WO2004081078A1

WO2004081078A1 - 半導体封止用樹脂組成物およびこれを用いた半導体装置

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Publication number: WO2004081078A1
Application number: PCT/JP2004/003104
Authority: WO
Inventors: Kuniharu Umeno; Shigehisa Ueda
Original assignee: Sumitomo Bakelite Co. Ltd.
Priority date: 2003-03-11
Filing date: 2004-03-10
Publication date: 2004-09-23
Also published as: JPWO2004081078A1; KR20050117547A; US20040217489A1; TW200427772A; US7023098B2; TWI328022B; MY134219A; KR100697937B1; JP4404050B2

Abstract

硬化性を損なうことなく流動性に優れた特性を有する半導体封止用のエポキシ樹脂組成物を提供する。エポキシ樹脂（Ａ）、フェノール樹脂（Ｂ）、無機充填剤（Ｃ）および硬化促進剤（Ｄ）を主成分とする半導体封止用樹脂組成物において、シランカップリング剤（Ｅ）を全エポキシ樹脂組成物中に０．０１重量％以上１重量％以下、芳香環を構成する２個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物（Ｆ）を全エポキシ樹脂組成物中に０．０１重量％以上含む構成とする。

Description

明細書半導体封止用榭脂組成物およびこれを用いた半導体装置技術分野

本発明は、半導体封止用樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置に関するものである。背景技術

近年、半導体装置は生産性、コスト、信頼性等のバランスに優れることからエポキシ樹脂組成物を用いて封止されるのが主流となっている。半導体装置の小型化、薄型化に伴い、封止用エポキシ樹脂組成物に対しては、より一層の低粘度化、高強度化が要求されている。このような背景から、最近のェポキシ樹脂組成物の動向は、より低粘度の樹脂を適用し、より多くの無機充填剤を配合する傾向が強くなつている。

また新たな動きとして、半導体装置を実装する際、従来よりも融点の高い無鉛半田の使用が高まってきている。この半田の適用により実装温度を従来に比べ約 2 0 高くする必要があり、実装後の半導体装置の信頼性が現状に比べ著しく低下する問題が生じている。このようなことからエポキシ樹脂組成物のレベルアップによる半導体装置の信頼性の向上要求が加速的に強くなってきており、樹脂の低粘度化と無機充填剤の高充填化に拍車がかかっている。

成形時に低粘度で高流動性を維持するためには、溶融粘度の低い樹脂を用いたり（特許文献 1 ) 、また無機充填剤の配合量を高めるために無機充填剤をシランカップリング剤で表面処理する方法が知られている（特許文献 2 ) ところが、これらは種々ある要求特性のいずれかのみを満足するものであり、すべての要求を満足させ広い範囲で適用可能な手法は未だ見出されていなかった。これらの方法では、成形時の溶融粘度の低下が不充分であり、流動性と硬化性を損なわず、無機充填剤の配合量を高め信頼性を満足させるさらなる技術が求められていた。

特許文献 1 特開平 7 - 1 3 0 9 1 9号公報（第 2〜 5頁）

特許文献 2 特開平 8 - 2 0 6 7 3号公報（第 2〜 4頁）発明の開示

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、成形時の硬化性を損なうことなく流動性に優れた半導体封止用樹脂組成物を提供することにある。

本発明によれば、エポキシ樹脂（A )、フエノール樹脂（B )、無機充填剤 ( C )、硬化促進剤（D )、シランカップリング剤（E )、および芳香環を構成する 2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物（F ) を含むことを特徴とする半導体封止用樹脂組成物が提供される。

本発明の半導体封止樹脂組成物は、化合物（F ) を必須の成分として含むため、成形時の硬化性および流動性を充分に確保することができる。

本発明の半導体封止樹脂組成物は、前記エポキシ樹脂（A)、前記フエノール樹脂（B )、前記無機充填剤（C )、および硬化促進剤（D ) を主成分とすることができる。

本発明の半導体封止樹脂組成物において、前記化合物（F ) を当該樹脂組成物中に 0 . 0 1重量％以上含む構成とすることができる。こうすることにより、半導体樹脂組成物の成形時の硬化性を低下させることなく流動性を向上させることができる。

また、本発明の半導体封止樹脂組成物において、前記シランカップリング剤（E ) を当該樹脂組成物中に 0 . 0 1重量％以上 1重量％以下含む構成とすることができる。こうすることにより、半導体樹脂組成物の成形時の硬化性および流動性をさらに向上させることができる。

本発明の半導体封止用樹脂組成物において、前記エポキシ樹脂（A) は、下記一般式（1 ) で表されるエポキシ樹脂を 5 0重量％以上含む構成とすることができる。

(ただし、上記一般式（ 1 ) において、は単結合または炭素数 3個以下の飽和もしくは不飽和炭化水素である。 R ₂〜R ₉は水素または炭素数 4個以下の飽和炭化水素であって、互いに同じでも異なっていてもよい。 nは平均値で、 0以上 5以下の正数である。)

本発明に係る半導体封止用樹脂組成物は、エポキシ樹脂（A ) 中に上記一般式（ 1 ) で示されるエポキシ樹脂を 5 0重量％以上含むことができる。また、化合物（F ) を必須の成分として含む。このため、成形時の硬化性および流動性が充分に確保される。

本発明の半導体封止用樹脂組成物において、前記化合物（F ) は、前記芳香環を構成する 2個の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物であってもよい。こうすることにより、成形時の硬化性および流動性を好適に確保することができる。

本発明の半導体封止用樹脂組成物において、前記芳香環がナフタレン環であってもよい。こうすることにより、成形時の硬化性および流動性をさらに向上させることができる。

本発明の半導体封止用樹脂組成物において、前記化合物（F ) は、前記ナフタレン環を構成する 2個の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物であってもよい。こうすることにより、成形時の硬化性および流動性のパランスをより一層向上させることができる。

本発明の半導体封止用樹脂組成物において、当該樹脂組成物中に 8 0重量 %以上 9 4重量％以下の無機充填剤 ( C ) を含んでもよい。こうすることにより、樹脂組成物を確実に低粘度化し、また高強度化することができる。本発明によれば、前記半導体封止用樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置が提供される。本発明に係る半導体装置は、上述の半導体封止用樹脂組成物を用いて封止されるため、製造安定性を充分に確保することができる。

以上説明したように本発明によれば、シランカツプリング剤および芳香環を構成する 2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物を含むエポキシ樹脂組成物を用いることにより、硬化性を維持しつつ成形時の流動性に優れた半導体封止用の樹脂組成物を得ることができる。図面の簡単な説明

上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随す.る以下の図面によってさらに明らかになる。

図 1は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の構成の一例を示す断面図である。発明を実施するための最良の形態

本発明に係るエポキシ樹脂は、

エポキシ樹脂（A )

フエノール樹脂（B )

無機充填剤（C )

硬化促進剤（D )

シランカツプリング剤 ( E )

芳香環を構成する 2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物（F )

を必須成分とする。

エポキシ樹脂組成物全体を基準として、（A) 〜 ( F ) 成分の含有量は、たとえば以下のようにすることができる。

( A ) ： 1〜4 0重量％、 (B) ： 1〜 40重量％、

(C) ： 40〜 9 7重量％、

(D) ： 0. 0 0 1〜 5重量％、

(E) ： 0. 0 1〜 1重量％、

(F) ： 0. 0 1〜 1重量％。

以下、本発明に係る半導体封止用エポキシ樹脂組成物を構成する各成分について説明する。

エポキシ樹脂（A) の材料は、特に限定しないが、たとえばフエノールノポラック型エポキシ樹脂、クレゾールノポラック型エポキシ樹脂、ピフエ二ル型エポキシ樹脂、ビスフエノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフエノールメタン型エポキシ樹脂、フエノールァラルキル（フエ二レン骨格、ビフエ二レン骨格を含む）型エポキシ樹脂、ナフトール型ェポキシ樹脂、アルキル変性トリフエノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有'エポキシ樹脂、ジシクロペンタジェン変性フエノール型エポキシ樹脂等が挙げられ、これらは単独で用いるかもしくは併用することができる。半導体封止用エポキシ樹脂組成物としての耐湿信頼性を考慮すると、ィォン性不純物である N aイオンや C 1イオンが極力少ない方が好ましく、硬化性の点からエポキシ当量を、たとえば 1 0 0 gZe Q以上 5 00 gZe q以下とすることができる。

ここで、エポキシ樹脂（A) は、下記一般式（ 1 ) で表されるエポキシ樹脂を 5 0重量％以上含むものとすることができる。一般式（ 1) で表されるエポキシ樹脂としては、たとえばビフエ二ル型エポキシ樹脂、ビスフエノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂等が挙げられる。

(ただし、上記一般式（ 1) において、は単結合または炭素数 3個以下の飽和もしくは不飽和炭化水素である。 R ₂〜 R ₉は水素または炭素数 4 個以下の飽和炭化水素であって、互いに同じでも異なっていてもよい。 nは平均値で、 0以上 5以下の正数である。）また、これらとたとえばフエノールノポラック型エポキシ樹脂、クレゾールノポラック型エポキシ樹脂、トリフエノールメタン型エポキシ樹脂、フエノールァラルキル（フエ二レン骨格、ピフエ二レン骨格を含む）型エポキシ榭脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフエノールメタン型エポキシ榭脂、トリアジン核含有ェポキシ澍脂、ジシクロペン夕ジェン変性フエノール型ェポキシ樹脂等を併用することができる。

上記一般式（ 1 ) で表されるエポキシ樹脂はいずれも溶融粘度の低いェポキシ樹脂であり、無機充填剤の高充填化が可能となるため、これを用いた樹脂組成物で半導体素子を封止すれば、半導体装置の成形性、耐半田性を向上させることができる。

フエノール樹脂（B ) の材料は、特に限定しないが、たとえばフエノールノポラック樹脂、クレゾールノポラック樹脂、トリフエノールメタン樹脂、テルペン変性フエノール樹脂、ジシクロペン夕ジェン変性フエノール樹脂、フエノールァラルキル樹脂（フエ二レン骨格、ビフエ二レン骨格を含む）、ナフトールァラルキル樹脂（フエ二レン骨格、ビフエ二レン骨格を含む）等が挙げられ、これらは単独で用いるかもしくは併用することができる。硬化性の点から水酸基当量は、たとえば 9 0 g Z e Q以上 2 5 0 g / e Q以下とすることができる。

無機充填剤（C ) の材料としては、一般に封止材料に用いられている溶融シリカ、球状シリカ、結晶シリカ、アルミナ、窒化珪素、窒化アルミ等が挙げられる。無機充填剤の粒径としては、金型への充填性を考慮すると、たとえば 0 . 0 1 m以上 1 5 0 m以下とすることができる。

また無機充填剤（C ) の充填量を、たとえばエポキシ樹脂組成物全体の 8 0重量％以上、好ましくは 8 6重量％以上とすることができる。また、上記一般式（ 1 ) で表されるエポキシ樹脂を 5 0重量％以上含むエポキシ樹脂（ A ) を用いる場合、無機充填剤（C ) の充填量をたとえばエポキシ樹脂組成物全体の 8 8重量％以上とすることができる。充填量が小さすぎるとェポキシ樹脂組成物の硬化物の吸水量が増加し、強度が低下するため耐半田性が不満足となるおそれがある。

また、無機充填剤（C ) の充填量を、たとえばエポキシ樹脂組成物全体の 9 4重量％以下とすることができる。大きすぎると、流動性が損なわれるために成形性が低下するおそれがある

硬化促進剤（D ) の材料は、エポキシ樹脂のエポキシ基とフエノール樹脂の水酸基との反応を促進するものであればよく、一般に半導体素子の封止材であるエポキシ樹脂組成物に使用されているものを利用することができる。具体例として有機ホスフィン、テトラ置換ホスホニゥム化合物、ホスホベタイン化合物等のリン原子含有化合物、 1， 8—ジァザビシクロ（5， 4 , 0 ) ゥンデセン— 7、ベンジルジメチルァミン、 2—メチルイミダゾール等の窒素原子含有化合物が挙げられる。

有機ホスフィンとしては、たとえばェチルホスフィン、フエニルホスフィン等の第 1ホスフィン；

ジメチルホスフィン、ジフエニルホスフィン等の第 2ホスフィン；および卜リメチルホスフィン、トリェチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフエニルホスフィン等の第 3ホスフィン；

等が挙げられる。

テトラ置換ホスホニゥム化合物として、下記一般式（2 ) に示す化合物が挙げられる。厂

(ただし、上記一般式（2 ) において、 Pはリン原子、 R ₁ R ₂、 R ₃および R ₄は置換もしくは無置換の芳香族基、またはアルキル基、 Aはヒドロキシル基、カルボキシル基、チオール基から選ばれる官能基のいずれかを芳香環に少なくとも 1つ有する芳香族有機酸のァニオン、 A Hはヒドロキシル基、力ルポキシル基., チオール基のいずれかを芳香環に少なくとも 1つ有する芳香族有機酸を表す。 aおよび bは 1以上 3以下の整数、 cは 0以上 3以下の整数であり、かつ a = bである。）

上記一般式 ( 2 ) に示す化合物は、たとえば以下のようにして得られる。まず、テトラ置換ホスホニゥムブロマイドと芳香族有機酸と塩基を有機溶剤に混ぜて均一に混合し、その溶液系内に芳香族有機酸ァニオンを発生させる。次いで水を加える。すると、上記一般式（2 ) に示す化合物を沈殿させることができる。

上記一般式（2 ) に示す化合物において、リン原子に結合する Rい R ₂ 、 R ₃および R ₄がフエニル基であり、かつ A Hはヒドロキシル基を芳香環に有する化合物、すなわちフエノール類であり、かつ Aは当該フエノール類のァニオンであるのが好ましい。

ホスホべタイン化合物として、下記一般式（3 ) に示す化合物が挙げられる。

(ただし、上記一般式 ( 3 ) において、 Xは水素または炭素数 1以上 3以下のアルキル基. Yは水素またはヒドロキシル基を表す。 m、 nは 1以上 3以下の整数。）

上記一般式（3 ) に示す化合物は、たとえば沃化フエノール類とトリ芳香族置換ホスフィンを有機溶媒に均一に混合し、ニッケル触媒によりョードニゥム塩として沈殿させる。このョードニゥム塩と塩基を有機溶剤に均一に混合し、必要により水を加え., 上記一般式 (3) に示す化合物を沈殿させることにより得られる。上記一般式（3) に示す化合物としては、好ましくは X が水素またはメチル基であり、かつ Yが水素またはヒドロキシル基であるのが好ましい。しかしこれらに限定されるものではなく、単独でも併用してもよい。

硬化促進剤（D) の配合量は、たとえばエポキシ樹脂組成物全体の 0. 1 重量％以上 1重量％以下とすることができ、 0. 1重量％以上 0. 6重量％以下とすることが好ましい。硬化促進剤（D) の配合量が少なすぎると目的とする硬化性が得られないおそれがあり、多すぎると流動性が損なわれるおそれがある。

シランカップリング剤 (E) は、エポキシシラン、アミノシラン、ゥレイドシラン、メルカプトシラン等特に限定せず、エポキシ樹脂組成物と無機充填剤との間で反応し、エポキシ樹脂組成物と無機充填剤の界面強度を向上させるものであればよい。

芳香環を構成する 2個以上の瞵接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物 (F) (以下、化合物 (F) と称する。) は、シランカップリング剤（E) との相乗効果により、粘度特性と流動特性を著しく改善させる。このため、シランカップリング剤（E) は化合物（F) の効果を充分に得るためには必須である。

これらのシランカップリング剤（E) は単独でも併用してもよい。シランカップリング剤（E) の配合量は、全エポキシ樹脂組成物中 0. 0 1重量％以上 1重量％以下、好ましくは 0. 0 5重量％以上 0. 8重量％以下、特に好ましくは 0. 1重量％以上 0. 6重量％以下である。配合量が小さすぎると化合物（F) の効果が充分に得られず、また半導体パッケージにおける耐半田性が低下するおそれがある。また、大きすぎるとエポキシ樹脂組成物の吸水性が大きくなり、やはり半導体パッケージにおける耐半田性が低下するおそれがある。

芳香環を構成する 2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物（F) は、水酸基以外の置換基を有していてもよい。化合物（F ) として、下記一般式（4) で示される単環式化合物または下記一般式（5 ) で示される多環式化合物を用いることができる。

R₃

(ただし、上記一般式（4) において、 R₅はどちらか一方が水酸基であり、片方が水酸基のとき他方は水素、水酸基または水酸基以外の置換基、 R₂、 R₃、 R₄は水素、水酸基または水酸基以外の置換基。）

(ただし、上記一般式（ 5) において、 R₇はどちらか一方が水酸基であり、片方が水酸基のとき他方は水素、水酸基または水酸基以外の置換基、 R₂、 R₃、 R₄, R₅、 R₆は水素水酸基または水酸基以外の置換基。）上記一般式（4) で示される単環式化合物の具体例として、たとえば、力テコール、ピロガロ一ル、没食子酸、没食子酸エステル等が挙げられる。また、上記一般式（5 ) で示される多環式化合物の具体例として、たとえば、 1 , 2—ジヒドロキシナフタレン、 2 , 3—ジヒドロキシナフ夕レンおよびこれらの誘導体が挙げられる。

そのうち、流動性と硬化性の制御のしゃすさから芳香環に隣接する水酸基は 2個であることが好ましい。また、混練工程での揮発を考慮した場合、母核は低揮発性で抨量安定性の高いナフ夕レン環である化合物とすることが好ましい。

この場合、化合物（F ) を、具体的には、たとえば、 1 , 2—ジヒドロキシナフタレン、 2 , 3—ジヒドロキシナフ夕レンおよびその誘導体等のナフタレン環を有する化合物とすることができる。このような化合物を用いることにより、エポキシ樹脂組成物のハンドリングの際の制御性をより一層向上させることができる。また、エポキシ樹脂組成物の揮発性を低下させることができる。

これらの化合物（F ) は 2種以上併用してもよい。

かかる化合物（F ) の配合量はエポキシ樹脂組成物全体の 0 . 0 1重量％以上 1重量％以下、好ましくは 0 . 0 3重量％以上 0 . 8重量％以下、特に好ましくは 0 . 0 5重量％以上 0 . 5重量％以下とすることができる。また、ここで、一般式（ 1 ) で表されるエポキシ樹脂を 5 0重量％以上含むェポキシ樹脂（A) を用いる場合、化合物（F ) の配合量は全エポキシ樹脂組成物中 0 . 0 1重量％以上 0 . 3重量％以下とすることができる。小さすぎると、シランカップリング剤（E ) との相乗効果による期待するような粘度特性および流動特性が得られない。また、大きすぎると、エポキシ樹脂組成物の硬化が阻害され、また硬化物の物性が劣り、半導体封止樹脂としての性能が低下するおそれがある。

本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、上記（A ) 〜（F ) 成分を必須成分とするが、これ以外に必要に応じて臭素化エポキシ樹脂、三酸化アンチモン等の難燃剤、離型剤、カーボンブラック等の着色剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力添加剤、無機イオン交換体等の添加剤を適宜配合してもよい。

本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、（A) 〜（F ) 成分およびその他の添加剤等をミキサー等で用いて常温で均一に混合した後加熱口一ルまたはニーダー、押出機等で溶融混練し、冷却後粉碎して製造することができる。また、本発明に係るエポキシ榭脂組成物を用いて、半導体素子を封止し、半導体装置を製造するには、トランスファ一モールド、コンプレツシヨンモールド、ィンジェクションモールド等の成形方法で成形硬化すればよい。本発明に係るエポキシ樹脂組成物は、種々の半導体装置の封止に好適に用いられる。たとえば、 Q F P (クヮッドフラットパッケージ）、 T S O P ( スィンスモールァゥトラインパッケージ）等の表面実装型半導体装置の封止材料として用いることができる。図 1は、本発明に係るエポキシ樹脂組成物を用いた半導体装置の構成の一例を示す断面図である。ダイパッド 2上に、ダイポンド材硬化体 6を介して半導体素子 1が固定されている。半導体素子 1とリードフレーム 4との間は金線 3によって接続されている。半導体素子 1は、封止樹脂 5によって封止されている。

図 1に示される半導体装置は、封止樹脂 5として上述したエポキシ樹脂組成物を用いてトランスファ一モールド、コンプレツシヨンモールド、インジェクシヨンモールド等の方法で硬化成形し、半導体素子 1を封止することによって得ることができる。

図 1に示した半導体装置は、芳香環を構成する 2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物（F ) を含む封止樹脂組成物により封止されるため、封止樹脂組成物の粘度特性と流動特性を好適なものとすることができる。このため、成形性にすぐれた半導体装置を安定的に得ることができる。

また、一般式（ 1 ) で表されるエポキシ樹脂を含むエポキシ樹脂組成 4勿により封止することにより、成形性、耐半田性にさらにすぐれた半導体装置をより一層安定的に得ることができる。

以下、本発明を実施例にて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。配合割合は重量部とする。

(実施例 1 )

ピフエニル型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株） '製、 YX 4 000、エポキシ当量 1 9 5、上記式（ 1) における nは平均値で 0、融点 1 0 5 ） 6. 9重量部

フエノ一ルァラルキル樹脂 (三井化学 (株） ·製、 XL C— L L、水酸基当量 1 74、軟化点 7 9t ) 6. 0 5重量部、

球状溶融シリカ（平均粒径 30 /zm) 8 6. 0重量部、

ァ―グリシジルプロビルトリメトキシシラン 0. 6重量部、トリフエニルホスフィン 0. 2重量部、

2, 3—ジヒドロキシナフタレン（試薬） 0. 0 5重量部、カルナパワックス 0. 2重量部、および

カーボンブラック 0. 3重量部

をミキサーにて常温混合し、 80〜 1 0 0°Cの加熱ロールで溶融混練し、冷却後粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を、以下の方法で評価した。評価結果を表 1に示す。

スパイラルフロー： EMM 1 - 1 - 6 6に準じた金型を用い、前記ェポキシ榭脂組成物を低圧トランスファー成形機にて 1 7 5°C、成形圧 6. 9 MP a 、保圧時間 1 2 0秒の条件で成形し測定した。スパイラルフローは、流動性のパラメ一夕であり、数値が大きい方が流動性が良好である。単位は C m₀

硬化トルク比：キュラストメーター（オリエンテック（株） ·製、 J S R キュラストメーター I VP S型）を用い、金型温度 1 7 5°C、加熱開始 9 0 秒後、 30 0秒後のトルクを求め、硬化トルク比：（9 0秒後のトルク） Z ( 3 0 0秒後のトルク）を計算した。キュラストメ一夕一におけるトルクは熱剛性のパラメ一夕であり、硬化トルク比の大きい方が硬化性が良好である。単位は％。

密着強度：トランスファー成形機を用いて、金型温度 1 7 5 、注入圧力 9. 8 MP a、硬化時間 1 20秒の条件で、リードフレーム上に 2 mmX 2 mmx 2mmの密着強度試験片を成形した。リードフレ一ムは銅フレームに銀メツキしたものを用いた。その後、自動せん断強度測定装置（DAGE社製、 P C 240 0) を用いて、エポキシ樹脂組成物の硬化物とフレームとのせん断強度を測定した。単位は N/mm²。

(実施例 2〜 1 0、比較例 1〜 1 3 )

表 1および表 2の配合に従い、実施例 1と同様にしてエポキシ榭脂組成物を製造し、実施例 1と同様にして評価した。評価結果を表 1および表 2に示す。

(実施例 1 1〜 23、比較例 14〜 2 3 )

表 3および表 4の配合に従い、実施例 1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を製造し、以下の方法で評価した。評価結果を表 3および表 4に示す。スパイラルフロー：実施例 1と同様の方法により測定した。

硬化トルク比：実施例 1と同様の方法により測定した。

耐半田リフロークラック性：低圧トランスファ一成形機を用いて、ボディ

—サイズ 14 X 20 X 2. 7mmの 80 p QF P (Cuフレーム）に 7 X 7 X 0. 3 5mmの S iチップを接着したフレームを金型温度 1 7 5Ό、注入時間 1 0 s e c、硬化時間 90 s e c、注入圧 9. 8 MP aで成形し、 1 7 5 °C 8 h rの条件で後硬化後 8 5°C 8 5 % 1 68 h rの条件で加湿処理し、ピーク温度 2 6 0°Cの I Rリフローに連続 3回（2 5 5で以上が 1 0秒 X 3 回）通し、超音波探傷機を用いて内部クラック、剥離の有無を測定し、 1 0 パッケージ中のチップ剥離と内部クラックの数で判定した。

難燃性：低圧トランスファ一成形機を用いて、金型温度 1 7 5°C、注入時間 1 5 s e c、硬化時間 1 20 s e c、注入圧 9. 8MP aで 3. 2 mm厚の難燃試験片を成形し、 UL 94の規格に則り難燃試験を行った。

実施例 1以外で用いた成分について、以下に示す。

ビスフエノール A型エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株） ·製、エポキシ当量 1 7 2、上記式（ 1) における nは平均値で 0、 2 5で溶融粘度 45mP a ' s e c)、

クレゾ一ルノポラック型エポキシ樹脂 (日本化薬 (株） ·製、 EOCN 1

0 2 0— 5 5、エポキシ当量 1 98、軟化点 5 5 °C)、

フエノールノボラック樹脂（水酸基当量 1 04、軟化点 80 C)、フエノールビフエニルァラルキル樹脂（明和化成（株）製 MEH- 7

8 5 1 S S、水酸基当量 2 0 3、軟化点 6 5 °C)、

ァ一メルカプトプロピル卜リメトキシシラン、

1 , 8ージァザビシクロ (5, 4, 0) ゥンデセン— 7 (以下、 DBUと略す）、

下記式（6) で示される硬化促進剤、

下記式（7) で示される硬化促進剤、

1， 2—ジヒドロキシナフタレン（試薬）、

カテコール（試薬）、

ピロガロール（試薬）、

1， 6—ジヒドロキシナフタレン（試薬）、

レゾルシノール（試薬）。表 1

実施 1 9\

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 ピフニル型エポキシ樹脂 6.9 7.0 7.2 7.0 7.0 7.1 7.2 7.0 7.1 7.0 フノールァラルキル樹脂 6.05 5.8 5.3 5.8 5.8 5.7 5.6 5.8 5.6 5.8 溶融球状シリカ 86.0 86.0 86.0 86.0 86.0 86.0 86.0 86.0 86.0 86.0 ァ―グリシジルプロピルトリメトキシシラン 0.6 0.3 0.1 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3

Ύ一メルカプトブロビルトリメトキシシラン 0.3

トリフエニルホスフィン 0.2 0.2 0.2 0.2 02 0.2 0.2

DBU 0.2 式 (6)の硬化促進剤 0.3 式（7)の硬化促進剤 0.2

2, 3—ジヒドロキシナフタレン 0.05 0.2 0.5 0.2 0.2 0.2 0.2

1 , 2—ジヒドロキシナフタレン 0.2

カテコール 0.2

ピロガロール 0.2

1 , 6—ジヒドロキシナフタレン

レゾルシノール

カルナパワックス 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 刀一ポンブラック 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 スパイラルフロー（cm) 133 1 26 120 130 1 24 1 05 127 1 21 132 128 硬化トルク比（％) 63 65 63 65 66 66 61 65 89 89 密着強度（N/m m ²) 7.2 8.3 7.9 9.4 &0 7.9 8.2 8.1 8.4 8.1

表 2

表 3

実施例

11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 ビフ: πニル型エポキシ樹脂 4.75 2.45 5Αδ 478 4.45 4.75 4.75 4.75 4.75 4.75 473 4.73 ビスフ:!:ノール Α型エポキシ樹脂 3.40

クレゾ一ルラック型エポキシ脂 2.44

フエノールァラルキル樹脂 4.25 4.17 4.22 3.98 4.25 425 425 4.25 4.25 422 4.22 フエノールノポラック射脂 1 .96

フエノールビフエニルァラルキル樹脂 5.55

溶融球状シリカ 90.00 90.00 93.50 0 90.00 90.00 90.00 90.00 90.00 90.00 90.00

«Τ—グリシジルプロビルトリメ卜キシシラン 0.30 0.30 0.50 0.20 0.05 0.85 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 ァ一メルトプロピル卜リメトキシシラン 0.30

トリフ: ϋニルホスフィン 0.15 0.10 0.12 0.20 020 020 0.15 0.15 0.15 0.15

面 0.15 式 (6)の硬化促 « 020 式 (7〉の硬化促翻 0.20

2, 3—ジヒドロキシナフタレン 0.05 0.04 0.02 0.10 025 0.0 ο2 0.05 0.05 0.05 0.05

1 , 2 -ジヒドロキシナフタレン 0.05

力テコ—ル 0.05

ピロガロール 0.05

1， 6—ジヒドロキシナフタレン

o

レゾルシノール

カルナパワックス 0.20 020 050 0.20 020 020 0.20 0.20 020 0.20 0.20 020 0.20 カーポンブラック 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 0.30 スパイラルフ口一（cm) 100 98 73 102 110 95 102 82 115 105 98 121 105 硬化トルク比 63 61 65 58 60 65 61 60 59 62 58 94 88 耐半田クラック性チップ剥離 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 内音!?クラック 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 囊性 V-0 V-0 V-0 V-0 V-0 V-0 V-0 V-0 V-0 V-0 V-0 V-0 V-0

表 4

Claims

1. エポキシ樹脂（A)、フエノール榭脂（B)、無機充填剤 (C)、硬化促進剤 (D)、シランカップリング剤（E)、および芳香環を構成する 2個以上の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物（F) を含むことを特徴とする半導体封止用樹脂組成物。

請

2. 請求の範囲第 1項に記載の半導体封止用樹脂組成物において、前記化合物（F) を当該樹脂組成物中に 0. 0 1重量％以上含むことを特徴とするの S

半導体封止用樹脂組成物。

3. 請求の範囲第 1項に記載の半導体封止用樹脂組成物において、前記シランカツプリング剤（E) を当該樹脂組成物中囲に 0. 0 1重量％以上 1重量 %以下含むことを特徴とする半導体封止用樹脂組成物。

4. 請求の範囲第 1項に記載の半導体封止用樹脂組成物において、前記ェポキシ樹脂（A) は、下記一般式（ 1 ) で表されるエポキシ樹脂を 5 0重量 %以上含むことを特徴とする半導体封止用樹脂組成物。

(ただし、上記一般式（ 1) において、は単結合または炭素数 3個以下の飽和もしくは不飽和炭化水素である。 R₂〜R₉は水素または炭素数 4個以下の飽和炭化水素であって、互いに同じでも異なっていてもよい。 nは平均値で、 0以上 5以下の正数である。）

5. 請求の範囲第 1項に記載の半導体封止用樹脂組成物において、前記化合物 (F) は、前記芳香環を構成する 2個の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物であることを特徴とする半導体封止用樹脂組成物。

6. 請求の範囲第 1項に記載の半導体封止用樹脂組成物において、前記芳香環がナフタレン環であることを特徴とする半導体封止用樹脂組成物。

7 . 請求の範囲第 6項に記載の半導体封止用樹脂組成物において、前記化合物（F ) は、前記ナフタレン環を構成する 2個の隣接する炭素原子にそれぞれ水酸基が結合した化合物であることを特徴とする半導体封止用樹脂組成物。

8 . 請求の範囲第 1項に記載の半導体封止用樹脂組成物において、当該樹脂組成物中に 8 0重量％以上 9 4重量％以下の無機充填剤（C ) を含むことを特徵とする半導体封止用榭脂組成物。

9 . 請求の範囲第 1項に記載の半導体封止用樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。