WO2006075450A1

WO2006075450A1 - ダイアフラム弁

Info

Publication number: WO2006075450A1
Application number: PCT/JP2005/021342
Authority: WO
Inventors: Hiroto Yasue; Minoru Funahashi
Original assignee: Ckd Corporation
Priority date: 2005-01-12
Filing date: 2005-11-21
Publication date: 2006-07-20
Also published as: JP2006194298A

Abstract

　弁動作時のパーティクルの発生を低減できるとともに、弁の開口面積の変化率を小さくして制御流体を微小調整することができるダイアフラム弁を提供するために、ハウジングに第１作動室９と第２作動室１２とが弁孔１３を介して連通するように形成され、第１作動室９に収納される第１ダイアフラム７と、第２作動室１２に収納される第２ダイアフラム１０とを連結機構２６で連結し、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０を同期して移動させるダイアフラム弁１において、連結機構２６を弁孔１３の外側に配設する。

Description

明細書

ダイアフラム弁

技術分野

[0001] 本発明は、第 1ダイァフラムと第 2ダイァフラムとを同期して変位させるダイァフラム弁に関する。

背景技術

[0002] 従来、第 1ダイァフラムと第 2ダイァフラムとを同期して変位させるダイァフラム弁として、例えば図 7の中央縦断面図に示すものが知られている。ダイアフラム弁 100は、第 1作動室 101に収納される第 1ダイアフラム 102をエアオペレイト機構 103で上下動させて弁座 104に当接又は離間させ、入力ポート 105から出力ポート 106に流れる制御流体を制御する。第 1作動室 101には、弁孔 107を介して第 2作動室 108が連通し、第 2作動室 108に第 2ダイアフラム 109が収納されている。弁孔 107には、連結棒 110が配設され、連結棒 110の両端部を第 1,第 2ダイアフラム 102, 109に圧入して、第 1ダイアフラム 102と第 2ダイアフラム 109を連結している。

[0003] このようなダイアフラム弁 100は、第 1ダイアフラム 102が上方へ移動して変位すると、第 1作動室 101の容積が増加する力第 1ダイアフラム 102と同期して第 2ダイァフラム 109が上方へ移動し、第 2作動室 108の容積を減少させる。その後、第 1ダイァフラム 102が下方へ移動して変位すると、第 1作動室 101の容積が減少するが、第 1ダィァフラム 102と同期して第 2ダイアフラム 109が下方へ移動し、第 2作動室 108の容積を増加させる。従って、ダイアフラム弁 100は、開閉弁時に第 1作動室 101と第 2作動室 108の容積が相対的に増減し、バルブ全体の容積が変化せしないため、閉弁時に制御流体を二次側に押し出すのを防止できる（例えば、特許文献 1及び特許文献 2参照)。

[0004] 特許文献 1 :特開 2003— 185053号公報

特許文献 2：特開 2003 - 278927号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題 [0005] しかしながら、従来のダイアフラム弁 100は、第 1ダイアフラム 102に連結棒 110を圧入していても、連結棒 110と第 1ダイアフラム 102との間に隙間 Sができていた。制御流体は、隙間 Sに入り込んで滞留し、それが固まってパーティクルになる恐れがあつた o

また、ダイアフラム弁 100は、連結棒 110が弁孔 107内に配設されているため、弁孔 107の断面積が大き力つた。そのため、開口面積の変化率が、第 1ダイアフラム 10 2のストロークに対して大きくなり、制御流体を微小調整することができなかった。しかも、ダイアフラム弁 100は、連結棒 110が弁孔 107内にあるため、大きな膜径のダイァフラム 102, 109を使用しなければならず、押出量にばらつきが生じていた。

[0006] 本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、弁動作時のパーティクルの発生を低減できるとともに、弁の開口面積の変化率を小さくして制御流体を微小調整することができ、さらに小さな膜径のダイアフラムを使って押出量のばらつきを抑えることができるダイアフラム弁を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0007] 本発明に係るダイアフラム弁は、次のような構成を有している。

(1)ハウジングに第 1作動室と第 2作動室とが弁孔を介して連通するように形成され、第 1作動室に収納される第 1ダイァフラムと、第 2作動室に収納される第 2ダイアフラムとを連結機構で連結し、第 1ダイァフラムと第 2ダイアフラムを同期して移動させるダイァフラム弁において、連結機構が弁孔の外側に配設されていることを特徴とする。

[0008] (2) (1)に記載の発明において、連結機構が、ハウジングに対して弁孔の外側に形成された貫通孔に揷通される棒状部材と、棒状部材の一端と第 1ダイァフラムに連結する第 1連結部材と、棒状部材の他端と第 2ダイァフラムに連結する第 2連結部材と、を有することを特徴とする。

[0009] (3) (2)に記載の発明において、第 2連結部材が、棒状部材に固定される保持部材と、保持部材に軸方向に移動可能に保持され、第 2ダイアフラムを連結される位置調整部材と、保持部材に対して位置調整部材を位置決め固定する位置決め手段とを有することを特徴とする。

[0010] (4) (2)に記載の発明において、棒状部材が、第 1連結部材に連結する第 1連結棒と、第 2連結部材に連結する第 2連結棒とを筒状ナットで接続したものであり、第 1連結棒と第 2連結棒が筒状ナットの両端部から挿入され、当該挿入部分に逆ねじをきられていることを特徴とする。

[0011] (5) (1)乃至 (4)の何れか 1つに記載の発明において、第 1ダイァフラムのストロークを調整するストローク調整機構を有することを特徴とする。

(6) (1)乃至（5)の何れか 1つに記載の発明において、第 1ダイアフラム弁が弁孔内に挿入される凸部を有し、凸部にテーパを形成したことを特徴とする。

発明の効果

[0012] 次に、上記構成を有するダイアフラム弁の作用効果について説明する。

ダイァフラム弁は、第 1ダイァフラムと第 2ダイァフラムとを連結機構で連結して、第 1 ダイァフラムと第 2ダイアフラムを同期して移動させるが、連結機構を弁孔の外側に設けて流路内の凹凸を少なくしているので、制御流体が流路内で滞留して固まりにくく、弁動作時のパーティクルの発生を低減できる。また、ダイアフラム弁は、連結機構を弁孔の外側に設けたことにより、弁孔の流路断面積を小さくできるので、第 1ダイァフラムのストロークに対する開口面積の変化率が小さくなり、制御流体を微小調整することができる。さらに、ダイアフラム弁は、連結機構を弁孔の外側に設けたので、膜径の小さいダイアフラムを使って押出量のばらつきを抑えることができる。

[0013] ハウジングに形成した貫通孔に棒状部材を揷通し、棒状部材の一端を第 1連結部材を介して第 1ダイァフラムに連結する一方、棒状部材の他端を第 2連結部材を介して第 2ダイァフラムに連結すれば、第 1ダイァフラムと第 2ダイァフラムとを簡単な連結構造で連結することができる。

[0014] 第 2連結部材が、保持部材に位置調整部材を摺動可能に取り付け、位置決め手段を用いて位置調整部材を保持部材に対して位置決め固定すると、第 2ダイァフラムが位置調整部材と一体的に軸方向に移動してセット位置を調整されるので、第 2作動室の容積を変更して、流体押し出し量を調整することができる。

[0015] また、筒状ナットの両端開口部力第 1連結棒と第 2連結棒をそれぞれ挿入し、その挿入部分に逆ねじをきつておけば、筒状ナットを所定方向に回転させると第 1,第 2 連結棒を近づけ、筒状ナットを所定方向と反対方向に回転させると第 1,第 2連結棒を遠ざけられる。第 1連結棒が第 1連結部材を介して第 1ダイァフラムに連結し、第 2 連結棒が第 2連結部材を介して第 2ダイァフラムに連結しているため、筒状ナットを回転させれば、第 1ダイァフラムと第 2ダイァフラムの位置関係を変更して、流体押し出し量を調整することができる。

[0016] また、ストローク調整機構を用いて第 1ダイァフラムのストロークを調整すれば、開口面積を変化させることができるので、制御流体の流量又は圧力を任意に制御することができる。

第 1ダイァフラムに弁孔に挿入される凸部を設け、その凸部にテーパを設ければ、開口面積を緩やかに変化させることができる。

図面の簡単な説明

[0017] [図 1]本発明の実施の形態に係り、ダイアフラム弁の中央縦断面図であって、閉弁状態を示す。

[図 2]同じぐダイアフラム弁の中央断面図であって、開弁状態を示す。

[図 3]同じぐ図 1の A— A断面図である。

[図 4]本発明のダイアフラム弁の第 1変形例を示す中央縦断面図である。

[図 5]図 4の B— B断面図である。

[図 6]本発明のダイアフラム弁の第 2変形例を示す中央縦断面図である。

[図 7]従来のダイアフラム弁の中央縦断面図である。

符号の説明

[0018] 1, 51, 61 ダイァフラム弁

2 第 1カバー

3 第 1シリンダ

4 ボディ

5 第 2シリンダ

6 第 2カバー

7 第 1ダイァフラム

9 第 1作動室

10 第 2ダイァフラム 12 第 2作動室

13 弁孔

15 凸部

22, 54, 66 保持部材

26, 65 連結機構

27 連結棒

36 位置調整部材

38 位置調整ナット

39 圧縮ばね

40 ス卜ローク調整ロッド、

41 ハンドル

62 第 1連結棒

63 第 2連結棒

64 筒状ナット

発明を実施するための最良の形態

[0019] 次に、本発明に係るダイアフラム弁の一実施の形態について図面を参照して説明する。図 1は、ダイアフラム弁 1の中央断面図であって、閉弁状態を示す。図 2は、ダィァフラム弁 1の中央断面図であって、開弁状態を示す。図 3は、図 1の A— A断面図である。

ダイアフラム弁 1は、例えば、半導体製造装置で使用されるレジスト液をウェハに供給する供給管路上に配設され、レジスト液の供給と遮断を制御するために使用される。ダイアフラム弁 1は、エアオペレイト式の開閉弁であって、第 1ダイアフラム 7と第 2ダィァフラム 10とを連結する連結機構 26を弁孔 13の外側に配設し、第 1ダイアフラム 7 と第 2ダイアフラム 10とを同期して移動させるものである。

[0020] ダイアフラム弁 1は、図中上側力第 1カバー 2、第 1シリンダ 3、ボディ 4、第 2シリンダ 5、第 2カバー 6を図示しない取付ねじで一体ィ匕し、「ハウジング」を形成している。第 1カバー 2、第 1シリンダ 3、ボディ 4、第 2シリンダ 5、第 2カバー 6は、耐腐食性を確保するために、 PP (ポリプロピレン）、 PPS (ポリフエ-レンサルファイド）、 PTFE (ポリテトラフルォロエチレン)等の樹脂で成形されて、る。

[0021] 第 1シリンダ 3とボディ 4は、第 1ダイアフラム 7の外縁部を狭持し、ボディ 4に穿設された入力ポート 8に連通する第 1作動室 9を形成している。また、ボディ 4と第 2シリンダ 5は、第 2ダイアフラム 10の外縁部を狭持し、ボディ 4に穿設された出力ポート 11に連通する第 2作動室 12を形成している。第 1作動室 9と第 2作動室 12は、同径の略円柱状に形成され、弁孔 13を介して連通している。第 1作動室 9、第 2作動室 12、弁孔 13は同軸上に形成されている。第 1作動室 9には、弁孔 13の開口部に弁座 14が突設され、第 1ダイアフラム 7が弁座 14に当接又は離間して流路を開閉するようになつている。第 1ダイァフラム 7には、弁座 14力弁孔 13へと挿入される凸部 15が設けられ、凸部 15の外周面に先端部に向力つて小径となるテーパを形成されて、る。

[0022] 第 1カバー 2と第 1シリンダ 3の間には、ピストン室 16が第 1作動室 9と同軸上に形成され、榭脂製のピストン 17が摺動可能に装填されている。ピストン 17は、ピストン室 1 6を上室 16aと下室 16bに区画し、下端面に第 1ダイアフラム 7が螺設されて一体ィ匕されている。上室 16aには、圧縮ばね 18が縮設され、ピストン 17を介して第 1ダイアフラム 7に図中下向きの力を常時作用させ、シール力を確保している。下室 16bには、操作ポート 19が連通し、操作ポート 19に圧縮エアを供給すれば、ピストン 17に図中上向きの力を作用させて第 1ダイアフラム 7を弁座 14から離間させ、圧縮エアの供給を停止すれば、ピストン 17に作用する図中上向きの力を解除して第 1ダイアフラム 7を弁座 14に当接させることができる。

[0023] ピストン 17の外周面には、一対の摺動凸部 20, 20が垂設され、その摺動凸部 20, 20を第 1カバー 2に形成されたガイド溝 21 , 21に摺動可能にはめ合わせることにより、ピストン 17の回転を制限している。従って、ピストン 17は、ピストン室 16の内壁にガイドされて軸方向にのみ移動する。

[0024] 一方、第 2シリンダ 5と第 2カバー 6との間には、保持部材 22を収納するための収納室 23が形成されている。収納室 23は、第 2作動室 12と同軸上に形成され、保持部材 22を摺動可能に装填されている。保持部材 22の外周面には、一対の保持凸部 2 4, 24が垂設され、保持凸部 24, 24を第 2シリンダ 5に形成されたガイド溝 25, 25に摺動可能に嵌め合わせることにより、保持部材 22の回転を制限している。従って、保持部材 22は、収納室 23の内壁にガイドされて軸方向にのみ移動する。

[0025] 第 1ダイアフラム 7と第 2ダイアフラム 10は、連結機構 26を介して連結して、る。連結機構 26は、弁孔 13の外側に配設され、ピストン（「第 1連結部材」に相当。 ) 17、保持部材 22、一対の連結棒（「棒状部材」に相当。） 27, 27、位置調整部材 36などで構成されている。

[0026] 第 1シリンダ 3、ボディ 4、第 2シリンダ 5には、連結棒 27, 27を軸方向に揷通するために、一対の貫通孑し 28, 28, 29, 29, 30, 30力 ^形成されて!ヽる。貫通孑し 28, 29, 3 0は、連結棒 27の直径より大径に形成され、連結棒 27が移動時にこじれるのを防止している。連結棒 27は、第 1雄ねじ 31を摺動凸部 20に垂直に貫き通し、第 1雄ねじ 3 1の先端部に締付ナット 32を締め付けることにより、ピストン 17と一体ィ匕されている。また、連結棒 27は、第 2雄ねじ 33が摺動凸部 20を垂直に貫き通し、第 2雄ねじ 33の先端部に締付ナット 34を締め付けることにより、保持部材 22と一体ィ匕されている。連結棒 27は、同軸上に配設されているピストン 17と保持部材 22に対して垂直に連結するため、軸方向に移動し、第 1ダイアフラム 7と第 2ダイアフラム 10を同期して移動させることができる。

[0027] 保持部材 22は、榭脂を射出成形したものであり、有底円柱形状の開口部 35を備える。位置調整部材 36は、開口部 35に摺動可能に装填され、第 2ダイアフラム 10を螺設されている。位置調整部材 36は、雄ねじ 37が保持部材 22に貫き通されて位置調整ナット 38を締め付けられ、開口部 35と位置調整部材 36との間に縮設された圧縮ばね 39の弹圧力で軸方向のガタを防止されている。従って、第 2ダイアフラム 10は、位置調整ナット 38の締付量によって位置調整部材 36の保持位置を変位させると、軸方向に上下動し、セット位置を調整される。位置調整ナット 38は、第 2カバー 6の孔を通じて外部に露出し、外部力も第 2ダイアフラム 10のセット位置を調整できるようになつている。なお、保持部材 22と位置調整部材 36により「第 2連結部材」が構成され、位置調整部材 36の雄ねじ 37と位置調整ナット 38により、「位置決め手段」が構成されている。

[0028] 第 1カバー 2には、ストローク調整ロッド 40がピストン室 16の上室 16aから外部に突き出すように螺合し、ストローク調整ロッド 40に固設されたノヽンドル 41を回転させることにより、ストローク調整ロッド 40の下端位置を変位させてピストン 17の移動量を決定し、第 1ダイァフラム 7のストローク量を調整できるようにされている。ストローク調整ロッド 40は、ハンドル 41の下端面をストッパ 42に係合することにより回転を制限され、所定位置で保持される。

[0029] このようなダイアフラム弁 1は、入力ポート 8にレジスト液の供給源を接続し、出力ポート 11にノズルを接続することにより、半導体製造装置に組み付けられる。ダイアフラム弁 1は、図 1及び図 3に示す初期状態では、第 1ダイアフラム 7が圧縮ばね 18の弹圧力で弁座 14に押しつけられ、弁座 14をシールしている。そのため、入力ポート 8に供給されたレジスト液は、弁に遮断され、出力ポート 11に流れない。

[0030] 操作ポート 19に圧縮エアを供給して下室 16bを加圧すると、図 2に示すように、ビストン 17が圧縮ばね 18に抗して図中上方へ移動し、第 1ダイアフラム 7を弁座 14から離間させる。入力ポート 8に供給されたレジスト液は、第 1作動室 9から弁座 14、弁孔 13、第 2作動室 12を介して出力ポート 11へと流れ、図示しないノズル力もウェハに噴出される。このとき、第 1作動室 9の容積が第 1ダイアフラム 7の上昇により増加する力第 1ダイアフラム 7と同期して第 2ダイアフラム 10が上昇して第 2作動室 12の容積を減少させるため、弁全体の容積が変化しない。

[0031] その後、操作ポート 19への圧縮エアの供給を停止すると、図 1及び図 3に示すように、ピストン 17が圧縮ばね 18の弹圧力で下降し、第 1ダイァフラム 7を弁座 14に押しつけてシールする。これにより、レジスト液が、出力ポート 11に流れなくなり、ノズル力らウェハに供給されなくなる。第 1ダイアフラム 7の下降に伴って第 1作動室 9の容積が減少するが、第 1ダイアフラム 7と同期して第 2ダイアフラム 10が下降し、第 2作動室 12の容積を増力!]させるため、弁全体の容積が変化しない。特に、第 1ダイアフラム 7 は弁座 14に着座する直前に薄膜部が変位してレジスト液を第 2作動室 12に押し出すが、これに伴って第 2ダイアフラム 10の薄膜部が変位して第 2作動室 12の容積を増加させるため、レジスト液が出力ポート 11から押し出されな!/、。

[0032] このように、ダイアフラム弁 1は、閉弁時に第 2作動室 12の容積変化によってレジスト液を吸い戻すサックバック機能を有する。ダイアフラム弁 1は、寸法公差や組立公差により第 1ダイアフラム 7や第 2ダイアフラム 10のセット位置が製品毎にばらつき、閉弁時に出力ポート 11からレジスト液を押し出す量がゼロにならないことがある。押し出し量がゼロより多、場合には、レジスト液をノズルの先端部力所定量まで吸、戻すことができず、レジスト液がウェハに余分に滴下したり、レジスト液が外気に接触して変質する恐れがある。また、押し出し量がゼロより少ない場合には、レジスト液をノズルの先端部力所定量を超えて吸い戻し過ぎ、ウェハに塗布するレジスト液の量が少なくなる恐れがある。

[0033] このような不具合を解消するために、ダイアフラム弁 1は、第 2ダイアフラム 10のセット位置を調整して、第 2作動室 12の容積を変化させられるようになつている。即ち、例えば、ダイアフラム弁 1は、出力ポート 11に流量計を取り付けて入力ポート 8に流体を供給し、出力ポート 11から流体を押し出す量を検出する。押し出し量がゼロより多いときには、位置調整ナット 38を工具等で所定方向に回転させて第 2ダイアフラム 10のセット位置を下降させ、サックバック量を大きくする。一方、押し出し量がゼロより少ないときには、位置調整ナット 38を工具等で所定方向と反対方向に回転させて第 2ダィァフラム 10のセット位置を上昇させ、サックバック量を小さくする。

[0034] 従って、本実施の形態のダイアフラム弁 1は、第 1ダイアフラム 7と第 2ダイアフラム 1 0とを連結機構 26で連結して、第 1ダイアフラム 7と第 2ダイアフラム 10を同期して移動させるが、連結機構 26を弁孔 13の外側に設けて流路内の凹凸を少なくしているので、レジスト液が流路内で滞留して固まりにくぐ弁動作時のパーティクルの発生を低減できる。また、ダイアフラム弁 1は、連結機構 26を弁孔 13の外側に設けたことにより、弁孔 13の流路断面積を小さくできるので、第 1ダイアフラム 7のストロークに対する開口面積の変化率が小さくなり、レジスト液を微小調整することができる。さらに、ダイァフラム弁 1は、連結機構 26を弁孔 13の外側に設けたので、膜径の小さい第 1,第 2 ダイアフラム 7, 10を使って第 1,第 2ダイアフラム 7, 10の上下動に伴う変形量小さくし、レジスト液の押出量のばらつきを抑えることができる。

[0035] ここで、本実施の形態のダイアフラム弁 1や従来のダイアフラム弁 100は、レジスト液を約 50msecの高スピードで制御することがある。

この場合に、従来のダイアフラム弁 100は、第 1ダイアフラム 102のストロークに対する開口面積変化が大きいため、二次側にウォータハンマが発生する恐れがあった。これに対して、本実施の形態のダイアフラム弁 1は、ストロークに対する開口面積変化を緩やかにして流量を少しずつ変化するため、二次側のウォータハンマの発生を抑 ff¾することができる。

[0036] 第 1シリンダ 3、ボディ 4、第 2シリンダ 5に形成した貫通孔 28, 29, 30に連結棒 27 を挿通し、連結棒 27の第 1雄ねじ 31を締付ナット 32で摺動凸部 20に固定することにより、連結棒 27の一端をピストン 17を介して第 1ダイアフラム 7に連結する一方、連結棒 27の第 2雄ねじ 33を締付ナット 34で保持凸部 24に固定することにより、連結棒 27 の他端を保持部材 22を介して第 2ダイアフラム 10に連結するので、第 1ダイアフラム 7と第 2ダイアフラム 10とを簡単な連結構造で連結することができる。

[0037] 保持部材 22に位置調整部材 36を摺動可能に取り付け、第 2カバー 6の外部から位置調整ナット 38を回転させて位置調整部材 36を保持部材 22に対して位置決め固定すると、第 2ダイアフラム 10が位置調整部材 36と一体的に軸方向に移動してセット位置を調整されるので、第 2作動室 12の容積を変更し、流体押し出し量を調整することができる。特に、ダイアフラム弁 1は、位置調整ナット 38を外部力も操作できるので、流体押し出し量の調整が容易である。

[0038] また、ハンドル 41を回転させてストローク調整ロッド 40の下端位置を調整すれば、第 1ダイアフラム 7の全開位置を変更して開口面積を変えられるので、レジスト液の流量又は圧力を任意に制御することができる。

第 1ダイァフラム 7に弁孔 13に挿入される凸部 15を設け、その凸部 15にテーパを設けているので、開口面積を緩やかに変化させることができる。

[0039] 尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。

[0040] (1)例えば、上記実施の形態では、二方弁のダイアフラム弁 1を使用したが、図 4及び図 5に示すように、分岐弁 51に連結機構 26を設けてもよい。分岐弁 51は、ダイァフラム弁 1とほぼ同様の構造を有する力異なる点について説明すると、弁孔 13の第 2ダイアフラム側開口部に弁座 52を設けるとともに、弁孔 13に第 3ポート 53を連通させる。この場合、第 1ポート 8又は第 2ポート 11から供給した流体を第 3ポート 53から出力してもよいし、第 3ポート 53に供給した流体を第 1ポート 8と第 2ポート 11に分流してもよい。また、分岐弁 51は、図 4及び図 5に示すように、第 2ダイアフラム 10を保持部材 54に直接螺設してもよい。

[0041] (2)上記実施の形態では、一対の連結棒 27, 27で第 1ダイアフラム 7に連結するビストン 17と第 2ダイアフラム 10に連結する保持部材 22を連結して、連結機構 26を構成した。これに対して、図 6に示すダイアフラム弁 61のように、第 1連結棒 62と第 2連結棒 63を筒状ナット 64で棒状に連結し、「棒状部材」とし、連結機構 65を構成してもよい。第 1連結棒 62を貫通孔 28、 29に遊嵌して、一端 31を締付ナット 32で摺動凸部 20に螺合するとともに、他端を筒状ナット 64に螺合する一方、第 2連結棒 63を貫通孔 29, 30に遊嵌して、一端 33を締付ナット 34で保持部材 66の保持凸部 24に固定するとともに、他端を筒状ナット 64に螺合することにより、第 1連結棒 62と第 2連結棒 63を軸方向にがたつ力せることなく連結する。第 1連結棒 62と第 2連結棒 63を摺動凸部 20と保持凸部 24に対してそれぞれ垂直に連結すれば、第 1,第 2連結棒 62, 6 3の同軸性を出して、第 1ダイアフラム 7と第 2ダイアフラム 10を同期して移動させることができる。そして、筒状ナット 64が外部に露出するようにボディ 4に切欠部 67を設け、筒状ナット 64に挿入される第 1連結棒 62の雄ねじと第 2連結棒 63の雄ねじを逆ねじにした場合には、筒状ナット 64を外部力も指でつまんで或いは工具で保持して所定方向又は逆方向に回転させると、第 1,第 2連結棒 62, 63が近づいたり遠ざ力つたりする。第 1,第 2連結棒 62, 63の位置関係が変化すると、第 1ダイアフラム 7が弁座 14に当接して移動を制限されるため、第 2ダイアフラム 10のセット位置が変化し、出力ポート 11からの押し出し量を調整できる。

[0042] (3)例えば、上記実施の形態では、摺動凸部 20と保持凸部 24をピストン 17と保持部材 12にそれぞれ一体成形したが、別部材としてもよ!/ヽ。

[0043] (4)例えば、上記実施の形態では、ダイアフラム弁 1を半導体製造装置に取り付けて、レジスト液の供給を制御するために使用した力使用用途はこれに限定されず、液晶製造装置等に取り付けてもよい。また、ダイアフラム弁 1はエアオペレイト式開閉弁であったが、手動弁や電磁弁としてもよい。また、電動ァクチユエータ (モータなど）を駆動手段として用いてもよい。

[0044] (5)例えば、上記実施の形態では、ハウジングを構成する部材 2, 3, 4, 5, 6や保持部材 22を榭脂で形成したが、金属であってもよい。

[0045] (6)例えば、上記実施の形態では、ノーマルクローズタイプのダイアフラム弁 1につヽて説明したが、ダイァフラム弁 1をノーマルオープンタイプとしてもよ!/、。

[0046] (7)例えば、上記実施の形態では、ピストン 17の摺動凸部 20, 20をガイド溝 21, 21 に嵌め合わせ、保持部材 22の保持凸部 24, 24をガイド溝 25, 25に嵌め合わせることにより、ピストン 17と保持部材 22の回転を制限した力ピストン 17と保持部材 22の回転を制限するものであれば、回転制限機構の構造はこれに限定するものではない

Claims

請求の範囲

[1] ハウジングに第 1作動室と第 2作動室とが弁孔を介して連通するように形成され、前記第 1作動室に収納される第 1ダイァフラムと、前記第 2作動室に収納される第 2ダイァフラムとを連結機構で連結し、前記第 1ダイァフラムと前記第 2ダイアフラムを同期して移動させるダイァフラム弁にぉ、て、

前記連結機構が前記弁孔の外側に配設されていることを特徴とするダイアフラム弁

[2] 請求項 1に記載するダイアフラム弁にお、て、

前記連結機構が、

前記ハウジングに対して前記弁孔の外側に形成された貫通孔に揷通される棒状部材と、

前記棒状部材の一端と前記第 1ダイァフラムに連結する第 1連結部材と、前記棒状部材の他端と前記第 2ダイァフラムに連結する第 2連結部材と、を有することを特徴とするダイァフラム弁。

[3] 請求項 2に記載するダイアフラム弁において、

前記第 2連結部材が、

前記棒状部材に固定される保持部材と、

前記保持部材に軸方向に移動可能に保持され、前記第 2ダイアフラムを連結される位置調整部材と、

前記保持部材に対して前記位置調整部材を位置決め固定する位置決め手段とを有することを特徴とするダイァフラム弁。

[4] 請求項 2に記載するダイアフラム弁にお、て、

前記棒状部材が、前記第 1連結部材に連結する第 1連結棒と、前記第 2連結部材に連結する第 2連結棒とを筒状ナットで接続したものであり、

前記第 1連結棒と前記第 2連結棒が前記筒状ナットの両端部から挿入され、当該挿入部分に逆ねじをきられていることを特徴とするダイァフラム弁。

[5] 請求項 1乃至請求項 4の何れか 1つに記載するダイアフラム弁において、

前記第 1ダイァフラムのストロークを調整するストローク調整機構を有することを特徴とするダイァフラム弁。

請求項 1乃至請求項 5の何れか 1つに記載するダイアフラム弁において、前記第 1ダイアフラム弁が前記弁孔内に挿入される凸部を有し、前記凸部にテを形成したことを特徴とするダイァフラム弁。