CN107850254B - 流体控制设备的制造方法、流体控制设备及接头用保护件 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种高效地制造流体控制设备(10)的方法、方法中所用的接头用保护件(20、30)及流体控制设备(10)。接头用保护件(20、30)以可拆卸的方式被安装于在接头套管(13)插通在螺母的贯通孔中的状态下被焊接于主干部(12)的接头套管(13)。接头用保护件(20、30)的主体部(22)具有直径比接头套管(13)的外直径大的内周面(21)，以使内周面(21)与接头套管(13)的围绕轴的外周面(13B)之间具有间隙，主体部(22)具备用于相对于接头套管(13)进行装卸的缝隙(24)。通过将接头用保护件(20)安装于接头套管(13)，来抑制螺母沿着轴向的移动，使得接头套管13的密封部不从螺母突出，从而保护密封部。能够保持将接头用保护件(20、30)安装于主干部(12)的状态不变地进行清洗。
Description
技术领域
本发明涉及一种流体控制设备的制造方法、流体控制设备及其使用的接头用保护件。
背景技术
在制造半导体膜、绝缘膜、导电性膜等薄膜的系统中，向处理室供给气体。气体供给系统是通过配管将开关阀等各种流体控制设备连接而构成的。流体控制设备彼此之间的连接或流体控制设备与配管的连接使用接头。
图10是表示以往的流体控制设备的一部分的图。流体控制设备1构成为在接头套管3插通在螺母4的贯通孔4A中的状态下接头套管3的基端部与搭载驱动部(未图示)的主干部2的两个侧面焊接。在接头套管3顶端的密封部3A的背面与螺母4之间设置有轴承5，使螺母4变得易于旋转。在流体控制设备1出厂时，为了限制螺母4的移动，特别是为了防止螺母4向主干部2侧移动使密封部3A突出，在树脂制的圆筒部件6A设置切槽6B作为限位器6，将限位器6安装于接头套管3。这样，进行保护以使移动过程中密封部3A不会意外地突出而发生损伤。
然而，在推动式分配器(push type dispenser)中，作为限制与喷嘴头连动的上下移动的活塞的移动或者调整移动范围的手段，例如考虑将限位器以弹性的方式安装(专利文献1至3)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-273277号公报
专利文献2：日本特开2004-203456号公报
专利文献3：日本特开2012-153409号公报
发明内容
在上述的流体控制设备中，用于限制螺母移动的限位器是在树脂制的圆筒部件设置切槽而制成的，所以要通过圆筒部件的复原力来保持其圆筒形状。因此，由于限位器以弹性的方式被密接安装于接头套管且圆筒部件是薄壁而难以握持，所以在拆卸限位器时比较麻烦。此外，在洁净度(clean degree)较高的洁净室(clean room)内组装流体控制设备时，作业者戴着手套进行作业，因此对作业者而言这样的限位器的装卸较难进行。特别是，通过切开圆筒部件，圆筒端部的切断部分容易变得锐利，限位器装卸的难度增加。
因此，本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种流体控制设备的制造方法，其在制造流体控制设备时能够减少从接头用套管装卸限位器这样的部件的次数。其目的还在于提供一种在该制造方法中使用的接头用保护件，并提供一种安装有该接头用保护件的流体控制设备。此外，其目的还在于提供一种相对于接头套管的装卸比较容易的接头用保护件。
为了实现上述目的及其他关联目的，本发明由下述流体控制设备的制造方法实现：
将接头套管插通在螺母的贯通孔中并将上述接头套管焊接于流体控制设备主体用的主干部，由此形成下述状态：通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向远离上述主干部的方向移动，上述螺母收容上述接头套管的密封部，并且通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向靠近上述主干部的方向移动，上述密封部从上述螺母突出，
通过将接头用保护件安装于上述接头套管，来抑制上述螺母的移动，使得上述密封部不从上述螺母突出而保护上述密封部，在这样的状态下对焊接有上述接头套管的主干部进行清洗，其中，上述接头用保护件具备具有直径比上述接头套管的外直径大的内周面的主体部，以使得上述内周面与上述接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙，而且上述主体部具备用于向上述接头套管进行安装的缝隙。
本发明提供一种接头用保护件，能够相对于接头套管装卸，该接头套管在插通于螺母的贯通孔中的状态下被焊接于主干部，该接头套管呈下述状态：通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向远离上述主干部的方向移动，上述螺母收容上述接头套管的密封部，并且通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向靠近上述主干部的方向移动，上述密封部从上述螺母突出。上述接头用保护件具备具有直径比上述接头套管的外直径大的内周面的主体部，以使得上述内周面与上述接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙，上述主体部具备用于相对于上述接头套管进行装卸的缝隙。通过上述接头用保护件被安装于上述接头套管，来抑制上述螺母的移动，使得上述接头套管的密封部不从上述螺母突出而保护上述密封部。
在夹着上述主体部的中心而与上述缝隙相反的一侧具备把手部。
优选上述把手部突出地设置，其突出的长度被设定为在将上述接头用保护件安装于上述接头套管时不从上述主干部突出的长度。优选主体部的内周面的直径为接头套管的外直径的1.1至1.3倍。
优选上述主体部包括具有上述内周面的筒状部，在上述筒状部中的形成上述缝隙的端部设置有用于向上述接头套管进行安装的一对导向部。上述导向部被设定为比上述筒状部的壁厚更厚。上述导向部具有与上述缝隙相向的面，在一对上述导向部中上述平面彼此之间以70度至100度的角度扩开。上述缝隙的宽度被设定为上述接头套管的外直径的0.5至0.6倍。
在上述接头用保护件中，优选上述主体部在上述螺母的移动方向的中间部从上述缝隙侧被切开，在上述螺母的移动方向的两侧以分离的方式具有上述缝隙。也可以在上述螺母的移动方向上被分开的多个构件的相向的侧面设置有连接用的卡合部，使上述卡合部卡合而将上述多个构件连结而构成。
此外，本发明提供一种流体控制设备，其具备：流体控制设备主体，其是将接头套管插通在螺母的贯通孔中并将上述接头套管与主干部连接，将驱动部搭载于上述主干部而构成的，通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向远离上述主干部的方向移动，上述螺母收容上述接头套管的密封部，通过使上述螺母沿着上述接头套管的轴朝向靠近上述主干部的方向移动，上述密封部突出；以及由上述任一项构成的接头用保护件，其被安装于上述接头套管。
发明效果
根据本发明，由于接头用保护件围绕接头套管的轴隔开间隙地被安装，所以能够保持将接头用保护件安装于接头套管的状态不变地进行清洗，变得容易去除接头套管的外周面与主体部的内周面之间的污垢。此外，通过将接头用保护件安装于接头套管，来抑制螺母的移动，使得接头套管的密封部不从螺母突出，从而保护接头套管的密封部。特别是，在接头用保护件的主体部的内周面与接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙、并且在主体部的外周面具备把手部的情况下，利用把手部容易进行相对于接头套管的装卸。因此，能够容易进行相对于接头套管的装卸，并且保护接头套管的密封部。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式涉及的流体控制设备的立体图。
图2是表示本发明的第一实施方式涉及的接头用保护件的立体图。
图3是图2所示的接头用保护件的截面图。
图4是表示本发明的第二实施方式涉及的接头用保护件的立体图。
图5是图4所示的接头用保护件的侧视图。
图6表示本发明的第三实施方式涉及的接头用保护件，(a)和(b)是表示构成接头用保护件的各构件的立体图，(c)是接头用保护件的立体图。
图7是图6所示的接头用保护件的侧视图。
图8是关于本发明的实施方式涉及的制造流体控制设备的方法的流程图。
图9是表示本发明的实施方式涉及的接头用保护件被安装于接头套管的状态的图。
图10是表示以往的流体控制设备的一部分的图。
附图标记说明
10：流体控制设备
11：流体控制设备主体
12：主干部
13：接头套管
13A：密封部
13B：外周面
14：螺母
14A：贯通孔
14B：背面
15：轴承
16：流体操作用致动器
20、30：接头用保护件
21：内周面
22：主体部
22A：环形部
23：把手部
24：缝隙
25：筒状部
25A：筒状部的端部
25B：导向部
26：槽
27A、27B：构件
28：相向面
29A：凸部
29B：凹部
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。
(安装有接头用保护件的流体控制设备主体)
图1是表示本发明的实施方式涉及的流体控制设备10的立体图。流体控制设备10构成为将接头用保护件20安装于流体控制设备主体11。流体控制设备主体11具备：在内部具有流路的主干部12、焊接于主干部12的侧面而基端部被连接的接头套管13、以及被安装于接头套管13的螺母14。主干部12成为例如对用于控制内部流体的阀体进行开关驱动的流体操作用致动器等驱动部的底座。
接头套管13在内部形成有流体沿着轴向流动的流路，在顶端具有密封部13A，直径随着从密封部13A至基端部侧(被焊接于主干部12的端部侧)阶段性减小，例如成为大径、中径、小径。螺母14收容接头套管13的密封部13A，由此保护密封部13A不受损伤等。螺母14与相对方的连接器(coupling)(未图示)连结，由此该连接器顶端部和接头套管13的密封部13A夹压垫片(未图示)，构成流体供给系统的一部分。为了易于构筑流体供给系统，也可以在接头套管13的密封部13A的背部的、外径阶段性减小的部分(也可以称为凸缘部)安装轴承15，由此使螺母14易于旋转。螺母14构成为具有两端开放的贯通孔的筒状，螺母14的主干部12一侧的端部由小径贯通孔构成，以便与接头套管13的围绕轴突出的凸缘部卡合，以下将其称为袋状螺母。
在接头套管13插通在螺母14的贯通孔14A中的状态下，接头套管13的基端部被焊接于主干部12，由于螺母14的小径贯通孔14A比接头套管13的中间部及主干部12基端部侧的小径部大，所以螺母14可沿着接头套管13的轴向自由移动。即，通过使螺母14沿着接头套管13的轴朝向远离主干部12的方向移动，螺母14收容接头套管13的密封部13A。并且，通过使螺母14沿着接头套管13的轴朝向靠近主干部12的方向移动，密封部13A从螺母14露出而突出。这里，也将流体控制设备主体的主干部12称为流体控制设备主体用的主干部。
(接头用保护件)
如图1所示，本发明的第一实施方式涉及的接头用保护件20安装在接头套管13，该接头套管13在接头套管13插通在袋状螺母14的贯通孔14A中的状态下被焊接于主干部12。图2是表示本发明的第一实施方式涉及的接头用保护件20的立体图，图3是其截面图。
接头用保护件20具备具有直径大于接头套管13的外直径的内周面21的主体部22，以使得内周面21与接头套管13的围绕轴的外周面13B之间具有间隙，主体部22具备用于相对于接头套管13进行装卸的缝隙24。在图1所示的状态下，把手部23设置成从主体部22的外周面突出地形成，在相对于主体部22的中心而与缝隙24相反的一侧(相反侧)突出。
接头用保护件20被安装于接头套管13，由此抑制螺母14沿着接头套管13的轴向移动。也就是说，螺母14的背面14B与接头套管13的密封部13A之间的距离被限制在一定范围内，并且螺母14的背面14B与主干部12的侧面12B之间的距离被限制在一定范围内。因此，使得接头套管13的密封部13A不从螺母14突出，从而保护密封部13A。
接着，参照图2及图3进一步对接头用保护件20的具体方式进行说明。接头用保护件20的主体部22包括具有内周面21的筒状部25，在筒状部25中的形成缝隙24的端部25A设置有用于向接头套管13进行安装的导向部25B。导向部25B具有比筒状部25的端部25A以外的部位的厚度厚的厚度。一对导向部25B从缝隙24向外侧扩开，导向部25B在该方向上形成为平面状。因此，导向部25B的平面作为向接头套管13进行安装时的引导件发挥功能，变得易于进入。形成该平面的部位的厚度比筒状部25的端部25A以外的部位的厚度厚。此外，导向部25B在彼此相向的方向及相反侧具有圆角，由此作业性提高。
接头用保护件20的把手部23设置成向夹着主体部22的中心而与缝隙24相反的一侧突出。把手部23具有大致球形、大致楕圆球状等圆形状。把手部23的截面也可以是三角形、四边形等多边形，但是最好不存在锐角以使得颗粒不会积存。把手部23从主体部22的外周面突出的长度(图9所示的H)、即在将接头用保护件20安装于接头套管13时从接头用保护件20与接头套管13的接触部位至把手部23的顶端为止的长度H被设定为，在将接头用保护件20安装于接头套管13时不从图9所示的主干部12突出。例如被设定为不从主干部12的底面12C向下侧突出。这是为了防止将在接头套管13安装有接头用保护件20的主干部12载置于作业台等时把手部23与作业台等发生干扰而使作业性变差。
如图3的截面图所示，接头用保护件20的主体部22具有直径(大径)D比接头套管13的外直径d长的内周面21。在内周面21的截面并非圆形而是楕圆形状等情况下，以具有与内周面21所包围的面积等效的面积的圆形来近似，该近似的圆的直径比接头套管13的外直径d大即可。如果主体部22的内周面21与接头套管13密接，则即使在后述的作业工序中将接头套管13焊接于主干部12之后等时进行清洗，接头套管13的外表面与内周面21之间也可能残留有残渣。反之，如果内周面21过大，则可能脱离接头套管13。因此，大体上主体部22的截面中空的等效截面直径D具有接头套管13的外直径d的1.1至1.3倍左右的大小，特别优选具有1.2±0.05倍的大小。另外，内周面21的截面不限于圆形、楕圆形状，例如也可以是四边形，只要能够相对于接头套管13装卸即可。
作为接头用保护件20的材料，可以如以往的限位器那样使用特氟隆(注册商标)，也能够使用具有耐药品性、耐热性的聚丙烯等廉价树脂。
如图3的截面图所示，接头用保护件20的主体部22具备用于相对于接头套管13进行装卸的缝隙24。如果缝隙24较大，则易于脱离接头套管13，另一方面，如果缝隙24较小，则难以安装于接头套管13。在接头用保护件20的材料是上述材料的情况下，优选缝隙24的尺寸W为接头套管13的外直径d的0.5至0.6倍。
如图3的截面图所示，接头用保护件20的主体部22以形成缝隙24的方式设置导向部25B。导向部25B比主体部22的除了导向部25B以外的大致C形的环形部22A、即筒状部25的厚度厚。这是为了利用导向部25B容易地被安装于接头套管13。导向部25B成对(一对导向部)在缝隙侧呈平面状，成对的平面彼此构成70度至100度。这是由于，如果导向部25B的平面彼此构成的角度过大或过小，则不易于被安装于接头套管13。
图4是表示本发明的第二实施方式涉及的接头用保护件20的立体图，图5是图4所示的接头用保护件20的侧视图。对与图2及3所示的接头用保护件20相同或对应的部位标注相同的附图标记。在第二实施方式涉及的接头用保护件20中，在主体部22的轴向中间部从缝隙24侧切开来设置槽26，缝隙24及导向部25B在轴向的两侧分离。这里，主体部22的轴向是与接头套管13的轴向相同的方向。在第二实施方式涉及的接头用保护件20中，与第一实施方式不同，主体部22的内周面21覆盖接头套管13的外周面13B的比例、即面积比例减小，使接头套管13的外周面13B容易露出，实现清洗的高效化。
接着，对本发明的第三实施方式涉及的接头用保护件进行说明。安装有接头用保护件20的接头套管13根据流体供给线的规格等来设定轴向的长度。因此，在被安装于轴向上比较长的接头套管的接头用保护件20中，主体部22、把手部23、导向部25B中的一个或多个部位在轴向上被分割为构件(piece)，在构件彼此的相向侧面设置有卡合部，由此能够使多个构件的相向侧面彼此卡合而一体化。卡合部例如可以构成为在构件的一个及另一个相向的侧面形成凹部及凸部，以使它们彼此接合的方式利用凹凸部进行嵌合而一体化。凹凸部不仅是形状的凹凸，也可以是销和销插入孔这样的部件。能够与适当设定的轴向长度对应，实现部件的通用化。
图6表示本发明的第三实施方式涉及的接头用保护件，(a)及(b)是表示构成接头用保护件的各构件的立体图，(c)是接头用保护件的立体图，图7是图6所示的接头用保护件的侧视图。图6(a)和图6(b)示出了构件彼此相向的面位于纸面的跟前侧。例如如图6及图7所示，本发明的第三实施方式涉及的接头用保护件30通过组装多个构件27A、27B而构成。主体部22、把手部23及导向部25B与作为安装目的地的接头套管13的轴向对应地按多个构件27A、27B被分开，接头用保护件30通过组装多个构件27A、27B而构成。在各构件27A、27B的相向面28分别设置有组装用的凸部29A、凹部29B中的某一个，通过将凸部29A与凹部29B嵌合而使多个构件27A和构件27B一体化。在第三实施方式中，也如第二实施方式那样优选设置槽而使接头套管13的外周面13B容易清洗。
(流体控制设备)
如图1所示，本实施方式涉及的流体控制设备10具备：流体控制设备主体11，其构成为将接头套管13插通在袋状螺母14的贯通孔14A中并将接头套管13焊接于主干部12，作为驱动部例如将流体操作用致动器16搭载于主干部12；以及被安装于流体控制设备主体11的接头套管13的接头用保护件20，由作业者将接头用保护件20从接头套管13自由装卸。
通过将接头用保护件20安装于接头套管13，来抑制螺母14沿着接头套管13的轴向移动，由于螺母14不向主干部12侧超出所需地移动，所以接头套管13的密封部13A不从螺母14突出。因此，保护接头套管13的密封部13A不受冲击或损伤等。作为流体控制设备10，能够列举气动或手动的开关阀等。
(流体控制设备的制造方法)
对本发明的实施方式涉及的流体控制设备的制造方法进行说明。图8是表示本发明的实施方式涉及的流体控制设备的制造方法的流程图。
首先，在焊接场所，与主干部12内的流路对应地通过焊接来连接接头套管13(步骤1)。此时，接头套管13被插通在袋状螺母14的贯通孔14A中。在这种状态下，通过使螺母14沿着接头套管13的轴朝向远离主干部12的方向移动，螺母14收容接头套管13的密封部13A，通过使螺母14沿着接头套管13的轴朝向靠近主干部12的方向移动，密封部13A从螺母14露出而突出。
接着，将本发明的各实施方式涉及的接头用保护件20、30安装于已将接头套管13焊接于主干部12的作为未成品的接头套管13。在安装时，作业者捏住把手部23，一边利用导向部25B一边将接头用保护件20、30从缝隙24插入并安装于接头套管13。在这种状态下，螺母14的移动被抑制，密封部13A不从螺母14突出，因此保护密封部13A。然后，将多个焊接有接头套管13的主干部12输送到清洗场所。
然后，在清洗场所，根据需要将这样的一个或多个未成品收容在清洗用网中之后，使用超声波等进行清洗(步骤2)。如图9所示，由于把手部23的质量，接头用保护件20、30的把手部23朝向铅垂下侧。由于在这种状态下未成品浸渍在清洗液中，所以容易保持主体部22的导向部25B及其附近与接头套管13接触的状态不变。然而，要尽可能减少接头用保护件20、30的内周面21与接头套管13的接触部分，在清洗时能够通过揺动来清洗接头套管13的整个外周面13B。由此，能够去除附着于接头套管13的残留物。此外，在一边使清洗液流动一边进行清洗的情况下，保持把手部23卡接于接头套管13的状态不变，通过清洗液的流动对把手部23施加力，把手部23在接头套管13的周围旋转。因此，能够更高效地清洗接头套管13与主干部12的焊接部分及其周围、接头套管13的外周面等。
图9是表示接头用保护件20、30被安装于接头套管13的状态的图。接头套管13的外周面13B和接头用保护件20、30的内周面21如附图标记40所示那样仅一点点部位接触。也就是说，在接头套管13的外周面13B与接头用保护件20、30的内周面21之间产生月牙状的间隙。因此，利用该间隙可容易进行清洗或干燥等作业。
以往，从被输送到清洗场所的作为未成品的接头套管卸下限位器进行清洗，在清洗结束时，由于要输送到检査场所而将限位器安装于接头套管。在本发明的实施方式中，由于保持将接头用保护件20、30安装于接头套管13的状态进行清洗，所以作业效率提高。在清洗时，接头用保护件20、30自身也被清洗，所以流体控制设备的洁净度也提高。
在清洗结束时，将未完成的带接头套管的主干部输送到检査场所。然后，在检査场所，作业者捏住接头用保护件20、30的把手部23，从接头套管13拉开并卸下，按照要求检查有无损伤或污垢等(步骤3)。按照与上述相同的步骤将接头用保护件20、30安装于检査合格的作为未成品的接头套管13。
接着，将未完成的带接头套管的主干部输送到洁净度较高的超级洁净室内的清洗场所。这里，作业者与步骤2同样对未完成的带接头套管的主干部进行清洗(步骤4)，然后，经过规定的处理，输送到组装场所。在组装场所，进行将根据规格决定的流体操作用致动器16安装于主干部12等组装作业(步骤5)。
接着，将未完成的带接头套管的主干部输送到超级洁净室内的检査场所。这里，作业者卸下接头用保护件20、30，使泄漏检査用气体流入接头套管13及主干部12的流路内，进行泄漏检査，并进行最终检査(步骤6)。在进行最终检査时，作业者捏住接头用保护件20、30的把手部23，从接头套管13卸下，根据检査项目进行最终检査。按照与上述相同的步骤将接头用保护件20、30安装于最终检査合格的作为未成品的接头套管13。
然后，按照与上述相同的步骤将接头用保护件20、30安装于最终检査合格的作为未成品的接头套管13，输送到超级洁净室内的包装作业场所。
最后，在包装场所，将未成品收容在真空用包内进行真空包装(步骤7)。
这样，在本发明的实施方式涉及的制造方法中，不需要在清洗前将接头用保护件20、30从接头套管13卸下并且在清洗结束后安装于接头套管13，作业效率提高。通过使用本发明的实施方式涉及的接头用保护件20、30，能够保持安装于接头套管13的状态不变地进行清洗、搬入及搬出的输送的各种作业，并且能够容易进行相对于接头套管13的装卸，因此作业效率性进一步提高。
另外，流体控制设备的制造方法的步骤能够适当变更，例如也可以在将接头套管13焊接于主干部12之后检查是否满足基准，然后，将接头用保护件20安装于接头套管13进行清洗。
本发明的实施方式不限于图示的方式、上述的事项，也可以在本发明的范围内进行适当变更。例如，根据接头套管13的长度并根据有无轴承来对接头用保护件20、30进行上色，由此能够消除作业上对部件的误取。
Claims (12)
1.一种流体控制设备的制造方法，其特征在于：
将接头套管插通在螺母的贯通孔中并将所述接头套管焊接于流体控制设备主体用的主干部，由此形成下述状态：通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向远离所述主干部的方向移动，所述螺母收容所述接头套管的密封部，并且通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向靠近所述主干部的方向移动，所述密封部从所述螺母突出，
通过将接头用保护件安装于所述接头套管，来抑制所述螺母的移动，使得所述密封部不从所述螺母突出而保护所述密封部，在这样的状态下对焊接有所述接头套管的主干部进行清洗，其中，所述接头用保护件具备具有直径比所述接头套管的外直径大的内周面的主体部，以使得所述内周面与所述接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙，而且所述主体部具备用于向所述接头套管进行安装的缝隙。
2.一种接头用保护件，其特征在于：
其能够相对于接头套管装卸，该接头套管在插通于螺母的贯通孔中的状态下被焊接于流体控制设备主体用的主干部，该接头套管呈下述状态：通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向远离所述主干部的方向移动，所述螺母收容所述接头套管的密封部，并且通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向靠近所述主干部的方向移动，所述密封部从所述螺母突出，
所述接头用保护件具备具有直径比所述接头套管的外直径大的内周面的主体部，以使得所述内周面与所述接头套管的围绕轴的外周面之间具有间隙，所述主体部具备用于相对于所述接头套管进行装卸的缝隙，
通过所述接头用保护件被安装于所述接头套管，来抑制所述螺母的移动，使得所述接头套管的密封部不从所述螺母突出而保护所述密封部。
3.根据权利要求2所述的接头用保护件，其特征在于：
在夹着所述主体部的中心而与所述缝隙相反的一侧具备把手部。
4.根据权利要求3所述的接头用保护件，其特征在于：
所述把手部突出地设置于所述主体部，其突出的长度被设定为在将所述接头用保护件安装于所述接头套管时不从所述主干部突出的长度。
5.根据权利要求2所述的接头用保护件，其特征在于：
所述主体部的内周面的直径为所述接头套管的外直径的1.1至1.3倍。
6.根据权利要求2所述的接头用保护件，其特征在于：
所述主体部包括具有所述内周面的筒状部，
在所述筒状部中的形成所述缝隙的端部设置有用于向所述接头套管进行安装的一对导向部。
7.根据权利要求6所述的接头用保护件，其特征在于：
所述导向部被设定为比所述筒状部的壁厚更厚。
8.根据权利要求7所述的接头用保护件，其特征在于：
所述导向部具有与所述缝隙相向的平面，在一对所述导向部中所述平面彼此之间以70度至100度的角度扩开。
9.根据权利要求2所述的接头用保护件，其特征在于：
所述缝隙的宽度被设定为所述接头套管的外直径的0.5至0.6倍。
10.根据权利要求2所述的接头用保护件，其特征在于：
所述主体部在所述螺母的移动方向的中间部从所述缝隙侧被切开，在所述螺母的移动方向的两侧以分离的方式具有所述缝隙。
11.根据权利要求2所述的接头用保护件，其特征在于：
在所述螺母的移动方向上被分开的多个构件的相向的侧面设置有连接用的卡合部，使所述卡合部卡合而将所述多个构件连结而构成。
12.一种流体控制设备，其特征在于，具备：
流体控制设备主体，其是将接头套管插通在螺母的贯通孔中并将所述接头套管与流体控制设备主体用的主干部连接，将驱动部搭载于所述主干部而构成的，通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向远离所述主干部的方向移动，所述螺母收容所述接头套管的密封部，通过使所述螺母沿着所述接头套管的轴朝向靠近所述主干部的方向移动，所述密封部突出；以及
权利要求2至11中任一项所述的接头用保护件，其被安装于所述接头套管。
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