TWI468882B - Control device and control method - Google Patents

Description

控制裝置及控制方法

本發明係關於製程控制技術，尤其係關於能降低控制動作不穩定化之參數設定之虞的控制裝置以及控制方法。

作為能使設定值SP變更時的跟蹤特性和穩態狀態時的干擾抑制特性獨立(分離)來進行調整的PID控制手法，已知有2自由度PID控制(例如參照專利文獻1)。例如關於加熱爐的温度控制，由於設定值SP變更時升温幅度大，因此產生過衝(overshoot)時，在轉移到裝置的工作狀態之前會產生時間的損失。因此，對抑制過衝加以重視而調整PID參數。另一方面，在穩態狀態(工作狀態)下，對將加熱爐內的溫度的混亂抑制到最低限度加以重視而調整PID參數。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2001-350503號公報

作為具有上述般的溫度控制功能的PID控制裝置的溫度調節計從製造溫度調節計的調節計廠商被販賣到製造加熱爐等的裝置廠商，再從裝置廠商被販賣給裝置使用者。由於這樣的過程，會產生沒有控制的專業知識的操作者不得不調整溫度調節計的PID參數的狀況。本來，PID參數調整需要很多專業的知識，因此在上述的狀況下會伴隨有發 生控制系統的不穩定化的風險。風險大對控制技術的提供者側和接受者側來說都會造成不便。

本發明正是為瞭解決上述課題而作出的，其目的在於提供如下這樣的控制裝置以及控制方法，其在從控制的專家側向控制的非專家側提供控制裝置的過程中，能降低進行如控制動作不穩定化的參數設定。

本發明之控制裝置，其特徵在於，具備：暫態操作量上限值儲存手段，儲存設定值SP變更所致的暫態響應時有效的操作量上限值OHs；穩態操作量上限值儲存手段，儲存穩態運轉時有效的操作量上限值OHg；設定值變更檢測手段，用以檢測設定值SP的變更；暫態響應結束檢測手段，用以檢測控制量PV的暫態響應的結束；操作量上限值切換手段，係在從設定值SP的變更時點到暫態響應的結束時點為止的暫態響應時段將所述操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值OH，在所述暫態響應時段以外的穩態運轉時段將所述操作量上限值OHg設定為控制運算所使用的操作量上限值OH；及控制運算手段，係將設定值SP和控制量PV作為輸入，並藉由控制運算計算操作量MV，執行將該操作量MV限制為所述操作量上限值OH以下的上限處理，將上限處理後的操作量MV輸出至控制對象。

又，在本發明之控制裝置的一個構成例中，其特徵在於，在控制量PV達到了設定值SP的附近時，所述暫態響 應結束檢測手段判斷暫態響應已結束。

又，在本發明之控制裝置的一個構成例中，其特徵在於，在從所述控制運算手段輸出的操作量MV下降到比所述操作量上限值OHs小的值時，所述暫態響應結束檢測手段判斷暫態響應已結束。

又，在本發明之控制裝置的一個構成例中，其特徵在於，在從設定值SP的變更時點起經過了一定時間時，所述暫態響應結束檢測手段判斷暫態響應已結束。

又，本發明之控制裝置的一個構成例，其特徵在於，進一步具備暫態操作量上限值選擇手段，在檢測到設定值SP的變更時，所述暫態操作量上限值選擇手段從所述暫態操作量上限值儲存手段所儲存的操作量上限值OHs中選擇與變更後的設定值SP相對應的操作量上限值OHs，所述暫態操作量上限值儲存手段儲存有複數組由設定值SP的範圍和與該設定值SP的範圍相對應的操作量上限值OHs構成的組，所述操作量上限值切換手段在所述暫態響應時段將所述暫態操作量上限值選擇手段所選擇的操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值OH。

又，在本發明之控制裝置的一個構成實例中，其特徵在於，在所述操作量上限值OHg被設定為比所述操作量上限值OHs低的值的情況下，所述操作量上限值切換手段在所述暫態響應時段也將所述操作量上限值OHg設定為控制運算所使用的操作量上限值OH。

又，本發明之控制方法，其特徵在於，具備：設定值 變更檢測步驟，用以檢測設定值SP的變更；暫態響應結束檢測步驟，用以檢測控制量PV的暫態響應的結束；操作量上限值切換步驟，在從設定值SP的變更時點到控制量PV的暫態響應的結束時點為止的暫態響應時段將暫態響應時有效的操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值OH，在所述暫態響應時段以外的穩態運轉時段，則將穩態運轉時有效的操作量上限值OHg設定為控制運算所使用的操作量上限值OH；及控制運算步驟，將設定值SP和控制量PV作為輸入，並藉由控制運算計算操作量MV，執行將該操作量MV限制為所述操作量上限值OH以下的上限處理，將上限處理後的操作量MV輸出至控制對象。

依本發明，在從設定值SP的變更時點到暫態響應的結束時點為止的暫態響應時段，將暫態響應時有效的操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值OH，在暫態響應時段以外的穩態運轉時段，將穩態運轉時有效的操作量上限值OHg設定為控制運算所使用的操作量上限值OH，由此可以在暫態響應時段抑制過衝的產生，還可以在穩態運轉時段避免操作量上限值OHs對干擾抑制造成不良影響。因此，採用本發明，在從控制的專家側向控制的非專家側提供控制裝置的過程中，能降低進行如控制動作不穩定化般的參數設定。

[發明之原理]

主要在加熱爐等的溫度控制中，在升溫時將加熱能力(操作量MV)設成最大進行升溫，其後，在溫度PV穩定為溫度設定值SP之後，暫態到加熱處理等的本工作狀態。暫態到本工作狀態後的控制的作用為抑制干擾。

在變更溫度設定值SP進行升溫的步階響應時抑制過衝是很重要的，但步階響應是操作量MV為最大的類型的響應。因此，發明人著眼於以下方面，即，將作為規定該操作量MV的最大值的參數的操作量上限值OH利用於調整參數是有效的，且不會像PID參數般成為不穩定化的主要原因，因此也不會發生控制動作不穩定化之虞。

又，發明人還想到以下內容：將操作量上限值OH分離為用於步階響應的操作量上限值OHs和用於抑制干擾的操作量上限值OHg，自動地進行切換，使得在抑制步階響應的過衝的局面下，PID運算利用操作量上限值OHs，在抑制過衝的局面結束之後，PID運算利用操作量上限值OHg，由此可以避免為步階響應而調整了的操作量上限值OH不適合抑制干擾從而造成不良影響。

[第1實施形態〕

以下，參照圖式對本發明之實施形態進行詳細說明。圖1係表示本發明之第1實施形態之控制裝置的構成的方塊圖。控制裝置具有：取得設定值SP的設定值輸入部1；取得控制量PV的控制量輸入部2；儲存基於設定值SP變更的暫態響應時有效的操作量上限值OHs的暫態操作量上限值儲存部3；儲存穩態運轉時有效的操作量上限值OHg 的穩態操作量上限值儲存部4；檢測設定值SP的變更的設定值變更檢測部5；檢測控制量PV的暫態響應結束的暫態響應結束檢測部6；操作量上限值切換部7，其在從設定值SP的變更時點到暫態響應的結束時點為止的暫態響應時段將操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值OH，在暫態響應時段以外的穩態運轉時段將操作量上限值OHg設定為控制運算所使用的操作量上限值OH；及控制運算部8，該控制運算部8將設定值SP和控制量PV作為輸入，並藉由控制運算計算操作量MV，執行將該操作量MV限制為操作量上限值OH以下的上限處理，將上限處理後的操作量MV輸出至控制對象。

以下，對本實施形態的控制裝置的動作進行說明。圖2係表示控制裝置的動作的流程圖。

設定值SP例如由使用加熱爐等的控制對象的使用者來設定，該設定值SP藉由控制裝置的設定值輸入部1被輸入至設定值變更檢測部5、暫態響應結束檢測部6和控制運算部8。

控制量PV例如藉由測量加熱爐內的溫度的溫度感測器取得，該控制量PV藉由控制裝置的控制量輸入部2被輸入至暫態響應結束檢測部6和控制運算部8。

設定值變更檢測部5根據預先被規定的設定值SP的變更幅度△SP判斷設定值SP是否已發生變更(圖2步驟S100)。在設定值SP相對於其之前的值變更了變更幅度△SP以上的情況下，設定值變更檢測部5判斷設定值SP已被 變更。

在設定值SP的變更已被設定值變更檢測部5檢測到時(步驟S100中為是)，操作量上限值切換部7將被儲存在暫態操作量上限值儲存部3中的操作量上限值OHs作為控制運算所使用的操作量上限值OH=OHs，並對控制運算部進行設定(步驟S101)。藉由該設定，在以後的控制運算中，如後述般持續使用操作量上限值OH=OHs直到暫態響應結束被檢測出為止。

控制運算部8根據從設定值輸入部1輸入的設定值SP與從控制量輸入部2輸入的控制量PV的偏差進行周知的PID控制運算，算出操作量MV以使得設定值SP和控制量PV一致(步驟S102)。此時，控制運算部8在操作量MV向控制對象輸出之時，在操作量MV比操作上限值OH大的情況下，進行上限處理，即使得操作量MV=OH並予以輸出。

藉由這樣的控制運算部8的控制動作，控制量PV向接近設定值SP的方向變化。

暫態響應結束檢測部6判斷控制量PV的暫態響應是否已經結束(步驟S103)。暫態響應結束檢測部6在設定值SP與控制量PV的偏差的絕對值在被預先設定的設定值附近判定閾值Rp以內時，判斷控制量PV已到達設定值附近，從而判斷暫態響應已結束。關於設定值附近判定閾值Rp，採用OH=OHs作為操作量上限值OH進行預先試行控制，根據控制運算部8所算出的操作量MV從操作量上限值OHs充分下降時的設定值SP與控制量PV的偏差預先求出即可。

操作量上限值切換部7在暫態響應結束被暫態響應結束檢測部6檢測到時(步驟S103中為是)，將被儲存在穩態操作量上限值儲存部4中的操作量上限值OHg作為控制運算所使用的操作量上限值OH=OHg並將其設定到控制運算部8中(步驟S104)。藉由該設定，在以後的控制運算中，持續使用操作量上限值OH=OHg直到檢測到設定值SP的變更為止。

在每個控制周期dt反復進行以上般的步驟S100~S104的處理，直到例如根據使用者的指令結束控制為止(步驟S105中為是)。

接著，對本實施形態的效果進行說明。本實施形態是基於即便變更操作量上限值PID控制也不會發生不穩定化這樣的性質的。PID控制能藉由適當地調整比例段、積分時間、微分時間這三個PID參數得到良好的控制特性。但是，例如想要控制過衝，減小比例段時，雖然能控制過衝，但同時擺動(hunting)的危險性變高。對於積分時間、微分時間，不謹慎設定的話，也會發生擺動。

另一方面，由於只變更操作量上限值，控制不會不穩定化，因此對於產生過衝的控制系統適用OH=OHs作為操作量上限值OH，藉由縮小操作上限量OH，能可靠地抑制過衝。又，調整的參數事實上僅僅是OHs，因此即便在藉由反復試驗確定操作量上限值OHs的情況下，也能遠比PID參數的調整簡單地進行調整。但是，在干擾響應時縮小操作量上限值OH的話，干擾抑制性能下降。因此，在本實施 形態中，暫態響應一結束就自動地進行切換以利用操作量上限值OHg，因此能避免為了暫態響應而被調整的操作量上限值OH=OHs對干擾抑制造成不良影響。這樣，採用在本實施形態，能避免控制動作的不穩定化。

圖3的(A)係表示現有的控制裝置的設定值跟蹤動作的圖，圖3的(B)係表示本實施形態的控制裝置的設定值跟蹤動作的圖。由此可知，採用現有的控制裝置的話，控制量PV會產生過衝，而採用本實施形態的控制裝置的話，不會產生過衝。

[第2實施形態]

接著，對本發明之第2實施形態進行說明。圖4係表示本發明之第2實施形態之控制裝置的結構的方塊圖，與圖1相同的結構標注相同符號。本實施形態的控制裝置具有設定值輸入部1、控制量輸入部2、暫態操作量上限值儲存部3、穩態操作量上限值儲存部4、設定值變更檢測部5、暫態響應結束檢測部6a、操作量上限值切換部7和控制運算部8。

在本實施形態中，控制裝置的處理流程與第1實施形態相同，因此採用圖2對控制裝置的動作進行說明。步驟S100~S102的處理與第1實施形態相同。

接著，本實施形態的暫態響應結束檢測部6a判斷從控制運算部8輸出到控制對象的操作量MV是否已降低到比暫態響應時的操作量上限值OHs小的值(步驟S103)，在操作量MV已變為比操作量上限值OHs小的值時，判斷暫 態響應已結束。即，如圖5所示，暫態響應結束檢測部6a將操作量MV貼著操作量上限值OHs的狀態結束的時點設為暫態響應的結束時點。

步驟S104的處理與第1實施形態相同。在每個控制周期dt反復進行以上般的步驟S100~S104的處理，直到例如根據使用者的指令結束控制為止(步驟S105中為是)。

由此可知，採用以往的控制裝置的話，如圖3的(A)所示控制量PV產生過衝，而採用本實施形態的控制裝置的話，如圖5所示沒有產生過衝，能避免控制動作的不穩定化。

這樣，在本實施形態中，可以獲得與第1實施形態相同的效果。

[第3實施形態]

接著，對本發明之第3實施形態進行說明。圖6係表示本發明之第3實施形態之控制裝置的結構的方塊圖，與圖1相同的結構標注相同符號。本實施形態的控制裝置具有設定值輸入部1、控制量輸入部2、暫態操作量上限值儲存部3、穩態操作量上限值儲存部4、設定值變更檢測部5、暫態響應結束檢測部6b、操作量上限值切換部7和控制運算部8。

在本實施形態中，控制裝置的處理流程與第1實施形態相同，因此採用圖2對控制裝置的動作進行說明。步驟S100~S102的處理與第1實施形態相同。

接著，本實施形態的暫態響應結束檢測部6b判斷從設 定值SP的變更起是否已經過了一定時間(步驟S103)，在經過了一定時間時，判斷暫態響應已結束。即，如圖7所示，暫態響應結束檢測部6b在自設定值SP的變更時點起的經過時間t超過一定時間T時判斷暫態響應已經結束。一定時間T可以採用OH=OHs作為操作上限值OH進行預先試行控制而求出。

步驟S104的處理與第1實施形態相同。在每個控制周期dt反復進行以上般的步驟S100~S104的處理，直到例如根據使用者的指令結束控制為止(步驟S105中為是)。

由此可知，採用現有的控制裝置的話，如圖3的(A)所示控制量PV產生過衝，而採用本實施形態的控制裝置的話，如圖7所示沒有產生過衝，能避免控制動作的不穩定化。

這樣，在本實施形態中，可以獲得與第1實施形態相同的效果。

[第4實施形態]

下面，對本發明之第4實施形態進行說明。圖8係表示本發明之第4實施形態之控制裝置的結構的方塊圖，與圖1相同的結構標注相同符號。本實施形態的控制裝置具有：設定值輸入部1；控制量輸入部2；暫態操作量上限值儲存部3c；穩態操作量上限值儲存部4；設定值變更檢測部5；暫態響應結束檢測部6；操作量上限值切換部7c，其在暫態響應時段將後述的暫態操作量上限值選擇部9所選擇的操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值 OH；控制運算部8；及暫態操作量上限值選擇部9，該暫態操作量上限值選擇部9在設定值SP的變更被檢測到時，從被儲存在暫態操作量上限值儲存部3c中的操作量上限值OHs中選擇與變更後的設定值SP相對應的操作量上限值OHs。

以下，對本實施形態的控制裝置的動作進行說明。圖9係表示控制裝置的動作的流程圖。步驟S100的處理與第1實施形態相同。

在暫態操作量上限值儲存部3c中，預先儲存複數個設定值SP的範圍和與該設定值SP的範圍對應的操作上限值OHs的組。這樣，對於設定值SP的每個不同範圍都預先登記有操作量上限值OHs。

在設定值SP的變更已被設定值變更檢測部5檢測到時(步驟S100中為是)，暫態操作量上限值選擇部9從被儲存在暫態操作量上限值儲存部3c中的操作量上限值OHs中選擇與變更後的設定值SP相對應的操作量上限值OHs(圖9步驟S106)。

在設定值SP的變更已被設定值變更檢測部5檢測到時，操作量上限值切換部7c將暫態操作量上限值選擇部9所選擇的操作量上限值OHs作為控制運算所使用的操作量上限值OH=OHs，並將其設定於控制運算部8中(步驟S107)。

步驟S102~S104的處理與第1實施形態相同。另外，步驟S103的暫態響應檢測處理可以藉由第1~第3實施形 態中所說明的暫態響應結束檢測部6，6a，6b中的任意一個來實行。

在每個控制周期dt反復進行以上般的步驟S100、S102~S104、S106、S107的處理，直到例如根據使用者的指令結束控制為止(步驟S105中為是)。

圖10係表示本實施形態的控制裝置的設定值跟蹤動作的圖。在圖10的實例中，可知，在設定值SP被變更為SP1的時點，選擇OHs1作為與設定值SP1對應的操作量上限值，在設定值SP從SP1被變更為SP2的時點，選擇OHs2作為與設定值SP2對應的操作量上限值，在設定值SP從SP2被變更為SP3的時點，選擇OHs3作為與設定值SP3對應的操作量上限值。關於從向設定值SP1的變更的暫態響應結束的時點到向設定值SP2變更為止的期間、從向設定值SP2的變更的暫態響應結束的時點到向設定值SP3變更為止的期間、以及向設定值SP3的變更的暫態響應結束後的期間，則當然選擇操作量上限值OHg。

這樣，採用本實施形態，能將與變更後的設定值SP相對應的適當的操作量上限值OHs設定為設定值SP的變更的暫態響應時有効的操作量上限值，能更加提高過衝的抑制效果。

另外，在第1~第4實施形態中，為了抑制過衝而準備了與OHg不同的OHs，因此在穩態運轉時有効的操作量上限值OHg作為比暫態響應時有効的操作量上限值OHs低的值被設定在穩態操作上限值儲存部4中的情況下，判斷為 OHs錯誤設定較為合適。因此，在穩態運轉時有効的操作量上限值OHg被設定為比暫態響應時有効的操作量上限值OHs低的值的情況下(OHs>OHg)，操作量上限值切換部7，7c即使在從設定值變更時點到暫態響應結束時點為止的暫態響應時段也可以採用操作量上限值OHg。

在第1~第4實施形態中，關於操作上限值OHg，如果沒有基於裝置的特性的制約(例如發出100%的輸出時裝置負擔加重般的情況)的話，可以預先設定為作為一般的操作量上限值的100%。

另一方面，關於操作量上限值OHs，也可以在以PV=SP調整時的操作量MV的值至操作上限值OHg為止的值的範圍內預先設定。作為操作量上限值OHs的具體的確定方法，可以藉由反復試驗來確定，也可以採用如日本專利特開2004-38428號公報所揭示的般的類比實驗來確定。運用類比實驗的話，可以削減試驗次數。

第1~第4的實施形態中所說明的控制裝置可以藉由具備CPU、儲存裝置以及介面的電腦和控制這些硬體資源的製程來實現。CPU根據被儲存在儲存裝置中的製程實施第1~第4實施形態中所說明的處理。

[產業上可利用性]

本發明能適用於製程控制技術。

1‧‧‧設定值輸入部

2‧‧‧控制量輸入部

3、3c‧‧‧暫態操作量上限值儲存部

4‧‧‧穩態操作量上限值儲存部

5‧‧‧設定值變更檢測部

6、6a、6b‧‧‧暫態響應結束檢測部

7、7c‧‧‧操作量上限值切換部

8‧‧‧控制運算部

9‧‧‧暫態操作量上限值選擇部

圖1係表示本發明之第1實施形態之控制裝置的構成的方塊圖。

圖2係表示本發明之第1實施形態之控制裝置的動作的流程圖。

圖3(A)、(B)係表示現有的控制裝置以及本發明之第1實施形態之控制裝置的設定值跟蹤動作的圖。

圖4係表示本發明之第2實施形態之控制裝置的構成的方塊圖。

圖5係表示本發明之第2實施形態之控制裝置的設定值跟蹤動作的圖。

圖6係表示本發明之第3實施形態之控制裝置的構成的方塊圖。

圖7係表示本發明之第3實施形態之控制裝置的設定值跟蹤動作的圖。

圖8係表示本發明之第4實施形態之控制裝置的構成的方塊圖。

圖9係表示本發明之第4實施形態之控制裝置的動作的流程圖。

圖10係表示本發明之第4實施形態之控制裝置的設定值跟蹤動作的圖。

1‧‧‧設定值輸入部

2‧‧‧控制量輸入部

3‧‧‧暫態操作量上限值儲存部

4‧‧‧穩態操作量上限值儲存部

5‧‧‧設定值變更檢測部

6‧‧‧暫態響應結束檢測部

7‧‧‧操作量上限值切換部

8‧‧‧控制運算部

Claims (12)

1. 一種控制裝置，其特徵在於，具備：暫態操作量上限值儲存手段，儲存設定值SP變更所致的暫態響應時有效的操作量上限值OHs；穩態操作量上限值儲存手段，儲存穩態運轉時有效的操作量上限值OHg；設定值變更檢測手段，用以檢測設定值SP的變更；暫態響應結束檢測手段，用以檢測控制量PV的暫態響應的結束；操作量上限值切換手段，係在從設定值SP的變更時點到暫態響應的結束時點為止的暫態響應時段將該操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值OH，在該暫態響應時段以外的穩態運轉時段將該操作量上限值OHg設定為控制運算所使用的操作量上限值OH；及控制運算手段，係將設定值SP和控制量PV作為輸入，並藉由控制運算計算操作量MV，執行將該操作量MV限制為該操作量上限值OH以下的上限處理，將上限處理後的操作量MV輸出至控制對象。
2. 如申請專利範圍第1項之控制裝置，其中，該暫態響應結束檢測手段，在控制量PV達到了設定值SP的附近時，判斷暫態響應已結束。
3. 如申請專利範圍第1項之控制裝置，其中，該暫態響應結束檢測手段，在從該控制運算手段輸出的操作量MV下降到比該操作量上限值OHs小的值時，判斷暫態響應已 結束。
4. 如申請專利範圍第1項之控制裝置，其中，該暫態響應結束檢測手段，在從設定值SP的變更時點起經過了一定時間時，判斷暫態響應已結束。
5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之控制裝置，其進一步具備暫態操作量上限值選擇手段，在檢測到設定值SP的變更時，從該暫態操作量上限值儲存手段所儲存的操作量上限值OHs中選擇與變更後的設定值SP相對應的操作量上限值OHs；該暫態操作量上限值儲存手段儲存有複數組由設定值SP的範圍和與該設定值SP的範圍相對應的操作量上限值OHs構成的組；該操作量上限值切換手段，在該暫態響應時段將該暫態操作量上限值選擇手段所選擇的操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值OH。
6. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之控制裝置，其中，該操作量上限值切換手段，在該操作量上限值OHg被設定為比該操作量上限值OHs低的值的情況下，在該暫態響應時段也將該操作量上限值OHg設定為控制運算所使用的操作量上限值OH。
7. 一種控制方法，其特徵在於，具備：設定值變更檢測步驟，用以檢測設定值SP的變更；暫態響應結束檢測步驟，用以檢測控制量PV的暫態響應的結束； 操作量上限值切換步驟，在從設定值SP的變更時點到控制量PV的暫態響應結束時點為止的暫態響應時段，將暫態響應時有效的操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值OH，在該暫態響應時段以外的穩態運轉時段，則將穩態運轉時有效的操作量上限值OHg設定為控制運算所使用的操作量上限值OH；及控制運算步驟，將設定值SP和控制量PV作為輸入，並藉由控制運算計算操作量MV，執行將該操作量MV限制為該操作量上限值OH以下的上限處理，將上限處理後的操作量MV輸出至控制對象。
8. 如申請專利範圍第7項之控制方法，其中，該暫態響應結束檢測步驟，在控制量PV達到了設定值SP的附近時判斷暫態響應已結束。
9. 如申請專利範圍第7項之控制方法，其中，該暫態響應結束檢測步驟，在從該控制運算步驟輸出的操作量MV下降到比該操作量上限值OHs小的值時判斷暫態響應已結束。
10. 如申請專利範圍第7項之控制方法，其中，該暫態響應結束檢測步驟，在從設定值SP的變更時點起經過了一定時間時判斷暫態響應已結束。
11. 如申請專利範圍第7至10項中任一項之控制方法，其進一步具備暫態操作量上限值選擇步驟，在檢測到設定值SP的變更時，從預先儲存的操作量上限值OHs中選擇與變更後的設定值SP相對應的操作量上限值OHs； 預先儲存複數組包含設定值SP的範圍和與該設定值SP的範圍對應的操作量上限值OHs的組；該操作量上限值切換步驟，在該暫態響應時段將在該暫態操作量上限值選擇步驟所選擇的操作量上限值OHs設定為控制運算所使用的操作量上限值OH。
12. 如申請專利範圍第7至10項中任一項之控制方法，其中，該操作量上限值切換步驟，在該操作量上限值OHg被設定為比該操作量上限值OHs低的值的情況下，在該暫態響應時段也將該操作量上限值OHg設定為控制運算所使用的操作量上限值OH。