TWI597448B - Method of manufacturing fluid control apparatus, fluid control apparatus, and protector for joints - Google Patents

Description

流體控制機器的製造方法、流體控制機器以及接頭用保護具

本發明係有關於一種流體控制機器的製造方法、流體控制機器以及流體控制機器所使用的接頭用保護具。

於製造半導體膜、絕緣膜、導電性膜等的薄膜的系統中，係於製程室(process chamber)供給氣體。氣體供給系統係藉由將開閉閥等的各種流體控制機器以配管連接而構成。流體控制機器彼此的連接或流體控制機器與配管間的連接係使用接頭。

圖10係顯示以往的流體控制機器的一部分的圖。流體控制機器1係在將接頭管3插通於螺帽4的貫通孔4A的狀態下，於裝載驅動部(未圖示)的本體2的兩側面將接頭管3的基端部熔接而構成。接頭管3前端的密封部3A的背面與螺帽4之間係構成有軸承5，使螺帽4成為易於旋轉。為了於流體控制機器1出貨時限制螺帽4的移動，尤其為了防止螺帽4往本體2側移動且密封部3A突出，故 於樹脂製的圓筒構件6A加入切痕6B而作為制動件(stopper)6，將制動件6裝設於接頭管3。藉此，以在移動中密封部3A不會無預警地突出而損傷的方式進行保護。

然而，在推式分配器(push type dispenser)中，作為將與噴嘴頭連動而上下動作的活塞的移動限制或調整移動範圍的手段而言，例如可考慮將制動件彈性地裝設的方式(專利文獻1至3)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開2002-273277號公報。

專利文獻2：日本特開2004-203456號公報。

專利文獻3：日本特開2012-153409號公報。

於前述流體控制機器中，由於用以將螺帽的移動限制的制動件係藉由於樹脂製的圓筒構件加入切痕而製作，故將藉由圓筒構件的復原力而保持其圓筒形狀。因此，由於制動件係彈性地密著於接頭管而裝設，且圓筒構件為薄壁而難以握持，故制動件的拆卸係十分費工。另外，在無塵度高的無塵室內中組裝流體控制機器時，由於作業者係戴著手套進行作業，故對作業者而言係難以裝卸此種制動 件。尤其，因對於圓筒構件的切痕，圓筒端部的切斷部分容易變得銳利，增加制動件的裝卸的困難性。

本發明係有鑑於上述課題而研發，其目的為提供一種流體控制機器的製造方法，可於製造流體控制機器時，減少從接頭用管將如制動件的構件裝卸的次數。另一目的為提供一種於流體控制機器的製造方法中使用的接頭用保護具，並且提供一種裝設有該接頭用保護具的流體控制機器。另外，再一目的為提供一種容易對接頭管裝卸的接頭用保護具。

為了實現上述目的及其他關連目的，本發明係藉由以下的流體控制機器的製造方法而實現。

將接頭管插通於螺帽的貫通孔且將前述接頭管熔接於流體控制機器本體用的本體，藉此藉由沿著前述接頭管的軸朝遠離前述本體的方向的前述螺帽的移動成為前述螺帽將前述接頭管的密封部收容的狀態，且藉由沿著前述接頭管的軸朝接近前述本體的方向的前述螺帽的移動成為前述密封部從前述螺帽突出的狀態；將接頭用保護具裝設於前述接頭管，藉此在以抑制前述螺帽的移動而使前述密封部不從前述螺帽突出的方式保護前述密封部的狀態下，將熔接有前述接頭管的本體予以洗淨，前述接頭用保護具係具有本體部，前述本體部係具有以與前述接頭管的軸周圍的 外周面具有隙縫的方式較前述接頭管的外直徑大徑的內周面，且前述本體部係具有用以裝設於前述接頭管的開縫(slit)。

本發明提供一種接頭用保護具，係可對接頭管進行裝卸，前述接頭管係在插通於螺帽的貫通孔的狀態下被熔接於本體且成為以下狀態：前述螺帽係沿著前述接頭管的軸朝遠離前述本體的方向移動，藉此使前述螺帽收容前述接頭管的密封部，且前述螺帽沿著前述接頭管的軸朝接近前述本體的方向移動，藉此使前述密封部從前述螺帽突出。前述接頭用保護具係具備有本體部，前述本體部係具有以與前述接頭管的軸周圍的外周面具有隙縫的方式較前述接頭管的外直徑大徑的內周面，且前述本體部係具有用以對前述接頭管進行裝卸的開縫。接頭用保護具係裝設於前述接頭管，藉此以抑制前述螺帽的移動而使前述接頭管的密封部不從前述螺帽突出的方式保護前述密封部。

挾著前述本體部的中心而於前述開縫的相反側具有抓握部。

較佳為前述抓握部係突出設置，其突出的長度係被設定為將前述接頭用保護具裝設於前述接頭管時不會從前述本體突出的長度。較佳為前述本體部的內周面的直徑為前述接頭管的外直徑的1.1倍至1.3倍。

較佳為前述本體部係由具有前述內周面的筒狀部所構成；於前述筒狀部中之形成前述開縫的端部設置有對於前述接頭管進行裝設用的一對導引部。前述導引部係被設定為較前述筒狀部的厚度更厚。前述導引部係具有面向前述開縫的平面，前述一對導引部中的前述平面彼此係以70度至100度的角度擴開。前述開縫的寬度係相對於前述接頭管的外直徑被設定為0.5倍至0.6倍。

前述接頭用保護具中較佳為前述本體部係將前述螺帽的移動方向的中間部從前述開縫側切開，於前述螺帽的移動方向的兩側將前述開縫分離而具有。亦可於在前述螺帽的移動方向分開的複數個片(peace)的對向的側面設置有連接用的扣合部，將前述扣合部扣合且將前述複數個片連結而構成。

另外，本發明的流體控制機器係構成為具有：流體控制機器本體，係將接頭管插通於螺帽的貫通孔且使前述接頭管連接於本體並於前述本體裝載驅動部而構成，前述螺帽沿著前述接頭管的軸朝遠離前述本體的方向移動，藉此使前述螺帽收容前述接頭管的前述密封部，前述螺帽沿著前述接頭管的軸朝接近前述本體的方向移動，藉此使前述密封部突出；以及由前述任一種所構成的接頭用保護具，係裝設於前述接頭管。

依據本發明，由於接頭用保護具係於接頭管的軸周圍開出隙縫而裝設，故可在將接頭用保護具裝設於接頭管的狀態下進行洗淨，而易於去除接頭管的外周面與本體部的內周面之間的髒污。另外，藉由將接頭用保護具裝設於接頭管，可以抑制螺帽的移動而使接頭管的密封部不會從螺帽突出的方式保護接頭管的密封部。尤其，接頭用保護具的本體部的內周面係與接頭管的軸周圍的外周面具有隙縫，且在本體部的外周面具有抓握部的情形中，成為易於藉由抓握部而進行對於接頭管的裝卸。藉此，可使對於接頭管的裝卸變得容易，且亦可保護接頭管的密封部。

1‧‧‧流體控制機器

2‧‧‧本體

3‧‧‧接頭管

3A‧‧‧密封部

4‧‧‧螺帽

4A‧‧‧貫通孔

5‧‧‧軸

6‧‧‧制動件

6A‧‧‧圓筒構件

6B‧‧‧切痕

10‧‧‧流體控制機器

11‧‧‧流體控制機器本體

12‧‧‧本體

12B‧‧‧側面

12C‧‧‧底面

13‧‧‧接頭管

13A‧‧‧密封部

13B‧‧‧外周面

14‧‧‧螺帽

14A‧‧‧貫通孔

14B‧‧‧背面

15‧‧‧軸承

16‧‧‧流體操作用致動器

20、30‧‧‧接頭用保護具

21‧‧‧內周面

22‧‧‧本體部

22A‧‧‧環部

23‧‧‧抓握部

24‧‧‧開縫

25‧‧‧筒狀部

25A‧‧‧端部

25B‧‧‧導引部

26‧‧‧溝

27A、27B‧‧‧片

28‧‧‧對向面

29A‧‧‧凸部

29B‧‧‧凹部

40‧‧‧接觸部位

D‧‧‧直徑

d‧‧‧外直徑

W‧‧‧尺寸

圖1為顯示本發明的實施形態之流體控制機器的立體圖。

圖2為顯示本發明的第一實施形態之接頭用保護具的立體圖。

圖3為圖2所示的接頭用保護具的剖面圖。

圖4為顯示本發明的第二實施形態之接頭用保護具的立體圖。

圖5為圖4所示的接頭用保護具的側視圖。

圖6顯示本發明的第三實施形態之接頭用保護具，圖6中的(a)及(b)為顯示構成接頭用保護具的各片的立體圖，圖6中的(c)為接頭用保護具的立體圖。

圖7為圖6所示的接頭用保護具的側視圖。

圖8為關於本發明的實施形態之流體控制機器的製造方法的流程圖。

圖9為顯示本發明的實施形態之接頭用保護具裝設於接頭管的狀態的圖。

圖10為顯示以往的流體控制機器之一部分的圖。

以下，參照圖式且詳細說明本發明的實施形態。

(裝設有接頭用保護具的流體控制機器本體)

圖1為顯示本發明的實施形態之流體控制機器10的立體圖。流體控制機器10係於流體控制機器本體11裝設接頭用保護具20而構成。流體控制機器本體11係具有：本體12，於內部具有流路；接頭管13，熔接於本體12的側面且連接有基端部；以及螺帽14，裝設於接頭管13。本體12係例如成為將用以控制內部的流體的閥體予以開閉驅動的流體操作用致動器等其他的驅動部的台座。

接頭管13係於內部形成有於軸方向流動流體的流路，於前端具有密封部13A，隨著從密封部13A往基端部側(熔接於本體12的端部側)而階段性地徑變小而成為例如大徑、中徑、小徑。螺帽14係藉由將接頭管13的密封部13A收容而保護密封部13A不受損傷等。螺帽14係藉由與 對象側的管接頭(coupling)(未圖示)締結，將該管接頭前端部與接頭管13的密封部13A以墊片(未圖示)夾壓而構成流體供給系統的一部分。為了使流體供給系統易於構築，亦可在接頭管13的密封部13A的背部中，於外徑階段性地變小的部分(亦稱為凸緣部。)裝設軸承15，藉此使螺帽14易於旋轉。螺帽14係構成為具有兩端解放之貫通孔的筒狀，螺帽14的本體12側的端部係以扣合於接頭管13的軸周圍突出的凸緣部的方式成為小徑的貫通孔，以下將其稱為袋狀的螺帽。

在接頭管13插通於螺帽14的貫通孔14A的狀態下，接頭管13的基端部被熔接於本體12，螺帽14的小徑的貫通孔14A較接頭管13的中間部及本體12基端部側的小徑部大，故螺帽14可於接頭管13的軸方向自由移動。亦即，藉由沿著接頭管13的軸朝遠離本體12的方向的螺帽14的移動，螺帽14係將接頭管13的密封部13A收容。並且，藉由沿著接頭管13的軸朝接近本體12的方向的螺帽14的移動，密封部13A從螺帽14露出且突出。在此，亦將流體控制機器本體中的本體12稱為流體控制機器本體用的本體。

(接頭用保護具)

如圖1所示，本發明的第1實施形態之接頭用保護具30係在將接頭管13插通於袋狀的螺帽14的貫通孔14A的 狀態下裝設於被熔接於本體12的接頭管13。圖2為本發明的第1實施形態之接頭用保護具20的立體圖，圖3為其剖面圖。

接頭用保護具20係具備有本體部22，該本體部22係具有以與接頭管13的軸周圍的外周面13B具有隙縫的方式較接頭管13的外直徑大徑的內周面21，本體部22係具有用以對接頭管13進行裝卸的開縫24。於圖1所示的形態中，抓握部23係從本體部22的外周面突出而形成，以相對於本體部22的中心與開縫24成為逆側(相反側)地突出的方式設置。

藉由將接頭用保護具20裝設於接頭管13，而可抑制螺帽14往接頭管13的軸方向的移動。亦即，螺帽14的背面14B與接頭管13的密封部13A間的距離被限制於一定範圍，另外，螺帽14的背面14B與本體12的側面12B間的距離被限制於一定範圍。藉此，使接頭管13的密封部13A成為不會從螺帽14突出而保護密封部13A。

接著，參照圖2及圖3進一步說明接頭用保護具20的具體形態。接頭用保護具20的本體部22係由具有內周面21的筒狀部25所構成，於筒狀部25之中的形成開縫24的端部25A具有對於接頭管13進行裝設用的導引部25B。導引部25B係具有較筒狀部25的端部25A以外的部位的 厚度更厚的厚度。一對導引部25B係從開縫24向外側擴開，導引部25B係於其方向形成平面狀。藉此，導引部25B的平面係作為對於接頭管13進行裝設時的引導而作用，變得易於進入。形成該平面的部位之厚度係較筒狀部25的端部25A以外的部位的厚度更厚。另外，導引部25B係於彼此相向及其相反側具有圓角，藉此提高作業性。

接頭用保護具20的抓握部23係以挾著本體部22的中心而於開縫24的相反側突出的方式設置。抓握部23係具有大致球形、大致楕圓球狀等的圓角。抓握部23的剖面雖可為三角、四角等的多角形，但以不會囤積粒子(particle)的沒有銳角的形狀較佳。本體部22的外周面起的抓握部23的突出長度(圖9所示的H)，亦即將接頭用保護具20裝設於接頭管13時的接頭用保護具20與接頭管13間的接觸部位起至抓握部23的前端為止的長度H，係被設定為將接頭用保護具20裝設於接頭管13時如圖9所示不會從本體12突出。例如被設定成不會從本體12的底面12C往下側突出。此乃為了防止於接頭管13裝設有接頭用保護具20的本體12載置於作業台等時抓握部23與作業台等干擾而使作業性悪化的情形。

如圖3的剖面圖所示，接頭用保護具20的本體部22係具有直徑(大徑)D較接頭管13的外直徑d還長的內周面21。在內周面21的剖面並非圓形狀而是楕圓形狀等的情形 中，係近似於具有與以內周面21圍起的面積等價的面積之圓形，其近似的圓的直徑只要較接頭管13的外直徑d大徑即可。若本體部22的內周面21密著於接頭管13，則後述的作業工程之中，即使在將接頭管13熔接於本體12後等進行洗淨，亦仍有於接頭管13的外表面與內周面21之間殘留渣之虞。相對地，若內周面21過大，則有從接頭管13脫離之虞。因此，大致使本體部22的剖面中空的等價剖面的直徑D為接頭管13的外直徑d的1.1倍至1.3倍左右的大小，尤其較佳為具有1.2±0.05倍的大小。又，內周面21的剖面不限於圓形狀、惰圓形狀，例如亦可為四角形，只要可對接頭管13進行裝卸即可。

就接頭用保護具20的素材而言，雖亦可如以往的制動件地使用鐵氟龍(Teflon，為註冊商標)，但亦可使用具有耐藥品性、耐熱性的聚丙烯等的低價的樹脂。

如圖3的剖面圖所示，接頭用保護具20的本體部22係具有用以對接頭管13進行裝卸的開縫24。開縫24廣則容易從接頭管13脫離，另一方面，若開縫24狹窄則難以裝設於接頭管13。在接頭用保護具20的素材為上述材料的情形下，較佳為開縫24的尺寸W係相對於接頭管13的外直徑d為0.5倍至0.6倍。

如圖3的剖面圖所示，接頭用保護具20的本體部22 係以形成開縫24的方式具有導引部25B。導引部25B係較除了本體部22的導引部25B以外的大致C字狀的環部22A的厚度更厚，亦即較筒狀部25的厚度更厚。此乃是為了藉由導引部25B而使對於接頭管13的裝設變得容易。一對導引部25B(一對導引部)係在開縫側呈現平面，成對的平面彼此係呈70度至100度。此乃因若導引部25B的平面彼此的夾角過大或過小，則接頭管13的裝設將變得不易。

圖4為顯示本發明的第2實施形態之接頭用保護具20的立體圖，圖5為顯示圖4的接頭用保護具20的側視圖。對於與圖2及圖3所示的接頭用保護具20相同或對應的部位附加相同的元件符號。於第2實施形態之接頭用保護具20中，係於本體部22的軸方向中間部從開縫24側切開而設置溝26，開縫24及導引部25B係於軸方向的兩側分離。在此，本體部22的軸方向係指與接頭管13的軸方向相同的方向。與第1實施形態不同，在第2實施形態之接頭用保護具20中，本體部22的內周面21覆蓋接頭管13的外周面13B的比例變小，亦即面積比例變小，而易於使接頭管13的外周面13B露出，以謀求洗淨的效率化。

接著，說明本發明的第3實施形態之接頭用保護具。裝設有接頭用保護具20的接頭管13係藉由流體供給線的設計等而設定軸方向的長度。因此，在對於軸方向較長的接頭管進行裝設的接頭用保護具20中，係將本體部22、 抓握部23、導引部25B之中的一個或複數個部位於軸方向分割為片，並於片彼此的對向側面預先設置扣合部，藉此可將複數個片的對向側面彼此扣合且一體化。扣合部係例如亦可構成為在片的一方及另一方的對向的側面形成凹部及凸部，以將該等彼此接合的方式在凹凸部嵌合且一體化。凹凸部並未侷限於形狀的凹凸，亦可為如銷與銷插入孔等。可對應適切設定的軸方向的長度而謀求零件的共通化。

圖6顯示本發明的第3實施形態之接頭用保護具，圖6中的(a)及(b)係顯示構成接頭用保護具的各片的立體圖；圖6中的(c)係接頭用保護具的立體圖，圖7為顯示圖6所示的接頭用保護具的側視圖。圖6中的(a)與圖6中的(b)係以片彼此的對向的面對於紙面成為前方的方式顯示。例如圖6及圖7所示，本發明的第3實施形態之接頭用保護具30係將複數個片27A、27B組裝而構成。本體部22、抓握部23及導引部25B係對應於裝設目標的接頭管13的軸方向而以複數個片27A、27B各自分離，接頭用保護具30係藉由組裝複數個片27A、27B而構成。於各片27A、27B的對向面28分別設置有組裝用的凸部29A、凹部29B的任一個，藉由將凸部29A嵌合於凹部29B而使複數個片27A與片27B一體化。第3實施形態中亦較佳為如第2實施形態地設置溝而使接頭管13的外周面13B易於洗淨。

(流體控制機器)

如圖1所示，本實施形態之流體控制機器10係具有：流體控制機器本體11，係將接頭管13插通於袋狀的螺帽14的貫通孔14A且於本體12熔接有接頭管13，於本體12裝載有例如流體操作用致動器16作為驅動部而構成；以及接頭用保護具20，裝設於流體控制機器本體11的接頭管13；接頭用保護具20係成為可由作業者自由從接頭管13裝卸。

藉由將接頭用保護具20裝設於接頭管13，抑制螺帽14往接頭管13的軸方向移動，螺帽14變成不會往本體12側過度移動，故接頭管13的密封部13A不會從螺帽14突出。藉此，可保護接頭管13的密封部13A不受衝擊或損傷等。作為流體控制機器10，可列舉藉由氣動(air)或手動而運行的開閉閥等。

(流體控制機器的製造方法)

說明本發明的實施形態之流體控制機器的製造方法。圖8為顯示本發明的實施形態之流體控制機器的製造方法的流程圖。

首先，於熔接位置，將接頭管13對應於本體12內的流路並予以熔接而連接(步驟1)。此時，接頭管13係插通於袋狀的螺帽14的貫通孔14A。於該狀態中，藉由使螺帽 14沿著接頭管13的軸往遠離本體12的方向移動，而使螺帽14收容接頭管13的密封部13A，藉由使螺帽14沿著接頭管13的軸朝接近本體12的方向移動，而使密封部13A從螺帽14露出且突出。

接著，將本發明的各實施形態之接頭用保護具20、30裝設在已將接頭管13熔接於本體12的在製品的接頭管13。於裝設時，作業者係抓握抓握部23，利用導引部25B並且從開縫24插入而將接頭用保護具20、30裝設於接頭管13。於該狀態下，螺帽14的移動被抑制，密封部13A不會從螺帽14突出，故密封部13A受到保護。之後，將複數個熔接有接頭管13的本體12搬運至洗淨場所。

之後，在洗淨場所中，視需要地將此種一個或複數個在製品收容於洗淨用網，並且進行以超音波等所進行的洗淨(步驟2)。如圖9所示，因抓握部23的質量，接頭用保護具20、30的抓握部23會朝向鉛直下側。由於在此種狀態下使在製品浸漬於洗淨液，故本體部22的導引部25B及其附近容易保持與接頭管13的接觸。然而，可盡可能地減少接頭用保護具20、30的內周面21與接頭管13間的接觸部分，而可藉由洗淨時的擺動將接頭管13的外周面13B整體予以洗淨。藉此，可將附著於接頭管13的殘留物去除。另外，在一邊流動洗淨液一邊進行洗淨的情形中，抓握部23係在保持卡掛於接頭管13的狀態下藉由洗淨液的 流動而對抓握部23施力，而使抓握部23繞著接頭管13旋轉。藉此，可更有效率地將接頭管13與本體12間的熔接部分及其周圍、接頭管13的外周面等更有效率地洗淨。

圖9係顯示將接頭用保護具20、30裝設於接頭管13之狀態的圖。接頭管13的外周面13B與接頭用保護具20、30的內周面21係僅於接觸部位40接觸。亦即，接頭管13的外周面13B與接頭用保護具20、30的內周面21之間會產生新月狀的隙縫。因此，藉由該隙縫使得洗淨或乾燥等的作業變得容易。

以往，從被搬運至洗淨場所的在製品之接頭管將制動件拆卸而洗淨，當洗淨結束時，為了搬運至檢查場所而將制動件裝設於接頭管。於本發明的實施形態中，由於在將接頭用保護具20、30裝設於接頭管13的狀態下進行洗淨，故提高作業效率。在洗淨時，由於接頭用保護具20、30本身也被洗淨，故流體控制機器的無塵度也會提高。

洗淨結束時，在製中的附接頭管的本體係被搬運至檢查場所。然後，於檢查場所中，作業者係抓握接頭用保護具20、30的抓握部23並從接頭管13拉離且拆卸，依循設計進行有無損傷、髒污等的檢查(步驟3)。以與前述同樣的順序將接頭用保護具20、30裝設於檢查合格的在製品的接頭管13。

接著，在製中附接頭管的本體係被搬運至無塵度高的超級無塵室內的洗淨場所。在此，作業者係與步驟2同樣地進行在製中的附接頭管的本體的洗淨(步驟4)，之後，經過預定的製程並搬送至組裝場所。在組裝場所中，進行將依據設計所定的流體操作用致動器16安裝於本體12等的組裝作業(步驟5)。

接著，在製中的附接頭管的本體係被搬運至超級無塵室內的檢查場所。在此，作業者係將接頭用保護具20、30拆卸，於接頭管13及本體12的流路內流動漏出檢查用的氣體而進行漏出檢查，進行最終檢查(步驟6)。於進行最終檢查時，作業者係抓握接頭用保護具20、30的抓握部23且從接頭管13拆卸，最終檢查係依循檢查項目而施行。以與前述同樣的順序將接頭用保護具20、30裝設於最終檢查合格的在製品的接頭管13。

之後，以與前述同樣的順序將接頭用保護具20、30裝設於最終檢查合格的在製品的接頭管13，並搬運至超級無塵室內的包裝作業場所。

最後，於包裝場所中，將在製品收容於真空用包而進行真空包裝(步驟7)。

如上所述，本發明的實施形態之製造方法中，沒有在洗淨前將接頭用保護具20、30從接頭管13拆卸並在洗淨結束後裝設於接頭管13的必要，故提高作業效率。藉由使用本發明的實施形態之接頭用保護具20、30，可在裝設於接頭管13的狀態下，進行洗淨、搬入及搬出等搬運的各種作業，另外亦可使對於接頭管13的拆裝變得容易，故可更進一步提高作業效率性。

又，流體控制機器的製造方法的順序係可適切變更，例如亦可在將接頭管13熔接於本體12後，進行是否滿足基準的檢查，之後，將接頭用保護具20裝設於接頭管13且予以洗淨。

本發明的實施形態係不被圖式的態樣、前述的事項所限定，而可於本發明的範圍中適切變更。例如可因應接頭管13的長度並因應有無軸承，而將接頭用保護具20、30著色，藉此消除作業上取用零件錯誤的情形。

13‧‧‧接頭管

13B‧‧‧外周面

20‧‧‧接頭用保護具

21‧‧‧內周面

22‧‧‧本體部

22A‧‧‧環部

23‧‧‧抓握部

24‧‧‧開縫

25‧‧‧筒狀部

25A‧‧‧端部

25B‧‧‧導引部

D‧‧‧直徑

d‧‧‧外直徑

W‧‧‧尺寸

Claims (12)

1. 一種流體控制機器的製造方法，至少包含以下步驟：以成為藉由沿著接頭管的軸朝遠離流體控制機器本體用之本體的方向的螺帽的移動成為前述螺帽將前述接頭管的密封部收容的狀態且藉由沿著前述接頭管的軸朝接近前述本體的方向的前述螺帽的移動成為前述密封部從前述螺帽突出的狀態，將前述接頭管插通於前述螺帽的貫通孔且將前述接頭管熔接於前述本體之步驟；將接頭用保護具裝設於前述接頭管之步驟，前述接頭用保護具係具有本體部，前述本體部係具有以與前述接頭管的軸周圍的外周面具有隙縫的方式較前述接頭管的外直徑大徑的內周面，且前述本體部係具有用以裝設於前述接頭管的開縫；在以抑制前述螺帽的移動而使前述密封部不從前述螺帽突出的方式保護前述密封部的狀態下，將熔接有前述接頭管的本體予以洗淨之步驟；以及對熔接有洗淨後之前述接頭管進行下一個製程之步驟。
2. 一種接頭用保護具，係可對接頭管進行拆裝，前述接頭管係在插通於螺帽的貫通孔的狀態下被熔接於本體且成為以下狀態：前述螺帽係沿著前述接頭管的軸朝遠離前述本體的方向移動，藉此使前述螺帽收容前述接頭管 的密封部，且前述螺帽沿著前述接頭管的軸朝接近前述本體的方向移動，藉此使前述密封部從前述螺帽突出；前述接頭用保護具係具備有本體部，前述本體部係具有以與前述接頭管的軸周圍的外周面具有隙縫的方式較前述接頭管的外直徑大徑的內周面，且前述本體部係具有用以對前述接頭管進行裝卸的開縫；前述接頭用保護具係裝設於前述接頭管，藉此以抑制前述螺帽的移動而使前述接頭管的前述密封部不從前述螺帽突出的方式保護前述密封部。
3. 如請求項2所記載之接頭用保護具，其中挾著前述本體部的中心而於前述開縫的相反側具有抓握部。
4. 如請求項3所記載之接頭用保護具，其中前述抓握部係突出於前述本體部而設置，其突出的長度係被設定為將前述接頭用保護具裝設於前述接頭管時不會從前述本體突出的長度。
5. 如請求項2所記載之接頭用保護具，其中前述本體部的內周面的直徑為前述接頭管的外直徑的1.1倍至1.3倍。
6. 如請求項2所記載之接頭用保護具，其中前述本體部係由具有前述內周面的筒狀部所構成；於前述筒狀部中之形成前述開縫的端部設置有對於前述接頭管進行裝設用的一對導引部。
7. 如請求項6所記載之接頭用保護具，其中前述導引部係被設定為較前述筒狀部的厚度更厚。
8. 如請求項7所記載之接頭用保護具，其中前述導引部係具有面向前述開縫的平面，前述一對導引部中的前述平面彼此係以70度至100度的角度擴開。
9. 如請求項2所記載之接頭用保護具，其中前述開縫的寬度係相對於前述接頭管的外直徑被設定為0.5倍至0.6倍。
10. 如請求項2所記載之接頭用保護具，其中前述本體部係將前述螺帽的移動方向的中間部從前述開縫側切開，於前述螺帽的移動方向的兩側將前述開縫分離而具有。
11. 如請求項2所記載之接頭用保護具，其中於在前述螺帽的移動方向分開的複數個片的對向的側面設置有連接用的扣合部，將前述扣合部扣合且將前述複數個片連結而構成。
12. 一種流體控制機器，係具有：流體控制機器本體，係將接頭管插通於螺帽的貫通孔且使前述接頭管連接於本體並於前述本體裝載驅動部而構成，前述螺帽沿著前述接頭管的軸朝遠離前述本體的方向移動，藉此使前述螺帽收容前述接頭管的前述密封部，前述螺帽沿著前述接頭管的軸朝接近前述本體的方向移動，藉此使前述密封部突出；以及如請求項2至11中任一項所記載的接頭用保護具，係裝設於前述接頭管。