JP4640894B2 - 電空レギュレータ - Google Patents
電空レギュレータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4640894B2 JP4640894B2 JP2001062842A JP2001062842A JP4640894B2 JP 4640894 B2 JP4640894 B2 JP 4640894B2 JP 2001062842 A JP2001062842 A JP 2001062842A JP 2001062842 A JP2001062842 A JP 2001062842A JP 4640894 B2 JP4640894 B2 JP 4640894B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pilot
- piston
- electropneumatic regulator
- working fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気信号に応じてパイロット流体のパイロット圧力を調整することにより、作動流体の圧力を制御する電空レギュレータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、電気信号により流体圧を制御するものとして、例えば、図5の電空レギュレータ100がある。図5の電空レギュレータ100は、空気用制御部130とガス用制御部131とを備えている。
【0003】
空気用制御部130は、空気用入力ポート101と空気用出力ポート102の連通を制御する空気用弁部103に、案内軸104が当接している。その案内軸104は、パイロット弁室105を上下に区画する一対のダイアフラム弁体106,107に連結されている。そして、上側パイロット弁室105Aには、空気用入力ポート101が、オリフィス108を備える流路109を介して連通するとともに、ノズルフラッパ機構110により背圧を調整されるノズル111が、連通している。また、一対のダイアフラム弁体106,107の間には、空気用入力ポート101が、流路109から分岐した流路112を介して連通している。さらに、下側パイロット弁室105Bには、流路113を介して大気が連通している。
また、ガス用制御部131は、ガス用入力ポート121とガス用出力ポート122との連通を制御するガス用弁部123を駆動させる一対のダイアフラム弁体124,125を備え、そのダイアフラム弁体124,125は、作動室126に配設されている。そして、上側作動室126Aは、流路127を介して空気用出力ポート102に連通している。
【0004】
そして、図5の電空レギュレータ100は、空気用入力ポート101に空気を入力させると、空気の一部が、上側パイロット弁室105Aと、一対のダイアフラム弁体106,107の間に供給される。このとき、上側パイロット弁室105Aの圧力は、ノズルフラッパ機構110に調整されたノズル111の背圧に基づいて調整される。そして、上側パイロット弁室105Aの圧力が、一対のダイアフラム弁体106,107の間の圧力より高くなると、一対のダイアフラム弁体106,107は、下向きに変位して、案内軸104を下方に移動させる。これに伴って、案内軸104は、空気用弁部103を押し下げ、空気用入力ポート101と空気用出力ポート102を連通させる。よって、空気が、空気用入力ポート101から空気用出力ポート102に所定圧で供給される。そして、空気用出力ポート102に供給された空気の一部は、流路127を介して上側作動室126Aに供給される。そのため、一対のダイアフラム弁体124,125は、下向きに変位して、ガス用弁部123を押し下げ、ガス用入力ポート121とガス用出力ポート122を連通させる。よって、ガスが、ガス用入力ポート121からガス用出力ポート122に所定圧で供給される。
【0005】
従って、図5の電空レギュレータ100は、ノズル111の背圧に応じて上側パイロット弁室105Aの圧力を制御することにより、空気用弁部103とガス用弁部123を所定量移動させるため、空気とガスを同時に設定圧に制御することができる。
【0006】
しかしながら、図5の電空レギュレータ100は、耐圧性の低いダイアフラム弁体を受圧体として使用していたため、高圧の流体を制御することができなかった。すなわち、図5の電空レギュレータ100では、一対のダイアフラム弁体106,107の間に空気用入力ポート101が連通し、下側パイロット弁室105Bに大気が連通していたため、下側のダイアフラム弁体107は、上面に、空気用入力ポート101に入力した空気の圧力が作用し、下面に、大気圧が作用していた。そして、一般的に、ダイアフラム弁体106,107は、ゴム製であり、動きを迅速にするために薄肉で構成されているため、最大でも約1.0Mpaの耐圧性しかないので、空気用入力ポート101に1.0Mpa以上の作動流体を入力させると、その作動流体のフィードバック圧力により、下側のダイアフラム弁体107が破損するおそれがあった。しかも、一般的に、空気用入力ポート101に入力した空気は、内部流路において減圧されて空気用出力ポート102に供給されるため、図5の電空レギュレータ100の受圧構造では、1.0Mpa以上の作動流体を制御することは、事実上不可能であった。この点、例えば、射出成形では、電空レギュレータが、樹脂を押し出す圧力を制御するために使用されているが、樹脂の性質等から樹脂を押し出す圧力が1.0Mpa以上必要な場合があり、かかる場合には、図5の電空レギュレータ100では対処することができず、問題であった。
【0007】
そこで、本出願人は、特願平9−350957号において、ダイアフラム弁体106,107より耐圧性が高いピストンを受圧体として使用する図6の電空レギュレータ200を提案した。図6の電空レギュレータ200は、パイロット弁室201が、ピストン202により上下に区画されている。そして、上側パイロット弁室201Aは、コントローラ203から出力される電気信号に応じて開閉する供給用電磁弁204と排出用電磁弁205に連通し、下側パイロット弁室201Bは、流路206を介して出力ポート207に連通している。そして、ピストン202は、上側パイロット弁室201Aに作用するパイロット流体のパイロット圧力と、下側パイロット弁室201Bに作用する出力ポート207から帰還される作動流体のフィードバック圧力との差圧に基づいてパイロット弁室201内を摺動することにより、主弁部208を駆動させる。これにより、主弁部208は、入力ポート209、出力ポート207、排出ポート210の連通を制御し、作動流体を設定圧力で出力ポート207から出力する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図6の電空レギュレータ200は、以下の点が問題であった。
(1)すなわち、図6の電空レギュレータ200は、ピストン202がパイロット弁室201内を摺動するときの摺動抵抗が大きいため、設定圧力の変動に迅速に対応できない場合があった。この不具合の対応策として、図6の電空レギュレータ200は、作動流体を設定圧力に制御するために必要なパイロット圧力以上のパイロット圧力をピストン202に作用させ、応答性を向上させていた。しかし、このような対応は、オーバーシュートの要因になり、問題であった。
【0009】
(2)また、図6の電空レギュレータ200は、連続的に圧力を変動させると、ピストン202とパイロット弁室201の摺接箇所がスティックスリップを起こし、その振動が主弁部208に伝達されてしまっていた。そのため、図6の電空レギュレータ200では、図7に示すように、階段状の特性が出てしまい、ヒステリシスが大きく、リニアリティが劣化させてしまっていた。そのため、図6の電空レギュレータ200では、作動流体を精度良く制御することが困難であった。
【0010】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、高圧の作動流体を精度良く制御することができる電空レギュレータを提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に記載する発明は、電気信号に応じて調整されるパイロット流体のパイロット圧力に基づいて作動するパイロット弁部と、パイロット弁部の作動により作動流体の圧力を制御する主弁部と、を備える電空レギュレータにおいて、前記パイロット弁部が、ピストンの上端面にダイアフラム弁体をネジ止めしたものであること、前記ダイアフラム弁体が前記パイロット流体のパイロット圧力を受ける受圧面積は、前記ピストンの下端面が前記作動流体のフィードバック圧力を受ける受圧面積より大きいこと、前記作動流体のフィードバック圧力は、前記ピストンの下端面が受け、前記ダイアフラム弁体には作用しないこと、を特徴とする。
【0012】
上記構成を有する請求項1に記載の発明は、電気信号に応じてパイロット流体のパイロット圧力を調整すると、パイロット弁部は、ダイアフラム弁体がパイロット流体の圧力を受けて変位しようとする力と、ピストンが作動流体のパイロット圧力を受けて移動しようとする力との差に基づいて作動し、その作動に従って、主弁部が作動流体の圧力を制御する。このとき、前記ピストンの下端面が前記作動流体のフィードバック圧力を受けるので、ダイアフラム弁体には、作動流体のフィードバック圧力が作用しない。そのため、本発明の電空レギュレータは、作動流体の設定圧力を1.0Mpa以上に設定しても、図5の電空レギュレータ100のようにダイアフラム弁体が破損することがなく、適切に作動流体を制御することができる。また、ダイアフラム弁体が低摺動で変位してピストンを移動させるので、パイロット弁部は、図6の電空レギュレータ200と比較して、設定圧力の変動に対する応答性が向上し、設定圧力の変動に迅速に反応することが可能になる。また、パイロット弁部が、作動時にスティックスリップを起こしにくく、パイロット弁部から主弁部に伝達される振動の振幅が小さくなるので、ヒステリシスが小さくなり、リニアリティを向上させることができる。
【0013】
従って、請求項1に記載する発明は、ダイアフラム弁体が、パイロット流体のパイロット圧力のみを受けて低摺動で変位するので、応答性及びリニアリティが向上し、高圧の作動流体を精度良く制御することができる。ここで、ダイアフラム弁体とピストンは、耐圧性と摺動抵抗に関して相反する特性を有し、かかるダイアフラム弁体をピストンの上端面にネジ止めして構成することにより、高圧の流体を精度良く制御することを実現することは、図5及び図6の電空レギュレータ100,200からは予測不可能である。なぜなら、図5の電空レギュレータ100は、耐圧性の低いダイアフラム弁体106,107からなるパイロット弁部が、案内軸104を介して主弁部103を駆動させており、その案内軸104は、ダイアフラム弁体106,107の変位に何ら関与するものではないからである。また、図6の電空レギュレータ200は、摺動抵抗が大きいピストン202を受圧体として使用し、高圧の流体制御を可能ならしめているからである。
【0014】
また、請求項1に記載の発明は、前記ダイアフラム弁体が前記パイロット流体のパイロット圧力を受ける受圧面積は、前記ピストンの下端面が前記作動流体のフィードバック圧力を受ける受圧面積より大きいこと、を特徴とする。
上記構成を有する請求項1に記載の発明は、パイロット流体のパイロット圧力が、作動流体のフィードバック圧力より小さくても、パイロット弁部においてダイアフラム弁体がパイロット流体のパイロット圧力を受ける受圧面積は、ピストンの下端面が作動流体のフィードバック圧力を受ける受圧面積より大きいので、ダイアフラム弁体は、パイロット流体のパイロット圧力を増大させてピストンを移動させることが可能である。
従って、請求項1に記載の発明は、上記に記載の発明の効果に加え、パイロット弁部が、パイロット流体のパイロット圧力を効率的に駆動力に変換することができる。
【0015】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明であって、低摩擦処理が施され、ピストンに装着される低摩擦部材を有すること、を特徴とする。
上記構成を有する請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明の作用に加え、例えば、特願平8−240099号に開示されるように、薬品に浸漬されて表面を改質させることにより摺動抵抗を低減させた低摺動部材を、ピストンに装着する。これにより、低摩擦部材を備えないピストンと比較して、ピストンの摺動抵抗を約2分の1に低減させることができる。
従って、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明の効果に加え、パイロット弁部の摺動抵抗をより一層小さくすることができる。
【0016】
また、請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明であって、低摩擦部材が、ゴムパッキンであること、を特徴とする。
上記構成を有する請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明の作用に加え、例えば、低摺動処理を施したリング状のニトリル製のゴムパッキンを、ピストンに装着する。これにより、ピストンの摺動抵抗を低減させるとともに、作動流体のフィードバック圧力がダイアフラム弁体に作用することを防止できる。
従って、請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明の効果に加え、少ない部材点数で、流体制御の精度を向上させることができる。
【0017】
また、請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の発明であって、ピストンが摺接する面に低摩擦処理を施すこと、を特徴する。
上記構成を有する請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の発明の作用に加え、例えば、特願平8−240099号に開示されるように、ピストンが摺接する面に、ポリテトラフルオロエチレン、窒化ホウ素又はフッ化黒鉛が分散されたNi−P複合メッキを施す。これにより、ピストンが摺動すると、ゲル状になったテフロン(「テフロン」は登録商標。以下同じ)粒子が互いに融合し、同時にテフロン粒子とニッケルリン合金内のテフロン粒子とが融合することによって、ピストンが摺接する面に分散したテフロン粒子が溶けた潤滑性メッキ膜が表面を滑らかにするとともに、テフロン粒子が融合することでテフロン粒子の脱落を少なくする。そのため、ピストンが摺接する面に低摩擦処理を施さない場合と比較して、ピストンの摺動抵抗を約3分の1に低減させることができる。
従って、請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の発明の効果に加え、パイロット弁部の摺動抵抗をより一層小さくすることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係る電空レギュレータの実施の形態について図面を参照して説明する。図1及び図2に示す電空レギュレータ1は、作動流体を設定圧力に制御するように駆動する駆動部2と、駆動部2の駆動を制御する制御部3とを備えている。
【0019】
先ず、駆動部2について説明する。駆動部2は、第1〜第4ブロック4〜7を連結したものである。すなわち、第1ブロック4は、電空レギュレータ1をブラケット8にネジ止めするためのネジ孔9が形成されるとともに、上面にボス10が突設されている。また、第2ブロック5の側面には、供給ポート11、制御ポート12、排出ポート13が形成され、供給ポート11と排出ポート13は、第2ブロック5の側面に形成された嵌合凹部14,15及び貫通孔14,15に連通する貫通孔16を介して制御ポート12に連通している。また、第3ブロック6は、下面にボス17が突設されている。そして、これらの第1〜第3ブロック4〜6は、第1ブロック4のボス10と第3ブロック6のボス17を第2ブロック5の嵌合凹部14,15にシール部材18,19を介在させてはめ込んだ状態で連結されることにより、作動流体の内部流路が形成されている。また、第3ブロック6と第4ブロック7は、第3ブロック6の上面と第4ブロック7の下面に形成された凹部を接合するように連結され、後述するパイロット弁部22が収納されるパイロット弁室20を形成している。そして、第3ブロック6には、パイロット弁室20とボス17のボス孔17aを連通させる貫通孔6aが形成されている。
【0020】
また、駆動部2には、作動流体を設定圧力に制御するために、作動流体の圧力を制御する主弁部21と、主弁部21を駆動させるパイロット弁部22とを備えている。
主弁部21は、供給側弁部23、排出側弁部24、弁ロッド25を備えている。供給側弁部23は、第1ブロック4のボス孔10aに摺動可能に保持され、スプリング26により上向きに付勢されている。また、排出側弁部24は、第3ブロック6のボス孔17aに摺動可能に保持され、スプリング27により下向きに付勢されている。また、弁ロッド25は、パイロット弁室20、貫通孔6a、排出側弁部24、貫通孔16に摺動可能に挿通され、下端部が供給側弁部23に当接している。そして、弁ロッド25には、上向きに摺動したときに排出側弁部24に係合する係合リング40が取り付けられている。
【0021】
一方、パイロット弁部22は、弁ロッド25の上端部が連結するピストン28を備えている。そのピストン28は、パイロット弁室20と摺接する面には、リング状のゴムパッキン29が装着されている。ここで、ゴムパッキン29は、ピストン28とパイロット弁室20の内壁面との摺動抵抗を低くするために、低摩擦処理が施されている。ここで、本実施の形態のゴムパッキン29は、リング状のニトリルゴムをアフトリートと酢酸エチルを混合した薬品に所定時間浸漬させたものであり、表面が科学的に改質されて、摺動抵抗が低くされている。このようなピストン28には、ダイアフラム弁体30がネジ止めされている。そのダイアフラム弁体30は、ピストン28の下端面より大径に形成されている。ここで、本実施の形態のダイアフラム弁体30の面積は、ピストン28の下端面の面積の約3.3倍に設定されている。そして、ダイアフラム弁体30の外周縁は、第3ブロック6と第4ブロック7に狭持され、気密性を確保した状態でパイロット弁室20を上側パイロット弁室20Aと下側パイロット弁室20Bに区画している。そして、上側パイロット弁室20Aは、後述する制御部3が接続し、下側パイロット弁室20Bには、フィードバック流路31を介して制御ポート12が連通している。
【0022】
次に、制御部3について説明する。図3に示すように、制御部3は、不図示の制御装置をONすることにより電源用コネクタ32を介して電圧が供給されると起動するコントローラ33を備えている。そのコントローラ33は、不図示の制御装置に接続する設定圧力用コネクタ34、制御ポート12の圧力を検出する圧力センサ35、非通電時には閉弁するノーマル・クローズタイプの供給用電磁弁36、排出用電磁弁37に接続しており、設定圧力用コネクタ34を介して入力した設定圧力信号と圧力センサ35が検出した検出結果との比較結果に基づいて電気信号を生成し、その電気信号を供給用電磁弁36及び排出用電磁弁37に出力する電気回路を備えている。また、供給用電磁弁36は、入力ポート(不図示)が第4ブロック7に形成されたパイロットポート38に連通し、出力ポート(不図示)が駆動部2の上側パイロット弁室20Aに連通している。一方、排出用電磁弁37は、入力ポート(不図示)が駆動部2の上側パイロット弁室20Aに連通し、出力ポート(不図示)が外部に連通している。
【0023】
従って、図1及び図2に示す電空レギュレータ1は、不図示の制御装置の電源をONしない場合には、電圧が、電源用コネクタ32を介してコントローラ33に供給されない。そのため、コントローラ33は電気信号を出力しないので、供給用電磁弁36及び排出用電磁弁37が閉弁状態にあり、上側パイロット弁室20Aにパイロット流体が供給されない。よって、パイロット弁部22が主弁部21を駆動させないので、主弁部21は、供給ポート11、制御ポート12、排出ポート13を閉鎖した状態で停止している。
【0024】
そこで、図1の電空レギュレータ1の供給圧力とパイロット圧力を投入し、不図示の不図示の電源をONすると、コントローラ33は、電源用コネクタ32を介して電圧を供給されて起動する。そして、コントローラ33は、設定圧力用コネクタ34を介して入力した設定圧力信号と、圧力センサ35が制御ポート12の圧力を検出して出力した検出結果を比較し、その比較結果に基づいて電気信号を生成し、その電気信号を供給用電磁弁36に出力する。この時点では、作動流体は、供給ポート11から制御ポート12に供給されていないので、コントローラ33は、供給用電磁弁36のみに開弁させる電気信号を出力する。そして、供給用電磁弁36が開弁状態になると、パイロット流体が、パイロットポート38から供給用電磁弁36を介して上側パイロット弁室20Aに供給されるので、ダイアフラム弁体30が下向きに変位して、ピストン28を下降させる。そして、ピストン28は、弁ロッド25を下降させ、供給側弁部23をスプリング26の付勢力に反して押し下げる。よって、作動流体が、供給ポート11から制御ポート12に供給される。
【0025】
そして、制御ポート12から出力される作動流体は、圧力センサ35に圧力を検出され、その検出結果が、コントローラ33に出力される。そして、コントローラ33は、その検出結果と設定圧力信号を比較し、その比較結果に基づいて電気信号を生成する。そして、コントローラ33は、その電気信号を供給用電磁弁36と排出用電磁弁37に出力し、上側パイロット弁室20Aのパイロット流体のパイロット圧力を所定値に調整する。このとき、制御ポート12から出力される作動流体の一部は、フィードバック流路31を介して下側パイロット弁室20Bに帰還されて、その作動流体のフィードバック圧力がピストン28の下端面に作用する。そして、ダイアフラム弁体30がパイロット流体のパイロット圧力を受けて下向きに変位しようとする力と、ピストン28が作動流体のフィードバック圧力を下端面に受けて上昇しようとする力とがバランスすると、パイロット弁部22が停止し、主弁部21は、作動流体を設定圧力で制御できる位置において停止する。
【0026】
ここで、ダイアフラム弁体30は、ピストン28の下端面より大径に形成されているため、ダイアフラム弁体30がパイロット流体のパイロット圧力を受ける受圧面積は、ピストン28の下端面が作動流体のフィードバック圧力を受ける受圧面積より大きい。そのため、ダイアフラム弁体30は、パイロット流体のパイロット圧力による推力を増加させ、ピストン28に伝達する。よって、図1の電空レギュレータ1は、低圧のパイロット流体で高圧の作動流体を制御することができる。具体的には、例えば、0.5Mpaのパイロット圧力で、1.5Mpaの作動流体を制御することができる。
【0027】
それから、図1の電空レギュレータ1の設定圧力信号を1.5Mpaから0.5Mpaに小さくすると、コントローラ33は、供給用電磁弁36に対して閉弁させる電気信号を出力する一方、排出用電磁弁37に開弁させる電気信号を出力するため、上側パイロット弁室20Aのパイロット流体が外部に排出される。一方、主弁部21は、供給ポート11から制御ポート12に作動流体を1.5Mpaで供給しているため、ピストン28には、1.5Mpaのフィードバック圧力が作用している。そのため、ダイアフラム弁体30がパイロット流体のパイロット圧力を受けて下向きに変位しようとする力が、ピストン28が作動流体のフィードバック圧力を受けて上昇しようとする力より小さくなり、ダイアフラム弁体30が上向きに変位して、ピストン28を上昇させる。そして、ピストン28の上昇に伴って、弁ロッド25が上昇するため、供給側弁部23は、スプリング26の付勢力により復帰して、供給ポート11と制御ポート12を遮断する。また、弁ロッド25が、係合リング40を排出側弁部24に係合させて上昇するため、排出側弁部24は、スプリング27の付勢力に反して上昇し、制御ポート12と排出ポート13を連通させる。よって、供給ポート11に入力した作動流体が制御ポート12に供給されなくなる一方、制御ポート12の作動流体が排出ポート13に排出されるようになるので、制御ポート12の圧力が低下する。そして、ダイアフラム弁体30がパイロット流体のパイロット圧力を受けて下向きに変位しようとする力と、ピストン28が作動流体のフィードバック圧力を受けて上昇しようとする力とがバランスすると、パイロット弁部22が停止し、主弁部21は、作動流体を0.5Mpaに制御できる位置で停止する。
【0028】
ここで、パイロット弁部22は、ダイアフラム弁体30が、パイロット流体のパイロット圧力の変動に迅速に反応し、低摺動で変位する。また、ピストン28が、ゴムパッキン29の表面に施されたハロゲン粒子により摩擦係数を低下されるため、ハロゲン化処理を施されていないゴムパッキンを使用する場合と比較して、摺動抵抗が約2分の1に低減される。そのため、パイロット弁部22は、低摺動でパイロット弁室20内を移動するので、設定圧力が1.5Mpaから0.5Mpaに急激に下げられても、その変動に迅速に対応することができる。また、パイロット弁部22は、余分な圧力を加えられないので、オーバーシュートが少なくなる。
【0029】
さらに、図1の電空レギュレータ1の設定圧力を連続的に大きくしていくと、コントローラ33は、供給用電磁弁36に対して開度を徐々に大きくするように電気信号を出力する一方、排出用電磁弁37に対して閉弁させる電気信号を出力するため、上側パイロット弁室20Aのパイロット流体のパイロット圧力は、連続的に大きくなる。このとき、ピストン28の下端面には、設定圧力を変動させる直前の制御ポート12の圧力が、作動流体のフィードバック圧力として作用する。そのため、ダイアフラム弁体30がパイロット流体のパイロット圧力を受けて下向きに変位しようとする力は、ピストン28が作動流体のフィードバック圧力を受けて上昇しようとする力より連続的に大きくなり、ダイアフラム弁体30は、徐々に下向きに変位し、ピストン28を下降させる。そして、ピストンの下降に伴って、弁ロッド25が徐々に下降し、供給側弁部23をスプリング26の付勢力に反して徐々に押し下げていく。これにより、供給ポート11から制御ポート12に供給される作動流体の圧力が連続的に増加される。
【0030】
このとき、ダイアフラム弁体30は、低摺動で変位するので、ピストン28に振動を伝達しにくい。しかも、ピストン28のゴムパッキン29が低摩擦処理を施されているので、ピストン28のゴムパッキン29と下側パイロット弁室20Bとの摺接箇所がスティックスリップを起こしにくい。そのため、図1の電空レギュレータ1は、従来の電空レギュレータ200(図6参照)と比較して、パイロット弁部22から主弁部21に伝達される摺動抵抗が小さくなり、図4に示すように、ヒステリシスが少なくなり、リニアリティが向上する。
【0031】
従って、図1の電空レギュレータ1は、耐圧性と摺動抵抗の特性が相反するダイアフラム弁体30とピストン28を一体的に構成したことにより、高圧の作動流体を制御してもダイアフラム弁体30が破損しなくなるとともに、応答性およびリニアリティを向上させることができるので、高圧の作動流体を精度良く制御することができるようになった。
【0032】
この点、図5の電空レギュレータ100は、例えば、1.5Mpa以上の圧縮空気を空気用入力ポート101に供給すると、圧縮空気のフィードバック圧力が、上側のダイアフラム弁体106の上面と下面、及び、下側のダイアフラム弁体107の上面に作用する。このとき、上側のダイアフラム弁体106は、上面と下面に作用する圧縮空気のフィードバック圧力が相殺されるため、破損する可能性が低い。しかし、下側のダイアフラム弁体107は、上面に圧縮空気のフィードバック圧力が作用し、下面に大気圧が作用するため、上面に作用する圧縮空気のフィードバック圧力が下面に作用する大気圧に相殺されず、破損する可能性が高い。しかも、一対のダイアフラム弁体106,107に連結された案内軸104は、圧縮空気の受圧面が、主弁部103に覆われて狭く、また、主弁部103が案内軸104から離間しても、圧縮空気を案内軸104に形成された内部流路から下側パイロット弁室105B及び流路113を介して大気に排出するため、ダイアフラム弁体106,107の変位に何ら影響を与えず、下側のダイアフラム弁体107の破損を防止することはできない。
また、図6の電空レギュレータ200は、設定圧力を1.5Mpaに設定すると、ピストン202が、上面に作用するパイロット流体のパイロット圧力と、下面に作用する作動流体のフィードバック圧力との差圧に基づいて作動し、出力ポート207から作動流体を1.5Mpaで出力する。しかし、このとき、ピストン202の摺動抵抗が大きい上に、ピストン202とパイロット弁室201の摺接箇所がスティックスリップを起こす場合があるため、作動流体を精度良く制御することができない。
【0033】
また、図1の電空レギュレータ1は、ダイアフラム弁体30の面積をピストン28の下端面の面積より大きく設定したので、ダイアフラム弁体30がパイロット流体のパイロット圧力を増圧し、ピストン28を移動させる。よって、図1の電空レギュレータ1は、パイロット流体のパイロット圧力を効率よく駆動力に変換できる。
【0034】
また、図1の電空レギュレータ1は、ピストン28に装着されるゴムパッキン29に低摩擦処理を施したことにより、ピストン28が下側パイロット弁室20Bを摺動するときに、ピストン28のゴムパッキン29が、下側パイロット弁室20Bとの間に生じる摺動抵抗を低減させるとともに、作動流体の漏れを防止するので、少ない部品点数で効率良く流体制御の精度を向上させることができる。
【0035】
なお、本実施の形態は、単なる例示にすぎず本発明を何ら限定するものではない。従って、本発明は、当然に、その要旨を逸脱しない範囲内での種々の変形、改良が可能である。
すなわち、例えば、上記実施の形態では、ダイアフラム弁体30の受圧面積とピストン28の受圧面積との比率を3.3:1に設定することにより、0.5Mpaのパイロット流体で1.5Mpaの作動流体を制御することを可能にした。
しかし、ダイアフラム弁体30の受圧面積とピストン28の受圧面積との比率を変えることにより、より高圧の作動流体を制御することが可能である。
【0036】
また、例えば、パイロット弁室20の内壁面に低摩擦処理を施してもよい。具体的には、特願平8−240099号に開示されるように、ポリテトラフルオロエチレン、窒化ホウ素又はフッ化黒鉛が分散されたNi−P複合メッキをパイロット弁室20の内壁面に施す。このとき、メッキ処理は、熱処理温度を330度、処理時間を2時間で行うことが望ましい。また、ポリテトラフルオロエチレン系グリスを塗布してもよい。この場合には、より一層ピストン28の摺動抵抗を低減させることが可能になる。
また、例えば、上記実施の形態では、ニトリル製のゴムパッキン29を使用しているが、金属製パッキンなどを使用してもよい。
また、例えば、上記実施の形態では、ピストン28の摺動抵抗を低くするために低摩擦処理を施したゴムパッキン29を取り付けているが、ピストン28にハロゲン化処理等の低摩擦処理を施してもよい。
【0037】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の電空レギュレータによれば、電気信号に応じて調整されるパイロット流体のパイロット圧力に基づいて作動するパイロット弁部と、パイロット弁部の作動により作動流体の圧力を制御する主弁部と、を備えるものであって、前記パイロット弁部が、ピストンの上端面にダイアフラム弁体をネジ止めしたものであること、前記ダイアフラム弁体が前記パイロット流体のパイロット圧力を受ける受圧面積は、前記ピストンの下端面が前記作動流体のフィードバック圧力を受ける受圧面積より大きいこと、前記作動流体のフィードバック圧力は、前記ピストンの下端面が受け、前記ダイアフラム弁体には作用しないものであるため、ダイアフラム弁体が、パイロット流体のパイロット圧力のみを受けて低摺動で変位するので、応答性及びリニアリティが向上し、高圧の流体を精度良く制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態において、電空レギュレータの縦断面図である。
【図2】同じく、電空レギュレータの縦断面図であって、右半分は図1のA−A断面図であり、左半分は図1のB−B断面図である。
【図3】同じく、電空レギュレータの概略構成図である。
【図4】同じく、電空レギュレータの流量特性を示す図である。
【図5】第1従来例の電空レギュレータの縦断面図である。
【図6】第2従来例の電空レギュレータの縦断面図である。
【図7】第2従来例の電空レギュレータの流量特性を示す図である。
【符号の説明】
1 電空レギュレータ
11 供給ポート
12 制御ポート
13 排出ポート
21 主弁部
22 パイロット弁部
28 ピストン
29 ゴムパッキン
30 ダイアフラム弁体
Claims (4)
- 電気信号に応じて調整されるパイロット流体のパイロット圧力に基づいて作動するパイロット弁部と、前記パイロット弁部の作動により作動流体の圧力を制御する主弁部と、を備える電空レギュレータにおいて、
前記パイロット弁部が、ピストンの上端面にダイアフラム弁体をネジ止めしたものであること、
前記ダイアフラム弁体が前記パイロット流体のパイロット圧力を受ける受圧面積は、前記ピストンの下端面が前記作動流体のフィードバック圧力を受ける受圧面積より大きいこと、
前記作動流体のフィードバック圧力は、前記ピストンの下端面が受け、前記ダイアフラム弁体には作用しないこと、を特徴とする電空レギュレータ。 - 請求項1に記載する電空レギュレータであって、
低摩擦処理が施され、前記ピストンに装着される低摩擦部材を有すること、を特徴とする電空レギュレータ。 - 請求項2に記載する電空レギュレータであって、
前記低摩擦部材が、ゴムパッキンであること、を特徴とする電空レギュレータ。 - 請求項1に記載する電空レギュレータであって、
前記ピストンに低摩擦処理を施すこと、を特徴する電空レギュレータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001062842A JP4640894B2 (ja) | 2001-03-07 | 2001-03-07 | 電空レギュレータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001062842A JP4640894B2 (ja) | 2001-03-07 | 2001-03-07 | 電空レギュレータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002266802A JP2002266802A (ja) | 2002-09-18 |
JP4640894B2 true JP4640894B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=18921926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001062842A Expired - Fee Related JP4640894B2 (ja) | 2001-03-07 | 2001-03-07 | 電空レギュレータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4640894B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4668027B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2011-04-13 | シーケーディ株式会社 | 薬液供給システム |
JP4648278B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2011-03-09 | 株式会社チノー | 背圧弁制御装置 |
KR101982592B1 (ko) * | 2017-08-29 | 2019-05-28 | 주식회사 유니락 | 레귤레이터 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63109001U (ja) * | 1987-01-06 | 1988-07-13 | ||
JPH03288100A (ja) * | 1990-04-02 | 1991-12-18 | Ckd Corp | 圧力制御弁 |
JPH09119557A (ja) * | 1995-10-27 | 1997-05-06 | Ckd Corp | 圧力比例制御弁における圧力制御方法及び圧力比例制御弁 |
JPH1088162A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-07 | Ckd Corp | 摺動部材 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63109001A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-13 | 富士産業株式会社 | ベニヤ単板用接着糸の接着方法 |
-
2001
- 2001-03-07 JP JP2001062842A patent/JP4640894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63109001U (ja) * | 1987-01-06 | 1988-07-13 | ||
JPH03288100A (ja) * | 1990-04-02 | 1991-12-18 | Ckd Corp | 圧力制御弁 |
JPH09119557A (ja) * | 1995-10-27 | 1997-05-06 | Ckd Corp | 圧力比例制御弁における圧力制御方法及び圧力比例制御弁 |
JPH1088162A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-07 | Ckd Corp | 摺動部材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002266802A (ja) | 2002-09-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5393434A (en) | Liquid chromatography method | |
US6233956B1 (en) | Expansion valve | |
JP4035728B2 (ja) | サックバックバルブ | |
US6386509B1 (en) | Back pressure control valve | |
JPS6227809A (ja) | 制御弁 | |
US20050253100A1 (en) | Flow control valve | |
US6889706B2 (en) | Flow rate control apparatus | |
US6363959B1 (en) | Fluid pressure regulator with differential pressure setting control | |
US6305264B1 (en) | Actuator control circuit | |
KR20090013239A (ko) | 유체 압력 조절기 | |
CA2051340A1 (en) | Back pressure regulating valve for ultra high pressures | |
US5694965A (en) | Pneumatic pressure regulator | |
JP4640894B2 (ja) | 電空レギュレータ | |
JPH10133744A (ja) | 切換弁用圧力調節弁 | |
JP4426136B2 (ja) | 流量制御弁 | |
JP2006010038A (ja) | サックバックバルブ | |
US11674603B2 (en) | Diaphragm valve and flow rate control device | |
US4753263A (en) | Electrohydraulic regulating valves | |
US6092783A (en) | Pressure regulating valve with optimized deaeration | |
JP2002023856A (ja) | 液体用減圧弁 | |
KR20200085326A (ko) | 밸브장치 및 그 제어장치를 사용한 제어방법, 유체 제어장치 및 반도체 제조장치 | |
WO2021131631A1 (ja) | ダイヤフラムバルブ、流量制御装置、流体制御装置、及び半導体製造装置 | |
US3425434A (en) | Controllable,unitary regulator and relief valve | |
JP2553345B2 (ja) | 圧力制御弁 | |
JPS63211409A (ja) | 圧力制御弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100803 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101012 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4640894 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |