明 細 書
カ ラーフ ィ ルタ ー並びにその材料及び樹脂 技 術 分 野
本発明は、 アルカ リ現像型感光性若し く は熱硬化性力 ラーフ ィ ルター用材料及びそれを用いて作製したカ ラー フ ィ ルタ ー、 並びに、 このカラーフ ィ ルタ ー用材料を製 造するためのアル力 リ現像型感光性若し く は熱硬化性樹 脂組成物及びこれに用いる光重合又は熱重合が共に可能 な重合性不飽和化合物に関する ものである。
そ して、 カラーフ ィ ルタ ー用材料はカラー液晶表示装 置、 カ ラ ーフ ァ ク シ ミ リ 、 イ メ ー ジセ ンサー等の各種の 多色表示体や光学機器等に使用されるカラーフ ィ ルタ ー 作製時のイ ンク と して使用でき、 また、 これを用いて製 造される カ ラ ーフ ィ ルタ 一はテ レ ビ、 ビデオモニタ ーあ る いはコ ン ピュ ータ 一等のディ スプレー等のフ ィ ルタ ー と して利用でき、 更に、 この樹脂組成物は上記カラーフ ィ ルタ ー用イ ンク を始めと して、 カ ラ ーフ ィ ルタ ーの保 護膜やプリ ン ト配線基板製造時のソルダー レジス ト等と して使用でき、 また、 重合性不飽和化合物は このよ う な 樹脂組成物を調製するために使用される ものである。
背 景 技 術
従来のカ ラ ーフ イ ノレタ ーについてみる と 、 光の透過量 あるいは反射量を制御する液晶とカ ラーフ ィ ルターを構 成要素とするカラー液晶表示装置においては、 主と して 、 染色法や印刷法等によ り赤、 緑、 青の画素及びブラ ッ クマ ト リ ッ ク スをガラ ス基板上に形成したものが使用さ
6 れている。 特に高精細度の画像が要求される ものにおい ては、 染色法で作製されたカラーフ ィ ルターが主流とな つている。
この染色法によるカラーフ ィ ルタ一は、 ガラ ス基板上 にブラ ッ クマ ト リ ッ クスを形成した後、 ゼラチン等の天 然感光樹脂やァ ミ ン変性ポ リ ビニルアルコ ール等の感光 性合成樹脂に重ク ロム酸を加えて感光化した感光液を塗 布し、 フ ォ トマスクを通じて露光し現像してパターニ ン グし、 若し く は、 マスキング材コー トを利用 し、 酸性染 色等の染料で染色して作製するが、 先に染色した色と次 に染色する色との混色を防止するために着色不要な部分 に防染処理を施さねばならず、 製造工程が複雑になる と いう欠点がある。 また、 塗膜の物性には耐光性、 耐熱性 、 耐湿性等の信頼性に問題がある (特公平 1 - 52, 738号公 報) 。
また、 印刷法による ものは、 熱硬化性樹脂又は紫外線 硬化性樹脂に顔料を分散させたィ ンクを用いて作製する が、 印刷時に 3 色のフ ィ ルタ ーパター ンの位置合わせを 正確に行わなければな らず、 この際に困難が伴い、 高精 細度のパター ンの作成及び表面平滑性に問題が生じる ( 特開昭 6 2 - 54, 7 74号公報、 特開昭 6 3 - 1 2 9, 3 03号公報) 。
更に、 特開平 1 - 1 52, 449号公報においては、 感光性樹 fl旨と してべン ジルメ タ ク リ レー ト * メ タ ク リ ル酸共重合 物を用い、 これに顔料を分散したものが開示されている 。 この感光性塗料を用いれば、 露光された部分の塗膜が そのままカラーフ ィ ルタ一を構成する こ とになる。 と こ
ろが、 この感光性塗料は、 酸素の存在下では硬化反応が 不十分になり解像度や感度が低下する。 このため、 露光 前に酸素遮断膜を形成し.、 現像前に酸素遮断膜を剥離す る という複雑な工程が必要になり、 更に、 得られたもの の耐熱性及び現像性に問題があった。
このよ う に、 従来の印刷法、 染色法又は顔料分散法で 作製されたカラーフ ィ ルタ一は、 解像度が低かったり、 製造工程が複雑である等の問題を有している。
また、 カラーフ ィ ルタ ーの保護膜やプ リ ン ト配線基板 の レ ジス ト ノ ター ンの形成法と しては、 主と してスク リ ーン印刷法が多用されているが、 かかるスク リ ーン印刷 法による と きは、 多く の場合、 印刷時のブ リ ー ド、 に じ み、 あるいはダレといった現象が発生し、 これがために 最近のプリ ン ト配線基板の高密度化に対応しきれな く な つてきている。
この問題点を解決するために、 ドライ フ ィ ルム型のフ ォ ト レ ジス トゃ液状の現像可能な レ ジス トイ ンキ も提案 されているが、 ドラ イ フ ィ ルム型のフ ォ ト レ ジス ト の場 合には、 熱圧着の際に気泡を生じ易く 、 耐熱性や密着性 にも不安があり、 また、 高価格である等の問題がある。
一方、 液状レ ジス トでは、 プレキュア一後にタ ッ クが あり、 解像度のア ップ及びテー パ ー付けが有利となる密 着露光の操作がマスクの汚れの原因となって適用できな いという問題がある。 そ して、 現在市販されている もの は、 有機溶剤を現像液と して使用 しているため、 大気汚 染の問題があり 、 また、 溶剤が高価である。 例えば、 特
開昭 6 1 - 24 3, 8 69号公報には、 フ ヱ ノ ールノ ボラ ッ ク樹脂 を主成分とする弱アル力 リ水溶液で現像可能な感光性樹 脂組成物が開示されているが、 高温、 酸性及びアル力 リ の条件に十分耐え得る ものでな く 、 処理後、 基板との密 着性が低下する という問題があった。
更に、 特開平 4 - 355, 450号公報ゃ特開平 4 - 3 63 , 3 1 1号 公報には、 所定のエポキシ化合物と (メ タ) アク リ ル酸 との反応物に多塩基性カルボン酸又はその無水物を反応 させて得られる不飽和基含有カルボン酸化合物を主成分 と し、 ソ ルダー レジス ト用材料と して、 あるいは、 カ ラ 一フ ィ ルタ ー用材料と して用いられる樹脂組成物及びそ の硬化物が提案されている。 しかしながら、 これらの樹 脂組成物においても、 プレキュア一後にタ ッ クがあって 密着露光の操作を適用できないという問題がある。
本発明者らは、 このよ うな問題を解決すべく 鋭意研究 を重ねた結果、 カルボキ シル基と光重合性若し く は熱重 合性の不飽和結合とを有する新規な重合性不飽和化合物 を合成し こ の重合性不飽和化合物を用いて、 これにェ ポキシ化合物と、 光重合開始剤又は増感剤あるいはラ ジ カル重合開始剤と、 必要によ り添加される顔料とを所定 の割合で配合して得られるカ ラーフ ィ ルター用材料を用 いる こ とによ り、 上述したカ ラーフ ィ ノレ夕一やソルダー レ ジス ト等に関する種々の問題を解決でき る こ とを見出 し、 本発明を完成した。
従っ て、 本発明の目的は、 酸素遮断膜を用いる こ とな く カ ラーフ ィ ルタ ーを作製する こ と ができ 、 しかも、 解
像度の高く 、 かつ、 光照射後の耐熱性 ( 2 5 0 °C以上) 、 透明性、 密着性、 硬度、 耐溶剤性、 耐アルカ リ性等に 優れており、 弱アル力 リ水溶液で現像可能なアル力 リ現 像型感光性の若し く は熱硬化性のカラーフ ィ ルター用材 料を提供する こ とにある。
また、 本発明の他の目的は、 このよ うなカ ラーフ ィ ル ター用材料を用いて作製されるカラーフ ィ ルターを提供 する こ とにある。
更に、 本発明の目的は、 特に、 テレビ、 ビデオモニタ 一あるいはコ ンピューター等のディ スプレー等と して用 いられるカラーフ イ ノレターの製造に適したカ ラーフ ィ ル ター用材料及びこれを用いたカラーフ ィ ルターを提供す る とにあ ο
そ して、 本発明の他の目的は、 先ずプレキュア一後に は塗膜がタ ッ ク フ リ ーとなり、 密着露光が可能で光照射 後における耐熱性、 透明性、 密着性、 硬度、 耐溶剤性、 耐ァルカ リ性等に優れた樹脂組成物及びこれから得られ る硬化物を提供する こ とにある。
また、 本発明の他の目的は、 特に、 カラーフ ィ ルター の保護膜あるいはプリ ン ト配線板製造の際にソルダー レ ジス ト等の製造に適した樹脂組成物及びこれから得られ る硬化物を提供する こ とにある。
更に、 本発明の他の目的は、 上述したカ ラーフ ィ ルタ 一用材料や樹脂組成物及びその硬化物を製造するために 用いられる新規な光重合及び熱重合が共に可能な重合性 不飽和化合物を提供する こ とにある。
発 明 の 開 示
すなわち、 本発明は、 ( A ) 下記一般式 ( 1 ) 及び ( 2 )
〔但し、 式中、 R , 及び R 2 は水素原子、 炭素数 1 〜 5 のアルキル基又はハロゲン原子の何れかを示し、 R 3 は 水素原子又はメ チル基を示し、 Xは- CO-、 - S02- 、 -C(C F3)2- 、 - Si(CH3)2-、 - CH2- 、 -C(CH3)2- 、 -0- 又は
若し く は不存在を示し、 Yは酸無水物の残基を示し、 Z は酸二無水物の残基を示し、 構造単位のモル比 (m_ n ) は 0 ノ 1 0 0 〜 1 0 0 0 の割合である〕 で表される 単位構造を主とする化合物からなり、 当該化合物の 0 . 5 gを N-メ チルピロ リ ドン 1 0 0 に溶解した溶液を 3
0 °Cで測定したイ ンへ レ ン ト粘度 (?7 i
n h ) 力 0 . 1 di ノ g以上である光重合及び熱重合が共に可能な重合性不 飽和化合物 (以下、 A成分という) 1 0 0 重量部に対し て、
( B ) エポキシ基を有する化合物 (以下、 B成分という ) 5 〜 5 0 重量部と、
( C ) 光重合開始剤、 増感剤若し く はラ ジカ ル重合開始 剤 (以下、 C成分という) 0 . 1 〜 3 0 重量部と、
( D ) 顔料 (以下、 D成分という) 0 〜 2 0 0 重量部と を配合してなるカラーフ ィ ルター用材料である。
また、 本発明は、 透明基板上にこのよ うなカラーフ ィ ルター用材料を被覆し硬化させて赤、 青、 緑の画素とブ ラ ッ クマ ト リ ッ クスとを設け、 更にその表面上に透明電 極層を設けたカラーフ ィ ルターである。
更に、 本発明は、 上記 A成分 1 0 0重量部に対して、 B成分 5 〜 5 0 重量部と、 C成分 0 . 1 〜 3 0重量部と 、 D成分 0 〜 2 0 0 重量部とを配合してなる樹脂組成物 及びこれを硬化して得られた硬化物である。
そ して、 本発明は、 上述したカ ラーフ ィ ルタ一用材料 、 これを用いて作製されるカラーフ ィ ルター、 並びに、 上記カラーフ ィ ルタ ー用材料やソ ルダー レ ジ ス ト材料と して用い られる樹脂組成物及びその硬化物を調製するの に用い られる上記一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) で表される単 位構造を主とする重合性不飽和化合物である。
本発明において、 一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) の単位構造 を主とする光重合及び熱重合が共に可能な重合性不飽和
化合物と して、 特に好ま しいのは、 下記一般式 ( 3 )
〔但し、 式中、 、 R 2 、 X、 Y及び Z は上記と同 じ であり、 構造単位のモル比 (mZ n ) は 1 ノ 9 9〜 9 0 / 1 0 の割合である〕 で表される単位構造を主とする重 合性不飽和化合物である。 なお、 こ こで、 「主とする」 とは、 5 0重量%以上、 好ま し く は 7 0重量%以上を占 めている こ とをいう。
以下、 本発明の内容を詳細に説明する。
本発明において、 上記重合性不飽和化合物 (A成分) を構成する一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) で表される単位構造 において、 X と して -C0-を含むビスフ ヱ ノ ール成分の具 体例と しては、 ビス ( 4-ヒ ド ロ キ シ フ ヱ ニル) ケ ト ン、 ビス ( 4-ヒ ド ロ キ シ 一 3, 5-ジ メ チノレフ エ ニル) ケ ト ン、 ビス ( 4-ヒ ド ロ キ シ 一 3, 5-ジ ク ロ ロ フ エ ニル) ケ ト ン等 を挙げる こ とができ る。 また、 Xと して - S02- を含むも の と しては、 ビス ( 4 -ヒ ド ロ キ ン フ エ ニル) スルホ ン、
ビス ( 4_ヒ ドロキシ一 3, 5-ジメ チルフ エニル) スルホ ン 、 ビス ( 4-ヒ ドロキシー 3, 5-ジ ク ロ ロフ エニル) スルホ ン等を挙げる こ とができ る。 また、 Xと して- C(CF3)2 - を含むもの と しては、 ビス ( 4-ヒ ドロキ シフ ヱニル) へ キサフルォロプロ ノ、。ン、 ビス ( 4-ヒ ドロキシ一 3, 5-ジメ チルフ ヱニル) へキサフルォロプロパ ン、 ビス (4 -ヒ ド 口キシ一 3, 5-ジ ク ロ ロ フ ヱニル) へキサフ ルォロ プロパ ン等を挙げる こ とができ る。 また、 Xと して- Si(CH3)2- を含むもの と しては、 ビス ( 4-ヒ ドロキ シフ ヱニル) ジ メ チルンラ ン、 ビス ( 4-ヒ ドロキ シ一 3, 5-ジメ チルフ ヱ ニル) ジメ チルシラ ン、 ビス ( 4-ヒ ドロキ シ一 3, 5-ジ ク ロ ロ フ ヱニル) ジメ チルシラ ン等を挙げる こ とができ る 。 また、 Xと して- CH2- を含むものと しては、 ビス (4- ヒ ドロキシフ エニル) メ タ ン、 ビス ( 4-ヒ ドロキシ一 3, 5-ジ ク ロ ロ フ エニル) メ タ ン、 ビス ( 4-ヒ ドロキ シ一 3, 5-ジブ口モフ ヱニル) メ タ ン等を挙げる こ とができ る。 また、 Xと して- C(CH3)2- を含むものと しては、 2, 2 -ビ ス (4-ヒ ドロキンフ エニル) プロパン、 2, 2-ビス (4-ヒ ドロキシ一 3, 5-ジメ チルフ ヱニル) プロパン、 2, 2-ビス ( 4 -ヒ ドロキ シ一 3, 5 -ジ ク ロ ロ フ エニル) プロ ノ、。 ン、 2, 2 -ビス ( 4-ヒ ドロキ シ一 3-メ チルフ エニル) プロ ノ、。 ン、 2, 2-ビス ( 4-ヒ ド ロキ シ一 3-ク ロ ロ フ ヱニル) プロ ノく ン 等を挙げる こ とができる。 また、 Xと して- 0- を含むも の と しては、 ビス ( 4-ヒ ドロキ シフ エニル) エーテル、 ビス ( 4-ヒ ドロキシ一 3, 5-ジメ チルフ エニル) エーテル 、 ビス ( 4-ヒ ドロキ シ一 3, 5-ジ ク ロ ロ フ ヱ二ノレエーテル
等を挙げる こ とができ る。 ま た、 X と して
を含むもの と しては、 9, 9-ビス ( 4-ヒ ドロキ シフ ヱニル ) フルオ レ ン、 9, 9-ビス ( 4-ヒ ドロキ シ一 3-メ チルフ エ ニル) フルオ レ ン、 9, 9-ビス ( 4-ヒ ドロキシー 3-ク ロ 口 フ エニル) フルオ レ ン、 9,_ 9-ビス ( 4-ヒ ドロキ シー 3-ブ ロモフ エニル) フルオ レ ン、 9, 9 -ビス (4 -ヒ ドロキ シ一 3 -フルオロ フ ェニル) フルオ レ ン、 9, 9 -ビス (4 -ヒ ドロ キシ一 3-メ トキ シフ エ二ル) フルオ レ ン、 9, 9-ビス (4- ヒ ドロキシ一 3, 5-ジメ チルフ エニル) フルオ レ ン、 9, 9- ビス ( 4-ヒ ドロキシ一 3, 5-ジ ク ロ ロ フ エニル) フノレオ レ ン、 9, 9-ビス ( 4-ヒ ドロキシー 3, 5-ジブ口モフ ヱニル) フルオ レ ン等を挙げる こ とができ る。 また、 Xが不存在 の もの と しては、 4, 4, -ビフ エ ノ ール、 3, 3, -ビフ エ ノ 一ル等を挙げる こ とができ る。
また、 上記一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) 中の Y及び Z につ いては、 Yは酸無水物の残基を示し、 また、 Z は酸二無 水物の残基を示す。 かかる残基 Yを導入し得る酸無水物 化合物と しては、 例えば、 無水マ レイ ン酸、 無水コハ ク 酸、 無水ィ タ コ ン酸、 無水フ タル酸、 無水テ ト ラ ヒ ドロ フ タル酸、 無水へキサ ヒ ドロ フ タ ル酸、 無水メ チルェ ン ドメ チ レ ンテ ト ラ ヒ ドロ フ タル酸、 無水ク ロ レ ン ド酸、 メ チルテ ト ラ ヒ ドロ無水フ タ ル酸等が挙げられ、 ま た、
残基 zを導入し得る酸二無水物化合物と しては、 例えば
、 無水ピロメ リ ッ ト酸、 ベンゾフ ヱ ノ ンテ ト ラカルボン 酸二無水物、 ビフ ヱニルテ ト ラカルボ ン酸二無水物、 ビ フ エニルエーテルテ ト ラカルボン酸二無水物等の芳香族 多価カルボン酸無水物が挙げられる。 また、 及び R 2 は水素原子、 炭素数 1 〜 5 のアルキル基又はハロ ゲ ン 原子の何れかであって、 R 3 は水素原子又はメ チル基で あり、 好ま し く は R , 〜 R 3 が水素原子である。
上記一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) で表される単位構造を有 する A成分は、 必ずし も上述したものに限定される もの ではな く 、 また、 これらはその 1 種のみを単独で使用で きるほか、 2種以上の混合物と しても使用する こ とがで きる。
A成分の重合性不飽和化合物は、 次のよ う に して製造 する こ とができる。 例えば、 先ず、 下記一般式 ( 4 ) で 表される ビスフ ヱ ノ ールフルオ レ ンから合成された ビス フ ヱ ノ ールフルオレン型エポキシ化合物と、 下記一般式 ( 5 ) で表される (メ タ) ァク リ ル酸とを反応させる こ とによ り、 下記一般'式 ( 6 ) で表される ビスフ ヱ ノ ール フルオ レ ン型エポキシァク リ レー ト樹脂を合成し、 次い で、 前記の酸無水物と、 ェチルセ口 ソ ルブアセテー ト、 ブチルセ口 ソルブァセテ一 ト等のセロ ソルブ系溶媒中で 加熱し、 反応させる こ とによ り製造される。 反応温度と しては、 酸無水物がエポキシァク リ レー ト樹脂の 0 H基 1 モル当り 1 2 モルとなるよ う に定量的に反応する こ とが望ま し く 、 1 0 0 〜 1 3 0 °C、 好ま し く は 1 1 5 〜
1 2 5 °Cである。 この反応については、 一般式 ( 1 ) 及 び ( 2 ) の単位構造を有する重合性不飽和化合物全体に ついて同様である。 一般式( 4 )
R,
ヽ
ノ C-C-C00H 一般式( 6 )
〔但し、 一般式 (4) 〜 (6) において、 Rt 〜R8 は
上記一般式(1)〜 (3) で定義されたものと同じで
ある。 〕 一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) において、 Yは酸無水物の残 基を示し、 また、 Z は酸二無水物の残基を示すが、 合成 時にはこれら酸無水物及び酸二無水物の混合物を上記一
/JP93/00536 般式 ( 6 ) の ビスフ ヱ ノ ールフルオ レ ン 'エポキ シァ ク リ レー ト と反応させる こ とが望ま しい。 そ して、 この際 に使用される酸無水物と酸二無水物の使用割合は如何な る割合でもよ く 、 酸無水物 (m) と酸二無水物 ( n ) の モル比 (mZ n ) で 0 1 0 0〜 1 0 0 0 、 好ま し く は 1 ノ 9 9 〜 9 0 / 1 0 、 よ り好ま し く は 5 9 5 〜 8 0 Z 2 0 である。 mの割合が 1 モル%以上である と全体 のカルボキシル基 (一 C 00 H ) の量が多 く なり過ぎる こ とがな く 、 耐アルカ リ性が維持され、 露光部が現像溶 液であるアルカ リ水溶液に溶出する こ と もな く 、 目的の パターニ ングが好適に得らる。 また、 mが 9 0 %未満で ある とアルカ リ現像性が低下もな く 、 パターニ ングが容 易となる。
そ して、 この一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) の単位構造を主 とする光重合及び熱重合が共に可能な重合性不飽和化合 物と して、 特に好ま しいのは、 下記一般式 ( 3 )
〔但 し、 式中、 R , 、 R 2 、 X、 Y及び Z は上記と 同 じ であ り 、 構造単位のモル比 (m / n ) は 1 9 9〜 9 0 / 1 ひ の割合である〕 で表される単位構造を主とする重 合性不飽和化合物である。 こ の単位構造を有する こ と に よ り 、 プ レキュ ア一後のタ ッ クが解消 し、 密着露光の操 作を適用する こ とがよ り確実に可能となる。 ま た、 ボス トキユ ア一後の硬化膜について も、 優れた耐熱性が生 じ 、 2 5 0 °Cと い う 高温でも I T 0のスパ ッ 夕が可能にな また、 重合性不飽和化合物の分子量については、 こ の 化合物 0 . 5 g を N-メ チルピロ リ ド ン 1 0 0 に溶解 し た溶液を 3 0 °Cで測定したイ ンへ レ ン ト粘度 " ) 力《 0 . 1 W Z g以上、 好ま し く は 0 . 1 5 Wノ g以上で ある。 0 . l Z g未満では、 分子量が低すぎてプレキ ユ ア一 (塗膜乾燥) 後のタ ッ ク性に問題が生 じ、 密着露 光ができ な く な り 、 マス ク の汚れ等の原因と なる。
次に、 エポキ シ基を有する化合物 ( B成分) と しては 、 例えば、 フ ヱ ノ ールノ ボラ ッ ク型エポキ シ樹脂、 ク レ ゾールノ ボラ ッ ク型エポキシ樹脂、 ビスフ ヱ ノ ール A型 エポキ シ樹脂、 ビスフ ヱ ノ ール F型エポキ シ樹脂、 ビス フ エ ノ ール S型エポキ シ樹脂、 ビフ ヱニル型エポキ シ樹 脂、 ビスフ ヱ ノ ールフルオ レ ン型エポキ シ樹脂、 脂環式 エポキ シ樹脂等のエポキ シ樹脂や、 フ ヱニルグ リ シ ジル エーテル、 p -ブチルフ エ ノ ーノレグ リ シ ジノレエーテル、 ト リ グ リ シ ジルイ ソ シァ ヌ レー ト 、 ジグ リ シ ジノレイ ソ シァ ヌ レー ト、 ァ リ ルグ リ シ ジルエーテル、 グ リ シ ジルメ タ
ク リ レー ト等のエポキシ基を少な く と も 1 個有する化合 物等が挙げられる。
更に、 本発明で使用する光重合開始剤、 増感剤若 し く はラ ジカル重合開始剤 ( C成分) は、 A成分ばかり でな く 、 必要に応 じて配合される重合性の (メ タ) ア ク リ ル モノ マーや (メ タ) ア ク リ ルオ リ ゴマーの重合開始剤と して用い られる ものである。
このよ う な 目的で使用される C成分の光重合開始剤と しては、 例えば、 ァセ ト フ エ ノ ン、 2, 2 -ジェ ト キシァセ ト フ エ ノ ン、 P -ジメ チルァセ ト フ エ ノ ン、 P -ジメ チルァ ミ ノ プロ ピオフ エ ノ ン、 ジ ク ロ ロ アセ ト フ エ ノ ン、 ト リ ク ロ ロ アセ ト フ エ ノ ン、 p - t e r t -ブチルァセ ト フ エ ノ ン 等のァセ ト フ ヱ ノ ン類や、 ベンゾフ ヱ ノ ン、 2 -ク ロ 口べ ンゾフ エ ノ ン、 p, p' -ビスジメ チルァ ミ ノ べンゾフ エ ノ ン等のベンゾフ ヱ ノ ン類や、 ベンジル、 ベンゾイ ン、 ベ ンゾィ ンメ チルエーテル、 ベンゾィ ンィ ソプロ ピルエー テル、 ベ ンゾィ ンィ ソ ブチルエーテル等のベ ンゾィ ンェ ,テル類や、 ベンジルジメ チルケタ ール、 チォキサ ン ソ ン、 2 _ク ロ 口 チォキサ ンソ ン、 2, 4 -ジェチルチオキサ ン ソ ン、 2 -メ チルチオキサン ソ ン、 2 -イ ソプロ ピルチォキ サ ンソ ン等のィ ォゥ化合物や、 2 -ェチルア ン ト ラ キノ ン 、 ォク タ メ チルア ン ト ラ キノ ン、 1, 2 -ベンズア ン ト ラ キ ノ ン、 2, 3 -ジフ ヱ二ルア ン ト ラ キノ ン等のア ン ト ラ キノ ン類や、 ァ ゾビスイ ソ ブチル二 ト リ ル、 ベンゾィ ルパ一 ォキサイ ド、 ク メ ンパーォキシ ド等の有機過酸化物や、 2 -メ ルカプ トべンゾイ ミ ダゾール、 2 -メ ゾレカ プ トべンゾ
ォキサゾール、 2 -メ ルカプ トべンゾチアゾ一ル等のチォ ール化合物等を挙げる こ とができる。 これらの化合物は 、 その 1 種を単独で使用 してもよ く 、 また、 2種以上を 組み合わせて使用する こ と もできる。
また、 増感剤は、 それ自体では光重合開始剤と して作 用せず、 通常は上記の光重合開始剤と組み合わせて用い る こ とによ り この光重合開始剤の能力を増大させ得る も のであるが、 本発明においては、 上記光重合開始剤と共 に使用でき るほか、 こ の增感剤を単独で使用する こ と も できる。 このよ う な増感剤と しては、 例えば、 ベンゾフ エ ノ ンと組み合わせて使用する と効果のある ト リ エタ ノ ールア ミ ン等の第三級ア ミ ンを挙げる こ とができ る。
更に、 本発明で使用するラジカル重合開始剤と しては 、 公知の過酸化物系開始剤ゃァゾビス系開始剤を使用す る こ とができる。 こ こで、 過酸化物系開始剤の具体例と しては、 メ チルェチルケ ト ンパーオキサイ ド、 メ チルイ ソブチルケ ト ンパーォキサイ ド、 シク ロへキサノ ンパー ォキサイ ド、 メ チルシク ロへキサノ ンケ ト ンパーォキサ ィ ド、 ァセチルアセ ト ンパ"ォキサイ ド等のケ ト ンパー ォキサイ ド系の ものや、 イ ソブチルバ一ォキサイ ド、 2, 4 -ジク ロ 口べンゾィノレノヽ。ーォキサイ ド、 0 -メ チルベンゾ ィルパーオキサイ ド、 ビス- 3, 5, 5 -ト リ メ チルへキサノ ィルパ一ォキサイ ド等のジァシルパ一ォキサイ ド系の も のや、 2, 4, 4—ト リ メ チノレペンチノレ—2 -ノヽィ ドロ ノくーォキ サイ ド、 ジイ ソプロ ピルベンゼンノヽィ ドロ ノ、0 —ォキサイ ド、 ク メ ンハイ ドロパ一ォキサイ ド、 t -ブチルハイ ドロ
ノ、。 —ォキサイ ド等のノヽィ ドロパ ーォキサイ ド系の ものや 、 ジク ミ ノレパーオキサイ ド、 2, 5-ジメ チノレ- 2, 5-ジ ( t- ブチルパーォキシ) へキサ ン、 1, 3-ビス ( t-プチルォキ シイ ソプロ ピル) ベンゼン、 t -ブチルク ミ ルパ一ォキサ ィ ド等の ジアルキルパーォキサイ ド系の ものや、 1, 1 -ジ -t-プチルパ一ォキシ -3, 3, 5- ト リ メ チルシ ク ロへキサ ン、 2, 2-ジ -(いブチルパーォキ シ)-ブタ ン、 4, 4-ジ -t- ブチルパーォキ シ吉草酸- n -ブチルエステル等のバーオ キシケタ ール系の ものや、 2, 4, 4- ト リ メ チルペンチルバ 一ォキシ -フ エ ノ キ シアセテー ト 、 α -ク ミ ルパーォキ シネオデカ ノ エ ー ト、 t -ブチルパーォキ シベンゾェ一 ト 、 ジ - 1 -ブチルパーォキシ ト リ メ チルア ジぺー ト等のァ ルキルノ、° ~エステル系の ものや、 ジ -3-メ ト キシブチル ノ ーォキシ ジカーボネー ト、 ジ - 2 -ェチルへキシルノヽ0 — ォキシ ジカ ーボネー ト 、 ビス( 4- 1 -ブチルン ク ロへキ シ ル) ノ 一才キ シジカ ーボネー ト 、 ジイ ソプロ ピルパ一ォ キ シ ジカ ーボネー ト等のパーカ ーボネー ト系の ものや、 その他のァセチルシ 久口へキンルスルフ ォニルパーォキ サイ ド、 t -ブチルパーォキシァ リ ルカ ーボネー ト等の も のが挙げられる。 ま た、 ァ ゾビス系開始剤の具体例と し ては、 1, Γ -ァゾビス シ ク ロへキサ ン - 1 -カノレボニ ト リ ル、 2, 2' -ァ ゾビス -( 2, 4 -ジメ チノレバ レロニ ト リ ノレ) 、 2, 2-ァ ゾビス - (メ チルイ ソ ブチ レー ト ) 、 2, 2' -ァ ゾビ ス -(4-メ ト キシ -2, 4-ジメ チルバ レロニ ト リ ル) 、 α, α ' -ァ ゾビス - (イ ソ ブチロニ ト リ ル) 、 4, 4' -ァ ゾビス -( 4-シァ ノ バ レイ ン酸) 等を挙げる こ とができ る。
これらのラ ジカル重合開始剤は、 その何れかを単独で 用いる こ とができるほか、 2種以上の混合物と しても使 用する こ とができ、 また、 上記光重合開始剤ゃ增感剤と 共に併用する こ と もできる。
本発明のカラーフ ィ ルター用材料と しては、 例えばそ れがカラーフ ィ ルタ ー用保護膜である場合には上記 A成 分、 B成分及び C成分で構成したものでよいが、 カラー フ ィ ルタ ー用イ ンクである場合には、 上記 A成分、 B成 分及び C成分に加えて、 塗膜を着色するための顔料 ( D 成分) が用い られる。 こ こで用いる顔料には有機顔料と 無機顔料がある。 この有機顔料の具体例と しては、 例え ば、 ァゾレーキ系、 不溶性ァゾ系、 フ タ ロ シアニ ン系、 キナク ド リ ン系、 ジォキサジ ン系、 イ ソ イ ン ド リ ノ ン系 、 ベリ ノ ン系、 ア ン ト ラキノ ン系、 ペリ レン系等の もの 及びこれらの混合物が挙げられる。 また、 無機顔料の具 体例と しては、 例えば、 ミ ロ リ ブルー、 酸化鉄、 コバル ト系、 マ ンガン系、 群青、 紺青、 コバル ト ブルー、 セル リ ア ンブル一、 ピ リ ジア ン、 ェメ ラ ノレ ドグ リ ー ン、 コ ル ト グリ ー ン及びこれらの混合物が挙げられる。 これら の顔料については、 塗膜の透明性を維持しつつ塗膜を着 色するために、 可視光の波長の下限である 0 . 以 下の粒子径に分散される こ とが好ま し く 、 実用上よ り好 ま し く は 0 . 2〜 0 . 3 〃 mの平均粒子径を有する もの ある。
本発明のカ ラーフ ィ ルタ ー用材料は、 上記 A成分、 B 成分、 C成分及び D成分からなる ものであり、 その配合
割合は、 A成分 1 0 0 重量部に対して、 それぞれ B成分 力 5 〜 5 0重量部、 好ま し く は 1 0 〜 3 0重量部であり 、 また、 C成分が 0 . 1 〜 3 0 重量部、 好ま し く は 1 〜 2 0重量部であり、 そ して、 D成分が 0 〜 2 0 0 重量部 であり、 カラーフ ィ ルター用イ ンクの場合には上記 D成 分が 1 0 〜 2 0 0重量部である。 A成分 1 0 0重量部に 対する B成分の配合割合が 5 重量部未満である と、 本発 明のイ ンク中の樹脂成分の硬化後の特性、 特に耐ァルカ リ性が不十分となり、 反対に、 5 0 重量部を超える と、 硬化時に割れが起こ り、 密着性も低下し易く なる。 また 、 A成分 1 0 0 重量部に対する C成分の配合割合が 0 . 1 重量部未満であると、 重合の速度が遅く なつて、 感度 が低下し、 反対に、 3 0重量部を超えると、 光が基板ま で達し難いため、 基板と樹脂との密着性が悪く なる。 更 に、 カラーフ ィ ルタ ー用イ ンクの場合に配合される D成 分が A成分 1 0 0重量部に対して 1 0 重量部未満である と、 所望の分光特性が得られず、 また、 2 0 0重量部を 越える と .、 塗膜の密着性が低下するので好ま しく ない。
更に、 このカラーフ ィ ルタ ー用材料には、 上記 A成分 以外に、 その使用目的の物性に合わせて粘度調整剤ある いは光架橋剤と して作用する光重合及び Z又は熱重合が 可能な重合性のモ ノ マーやオ リ ゴマーを所定の範囲内で 配合する こ とができ る。
この重合性のモノ マーやオ リ ゴマー-と しては、 例えば 、 2 _ヒ ドロ キシェチル (メ タ) ァ ク リ レー ト 、 2 -ヒ ドロ キシプロ ピル (メ タ) ァ ク リ レー ト、 2 -ェチルへキ シル
(メ タ) ァ ク リ レー ト等の水酸基を有するモ ノ マ ーや、 エチ レ ング リ コ ールジ (メ タ) ァ ク リ レー ト 、 ジェチ レ ング リ コ ールジ (メ タ) ァ ク リ レー ト 、 ト リ エチ レ ング リ コ ールジ (メ タ) ァ ク リ レー ト、 テ ト ラエチ レ ング リ コ ールジ (メ タ) ァ ク リ レー ト、 テ ト ラ メ チ レ ング リ コ ール ジ (メ タ) ア タ リ レー ト、 ト リ メ チ ロ ー ノレプロパ ン ト リ (メ タ) ァ ク リ レー ト、 ト リ メ チロ ールェタ ン ト リ
(メ タ) ァ ク リ レー ト 、 ペンタエ リ ス リ ト ールジ (メ タ ) ァ ク リ レー ト 、 ペ ンタエ リ ス リ ト ール ト リ (メ タ) ァ ク リ レー ト 、 ペンタエ リ ス リ ト ールテ ト ラ (メ タ) ァ ク リ レー ト、 ジペンタエ リ スノレ ト ールテ ト ラ (メ タ) ァ ク リ レー ト 、 ジペンタエ リ ス リ ト ールへキサ (メ タ) ァ ク リ レー ト、 グ リ セロ ール (メ タ) ァ ク リ レー ト等の (メ タ) ア ク リ ル酸エステル類等を挙げる こ とができ る。 こ れらの化合物は、 その 1 種のみを単独で使用でき る ほか 、 2 種以上を併用 して使用する こ と もでき る。
こ の重合性のモノ マーやオ リ ゴマーの使用量は、 本発 明のカ ラ ーフ ィ ルタ ー用材料 ω性質を損なわない範囲で あ る こ とが必要であ り 、 一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) の重合 性不飽和化合物 1 0 0 重量部に対 して、 通常 5 0 重量部 以下の範囲で使用される。 使用量が 5 0 重量部を超える と プレキュ ア一後のタ ッ ク性に問題が生 じ る。
ま た、 本発明のカ ラ ーフ ィ ルタ ー用材料には、 必要に 応 じてエポキシ基硬化促進剤、 熱重合禁止剤、 可塑剤、 レべ リ ング剤、 消泡剤等の添加剤を配合する こ とができ る。 エポキシ基硬化促進剤と しては、 ァ ミ ン化合物類、
536 イ ミ ダゾール化合物、 カルボ ン酸類、 フ ヱ ノ ール類、 第
4級ア ンモニゥム塩類、 メ チロール基含有化合物類等が 挙げられ、 これらを少量併用 して塗膜を加熱する こ とに よ り、 得られる レ ジス ト被膜の耐熱性、 耐溶剤性、 耐酸 性、 耐メ ツキ性、 密着性、 電気特性及び硬度等の諸特性 を向上させる こ とができ る。 また、 熱重合禁止剤と して は、 ノヽィ ドロキノ ン、 ノヽィ ドロキノ ンモノ メ チルエーテ ル、 ピロガロ ール、 t e r t -ブチルカテ コ ール、 フ ヱ ノ チ ァジ ン等が挙げられる。 可塑剤と しては、 ジブチルフ タ レー ト、 ジォ ク チルフ タ レー ト、 ト リ ク レ ジル等が挙げ られる。 消泡剤、 レべ リ ング剤と しては、 例えば、 シ リ コ ン系、 フ ッ ソ系、 ア ク リ ル系の化合物が挙げられる。
本発明のカラーフ ィ ルタ ー用材料は、 カラー液晶ディ スプレー用カ ラーフ ィ ルタ一等と して好適に用いる こ と ができる。 このカラーフ ィ ルタ ー上に保護膜をコーティ ングする こ と によ り 、 従来のカラーフ ィ ルタ 一では耐熱 性に乏し く て 2 0 0 °Cが限界であったものが、 2 5 0 °C という高温でも I T 0のス ノ、。ッ タが可能になる。
そ して、 このカ ラ ーフ ィ ルタ ー用材料がアルカ リ現像 型感光性若し く は熱硬化性カラーフ ィ ルター用イ ンクで ある場合、 このカ ラーフ ィ ルター用ィ ンクをアル力 リ現 像するのに適した現像液と しては、 例えば、 アルカ リ金 属ゃアル力 リ土類金属の炭酸塩の水溶液、 アル力 リ金属 水酸化物の水溶液等を挙げる こ とができ るが、 特に炭酸 ナ ト リ ウム、 炭酸カ リ ウム、 炭酸 リ チウム等の炭酸塩を 0 . 1 〜 3 重量%の濃度で溶解している弱アルカ リ性水
JP93 36 溶液を用いても微細な画像を精密に現像する こ とができ る。 本発明のイ ンクのアルカ リ現像は、 通常 1 0 〜 5 0 で、 好ま し く は 2 0 〜 4 0 °Cの温度で、 市販の現像機や 超音波洗浄機を用いて行う こ とができ る。
この本発明のカラ一フ ィ ルタ ー用イ ンク は、 光や熱に よって硬化し、 この硬化のために用いる光と して好適な ものは、 超高圧水銀ラ ンプ、 高圧水銀ラ ンプあるいはメ タルハラィ ドラ ンプ等のラ ンプから発振される光であり 、 また、 この硬化のために用いる熱と しては通常 8 0 〜 2 5 0 °C、 好ま し く は 1 2 0 〜 2 2 0 °Cであり 、 加熱ォ ーブン等が用いられる。
また、 このカラーフ ィ ルター用イ ンクは、 上記のよ う なカラー液晶ディ スプレーのカラーフ ィ ルターの他に、 カラー液晶表示装置、 カラーフ ァ ク シ ミ リ 、 イ メ ージセ ンサ一等の各種の多色表示体と して使用する こ とができ る。 この場合には、 先ず、 基板の表面に本発明のィ ンク を塗布する こ とによって被膜を形成し、 次いで、 感光性 ィ ンクの場合には、;. このよ う に して得られた被膜の上に ネガフ ィ ルムをあて、 活性光線を照射して露光部を硬化 させ、 更に弱アルカ リ水溶液を用いて未露光部を溶出す る。 また、 熱硬化性イ ンク の場合には、 ス ク リ ー ン印刷 機等によ りパターンを描き、 加熱して硬化させる。
次に、 このアルカ リ現像後、 耐アルカ リ性を向上させ るために加熱してエポキシ硬化処理を施すこ とが望ま し い。 本発明のイ ンクは、 加熱処理を行う こ とによ り、 強 アル力 リ水に対する耐久性が著し く 向上するばかりでな
く 、 ガラス、 銅等の金属に対する密着性、 耐熱性、 表面 硬度等のソルダー レジス トに要求される諸性質も向上す る。 この加熱硬化処理における加熱温度や加熱時間と し ては、 例えば、 それぞれ 8 0 〜 2 0 0 °Cと 1 0 〜 1 2 0 分の範囲がよい。
本発明のカラーフ ィ ルター用イ ンク は、 適当な溶剤に 溶解若し く は分散させたィ ンク溶液と して使用されるが 、 このイ ンク溶液の調製に適した溶剤と しては、 例えば 、 メ チルェチルケ ト ン、 メ チルイ ソ プチルケ ト ン等のケ ト ン類、 メ チルセ口 ソルブ、 ェチルセ口 ソルブ、 ブチル セロ ソルブ、 セロ ソルブァセテー ト等のセロ ソ ノレブ類が 挙げられる。
また、 このカラーフ ィ ルター用ィ ンクを基板に塗布す る方法と しては、 溶液浸漬法、 スプレー法の他、 ローラ ー コ ーター機ゃスピナ一機を用いる等の何れの方法をも 採用する こ とができ る。
次に、 本発明のカラーフ ィ ルター用イ ンク及びこれを 用いた力ラ一フ ィ ルダ一の製造方法について説明する。
本発明のイ ンクを製造するに際しては、 先ず、 一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) で表される重合性不飽和化合物 ( A成 分) と、 エポキシ基を有する化合物 ( B成分) と、 必要 に応じて配合される重合性のモ ノ マー又はォ リ ゴマーと 、 顔料 ( D成分) と、 分散剤と、 必要に応じて配合され る溶剤とを攪拌下に混合し、 次に、 光重合開始剤、 増感 剤若し く はラ ジカル重合開始剤 ( C成分) を添加して再 度攪拌下に混合し、 所望のアルカ リ現像型の感光性若し
く は熱硬化性カラーフ ィ ルター用ィ ンクを得る。
また、 本発明のイ ンクを用いたカラーフ ィ ノレターの作 製方法については、 先ず、 カラーフ ィ ルタ ーの被形成媒 体となる基板上に、 赤、 青、 緑の何れか 1 つのイ ンクを スピナ一、 ロールコ タ一等を用いて全面塗布し、 プレキ ユア一を して溶媒を蒸発させる。 次に、 所望のパターン を形成したフ ォ トマスクを通じて、 超高圧水銀灯を用い て密着露光を行い、 未露光部を 1 %炭酸ナ ト リ ゥム水溶 液等のアルカ リ現像液で現像し、 更に水洗する。 そ して
、 適当な温度、 例えば 2 0 0 °Cでポス トキュア一 して被 膜を完全に乾燥し、 最初のカラ一フ ィ ルタ ーの画素を形 成する。 次に、 残る 2 色のう ちの何れか 1 色の顔料を有 するイ ンクを用い、 上記と同様の工程に従って、 第 1 の カラーフ ィ ルターの画素に隣接して第 2 のカラーフ ィ ル ターの画素を形成する。 更に、 残る一色の顔料を有する イ ンクを用い、 同様に して第 3 のカラーフ イ ノレターの画 素を形成し、 3 原色からなるカラーフ ィ ルタ ーの画素を 得る。 そ して、 このよ う に レで調製した赤、 青、 緑の画 素に加えてブラ ッ クマ ト リ ッ クスを設け、 更にその表面 上に例えば I T 0 (イ ンジウム—スズの酸化物) 等から なる透明電極層を設けてカ ラーフ ィ ルターとする。 こ う して目的の耐熱性、 透明性、 密着性、 硬度、 耐溶剤性、 耐ァルカ リ性等に優れるカ ラ一フ ィ ルターを得る こ とが できる。
そ して、 本発明においては、 上記 A成分、 B成分及び C成分を配合し、 カラ ーフ ィ ルタ ーの保護膜やプ リ ン ト
配線基板製造の際にソルター レ ジス ト等の製造に適した アル力 リ現像型の感光性若し く は熱硬化性樹脂組成物を 調製する こ とができる。 この樹脂組成物における各成分 の配合割合は、 A成分 1 0 0重量部に対してそれぞれ 5 〜 5 0重量部と 0 . 1 〜 3 0重量部である。 このう ち、 A成分 1 0 0重量部に対する B成分及び C成分の割合が それぞれ 1 0 〜 3 0 重量部と 1 〜 2 0重量部である配合 が特に好ま しい。 A成分 1 0 0重量部に対する B成分の 配合割合が 5 重量部未満の場合には、 本発明の組成物の 硬化後の特性、 特に耐アルカ リ性が不十分となり、 1 0 0重量部を超える場合には、 硬化時にわれが起こ り、 密 着性も低下しやすく なる。 A成分 1 0 0重量部に対する C成分の配合割合が 0 . 1 重量部未満の場合には、 光重 合の速度が遅く なつて、 感度が低下する。 一方、 3 0 重 量部を超える場合には、 光が基板まで達し難いため、 基 板と樹脂との密着性が悪く なる。
本発明の樹脂組成物は、 カラー液晶ディ スプレー用力 ラーフ ィ ルター保護膜と して好適に用いる こ とができ、 しかも、 この保護膜上へ 2 5 0 °Cという高温で (従来の 保護膜では耐熱性がないために 2 0 0 °Cが最高温度であ る) I T 0 の スノ、°ッ タが可能であ り 、 I T 0 のノ、。ターニ ング時の強酸、 強アルカ リ処理に十分耐え得る ものであ る o
この樹脂組成物をアル力 リ現像するのに適した現像液 と しては、 例えば、 アルカ リ金属やアルカ リ土類金属の 炭酸塩の水溶液、 アル力 リ金属の水酸化物の水溶液等を
挙げる こ とができるが、 特に炭酸ナ ト リ ウム、 炭酸カ リ ゥム、 炭酸 リ チウム等の炭酸塩の 1 〜 3 重量%からなる 弱アル力 リ性水溶液を用いても微細な画像を精密に現像 する こ とができ る。 このアルカ リ現像は、 1 0 〜 5 0 °C 、 好ま し く は 2 0 〜 4 0 °Cの温度で、 市販の現像機や超 音波洗浄機を用いて行う こ とができ る。
また、 本発明の樹脂組成物は、 光や熱によっても硬化 する ものであ り、 光による硬化に適したものと しては、 超高圧水銀ラ ンプ、 高圧水銀ラ ンプあるいはメ タルハラ ィ ドラ ンプ等のラ ンプから発振される光が挙げられ、 ま た、 こ の硬化のために用いる熱と しては通常 8 0 〜 2 5 0 °C、 好ま し く は 1 2 0 〜 2 2 0 °Cであり、 加熱オーブ ン等が用い られる。
本発明のアル力 リ現像型感光性若し く は熱硬化性樹脂 組成物は、 上記のよう にカラー液晶ディ スプレーのカラ —フ ィ ルターの保護膜と して利用できるほか、 プリ ン ト 配線板のソルダー レジス ト と しても使用する こ とができ 、 この場合には、 先ず、 プリ ン ト配線板の表面に本発明 の樹脂組成物を溶液にして塗布するか、 あるいは本発明 の樹脂組成物からなる ドライ フ ィ ルムをプリ ン ト配線板 の表面に張り付ける等の方法によって被膜を形成し、 次 いで、 このよ う にして得られた被膜の上にネガフ ィ ルム をあて、 活性光線を照射して露光部を硬化させ、 更に弱 アル力 リ水溶液を用いて未露光部を溶出する。
アルカ リ現像後、 耐アルカ リ性を向上させるために、 加熱してエポキシ硬化処理を施すこ とが望ま しい。 本発
明の樹脂組成物においては、 加熱処理を行う こ と によ り 、 強アルカ リ永に対する耐久性が著し く 向上するばかり でな く 、 ガラス、 銅等の金属に対する密着性、 耐熱性、 表面硬度等のソルダー レジス ト に要求される諸性質も向 上する。 この加熱硬化条件における加熱温度と加熱時間 については、 例えば、 それぞれ 8 0 〜 2 0 0 °Cと 1 0 〜 1 2 0 分が挙げられる。
本発明の樹脂組成物の溶液を調製するのに適した溶剤 と しては、 例えば、 メ チノ _レェチルケ ト ン、 メ チルイ ソブ チルケ ト ン等のケ ト ン類や、 メ チルセ口 ソルブ、 ェチル セロ ソルブ、 ブチルセ口 ソルブ、 セロ ソルブアセテー ト 等のセロ ソルブ類等が挙げられる。
また、 このよ う な溶剤に溶解して得られた樹脂組成物 の溶液を基板に塗布する方法と しては、 溶液浸漬法、 ス プレー法の他、 ローラーコータ一機ゃスピナ一機を用い る等の何れの方法をも採用する こ とができ、 樹脂組成物 溶液を 1 〜 3 0 ミ ク ロ ンの厚さ に塗布した後、 溶剤を除 去するこ とによ り被膜が形成される。
更に、 本発明のアル力 リ現像型感光性若し く は熱硬化 性樹脂組成物中には、 上記 A成分以外に、 上述した粘度 調整剤あるいは光架橋剤と して作用する光重合性のモ ノ マーゃォ リ ゴマーをその使用目的の物性にあわせて配合 する こ とができ、 その使用量は、 本発明の樹脂組成物の 性質を損なわない範囲で適宜選択する こ とができ るが、 通常は、 上記モノ マー及びオ リ ゴマーの少な く と も一種 を上記一般式 ( 1 ) 及び ( 2 ) の重合性不飽和化合物 1
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0 0 重量部に対して 5 0 重量部以下の範囲で更に配合す る。 このモノ マーやオ リ ゴマーの使用量が 5 0 重量部を 越える とプレキュア一後のタ ッ ク性に問題が出てく る。
また、 この樹脂組成物中には、 必要に応じて、 上記力 ラーフ ィ ルター用材料の場合と同様のエポキシ基硬化促 進剤、 熱重合禁止剤、 可塑剤、 レペ リ ング剤、 消泡剤等 の添加剤を配合させる こ とができ る。
次に、 本発明のアルカ リ現像型感光性樹脂及びその組 成物の光重合による被膜の製造方法についてその一例を 説明する。
先ず、 本発明の感光性樹脂組成物を溶剤で希釈し、 適 当な光開始剤、 光開始助剤、 カ ップリ ング剤、 酸化防止 剤等の添加剤を加えてレジス ト液を調製する。 次に、 こ の レジス ト液を任意の方法で基板上にコ ーティ ングする 。 実施例ではス ピ ンコー トを用いているが、 ディ ップコ 一 トゃバー コ一 ト等のコ ーティ ング方法も勿論可能であ る。 レジス ト液をコーティ ングした後、 溶媒を蒸発させ るためにプレキュア一を行う。 次に、 超高圧水銀灯を用 いて密着露光を行い、 未露光部を 1 %の炭酸ナ ト リ ゥ ム 水溶液で現像し、 更に水洗する。 そ して、 2 0 0 °Cでポ ス トキュア一する こ とによ り被膜を完全乾燥し、 目的の 耐熱性、 透明性、 密着性、 硬度、 耐溶剤性、 耐アルカ リ 性等に優れる コ ーティ ング膜を得る。
更に、 本発明の熱硬化性樹脂及びその組成物の熱重合 による被膜の製造方法についてその一例を説明する。
先ず、 本発明の熱硬化性樹脂組成物を溶剤で希釈し、
適当な熱重合開始剤、 カ ップリ ング剤、 酸化防止剤等の 添加剤を加えてレ ジス ト液を調製する。 次に、 こ の レ ジ ス ト液を任意の方法で基板上にコ ーティ ングする。 実施 例ではス ピ ン コ ー トを用いているが、 ディ ップコ一 トゃ バー コ一 ト等のコ ーティ ング方法も勿論可能である。 例 えば膜厚 2 〃 mの場合、 レ ジス ト液をコーティ ングした 後、 溶媒を蒸発させるためにプレキュア一を行う。 次に 、 ポス トキュア一する こ とによ り被膜を完全乾燥し、 目 的の耐熱性、 透明性、 密着性、 硬度、 耐溶剤性、 耐アル 力 リ性等に優れる コ ーティ ング膜を得る。
図面の簡単な説明
図 1 は、 カラーフ ィ ルターにおける画素の説明図であ る ο
図 2 は、 合成例 3 における反応前の I Rスぺク トルを 示すグラ フ図である。
図 3 は、 合成例 3 における反応後の I R スぺ ク トルを 示すグラ フ図である。
符号の説明
1 …ガラ ス基板、 2 …カ ラ ー フ イ ノレタ ー、 2 a … ブラ ッ クマ ト リ ッ ク ス、 2 b…画素、 R…赤色画素、 G…緑 色画素、 B…青色画素、 2 c …透明電極層。
発明を実施するための最良の形態 以下、 実施例及び比較例に基づいて、 本発明を具体的 に説明する。 なお、 以下において 「部』 は 「重量部」 を 示す。
合成例 1
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5 0 四つ口 フ ラ ス コ中に ビスフ エ ノ ールフルォ レ ン型エポキ シ樹脂 2 3 1 g (エポキ シ当量 2 3 1 ) と、 ト リ ェチルベンジルア ンモニゥ ム ク ロ ラ イ ド 4 5 O mgと 、 2, 6 — ジ一イ ソ ブチルフ エ ノ ール 1 0 O mgと、 ァ ク リ ル酸 7 2 . O g とを仕込んで混合 し、 空気を毎分 2 5 の速度で吹き込みながら 9 0 〜 1 0 0 °Cで加熱 して溶 解させた。 この溶液は白濁 していたがそのま ま徐々 に昇 温し、 1 2 0 °Cに加熱して完全に溶解させた。 こ こで溶 液は次第に透明粘稠になっ たがそのま ま攪拌 し続け、 こ の間に酸価を測定 して酸価が 2 . 0 mg K 0 H Z g未満に なる までこの加熱攪拌を継続 した。 酸価が目標 (酸価 0 . 8 ) に達する まで 8 時間を要した。 その後、 室温まで 冷却 し、 一般式 ( 6 ) で表される無色透明で固体の ビス フ ヱ ノ ールフルオ レ ン型エポキ シァ ク リ レー トを得た。
次に、 このよ う に して得られた ビスフ エ ノ ールフ ルォ レ ン型エポキ シァ ク リ レー 卜 3 0 3 g をセ ロ ソルブァセ テー ト 2 kg中に溶解して溶液と した後、 これに 1, 2, 3, 6 - テ ト ラ ヒ ドロ無水フ タル酸 3 8 g と、 ビフ ヱニルテ ト ラ カルボ ン酸二無水物 7 3 . 5 g と、 臭化テ ト ラエチルァ ンモニゥ ム 1 g とを添加 し、 徐々 に昇温 して 1 1 0〜 1 1 5 °Cで 2 時間反応させ、 一般式 ( 3 ) の重合性不飽和 化合物① (m/ n = 5 5 ) を得た。 酸無水物の反応は I Rスペク ト ルによ り確認 した。 得られた化合物のイ ン へ レ ン ト粘度は 0 . Z WZ gであ っ た ズ 7? i n h = 0 . 2
) o
実施例 1
こ のよ う に して得られた重合性不飽和化合物 (m Z n = 5 ノ 5 ) を A成分と して使用 し、 これに下記の B成分 、 C成分、 有機溶剤等を下記の割合で配合して感光性樹 脂組成物 (樹脂組成物①) を調製した。
配合成分 割合 (wt部) 重合性不飽和化合物①(m/n = 5/5) 2 0 . 0 ジペンタエ リ ス リ ト ールへキサァ ク リ レー ト 8 . 6 テ ト ラ メ チルビフ ヱニルエポキシ樹脂 4 . 4 ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 . 2 ィ ルガキュ ア一 9 0 7 1 . 2 ェチルセ口 ソルブアセテー ト 6 5 . 6 合計 1 0 0
次に、 赤色、 緑色、 青色及び黒色の顔料と して御国色 素 (株) 製の C Fカラー レ ツ ド E X — 2 7 4 、 C F カ ラ 一グ リ ー ン E X — 2 7 6 、 C F カ ラ ーブルー E X — 2 7 5 及び C F カラーブラ ッ ク E X— 2 7 7 を使用 し、 これ らを予め有機溶剤中に分散させてから上記の樹脂組成物 ①と混合し、 分散処理して表 1 に示す組成を有する R E D、 G R E E N、 B L U E及び B L A C Kの 4種のカラ 一フ ィ ルタ一用イ ンクを作製した。 なお、 この際に、 顔 料粒子径については各色共に 0 . 3 mとなるよ う に分 散処理した。
【表 1 】 イ ン ク の種 ィ ンクの組成 (重量部)
類
樹脂① 顔 料 溶 媒
R E D 1 5 8 7 7
6
透明基板と して中性洗剤、 水、 イ ソプロ ピルアルコー ル及びフ ロ ンで洗浄 したガラ ス基板を用い、 このガラ ス 基板上に上記 R E D、 G R E E N、 B L U E及び B L A C Kの 4種のイ ンク を使用 し、 表 2 に示すイ ン ク の塗布 条件及び露光量でカ ラ ーフ ィ ルタ ーを作製 した。 プ リ べ ー ク は 8 0 °Cで 5 分間行い、 現像は 0 . 4 重量%炭酸ナ ト リ ウ ム水溶液を使用 して行っ た。 ま た、 塗布順序は、 先ずブラ ッ ク マ ト リ ッ ク スを形成し、 次いで赤 ( R ) ― 緑 ( G ) —青 ( B ) の順に各々所定の位置に画素を形成 した。 この と きの各画素の膜厚は R、 G、 B及びブラ ッ ク マ ト リ ッ ク スの何れも 2 ± 0. l 〃 mと した。 更に、 これらのブラ ッ ク マ ト リ ッ ク ス及び各画素の上には、 ス パ ッ タ法によ って形成された I T 0透明電極層が被覆さ れた。 .
このよう に して、 図 1 に示すよ う に、 ガラ ス基板 1 上 に積層されたブラ ッ ク マ ト リ ッ ク ス 2 a と、 このブラ ッ ク マ ト リ ッ ク ス 2 a所定の位置に設け られた赤色画素 R 、 緑色画素 G及び青色画素 Bからな る画素 2 と、 更に これらの表面上に被覆された透明電極層 2 c とか らな る カ ラ ーフ ィ ルタ ー 2 が作製される。 なお、 本発明のカ ラ 一フ ィ ルタ ー用保護膜を設ける場合には、 上記ブラ ッ ク マ ト リ ッ ク ス 2 a及び画素 2 b と透明電極層 2 c と の間
に設けられる。
【表 2 】
ポ リ ビニルアルコ ール (日本合成 (株) 製 : E G — 3 0 ) 6重量部、 重ク ロ ム酸ア ンモニゥ ム 0 . 5 重量部、 ク ロ ム ミ ヨ ウバン 0 . 3重量部及び水 9 3 . 2重量部か らなる感光性染色基材を用い、 染料と して赤 2 4 P、 緑 1 P、 青 5 Cを用いて表 3 に示す条件で染色した。 なお 、 プリべー ク は 6 0 °Cで 1 0 分間行い、 塗布順序は R — G — Bで行った。 このと きの各画素の膜厚は R、 G及び B共に 1 . 5 ± 0 . 2 mであ っ た。
【表 3 】
このよ う に して得られた実施例 1 と比較例 1 のカ ラー フ ィ ルタ ーについて、 キセノ ンフ ヱ ー ドメ 一 タ ーによ る
JP93/00536 耐光性試験を行った。 1 , 0 0 0 時間後の L a bによる Δ E (色差) の結果を表 4 に示す。
この表 4 の結果から明らかなよ う に、 実施例 1 の方が 明らかに Δ Eが小さ く 耐光性の信頼性に優れている こ と が判明した。
【表 4 】
比較例 2
カ ラ ーモザイ ク 〔R、 G、 B ; フ ジハ ン ト (株) 製〕 を用い、 実施例 1 と同様の方法でカ ラ ーフ ィ ルタ ーを作 製した。 プリ べーク は 9 0 °Cで 5 分間行い、 現像は指定 現像液を使用 した。 作製された各画素の膜厚は、 R、 G 、 B共に 2 ± 0 . l / mであ っ た o
実施例 1 のカ ラ ーフ ィ ルタ ー と このよ う に して得られ た比較例 2 のカラーフ ィ ルタ ーについて、 耐熱性試験 ( 2 8 0 °C、 1 時間) を行い、 そのと きの分光透過率の ピ ーク値の低下と膜厚の減少率を表 5 に示す。
この表 5 の結果から明らかなよ う に、 本発明品は従来 品と比較して、 耐光性や耐熱性において格段に優れてい る こ とが判明した。
【表 5 】
R E D G R E E N B L U E
分光透過率の ピーク値の低下 (%)
実施例 1 3 . 0 2 . 7 3 . 5
比較例 2 4 . 5 5 . 5 7 . 6
膜厚の減少率 (%)
実施例 1 7 . 1 8 . 8 6 . 4
比較例 2 7 · 2 2 5 , 0 2 0 . 0 合成例 2
上記合成例 1 で得られた一般式 ( 6 ) で表される ビス フ エ ノ ールフルオ レ ン型エポキシァ ク リ レー ト 3 0 3 g にセ ロ ソルブァセテ一 ト 2 kgを加えて溶解した後、 1, 2, 3, 6-テ ト ラ ヒ ドロ無水フ タル酸 3 8 g 、 ベンゾフ エ ノ ン テ ト ラ カルボ ン酸ニ無水物 8 0 . 5 g及び臭化テ ト ラエ チルァ ンモニゥ ム 1 gを混合し、 徐々 に昇温して 1 1 0 〜 1 1 5 °Cで 2 時間反応させ、 一般式 ( 3 ) の化合物 2 (式中の mZ n = 5 / 5 ) を得た。
酸無水物の反応は I Rスペク ト ルによ り確認した。 ま た、 得られた化合物 2 のイ ンへレ ン ト粘度は 0 . 3 d£ Z g ^ 77 i n h = 0 . 3 ) であ っ た。
合成例 3
合成例 2 で製造した一般式 ( 6 ) の ビスフ エ ノ ールフ ルオ レ ン型ェポキシァ ク リ レー ト 3 0 3 g を用い、 セ ロ ソルブァセテー ト 2 kgを加えて溶液と した後、 1, 2, 3, 6 - テ 卜 ラ ヒ ドロ無水フ タル酸 1 2 1 . 6 g 、 ベ ンゾフ エ ノ ンテ ト ラ カルボ ン酸二無水物 6 4 . 6 g及び臭化テ ト ラ ェチソレア ンモニゥ ム 1 g を混合 し、 徐々 に昇温して 1 1 0〜 1 1 5 °Cで 2 時間反応させ、 一般式 ( 3 ) の化合物
3 (式中の mZ n = 8 2 ) を得た。
酸無水物の反応は上記合成例 2 と同様に I Rスぺク ト ルによ り確認した。 また、 得られた化合物 3 のイ ンヘ レ ン ト粘度は 0 . 2 £Z g ( ^ i " = 0 . 2 ) であった。 また、 この際における反応前と反応後の I Rスぺク トル をそれぞれ図 2 (反応前) と図 3 (反応後) とに示す。
合成例 4
合成例 2 で製造した一般式 ( 6 ) の ビスフ エ ノ ールフ ルオ レ ン型エポキ シァ ク リ レー ト 3 0 3 gを用い、 セロ ソルブアセテー ト 2 kgを加えて溶液と した後、 1, 2, 3, 6 - テ ト ラ ヒ ドロ無水フ タル酸 3 . 8 g、 ベンゾフ ヱ ノ ンテ ト ラカルボン酸二無水物 1 5 3 . 8 g及び臭化テ ト ラエ チルア ンモニゥム l gを混合し、 徐々 に昇温して 1 1 0 〜 1 1 5 °Cで 2 時間反応させ、 一般式 ( 3 ) の化合物 4 (式中の mZ n = 0 . 5 / 9 5. 5 ) を得た。
酸無水物の反応は I Rスペク トルによ り確認した。 ま た、 得られた化合物 4 のイ ンへ レ ン ト粘度は 0 . 3 W / g ( 7?. i „ h . ,= 0 . 3 ) であった。
合成例 5
合成例 2 で製造した一般式 ( 6 ) の ビスフ ヱ ノ ールフ ルオ レ ン型エポキ シァ ク リ レー ト 3 0 3 gを用い、 セ ロ ソルブアセテー ト 2 kgを加えて溶液と した後、 1, 2, 3, 6 - テ ト ラ ヒ ドロ無水フ タ ル酸 7 2 . 2 g、 ベンゾフ ヱ ノ ン テ ト ラカルボン酸二無水物 8 . 0 5 g及び臭化テ ト ラエ チルア ンモニゥム 1 gを混合し、 徐々 に昇温して 1 1 0 〜 1 1 5 °Cで 2 時間反応させ、 一般式 ( 3 ) の化合物 5
(式中の mZ n = 9 5 / 5 ) を得た。
酸無水物の反応は I Rスぺク ト ルによ り確認した。 ま た、 得られた化合物 5 のイ ンへ レ ン ト粘度は 0 . 2 d / g ( 7? i n h = 0 . 2 ) であった。
合成例 6
合成例 2 における ビスフ ヱ ノ ールフ ルオ レ ン型ェポキ シ樹脂に代えて、 ビフ ヱニル型エポキシ樹脂 1 5 3 g ( エポキシ当量 1 5 3 ) を用いた以外は、 合成例 2 と同様 にして酸無水物と反応させ、 化合物 6 〔一般式 ( 3 ) の mZ n = 5 Z 5 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク ト ルによ り確 認した。 得られた化合物 6 のイ ンへ レ ン ト粘度は 0 . 2 dH / g ( η i„ h = 0 . 2 ) であった。
合成例 7
合成例 2 における ビスフ ヱ ノ ールフルオ レ ン型ェポキ シ樹脂に代えて、 ベンゾフ ヱ ノ ン型エポキシ樹脂 1 6 3 g (エポキシ当量 1 6 3 ) を用いた以外は、 合成例 2 と 同様にして酸無水物と反応させ、 化合物 7 〔一般式 ( 3 ) の mZ n - 5 5 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク トルによ り確 認した。 得られた化合物 7 のイ ンへ レ ン ト粘度は 0 . 3 άΆ / g ( 7? ; n h = 0 . 3 ) であった。
合成例 8
合成例 2 における ビスフ ヱ ノ ールフルオ レ ン型ェポキ シ樹脂に代えて、 スルホン型エポキシ樹脂 1 8 1 g (ェ ポキシ当量 1 8 1 ) を用いた以外は、 合成例 2 と同様に
して酸無水物と反応させ、 化合物 8 〔一般式 ( 3 ) の m Z n = 5 5 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク ト ルによ り確 認した。 得られた化合物 8 のイ ンへレ ン ト粘度は 0 . 3 d£ / g ( 7? i„ h = 0 . 3 ) であった。
合成例 9
合成例 2 における ビスフ エ ノ ールフルオ レ ン型ェポキ シ樹脂に代えて、 へキサフルォロプロパン型エポキシ樹 脂 2 2 1 g (エポキシ当量 2 2 1 ) を用いた以外は、 合 成例 2 と同様に して酸無水物と反応させ、 化合物 9 〔一 般式 ( 3 ) の m / n = 5 5 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク トルによ り確 認した。 得られた化合物 9 のイ ンへ レ ン ト粘度は 0 . 4 d£ g ( " i n h = 0 . 4 ) であった。
合成例 1 0
合成例 2 における ビスフ ヱ ノ ールフルオ レ ン型ェポキ シ樹脂に代えて、 ジメ チルシラ ン型エポキシ樹脂 1 6 3 g (エポキシ当量 1 6 3 ) を用いた以外は、 合成例 2 と 同様に して酸無水物と反応させ、 化合物 1 0 〔一般式 ( 3 ) の m Z n = 5 / 5 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク トルによ り確 認した。 得られた化合物 1 0 のイ ンへ レ ン ト粘度は 0 . 2 d£ / g ( 7? ;„ h = 0 . 2 ) であった。
合成例 1 1
合成例 2 における ビスフ ヱ ノ ールフルオ レン型ェポキ シ樹脂に代えて、 ビフ ヱニルメ タ ン型エポキシ樹脂 1 5
6 g (エポキシ当量 1 5 6 ) を用いた以外は、 合成例 2 と同様に して酸無水物と反応させ、 化合物 1 1 〔一般式
( 3 ) の m n = 5 / 5 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク トルによ り確 認した。 得られた化合物 1 1 のイ ンへレ ン ト粘度は 0 . 4 d£ Z g ( ?7 i n h = 0 . 4 ) であった。
合成例 1 2
合成例 2 における ビスフ ヱ ノ ールフルオレ ン型ェポキ シ樹脂に代えて、 ビフ ヱニルプロパン型エポキシ樹脂 1
7 0 g (エポキシ当量 1 7 0 ) を用いた以外は、 合成例 2 と同様にして酸無水物と反応させ、 化合物 1 2 〔一般 式 ( 3 ) の mZ n = 5 / 5 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク トルによ り確 認した。 得られた化合物 1 2 のイ ンへ レ ン ト粘度は 0 .
4 d£ g ( 77 i n h = 0. 4 ) であった。
合成例 1 3 '
合成例 2 における ビスフ ヱ ノ ールフルオ レ ン型ェポキ シ樹脂に代えて、 ビフ ヱニルエーテル型エポキシ樹脂 1
5 7 g (エポキシ当量 1 5 7 ) を用いた以外は、 合成例 2 と同様に して酸無水物と反応させ、 化合物 1 3 〔一般 式 ( 3 ) の m Z n - 5 5 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク トルによ り確 認した。 得られた化合物 1 3 のイ ンへ レ ン ト粘度は 0 . 3 d£ g ( 7? i n h = 0 . 3 ) であった。
合成例 1 4
合成例 2 で製造した一般式 ( 6 ) の ビスフ ニ ノ ールフ
ルオレン型エポキシァク リ レー ト 3 0 3 gを用い、 セロ ソルプアセテー ト 2 kgを加えて溶液と した後、 ベンゾフ エ ノ ンテ ト ラカルボン酸二無水物 1 6 1 g及び臭化テ ト ラエチルア ンモニゥム 1 gを混合し、 徐々 に昇温して 1 1 0 〜 1 1 5 °Cで 2 時間反応させ、 一般式 ( 2 ) の化合 物 1 4 (式中の m Z n = 0 Z l 0 0 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク トルの 1 7 8 0 cm一'のピークの消失によ り確認した。 得られた化合物 1 4 のイ ンへレ ン ト粘度は 0. 4 d£ Z g ( ?7 i n h = 0 .
4 ) であった。
合成例 1 5
合成例 2 で製造した一般式 ( 6 ) の ビスフ ヱ ノ ールフ ルオレン型エポキシァク リ レー ト 3 0 3 gを用い、 セロ ソルブアセテー ト 2 kgを加えて溶液と した後、 ビフ エ二 ルテ ト ラカルボン酸二無水物 1 6 1 g及び臭化テ ト ラエ チルア ンモニゥム 1 gを混合し、 徐々 に昇温して 1 1 0 〜 1 1 5 °Cで 2 時間反応させ、 一般式 ( 2 ) の化合物 1
5 (式中の mZ n ^ O Z l 0 0 ) を得た。
この際の酸無水物との反応は I Rスぺク ト ルの 1 7 8 0 cm一'のピークの消失によ り確認した。 得られた化合物 1 5 のイ ンへ レ ン ト粘度は 0 . 4 d£ Z g ( 77 i n h = 0 . 4 ) であ っ た。
実施例 2 〜 2 1
上記合成例 2 〜 1 5 で得られた A成分と、 B成分、 C 成分、 重合性アク リ ルモノ マー若し く はオ リ ゴマー、 光 重合開始剤、 増感剤若し く はラ ジカル重合開始剤、 及び
有機溶剤を下記の割合で配合し、 実施例 2〜 2 1 の レ ジ ス ト溶液を調製した。
実施例 2 (m , n = 5 / 5 ) 割合 (wt部 ) 化合物 2 2 0
テ ト ラ メ チルビフ ニニル型ェポキ シ樹脂 3
ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 1 ィ ルガキュ ア一 9 0 7 (チバガイギ一社製) 0 6 セロ ソルブァセテ一 ト 7 6 3 口口 I 1 0 0
実施例 3 (m / n = 5 / 5 ) 割合 (wt部) 化合物 2 2 0
ジペンタエ リ ス リ ト ールへキサァ ク リ レー ト 8 6 テ ト ラ メ チルビブ ェニル型ェポキシ樹 曰 4 4 ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 2 ィ ルガキュア一 9 0 7 (チバガイギ一社製) 1 2 セロ ソルブァセテ一 ト 6 5 6 合計 1 0 0
実施例 4 (m/ n = 8 / 2 ) 割合 (wt部) 化合物 3 2 0
テ ト ラ メ チルビフ ェニル型ェポキ シ樹脂 3
ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 1 ィ ルガキュ ア一 9 0 7 (チバガイギー社製) 0 6 セロ ソ ノレブァセテ一 ト 7 6 3 合計 1 0 0
実施例 5 (m / n = 8 2 ) 割合 ( wt部) 化合物 3 2 0
ジペ ンタエ リ ス リ ト —ルへキサァ ク リ レー ト 8 6 テ ト ラ メ チルビフ エニル型エポキ シ樹脂 4 4 ミ ヒ ラ ーケ 卜 ン 0 2 ィ ルガキュ ァー 9 0 7 (チバガイ ギー社製) 1 2 セロ ソルブァセテ一 卜 6 5 6 合計 1 0 0
実施例 6 ( m / n = 5 / 5 ) 割合 (w t部) 化合物 2 2 0 テ ト ラ メ チルビフ エニル型エポキ シ樹脂 3 ミ ヒ ラ ーケ 卜 ン 0 1 ィ ルガキュ ァー 9 0 7 (チバガイ ギー社製) 0 6 セロ ソルブァセテ一 卜 7 6 3 合計 1 0 0
実施例 7 ( m / n = 5 / 5 ) 割合 (w t部) 化合物 2 2 0
ジペ ンタエ リ ス リ ト一ルへキサァ ク リ レー ト 8 6 テ ト ラ メ チルビフ エニル型エポキ シ樹脂 4 4 ミ ヒ ラ ーケ 卜 ン 0 2 ィ ルガキュ ァー 9 0 7 (チバガイ ギ一社製) 1 2 セロ ソルブァセテ一 卜 6 5 6
A口き口 + I 1 0 0
実施例 8 ( m / n = 5 κ 5 ) 割合 ( w t部) 化合物 6 2 0 テ ト ラ メ チルビフ エニル型エポキ シ樹脂 3 ミ ヒ ラ ーケ 卜 ン 0 . 1 ィ ルガキュ ァー 9 0 7 (チバガイ ギー社製) 0 . 6
セ ロ ソ ノレブアセテー ト 7 6 . 3 合計 1 0 0
実施例 9 ( m / n = 5 / 5 ) 割合 (wt部) 化合物 7 2 0
テ ト ラ メ チルビフ エニル型エポキシ樹脂 3
ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 . 1 ィ ルガキュ ア一 9 0 7 (チバガイ ギ一社製) 0 . 6 セ ロ ソ ルブアセテー ト 7 6 . 3 合計 1 0 0
実施例 1 0 ( m Z n = 5 Z 5 ) 割合 (wt部) 化合物 8 2 0
テ ト ラ メ チルビフ ヱニル型エポキ シ樹脂 3
ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 . 1 ィ ルガキュア一 9 0 7 (チバガイ ギー社製) 0 . 6 セロ ソルブアセテー ト 7 6 . 3 合計 1 0 0
実施例 1 1 ( m / n = 5 / 5 ) 割合 (wt部) 化合物 9 2 0
テ小 ラ メ チルビフ ヱニル型エポキシ樹脂 3 ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 . 1 ィ ルガキュ ア一 9 0 7 (チバガイ ギ一社製) 0 . 6 セ ロ ソ ルブアセテー ト 7 6 . 3 合計 1 0 0
実施例 1 2 ( m Z n = 5 Z 5 ) 割合 (wt部) 化合物 1 0 2 0
テ ト ラ メ チルビフ ヱニル型エポキシ樹脂 3
6 ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 . 1 ィ ルガキュ ア一 9 0 7 (チバガイギ一社製) 0 . 6 セロ ソルブァセテー 卜 7 6 - 3 合計 1 0 0
実施例 1 3 ( m / n = 5 / 5 ) 割合 (wt部) 化合物 1 1 2 0- テ ト ラ メ チルビフ エニル型エポキシ樹脂 3
ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 . 1 ィ ルガキュ ア一 9 0 7 (チバガイギ一社製) 0 . 6 セロ ソノレブァセテ一 卜 7 6 - 3 合計 1 0 0
実施例 1 4 ( m / n = 5 / 5 ) 割合 (wt部) 化合物 1 2 2 0
テ ト ラ メ チルビフ エニル型エポキ シ樹脂 3
ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 . 1 ィルガキュ ア一 9 0 7 (チバガイギ一社製) 0 . 6 セロ ソルブァセテー 卜 7 6 · 3 口 s十 1 0 0
実施例 1 5 ( m / n = 5 / 5 ) 割合 (wt部) 化合物 1 3 2 0
テ ト ラ メ チノレビフ エニル型エポキ シ樹脂 3
ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 . 1 ィ ルガキュ ア一 9 0 7 (チバガイギ一社製) 0 . 6 セロ ソルブァセテー 卜 7 6 . 3 口 S十 1 0 0
実施例 1 6 ( mノ n = 0.5/95.5) 割合 (wt部)
化合物 4 0
テ ト ラ メ チルビフ ヱニル型エポキ シ樹脂 3
ミ ヒ ラ ーケ ト ン 0 1 ィ ルガキュ ァ一 9 0 7 (チバガイギ一社製) 0 6 セロ ソルブァセテ一 ト 7 6 3 合計 1 0 0
実施例 1 7 ( m / n = 9 5 / 5 ) 割合 (w t部) 化合物 5 2 0
ジペンタエ リ ス リ ト ールへキサァ ク リ レー ト 8 6 テ ト ラ メ チルビフ ェニル型エポキ シ樹脂 4 4 ミ ヒ ラ ーケ 卜 ン 0 2 ィ ルガキュ ァー 9 0 7 (チバガイギ一社製) 1 2 セ ロ ソ ルブァセテー ト 6 5 6 合計 1 0 0
実施例 1— 8_ ( m / n = 5 / 5 ) 割合 (w t部) 化合物 2 2 0
ジペンタエ リ ス リ ト ールへキサァ ク リ レー ト 1 2
テ ト ラ メ チルビフ ヱニル型エポキ シ樹脂 4 8 ミ ヒ ラ ーケ 卜 ン 0 2 ィ ルガキュ ァ一 9 0 7 (チバガイ ギ一社製) 1 2 セ ロ ソ ルブァセテ一 ト 6 1 8 口 n十 1 0 0
実施例 1 9_ ( mノ n = 5 / 5 ) 割合 ( w t ¾|5 ) 化合物 1 2 0
ジペンタエ リ ス リ ト ール 8 . 6 へキサァ ク リ レー ト テ ト ラ メ チルビフ エ二
ル型エポキ シ樹脂 4 . 4 ベンゾィ ルパーォキサイ ド 1 . 4 セロ ソノレブァセテ一 ト 6 5, 6 合計 1 0 0
実施例 2 0 (m / n = 0 / 1 0 0 ) 割合 (wt部) 化合物 1 4 2 0
ジペンタエ リ ス リ ト ール 8 . 6 へキサァ ク リ レー ト テ ト ラ メ チルビフ エ
ル型エポキシ樹脂 4 . 4 ベンゾィ ルパーォキサイ ド 1 . 4 セロ ソルブァセテー ト 6 5 . 6 合計 1 0 0
実施例 2 1 (m / n = 0 / \ 0 0 ) 割合 (wt部) 化合物 1 5 2 0
ジペンタエ リ ス リ ト ール 8 . 6 へキサアタ リ レー トテ ト ラ メ チルビフ エ二
ル型ェポキン樹脂 4 . 4 ベンゾィ ルパーォキサイ ド 1 . 4 セロ ソルブアセテー ト 6 5 . 6 口 ni 1 0 0
次いで、 上記実施例 2〜 1 8 で得られた レ ジス ト溶液 を、 脱脂洗浄した厚さ 1 . 2 m mのガラス板上に約 2 mの厚さに塗布して乾燥した後、 フ ォ ト マスクを密着さ せ、 5 0 0 Wの高圧水銀ラ ンプを用いて波長 3 6 5 n m の照度 1 O m wZ c m 2 の紫外線を 2 0 秒間照射した。 露光後、 1 重量%炭酸ナ ト リ ウム水溶液にて 2 5 °Cで 3
0 秒間現像し、 塗膜の未露光部を除去した。 その後、 熱 風乾燥機を用いて 2 0 0 °Cで 3 0分間加熱乾燥処理を行 つた。
また、 上記実施例 1 9 〜 2 1 で得られた レ ジス ト溶液 を、 脱脂洗浄した厚さ 1 . 2 m mのガラス板上に約 2 /z mの厚さに塗布して 8 0 °C乾燥した後、 熱風乾燥機を用 いて 2 0 0 °Cで 3 0分間加熱乾燥処理を行った。
上記実施例 2 〜 2 1 で得られたサ ンプルについて、 塗 膜の乾燥性、 アルカ リ水溶液に対する現像性、 露光感度 、 塗膜硬度、 基板との密着性、 耐熱性、 耐薬品性を評価 した。 結果を表 6 に示す。
なお、 各種物性データーは以下の条件で測定した。
(1) 塗膜の乾燥性
塗膜の乾燥性は、 J I S - K 5 4 0 0 に準じて評価し た。 評価のラ ンク は次の通りである。
〇 : 全く タ ッ クが認められない もの
△ : わずかにタ ッ クが認められる もの
X : 顕著にタ ッ クが認められる もの
(2) アルカ リ水溶液に対する現像性
1 重量%の炭酸ナ ト リ ウム水溶液に 3 0秒間浸潰して 現像を行った。 現像後、 4 0 倍に拡大して残存する樹脂 を目視で評価した。 評価のラ ンクは次の通りである。
〇 : 現像性の良好なもの (ガラ ス上に レ ジス トが全く 残らないもの) ―
X : 現像性の不良な もの (ガラス上に レジス トが少し 残る もの)
(3) 露光感度
コダッ クステップタブレ ツ ト N o . 2 (ィ ース ドマンコダ ッ ク社製、 光学濃度段差 0 . 1 5 、 2 1 段差のネガフ ィ ルム) を塗膜に密着し、 5 0 0 W高圧水銀ラ ンプを用い て 2 0 0 m j Z cnf の光量を照射した。 次いで、 この塗膜を 先述した弱アルカ リ水溶液に対するステップタブレ ツ ト の段数を調べた (この評価法では、 高感度であるほど残 存する段数が多く なる) 。
(4) 塗膜硬度
露光現像した後、 2 0 0 °Cで 3 0分間加熱した塗膜の 硬度を、 J I S - K 5 4 0 0 の試験法に準じて、 鉛筆硬 度試験機を用いて荷重 1 kgをかけた際の塗膜にキズが付 かない最も高硬度をも って表示した。 使用 した鉛筆は 「 三菱ハイュニ」 である。
(5) 基板との密着性
露光現像した後、 2 0 0 °Cで 3 0分間加熱した塗膜に 、 少な く と も 1 0 0個の碁盤目を作るよ う にク ロスカ ツ トを入れて、 次いでセロテープを用いてピー リ ング試験 を行い、 碁盤目の剝離の状態を目視によって評価した。 評価のラ ンク は次の通りである。
〇 : 全く 剥離が認められないもの
X : 剝離が少しでも認められる もの
(6) 耐熱性
露光現像した後、 2 0 0 °Cで 3 0分間加熱した塗膜を 2 5 0 °C , 3 時間オーブンに入れ塗膜の状態を評価した 。 評価のラ ンク は次の通りである。
〇 : 塗膜の外観に異常な し
X : 塗膜の外観にわれ、 剝 着色あり
(7) 耐薬品性
露光現像した後、 2 0 0 °Cで 3 0 分間加熱した塗膜を 、 下記の薬品に下記の条件で浸漬し、 浸漬後の外観及び 密着性を評価した。
耐酸性 5¾H C 1 中 2 4 時間
耐ァルカ リ性 5%N a 0 H中 2 4 時間浸漬
4 K 0 Η中 5 0 °Cで 1 0 分間
1%N a 0 H中 8 0 °Cで 5 分間
耐溶剤性 N M P中 4 0 °Cで 1 0分間
N M P中 8 0 °Cで 5 分間
(注) N M P : N-メ チルピロ リ ドン
【表 6 】 塗膜 現像 塗膜 密着 耐熱 耐薬 の乾 性 感度 硬度 性 性 品性 燥性
2 〇 〇 8 4 H 〇 〇 〇
3 〇 〇 9 5 H 〇 〇 〇
4 〇 〇 8 4 H 〇 〇 〇
5 〇 〇 9 5 H 〇 〇 〇
6 〇 〇 8 4 H 〇 〇 〇
7 〇 〇 9 5 H 〇 〇 〇
8 〇 〇 9 5 H 〇 〇 〇
9 〇 〇 8 5 H 〇 〇 〇
10 〇 〇 9 5 H 〇 〇 〇 施
11 〇 〇 9 4 H 〇 〇 〇
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例
(注) 実施例 16は現像時に塗膜の溶解が起こ り、 密着性 耐熱性及び耐薬品性の評価が評価できなかった。 上記表 2 の結果から明らかなよ う に、 実施例 2 〜 1 5 は目的の物性を達成できた。 しか し、 実施例 1 6 のよ う に mZ n = 0 . 5 / 9 5 . 5 のモル比では重合性不飽和 化合物中のカルボキシル基の量が多 く 、 硬化部も現像時 にアル力 リ水溶液への溶解が起こ り 目的の ものが得られ ない。 また、 実施例 1 7 のよ う に ΐϊΐ / η - θ 5 / 5 のモ ル比では、 実施例 1 6 と は逆に重合性不飽和化合物中の カルボキシル基の量が少な く 、 アル力 リ水溶液での現像 性に劣る。 更に、 実施例 1 8 においては、 光重合性のァ ク リ ノレオ リ ゴマー (ジペンタエ リ ス リ ト ールへキサァク リ レ一 ト) の配合量が多く 、 プレキュア一後の塗膜にタ ッ ク性が残り、 密着露光が困難 あった。
また、 実施例 1 9 〜 2 1 では 、 熱硬化性樹脂組成物よ り塗膜を得たが、 塗膜の乾燥性、 塗膜硬度、 基板との密
6 着性、 耐熱性、 及び耐薬品性において、 何れも優れた性 能を示した。
以上の結果よ り、 本発明のアルカ リ現像型感光性若し く は熱硬化性樹脂組成物は、 耐熱性、 透明性、 密着性、 硬度、 耐溶剤性、 耐アルカ リ性等に優れた保護膜を提供 できる こ とが判明した。
産業上の利用可能性
本発明のカラーフ ィ ルター用材料は、 酸素の存在下に おいても光及び 又は熱によ り架橋反応が進行するので 簡易な工程で容易に製造する こ とができ、 また、 プレキ ユア一後に塗膜がタ ッ ク フ リ ーとなって密着露光が可能 になり、 解像度が高く 、 しかも、 耐熱性や透明性、 更に は耐酸性、 耐アルカ リ性、 耐溶剤性、 表面硬度等にも優 れた性能を有する ものである。
また、 本発明のカラーフ ィ ルタ ー用材料がイ ン クであ る場合、 このイ ンクを使用 して作製されたカ ラーフ ィ ル ターは、 耐酸性、 耐アルカ リ性、 耐溶剤性、 表面硬度等 に優れており、 カラー液晶表示装置、 カラ一フ ァ ク シ ミ リ 、 イ メ ージセンサー等の各種の多色表示体や、 テ レ ビ 、 ビデオモニタ ーあるいはコ ンピューターのディ スプレ 一等の用途に有用である。
そ して、 本発明のアルカ リ現像型感光性若し く は熱硬 化性樹脂組成物は、 従来の ものでは達成できなかった耐 熱性、 透明性に優れたアルカ リ現像型の樹脂組成物であ 更に、 本発明の樹脂組成物による と、 プレキュア一後
JP93/00536 に塗膜がタ ッ ク フ リ ーとなり、 密着露光が可能になり解 像度のア ップにつながる という利点がある。 しかも、 本 発明の感光性若し く は熱硬化性樹脂組成物は、 耐酸性、 耐アルカ リ性、 耐溶剤性、 表面硬度等にも優れている の で、 ソルダー レジス ト等の永久保護マスクの用途等に有 用であるばかりでな く 、 プリ ン ト配線板関連のエツ チン グレ ジス トや層間絶縁材料、 感光性接着剤、 塗料、 ス ク リ ー ン印刷用の感光液やレ ジス トイ ンキ等の幅広い分野 に感光性樹脂又は熱硬化性樹脂及び樹脂組成物と して使 用する こ とができ る。