WO2004006035A1 - 流体制御弁 - Google Patents

Abstract

流体制御弁が、本体１と、ボンネット２と、バネ受承部３と、ピストン４と、バネ２４と、第一ダイヤフラム２７と、第一弁部材５と、第二弁部材６と、ベースプレート７とを具備し、ピストンの動作に伴って第二弁部材の弁体と本体の弁座とによって形成される流体制御部の開口面積が変化する。

Description

明 細 書 流体制御弁 技術分野

本発明は流量の調整が必要とされる流体輸送配管に使用される流 体制御弁に関するものである。 さ らに詳しく は、 主と して半導体産 業における超純水ラインゃ各種化学薬液ライ ンに好適に使用され、 流体圧力の変化に対する即応性の優れた流体制御弁に関するもので める。 背景技術

特開平 6— 2 9 5 2 0 9は流体制御弁を開示している。

図 5を参照すると、 特開平 6 - 2 9 5 2 0 9に開示された流体制 御弁は、 入口流路 5 1 と出口流路 5 2を有する本体 5 3 と、 弁部 5 4 と第一ダイヤフラム部 5 5及び第二ダイヤフラム部 5 6を有する 弁体 5 7 とを具備している。 第一ダイヤフラム部 5 5 と第二ダイヤ フラム部 5 6 とによ り、 本体 5 3のチヤンパは第一加圧室 5 8およ び第二加圧室 5 9に区分される。 第一加圧室 5 8の外側から圧縮空 気などを利用して常時内向きの一定圧力が加えられ、 第二加圧室 5 9内部に設けられたパネ 6 0にて常時内向きの一定圧力を加えられ る。 また、 第一ダイヤフラム部 5 5の受圧面積は、 第二ダイヤフラ ム部 5 6の受圧面積より も大きくなつている。

然しながら、 このようなダイヤフラムを利用した弁装置では、 気 体がダイヤフラムを透過する問題がある。 特に、 薬液を使用するラ ィンでは、 薬液から腐食性気体が発生することがある。 こう した腐 食性気体がダイヤフラムを透過して、 ダイヤフラム付近の金属部品 が腐食することは良く知られている。

上記公報に開示された流体制御弁では、 第二ダイヤフラム部 5 6 の下面にパネ 6 0が配置されているので、 第二ダイヤフラム部 5 6 を透過した気体からパネ 6 0を保護するために P T F Eなどによ り 、 該パネ 6 0をコーティ ングする必要がある。 然しながら、 パネ 6 0をコーティ ングすると、 パネ定数がコーティングの厚さなどによ つて変化するため、 流体制御弁の個体差を生じる原因の一つとなつ ている。

また、 一般的な流体制御弁において、 弁体の移動量に対してパル ブ開度の変化が小さい方が、 よ り細かな制御が可能となり制御性能 が向上することは良く知られている。 上記公報に開示された流体制 御弁でも、 弁体 5 7の軸方向の移動量に対して'、 流体制御通路部の 開口面積の変化が小さい方が、 流体制御性能は向上する。 弁体 5 7 の移動量に対して開口面積の変化を小さくするためには、 弁部 5 4 の径を小さく設計する必要があり、 それに伴い、 弁部 5 4 と第一ダ ィャフラム部 5 5 とをつなぐロ ッ ド、 及び、 弁部 5 4 と第二ダイヤ フラム部 5 6 とをつなぐ口 ッ ドも小径となる。

さ らに、 上記公報に開示された流体制御弁では、 第一加圧室 5 8 内の圧力によって弁部 5 4の位置を調節することによ り、 流量制御 通路 6 1の開口面積が調節される。 一方、 ダイヤフラム部の変形し やすさは、 ダイヤフラム部の直径に依存している。 従って、 ダイヤ フラムが大きいほど、 弁部 5 4の変位に対して第一加圧室 5 8内の 圧力は直線的に変化し、 かつ、 ヒステリ シスも小さくなる。 反対に 、 第一ダイヤフラム部 5 5および第二ダイヤフラム部 5 6の直径が 小さくなると、 これらダイヤフラム部は変形しにく く なり、 弁部 5 4の変位に関する第一加圧室 5 8内の圧力の変化は非線形となり、 かつ、 ヒ ステリ シス も大きくなる。 つまり、 上記流体制御弁において流体制御性能を向上するために

、 弁部 5 4の径を小さくするともに、 ダイヤフラム部の径を大きく することが望ましい。

ここで、 第一ダイヤフラム部 5 5の径を大きく し、 かつ、 弁部 5 4の径を小さくすると、 第一加圧室 5 8内部の圧力が第一ダイャフ ラム部 5 5を下向きに押す力が大きくなり、 かつ、 下流側流体の圧 力が第一ダイヤフラム部 5 5を上向きに押す力も大きくなる。 その ため、 力のパランスを保っためパネの反発力による上向きのカも大 きく しなければならない。

このとき、 それらの力は、 弁部 5 4の上下端面と、 第 1 と第 2の ダイヤフラム部 5 5 、 5 6を連結する口 ッ ドによ り支えられている 。 このロッ ドは常に軸方向に圧縮されており、 その強度が心配され る部品のひとつであった。 特に、 作動流体が高温の腐食性流体の場 合には、 ロ ッ ドは、 通常、 耐薬品性の面から P T F Eにより形成さ れる。 P T F Eは、 機械的強度が低い上にク リープしゃすい特性が ある。 従って、 長期にわたって使用していると、 P T F E製のロッ ドが変形または座屈して、 流体制御性能が低下する問題が生じる。 発明の開示

本発明は、 上記従来の流体制御弁の問題に鑑みてなされたもので 、 その目的は、 安価に、 かつ、 歩留ま りの高い製造が可能であると ともに、 流体中への不純物の溶出や薬液の汚染が極めて少ない、 耐 久性に優れ安定した制御性能が得られる流体制御弁を提供すること である。

本発明によれば、 本体と、 ボンネッ ト と、 パネ受承部と、 ピス ト ンと、 パネと、 第一ダイヤフラムと、 第一弁部材と、 第二弁部材と 、 ベースプレー トとを具備する流体制御弁が提供される。 本体は、 下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙と、 第二の空隙に連通する入口流路と、 上部に上面が開放して設けられ 第二の空隙の径よ り も大きい径を持つ第一の空隙と、 第一の空隙に 連通する出口流路と、 第一の空隙と第二の空隙とを連通し第一の空 隙の径よ りも小さい径を有する連通孔とを有し、 第二の空隙の上面 が弁座を形成している。

ポンネッ トは、 給気孔と排気孔とに連通した円筒状の空隙を内部 に有し、 下端内周面に段差部が設けられている。

パネ受承部は、 ボンネッ トの段差部に嵌挿され中央部に貫通孔を有 する。

ピス ト ンは、 下端部にパネ受承部の貫通孔ょり小径の第一接合部 を有し、 上部に鍔部が設けられボンネッ トの空隙内部に上下動可能 に嵌揷されている。

パネは、 ピス トンの鍔部下端面とパネ受承部の上端面で挟持支承 されている。

第一ダイャフラムは、 周縁部が本体とパネ受承部との間で挟持固 定され、 本体の第一の空隙に蓋する形で第一の弁室を形成する中央 部が肉厚とされている。

第一弁部材は、 上面中央にビス トンの第一接合部およびパネ受承 部の貫通孔を貫通して接合固定される第二接合部、 および、 下面中 央に本体の連通孔と同軸に設けられた第三接合部を有する。

第二弁部材は、 本体の第二の空隙内部に位置し、 本体の連通孔ょ り大径に設けられた弁体、 弁体上端面に突出して設けられ第一弁部 材の第三接合部と接合固定される第四接合部、 弁体下端面よ り突出 して設けられたロ ッ ド、 ロ ッ ド下端面よ り径方向に延出して設けら れた第二ダイヤフラムを有する。

ベースプレー トは、 本体の下方に位置し第二弁部材の第二ダイャ フラムの周縁部を本体との間で狭持固定する突出部を上部中央に有 し、 突出部の上端部に凹部が設けられると共に、 凹部に連通する呼 吸孔が設けられている。

ピス トンの動作に伴って第二弁部材の弁体と本体の弁座とによつ て形成される流体制御部の開口面積が変化する。

また、 本体、 第一弁部材および第二弁部材は、 好ましくは、 ポリ テ トラフルォロエチレンによ り形成するこ とができる。

尚、 本体の材質は P T F Eや P F A等のフッ素樹脂が好適に使用 されるが、 ポリ塩化ビニル、 ポリ プロ ピレンなどのその他のプラス チック或いは金属でも良く特に限定されない。 また、 ボンネッ ト、 パネ受承部、 および、 ピス トンは強度、 耐熱性の観点からポリ プロ ピレンが好適に使用されるが、 同様に、 その他のプラスチックや金 属でも良く特に限定されない。 パネは耐食性、 防鲭性の点からステ ンレススチールが好適に用いられるがその他の金属でも良く特に限 定されない。 さ らに、 各ダイヤフラムの材質は P T F E等のフッ素 樹脂が好適に使用されるが、 ゴム及び金属でも良く特に限定されな レヽ 図面の簡単な説明

図 1 は本発明の流体制御弁の縦断面図である。

図 2は図 1 において上流側圧力が増加した場合の状態を示す縦断 面図である。

図 3は図 1 の流体制御弁の第一弁部材と第二弁部材を示す斜視図 である。

図 4は本発明の流体制御弁の平面図である。

図 5は従来の流体制御弁の縦断面図である。 発明を実施する最良の態様

以下、 本発明の実施態様について、 図面を参照して説明する。 本 発明が本実施態様に限定されないことは言うまでもない。

図において、 P T F E製の本体 1 は、 下部中央に底部まで開放し て設けられた第二の空隙 8 と、 上部に上面開放して設けられた第二 の空隙 8の径ょ り も大きい径を持つ第一の空隙 1 0を有している。 本体 1の側面には、 第二の空隙 8 と連通している入口流路 9 と、 入 ロ流路 9 と対向する面に第一の空隙 1 0 と連通している出口流路 1 1 と、 さ らに、 第一の空隙 1 0 と第二の空隙 8 とを連通し第一の空 隙 1 0の径よ り も小さい径を有する連通孔 1 2 とが設けられている 。 第二の空隙 8の上面部は弁座 1 3 とされている。

P P製のボンネ ッ ト 2は、 内部に円筒状の空隙 1 6 と、 下端内周 面に空隙 1 6 よ り拡径された段差部 1 7が設けられている。 ボンネ ッ ト 2 の側面には、 空隙 1 6内部に圧縮された不活性気体や空気を 供給するために空隙 1 6 と外部とを連通する給気孔 1 4 と、 給気孔 1 4より導入された気体や空気を微量に排出するための排気孔 1 5 とが設けられている。

P P製の平面円形状のパネ受承部 3は、 中央部に貫通孔 1 8を有 し、 かつ、 略上半分がボンネッ ト 2 の段差部 1 7に嵌挿されている 。 パネ受承部 3 の側面部には、 環状溝あるいは環状切り欠き部 1 9 が設けられ、 O —リ ング 2 0を装着することによ りボンネッ ト 2か ら外部への不活性気体や空気の流出を防いでいる。

P P製のピス ト ン 4は、 上部に円盤状の鍔部 2 1 と、 鍔部 2 1の 中央下部より 円柱状に突出して設けられたピス ト ン軸 2 2 と、 ビス ト ン軸 2 2 の下端に設けられた雌ネジ部からなる第一接合部 2 3 と を有する。 ビス トン軸 2 2は、 パネ受承部 3 の貫通孔 1 8よ り小径 に設けられており、 第一接合部 2 3は後記第一弁部材 5 の第二接合 部 2 9 と螺合によ り接合されている。

S U S製のパネ 2 4は、 ピス トン 4の鍔部 2 1下端面とパネ受承 部 3の上端面とで狭持されている。 パネ 2 4は、 ピス トン 4の上下 動にともなって伸縮する。 そのときの荷重の変化が少ないよう、 パ ネ 2 4は自由長の長いものが好適に使用される。

P T F E製の第一弁部材 5は、 外周縁部よ り上方に突出して設け られた筒状部 2 5を有した膜部 2 6 と、 肉厚部を中央部に有する第 一ダイヤフラム 2 7 と、 第一ダイヤフラム 2 7の中央上面より突出 して設けられた軸部 2 8 と、 軸部 2 8の上端部に設けられた小径の 雄ネジからなる第二接合部 2 9 と、 同中央下面よ り突出して設けら れ下端部に形成された雌ネジ部からなる第三接合部 3 0を有する （ 図 3参照） 。 第三接合部 3 0は、 第二弁部材 6の接合部 3 4に螺合 される。 第一ダイヤフラム 2 7 の筒状部 2 5 を本体 1 とパネ受承部 3 との間で狭持固定することによ り、 第一ダイヤフラム 2 7下面が 、 本体 1の第一の空隙 1 0に第一の弁室 3 1 を密封して形成する。 また、 第一ダイャフラム 2 7 の上面、 パネ受承部 3 、 ボンネッ ト 2 の空隙 1 6は、 O—リ ング 2 0を介して密封されており、 ボンネッ ト 2 の給気孔 1 4より供給される圧縮された不活性気体や空気が充 満している気室を形成してレ、る

P T F E製の第二弁部材 6は、 本体 1の第二の空隙 8内部に配設 され連通孔 1 2よ り大径に設けられた弁体 3 2 と、 弁体 3 2上端面 から突出して設けられた軸部 3 3 と、 その上端に設けられた第一弁 部材 5の第三接合部 3 0 と螺合によ り接合固定される雄ネジ部から なる第四接合部 3 4 と、 弁体 3 2下端面より突出して設けられた口 ッ ド 3 5 と、 ロ ッ ド 3 5の下端面よ り径方向に延出して設けられ周 縁部より下方に突出して設けられた筒状突部 3 6を有する第二ダイ ャフラム 3 7 とから構成されている （図 3参照） 。 第二ダイヤフラ ム 3 7の筒状突部 3 6をベースプレー ト 7の突出部 4 0 と本体 1 と の間で狭持することにより、 第二ダイヤフラム 3 7が本体 1の第二 の空隙 8に第二弁室 3 8を密閉して形成する。

P P製のベースプレート 7は、 上部中央に第二弁部材 6の第ニダ ィャフラム 3 7の筒状突部 3 6を本体 1 との間で狭持固定する突出 部 4 0を有し、 突出部 4 0の上端部に凹部 4 1が設けられている。 ベースプレー ト 7の側面には、 凹部 4 1に連通する呼吸孔 4 2が開 口している。 本体 1は、 通しボルトおよびナッ ト （図示しない） に て、 ベースプレー ト 7 とポンネッ ト 2 との間で狭持されている。 本実施態様では、 各接合部はねじを具備しているが、 接着による 接合でも構わない。 また、 図 3に示されているごとく、 本発明の流 体制御弁は平面矩形状の外観となっているが、 この形状に限定され るものでなく、 使用される場所に応じて平面円形状に形成しても良 い

以下に本実施態様の作用を説明する。

図 1は、 ボンネッ ト 2の空隙 1 6へ所定圧力の圧縮空気を供給し ている場合を示している。 このとき、 第二弁部材 6の弁体 3 2は、 ビス トン 4の鍔部 2 1 とパネ受承部 3 とに挟持されているパネ 2 4 の反発力と、 第一弁部材 5の第一ダイヤフラム 2 7下面の流体圧力 によ り上方に押し上げられる。 第一ダイヤフラム 2 7上面の圧縮空 気の圧力によ り押し下げられている。 さらに詳細.には、 弁体 3 2下 面と、 第二弁部材 6の第二ダイヤフラム 3 7上面とが流体圧力を受 けている力 、 それらの受圧面積は略同等とされているため、 力は略 相殺されている。 従って、 第二弁部材 6の弁体 3 2は、 前述の 3つ の力が釣り合う位置にて静止していること となる。 そのため、 本制 御弁の上流側、 及び、 下流側の流体圧力に変化がなければ一定の流 量を維持することができる。 上流側の流体圧力が増加すると、 瞬間的に第一の弁室 3 1内の圧 力も増加する。 これにより、 第一ダイヤフラム 2 7の上面が圧縮空 気から受ける力より、 第一ダイヤフラム 2 7の下面が流体から受け る力のほうが大きくなり、 ダイヤフラムは上方へと移動する。 従つ て、 弁体 3 2の位置も上方へ移動し、 弁座 1 3 との間で形成される 流体制御部 3 9の開口面積が減少し、 第一の弁室 3 1内の圧力が減 少する。 最終的に、 弁体 3 2は、 前記 3つの力が釣り合う位置まで 移動し静止する （図 2の状態） 。 このときパネ 2 4の荷重が大きく 変わらなければ、 空隙 1 6内部の圧力、 つまり、 第一ダイヤフラ.ム 2 7上面が受ける力は不変であるため、 第一ダイヤフラム 2 7下面 が受ける圧力は略不変となる。 従って、 第一ダイヤフラム 2 7下面 の流体圧力、 すなわち、 第一の弁室 3 1内の圧力は、 上流側の圧力 が増加する前と概ね従前の圧力と同じに維持される。

図 2の状態から上流側の流体圧力が減少すると、 瞬間的に第一の 弁室 3 1内の圧力も減少する。 これにより、 第一ダイヤフラム 2 7 の上面が圧縮空気から受ける力よ り、 第一ダイヤフラム 2 7の下面 が流体から受ける力のほうが小さくなり、 ダイヤフラムは下方へと 移動する。 従って、 弁体 3 2が下方へ移動し、 弁座 1 3 との間で形 成される流体制御部 3 9の開口面積が増加し、 第一の弁室 3 1 の流 体圧力を増加させる。 最終的に、 弁体 3 2は、 前記 3つの力が釣り 合う位置まで移動し静止する （図 1の状態） 。 従って、 上流側圧力 が増加した場合と同様に、 第一の弁室 3 1 内の流体圧力は概ね従前 の圧力と同じになっている。

以上説明したように、 流体制御弁上流側の流体圧力が変わっても 第一の弁室 3 1 内の流体圧力はほとんど変化しない。 そのため、 流 体制御弁以降の配管における圧力損失に変化が無ければ流量を一定 に保つことができる。 また、 第一の弁室 3 1内の流体圧力は、 空隙 1 6内部の圧縮空気 圧力によって調整できるため、 流量も圧縮空気圧力によって調整す ることができる。

さらに、 ポンネッ ト 2 の空隙 1 6内部に圧縮空気を供給しなけれ ば、 ピス ト ン 4はパネ 2 4 の働きによ り押し上げられる。 ピス ト ン 4に接合されている第一弁部材 5および第二弁部材 6 もまたビス ト ン 4によって引き上げられる。 従って、 第二弁部材 6 の弁体 3 2 と 本体 1の弁座 1 3 とが密着し、 流体の流れを封するこ とができる。

また、 ポンネッ ト 2の空隙 1 6内部の圧縮空気は給気孔 1 4から 供給され、 排気孔 1 5から常に排気されているため、 作動流体から 発生する気体が、 第一弁部材 5 の第一ダイヤフラム 2 7を透過した と しても、 給気孔 1 4から排気孔 1 5への空気の流れに乗って排出 され、 空隙 1 6内部に滞留することが防止される。 従って、 パネ 2 4の腐食が防止され、 腐食を防ぐためのコ ーティ ングなどをパネ行 う必要が無く、 パネの製造費が低減される。 加えて、 コーティ ング によるパネ定数の変化も起こらないため、 パネの個体差を小さく保 つことができ、 歩留まりを向上させることができる。

さらに、 第一の弁室 3 1 内の流体圧力による上向きの力、 第一ダ ィャフラム 2 7が空隙 1 6内部の圧力による下向きの力、 及び、 パ ネ 2 4の反発力による上向きの力は、 第一弁部材 5の軸部 2 8 と ピ ス トン 4のビス トン軸 2 2によって支えられ相殺されているため、 弁体 3 2 の直径を小さく してもロ ッ ド 3 5や第四接合部 3 4は変形 したり座屈することがなく、 流体制御弁の耐久性を向上させること ができる。

本発明によれば、 流体制御弁は以上説明したよ うな構造をしてお り、 これを使用することで以下の優れた効果を奏する。

( 1 ) 空隙内部の圧縮空気を常に排出しているため、 ダイヤフラ ムを透過した腐食性気体によってパネが腐食されることがなく、 コ 一ティングなどの対策が不要となり、 流体制御弁の製造費を低減で きる。

( 2 ) パネのコーティ ングが不要なため、 パネの個体差が小さく でき、 歩留まりが向上できる。

( 3 ) ロッ ドゃ第四接合部の変形、 座屈が起こらないため、 耐久 性を向上させることが出来る。

( 4 ) 接液する部材は全て P T F E等の耐薬品性に優れた材質を 用いるこ とができるため、 その場合は不純物の溶出や薬液の汚染が 極めて少ない。

( 5 ) コンパク トな構造でありかつ、 安定した流体圧力制御が得 られる。

Claims

請 求 の 範 囲

1. 流体制御弁において、

下部中央に底部まで開放して設けられた第二の空隙 （ 8 ) 、 第二 の空隙 （ 8 ) に連通する入口流路 （ 9 ) 、 上部に上面が開放して設 けられ第二の空隙 （ 8 ) の径より も大きい径を持つ第一の空隙 （ 1 0 ) 、 第一の空隙 （ 1 0 ) に連通する出口流路 （ 1 1 ) 、 第一の空 隙 （ 1 0 ) と第二の空隙 （ 8 ) とを連通し第一の空隙 （ 1 0 ) の径 よ りも小さい径を有する連通孔 （ 1 2 ) を有し、 第二の空隙 （ 8 ) の上面が弁座 （ 1 3 ) を形成する本体 （ 1 ) と、

給気孔 （ 1 4 ) と排気孔 （ 1 5 ) とに連通した円筒状の空隙 （ 1 6 ) を内部に有し、 下端内周面に段差部 （ 1 7) が設けられたボン ネッ ト （ 2 ) と、

ボンネッ ト （ 2 ) の段差部 （ 1 7 ) に嵌挿され中央部に貫通孔 （ 1 8 ) を有するパネ受承部 （ 3 ) と、

下端部にパネ受承部 （ 3 ) の貫通孔 （ 1 8 ) よ り小径の第一接合 部 （ 2 3 ) を有し、 上部に鍔部 （ 2 1 ) が設けられボンネッ ト （ 2 ) の空隙 （ 1 6 ) 内部に上下動可能に嵌揷されたビス トン （ 4) と ピス トン （ 4 ) の鍔部 （ 2 1 ) 下端面とバネ受承部 （ 3 ) の上端 面で挟持支承されているパネ （ 2 4 ) と、

周縁部が本体 （ 1 ) とパネ受承部 （ 3 ) との間で挟持固定され、 本体 （ 1 ) の第一の空隙 （ 1 ◦ ) に盖する形で第一の弁室 （ 3 1 ) を形成する中央部が肉厚とされた第一ダイヤフラム （ 2 7 ) と、 上面中央にピス トン （ 4) の第一接合部 （ 2 3 ) およびパネ受承 部 （ 3 ) の貫通孔 （ 1 8 ) を貫通して接合固定される第二接合部 （ 2 9 ) 、 および、 下面中央に本体 （ 1 ) の連通孔 （ 1 2 ) と同軸に 設けられた第三接合部 （ 3 0 ) を有する第一弁部材 （ 5 ) と、 本体 （ 1 ) の第二の空隙 （ 8 ) 内部に位置し、 本体 （ 1 ) の連通 孔 （ 1 2 ) よ り大径に設けられた弁体 （ 3 2 ) 、 弁体 （ 3 2 ) 上端 面に突出して設けられ第一弁部材 （ 5 ) の第三接合部 （ 3 0 ) と接 合固定される第四接合部 （ 3 4) 、 弁体 （ 3 2 ) 下端面より突出し て設けられたロッ ド （ 3 5 ) 、 ロッ ド （ 3 5 ) 下端面よ り径方向に 延出して設けられた第二ダイヤフラム （ 3 7 ) を有する第二弁部材 ( 6 ) と、

'本体 （ 1 ) の下方に位置し第二弁部材 （ 6 ) の第二ダイヤフラム ( 3 7 ) の周縁部を本体 （ 1 ) との間で狭持固定する突出部 （ 4 0

) を上部中央に有し、 突出部 （ 4 0 ) の上端部に凹部 （ 4 1 ) が設 けられると共に、 凹部 （ 4 1 ) に連通する呼吸孔 （ 4 2 ) が設けら れているベースプレート （ 7 ) とを具備し、

ピス ト ン （ 4) の上下動に伴って第二弁部材 （ 6 ) の弁体 （ 3 2

) と本体 （ 1 ) の弁座 （ 1 3 ) とによって形成される流体制御部 （

3 9 ) の開口面積が変化するよ うにした流体制御弁。

2. 本体 （ 1 ) 、 第一弁部材 （ 5 ) および第二弁部材 （ 6 ) の材 質がポリテ トラフルォロエチレンであることを特徴とする請求項 1 に記載の流体制御弁。