TWI749169B - 加工裝置 - Google Patents

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Abstract

[課題]提供可以防止夾盤台之破損的加工裝置。 　　[解決手段]為一種加工裝置，其具備：在保持面保持被加工物的夾盤台；加工被保持於夾盤台之被加工物的加工單元；及控制各構成要速的控制單元，控制單元具備判定部及通報部，該判定部係判定在以被加工物之長邊側分割預定線和夾盤台之長邊側刀退避溝重疊之方式，使夾盤台和被加工物相對性移動而調整夾盤台對該被加工物之角度、位置之情況，短邊側分割預定線和短邊側刀退避溝是否重疊，該通報部係在以判定部判定短邊側分割預定線和短邊側刀退避溝不重疊之情況，將該主旨通報至操作員。

Description

加工裝置
本發眀係關於用以加工以封裝基板為代表之板狀被加工物之加工裝置。
於將複數裝置晶片被樹脂密封而構成的封裝基板分割成與各裝置晶片對應之封裝裝置晶片之時，例如，使用在成為旋轉軸之主軸安裝環狀之切削刀之切削裝置。在該用途中，在切削裝置設置對準成為分割對象之封裝基板而設計的專用夾盤台之情形為多(例如，參照專利文獻1)。
上述夾盤台具有與封裝基板之分割預定線(切割道)對應之切削刀用之退避溝，和用以吸引藉由分割預定線被區劃之封裝基板之各區域的複數吸引孔，可以直接保持封裝基板。因此，如以泛用夾盤台保持封裝基板之情況般，無須使膠帶介於夾盤台和封裝基板之間，容易將與封裝基板之分割有關的成本抑制成較低。
然而，由於封裝基板所使用之密封用的樹脂容易因熱等收縮，故封裝基板變形。實際分割預定線從事先設想之位置偏移之情形為多。在如此之情況，例如，對準夾盤台之退避溝而使切削刀切入至封裝基板時，在與實際的分割預定線不同之位置，封裝基板被切削，封裝裝置晶片破損。另外，當對準實際的分割預定線而使切削刀切入時，會導致夾盤台破損。
於是，提案有在封裝基板之分割預定線相對於夾盤台之退避溝在俯視觀看下不重疊之情況(即是，退避溝和分割預定線有偏移之情況)，可以調整夾盤台對封裝基板之角度或位置的加工裝置(例如，參照專利文獻2)。在該加工裝置中，比較攝影封裝基板而所取得之實際的晶片圖形，和基準圖形，因應其偏移而調整夾盤台之角度或位置，依此對退避溝重疊分割預定線。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2011-49193號公報 　　[專利文獻2]日本特開2011-114070號公報
但是，在上述般之加工裝置中，不管調整夾盤台之角度或位置如何，有夾盤台破損之情形。該問題係封裝裝置晶片之尺寸越小，或分割預定線之數量越增加，越容易產生。
本發眀係鑒於如此之問題而創作出，其目的在於提供可以防止夾盤台之破損的加工裝置。
若藉由本發明之一態樣時，提供一種加工裝置，具有：夾盤台，其係在保持面具備長邊側刀退避溝和短邊側刀退避溝，在該保持面保持該被加工物，該長邊側刀退避溝係與在表面具有在長邊方向延伸之複數長邊側分割預定線，和在與該長邊方向交叉之方向延伸之複數短邊側分割預定線的被加工物之該長邊側分割預定線對應，該短邊側刀退避溝係與該短邊側分割預定線對應；加工單元，其係加工被保持於該夾盤台之該被加工物；移動單元，其係使該夾盤台朝與該保持面平行之方向移動；旋轉單元，其係使該夾盤台繞與該保持面垂直之旋轉軸周圍旋轉；攝影單元，其係攝影被保持於該夾盤台之該被加工物；搬運單元，其係將該被加工物搬入至該夾盤台或從該夾盤台搬出；及控制單元，其係控制各構成要素，該加工裝置之特徵在於，該控制單元具備：退避溝資訊記憶部，其係記憶從攝影對準成為基準的角度及位置的該夾盤台之該保持面而所取得之攝影畫像求出的與該長邊側刀退避溝之角度、位置、寬度有關之資訊，和與該短邊側刀退避溝之角度、位置、寬度有關之資訊；分割預定線資訊記憶部，其係記憶從攝影被保持在該夾盤台之該被加工物而所取得之攝影畫像求出的與該長邊側分割預定線之角度及位置有關之資訊，和與該短邊側分割預定線之角度及位置有 關之資訊；偏移量算出部，其係根據被記憶於該退避溝資訊記憶部和該分割預定線資訊記憶部之資訊，算出該長邊側分割預定線和該長邊側刀退避溝之偏移量，和該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝之偏移量；判定部，其係在以該長邊側分割預定線和該長邊側刀退避溝重疊之方式，使該夾盤台和被加工物相對性移動而調整該夾盤台對該被加工物之角度、位置之情況，判定該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝是否重疊；及通報部，其係在以該判定部判定該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝不重疊之情況，將該主旨通報至操作員，在以該判定部判定該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝重疊之情況，以該搬運單元將該被加工物從該夾盤台在該搬運單元搬出，並且使該夾盤台旋轉，使該夾盤台移動，或使保持有被加工物之搬運單元移動，依此以再次被搬入至該夾盤之該被加工物之該長邊側分割預定線和該長邊側刀退避溝重疊之方式，調整該夾盤台對該被加工物之角度、位置。
在本發明之一態樣中，以於算出該長邊側分割預定線和該長邊側刀退避溝之該偏移量之時所使用的該長邊側分割預定線，係位於複數的該長邊側分割預定線之中央的該長邊側分割預定線，於算出該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝之該偏移量之時所使用的該短邊側分割預定線，係位於複數的該短邊側分割預定線之中央的該短邊側分割預定線為佳。
再者，在本發明之一態樣中，該判定部係以因應相對於該長邊側分割預定線的長度和該短邊側分割預定線的長度之和的該長邊側分割預定線的長度和該短邊側分割預定線的長度，算出該夾盤台之旋轉量為佳。
與本發明有關之一態樣的加工裝置具備：判定部，其係在以長邊側分割預定線和長邊側刀退避溝重疊之方式，調整夾盤台對被加工物之角度、位置之情況，判定短邊側分割預定線和短邊側刀退避溝是否重疊；和通報部，其係在以判定部判定短邊側分割預定線和短邊側刀退避溝不重疊之情況，將其主旨通報至操作員。
即是，因在重視於夾盤台對被加工物的角度、位置偏移之時，由於切削被加工物，導致使切削刀切入至夾盤台之保持面的可能性高的長邊側分割預定線及長邊側刀退避溝，而調整夾盤台之角度、位置，並且短邊側分割預定線和短邊側刀退避溝不重疊之情況，其主旨被通報，故在情況不會有勉強地加工被加工物而使得夾盤台破損之情形。如此一來，若藉由與本發明之一態樣有關的加工裝置，可以防止夾盤台之破損。
參照附件圖面，針對與本發明之一態樣有關之實施型態進行說明。圖1為示意性表示與本實施型態有關之切削裝置(加工裝置)2之構成例的斜視圖。如圖1所示般，切削裝置2具備支撐各構造之基台4。在基台4之上面前側，設置有用以收容被加工物11之收容區域6。該收容區域6係在重疊之狀態下收容複數被加工物11。
圖2為示意性表示被加工物11之構成例的斜視圖。被加工物11係例如被形成俯視觀看呈矩形之板狀的封裝基板。該被加工物11之表面11a側係以沿著長邊方向D1之複數長邊側分割預定線(切割道)13a，和沿著與長邊方向D1交叉之短邊方向D2而延伸的複數短邊側分割預定線(切割道)13b被區劃成複數區域15。
在各區域15，例如裝置晶片(無圖示)藉由樹脂被密封。另外，在本實施型態中，雖然複數裝置晶片藉由樹脂被密封之封裝基板做為被加工物11使用，但是被加工物11之材質、形狀、構造、大小等不受限制。例如，也可以將半導體、陶瓷、樹脂、金屬等之材料所構成之晶圓當作被加工物11使用。
在收容區域6之側方，如圖1所示般，形成在X軸方向(前後方向、加工進給方向)長的開口4a。在該開口4a設置有X軸移動台8、使X軸移動台8在X軸方向移動之滾珠螺桿式之X軸移動機構(移動單元)10(參照圖4)及覆蓋X軸移動機構10之防塵防滴蓋12。
在X軸移動台8之上方，設置有用以保持被加工物11之夾盤台(保持台)14。該夾盤台14與包含馬達等之旋轉驅動機構(旋轉單元)16(參照圖4)連結，繞大致平行於Z軸方向(垂直方向)之旋轉軸周圍旋轉。再者，夾盤台14係藉由上述X軸移動機構10在X軸方向移動(加工進給)。並且，針對夾盤台14之詳細於後述。
在收容區域6之上方，配置有用以將上述被加工物11從收容區域6搬運至夾盤台14之第1搬運單元18。以第1搬出單元18被搬運之被加工物11係以例如表面11a側露出至上方之方式，迫使載置於夾盤台14。
在基台4之上面，以跨過開口4a之方式，配置有用以支持兩組切削單元(加工單元)20之門型的支持構造22。在支持構造22之前面上部，設置有使各切削單元20在Y軸方向(左右方向、分度進給方向)及在Z軸方向移動之兩組切削單元移動機構(移動單元)24。
各切削單元移動機構24共同具備被配置在支持構造22之前面，且與Y軸方向平行之一對Y軸導軌26。在Y軸導軌26以能夠滑動之方式安裝有構成各切削單元移動機構24之Y軸移動板28。在各Y軸移動板28之背面側(後面側)設置有螺帽部(無圖示)。
在該螺帽部分別被螺合平行於Y軸導軌26之Y軸滾珠螺桿30。在各Y軸滾珠螺桿30之一端部連結Y軸脈衝馬達32。當以Y軸脈衝馬達32使Y軸滾珠螺桿30旋轉時，Y軸移動板28沿著Y軸導軌26而在Y軸方向移動。
在各Y軸移動板28之表面(前面)，設置有平行於Z軸方向之一對Z軸導軌34。在Z軸導軌34，以能夠滑動之方式安裝有Z軸移動板36。在各Z軸移動板36之背面側(後面側)設置有螺帽部(無圖示)。
在該螺帽部分別被螺合平行於Z軸導軌34之Z軸滾珠螺桿38。在各Z軸滾珠螺桿38之一端部連結Z軸脈衝馬達40。當以Z軸脈衝馬達40使Z軸滾珠螺桿38旋轉時，Z軸移動板36沿著Z軸導軌34而在Z軸方向移動。
在各Z軸移動板36之下部設置有切削單元20。該切削單元20具備有成為旋轉軸之主軸42(參照圖7(A)等)。在主軸42之一端側，安裝圓環狀之切削刀44。再者，在與切削單元20鄰接之位置，設置有用以攝影被加工物11等之攝影單元(攝影機)46。
若以各切削單元移動機構24使Y軸移動板28在Y軸方向移動時，切削單元20及攝影機46在Y軸方向移動(分度進給)。再者，若以各切削單元移動機構24使Z軸移動板36在Z軸方向移動時，切削單元20及攝影機46升降。
相對於開口4a在與收容區域6相反側的位置，設置有回收區域48。該回收區域48回收分割被加工物11而取得的複數封裝裝置晶片。在回收區域48之上方，配置有用以分割被加工物11而取得之複數封裝裝置晶片從夾盤台14搬運至回收區域48的第2搬運單元50。上述各構成要素係以例如切削裝置2內之控制單元52被控制。
圖3為示意性表示夾盤台14之構成例的斜視圖。如圖3所示般，夾盤台14之上面成為用以保持被加工物11之保持面14a。該保持面14a相對於Z軸方向大致垂直。即是，夾盤台14之旋轉軸相對於保持面14a成為大致垂直。
在夾盤台14之保持面14a側，設置有與被加工物11之長邊側分割預定線13a對應之長邊側刀退避溝14b，和與短邊側分割預定線13b對應之短邊側刀退避溝14c。長邊側刀退避溝14b及短邊側刀退避溝14c之上端在保持面14a開口。藉由該長邊側刀退避溝14b及短邊側刀退避溝14c，保持面14a被區劃成與分割後之被加工物11對應的複數區域。
長邊側刀退避溝14b及短邊側刀退避溝14c之寬度比切削刀44之寬度寬0.1mm~0.2mm左右。例如，切削刀44之寬度為0.1mm~0.3mm之情況，長邊側刀退避溝14b及短邊側刀退避溝14c之寬度成為0.3mm~0.7mm左右。
因此，就算長邊側刀退避溝14b或短邊側刀退避溝14c對X軸方向些微傾斜，夾盤台14和切削刀44也不一定會接觸。通常，鄰接的兩條長邊側刀退避溝14b的間隔皆一定，複數長邊側刀退避溝14b彼此形成平行。同樣，鄰接的兩條短邊側刀退避溝14c的間隔皆一定，複數短邊側刀退避溝14c彼此形成平行。
再者，長邊側刀退避溝14b及短邊側刀退避溝14c之深度較例如切削刀44之最大切入深度更深。依此，就算於沿著長邊側分割預定線13a及短邊側分割預定線13b切削被加工物11之時，使切削刀44充分切入，夾盤台14和切削刀44也不會接觸。
在藉由長邊側刀退避溝14b及短邊側刀退避溝14c而被區劃之各區域，形成有在保持面14a開口之吸引孔14d。各吸引孔14d經被形成在夾盤台14之內部的流路14e(參照圖5(A))或閥54(參照圖5(A)等)，被連接於吸引源56(參照圖5(A))。因此，若使被加工物11載置於夾盤台14之保持面14a，開啟閥54時，可以藉由夾盤台14吸引、保持被加工物11。
圖4為示意性地表示控制單元52之功能等之方塊圖。如圖4所示般，控制單元52被連接於X軸移動機構10、旋轉驅動機構16、第1搬運單元18、切削單元20、切削單元移動機構24、攝影單元46、第2搬運單元50等之構成要素。
該控制單元52係以可以適當地切削被加工物11之方式，控制各構成要素之動作等。再者，控制單元52為了調整夾盤台14對被加工物11之角度或位置等，具備有退避溝資訊記憶部52a、分割預定線資訊記憶部52b、偏移量算出部52c、判定部52d、通報部52e。
退避溝資訊記憶部52a記憶成為與調整之基準的長邊側刀退避溝14b之角度、位置、寬度等有關之資訊，和與短邊側刀退避溝14c之角度、位置、寬度有關之資訊。另外，該些資訊係從例如攝影對準成為基準角度及位置之狀態的夾盤台14之保持面14a而所取得的畫像(攝影畫像)所求出。
分割預定線資訊記憶部52b記憶與被保持於夾盤台14之被加工物11之長邊側分割預定線13a之角度、位置有關之資訊，和與短邊側分割預定線13b之角度、位置有關之資訊。另外，該些資訊係從攝影例如被保持於夾盤台14之狀態之被加工物11而取得之畫像(攝影畫像)而求出。
偏移量算出部62c係根據被記憶於退避溝資訊記憶部52a和分割預定線資訊記憶部52b之資訊，算出長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b之角度偏移量、位置偏移量、短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c之角度偏移量、位置偏移量。
判定部52d判定是否可以適當地進行夾盤台14對被加工物11之角度、位置的調整。具體而言，判定在以長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b重疊之方式，使夾盤台14旋轉，使夾盤台14在X軸方向移動，或使保持有被加工物11之第1搬運單元18在Y軸方向移動之情況，短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c是否重疊。
通報部52e係在判定部52d判定無法適當地進行夾盤台14之角度、位置之調整之情況，將其主旨通報(通知)至操作員等。具體而言，通報部52e係在判定部52d判定短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c不重疊之情況，將其主旨通報至操作員等。通報的方法並不特別限定，可以使用例如警告音之產生、聲音廣播、警告燈之點燈(點滅)、畫像(影像)之顯示等的方法。
接著，針對以上述切削裝置2調整夾盤台14對被加工物11的角度及位置的調整方法，以及使用該切削裝置2對被加工物11予以加工(切削)之加工方法進行說明。
在與本實施型態有關之夾盤台14之調整方法及被加工物11之加工方法中，首先，進行取得成為調整夾盤台14對被加工物11之角度及位置之時之基準的長邊側刀退避溝14b及短邊側刀退避溝14c之資訊的退避溝資訊取得步驟。圖5(A)為用以針對退避溝資訊取得步驟進行說明的示意圖。
在該退避溝資訊取得步驟中，首先，將夾盤台14之方向(角度))對準基準角度。雖然基準角度並無特別限定，但是，在本實施型態中，將長邊側刀退避溝14b對X軸方向成為平行之方向設為基準角度。同樣地，將夾盤台14對準基準位置。
接著，使攝影單元46對夾盤台14做相對性移動，將攝影單元46定位在成為調整角度及位置時之基準之任意的長邊側刀退避溝14b或短邊側刀退避溝14c之上方。而且，以該攝影單元46攝影夾盤台14之保持面14a側。依此，可以形成攝影到長邊側刀退避溝14b或短邊側刀退避溝14c之畫像(攝影畫像)。
之後，從以攝影單元46所形成的畫像，取得與長邊側刀退避溝14b之角度、位置、寬度有關的資訊，或與短邊側刀退避溝14c之角度、位置、寬度有關的資訊。例如，攝影保持面14a之時的夾盤台14和攝影單元46之位置關係，或攝影單元46之視野範圍(長度或寬度)等為已知。
依此，從攝影到長邊側刀退避溝14b之畫像，以邊緣檢測等之方法找出長邊側刀退避溝14b，取得其座標等之資訊，依此可以算出長邊側刀退避溝14b之角度、位置、寬度。同樣，從攝影到短邊側刀退避溝14c之畫像，以邊緣檢測等之方法找出短邊側刀退避溝14c，取得其座標等之資訊，依此可以算出短邊側刀退避溝14c之角度、位置、寬度。
與如此被算出之長邊側刀退避溝14b之角度、位置、寬度的資訊，與短邊側刀退避溝14c之角度、位置、寬度有關之資訊被記憶於上述退避溝資訊記憶部52a。
另外，成為基準之長邊側刀退避溝14b及成為基準之短邊側刀退避溝14c的選擇方法(位置或條數)並不特別限制，例如在之後的分割預定線資訊取得步驟中選擇與成為對象之長邊側分割預定線13a及短邊側分割預定線13b對應者即可。具體而言，例如在之後的分割預定線資訊取得步驟中將存在於被加工物11之中央的長邊側分割預定線13a設為對象之情況，選擇存在於夾盤台14之中央的長邊側刀退避溝14b作為基準即可。
同樣，例如在之後的分割預定線資訊取得步驟中將存在於被加工物11之中央的短邊側分割預定線13b設為對象之情況，選擇存在於夾盤台14之中央的短邊側刀退避溝14c作為基準即可。依此，長邊側刀退避溝14b和長邊側分割預定線13a之比較，或短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b之比較變得容易。
於退避溝資訊取得步驟之後，進行將被加工物11搬入至夾盤台14之被加工物搬入步驟。圖5(B)為用以針對被加工物搬入步驟進行說明的示意圖。在被加工物搬入步驟中，首先，以第1搬運單元18保持被收容在收容區域6之被加工物11之表面11a側，背面11b側接觸於保持面14a之方式，使被加工物11載置於夾盤台14(搬入)。
在此，第1搬運單元18係藉由控制單元52被控制成將被加工物11搬入至事先決定的位置。因此，被加工物11係以長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b在俯視觀看下大致重疊，短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c在俯視觀看下大致重疊之方式，被迫使載置於夾盤台14。於使被加工物11載置於夾盤台14之後，開啟閥54而使吸引源56之負壓作用於被加工物11。
於被加工物搬入步驟之後，進行取得與被保持於夾盤台14之被加工物11之長邊側割預定線13a及短邊側分割預定線13b有關之資訊的分割預定線資訊取得步驟。圖6(A)為用以針對分割預定線資訊取得步驟進行說明的示意圖。
在分割預定線資訊取得步驟中，使攝影單元46對夾盤台14做相對性移動，將攝影單元46定位在被形成在成為對象之任意的長邊側分割預定線13a或短邊側分割預定線13b之延長線上，且裝置晶片不被密封之外側區域的目標圖形(無圖示)之上方。而且，以該攝影單元46攝影被加工物11之表面11a側。依此，可以形成拍到與實際之長邊側分割預定線13a及短邊側分割預定線13b對應之目標圖形的畫像(攝影畫像)。
之後，從以攝影單元46所形成之畫像，取得與成為對象之長邊側分割預定線13a之角度、位置有關之資訊，和與成為對象之短邊側分割預定線13b之角度、位置有關之資訊。如上述般，攝影保持面14a之時的夾盤台14和攝影單元46之位置關係，或攝影單元46之視野範圍(長度或寬度)等為已知。
依此，可以從有拍到與長邊側分割預定線13a對應之目標圖形的畫像，以圖形匹配等之方法取得長邊側分割預定線13a之座標等之資訊，依此可以算出長邊側分割預定線13a之角度、位置。同樣，可以從有拍到與短邊側分割預定線13b對應之目標圖形的畫像，以圖形匹配等之方法取得短邊側分割預定線13b之座標等之資訊，依此可以算出短邊側分割預定線13b之角度、位置。
如與被算出的與長邊側分割預定線13a之角度、位置有關之資訊，和與短邊側分割預定線13b之角度、位置有關之資訊，被記憶在上述分割預定線資訊記憶部52b。
另外，雖然成為對象的長邊側分割預定線13a及短邊側分割預定線13b之選擇方法(位置或條數)並不特別限制，但是，例如以選擇存在於被加工物11之中央的長邊側分割預定線13a及短邊側分割預定線13b作為對象即可。因在被加工物11之中央，隨著被加工物11之伸縮或變形所導致的長邊側分割預定線13a及短邊側分割預定線13b之伸縮或變形被平均化之故。
具體而言，例如圖2所示般，選擇位於複數長邊側分割預定線13a之中央(區域A)的長邊側分割預定線13a作為對象即可。再者，例如選擇位於複數短邊側分割預定線13b之中央(區域B)之短邊側分割預定線13b作為對象即可。如此一來，藉由選擇存在於被加工物11之中央的長邊側分割預定線13a及短邊側分割預定線13b作為對象，依此即使例如在被加工物11變形成扇狀之情況，可以對所有的長邊側分割預定線13a及所有的短邊側分割預定線13b平均性地補正偏移。
於分割預定線資訊取得步驟之後，進行偏移量算出步驟，其係算出長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b之角度偏移量(例如，Δθ1)及位置偏移量(例如，ΔX1、ΔY1)，和短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c之角度偏移量(例如，Δθ2)及位置偏移量(例如，ΔX2、ΔY2)。
具體而言，根據被記憶於退避溝資訊記憶部52a和分割預定線資訊記憶部52b之資訊，偏移量算出部52c算出角度偏移量及位置偏移量。即是，偏移量算出部52c比較成為基準的長邊側刀退避溝14b之角度，和長邊側分割預定線13a之角度，算出其角度偏移量。再者，偏移量算出部52c比較成為基準的長邊側刀退避溝14b之位置，和長邊側分割預定線13a之位置，算出其位置偏移量。
同樣，偏移量算出部52c比較成為基準的短邊側刀退避溝14c之角度，和短邊側分割預定線13b之角度，算出其角度偏移量。再者，偏移量算出部52c比較成為基準的短邊側刀退避溝14c之位置，和短邊側分割預定線13b之位置，算出其位置偏移量。
於偏移量算出步驟之後，進行判定步驟，其係判定是否能適當地進行夾盤台14對被加工物11之角度及位置的調整。具體而言，在調整被加工物11和夾盤台14之角度、位置之關係而重疊長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b之情況，以判定部52d判定短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c是否重疊。
例如，可想像藉由在長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b的角度偏移量為Δθ1之情況，以Δθ之旋轉量使夾盤台14旋轉，長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b重疊。依此，判定部52d係判定在以Δθ之旋轉量使夾盤台14側旋轉之情況，短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c是否重疊。
具體而言，首先，從被記憶於退避溝資訊記憶部52a之短邊側刀退避溝14c之角度、位置，求出以Δθ之旋轉量使夾盤台14旋轉之後的短邊側刀退避溝14c之角度、位置。而且，考慮被記憶於退避溝資訊記憶部52a之短邊側刀退避溝14c之寬度，判定是否在旋轉後之短邊側刀退避溝14c重疊短邊側分割預定線13b。
即是，比較旋轉後之短邊側刀退避溝14c之資訊，和被記憶於分割預定線資訊記憶部52b之短邊側分割預定線13b之資訊，判定短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b是否重疊。
在此，相對於旋轉後的短邊側刀退避溝14c，短邊側分割預定線13b在X軸方向偏移之情況，例如，以第1搬運單元18將被加工物11從夾盤台14搬出之後，使夾盤台14在X軸方向移動，將被加工物11再次搬入至夾盤台14，依此容易重疊短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b。
另外，相對於旋轉後的短邊側刀退避溝14c，短邊側分割預定線13b在Y軸方向偏移之情況，例如，以第1搬運單元18將被加工物11從夾盤台14搬出之後，使搬運單元18在Y軸方向移動，將被加工物11再次搬入至夾盤台14，依此容易重疊短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b。
依此，即使在該些之情況，判定短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b重疊。即是，旋轉後之短邊側刀退避溝14c之位置，和被記憶於分割預定線資訊記憶部52b之短邊側分割預定線13b之位置，在X軸方向或Y軸方向偏移之情況，判定短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b重疊。
另外，控制單元52事先記憶旋轉後的短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b之X軸方向或Y軸方向之偏移量。該偏移量被使用於實際的調整。
同樣地，可想像長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b之角度偏移量為Δθ1，位置偏移量為ΔX1、ΔY1之情況，以Δθ之旋轉量使夾盤台14旋轉，以ΔX1之移動量使夾盤台14在X軸方向移動，以ΔY2之移動量使被加工物11(第1搬運單元18)在Y軸方向移動，依此重疊長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b。
依此，判定部52d係判定在以Δθ之旋轉量使夾盤台14側旋轉，以ΔX1之移動量使夾盤台14在X軸方向移動，以ΔY2之移動量使被加工物11(第1搬運單元18)在Y軸方向移動之情況，判定短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c是否重疊。
具體而言，首先，從被記憶於退避溝資訊記憶部52a之短邊側刀退避溝14c之角度、位置，求出以Δθ之旋轉量使夾盤台14旋轉，以ΔX1之移動量使夾盤台14在X軸方向移動之後的短邊側刀退避溝14c之角度、位置。
再者，從被記憶於分割預定線資訊記憶部52b之短邊側分割預定線13b之角度、位置，求出以ΔY2之移動量使被加工物11(第1搬運單元18)在Y軸方向移動之後之短邊側分割預定線13b之角度、位置。
而且，考慮被記憶於退避溝資訊記憶部52a之短邊側刀退避溝14c之寬度，判定是否在旋轉、移動後之短邊側刀退避溝14c重疊移動後的短邊側分割預定線13b。即是，比較旋轉、移動後之短邊側刀退避溝14c之資訊，和移動後之短邊側分割預定線13b之資訊，判定短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b是否重疊。
即是，即使在此情況，移動後之短邊側刀退避溝14c之位置，和移動後的短邊側分割預定線13b之位置，在X軸方向或Y軸方向偏移之情況，判定短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b重疊。控制單元52事先記憶旋轉、移動後的短邊側刀退避溝14c和移動後的短邊側分割預定線13b之X軸方向或Y軸方向之偏移量。該偏移量被使用於實際的調整。
在重疊長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b之狀態下，短邊側刀退避溝14c和短邊側分割預定線13b重疊這樣的情事係意味著藉由如此之調整不會使夾盤台14破損而可以加工被加工物11的情事。
即是，短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c重疊這樣的判定，相當於可以適當地進行夾盤台14對被加工物11之角度及位置之調整，即使調整後沿著長邊側分割預定線13a及短邊側分割預定線13b切削被加工物11，也不會切削傷及夾盤台14之保持面14a這樣的判定。另外，短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c重疊這樣的判定，相當於無法適當地進行夾盤台14對被加工物11之角度及位置之調整，而調整後沿著長邊側分割預定線13a及短邊側分割預定線13b切削被加工物11時，會切削傷及夾盤台14之保持面14a這樣的判定。
於判定無法適當地進行夾盤台14對被加工物11之角度、位置的調整之情況，接著，進行將主旨通報(通知)至操作員等之通報步驟。即是，在判定部52d判定短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c不重疊之情況，報知部52e係將其主旨通報至操作員等。
根據來自通報部52e之通報，例如操作員可以停止對象之被加工物11之加工。因此，不會有勉強加工該被加工物11而使得夾盤台14破損之情事。另外，控制單元52即使配合根據通報部52e進行的通報，停止根據切削裝置2進行的被加工物11之加工亦可。
對此，在判定成能夠適當地進行夾盤台14對被加工物11之角度、位置的調整之情況，即是，判定短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c重疊之情況，接著，進行從夾盤台14搬出被加工物11之被加工物搬出步驟。圖6(B)為用以針對被加工物搬出步驟進行說明的示意圖。
在被加工物搬出步驟中，首先，開啟閥54而截斷吸引源56之負壓。接著，藉由第1搬運單元18將保持面14a上之被加工物11之表面11a側予以保持，從夾盤台14抬起該被加工物11(搬出)。另外，在該被加工物搬出步驟中，若可以將被加工物11從夾盤台14抬起至不會對夾盤台14之旋轉及移動造成影響之程度即可。
於被加工物搬出步驟之後，進行調整步驟，其係調整夾盤台14對被加工物11之角度及位置。在該調整步驟中，對準在上述判定步驟中為了重疊長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b而被設定的夾盤台14之旋轉量，而使夾盤台14旋轉。
再者，對準在上述判定步驟中為了重疊長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b而被設定的夾盤台14之移動量，而使夾盤台14在X軸方向移動。並且，對準在上述判定步驟中為了重疊長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b而被設定的搬運單元18之移動量，而使搬運單元18朝Y軸方向移動。
另外，在上述判定步驟中，旋轉、移動後的短邊側刀退避溝14c，和移動後的短邊側分割預定線13b在X軸方向偏移之情況，外加其偏移量使夾盤台14在X軸方向移動。再者，在上述判定步驟中，旋轉、移動後的短邊側刀退避溝14c，和移動後的短邊側分割預定線13b在Y軸方向偏移之情況，外加其偏移量使搬運單元18在Y軸方向移動。
於調整步驟之後，進行再次將被加工物11搬入至夾盤台14之被加工物再搬入步驟。圖7(A)為用以針對被加工物再搬入步驟進行說明的示意圖。在該被加工物再搬入步驟中，以被保持於第1搬運單元18之被加工物11之背面11b側接觸於保持面14a之方式，使該被加工物11載置於夾盤台14(搬入)。
第1搬運單元18藉由控制單元52被控制成將被加工物11搬入至事先決定的位置，將被加工物11搬入至在上述調整步驟的調整(即是，搬運單元18朝Y軸方向之移動量)的位置。
因此，使被加工物11載置於夾盤台14時，成為長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b在俯視觀看下重疊，短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c在俯視觀看下重疊。於使被加工物11載置於夾盤台14之後，開啟閥54而使吸引源56之負壓作用於被加工物11。藉由上述，完成與本實施型態有關之夾盤台14之調整方法。
在與本實施型態有關之被加工物11之加工方法中，接著上述被加工物再搬入步驟，進行加工(切削)被加工物11之加工步驟(切削步驟)。圖7(B)為用以針對加工步驟進行說明的示意圖。在加工步驟中，例如使夾盤台14旋轉，將任意的長邊側分割預定線13a之伸長方向對準切削裝置2之X軸方向。
再者，使夾盤台14及切削單元20做相對性移動，例如將切削刀44之位置對準任意的長邊側分割預定線13a之延長線上。而且，使切削刀44之下端移動至較被加工物11之背面11b更低的位置。
之後，一面使切削刀44旋轉，一面使夾盤台14在X軸方向移動。依此，沿著任意的長邊側分割預定線13a使切削刀44切入，可以切斷被加工物11。
重複該動作，沿著所有的長邊側分割預定線13a而切斷、分割被加工物11之後，使夾盤台14旋轉，將任意的短邊側分割預定線13b之伸長方向對準切削裝置2之X軸方向。
再者，使夾盤台14及切削單元20做相對性移動，例如將切削刀44之位置對準任意的短邊側分割預定線13b之延長線上。而且，使切削刀44之下端移動至較被加工物11之背面11b更低的位置。
之後，一面使切削刀44旋轉，一面使夾盤台14在X軸方向移動。依此，沿著任意的短邊側分割預定線13b使切削刀44切入，可以切斷被加工物11。重複該動作，當沿著所有的短邊側分割預定線13b而切斷、分割被加工物11時，加工步驟結束。
如上述般，與本實施型態有關之切削裝置(加工裝置)2具備：判定部52d，其係在以長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b重疊之方式，調整夾盤台14對被加工物11之角度、位置之情況，判定短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c是否重疊；和通報部52e，其係在以判定部52d判定短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c不重疊之情況，將其主旨通報至操作員。
即是，因在重視於夾盤台14對被加工物11的角度、位置偏移之時，由於切削被加工物11，導致使切削刀44切入至夾盤台14之保持面14a的可能性高的長邊側分割預定線13a及長邊側刀退避溝14b，而調整夾盤台14對被加工物11之角度、位置，並且短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c不重疊之情況，其主旨被通報，故在此情況不會有勉強地加工被加工物11而使得夾盤台14破損之情形。
另外，本發明並不限定於上述實施型態之記載，能夠做各種變更而加以實施。例如，在上述實施型態中，雖然針對以切削刀44切削被加工物11之切削裝置2進行說明，但是本發明之加工裝置即使為以雷射光束加工被加工物11之雷射加工裝置等亦可。
再者，在上述實施型態之判定步驟中，雖然僅考慮長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b之關係，判定重疊長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b之情況，短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c是否重疊，但是長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b之重疊方法無限制。
例如，即使外加短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c之關係，設定(算出)夾盤台14之旋轉量、夾盤台14之移動量、被加工物11(第1搬運單元)18之移動量亦可。具體而言，可想像因應相對於長邊側分割預定線13a的長度和短邊側分割預定線13b的長度之和的長邊側分割預定線13a的長度及短邊側分割預定線13b的長度，設定夾盤台14之旋轉量。
例如，長邊側分割預定線13a之長度x，短邊側分割預定線13b之長度為y，長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b之角度偏移量為Δθ1，短邊側分割預定線13b和短邊側刀退避溝14c之角度偏移量為Δθ2之情況，將Δθ1･x/(x+y)+Δθ2･y/(x+y)之值設定成夾盤台14之旋轉量。
如此一來，藉由因應長邊側分割預定線13a的長度和短邊側分割預定線13b的長度之比率，設定夾盤台14之旋轉量，短邊側分割預定線13b容易與旋轉後的短邊側刀退避溝14c重疊。但是，即使在此情況，長邊側分割預定線13a和長邊側刀退避溝14b必須重疊。
其他，與上述實施型態有關之構造、方法等只要不脫離本發明之目的的範圍，可以做適當變更而加以實施。
2‧‧‧切削裝置(加工裝置)4‧‧‧基台4a‧‧‧開口6‧‧‧收容區域8‧‧‧X軸移動台10‧‧‧X軸移動機構(移動單元)12‧‧‧防塵防滴蓋14‧‧‧夾盤台14a‧‧‧保持面14b‧‧‧長邊側刀退避溝14c‧‧‧短邊側刀退避溝14d‧‧‧吸引孔14e‧‧‧流路16‧‧‧旋轉驅動機構(旋轉單元)18‧‧‧第1搬運單元20‧‧‧切削單元(加工單元)22‧‧‧支持構造24‧‧‧切削單元移動機構(移動單元)26‧‧‧Y軸導軌28‧‧‧Y軸移動板30‧‧‧Y軸滾珠螺桿32‧‧‧Y軸脈衝馬達34‧‧‧Z軸導軌36‧‧‧Z軸移動板38‧‧‧Z軸滾珠螺桿40‧‧‧Z軸脈衝馬達42‧‧‧主軸44‧‧‧切削刀46‧‧‧攝影單元(攝影機)48‧‧‧回收區域50‧‧‧第2搬運單元52‧‧‧控制單元52a‧‧‧退避溝資訊記憶部52b‧‧‧分割預定線資訊記憶部52c‧‧‧偏移量算出部52d‧‧‧判定部52e‧‧‧通報部54‧‧‧閥56‧‧‧吸引源11‧‧‧被加工物11a‧‧‧表面11b‧‧‧背面13a‧‧‧長邊側分割預定線(切割道)13b‧‧‧短邊側分割預定線(切割道)15‧‧‧區域
圖1為示意性表示切削裝置之構成例的斜視圖。 　　圖2為示意性表示被加工物之構成例的斜視圖。 　　圖3為示意性表示夾盤台之構成例的斜視圖。 　　圖4為示意性地表示控制單元之功能等之方塊圖。 　　圖5(A)係用以針對退避溝資訊取得步驟而做說明之示意圖，圖5(B)為用以針對被加工物搬入步驟而做說明的示意圖。 　　圖6(A)係用以針對分割預定線資訊取得步驟而做說明之示意圖，圖6(B)為用以針對被加工物搬出步驟及調整步驟而做說明的示意圖。 　　圖7(A)係用以針對被加工物再搬入步驟而做說明之示意圖，圖7(B)為用以針對切削步驟而做說明的示意圖。
2‧‧‧切削裝置(加工裝置)
4‧‧‧基台
4a‧‧‧開口
6‧‧‧收容區域
8‧‧‧X軸移動台
11‧‧‧被加工物
12‧‧‧防塵防滴蓋
14‧‧‧夾盤台
18‧‧‧第1搬運單元
20‧‧‧切削單元(加工單元)
22‧‧‧支持構造
24‧‧‧切削單元移動機構(移動單元)
26‧‧‧Y軸導軌
28‧‧‧Y軸移動板
30‧‧‧Y軸滾珠螺桿
32‧‧‧Y軸脈衝馬達
34‧‧‧Z軸導軌
36‧‧‧Z軸移動板
38‧‧‧Z軸滾珠螺桿
40‧‧‧Z軸脈衝馬達
44‧‧‧切削刀
46‧‧‧攝影單元(攝影機)
48‧‧‧回收區域
50‧‧‧第2搬運單元
52‧‧‧控制單元

Claims (3)

  1. 一種加工裝置，具有：夾盤台，其係在保持面具備長邊側刀退避溝和短邊側刀退避溝，在該保持面保持該被加工物，該長邊側刀退避溝係與在表面具有在長邊方向延伸之複數長邊側分割預定線，和在與該長邊方向交叉之方向延伸之複數短邊側分割預定線的被加工物之該長邊側分割預定線對應，該短邊側刀退避溝係與該短邊側分割預定線對應；加工單元，其係加工被保持於該夾盤台之該被加工物；移動單元，其係使該夾盤台朝與該保持面平行之方向移動；旋轉單元，其係使該夾盤台繞與該保持面垂直之旋轉軸周圍旋轉；攝影單元，其係攝影被保持於該夾盤台之該被加工物；搬運單元，其係將該被加工物搬入至該夾盤台或從該夾盤台搬出；及控制單元，其係控制各構成要素，該加工裝置之特徵在於，該控制單元具備：退避溝資訊記憶部，其係記憶從攝影對準成為基準的角度及位置的該夾盤台之該保持面而所取得之攝影畫像求 出的與該長邊側刀退避溝之角度、位置、寬度有關之資訊，和與該短邊側刀退避溝之角度、位置、寬度有關之資訊；分割預定線資訊記憶部，其係記憶從攝影被保持在該夾盤台之該被加工物而所取得之攝影畫像求出的與該長邊側分割預定線之角度及位置有關之資訊，和與該短邊側分割預定線之角度及位置有關之資訊；偏移量算出部，其係根據被記憶於該退避溝資訊記憶部和該分割預定線資訊記憶部之資訊，算出該長邊側分割預定線和該長邊側刀退避溝之偏移量，和該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝之偏移量；判定部，其係判定在以該長邊側分割預定線和該長邊側刀退避溝重疊之方式，使該夾盤台和被加工物相對性移動而調整該夾盤台對該被加工物之角度、位置之情況，該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝是否重疊；及通報部，其係在以該判定部判定該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝不重疊之情況，將該主旨通報至操作員，在以該判定部判定該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝重疊之情況，以該搬運單元將該被加工物從該夾盤台在該搬運單元搬出，並且使該夾盤台旋轉，使該夾盤台移動，或使保持有被加工物之搬運單元移動，依此以再次被搬入至該夾盤之該被加工物之該長邊側分割預定線和該長邊側刀退避溝重疊之方式，調整該夾盤台對該被加工物 之角度、位置。
  2. 如請求項1所記載之加工裝置，其中於算出該長邊側分割預定線和該長邊側刀退避溝之該偏移量之時所使用的該長邊側分割預定線，係位於複數該長邊側分割預定線之中央的該長邊側分割預定線，於算出該短邊側分割預定線和該短邊側刀退避溝之該偏移量之時所使用的該短邊側分割預定線，係位於複數該短邊側分割預定線之中央的該短邊側分割預定線。
  3. 如請求項1或2所記載之加工裝置，其中該判定部係以因應相對於該長邊側分割預定線的長度和該短邊側分割預定線的長度之和的該長邊側預定線的長度和該短邊側分割預定線的長度，算出該夾盤台之旋轉量。
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