズマによって誘電体膜の損傷が起こらず、維持電極と走査電極が誘電体膜で絶縁された状態が維持されるだけではなぐ誘電体膜の静電容量も変化しな Vヽので、プラズマディスプレイパネルの電気的特性は維持される。

[0006] 近年、高性能化の要求に伴、、 PDPの輝度を向上させるために、封入ガスとして通常用いられる Neと Xeの混合ガス中の Xeの濃度を従来の 5%程度から 10%以上まで高くして発光強度を上げる方法が提案されている。

[0007] しかし、保護膜が MgOの場合、封入ガス中の Xe濃度を高くすると放電電圧が上昇し、耐スパッタ性が低下して保護膜としての機能が低下するため、パネル寿命が短くなることが問題であった。また、 PDPを駆動させるためのドライバー回路もより高電圧対応の仕様が必要となり、 PDP駆動制御系の製造コストが高くなることが問題とされていた。

[0008] PDPの放電電圧は保護膜の 2次電子放出係数に依存する。仕事関数が MgOよりも小さいアルカリ土類金属の酸化物を保護膜として用い、放電電圧を低電圧化することが提案されている。

[0009] 例えば、特開 2002— 231129には、保護膜として SrO、 CaO、 BaO、 SrO + BaO

、 BaO + CaO, SrO + CaO + BaOが紹介されている。

[0010] これらの保護膜は、放電中の陽イオンによるスパッタに対する耐性が MgOに比べて弱ぐ PDPの寿命面で不利なため、 PDPの前面パネル保護膜のみならず、少なくとも蛍光体膜を形成された背面パネルにも保護膜を形成することにより寿命面の問題を克服する技術が示されて、る。

特許文献 1 :特開 2002— 231129号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0011] し力しながら、上記従来技術の実施においては、保護膜形成工程の増加により PD P製造コストが高くなるという問題がある。また、上記保護膜は MgO同等以上に、放電初期において必要とされる長時間のエージング処理の問題が残されていた。本発明は MgO膜よりも放電電圧が低ぐかつスパッタ耐性の優れた保護膜及びその形成方法と、該保護膜を使用する PDPの放電初期エージング処理時間を大幅に短縮する PDP製造方法を提供する。

課題を解決するための手段

[0012] 上記課題を解決するために、本発明は、第一、第二の電極のいずれか一方または両方の電極の表面上に位置し、前記第一、第二の電極間に電圧が印加されると、前記第一、第二の電極間に形成されるプラズマに曝される保護膜であって、 SrOと Ca Oとを含有し、前記 CaOの含有率は 20mol%以上 90mol%以下にされた保護膜である。

本発明は保護膜であって、前記第一の電極は第一のパネルの表面上に配置され、前記第二の電極は第二のパネルの表面上に配置された保護膜である。

本発明は、第一の電極が表面上に配置された第一のパネルと、第二の電極が表面上に配置された第二のパネルとを有し、前記第一、第二のパネルの間には封入ガスが封入され、前記第一、第二の電極のいずれか一方又は両方の表面上に保護膜が配置され、前記第一、第二のパネルの間に形成されるプラズマに前記保護膜が曝されるように構成されたプラズマディスプレイパネルであって、前記保護膜は SrOと Ca Oとを含有し、前記保護膜中の前記 CaOの含有率は 20mol%以上 90mol%以下にされたプラズマディスプレイパネルである。

本発明はプラズマディスプレイパネルであって、前記第一のパネルの表面上には第三の電極が配置されたプラズマディスプレイパネルである。

本発明はプラズマディスプレイパネルであって、前記封入ガスは、 Neと Xeとを含有し、前記 Xeの含有率は 10体積⁰ /₀以上であるプラズマディスプレイパネルである。本発明は SrOと、 CaOとを含有する保護膜を形成する保護膜の形成方法であって、 SrOを主成分とする第一の蒸着材料と、 CaOを主成分とする第二の蒸着材料とを同じ真空槽内部に別々に配置し、前記第一、第二の蒸着材料の蒸気発生量を制御して、前記保護膜中の前記 CaOの含有率が 20mol%以上 90mol%以下になるように、前記第一、第二の蒸着材料を蒸発させる保護膜の形成方法である。

本発明は表面に第一の電極が形成された第一のパネルと、表面に第二の電極が形成された第二のパネル上に前記保護膜を形成する保護膜製造方法であって、前記第一、第二の電極のうち、いずれか一方又は両方の電極上には誘電体膜が配置され、前記第一、第二の蒸着材料の蒸気をそれぞれ前記誘電体膜上に到達させて、前記誘電体膜表面に前記保護膜を形成する保護膜の製造方法である。

本発明は SrOを含有する第一の蒸着材料と、 CaOを含有する第二の蒸着材料とを同じ真空槽内部に別々に配置し、蒸気発生量を制御しながら前記第一、第二の蒸着材料を加熱し、第一、第二のパネルの表面に、 SrOと CaOとを含有し、前記 CaO の含有率が 20mol%以上 90mol%以下の保護膜を形成する工程と、前記第一、第二のパネルを貼り合せる封着工程とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、少なくとも前記保護膜の形成工程カゝら前記封着工程までを真空雰囲気中で行うプラズマディスプレイパネルの製造方法である。

[0013] 本発明は上記のように構成されており、本発明の保護膜が用いられる表示装置は第一、第二の電極を有している。その装置内にプラズマを形成する封入ガスを封入しておき、第一、第二の電極間に電圧を印加すると、装置の内部に封入ガスのプラズマが形成され、プラズマ中の陽イオンは、第一、第二の電極のうち、負電位に置かれた側の電極に弓 Iき寄せられる。

[0014] 第一、第二の電極の間に直流電圧を印加される場合は、少なくとも負電位が印加される電極上に本発明の保護膜を配置し、第一、第二の電極間に交流電圧が印加される場合には一方又は両方の電極上に本発明の保護膜を配置すれば、該保護膜によって電極と、その周囲の部材が陽イオン力保護される。

[0015] 第一のパネル上に維持電極と走査電極、第二のパネル上にアドレス電極が配置された上記のプラズマディスプレイパネルでは、第一、第二の電極は維持電極とァドレス電極の組み合わせ力、又は走査電極とアドレス電極の組み合わせになる。

[0016] 特に、上記プラズマディスプレイパネルでは、維持電極と走査電極の間に高い交流電圧を印力 tlしてプラズマを形成するから、本発明の保護膜を維持電極上と走査電極上の両方に配置するとよい。

[0017] 一般にプラズマディスプレイパネルでは、維持電極上と走査電極上には誘電体膜が配置されているから、本発明保護膜を維持電極上の誘電体膜表面上と、走査電極上の誘電体膜表面上に配置し、誘電体膜を保護するとよい。

[0018] 本発明に用いられる保護膜は、 SrOと CaOの両方を含有し、本発明保護膜中の C aOの濃度を 20mol%以上 90mol%以下にすることで、従来の保護膜 (MgO膜)よりも放電中の陽イオンによるスパッタ耐性がすぐれ、かつ PDPの放電電圧を低減させ、これにより、パネル寿命を向上させるとともに、 PDPを駆動させるためのドライバ一回路のコストを下げる効果を有する。

[0019] プラズマディスプレイパネルの輝度を高くするために、 Neと Xeの混合ガスであって、 Xeを 10体積％以上含有する封入ガスを用いると、放電電圧が上昇し、保護膜がェツチングされやすくなるが、本発明の保護膜はスパッタ耐性が高、のでパネル寿命が短くならない。

発明の効果

[0020] 本発明によれば SrOと CaOの両方を含有する本発明保護膜からなる電子放出特性の優れた PDP保護膜を安定に形成することが可能となる。また、 PDP内に封入する Neと Xeの混合ガス中の Xe濃度を高くして輝度を向上させ、長寿命かつ製造コストの低、PDPの製造が可能になる。

図面の簡単な説明

[0021] [図 1]本発明のプラズマディスプレイパネルの一例を説明する斜視図

[図 2]本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する斜視図

[図 3]SrOと CaOの混合蒸着材料を用いた場合の保護膜の組成を説明するグラフ

[図 4]放電電圧と、エージング時間との関係を説明するグラフ

符号の説明

[0022] 1……プラズマディスプレイパネル 11……第一の基板 14……保護膜 15 ……維持電極 16……走査電極 21……第二の基板 25……アドレス電極発明を実施するための最良の形態

[0023] 図 1の符号 1は本発明のプラズマディスプレイパネルの一例を示している。

このプラズマディスプレイパネル 1は、第一、第二のパネル 10、 20を有している。

[0024] 第一のパネル 10は、第一のガラス基板 11を有しており、第一のガラス基板 11の表面上には、維持電極 15と、走査電極 16がそれぞれ複数配置されている。尚、図 1では維持電極 15と走査電極 16をそれぞれ 1本ずつ図示した。

[0025] ここでは、各維持電極 15と、各走査電極 16はそれぞれ細長であって、維持電極 15 と走査電極 16は第一のガラス基板 11表面上で所定間隔を空けて交互に並べられている。

[0026] 第一のガラス基板 11の維持電極 15と走査電極 16が配置された側の面上には、絶縁材料カゝらなる誘電体膜 12が配置されている。互いに隣接する維持電極 15と走査電極 16は互いに離間しており、誘電体膜 12は維持電極 15と走査電極 16の表面及び側面を覆うように形成され、互いに隣接する維持電極 15と走査電極 16の間は誘電体膜 12で充填されているので、維持電極 15と走査電極 16は互いに絶縁された状態になっている。

[0027] 誘電体膜 12の表面上には、主成分が SrOと CaOの両方を含有する保護膜 14が全面にわたって配置されており、従って、各維持電極 15上と各走査電極 16上には保護膜 14が配置された状態になっている。

[0028] 第二のパネル 20は第二のガラス基板 21を有している。第二のガラス基板 21表面上には、複数本の直線状のアドレス電極 25が互いに所定間隔をあけて平行配置されている。

第二のガラス基板 21表面上のアドレス電極 25とアドレス電極 25との間には、細長の隔壁 23がアドレス電極 25の長手方向に沿って配置されている。

[0029] 互いに隣接する隔壁 23の間にはそれぞれ異なる色の蛍光色素を含有する蛍光体膜 (赤色の蛍光体膜 22Rと、緑色の蛍光体膜 22Gと、青色の蛍光体膜 22B)のいずれか 1つが配置されており、各アドレス電極 25はいずれ力 1色の蛍光体膜 22R、 22 G、 22Bで覆われた状態になっている。

[0030] 第一、第二のパネル 10、 20は、保護膜 14が露出する面と、隔壁 23が形成された側の面が互いに対向し、アドレス電極 25に対し、維持電極 15と走査電極 16が直交するように位置合わせされた状態で貼り合わされており、第二のガラス基板 21表面から隔壁 23先端までの高さは、第二のガラス基板 21表面力もアドレス電極 25表面までの高さよりも大きいので、隔壁 23の先端が第一のパネル 10の保護膜 14に当接され、蛍光体膜 22R、 22G、 22Bと保護膜 14との間の空間は、隔壁 23で区分けされた状態になっている。

[0031] 図 1の符号 29は、隔壁 23によって区分けされた各蛍光体膜 22R、 22G、 22B上の空間である発光空間を示しており、各発光空間 29には、 Neと Xeの混合ガスであって、 Xeガスを 10体積％以上含有するガスが封入ガスとして充満されてヽる。

[0032] 次に、このプラズマディスプレイパネル 1を点灯させる工程について説明する。

選択した走査電極 16とアドレス電極 25の間に電圧を印加すると、それらの電極が交差する発光セルで書き込み放電が起こる。

[0033] 次いで、電圧を印加した走査電極 16と、該走査電極 16に対応する維持電極 15との間に交流電圧を印加し、維持放電を起こす。

[0034] 上述したように、誘電体膜 12を挟んで維持電極 15、走査電極 16上には保護膜 14 が位置しており、この保護膜 14は主成分が SrOと CaOの両方を含有し、その CaO濃度は 20mol%以上 90mol%以下にされた本発明保護膜である。

[0035] 本発明保護膜は従来の保護膜 (MgO膜)に比べて電子放出特性が高いので、封入ガスの Xe濃度を高くした場合であっても、比較的低ヽ放電電圧で維持放電を起こり、維持放電によって封入ガスがプラズマ化し、紫外線が発生する。

[0036] このとき、封入ガスのプラズマ化によって、第一、第二のパネル 10、 20の表面がプラズマに曝されるが、誘電体膜 12表面上には保護膜 14が配置されているので、誘電体膜 12はプラズマでエッチングされずに保護される。

[0037] 上述したように、本発明のプラズマディスプレイパネル 1は、低!、放電電圧で駆動可能であり、低放電電圧で駆動させれば、保護膜 14が封入ガスのプラズマで曝されても、エッチングされる速度が遅い。従って、本発明のプラズマディスプレイパネル 1は従来に比べて寿命が長い。

[0038] 上述したように、維持電極 15と走査電極 16は、アドレス電極 25に対して直交するように配置されており、選択した走査電極 16とアドレス電極 25とが交差する発光セルで発光が起こる。

[0039] 発光セルで紫外線の発光が起こり、その発光セルに位置する蛍光体膜 22R、 22G 、 22Bに紫外線が入射すると、蛍光体膜 22R、 22G、 22B力も赤、緑、青のいずれかの色の可視光が放出される。

[0040] 尚、発光セルを消灯するには、選択された走査電極 16と、該走査電極 16に隣接する維持電極 15の間に、維持放電の時よりも弱い電圧を印加し、維持放電よりも弱い放電 (消去放電)を起こすと、発光空間 29内の壁電荷が中和され、発光セルが消灯する。

[0041] 次に、本発明の保護膜 14を形成する工程の一例について説明する。

図 2の符号 2は成膜装置の一例を示して、る。この成膜装置 2は 2台の電子ビームガン (EBガン） 5a、 5bと、それぞれ 4個の第一、第二のハース 3、 4とを有しており、第一のハース 3には SrO力もなる第一の蒸着材料がそれぞれ配置され、第二のハースには CaO力もなる第二の蒸着材料がそれぞれ配置されている。

[0042] 第一のハース 3は真空槽内部で一列に並べられており、第二のハース 4は第一のハース 4と同じ真空槽内部で、第一のハース 3の並び方向に沿って並べられている。

[0043] この真空槽内部は予め真空排気され、各第一のハース 3と各第二のハース 4はそれぞれ同じ真空雰囲気に置かれており、該真空雰囲気を維持しながら、電子ビームガン 5a、 5bから各ハース 3、 4内に電子ビーム 6a、 6bを照射すると、第一のハース 3 内の SrOと、第二のハース 4内の CaOが蒸発し、真空雰囲気中に SrOの蒸気と、 Ca Oの蒸気が放出される。

[0044] 表面に維持電極 15と走査電極 16と誘電体膜 12が形成された状態の第一のガラス基板 11を、その真空雰囲気中に搬入し、維持電極 15と走査電極 16が形成された側の面を下側に向けた状態で、第一、第二のハース 3、 4の上方を、それらの並び方向に沿って走行させる。

[0045] 第一のハース 3の列と第二のハース 4の列は近接配置されているので、第一のガラス基板 11が第一、第二のハース 3、 4の上方位置を通過するときには、第一のガラス基板 11上に SrOの蒸気と CaOの蒸気の両方が到達する。

[0046] ビーム軌跡変更調整によるビーム照射対象ハース 3、 4の変更、各ハース 3、 4へのビームの照射時間、ビーム照射強度の調整により、 SrOの蒸気発生量と、 CaOの蒸気発生量とを所定割合に制御すれば、第一のガラス基板 11上に、 SrOと CaOを所定割合で含有する保護膜 14が形成された第一のパネル 10が得られる。

[0047] 尚、本発明の保護膜の形成方法において、第一、第二のハース 3、 4の数はそれぞれ 4個に限定されるものではなぐ第一、第二のハース 3、 4の数はそれぞれ 1個以上 3個以下であってもよいし、それぞれ 5個以上であってもよい。また、真空槽内に同じ数の第一、第二のハース 3、 4を配置してもよいし、異なる数の第一、第二のハース 3 、 4を配置してもよい。要するに第一、第二のハース 3、 4は同じ真空槽内に SrOと Ca Oを別々に配置可能であれば、その数も形状も特に限定されるものではない。

[0048] また、電子ビームガン 5a、 5bの台数も 2台に限定されるものではなぐ第一、第二のハース 3、 4の両方に電子ビームを照射可能であれば、その台数は 1台であってもよいし、 3台以上であってもよい。

[0049] 保護膜 14が形成された第一のパネル 10を、大気に晒さずに真空雰囲気中を運搬し、第一のパネル 10と、上述した第二のパネル 20とを同じ加熱用真空槽へ搬入し、加熱用真空槽内を真空雰囲気に維持したまま、第一のパネル 10の維持電極 15と走查電極 16が形成された面と、第二のパネル 20のアドレス電極が形成された面とを対向させ、アドレス電極に対し維持電極と走査電極が所定の位置で交差するように位置合わせする。

[0050] 加熱用真空槽内で第一、第二のパネル 10、 20を加熱しながら貼り合わせを行った後、第一、第二のパネル 10、 20を真空雰囲気中で運搬し、大気に晒さずに真空雰囲気が形成された冷却室に搬入し、該冷却室の真空雰囲気を維持しながら、張り合わされた第一、第二のパネルを冷却する。更に、真空雰囲気中で上述した封入ガスを第一、第二のパネル 10、 20の間に注入し、封入ガスを注入後封止すれば、プラズマディスプレイパネル 1が得られる。

[0051] このように、本発明の製造方法では、少なくとも第一のパネル 10に保護膜 14を形成する工程から、第一、第二のパネル 10、 20を貼り合わせる工程までの工程と、各工程の間の運搬は、真空雰囲気中で行われ、第一、第二のパネル 10、 20が大気に晒されること力ない。

[0052] 即ち、保護膜 14が形成されてから、第一、第二のパネル 10、 20の貼り合わせによつて保護膜 14が密閉されるまでの間、保護膜 14は大気に晒されないので、保護膜 1 4の主成分が SrOと CaOのように吸水性の高ヽ材料で構成されて、ても、水分の吸収が防止される。

[0053] SrOや CaOが水分を吸収すると水酸化物等に変質し、プラズマディスプレイパネルの保護膜に用いた時に、その変質が放電遅延の悪化や、放電電圧の上昇等の原因となり、放電特性を安定ィ匕するための初期エージング時間の長大化の原因にもなる。また、保護膜 14中に取り込まれた水分は、蛍光体膜 22R、 22G、 22Bに移動し、蛍光体膜 22R、 22G、 22Bを変性させ、プラズマディスプレイパネルの表示能力を低下させる力上述したように本発明の製造方法では、製造工程での保護膜 14の水分吸収が防止されるので、放電電圧の低電圧駆動が可能で、表示性能に優れたプラズマディスプレイパネル 1が得られる。

実施例

[0054] く SrO— CaO濃度〉

SrOと CaOの濃度を変えて第一、第二のパネルの保護膜 14を作成し、面内に 300 個の発光セルを有するプラズマディスプレイパネル 1を得た。尚、各プラズマディスプレイパネル 1は、隔壁 23の高さ力 150 m、アドレス電極 25上の蛍光体膜 22R、 22 G、 22B表面から、維持電極 15及び走査電極 16上の保護膜 14表面までの高さである放電する空間の高さが 80 μ m、封入ガスは Neと Xeの混合ガス（Neと Xeと力もなる混合ガス）であって、 Xeガスを 12体積％含有し、その封入圧力は 400Torrである。下記表 1に、保護膜 14中の CaO濃度 (mol%)を記載する。

[0055] [表 1]

表 1 ： SrO-CaO複合酸化膜の放電電圧および耐スパッ夕性測定結果

[0056] 次に、各プラズマディスプレイパネル 1を用いて、 300個の発光セルに対して最初の 1個目が放電開始するのに必要な第一セル点灯電圧と、全灯している PDPの駆動電圧を徐々に下げて、つた時に最後のセルが消灯する最終セル消灯電圧とを測定し、その測定結果を上記表 1に記載した。尚、上述した SrOと CaOの両方を含有する本発明保護膜に変え、 MgOで保護膜 14を構成した場合の測定結果も併せて表 1に記載した。 [0057] 更に、各プラズマディスプレイパネル 1に用いたものと同じ保護膜 14を、上記封入ガス（Neと Xeの混合ガスであって、 Xeを 12体積⁰ /₀含有する）のプラズマに 2000時間晒し、保護膜 14がエッチングされた深さ (膜厚減少量)を測定し、その結果も表 1に記載した。

上記表 1から明らかなように、 SrOだけ力なる保護膜と、 SrOと CaOの両方を有する保護膜は、いずれも MgO膜よりも放電電圧が低い。

[0058] また、スパッタ耐性を表 1で示された所定放電でのエッチング速度の逆数で定義すると、 MgO膜のスパッタ耐性を 1とした時、 CaO濃度が 10mol%以下では SrOと Ca Oの両方を含有する本発明保護膜のスパッタ耐性は 1未満で優れないが、 20mol% 以上 90mol%以下の範囲においては 1を超え優れる。

[0059] CaO濃度が 20mol%の SrOと CaOの両方を含有する本発明保護膜のスパッタ耐性は約 1. 34、 CaO濃度が 60mol%ではスパッタ耐性は約 1. 54、 CaO濃度が 90m ol%ではスパッタ耐性は約 1. 37であり、スパッタ耐性は CaO濃度が 60mol%の本発明保護膜が最も優れる。

[0060] なお、 CaO濃度が 20mol%以上 60mol%以下の場合において、第一セル点灯電圧が 160V程度、最終セル消灯電圧も 100V程度と安定しており、その CaO濃度の範囲にお、ては、 CaO濃度の違ヽによる放電特性のばらつきが小さ!/、ので多様の濃度のばらつきがセル間であっても駆動制御上影響を来たさないという効果もある。

[0061] 本実施の形態の保護膜で、 CaOの濃度が 20mol%以上 90mol%以下の範囲においては、封入ガスとして輝度を向上させるために、 Neと Xeの混合ガスであって、 X eを 12体積％含有する封入ガスを使用しても MgO膜使用時と比べ放電電圧も低くスノッタ耐性も優れて長寿命の PDPとすることが可能となった。従って、従来の MgO膜に対して提案されていた Xe濃度 10体積％以上であっても十分効果が期待されることは言うまでもない。

[0062] また、 PDPの設計仕様により、放電空間の高さや封入ガス圧力を所定の設定としても効果が期待され、更に PDPパネルを対角 42"以上のサイズとしても効果が期待される。

[0063] <蒸着材料濃度 > 蒸着材料として SrOと CaOを混合した混合材料を用い、該混合材料に電子ビームを照射して、 SrOと CaOの両方を含有する本発明保護膜を形成し、その方法で形成された保護膜について、組成分析を調べた。

[0064] 図 3はその組成分析の結果を示すグラフであり、 SrOと CaOとでは蒸気圧が異なるため、 SrOと CaOの混合材料を蒸発させた場合に、混合材料の組成と、保護膜の組成にずれが生じ、図 3に示されるように蒸着材料中の CaO濃度と保護膜中の CaO濃度の関係が変位点をもつ所定の関係となっている。

[0065] 図示しないが、この関係は蒸着材料の減少とともに著しく変化することを確認した。

従って、形成される保護膜の組成は成膜開始時力も経時的に変化してしまうと推測される。

[0066] これに対し、本発明の保護膜の形成方法は、図 2に示したように SrOと CaOを個別に蒸発させており、上述したようにビーム照射対象ハースの変更、各ハースへのビームの照射時間、ビーム照射強度等の調整により、各蒸発源からの蒸発速度を最適化することができる。従って、 SrOと CaOを個別に蒸発させる本発明では、 SrOと CaO の割合の制御が容易であり、組成比率が安定した保護膜を形成することができる。

[0067] なお、電子ビーム蒸着による SrOと CaOの両方を含有する本発明保護膜を形成しようとする場合、一般的には大気中において安定な SrCOと CaCOを蒸着材料に用

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いるが、それらの蒸着材料で保護膜を形成すると、 PDPの放電電圧が低下しなかつた。

[0068] 得られた保護膜の組成分析を行った結果、保護膜中に多量のカーボンが含まれており、 2次電子放射特性が低下したものと考えられる。大気中で不安定な蒸着材料である SrOと CaOを用い、独立に蒸発させることにより、放電電圧の低い保護膜が安定に得られることが分力つた。

[0069] <真空雰囲気連続処理 >

保護膜 14形成から加熱による封着 (第一、第二のパネル 10、 20の貼り合わせ)、その後の冷却までを真空中で連続して行うことの効果を比較評価するために下記表 2 に示す手順で処理を行った。

[0070] [表 2] ：真空中連続処理方法と乾燥雰囲気中連続処理方法の比較手順

[0071] 実施例及び比較例のプラズマディスプレイパネル 1につ、て、継続して放電を行ヽ、放電電圧の経時的変化を測定し、その結果を図 4のグラフに記載した。

上記表 2と図 4から明らかなように、本発明の製造方法により製造した PDPは初期放電 1時間のエージングで放電電圧が安定ィ匕していることがわかる。

[0072] これに対し、特開 2002— 231129号に記載されているように、保護膜の形成後、第一、第二のパネル 10、 20の貼り合わせ工程までの間を、ドライガス (Nガス）の乾

2 燥雰囲気中で行った比較例では、 10時間経過にぉ、ても放電電圧が安定しておらず、放電電圧が安定するまでの時間が長くかかった。

[0073] SrOと CaOの混合膜を保護膜に用いた場合には、乾燥雰囲気による製造プロセスと比べて真空による連続プロセスが初期エージング時間の短縮に非常に有効であることがわかった。

[0074] 以上は、面放電型の PDPを例示したが、本発明の保護膜は、特許文献 1で示されるような第二のパネル 20側にも誘電体膜を配置する PDPや、対向放電型 PDPなど、保護膜が必要とされる PDP並びに、 PDP製造方法に適用することができる。

[0075] 第二のパネル 20にも本発明の保護膜を形成する時には、保護膜を形成する工程から、第一のパネル 10と貼り合わせる工程までを大気に晒さず、真空雰囲気中で行うことが好ましい。

[0076] 第一、第二の基板はガラス基板に限定されず、プラスチック基板やセラミック等の種々の材料で構成することも可能であるが、少なくとも光が放出される側の基板は透明であることが好ましい。

[0077] また、保護膜の成膜方法は、 CaOの蒸気と SrOの蒸気を別々に発生可能であれば、 EB蒸着法に限定されず、例えば SrOの収容されたノヽース 3と、 CaOの収容されたハース 4を電熱コイル等の加熱手段で加熱し、 CaOの蒸気と SrOの蒸気を別々に発生させることち可會である。

[0078] 以上は、誘電体膜 12を介して維持電極 15上と走査電極 16上に本発明の保護膜 1 4を配置する場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、維持電極 15表面と走査電極 16表面に保護膜 14を接触するように配置してもよい。

[0079] また、本発明の保護膜 14を、蛍光体膜 22R、 22G、 22B表面上に形成すれば、ァドレス電極 25及び蛍光体膜 22R、 22G、 22Bもプラズマから保護される。

[0080] 以上は、同一パネル上に配置された維持電極と走査電極との間に電圧を印加してプラズマを形成する場合について説明した力本発明はこれに限定されるものではない。例えば異なるパネルにそれぞれ配置された電極の間に、直流又は交流電圧を印加してプラズマを形成してもよく、異なるパネル上の電極間に直流電圧を印加する場合には、少なくとも負電位側に置かれる電極上に本発明の保護膜を配置すればよぐ異なるパネル上の電極間に交流電圧を印加する場合には、いずれか一方又は両方の電極上に本発明の保護膜を配置すればよい。

Claims

請求の範囲

[1] 第一、第二の電極の、ずれか一方または両方の電極の表面上に位置し、前記第一、第二の電極間に電圧が印加されると、前記第一、第二の電極間に形成されるプラズマに曝される保護膜であって、

SrOと CaOとを含有し、

前記 CaOの含有率は 20mol%以上 90mol%以下にされた保護膜。

[2] 前記第一の電極は第一のパネルの表面上に配置され、

前記第二の電極は第二のパネルの表面上に配置された請求項 1記載の保護膜。

[3] 第一の電極が表面上に配置された第一のパネルと、第二の電極が表面上に配置された第二のパネルとを有し、

前記第一、第二のパネルの間には封入ガスが封入され、

前記第一、第二の電極のいずれか一方又は両方の表面上に保護膜が配置され、前記第一、第二のパネルの間に形成されるプラズマに前記保護膜が曝されるように構成されたプラズマディスプレイパネルであって、

前記保護膜は SrOと CaOとを含有し、

前記保護膜中の前記 CaOの含有率は 20mol%以上 90mol%以下にされたプラズマディスプレイパネノレ。

[4] 前記第一のパネルの表面上には第三の電極が配置された請求項 2記載のプラズマディスプレイパネノレ。

[5] 前記封入ガスは、 Neと Xeとを含有し、

前記 Xeの含有率は 10体積％以上である請求項 3記載のプラズマディスプレイパネル。

[6] SrOと、 CaOとを含有する保護膜を形成する保護膜の形成方法であって、

SrOを主成分とする第一の蒸着材料と、 CaOを主成分とする第二の蒸着材料とを同じ真空槽内部に別々に配置し、

前記第一、第二の蒸着材料の蒸気発生量を制御して、前記保護膜中の前記 CaO の含有率が 20mol%以上 90mol%以下になるように、前記第一、第二の蒸着材料を蒸発させる保護膜の形成方法。

[7] 表面に第一の電極が形成された第一のパネルと、表面に第二の電極が形成された第二のパネル上に前記保護膜を形成する請求項 6記載の保護膜製造方法であって前記第一、第二の電極のうち、いずれか一方又は両方の電極上には誘電体膜が配置され、

前記第一、第二の蒸着材料の蒸気をそれぞれ前記誘電体膜上に到達させて、前記誘電体膜表面に前記保護膜を形成する保護膜の製造方法。

[8] SrOを含有する第一の蒸着材料と、 CaOを含有する第二の蒸着材料とを同じ真空槽内部に別々に配置し、

蒸気発生量を制御しながら前記第一、第二の蒸着材料を加熱し、第一、第二のパネルの表面に、 SrOと CaOとを含有し、前記 CaOの含有率が 20mol%以上 90mol %以下の保護膜を形成する工程と、

前記第一、第二のパネルを貼り合せる封着工程とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、

少なくとも前記保護膜の形成工程カゝら前記封着工程までを真空雰囲気中で行うプラズマディスプレイパネルの製造方法。