TWI749288B - 真空抽吸臂、筒夾座及吸嘴筒夾 - Google Patents

Abstract

真空抽吸臂係具備：筒夾主軸(11)、球壓制部(17)、按壓球(21a，21b)及吸嘴筒夾(23)，筒夾主軸(11)是形成為具有從筒夾插入孔(35)連續到上方的真空抽吸孔(31)之第1筒狀，且設有從第1筒狀的外周貫穿到真空抽吸孔(31)之導引孔；球壓制部(17)，係具有與筒夾主軸(11)接觸之滑動內周面、及從該滑動內周面擴大之錐狀的按壓內周面，且是呈筒狀；按壓球(21a，21b)是配置在導引孔內，且被從按壓內周面朝對稱方向按壓；吸嘴筒夾(23)，是形成為其上部形狀與筒夾插入孔(35)的內徑形狀匹配之第2筒狀，且在第2筒狀的外周面設置環狀的保持溝槽(41)。當吸嘴筒夾(23)插入筒夾插入孔(35)時，會將嵌合於保持溝槽(41)之按壓球(21a，21b)朝向保持溝槽(41)且互相朝對稱方向按壓。

Description

真空抽吸臂、筒夾座及吸嘴筒夾

本發明是關於在用於處理電子零件等的微細構件之精密加工裝置所使用之真空抽吸臂及構成該真空抽吸臂之筒夾座，特別是關於適用於將插入筒夾座的前端之吸嘴筒夾高速自動更換的系統之筒夾座及吸嘴筒夾。

作為具有吸嘴頭之以往的真空抽吸型精密加工裝置，以下的構成已被提出(參照專利文獻1)，在該構成，設置於吸嘴頭側之環狀彈性體的按壓是傳遞到埋設於吸嘴頭的孔之滾柱(pin roller)，而使該滾柱固定在設置於裝置主體之管件側面之保持溝槽。設置在裝置主體之管件側之彈性體的按壓傳遞到設置於管件的孔之球體，而使該球體嵌入設置於吸嘴頭的側面之凹部的構成也已被提出(參照專利文獻2)。專利文獻1及2所記載的發明之共同點在於，使受到設置於一方的構件之彈性體的按壓之零件嵌入固定於另一方的構件之溝槽，藉由施加比彈性體的按壓力更大的力，而都能以單觸(one touch)的方式進行吸嘴頭之裝卸。

此外，在專利文獻1及2所記載的發明中，當將吸嘴頭固定於裝置主體時之水平方向的位置偏差存在的情況，必須由人目視確認位置偏差的程度，而以手動方式調整成正確的位置，因此並不適用於吸嘴頭的高精度高速自動更換系統。或者，必須另外準備利用攝像機或感測器辨識位置偏差而進行自動調整的裝置。手動的情況會發生費事、費時的問題，攝像機、感測器的情況則會發生必須花費用於導入裝置的成本之問題。

為了抑制隨著主軸旋轉而使吸嘴的組裝位置發生偏移，利用非對稱構造來防止吸嘴的旋轉之吸嘴旋轉防止機構也已被提供(參照專利文獻3)。在專利文獻3所記載之發明中，二個硬球是以沿著吸嘴之溝槽部的周方向使彼此的間隔不均等的方式呈非對稱地設置，藉由將二個硬球嵌合於吸嘴之溝槽部的溝槽來防止吸嘴的旋轉。依據專利文獻3之圖1(b)所示般將二個硬球非對稱地配置之構造，在靜止狀態下可防止吸嘴的旋轉。

然而，在專利文獻3所記載的發明，因為來自呈非對稱地配置之二個硬球的力僅朝單方向施加，在吸嘴更換般之動態動作下，於吸嘴之高速上下運動時會發生縱搖(pitching)，造成吸嘴更換時之吸嘴位置不穩定。因此，在專利文獻3所記載的發明，縱搖會對吸嘴之高速吸附脫附時造成不良影響，無法將高精度高速自動更換系統所使用之高速上下運動之吸嘴的吸附脫附之精度確保為高精度。再者，依據專利文獻3所記載之呈非對稱的二個硬球之配置，因為吸嘴的磨耗不均一，當運用於高精度高速自動更換系統般之高速上下運動的情況，吸嘴的壽命會縮短，因此並不適當。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特許第3087540號公報 [專利文獻2]日本特許第3064368號公報 [專利文獻3]日本特開2003-243892號公報

[發明所欲解決之問題]

本發明是有鑑於上述問題而開發完成者，其目的是為了提供一種可使用於吸嘴筒夾的高精度高速自動更換系統之真空抽吸臂，縱使進行高速上下運動也不會發生縱搖而能將吸嘴筒夾之吸附脫附的精度確保為高精度，並提供構成該真空抽吸臂之保持力高且高精度的筒夾座，並提供插入該筒夾座的前端之吸嘴筒夾。 [解決問題之技術手段]

為了達成上述目的，本發明的第1態樣，是以一種真空抽吸臂為要旨，該真空抽吸臂係具備(a)筒夾主軸、(b)球壓制部、(c)第1及第2按壓球、及(d)吸嘴筒夾，(a)筒夾主軸，是形成為在中心軸側具有從下端的筒夾插入孔連續到上方的真空抽吸孔之第1筒狀，且設有從該第1筒狀的外周貫穿到真空抽吸孔之第1及第2導引孔，第1及第2導引孔，關於通過中心軸之鏡像面成為鏡像關係，在與鏡像面垂直且通過中心軸的中心線上互相對向；(b)球壓制部，係具有：與筒夾主軸之外周面接觸之滑動內周面、從該滑動內周面朝下方且朝相對於中心軸的離心方向擴大之錐狀的按壓內周面、及從按壓內周面連續到下方之保護內周面，該球壓制部可沿中心軸方向滑動且呈筒狀；(c)第1及第2按壓球，分別配置於第1及第2導引孔內，可被從按壓內周面朝對稱方向按壓；(d)吸嘴筒夾是形成為第2筒狀，該第2筒狀，是在內部具有從設置於下端部之吸嘴尖端(nozzle tip)插入孔連續到中心軸方向的上方之貫通孔，且上部的外徑形狀與筒夾插入孔的內徑形狀匹配，在該第2筒狀的外周面設置環狀的保持溝槽。在第1態樣之真空抽吸臂中，當吸嘴筒夾的上部插入筒夾插入孔時，會將嵌合於保持溝槽之第1及第2按壓球朝向保持溝槽且互相朝對稱方向按壓。

本發明的第2態樣，是以一種筒夾座為要旨，該筒夾座係具備：(a)筒夾主軸、(b)球壓制部、(c)第1及第2按壓球，(a)筒夾主軸，是形成為在中心軸側具有從下端的筒夾插入孔連續到上方的真空抽吸孔之第1筒狀，且設有從該第1筒狀的外周貫穿到真空抽吸孔之第1及第2導引孔，第1及第2導引孔，關於通過中心軸之鏡像面成為鏡像關係，在與鏡像面垂直且通過中心軸的中心線上互相對向；(b)球壓制部，係具有：與筒夾主軸之外周面接觸之滑動內周面、從該滑動內周面朝下方且朝相對於中心軸的離心方向擴大之錐狀的按壓內周面、及從按壓內周面連續到下方之保護內周面，該球壓制部可沿中心軸方向滑動且呈筒狀；(c)第1及第2按壓球，分別配置於第1及第2導引孔內，可被從按壓內周面朝對稱方向按壓。第2態樣之筒夾座是供吸嘴筒夾插入，該吸嘴筒夾是形成為第2筒狀，該第2筒狀，是在內部具有從設置於下端部之吸嘴尖端插入孔連續到中心軸方向的上方之貫通孔，且上部的外徑形狀與筒夾插入孔的內徑形狀匹配，在該第2筒狀的外周面設置環狀的保持溝槽，當吸嘴筒夾的上部插入筒夾插入孔時，會將嵌合於保持溝槽之第1及第2按壓球朝向保持溝槽且互相朝對稱方向按壓。

本發明的第3態樣是關於一種吸嘴筒夾，其形成為第2筒狀，該第2筒狀，是在內部具有從設置於下端部之吸嘴尖端插入孔連續到中心軸方向的上方之貫通孔，且上部的外徑形狀與筒夾座的下端之筒夾插入孔的內徑形狀匹配，在該第2筒狀的外周面設置環狀的保持溝槽。在第3態樣之吸嘴筒夾中，筒夾座係具備：筒夾主軸、球壓制部、以及第1及第2按壓球；筒夾主軸，是形成為在中心軸側具有從筒夾插入孔連續到上方的真空抽吸孔之第1筒狀，且設有從該第1筒狀的外周貫穿到真空抽吸孔之第1及第2導引孔，第1及第2導引孔，關於通過中心軸之鏡像面成為鏡像關係，在與鏡像面垂直且通過中心軸的中心線上互相對向；球壓制部，係具有：與筒夾主軸之外周面接觸之滑動內周面、從該滑動內周面朝下方且朝相對於中心軸的離心方向擴大之錐狀的按壓內周面、及從按壓內周面連續到下方之保護內周面，該球壓制部可沿中心軸方向滑動且呈筒狀；第1及第2按壓球，分別配置於第1及第2導引孔內，可被從按壓內周面朝對稱方向按壓。而且，在第3態樣之吸嘴筒夾中，當吸嘴筒夾的上部插入筒夾插入孔時，會將嵌合於保持溝槽之第1及第2按壓球朝向保持溝槽且互相朝對稱方向按壓。 [發明之效果]

依據本發明，能夠提供一種可使用於吸嘴筒夾的高精度高速自動更換系統之真空抽吸臂，縱使進行高速上下運動也不會發生縱搖而能將吸嘴筒夾之吸附脫附的精度確保為高精度，並提供構成該真空抽吸臂之保持力高且高精度的筒夾座，並提供插入該筒夾座的前端之吸嘴筒夾。

以下，參照圖式，說明本發明的實施形態。在以下圖式的記載中，是對同一或類似的部分標註同一或類似的符號。但應注意，圖式是示意的，厚度和平面尺寸的關係、各構件之大小比率等是與現實不同。因此，具體的厚度、尺寸、大小等，應參酌根據以下說明所能理解的技術思想之趣旨來做更多樣性的判斷。此外，當然縱使在圖式相互間也會包含彼此的尺寸關係、比率不同的部分。

此外，以下所示之本發明的實施形態，是用於將本發明的技術思想具體化的裝置之例示，本發明的技術思想，其構成零件的材質、形狀、構造、配置等並不限定於如下所述者。本發明的技術思想，並不限定於在本發明的實施形態所記載的內容，在申請專利範圍所記載之請求項所界定之技術範圍內可實施各種變更。

(真空抽吸臂的構造) 本發明的實施形態之真空抽吸臂，如圖8及圖9所示般，是構成作為被操作對象物之電子零件等的組裝構裝用的真空抽吸型精密加工裝置之一部分。如圖1所示般，實施形態的真空抽吸臂，係具備：筒狀的筒夾主軸11、固定於筒夾主軸11之彈簧壓制部13、其上端部與彈簧壓制部13接觸且可朝筒夾主軸11的筒軸方向伸縮之彈簧15、與筒夾主軸11接觸且可一邊讓彈簧15伸縮一邊沿筒夾主軸11的筒軸方向滑動之筒狀的球壓制部17、以及配置於筒夾主軸11的導引孔內之第1按壓球21a和第2按壓球21b，而構成筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)。如圖1(b)及圖7(a)之剖面圖等所示般，在實施形態之真空抽吸臂中，第1按壓球21a和第2按壓球21b配置成，關於通過筒夾主軸11的筒軸之鏡像面成為鏡像關係，而在通過筒夾主軸11的筒軸之線上互相對向。如後述般，關於通過筒夾主軸11的筒軸(中心軸)之面為了達成鏡像關係，按壓球的個數宜為偶數個。在圖7(a)所示的配置，第1按壓球21a和第2按壓球21b是在與通過筒夾主軸11的筒軸之鏡像面垂直的中心線上排列。

再者，如圖4所示般，在實施形態的真空抽吸臂之筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)之筒夾主軸11的下端部側的內部，插入吸嘴頭單元(23，25，51)，該吸嘴頭單元係具備：其上部可對筒夾主軸11的下端部進行插拔之吸嘴筒夾23、固定在吸嘴筒夾23的外周面之定位銷(locating pin)25、及從吸嘴筒夾23的下端側插入之吸嘴尖端51。

亦即，如圖2及圖8所示般，在實施形態的筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)之下端部，可讓吸嘴頭單元(23，25，51)之圓錐狀的上部插入。在圖1，圖2，圖4等所示的態樣(方向)，實施形態的真空抽吸臂之筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)，是以鉛直方向為長邊方向的方式具備筒夾主軸11。筒夾主軸11，如圖4所示般，是形成為定義第1外周面之第1筒狀，且具有：長邊方向的下端之筒夾插入孔35、及從筒夾插入孔35連續到第1筒狀之筒軸方向(第1方向)的上方之真空抽吸孔31。

如圖8所示般，真空抽吸孔31的上端是與真空配管用接頭(adapter)71連接。在吸嘴頭單元(23，25，51)插入筒夾主軸11的下端部之狀態下，通過圖8及圖9所示之真空配管用接頭(adapter)71利用真空泵將空氣抽吸，使筒夾主軸11及吸嘴筒夾23、吸嘴尖端51之內側的空洞部成為負壓，而構成為在吸嘴尖端51的前端部分將被操作對象物真空抽吸(減壓抽吸)之真空抽吸夾頭。在被操作對象物被真空抽吸的狀態下，若使筒夾主軸11及吸嘴筒夾23、吸嘴尖端51的內側之空洞部成為正壓，則被真空抽吸之被操作對象物會從吸嘴尖端51的前端部分脫附。

如圖1(c)，圖5(c)及圖6(a)等的放大圖所示般，在筒夾主軸11之下端部的外緣部設置缺口狀的定位溝槽45，在定位溝槽45的上方，設置從筒夾主軸11的第1外周面朝向心方向貫穿之導引孔(第1導引孔)43a。「第1外周面」是指筒夾主軸11之第1筒狀的外側之側面整體。筒夾插入孔35及真空抽吸孔31，是沿著成為長邊方向之第1方向連續，且沿著第1方向貫穿筒夾主軸11的大致整體。在圖1(b)中，筒夾插入孔35的直徑雖是比真空抽吸孔31的直徑更大，但只要吸嘴筒夾23的上部可進行插拔即可，筒夾插入孔35的直徑是比真空抽吸孔31的直徑小亦可。如圖4所示般，吸嘴筒夾23的上部係具有段差部，且作為將段差的角部連結而成的包絡面係具有大致圓錐形狀的外徑面。在圖1(b)所示之筒夾插入孔35和真空抽吸孔31的邊界部，為了防止空氣洩漏、或為了緩衝吸嘴筒夾23插入時的衝撃，可設置O型環等的彈性體，但不設置亦可。

再者，如圖1(a)及(b)所示般，實施形態的筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)，係具備固定於筒夾主軸11的第1外周面之彈簧壓制部13。關於將彈簧壓制部13固定在筒夾主軸11之固定方法，可採用：熔接、焊接等的金屬接合，收縮配合(shrink fit)、斂縫等的利用加壓變形之接合，壓入、利用螺絲等的機械接合，利用黏著劑等之化學接合。彈簧壓制部13，是與彈簧15的上端部接觸且藉由彈簧15的按壓不致移動的構件，因此只要是可承受彈簧15的按壓之固定方法皆可。在圖1(b)，彈簧壓制部13雖是與筒夾主軸11成為不同的構件，但將彈簧壓制部13構成為與筒夾主軸11成為一體的構造亦可。再者，在圖1(b)，彈簧壓制部13是以剖面形狀成為L字型的方式，形成為在下部側具有呈圓筒狀突出的鞘部之段差形狀。將彈簧壓制部13的鞘部在彈簧15和筒夾主軸11之間呈圓筒狀地夾住，藉此防止彈簧15直接與筒夾主軸11接觸。藉由將彈簧15與筒夾主軸11之接觸面積減少，具有可減少摩擦、防止構件劣化等的效果，因此彈簧壓制部13的鞘部乃是較佳的構造。然而，彈簧15只要能發揮：在彈簧壓制部13和球壓制部17之間讓可朝第1方向滑動的球壓制部17滑動的作用即可，在彈簧壓制部13的下部側突出之鞘部是設置或不設置皆可。

彈簧15可採用：其中心軸與真空抽吸孔31的中心軸一致之螺旋彈簧或環簧(ring spring)，其側面部分與彈簧壓制部13接觸之螺旋彈簧的集合體等，只要是具有作為彈簧的功能者皆可。彈簧15的上端部雖是與彈簧壓制部13接觸，只要彈簧15之作為彈簧的功能不致喪失，在上端部固定於彈簧壓制部13亦可。

再者，圖1所示般，實施形態的筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)，是在筒夾主軸11之第1外周面側具備：與彈簧15的下端部接觸之筒狀的球壓制部17。球壓制部17，作為其內周面是包含：與彈簧壓制部13和第1導引孔43a間的第1外周面接觸之滑動內周面、及從滑動內周面朝下方且朝相對於真空抽吸孔31的中心軸之離心方向連續之錐狀的按壓內周面19、及從按壓內周面19連續到下方之保護內周面。滑動內周面雖與第1外周面相接，但並未固定住，而可進行旋轉、滑動。按壓內周面19，是朝滑動內周面的下方呈逐漸擴展的形狀連續之圓錐面狀的內周面。保護內周面，是與按壓內周面19連續，形成為其母線方向與第1方向平行的圓筒面。由保護內周面包圍之圓柱空間的直徑，是比由滑動內周面包圍之圓柱空間的直徑更大。

再者，球壓制部17是呈圓筒形狀，是以滑動內周面作為共通面而使長邊方向之上部的剖面形狀呈大致L字型，該圓筒形狀是在外面側具有：由中央之壁厚較厚的凸緣部所產生之段差部。球壓制部17係具有：從中央的凸緣部朝長邊方向之上方延伸之圓筒狀的鞘部，該鞘部的外周面是與彈簧之下端部的內周側接觸。與彈簧壓制部13的情況同樣的，該鞘部是用於防止彈簧15直接與筒夾主軸11接觸。藉由將彈簧15與筒夾主軸11的接觸面積減少，具有減少摩擦、防止構件劣化等的效果，因此設置鞘部乃是較佳的構造。但彈簧15只要可發揮：在彈簧壓制部13和球壓制部17之間讓可朝第1方向滑動之球壓制部17滑動的作用即可，該鞘部是設置或不設置皆可。與彈簧壓制部13的情況同樣的，只要彈簧15之作為彈簧的功能不致喪失，彈簧15的下端部是固定於球壓制部17亦可。在圖1(b)中，在彈簧壓制部13和球壓制部17之間存在有間隙33，間隙33成為球壓制部17可往上方滑動的區域。間隙33還具有：將彈簧15的接觸面積減少而減少彈簧15伸縮時的摩擦之效果。球壓制部17，在彈簧15伸縮的同時，可在筒夾主軸11的第1外周面上朝第1方向滑動。

再者，如圖1(b)及(c)所示般，實施形態的筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)係具備按壓球(第1按壓球)21a，該按壓球是配置於第1導引孔43a內，受到透過按壓內周面19而由彈簧15所致之按壓可朝與第1方向大致垂直的方向移動。第1按壓球21a並未直接固定於第1導引孔43a。關於圖1(b)之第2按壓球21b也是與第1按壓球21a同樣的，第2按壓球21b配置成，關於通過筒夾主軸11之筒軸(中心軸)的面是和第1按壓球21a成為鏡像關係。第2按壓球21b是配置在設置於筒夾主軸11之第2導引孔內，受到透過按壓內周面19而由彈簧15所致之按壓可朝與第1方向大致垂直的方向移動。

再者，如圖1(b)，圖2(b)，圖4所示般，實施形態的真空抽吸臂係具備：可對筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)之筒夾插入孔35進行插拔之吸嘴筒夾23。吸嘴筒夾23之成為上部的前端部分，是大致呈上底小的圓錐狀，且具有與筒夾插入孔35之內徑形狀匹配之外徑尺寸。當吸嘴筒夾23的上部插入到筒夾插入孔35時，吸嘴筒夾23的前端部分是透過第1按壓球21a及第2按壓球21b，而在筒夾主軸11的筒軸(中心軸)方向受到由彈簧15所致之對稱方向的按壓。

如圖1(b)所示般，吸嘴筒夾23的下部形成為，在其下端部設有吸嘴尖端插入孔39之筒夾形狀(圓筒型的夾具形狀)。設有從吸嘴尖端插入孔39連續到第1方向的上方之貫通孔37，以前端部分呈圓錐台狀的方式形成為由第2外周面所界定之第2筒狀。吸嘴尖端插入孔39只要能將吸嘴尖端插入並夾緊即可，其大小、形狀不拘。吸嘴尖端的形狀是依被操作對象物而有差異，因此吸嘴尖端插入孔39必須配合吸嘴尖端的形狀。

吸嘴筒夾23的「第2外周面」，是指第2筒狀的外側之側面整體，如圖1(b)及圖4等所示般，雖具有複數個凹凸，作成包絡面是大致圓錐狀的面。在吸嘴筒夾23之第2外周面設置環狀的保持溝槽41，當吸嘴筒夾23的上部插入筒夾插入孔35時，透過第1按壓球21a的移動及第1按壓球21a對保持溝槽41之嵌合，彈簧15所致的按壓是由保持溝槽41承受。關於通過筒夾主軸11之筒軸(中心軸)的面，配置成與第1按壓球21a成為鏡像關係之第2按壓球21b也是，透過第2按壓球21b的移動及第2按壓球21b對保持溝槽41的嵌合，彈簧15所致之按壓，是由保持溝槽41在與第1按壓球21a成為鏡像關係之對稱方向承受。保持溝槽41是包圍第2外周面的上部之環狀溝槽，只要在將吸嘴筒夾23插入筒夾插入孔35時位於筒夾插入孔35內即可。此外，保持溝槽41的形狀，在圖1(b)及(c)之剖面圖中雖呈V字型，但並不限定於V字型的剖面形狀。沿著第1方向而在長邊方向開鑿之保持溝槽41的剖面形狀，當吸嘴筒夾23插入筒夾插入孔35時，只要可供藉由彈簧15的按壓而透過按壓內周面19被朝第1筒狀的向心方向推壓之第1按壓球21a及第2按壓球21b嵌合即可，亦可為U字型或ㄈ字型等。

再者，如圖1(b)，(c)及圖4所示般，在實施形態的吸嘴筒夾23之第2外周面固定著定位銷25。當吸嘴筒夾23的上部插入筒夾插入孔35時，定位銷25是與真空抽吸臂的定位溝槽45嵌合。定位銷25是固定成，從第2外周面朝向相對於吸嘴筒夾23之貫通孔37的中心軸之離心方向突出。當吸嘴筒夾23插入筒夾插入孔35時，藉由嵌合於缺口狀的定位溝槽45而發揮：決定關於貫通孔37的中心軸之吸嘴尖端的旋轉方向的位置(旋轉角)和插入深度之功能。只要具有該功能，定位銷25亦可為與吸嘴筒夾23成為一體的構造。在圖1(b)及(c)中，定位溝槽45雖是位於第1導引孔43a的下方，但只要具有決定關於貫通孔37的中心軸之吸嘴筒夾23的旋轉方向的位置和插入深度的功能即可，定位溝槽45的位置是任意的。

如圖3所示般，實施形態的真空抽吸臂所使用之吸嘴筒夾23內所插入之吸嘴尖端51，其具有吸附窗49之下端部的形狀，是邊長例如0.1mm程度以下、或0.05mm程度以下等的微細矩形。該矩形部分之各邊的方向，對於具有0.1mm程度以下、或0.05mm程度以下等的微小尺寸之被操作對象物的真空抽吸是重要的。在圖4所示的狀態，只要能將相對於吸嘴筒夾23之吸嘴尖端51的旋轉方向的位置適切調整，當成為吸嘴筒夾23插入筒夾插入孔35之圖2所示的狀態時，可將吸嘴尖端51的前端、即矩形部分的方向配置在關於貫通孔37的中心軸之正確位置(角度)。

(單觸動作) 使用圖1及圖5來詳細說明，在吸嘴筒夾23插入筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)之筒夾插入孔35的狀態下，使用彈簧15之單觸按壓的作用。

在圖1(a)及(b)中，可伸縮的彈簧15所致之對稱方向的按壓，是朝讓可沿第1方向滑動之球壓制部17往下方滑動的方向施加。在圖1(c)中，施加於球壓制部17之按壓，是傳遞到與按壓內周面19接觸之第1按壓球21a及第2按壓球21b。因為第1按壓球21a配置成未固定於第1導引孔43a，會朝向與第1方向正交的方向(向心方向)傳遞按壓。省略圖示之第2按壓球21b也是配置成並未固定於第2導引孔，第2導引孔配置成，關於通過筒夾主軸11之筒軸(中心軸)的面是與第1導引孔43a成為鏡像關係，因此在與第1方向正交的方向(向心方向)，會朝向與第1按壓球21a成為鏡像關係的方向傳遞按壓。在圖1(c)所示般之吸嘴筒夾23插入筒夾插入孔35的狀態下，對稱地傳遞到第1按壓球21a及第2按壓球21b之按壓施加於吸嘴筒夾23之保持溝槽41。彈簧15之往下方的按壓，藉由按壓內周面19的介入，而轉變成朝向接近水平方向的方向(朝向第1筒狀的中心之向心方向)之對稱按壓，使吸嘴筒夾23藉由筒夾主軸11暫時地保持(固定)住。

為了實現藉由成為上述鏡像關係之對稱的按壓來將吸嘴筒夾23固定於筒夾主軸11，第1導引孔43a的形狀較佳為，從第1外周面往朝向第1筒狀的中心之向心方向縮窄的形狀。 第1導引孔43a亦可為，其下表面呈水平，上表面帶有錐度的形狀。第1導引孔43a亦可為，上表面及下表面皆呈水平，如圖7般從上方的剖面圖觀察時，在第1導引孔43a的兩側面帶有錐度的形狀。總之，如圖1(c)所示般，只要是第1按壓球21a及第2按壓球21b可將從按壓內周面19施加之對稱的按壓傳遞到保持溝槽41的形狀即可。第1導引孔43a及按壓內周面19，在圖1(c)的剖面圖中雖是呈直線狀，但從剖面圖觀察時是形成曲線的形狀亦可。雖將圖示予以省略，關於與第1按壓球21a成為鏡像關係之第2按壓球21b也是，第2導引孔及按壓內周面19在從剖面圖觀察時亦可為形成曲線的形狀，但要求與第1導引孔43a成為鏡像關係之對稱性。

圖5顯示，讓圖1中的球壓制部17往上方滑動，而使球壓制部17的鞘部與彈簧壓制部13的鞘部接觸的狀態，亦即圖1中的間隙33消失的狀態。在圖5的狀態中，因為按壓內周面19未與第1按壓球21a及第2按壓球21b接觸，彈簧15的按壓不會傳遞到第1按壓球21a及第2按壓球21b。如果像圖5(c)所示般使第1導引孔43a的下表面成為錐狀，第1按壓球21a及第2按壓球21b會朝相對於第1筒狀的中心之離心方向移動。第1按壓球21a及第2按壓球21b構成為，縱使從第1外周面大幅突出地移動，藉由被保護內周面壓制，而不致從實施形態的真空抽吸臂脫離。第1按壓球21a及第2按壓球21b經由移動，而解除其等與保持溝槽41的嵌合，吸嘴筒夾23未承受按壓，而使吸嘴筒夾23對筒夾主軸11的固定被解除。縱使第1導引孔43a的下表面不是成為錐狀，第1按壓球21a及第2按壓球21b也不會按壓保持溝槽41，而使吸嘴筒夾23對筒夾主軸11的固定被解除。

使用圖6詳細地說明，吸嘴筒夾23從筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)拔除的樣子。圖6(a)顯示吸嘴筒夾23拔除前之鎖定狀態的筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)，與圖1(c)同樣的，受到彈簧15之下方的按壓之球壓制部17，透過按壓內周面19將按壓傳遞到第1按壓球21a，使第1按壓球21a嵌合於保持溝槽41而成為吸嘴筒夾23被固定的狀態。雖將圖示省略，關於與第1按壓球21a成為鏡像關係之第2按壓球21b也是，球壓制部17是透過按壓內周面19將鏡像關係的按壓傳遞到第2按壓球21，使第2按壓球21嵌合於保持溝槽41，而將吸嘴筒夾23固定住。從圖6(a)的狀態，若施加比彈簧15的按壓力更大的力而讓吸嘴筒夾23往下方移動，在圖6(a)中之構成保持溝槽41的V字狀面當中之上側的面會產生：將第1按壓球21a及第2按壓球21朝向相對於第1筒狀的中心之離心方向成為鏡像關係地推回之分力。

接著，被施加朝向離心方向推回的分力之第1按壓球21a及第2按壓球21，會使球壓制部17往上方滑動，而將與其接觸的彈簧15往上方呈鏡像關係推回。結果，吸嘴筒夾23變成可相對於筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)往下方移動，伴隨第2外周面的上部將第1按壓球21a及第2按壓球21對稱地推回之分力，成為圖6(b)的過渡狀態，使鎖定狀態解除。若成為從鎖定狀態解除後之非鎖定狀態，從圖6(b)的狀態，吸嘴筒夾23變成可輕易地往下方移動，因此吸嘴筒夾23被從筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)的筒夾主軸11完全拔除，最終成為圖6(c)的狀態。第1按壓球21a及第2按壓球21雖不再受到來自吸嘴筒夾23之第2外周面的分力，但受到來自彈簧15而透過按壓內周面19的按壓而往朝向第1筒狀的中心之向心方向移動。當往向心方向移動時，為了避免第1按壓球21a落入筒夾插入孔35，必須將第1導引孔43a大小及形狀設定成，在第1導引孔43a的內部或筒夾主軸11之內周面之第1導引孔43a的外緣部制止第1按壓球21a移動。雖將圖示予以省略，關於與第1按壓球21a成為鏡像關係之第2按壓球21b也是，為了避免第2按壓球21b落入筒夾插入孔35，必須將第2導引孔的大小等設定成，在第2導引孔的內部或筒夾主軸11之內周面之第2導引孔的外緣部制止第2按壓球21b的移動。

使用圖6來說明吸嘴筒夾23從筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)的拔除可知，用比彈簧15的按壓更大的力讓球壓制部17往上方滑動而成為非鎖定狀態，再讓吸嘴筒夾23往筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)的下方移動之動作能以單觸方式來完成。關於吸嘴筒夾23對筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)之插入動作也是，能利用與拔除相反的機制而以單觸方式進行。

在圖1中，作為用於固定吸嘴筒夾23之按壓球，是讓第1按壓球21a及第2按壓球21b共2個按壓球呈鏡像關係相對向。如圖7(a)之剖面圖所示般，第1按壓球21a及第2按壓球21b配置成，關於通過第1筒狀的中心軸之鏡像面成為鏡像關係，在與鏡像面垂直且通過中心軸之中心線上互相對置。圖7(b)顯示第1按壓球21a、第2按壓球21b、第3按壓球21c及第4按壓球21d共4個按壓球的配置，只要實施形態的真空抽吸臂之按壓球是偶數個，就能實現關於通過第1筒狀的中心軸之鏡像面成為鏡像關係，在與鏡像面垂直且通過中心軸之中心線上互相對置。在圖7(b)所示的配置，第1按壓球21a和第3按壓球21c是在與通過筒夾主軸11的筒軸之第1鏡像面垂直的第1中心線上排列，第2按壓球21b和第4按壓球21d是在與通過筒夾主軸11的筒軸之第2鏡像面垂直的第2中心線上排列。第1按壓球21a、第2按壓球21b、第3按壓球21c及第4按壓球21d的名稱是為了方便起見，將圖7(b)的第3按壓球21c稱為「第2按壓球」並將第2按壓球21b稱為「第4按壓球」亦可。總之，按壓球是偶數個即可，圖7(a)及(b)僅是一例，將按壓球設定為6個以上也可以。藉由採用以圖7(a)及(b)所示般的鏡像關係為基礎之對稱配置構造，因為來自對稱配置的偶數個按壓球之力會均等施加於吸嘴筒夾23，縱使吸嘴筒夾23高速地進行上下運動時，仍可抑制縱搖的發生，讓被固定之吸嘴筒夾23的位置穩定，而能進行高精度且高速之吸嘴筒夾23的自動更換。

圖10，是對應於圖7之比較例的真空抽吸臂之放大剖面圖，當按壓球為奇數個的情況，關於通過第1筒狀的中心軸之鏡像面無法成為鏡像關係。特別是如圖10(b)所示般，當按壓球為第1按壓球21a單1個的情況，彈簧15的按壓雖藉由第1按壓球21a傳遞到吸嘴筒夾23的保持溝槽41，但因為力僅從一方向施加，被固定之吸嘴筒夾23的位置不穩定而會發生縱搖等，會對被操作對象物的吸附脫附造成影響。此外，因為是非對稱配置，產生構件的磨耗不均之可能性提高，對於高精度高速自動更換系統所使用之高速上下運動並不適用。如圖10(a)所示般，第1按壓球21a、第2按壓球21b及第3按壓球21c共3個按壓球的情況也是，當伴隨高速上下運動而被施加δ函數般的衝撃力的情況，因為力無法被成為鏡像關係之對向按壓球推回，被固定的吸嘴筒夾23之位置不穩定，會對被操作對象物的吸附脫附造成影響，產生構件的磨耗不均之可能性提高。如圖7(a)及(b)所示般，藉由將按壓球設定為偶數個而將按壓球對置，縱使是伴隨高速上下運動而被施加δ函數般的衝撃力的情況，仍能讓被固定之吸嘴筒夾23的位置穩定。如此，藉由將按壓球設定為偶數個而實現鏡像關係，對被操作對象物的吸附脫附造成不良影響、或產生構件的磨耗不均之可能性降低，而能運用於吸嘴筒夾23之高精度高速自動更換系統。

構成實施形態的真空抽吸臂之構件材料主要設想為金屬，例如在吸嘴筒夾23可利用栓槽軸。然而，構成真空抽吸臂的構件，只要具有可承受作為精密加工裝置的一部分來使用之強度和加工性，是採用其他材料亦可。例如亦可採用：加入玻璃纖維、碳纖維等之纖維強化塑膠 (FRP)，在內部具有金屬材料且在周圍是將塑膠射出成形而成之複合材料等。

依據圖1所示的實施形態之真空抽吸臂之筒夾座(11，13，15，17，21a，21b)，是利用彈簧15所致之往下方的對稱按壓之分力來作為用於將吸嘴筒夾23固定之按壓用的對稱方向的力，比起使用橡膠等的彈性體進行按壓的情況，鎖定狀態下的固定力不會衰減。此外，縱使被操作對象物在吸附脫附動作中進行高速上下運動，因為始終受到彈簧15所致之往下方之成為鏡像關係的按壓之分力，難以發生吸嘴筒夾23的縱搖、橫搖、旋轉方向的搖擺，可將被插入吸嘴筒夾23之吸嘴尖端所進行之被操作對象物的吸附脫附確保為高精度。

再者，構成為從吸嘴頭單元(23，25，51)可將吸嘴尖端51分離自如的機構，主要的更換構件只有吸嘴尖端51，因此可構成更便宜的精密加工裝置。此外，吸嘴尖端51的規格變更也變容易。特別是，吸嘴筒夾23構成為使定位銷25嵌合於真空抽吸臂之定位溝槽45的構造，易於將吸嘴尖端51之前端的微細矩形之位置、方向正確地定位，而容易運用於具備高精度高速自動更換系統之真空抽吸型精密加工裝置等。

從圖4的狀態，若將吸嘴筒夾23插入筒夾插入孔35則變成圖2的狀態。當插入時彼此間發生水平方向的位置偏移的情況，只要位置偏移的程度是在吸嘴筒夾23之前端部分的圓錐面27之橫寬以內，在筒夾主軸11之下端部與圓錐面27接觸後，一邊使筒夾主軸11的下端部在圓錐面27滑動，一邊使筒夾主軸11或吸嘴筒夾23水平移動，即可在適切的水平位置將吸嘴筒夾23收納於筒夾插入孔35。

如圖4所示般，依據本發明的實施形態之吸嘴筒夾23，藉由將吸嘴筒夾23之前端形狀設定為具有圓錐面27的形狀，可避免當插入真空抽吸臂側之筒夾插入孔35時發生位置偏移。不須利用人的目視來進行位置偏移調整，不須準備其他裝置，能用更便宜且簡易的方法來防止位置偏移。

本發明雖是利用上述實施形態來描述，但應理解到，構成此揭示的一部分之論述及圖式並非用於限定本發明。根據此揭示，所屬技術領域具有通常知識者應明白會有各種的替代實施形態、實施例及運用技術。

此外，將在上述實施形態所說明之個別的技術思想的一部分適宜地互相組合亦可。如此般，本發明當然包含未在此記載之各種實施形態等。因此，本發明的技術範圍可根據上述說明妥當地解釋，而僅由申請專利範圍之發明特定事項所界定。

11‧‧‧筒夾主軸 13‧‧‧彈簧壓制部 15‧‧‧彈簧 17‧‧‧球壓制部 19‧‧‧按壓內周面 21a‧‧‧第1按壓球 21b‧‧‧第2按壓球 21c‧‧‧第3按壓球 21d‧‧‧第4按壓球 23‧‧‧吸嘴筒夾 25‧‧‧定位銷 27‧‧‧圓錐面 31‧‧‧真空抽吸孔 33‧‧‧間隙 35‧‧‧筒夾插入孔 37‧‧‧貫通孔 39‧‧‧吸嘴尖端插入孔 41‧‧‧保持溝槽 43a‧‧‧第1導引孔 43b‧‧‧第2導引孔 43c‧‧‧第3導引孔 43d‧‧‧第4導引孔 45‧‧‧定位溝槽 47‧‧‧吸嘴內側空間 49‧‧‧吸附窗 51‧‧‧吸嘴尖端 71‧‧‧真空配管用接頭(adapter)

圖1(a)係本發明的實施形態之真空抽吸臂的前視圖，圖1(b)係從圖1(a)的A-A方向觀察時之剖面圖，圖1(c)係圖1(b)的A部分之放大圖。 圖2(a)係在本發明的實施形態之真空抽吸臂將吸嘴尖端插入的情況之前視圖，圖2(b)係從圖2(a)的A-A方向觀察時之剖面圖。 圖3(a)係圖2(b)的吸嘴尖端之剖面立體圖，圖3(b)係將吸嘴尖端從下方觀察時的立體圖。 圖4係從圖2(b)的狀態將吸嘴筒夾及吸嘴尖端從本發明的實施形態之真空抽吸臂的筒夾座拔除後的剖面圖。 圖5(a)係從圖1(a)的狀態使球壓制部往上方滑動的情況之前視圖，圖5(b)係從圖5(a)之A-A方向觀察時的剖面圖，圖5(c)係圖5(b)的A部分之放大圖。 圖6(a)(b)(c)都是相當於圖1(b)的A部分之放大圖，圖6(a)係顯示吸嘴筒夾拔除前的圖，圖6(b)係將吸嘴筒夾拔除途中的變遷圖，圖6(c)係顯示吸嘴筒夾拔除後的圖。 圖7(a)係從圖1(a)的B-B方向觀察時之放大剖面圖，圖7(b)係按壓球為4個的情況之相當於圖7(a)的圖。 圖8(a)係具備有本發明的實施形態之真空抽吸臂之精密加工裝置整體的前視圖，圖8(b)係從圖8(a)的狀態將吸嘴筒夾及吸嘴尖端拔除後的狀態之剖面圖。 圖9係圖8(a)的立體圖。 圖10係對應於圖7之比較例的真空抽吸臂之放大剖面圖，圖10(a)係按壓球為3個的情況之圖，圖10(b)係按壓球為1個的情況之圖。

11‧‧‧筒夾主軸

13‧‧‧彈簧壓制部

15‧‧‧彈簧

17‧‧‧球壓制部

19‧‧‧按壓內周面

21a‧‧‧第1按壓球

21b‧‧‧第2按壓球

23‧‧‧吸嘴筒夾

25‧‧‧定位銷

31‧‧‧真空抽吸孔

33‧‧‧間隙

35‧‧‧筒夾插入孔

37‧‧‧貫通孔

39‧‧‧吸嘴尖端插入孔

41‧‧‧保持溝槽

43a‧‧‧第1導引孔

45‧‧‧定位溝槽

Claims (5)

1. 一種真空抽吸臂，其特徵在於，係具備筒夾主軸、球壓制部、第1及第2按壓球、吸嘴筒夾、彈簧壓制部、以及彈簧，該筒夾主軸，是形成為在中心軸側具有從下端的筒夾插入孔連續到上方的真空抽吸孔之第1筒狀，且設有從該第1筒狀的外周貫穿到前述真空抽吸孔之第1及第2導引孔，該第1及第2導引孔，關於通過前述中心軸之鏡像面成為鏡像關係，在與前述鏡像面垂直且通過前述中心軸的中心線上互相對向；該球壓制部，在沿著前述中心軸之剖面上，沿著前述中心軸的方向的中央是朝外周側突出而具有壁厚較厚的凸緣部，比該凸緣部更上方側是成為壁厚較薄的鞘部，而使前述剖面的形狀之前述上方側呈L字型段差形狀，該球壓制部係具有：位於前述L字型段差形狀的內周側且與前述筒夾主軸之外周面接觸之滑動內周面、從該滑動內周面在下方之遠離前述鞘部的位置朝相對於前述中心軸的離心方向擴大之錐狀的按壓內周面、及從該按壓內周面連續到下方之保護內周面，該球壓制部可沿前述中心軸方向滑動且呈筒狀；該第1及第2按壓球，分別配置於前述第1及第2導引孔內，可被從前述按壓內周面朝對稱方向按壓；該吸嘴筒夾是形成為第2筒狀，該第2筒狀，是在內部 具有從設置於下端部之吸嘴尖端插入孔連續到前述中心軸方向的上方之貫通孔，且上部的外徑形狀與前述筒夾插入孔的內徑形狀匹配，在該第2筒狀的外周面設置環狀的保持溝槽，該彈簧壓制部，其沿著前述中心軸之剖面形狀呈L字型段差形狀，且在下部側具有壁厚較薄之圓筒狀鞘部，並固定於前述筒夾主軸之前述外周面的一部分，該彈簧，其上端部的內周與前述彈簧壓制部之前述鞘部的外周接觸，其下端部的內周與前述球壓制部之前述鞘部的外周接觸，且可朝前述中心軸方向伸縮，當前述吸嘴筒夾的前述上部插入前述筒夾插入孔時，會將嵌合於前述保持溝槽之前述第1及第2按壓球朝向前述保持溝槽且互相朝對稱方向按壓。
2. 如請求項1所述之真空抽吸臂，其進一步具備：固定於前述第2筒狀的外周面且前述保持溝槽的下方之定位銷，當前述上部插入前述筒夾插入孔時，在設置於前述筒夾主軸之前述下端部的外緣部且前述第1導引孔的下方之缺口狀的定位溝槽，讓前述定位銷嵌合。
3. 一種筒夾座，其特徵在於，係具備筒夾主軸、球壓制部、第1及第2按壓球、彈簧壓制部、以及彈簧， 該筒夾主軸，是形成為在中心軸側具有從下端的筒夾插入孔連續到上方的真空抽吸孔之第1筒狀，且設有從該第1筒狀的外周貫穿到前述真空抽吸孔之第1及第2導引孔，該第1及第2導引孔，關於通過前述中心軸之鏡像面成為鏡像關係，在與前述鏡像面垂直且通過前述中心軸的中心線上互相對向；該球壓制部，在沿著前述中心軸之剖面上，沿著前述中心軸的方向的中央是朝外周側突出而具有壁厚較厚的凸緣部，比該凸緣部更上方側是成為壁厚較薄的鞘部，而使前述剖面的形狀之前述上方側呈L字型段差形狀，該球壓制部係具有：位於前述L字型段差形狀的內周側且與前述筒夾主軸之外周面接觸之滑動內周面、從該滑動內周面在下方之遠離前述鞘部的位置朝相對於前述中心軸的離心方向擴大之錐狀的按壓內周面、及從該按壓內周面連續到下方之保護內周面，該球壓制部可沿前述中心軸方向滑動且呈筒狀；該第1及第2按壓球，分別配置於前述第1及第2導引孔內，可被從前述按壓內周面朝對稱方向按壓；該彈簧壓制部，其沿著前述中心軸之剖面形狀呈L字型段差形狀，且在下部側具有壁厚較薄之圓筒狀鞘部，並固定於前述筒夾主軸之前述外周面的一部分，該彈簧，其上端部的內周與前述彈簧壓制部之前述鞘部的外周接觸，其下端部的內周與前述球壓制部之前述鞘部的外周接觸，且可朝前述中心軸方向伸縮， 前述筒夾插入孔是供吸嘴筒夾插入，該吸嘴筒夾是形成為第2筒狀，該第2筒狀，是在內部具有從設置於下端部之吸嘴尖端插入孔連續到前述中心軸方向的上方之貫通孔，且上部的外徑形狀與前述筒夾插入孔的內徑形狀匹配，在該第2筒狀的外周面設置環狀的保持溝槽，當前述吸嘴筒夾的前述上部插入前述筒夾插入孔時，會將嵌合於前述保持溝槽之前述第1及第2按壓球朝向前述保持溝槽且互相朝對稱方向按壓。
4. 一種吸嘴筒夾，其特徵在於，係形成為第2筒狀，該第2筒狀，是在內部具有從設置於下端部之吸嘴尖端插入孔連續到中心軸方向的上方之貫通孔，且上部的外徑形狀與筒夾座的下端之筒夾插入孔的內徑形狀匹配，在該第2筒狀的外周面設置環狀的保持溝槽，前述筒夾座係具備：筒夾主軸、球壓制部、第1及第2按壓球、彈簧壓制部、以及彈簧；該筒夾主軸，是形成為在中心軸側具有從前述筒夾插入孔連續到上方的真空抽吸孔之第1筒狀，且設有從該第1筒狀的外周貫穿到前述真空抽吸孔之第1及第2導引孔，該第1及第2導引孔，關於通過前述中心軸之鏡像面成為鏡像關係，在與前述鏡像面垂直且通過前述中心軸的中心線上互相對向；該球壓制部，在沿著前述中心軸之剖面上，沿著前述中心軸的方向的中央是朝外周側突出而具有壁厚較厚的凸緣部，比該凸緣部更 上方側是成為壁厚較薄的鞘部，而使前述剖面的形狀之前述上方側呈L字型段差形狀，該球壓制部係具有：位於前述L字型段差形狀的內周側且與前述筒夾主軸之外周面接觸之滑動內周面、從該滑動內周面在下方之遠離前述鞘部的位置朝相對於前述中心軸的離心方向擴大之錐狀的按壓內周面、及從該按壓內周面連續到下方之保護內周面，該球壓制部可沿前述中心軸方向滑動且呈筒狀；該第1及第2按壓球，分別配置於前述第1及第2導引孔內，可被從前述按壓內周面朝對稱方向按壓，該彈簧壓制部，其沿著前述中心軸之剖面形狀呈L字型段差形狀，且在下部側具有壁厚較薄之圓筒狀鞘部，並固定於前述筒夾主軸之前述外周面的一部分；該彈簧，其上端部的內周與前述彈簧壓制部之前述鞘部的外周接觸，其下端部的內周與前述球壓制部之前述鞘部的外周接觸，且可朝前述中心軸方向伸縮，當前述吸嘴筒夾的前述上部插入前述筒夾插入孔時，會將嵌合於前述保持溝槽之前述第1及第2按壓球朝向前述保持溝槽且互相朝對稱方向按壓。
5. 如請求項4所述之吸嘴筒夾，其進一步具備吸嘴尖端，該吸嘴尖端之上部插入前述吸嘴尖端插入孔。

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