WO2004079243A1 - 流量制御弁 - Google Patents

Abstract

　開状態におけるピストンの停止位置を当接で決定することにより流量調整が行われるものであって、かかる流量調整を遠隔制御で且つ精度良く行うことができる流量制御弁に関するものである。閉状態にある場合は、復帰ばね（２０，２１）の付勢力がピストン（２２）に作用することにより、ダイアフラム（２４）が弁座（５４）と密接している。ここで、パイロット室（５５）の内部に圧縮空気を供給すると、ピストン（２２）が移動するので、ダイアフラム（２４）が弁座（５４）から離間する。その後、ピストン（２２）がナット（１９）に突き当たることにより、ダイアフラム（２４）が停止し、ダイアフラム（２４）と弁座（５４）との隙間が固定されて、開状態になる。もっとも、サーボモータ（１１）などをもって、ナット（１９）を任意の位置にまで移動させることができるので、ナット（１９）にピストン（２２）が突き当たる位置を変更させることができる。

Description

明 細 書 流量制御弁 技術分野

本発明は、 圧縮空気の圧力がばねの付勢力に抗する こ とによ り 開状態へ移行 ·開状態を維持する流量制御弁であって、特に、 半導体製造装置で使用される ものに関する。 背景技術

従来、 流量制御弁の一つと して、 例えば、 特開平 7 — 2 5 3 1 7 0号公報に記載された流量制御弁がある。 第 4 図に、 かか る流量制御弁 1 0 0 の断面図を示す。 流量制御弁 1 0 0 は、 入 力ポー ト 1 2 1 と出力ポー ト 1 2 2 とが左右に形成されたアン ダ一ボディ 1 2 0 を有 し、 その上方に第 1 操作ポー ト 1 3 1 が 形成された中間ボディ 1 3 0 が固設され、 その上方に、 第 2操 作ポー ト 1 4 1 が形成され調整ネジ 1 4' 2 が装着されたア ツパ 一ボディ 1 4 0 が固設されて全体の外形をな している。

アンダーボディ 1 2 0 には、 図中右方の入力ポー ト 1 2 1 と 図中左方の出力ポー ト 1 2 2 との他、 中央に円環形状の弁座 1 0 1 が形成されている。 弁座 1 0 1 の内部 Aは入力ポー ト 1 2 1 と連通 し、 弁座 1 0 1 の外部 Bは出力ポー ト 1 2 2 と連通し ている。 弁体 1 0 2 が弁座 1 0 1 に当接する こ とによ り 入力ポ ー ト 1 2 1 と出力ポー ト 1 2 2 とが遮断され、 弁体 1 0 2 が弁 座 1 0 1 から離間する こ とによ り 両ポー ト 1 2 1 、 1 2 2 が連 通される。 中間ボディ 1 3 0 は、 アンダーボディ 1 2 0 の中央部上方に 固設される概略円筒形状の部材である 。中間ボディ 1 3 0 には、 第 1 操作ポー ト 1 3 1 が形成されている他、 内部に小径シ リ ン ダ 1 3 2 と大径シ リ ンダ 1 3 3 とが形成されている 。 中間ボデ ィ 1 3 0 の内部には、 略円柱形状のピス 卜 ン 1 5 0 が上下方向 に摺動可能に嵌持されている。 ピス ト ン 1 5 0 は 中央の大径 部分 1 5 1 と、 その下方の下小径部分 1 5 2 と 大径部分 1 5

1 の上方の上小径部分 1 5 3 とを有 している ο 大径部分 1 5 1 は中間ボディ 1 3 0 の大径シ リ ンダ 1 3 3 に 下小径部分 1 5

2 は小径シ リ ンダ 1 3 2 に、 それぞれ 密に嵌口 されている。 そ して、 大径部分 1 5 1 の下面 1 5 4 と 中間ボ丁ィ 1 3 0 とに よ り 第 1 操作室 1 3 4 が区画される。 第 1 操作室 1 3 4 には、 中間不丁ィ 1 3 0 の第 1 操作ポー ト 1 3 1 が 成されてお り 、 第 1 操作ポー ト 1 3 1 を通じて第 1 操作室 1 3 4 に空気圧を印 カロ し又は開放する こ とがで き る。 第 1 ί 作室 1 3 4 に空気圧が 印加される と、 ピス 卜 ン 1 5 0 は上方に押圧される 0

ピス ト ン 1 5 0 の下小径部分 1 5 2 の下端には 弁体 1 0 2 が取 り付け られている 。 弁体 1 0 2 の周囲はダ ァフ ラム 1 5

6 となつてお り その周縁はアンダーボ丁 ィ 1 2 0 と中間ボディ

1 3 0 とに挟持される 。 弁体 1 0 2 は ピス h ン 1 5 0 の上下 動に伴つて移動し 、 ァンダ一ボディ 1 2 0 の弁座 1 0 1 に離間 又は当接する。 弁体 1 0 2 が弁座 1 0 1 に当接する と入力ポー 卜 1 2 1 と出力ポ一ト 1 2 2 とが遮断され、 弁体 1 0 2 が弁座

1 0 1 から離間する と両ポー ト 1 2 1 1 2 2 が連通される。 ァ ッパ一ボディ 1 4 0 は、 中間ボディ 1 3 0 の上方に固設さ れる概略円筒形状の部材である。 ア ツパ一ボ丁 ィ 1 4 ◦ には、 2 操作ポー ト 1 4 1 が形成されている他、 中央に孔 1 4 3 が 貫通して形成されている。 ピス ト ン 1 5 0 の上小径部分 1 5 3 がヽ ァ ヅパ一ボディ 1 4 0 の孔 1 4 3 に嵌合される。 大径部分

1 5 1 の上面 1 5 5 と中間ボディ 1 3 0 とア ッパーボディ 1 4

0 とによ り第 2操作室 1 4 4 が区画される。 第 2 操作室 1 4 4 にはヽ ァ ヅ ) ―ボディ 1 4 0 の第 2操作ポー ト 1 4 1 が開成さ れてお り 、 第 2操作ポー ト 1 4 1 を通じて第 2操作室 1 4 4 に 空気圧を印加 し又は開放する こ とができ る。 第 2 操作室 1 4 4 に 圧が印加される と、ビス ト ン 1 5 0 は下方に押圧される。 またヽ ァ ヅパ一ボディ 1 4 0 には、 バネ溝 1 4 5 が形成されて お り ヽ ピス 卜 ン 1 5 0 の上面 1 5 5 とバネ溝 1 4 5 との間には 復帰ノ、'ネ 1 4 6 が挟持されている。 復帰バネ 1 4 6 はピス ト ン

1 5 0 を下方に付勢している。

ァ ヅ 一ボディ 1 4 0 の孔 1 4 3 の上半分にはネジ溝が切ら れている し の部分に調整ネジ 1 4 2 が装着される。 調整ネジ

1 4 2 は 、 その下端 1 4 7 によ り ピス ト ン 1 5 0 の上方向への 動きを規制する ものである。 調整ネジ 1 4 2 を回 してその下端

1 4 7 の高さ を変化させる と、 ビス ト ン 1 5 0 の停止位置も変 化 しヽ 1开 J弁時における弁体 1 0 2 と弁座 1 0 1 との間隔を調節 する し とがで き る。 尚、 調整ネジ 1 4 2 が不用意に動かないよ う にヽ Π ヅ ク ナ ヅ 1、 1 4 8 で固定する こ とがで き る 。

に、前記構成を有する流量制御弁 1 0 0 の作用を説明する。 制御弁 1 0 0 は、 第 1 操作ポー ト 1 3 1 又は第 2 操作ポー 4 1 に、 空気圧を印加する こ とによ り操作される。 この空 気圧の供給手段は、 圧縮空気ボンべや空気圧ポンプその他何で も よい。 まず、 第 1 操作ポー ト 1 3 1 及び第 2 操作ポー ト 1 4 1 のい ずれにも空気圧を印加 しない状態について考察する。 この状態 ではピス ト ン 1 5 0 は、 復帰バネ 1 4 6 によ る付勢力のみを受 ける。 従つて ピス ト ン 1 5 0 は、 下端に取 り 付け られた弁体 1

0 2 が弁座 1 0 1 に当接する まで下方に移動した状態となって いる。 この状態では、 弁座 1 0 1 と弁体 1 0 2 とが接触する こ とによ り 、 入力ポー ト 1 2 1 と出力ポー ト 1 2 2 との連通が遮 断され、 流量制御弁 1 0 0 は閉となつている。

第 1 操作ポー ト 1 3 1 に空気圧を印加する と、 流量制御弁 1

0 0 の第 1 操作室 1 3 4 が高圧となる。 このためピス ト ン 1 5

0 は、 上方に押圧され復帰バネ 1 4 6 の付勢力に抗して、 上端 が調整ネジ 1 4 2 の下端 1 4 7 に当接する まで移動して停止す る 。このため弁体 1 0 2 も ビス ト ン ： L 5 0 と共に上方に移動 し、 弁座 1 0 1 と弁体 1 0 2 との間に隙間が開成され、 入力ポー ト

1 2 1 と出力ボー ト 1 2 2 とが連通 し、 流量制御弁 1 0 0 は開 とノよ 。

この状態において、 調整ネジ 1 4 2 を操作 して下端 1 4 7 の 位置を変更する と、 ピス ト ン 1 5 0 の停止位置が変更され、 流 里制御弁 1 0 0 の開状態における弁座 1 0 1 と弁体 1 0 2 との 間の隙間を調整して流量調整を行フ こ とがで き る。

第 1 操作ポー ト 1 3 1 への空気圧の供給を停止し、 第 1 操作

*

室 1 3 4 の圧力を開放する と、 流里制御弁 1 0 0 は復帰バネ 1

4 6 の付勢力（こよ り再び閉状態となる。 この と き、 第 2操作ポ 一 ト 1 4 1 に空気圧を印加する と第 2操作室 1 4 4 が高圧とな る 。 この圧力が復帰バネ 1 4 6 の付勢力を助勢して ピス ト ン 1

5 ◦ を下方に押圧するので、 閉弁動作が更に確実となる。 しか しながら、 第 4 図の流量制御弁 1 0 0 の流量調整は、 調 整ネジ 1 4 2 を手動で回動操作して、 ピス ト ン 1 5 0 の上端が 当接する調整ネジ 1 4 2 の下端 1 4 7 の位置を変更 し、 開状態 における ビス ト ン 1 5 0 の停止位置を変更する こ とによ り 行わ れるので、 遠隔制御で且つ精度良 く 行う こ とがで きなかった。

特に、 半導体製造装置においては、 遠隔制御で且つ精度良 く 行う流量制御が求められるため、 第 4 図の流量制御弁 1 0 0 を 半導体製造装置に使用できないという 問題点があった。

また、 第 5 図は、 第 4 図の流量制御弁 1 0 0 の第 1 操作ポー ト 1 3 1 に対し、 ノ ーマルク ローズの吸気比例弁 1 6 1 及びノ 一マルク ローズの排気比例弁 1 6 2 をコ ン ト ロール基板 1 6 3 で制御する電空レギユ レ一夕部 1 6 0 を取 り 付けたものを示し ているが、 この点、 第 5 図の流量制御弁 1 0 0 では、 電空レギ ユ レ一夕部 1 6 0 を介 して、 第 1 操作ポー ト 1 3 1 に空気圧を 印加 ·開放する こ とによ り 、 開状態 ·閉状態へ移行させていた o 従って、 ノ ーマルク ロ ーズの吸気比例弁 1 6 1 を開ける と と も にノ ーマルク ローズの排気比例弁 1 6 2 を閉 じれば、 第 1 操作 室 1 3 4 に空気圧が供給 · 印加されるので、 開状態への移行 · 維持がなされる こ とになる。 しか しなが ら、 この と き、 非通電 時になる と、 ノ ーマルク ローズの吸気比例弁 1 6 1 と ノ ーマル ク ローズの排気比例弁 1 6 2 のいずれも閉 じ、 第 1 操作室 1 3 4 の空気圧が保持され、 状態によっては、 又は、 場合によ って は、 開状態の維持がなされるので、 制御流体の流出が継続する とい う 問題点があった。

特に、 非通電時に制御流体の流出が継続する となる と、 半導 体製造装置においては、 厳密な流量制御が求められるため、 第 5 図の流量制御弁 1 0 0 を半導体製造装置に使用でさない とい う 問題点があつた 発明の開示

そ で、 本発明は、 上述した問題点を解決するためになされ たものであ りヽ 開状態における ピス ト ンの停止位置を当接で決 定する こ とによ り 流量調敕が行われる ものでめ てヽ かかる流 敕 7S隔制御で且つ i ，又良 く 行う こ とがでぎ る流量制御弁 を提供する こ とを第 1 の課題とする ο

また 、 本発明は 、 圧縮空気の圧力がばねの付勢力に抗する こ とによ り 流量調整が行われる ものであってヽ 非通電時における 制御流体の流出を防止する こ とができ る流里制御弁を提供する こ とを第 2 の課題とする

第 1 の課題を解決するために成された本発明に係る流量制御 弁は ピス ト ンの先端に設け られた弁体がばねの付勢力によ り 弁座に密接して閉状態となる一 ヽ パィ 口 ヅ 卜室内に供給した 圧縮 気の圧力でピス ンを移動させる こ とによ ヽ 刖目己弁体 が前記弁座から離間 し さ ら に 、 刖記ピス 卜 ンが当接部材に突 き当たる こ とで開状態にな 、 前記開状態における前記弁体の 停止位置が決定される流里制御弁においてヽ 刖記当接部材を前 進 - 後退の直進動作で任 の位置に まで移動させるモ一夕駆動 制御機構を設けたこ と を特徴と している

また 、 本発明に係る流 制御弁においてはヽ 前記 ィ 口 ッ 卜 室内に圧縮空 供給するための供給回路と前記パ D ヅ ト室 内か ら圧縮空気 ¾排出するための排出回路と を けた Ί ¾&ェレギ ュ レ ―夕部を備え る とが ま しい。 また、 本発明に係る流量制御弁においては、 前記電空レギュ レ 夕部の非通電状態が前記排出回路の連通状態である こ とが 好ま しい 0

また 、 本発明に係る流量制御弁においては、 前言 3ノ イ ロ ヅ ト 室内と外部とを僅かに連通状態にさせる ブリ ド機構を備え、 刖記電空レギユ レ一夕部の非通電状能が前記供給回路及び前記 排出回路の遮断状態であっても 前記パィ 口 ッ ト室内の圧縮空 気 ¾目 記プリ ー ド機構で外部に少しずっ排出する こ とが好ま し レ o

また 、 本発明に係る流量制御弁は 半導体製造装置に使用さ

4し ^) とが好ま しい。

しのよ う な特徴を有する本発明の流量制御弁では 閉状能に あ 場合は、 ばねの付勢力がピス ト ンに作用する し とによ り ピス ンの先端に設け られた弁体が弁座と密接している ο し で、 ノ ィ 口 ヅ ト室内に圧縮空気を供給する と 圧縮 の圧力 がピス ト ンに作用 し、 ばねの付勢力に抗しながら ピス 1 ンが移 動するので、 ビス ト ンの先端に設け られた弁体が弁座から離間 する 0 その後、 ピス ト ンが当接部材に突き当たる し とによ り ピス h ン の先端に設け られた弁体が停止し、 ピス ト ンに設け ら れた弁体と弁座との隙間が固定されて、 開状能になる 0

も と も、 本発明の流量制御弁では、 モー夕駆動制御機構を も つて 、 当接部材を前進 · 後退の直進動作で任意の位置に まで 移動させる こ とがで き るので、 当接部材にピス 卜 ンが突き当た る位置を変更させる こ とがで き 、 し れ (し ck り ピ ス ンに設け られた弁体と弁座との隙間を正確に調整する し とが可能となる。 すなわち、 本発明の流量制御弁においては ピス 卜 ンが当接 部材に突き当たつて停止する と ピス ト ンの先端に設け られた 弁体も停止して開状態とな り、 ピス ト ンに設け られた弁体と弁 座との隙間が固定されるが、 この点 、 当接部材を前進 · 後退の 直進動作で任意の位置にまで移動させるモータ駆動制御機構に よ り 、 ピス ト ンに設け られた弁体と弁座との隙間を正確に調整 して流量制御を行う こ とができ るので、本発明の流量制御弁は、 開状態における ピス ト ンの停止位置を当接で決定する こ とによ り 流量調整が行われる ものであ て 、 かかる流量調整を遠隔制 御で且つ精度良 < 行う こ とがで さ るものである。

また、 本発明の 、 m.

im 制御弁においては、 ノ ィ ロ ッ ト室内に供

I'a i れた圧縮空 の圧力やばねの付勢力によ り 開状態 · 閉状態 に移行 してお り 1 J状態 · 閉状態への移行にモータ駆動制御機 構が関与する こ とはないので、 開状態 · 閉状態への移行の応答 性に優れている

また、 本発明の流量制御弁においては、 モー夕駆動制御機構 が閉状態への移行に関与せず、 ピス ト ンの先端に設け られた弁 体が弁座と密接する [¾5に、 モ一夕駆動制御機構における直進動 作の推進力が伝わ マ とがないので 、 モータ駆動制御機構にお ける直進動作の推進力によ り、 ピス ト ンの先端に設け られた弁 体や弁座に対しダメ一ジが加え られる こ とはない。

また、 本発明の im 制御弁において、 電空レギユ レ一タ部を 備えた場合には パィ ロ ッ ト室内に対する圧縮空気の供給 · 排 出速度を電気制御で 自在に可変する こ とがで き るので、 弁開閉 時に発生するォ ―ノ、、一シュー ト やゥ オーターハンマ一を軽減す るための開状態 閉状態への移行速度の制御を遠隔制御で且つ 精度良 く 行う こ とがで き る。 また 開状態 · 閉状態への移行の 応答性がさ ら に優れたものとなる o ま /こ 、 本発明の流量制御弁においてヽ レギユ レ 夕部を 備えた場合であっても 、 電空レギュ レ 夕部の非通電状 、が排 出回路の連通状態であれぱ、 非通電時には、 ノ イ ロ ッ 卜室内の 圧縮空気が排出される状態が維持されヽ 閉状態への移行 • 閉状 態の維持がなされるので、 非通電時における制御流体の流出を 防止する こ とがで き る 0

また、 本発明の流量制御弁においてヽ 非通電状態が供給回路 及び排出回路の遮断状態である電空レギュ レ —夕部を備えた場 合であっても 、 パイ D ヅ ト室内と外部とを僅かに連通状能にさ せる ブリ ー ド機構を備えていればヽ 非 M E1時には、 パイ D 卜 室内の圧縮空気をブリ ー ド機構で外部に少しずつ排出される状 態が維持され 、閉状態への移行 ·閉状 の維持がなされるので、 非通電時における制御流体の流出を防止する こ とがで ぎ る o

また、 本発明の流量制御弁が半導体製造 Λに使用される 合には、 流里調敕を遠隔制御で且つ精度良 < 行つた り 厳密な 主

流里制御等が要 Β冃されるので、 上述 した効果を大ぎ < 発揮する とがで ぎ る。

また、 半導体製造装置では、 制御流体や周囲温度な どのゝ)曰 恤 /又 管理が重要となるが、 この点、 本発明の流里制御弁を半導体製 造装置に使用する場合は、 モー夕駆動制御機構による流里調敕 よ り も、 圧縮空 やばね等による . 閉里カ作が頻繁に行われ 発熱を伴う モ 夕駆動制御機構が行われる とは少ないので モ ―夕駆動制御機構の発熱が及ぼす影響を老慮 る必 がない。

さ ら に、モー夕駆動制御機構が行われる こ とが少ないこ とは、 モ一夕の寿命が発熱によ り 短縮される こ とがないので、 本発明 の流量制御弁そのものの寿命に対し モ一夕駆動制御機構が悪 影響を及ぼすこ とはない

また、 第 2 の課題を解決するために成された本発明の別形態 に係る流量制御弁は 弁体がばねの付勢力によ り 弁座に密接し て閉状態となる 方 ノ ィ □ ッ 卜室内に供給した圧縮空気の圧 力で前記弁体を移動させる こ とによ り 目'」 S3弁 1不が目 ij記弁座か ら離間 して開状 となる流量制御弁において、 前記パイ t3 ヅ 卜 内に圧縮空 供給するための供給回路と目 U記 D ッ 卜至 内から圧縮空 ¼ を排出するための排出回路と を設けた電空レギ ュ レ ―夕部を備え レギユ レ一夕部の非 Μ電状態が前 記排出回路の連通状態である と 、 を特徴と している

さ ら に、 本発明の別形態に l fsる流量制御弁においては、 弁体 がばねの付勢力によ り 弁座に密接して閉状 となる一 パィ ヅ 室内に供給した圧縮空 の圧力で前記弁体を移動させる 台

とによ り、 刖 BD弁体が前記弁座か ら離間 して開状 となる流 里制御弁において HiJ言 3ノ D ヅ ト 室内に圧縮空メ を供給する ための供給回路と目 u 13パィ π ヅ 室内か ら圧縮 メ を排出する ための排出回路と を設けた電空レギユ レ一夕部と 刖記パ π ヅ 室内と外部とを僅かに連通状態にさせる ブリ ―ド機構と、 を備えヽ 目リ Bd電空レギユ レ ―夕部の非通電状態が前記供給回路 び 台

及 目 J記排出回路の遮断状 であつても、 刖記ハ。 D ヅ 卜室内 の圧縮空気を刖 §3ブリ一 ド機構で外部に少 しずつ排出する こ と を特徴と している

また -1- した別形態に係る流量制御弁は 半導体製造装置 に使用される こ とが好ま しい

すなわち、 本発明の流量制御弁は、 閉状能にあ る場合は 、 ば ねの付勢力によ り、 弁体が弁座と密接し、 こ こで、 パィ D ッ ト 室内に圧縮空気を供給する と、 圧縮空気の圧力がばねの付勢力 に抗するので 、 弁体が弁座から離間 して、 開状態になる もので あるが、 の点、 電空レギユ レ一夕部の非通電状態が排出回路 の連通状目 であれば、 非通電時には、 ノ ィ ロ ッ ト 室内の圧縮空 気が排出される状態が維持され、 閉状態への移行 · 閉状態の維 持がなされるので、 非通電時における制御流体の流出を防止す る こ とがでぎ る

よ / 本発明の流量制御弁は、 閉状態にある場合は 、 ばねの 付勢力によ り 、 弁体が弁座と密接し、 こ こで、 パイ 口 ッ ト室内 に圧縮空気を供給する と、 圧縮空気の圧力がばねの付勢力に ί几 するので 弁体が弁座から離間 して、 開状態になる ものである が、 この点 パイ ロ ッ ト室内と外部とを僅かに連通状態にさせ る ブリ一 ド'機構を備えていれば、 非通電時には、 パイ D ヅ ト室 内の圧縮 をブリ ー ド機構で外部に少 しずつ排出される状態 が維持され 弁座が弁体に密接 した状態への移行 · 閉状態の維 持がなされるので、 非通電時における制御流体の流出を防止す る こ とがで さ る

本発明の流量制御弁が半導体製造装置に使用される場 合には、 厫密な流量制御等が要請されるので、 上述した効果を 大き く 発 する こ とができ る。 図面の簡単な説明

第 1 図は 第 1 実施の形態の流量制御弁の断面図を

第 2 図は 第 1 実施の形態の流量制御弁の断面図を示す。 苇 3 図は 第 2 実施の形態の流量制御弁の断面図を す 第 4 図は、 従来技術の流量制御弁の一例の断面図を示す。 第 5 図は、 従来技術の流量制御弁の一例の断面図を示す。 発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明の実施の形態を図面を参照に して説明する。 第 1 図に、 第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aの断面図を示す。 第 1 図に示すよ う に、 第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aは、 入力 ポー ト 5 1 と出力ポー ト 5 2 とが左右に形成されたアンダーボ ディ 2 7 を有 し、 アンダーボディ 2 7 の上方には、 操作ポー ト 5 3 が形成されたシ リ ンダ 2 3 が固設され、 さ ら に、 シ リ ンダ 2 3 の上方には カバ一 1 2 が装着されたハゥジング 1 4 が固 設される こ とによつて、 全体の外形をな している o

そ して、 アンダーボディ 2 7 には 図中左方の入力ポー ト 5

1 と図中右方の出力ポー ト 5 2 との他 中央に円環形状の弁座

5 4 が形成されている 。 こ の点、 弁座 5 4 の内部 A Aは入力ポ 一 ト 5 1 と連通し、 弁座 5 4 の外部 B Bは出カオ、 — ト 5 2 と連 通している。 従って 、 ダイ アフ ラム 2 4 (「弁体」 に相当する も の ) が弁座 5 4 に密着する こ とによ り 入力ポー ト 5 1 と出力 ポー 5 2 とが遮断され、 ダイ ァフ ラム 2 4 が弁座 5 4 から離 間する こ とによ り 、 入力ポー 卜 5 1 と出力ポー ト 5 2 とが連通 される o

尚 入力ポー ト 5 1 と出力ポー ト 5 2 には、 ナ ッ ト 2 5 とス リ一ブ 2 6 がそれそれ設けられてお り 配管の接続が便宜にな つてい o よ / 、 ノ ンダ一ボディ 2 7 の下部には 、 取付板 2 8 が設け られて レヽる。

また 、 シ リ ン ダ 2 3 は、 アンダーボァ ィ 2 7 の中央部上方に 固設される概略円筒形状の部材である o シ リ ンダ 2 3 には、 操 作ポ一 ト 5 3 が形成されている他、 シ U ンダ 2 3 の内部には、 略円柱形状のピス 卜 ン 2 2 が上下方向に摺動可能に且つ気密に 嵌装されている o 従 Όて、 ピス ト ン 2 2 の下面とシ リ ンダ 2 3 の内面によ り 、 パ D ヅ ト室 5 5 が区画 れる o そ して、

D ヅ ト室 5 5 にはヽ シ リ ンダ 2 3 に形成された操作ポ — ト 5 3 が連通しているのでヽ 操作ポー ト 5 3 を通じてパ ^ D ヅ 卜室 5

5 に圧縮空気を供給し又は排出する こ とがで き る Λィ D ッ 卜 室 5 5 に圧縮空気を供給される と、 ピス ト ン 2 2 は上方に押圧 される o

さ ら に、 ピス ト ン 2 2 の下小径部分の下端には 、 ダィ アフ ラ ム 2 4 が取 り付け られている。 そ してヽ ダイ ァフ ラム 2 4 の周 縁は 、 ァンダーボ丁ィ 2 7 とシ リ ンダ 2 3 とに挟持される o 従 つて 、 ダイ ァフ ラム 2 4 は、 ピス ト ン 2 2 の上下動に伴って移 動し 、 ァ ンダーボ丁 - 2 7 の弁座 5 4 に離間又は密着する。 即 ちヽ ダイ ァ フ フム 2 4 が弁座 5 4 に密着する と、 入力ボー ト 0

1 と出力ポー 卜 5 2 とが遮断され、 ダイ ァフ ラム 2 4 が弁座 5

4 から離間する と、 入力ポー ト 5 1 と出力ポ ― ト 5 2 とが連通 される o

また、 ノヽゥジング 1 4 は、 シ リ ンダ 2 3 の上方に固設される 概略円筒形状の'部材である。 そ して、 ハゥジング 1 4 の内部に はヽ ピス ト ン 2 2 を下方に付勢する復帰ばね 2 0 (「ばね」 に相 当する もの） が装着されている。

さ ら に、 ノヽ ウジング 1 4 の内部には、 ナ ヅ ト 1 9 (「当接部材」 に相当する もの）を螺装した軸 1 6 がス ラス ト ベア リ ング 1 7 , 1 8 を介 して軸支されている。 そ して、 軸支された軸 1 6 は、 ピン 1 5 を介してカ ヅ プリ ング 1 3 に取 り 付けられ れによ り ノ、ウジング 1 4 の上部に設けられたサーボモータ 1 1 で回 動する軸 5 6 と連結されている。 従って、 サーボモ一夕 1 1 の 回動動作を軸 1 6 に伝える こ とがで き るので、 サ一ボモ一夕 1

1 によ り、 軸 1 6 に螺装されたナッ ト 1 9 を上昇 - 下降の直進 動作で任意の位置にまで移動させる こ とがで き る。 f口」ヽ ナ ッ ト

1 9 と ビス ト ン 2 2 の間には、復帰ばね 2 1 が装着されてお り、 軸 1 6 に対するナ ツ ト 1 9 のスラス ト方向のガ夕 を防止してい 即ち 、 第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aにおいては、 サーボ モ一夕 1 1 と、 軸 5 6 、 力 ッ プリ ング 1 3 、 ピン 1 5 、 スラス ベァ リ ング 1 7 , 1 8 、 軸 1 6 などから、 「モータ駆動制御機 構 」 が構成されている。

また 、 第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aにおいては、 シ リ ン ダ 2 3 に形成された操作ポー ト 5 3 に対し、 電空レギュ レー夕 部 3 1 が取 り付け られている この点、 電空レギュ レ一夕部 3

1 はヽ ノ 一マルク ローズの吸気比例弁 3 2 と ノ ーマルク ローズ の'排気比例弁 3 3 をコ ン ト ロール基板 3 5 を介 して制御する も のであ り 、 手動操作のニー ドル弁 3 4 (「ブリ ー ド機 ；構」 に相当 するもの） をも備えたものである。 具体的に言えば 、 第 2 図に 示すよ う に、 供給通路と排気通路が形成された通路ブ口 ッ ク 3

8 に対し、 吸気比例弁 3 2 と、 排気比例弁 3 3 、 二 ― ドル弁 3

4 を取 り付けたも のである

1口 J 二一 ドル弁 3 4 は、 排気比例弁 3 3 を介する こ とな く 、 操作ポー ト 5 3 を外部と連通する こ とを可能にする ものである も と も、 操作ポー ト 5 3 が外部に連通する程度によ つては、 操作ポー ト 5 3 を介してパイ ロ ッ ト室 5 5 に圧縮空気を供給す る こ とができな く なるので、 排気通路における二一 ドル 3 7 を つまみ 3 6 で上下させる こ とによ り、 操作ポー ト 5 3 が外部に 連通する程度が僅かになる よ う に調節する。

次に、 前記構成を有する第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aの 作用を説明する。 第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aは、 操作ポ ー ト 5 3 を介 して、 電空レギユ レ一夕部 3 1 で ノ イ ロ ヅ ト室 5 5 に圧縮空気を供給する こ とによ り 操作される。

まず、 操作ポー ト 5 3 に圧縮空気を供給していない状態につ いて考察する 0 の状態では 電空レギュ レ一夕部 3 1 におい ては 、吸気比例弁 3 2 と排気比例弁 3 3 と も閉 じ られているが、 一一 ドル弁 3 4 を介して、 操作ポー ト 5 3 は外部に僅かに連通 している。 従 て 、 パイ 13 ッ 卜 室 5 5 の内部の圧力は外部の圧 力と同 じとな り ビス ト ン 2 2 は、 復帰ばね 2 0 ， 1 よ る 付勢力のみを受ける 0 従って ピス ト ン 2 2 は 、 ビス 卜 ン 2 2 の下端に取り 付け られたダィ ァフ ラ ム 2 4 が弁座 5 4 に密着す る まで下方に移動した状態となつている 0 この状態では 、 ダイ ァ フ ラ ム 2 4 と弁座 5 4 とが密着する とによ 、 入力ポー ト

5 1 と出力ポ一 5 2 との連 Mが遮断され 、 第 1 実施の形態の 流 制御弁 1 Aは閉状態とな • ている o

一方、 電空レギユ レ一夕部 3 1 において 、 吸 比例弁 3 2 を ォ一プンにする と 、 操作ポー b 5 3 を介して、 ノ D ヅ ト室 5

5 の内部に圧縮空気が供給されて、 パ ヅ 卜室 5 5 の内部は 高圧となる。 のため、 ビス ン 2 2 は 上方に押圧され復帰 ばね 2 0 , 2 1 の付勢力に抗して ピス 卜 ン 2 2 の上端がナ ッ

1 9 の下端に当接する まで移動 して停止する ο 従って 、 ダイ ァフ フム 2 4 も ビス 卜 ン 2 2 に上方に移動し停止するので、 ダイ ァフ ラム 2 4 と弁座 5 4 との間に隙間が開成され、 入力ポ 一ト 5 1 と出カポ一 5 2 とが連通し、 第 1 実施の形態の流量 制御弁 1 Aは開状態となる

よつて 例えば、 の状 において、 サーボモ —夕 1 1 によ りヽ ナッ 1 9 の位置を変更する と 、 ピス ト ン 2 2 の停止位置 が変更され 第 1 実施の形能の流 制御弁 1 Αの開状態におけ るダィ ァフ ラム 2 4 と弁座 5 4 との間の隙間を調整して流量調 整を行う とがで き る

尚 、 第 1 実施の形 の流 制御弁 1 Aが開状態において、 停 電な どによ 電空レギュ レ一タ部 3 1 が非通電の状態に よる と、 吸気比例弁 3 2 と排 比例弁 3 3 はク ローズされるが、 ド ル弁 3 4 を介して、 ノ ィ D グ ト室 5 5 の内部の圧縮空気が除々 に外部に排出されるので、 ピス ト ン 2 2 の下端に取 り付け られ たダィ ァフ ラム 2 4 も弁座 5 4 に密着する まで下方に徐々に移 動しヽ 取終的には、 第 1 実施の形能の流量制御弁 1 Aは閉状 となる

以上、 詳細に説明 したよ ラ に、 第 1 実施の形態の流量制御弁

1 Aでは、第 1 図や第 2 図に示すよ う に、閉状態にある場合は、 復帰ばね 2 0 2 1 の付勢力がピス ト ン 2 2 に作用する こ とに よ り 、 ビス ト ン 2 2 の先端に設け られたダイ アフ ラム 2 4 が弁 座 5 4 と密接している。 こ こで、 ノ、。ィ ロ ッ ト室 5 5 の内部に圧 縮空気を供給する と、圧縮空気の圧力がビス ト ン 2 2 に作用 し、 復帰ばね 2 0 2 1 の付勢力に杭しながら ビス ト ン 2 2 が移動 するので、 ピス ト ン 2 2 の先端に設けられたダイ アフ ラム 2 4 が弁座 5 4 から離間する。 その後、 ビス ト ン 2 2 がナ ヅ ト 1 9 に突き当たる こ とによ り 、 ピス ト ン 2 2 の先端に設け られたダ ィ ァフ ラ ム 2 4 が停止し、 ピス ト ン 2 2 の先端に設け られたダ ィ ァフ ラ ム 2 4 と弁座 5 4 との隙間が固定されて、 開状態にな る

も と も ₁ 実施の形態の流里制御弁 1 Aでは サーボモ

―夕 1 1 などをも つて、 ナ ッ 卜 1 9 を上昇 · 下降の直進動作で 任 の位 に まで移動させる とがで き るので、 ナ ヅ 卜 1 9 に ピス 卜 ン 2 2 が突ぎ当たる位置を変更させる こ とがで き 、 これ によ り ピス ト ン 2 2 の先 ¾に設け られたダィ ァフ ラム 2 4 と 弁座 5 4 との隙間を正確に調整する こ とが可能となる

すなわち 第 1 実施の形態の流里制御弁 1 Aにおいては、 ピ ス h ン 2 2 がナッ 1 9 に突き当たつて停止する と ピス ト ン

2 2 の先 に設け られたダィ ァフ ラム 2 4 も停止して開状態と な ピス ン 2 2 の先端に ΒΧ'け られたダィ アフ ラム 2 4 と弁 座 5 4 との隙間が固定されるが の点、 ナ ッ 卜 1 9 を上昇 - 下降の直進動作で任 の i 置にまで移動させるサーボモ 夕 1

1 な どによ 、 ピス ト ン 2 2 の先 に設け られたダ ァフ ラ ム

2 4 と弁座 5 4 との隙間を正確に調整して流量制御を行う こ と がで ぎ るので 、 第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aは 開状態に おける ピス ン 2 2 の停止位置を当接で決定する こ とによ り 流 里調整が行われる ものであつて かかる流量調整を 隔制御で 且つ 度良 < 行う とがで きる ものと言う こ とがで ぎ る

また 第 1 ： .

実施の形態の 里制御弁 1 Aにおいては パイ 口 ゾ h室 5 5 の内部内に供給された圧縮空気の圧力や復帰ばね 2

0 2 1 の付勢力によ り 開状態 • 閉状態に移行 してお 、 開状 態 • 閉状能への移行にサ一ボモ 夕 1 1 な どが関与する こ とは ないので 開状態 · 閉状能への移行の応答性に優れてい ο また 第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aにおいては サーボ モ一夕 1 1 な どが閉状態への移行に関与せず、 ピス ト ン 2 2 の 先端に設けられたダイ ァフ ラ ム 2 4 が弁座 5 4 と密接する際に サーボモ一夕 1 1 などによ る軸 1 6 やナ ヅ ト 1 9 の直進動作の 推進力が伝わる こ とがないので、 サーボモー夕 1 1 な どによる 軸 1 6 やナ ヅ ト 1 9 の直進動作の推進力によ り、 ピス 卜 ン 2 2 の先端に けられたダィ ァフ ラム 2 4や弁座 5 4 に対しダメ一 ジが加え られる こ とはない o

また 第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aにおいては 電空レ ギユ レ 夕部 3 1 を備えてお り、 パイ ロ ッ 卜室 5 5 の内部に対 する圧縮 気の供給 · 排出 度を電気制御で 自在に可変する こ とがでぎ るので、 弁開閉時に発生するオ シュ ' ~ 卜ゃゥォ 一夕 ノ、ンマーを軽減するための開状態 · 閉状態への移行速度 の制御を 隔制御で且つ i 度良 く 行う こ とができ る また、 開 状態 - 閉状態への移行の 答性がさ らに優れたものとなる

また 第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aにおいては ノ ーマ ルク CI ズの吸気比例弁 3 2 とノ 一マルク ローズの排気比例弁

3 3 をコ ン ト ロール基板 3 5 を介 して制御する電空レギユ レ一 夕部 3 1 を備えてお り 、 電空レギュ レー夕部 3 1 の非通電状態 が供給回路及び排出回路の遮断状態であるが、 操作ポ一 h 5 3 を介 して ノ イ ロ ヅ ト室 5 5 の内部と外部と を僅かに 通状態 にさせる一一ドル弁 3 4 を備えてお り 、 非通電時には パイ 口 ッ 卜至 5 5 の内部の圧縮空気 ¾ニー ドル弁 3 4 で外部に少 しず され 台 つ排出 る状態が維持され、 閉状態への移行 - 閉状目 の維持 がなされるので、 非通電時における制御流体の流出を防止する こ とができ る。

また、 第 1 実施の形態の 量制御弁 1 Aが半導体製造装置に 使用される場合には、 流量調整を遠隔制御で且つ精度良 く 行つ た り 、 厳密な流量制御等が要請されるので、 上述した効果を大 き く 発揮する こ とができ る' o

また、 半導体製造装置では 、 制御流体や周囲温度な どの温度 管理が重要となるが、 この点、 第 1 実施の形態の流量制御弁 1

Aを半導体製造装置に使用する場合は、 サーボモ一夕 1 1 など による流量調整よ り も 、 圧縮空気ゃ復帰ばね 2 0 , 2 1 等によ る開 · 閉動作が頻繁に行われ 発熱を伴う サ ―ボモータ 1 1 な どが作動する こ とは少ないので 、 サーボモ一夕 1 1 な どの発熱 が及ぼす影響を考

る必要がなレ ο

さ ら に、 サーボモ一夕 1 1 な どが行われる とが少ないこ と は、 サーボモ一夕 1 1 の寿命が発熱によ り短縮され " s とがな いので、 第 1 実施の形態の流 制御弁 1 Αその も のの寿命に対 し、 サーボモー夕 1 1 が悪影 m曰 を及ぼすこ とはない 0

また、 第 1 実施の形態の流里制御弁 1 Aは 閉状態にある場 合は、 復帰ばね 2 0 の付勢力によ り 、 ダィ ァフ ラ ム 2 4 が弁座

5 4 と密接 し、 こ こ で 、 パ D ッ ト室 5 5 の内部に圧縮空気を 供給する と、 圧縮空気の圧力が復帰ばね 2 0 の付勢力に抗する ので、 ダイ アフ ラム 2 4 が弁座 5 4 から離間 して 、 開状態にな る も のである。 この点 、 ノ マルク ロ一ズの吸気比例弁 3 2 と ノ ーマルク ローズの排気比例弁 3 3 をコ ン ト D一ル基板 3 5 を 介 して制御する電空レ ギュ レ ―夕部 3 1 を備えてお り 、 電空レ ギユ レ一夕部 3 1 台

の非通電状 が供給回路及び排出回路の遮断 状態であ るが、 操作ポ一 ト 5 3 を介 して 、 パ π ッ 卜 至 5 5 の 内部と外部とを僅かに 通状態にさせるニー ドル弁 3 4 を備え てお り 、 非通電時には ィ O ッ 卜室 5 5 の内部の圧縮空気を 二 ' ~· ドル弁 3 4 で外部に少 しずつ排出される状態が維持され、 閉状態への移行 • 閉状能の維持がなされるので、 非通電時にお ける制御流体の流出を防止する こ とがで さ " 3

また、 第 1 実施の形能の流量制御弁 1 Aが半導体製造装置に 使用される場 には 厳密な流量制御等が要請されるので、 上 述した効果を大ぎ < 発揮する とがで る o

、 本発明は上記実施の形態に限定される ものでな く 、 その 趣旨を逸脱しない fe囲で様々な変更が可能である。

例兄は、 ^ 1 実施の形能の流量制御弁 1 Aにおいては、 ドル弁 3 4 を電 レギュ レ ―夕部 3 1 に設けていたが、 シ リ ン ダ 2 3 に直接に設ける とによ り パ 口 ッ ト室 5 5 の内部の 圧縮空気を外部に少しず 排出される状態を維持させても よい また、第 1 実施の形態の流量制御弁 1 Aにおいては、 「ブリ ド機 J と して、 二 ド'ル弁 3 4 を使用 していたが 、 ォ リ フ ィ スな どを使用 しても よい ο

また 第 1 実施の形能の流里制御弁 1 Aにおいては、 パィ D ッ 卜室 5 5 の内部と外部と を僅かに連 M状態にさせる ドル 弁 3 4 を電空レギュ レ 夕部 3 1 に備える とに よ り 、 非通電 時における制御流体の流出を防止していたが 第 3 図の第 2 実 施の 台

形 の流量制御弁 1 Βのよ う に、 ノ マルク D —ズの吸気 比例弁 4 2 と、 ノ ーマルク ズの排気比例弁 4 3 、 ノ マル ォープンの排気比例弁 4 4 をコ ン ト ロ ―ル基板 4 5 を介して制 御する電 レ ギユ レ 夕部 4 1 を備えれば、 非通電時には 、 パ ィ D ッ 卜室 5 5 の内部の圧縮空気が排出される状態が維持され 閉状態への移行 . 閉状態の維持がなされるので、 非通電時にお ける制御流体の流出を防止する こ とがで ぎ る

従って 、 第 2 実施の形態の流量制御弁 1 Bは、 閉状態にめる 場合は、 復帰ばね 2 0 の付勢力によ りヽ ダィ ァフ ラム 2 4 が弁 座 5 4 と密接し、 で、 ノ ィ Π ヅ 卜室 5 5 の内部に圧縮空気 を供給する と 、 圧縮 気の圧力が復帰ばね 2 0 の付勢力に杭す るので、 ダイ ァフ ラム 2 4 力 s弁座 5 4 から離間し L 1开: j状態に なる ものである この点、 ノ 一マルク Π ズの吸気比例弁 4 2 と、 ノ ーマルク D一ズの排気比例弁 4 3 ヽ ノ ーマルオープンの 排気比例弁 4 4 をコ ン 卜 Dール基板 4 5 を介して制御する電空 レ ^ユ レ一夕部 4 1 を備えれてお り 、 非通電時には パィ D ッ ト室 5 5 の内部の圧縮空気が排出される状態が維持され 、 閉状 態への移行 · 閉状 の維持がなされるので 、 非通電時に ¾ Vゾ 制御流体の流出を防止する こ とができ る 産業上の利用可能性

以上述ベたよ 0 に 、 本発明の流里制御弁においては、 ピス ト ンが当接部材に突ぎ当たつて停止する と 、 ピス ト ンの先 ¾に設 け られた弁体も停止して開状能とな り ヽ ピス 卜 ンに設け られた 弁体と弁座との隙間が固定されるが、 この点、 当接部材を前進 - 後退の直進動作で任意の位置にまで移動させるモー夕駆動制御 機構によ り 、 ピス ト ン に設け られた弁体と弁座との隙間を正確 に調整して流量制御を行う こ とができ るので、 本発明の流量制 御弁は、 開状態における ビス ト ンの停止位置を当接で決定する こ と によ り 流量調整が行われる ものであって、 かかる流量調整 を遠隔制御で且つ精度良 く 行う こ とがで き る ものである。 また、 本発明の流量制御弁は、 閉状態にある場合は、 ばねの 付勢力によ り 、 弁体が弁座と密接 し、 こ こで、 パイ ロ ッ ト室内 に圧縮空気を供給する と、 圧縮空気の圧力がばねの付勢力に抗 するので、 弁体が弁座から離間 して、 開状態になるものである が、 この点、 電空レギユ レ一夕部の非通電状態が排出回路の連 通状態であれば、 非通電時には、 パイ ロ ッ ト室内の圧縮空気が 排出される状態が維持され、 閉状態への移行 · 閉状態の維持が なされるので、 非通電時における制御流体の流出を防止する こ とがで き る。

また、 本発明の流量制御弁は、 閉状態にある場合は、 ばねの 付勢力によ り 、 弁体が弁座と密接 し、 こ こで、 パイ ロ ッ ト室内 に圧縮空気を供給する と、 圧縮空気の圧力がばねの付勢力に抗 するので、 弁体が弁座から離間 して、 開状態になる ものである が、 この点、 パイ ロ ッ ト室内と外部とを僅かに連通状態にさせ る ブリ ー ド機構を備えていれば、 非通電時には、 パイ ロ ッ ト室 内の圧縮空気をブリ ー ド機構で外部に少 しずつ排出される状態 が維持され、 弁座が弁体に密接 した状態への移行 · 閉状態の維 持がなされるので、 非通電時における制御流体の流出を防止す る こ とがで き る。

Claims

1 . ピス ト ンの先端に け られた弁体がばねの付勢力によ り 弁座に密接 して閉状態となる一方、 ノ イ ロ ヅ 卜室内に供給した 圧縮空気の圧力で ビス ト ンを移動させる こ とによ りヽ 前記弁体 が前記弁座から離間し、 さ ら に 、 刖 §3ピス ト ンが当接部材に突 口

き当たる こ とで開状態主目にな D ヽ 前記開状態における刖'記弁体の 停止位置が決定される流里求制 • 御弁において、

刖記当接部材を前進 · 後退のの ¾直進動作で任音の位置にまで移 動させるモータ駆動制御機構を設けたこ と、 を特徴とする流量 制御弁。

囲

2 . S主

6冃求 1 に記載する 羞制御弁であつて、

刖記パィ D ッ ト室内に圧縮 < 供給するための供給回路と 目 IJ言己パィ Π ヅ ト室内から圧縮 気 ¾排出するための排出回路と を設けた電 レギユ レ一夕部を備えたこ と 、 を特徴とする流量 制御弁。

S主

ロ冃求項 2 に記載する流里制御弁でめゥて、

m =π

口 U Β¾ レギユ レ一夕部の非通電状態が 記排出回路の連通 状態である と、 を特徴とする流量制御弁 0

4 . 5主

求項 2 oD - kする流里制御弁であつて、

刖記パ ッ ト室内と外部とを僅かに連通状態にさせる プリ 一ド機構を備え、

前日し 电空レギュ レー夕部の非通電状態が 記供給回路及び前 記排出回路の遮断状態であつても、 刖 BB ィ ロ ッ ト室内の圧縮 空気を刖記ブリ ー ド機構で外部に少 しずつ排出する こ と 、 を特 徴とする流里制御弁。

5 . 5主

B冃求 11 1 乃至請求項 4 のいずれか ―つに記載する流量制 御弁であつてヽ

半導体製造装置に使用される こ と、を特徴とする流量制御弁。

6 . 弁体がばねの付勢力によ り 弁座に密接 して閉状態となる 一方ヽ パィ D ッ 卜室内に供給した圧縮空気の圧力で前記弁体を 移動させる こ とによ り ヽ 前記弁体が前記弁座から離間 して開状 態となる 、 旦

im 里制御弁においてヽ

刖記パィ D ッ 卜室内に圧縮 気 ¾:供給するための供給回路と 刖記パ D ッ ト室内から圧縮空気を排出するための排出回路と を設けた電空レギュ レ一夕部を備えヽ

前記電空レギユ レ一夕部の非通電状態が前記排出回路の連通 状態である こ と、 を特徴とする流里制御弁。

7 . 弁体がばねの付勢力によ り 弁座に密接して閉状態となる 一方ヽ ノ ィ 口 ッ ト室内に供給した圧縮 気の圧力で前記弁体を 移動させる とによ ヽ 刖記弁体が有 u記弁座から離間して開状 能 なる流量制御弁に いてヽ

記ノ、。ィ Π ヅ 卜 至内に圧縮 I ,を供給するための供給回路と 刖記パ D ヅ ト室内から圧縮 気 ¾排出するための排出回路と を設けた電空レギュ レ一夕部とヽ

冃 U記ノ、。 ィ ΠΙ ッ ト室内 と外部と を僅かに ？ S通状態にさせる ブリ 一ド機構と、 を備えヽ

前記電空レギユ レ ―タ部の非通 ¾状能が刖記供給回路及び前 記排出回路の遮断状態でめつても、 前記パィ ロ ッ ト室内の圧縮 空気を目 ϋ記ブリ一ド機構で外部に少 しずっ排出する こ と、 を特 徴とする流量制御弁

8 . 主

B冃求項 6 又は δ冃求項 7 に する 、

{Ml 里制御弁であって、 半導体製造装置に使用さ る こ と、を特徴とする流量制御弁。