TWI433806B - 驅動磁力零件以及使用該零件的基板運送單元與基板處理裝置 - Google Patents

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Description

驅動磁力零件以及使用該零件的基板運送單元與基板處理裝置
本發明是有關於一種基板處理裝置，更詳細而言，本發明是有關於一種藉由磁耦合(magnetic coupling)來提供驅動力的驅動磁力零件、以及使用該零件來運送用於製造晶圓(wafer)或平板顯示元件的基板的基板運送單元(unit)、與具備該基板運送單元的基板處理裝置。
近來，資訊處理設備正急速地發展，變成具有多種形態的功能及更快的資訊處理速度。此種資訊處理設備具有用於顯示運轉資訊的顯示面板(panel)。迄今為止，主要使用陰極射線管(Cathode Ray Tube)監視器作為顯示面板，而最近隨著技術的飛速發展，如輕便且佔據空間小的液晶顯示器(LCD，Liquid Crystal Display)這樣的平板顯示裝置的使用正急遽增加。
為了製造平板型顯示裝置，要進行蒸鍍(evaporation)、氧化、擴散、蝕刻(etching)、及清洗等的多種步驟，藉由運送單元來在進行各個步驟的處理單元之間或者處理單元內，運送用於平板型顯示裝置的基板。
運送單元包括：並排配置且旋轉的軸(shaft)；以及輥(roller)，供各個軸插入且設置成與軸一併旋轉。軸通常是在兩端受到支撐的狀態下傳遞驅動零件的旋轉力而旋轉，設置於軸的輥一面與軸一併旋轉，一面運送基板。
先前，為了將驅動零件的旋轉力傳遞至軸，主要使用如齒輪(gear)般的利用機械接觸方式的動力傳遞機制(mechanism)，但機械接觸方式存在如下的問題點：於動力傳遞過程中，會因齒輪的磨損等而產生大量的微粒(particle)。因此，最近主要使用利用了磁力的動力傳遞機制，來作為用以不直接與軸接觸而將驅動零件的旋轉力傳遞至該軸的機構。
本發明的目的在於提供一種驅動磁力零件、以及使用該零件的基板運送單元與基板處理裝置，這些驅動磁力零件、以及基板運送單元與基板處理裝置可以簡化動力傳遞機制的構成，以降低費用，且能夠提高空間的有效利用率。
又，本發明的其他目的在於提供一種可以穩定地運送基板的驅動磁力零件、以及使用該零件的基板運送單元與基板處理裝置。
本發明的目的並不限定於此，根據以下的揭示，本領域技術人員當可明確地理解尚未提及的其他目的。
為了達成上述課題，本發明的基板運送單元用於運送基板，且包括：彼此並排地排列的基板運送用的軸；第一磁力零件，設置於上述軸的一端；第二磁力零件，與上述第一磁力零件相向地設置，以與上述第一磁力零件形成磁耦合(Magnetic Coupling)，且沿著圓周面而形成有多個突出部；動力傳遞零件，藉由與上述第二磁力零件中相鄰接的任意兩個上述第二磁力零件上所形成的上述突出部相嚙合，來將旋轉力傳遞至上述第二磁力零件之間；以及驅動零件，向上述第二磁力零件中的任一者提供旋轉力。
在具有如上所述的構成的本發明的基板運送單元中，上述突出部可以形成為鏈輪(Sprocket)的齒形，且上述動力傳遞零件可以由與鏈輪齒形的上述突出部相嚙合的鏈條(chain)所構成。
上述突出部可以沿著圓周方向而形成為凹凸形狀，上述動力傳遞零件可以由與凹凸形狀的上述突出部相嚙合的傳送帶(belt)所構成。
上述突出部可以形成為正齒輪(Spur Gear)形狀，上述動力傳遞零件可以由與上述正齒輪形狀的上述突出部相嚙合的齒輪所構成。
上述第一磁力零件及第二磁力零件各自可以具備外殼(housing)、以及配置於上述外殼內的多個磁鐵，上述第一磁力零件的上述磁鐵與上述第二磁力零件的上述磁鐵設置成彼此相向且具有不同的極性。
上述第一磁力零件及第二磁力零件各自可以具備外殼、以及以形成環狀的排列的方式而配置於上述外殼內的板狀磁鐵，上述第一磁力零件的上述磁鐵相鄰接地配置於彼此不同的極性之間，上述第二磁力零件的上述磁鐵相鄰接地配置於彼此不同的極性之間，上述第一磁力零件及第二磁力零件的彼此相向的上述磁鐵能夠配置成具有不同的極性。
為了達成上述課題，本發明的基板處理裝置包括：進行基板處理步驟的步驟腔室；運送用的軸，並排地排列於上述步驟腔室內，且設置著與基板接觸的多個輥；圓板形的第一磁力零件，設置於上述軸的一端；圓板形的第二磁力零件，以與上述第一磁力零件相向的方式而設置於上述步驟腔室的外側；動力傳遞零件，將旋轉力傳遞至上述第二磁力零件之間；以及驅動零件，向上述第二磁力零件中的任一者提供旋轉力；於上述第二磁力零件的圓周面上，沿著圓周方向而形成有多個突出部，上述動力傳遞零件藉由與相鄰接的任意兩個上述第二磁力零件上所形成的上述突出部相嚙合來傳遞旋轉力。
在具有如上所述的構成的本發明的基板處理裝置中，上述突出部可以形成為鏈輪(Sprocket)的齒形，上述動力傳遞零件可以由與鏈輪的齒形的上述突出部相嚙合的鏈條所構成。
上述突出部可以沿著圓周方向而形成為凹凸形狀，上述動力傳遞零件可以由與凹凸形狀的上述突出部相嚙合的傳送帶所構成。
上述突出部可以形成為正齒輪(Spur Gear)形狀，上述動力傳遞零件可以由與上述正齒輪形狀的上述突出部相嚙合的齒輪所構成。
上述第一磁力零件及第二磁力零件各自可以具備圓板形狀的外殼、以及以形成環形的排列的方式而配置於上述外殼內的板狀的磁鐵，上述第一磁力零件的上述磁鐵相鄰接地配置於彼此不同的極性之間，上述第二磁力零件的上述磁鐵相鄰接地配置於彼此不同的極性之間，上述第一磁力零件及上述第二磁力零件的彼此相向的上述磁鐵能夠配置成具有不同的極性。
為了達成上述課題，本發明的驅動磁力零件向經磁耦合的從動磁力零件提供旋轉力，且具備圓板形狀的可旋轉的外殼、以及配置於上述外殼內的多個磁鐵，上述外殼具有沿著圓周面而突出地形成的多個突出部，以便使上述外殼旋轉的外力能夠起作用。
在具有如上所述的構成的本發明的驅動磁力零件中，上述多個突出部可以形成為鏈輪(Sprocket)的齒形。
上述多個突出部可以沿著圓周方向而形成為凹凸形狀。
上述多個突出部可以形成為正齒輪(Spur Gear)形狀。
上述多個磁鐵能夠以形成環狀排列的方式而配置於上述外殼內。
上述多個磁鐵能夠以互不相同的極性彼此相鄰接的方式而配置。
[發明效果]
根據本發明，可以簡化動力傳遞機制的構成。
而且，根據本發明，可以降低基板處理裝置的製造費用，減小基板處理裝置的設備佔據面積，以提高空間的有效利用率。
又，根據本發明，可以穩定地運送基板。
為讓本發明之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。
以下，參照附圖，對本發明的較佳實施形態的驅動磁力零件、以及使用該零件的基板運送單元與基板處理裝置進行詳細說明。首先，當對各圖式的構成要素附加參照符號時，應注意針對相同的構成要素，即便表示於其他圖式上，亦應儘可能地對該構成要素附上相同符號。又，在對本發明進行說明時，當判斷相對於與本發明相關的眾所周知的構成或者功能的具體說明會使本發明的主旨不明確時，省略其詳細說明。
(實施形態)
本實施形態中，列舉用於製造平板顯示(Flat Panel Display)裝置的玻璃基板為示例，對基板S進行說明。然而，基板S除了可以是上述玻璃基板以外，亦可以是用於製造半導體裝置的晶圓。
圖1是表示本發明的一實施形態的基板處理裝置1的圖。如圖1所示，基板處理裝置1具備：多個腔室10、22、24、30；基板運送單元100；以及清洗單元200、300。各腔室10、22、24、30提供進行基板處理步驟所需的空間。基板運送單元100在腔室10、22、24、30之間、以及在腔室10、22、24、30內使基板S向一個方向移動。清洗單元200、300對腔室22、24內藉由基板運送單元100運送的基板S進行清洗。
以下，對上述構成要素進行詳細說明。
各腔室10、22、24、30的內部為空的狀態，且一般具有長方體形狀(Rectangular Parallelepiped Shape)。腔室10、22、24、30排列配置成一行。於各腔室10、22、24、30的一側壁上配置著流入口12，該流入口12供基板S流入至腔室10、22、24、30，於與上述一側壁相向的另一側壁上配置著流出口14，該流出口14供基板S自腔室10、22、24、30中流出。基板S經由流入口12及流出口14，依序自位於最前方的腔室運送至位於最後方的腔室為止。於各腔室10、22、24、30內，對基板S實施預定的步驟。於腔室10、22、24、30中的至少一個腔室22、24中進行清洗步驟。可以在位於進行清洗步驟的腔室22前方的腔室10中進行蝕刻步驟，在位於進行清洗步驟的腔室24後方的腔室30中進行乾燥步驟。
根據一例，將第一清洗腔室22、第二清洗腔室24、及乾燥腔室30依序配置成一行。於第一清洗腔室22與第二清洗腔室24中設置著清洗單元200、300。設置在第一清洗腔室22中的清洗單元是刷洗零件200，而設置在第二清洗腔室24中的清洗單元是流體供給噴嘴(Fluid Supply Nozzle)300。
將基板S運送至第一清洗腔室22及第二清洗腔室24中並對該基板S進行清洗，其後，將該基板S運送至乾燥腔室30中並進行乾燥。刷洗零件200利用刷子(brush)的物理接觸力來對基板S上的區域進行清洗。流體供給噴嘴300自基板S除去如下的兩種微粒：一種微粒是在第一清洗腔室22中未被除去的微粒；另一種微粒是雖已藉由刷洗零件200自基板S除去但仍殘留於基板S上或者基板S的上部的微粒。流體供給噴嘴300具有如下的構造：向去離子水(de-ionized water)中供給高壓氣體，使去離子水成為噴霧狀態之後，將噴霧狀態的去離子水噴射至基板S。可以使用在一個方向上具有較大長度的狹縫噴嘴(slit nozzle)來作為流體供給噴嘴300。
於乾燥腔室30中，設置著將乾燥氣體供給至基板S的乾燥噴嘴30a。乾燥噴嘴30a可以供給已加熱的空氣或者如已加熱的氮氣般的惰性氣體等，以對基板S進行乾燥。乾燥噴嘴30a可以選擇性地將如異丙醇(Iso-Propyl Alcohol，IPA)的有機溶劑供給至基板S之後，再將上述已加熱的空氣等供給至基板S，以對基板S進行乾燥。可以使用在一個方向上具有較大長度的狹縫噴嘴來作為乾燥噴嘴30a。
圖2是表示圖1的基板運送單元100的一實施形態的圖。
如圖2所示，基板運送單元100具有多個軸110。軸110彼此平行地排列配置於腔室22內。軸110自與流入口(圖1的圖式符號12)相鄰接的位置配置至與流出口(圖1的圖式符號14)相鄰接的位置為止。於各軸110上，沿著其長度方向而設置著多個輥112。輥112與基板的下表面接觸。輥112藉由軸110的旋轉而旋轉，基板S在下表面與輥112接觸的狀態下，沿著軸110的排列方向直線移動。可以水平地配置軸110，以於水平狀態下運送基板S。可以選擇性地使軸110的一端與另一端位於不同的高度，以於傾斜狀態下運送基板S。
第一磁力零件120分別設置於配置在腔室22的內側的軸110的一端。第二磁力零件130以與第一磁力零件120相向的方式而設置於腔室22的外側。於第一磁力零件120的內部與第二磁力零件130的內部，內置著下述磁鐵124、134。藉由磁鐵124、134彼此之間的磁力來使第一磁力零件120與第二磁力零件130磁耦合(Magnetic Coupling)。
如圖3及圖4所示，第一磁力零件120各自具備外殼122以及磁鐵124。外殼122具有圓板形狀，且在外殼122的中心與軸110的中心對準的狀態下，與軸110的一端結合。外殼122可以由聚氯乙烯(PVC，Poly Vinyl Chloride)材質而製造。外殼122的內部具有用以設置磁鐵124的空間。如圖4所示，可以提供大概8個磁鐵124，亦可提供數量不同於8個的磁鐵124。各磁鐵124具有圓板形狀，且以外殼122的中央為中心而排列為環狀。當自排列著磁鐵124的平面的上方觀察時，相鄰接的磁鐵124以彼此具有不同極性的方式而配置著。即，具有N極的極性的磁鐵124與具有S極的極性的磁鐵124交替地配置著。而且，為了增強在磁鐵124之間傳遞的磁力，可以在磁鐵124的一側配置不鏽鋼(stainless steel)材質的加強板125。
第二磁力零件130與第一磁力零件120逐一對應，且以與第一磁力零件120相向的方式而配置於腔室22的外側。如圖5～圖7所示，第二磁力零件130具有圓板形狀的外殼132，在外殼132的內部配置著磁鐵134。磁鐵134具有圓板形狀，且磁鐵134的配置構造與第一磁力零件120的磁鐵124的配置構造相似。然而，第二磁力零件130的磁鐵134配置為具有與第一磁力零件120的磁鐵124不同的極性。即，第二磁力零件130的磁鐵134中具有N極的極性的磁鐵134，配置為與第一磁力零件120的具有S極的極性的磁鐵124相向，而第二磁力零件130的磁鐵134中具有S極的極性的磁鐵134，配置為與第一磁力零件120的具有N極的極性的磁鐵124相向。藉由此種磁鐵124、134的配置構造，磁引力會作用於第一磁力零件120與第二磁力零件130之間，藉由該力來使第一磁力零件120與第二磁力零件130磁耦合。而且，為了增強在磁鐵134之間傳遞的磁力，可以在磁鐵134的一側配置不鏽鋼材質的加強板135。
又，如圖2所示，與第一磁力零件120磁耦合的各第二磁力零件130，分別以可旋轉的方式而受到旋轉軸136與軸承(bearing)零件137的支撐。各第二磁力零件130分別自彼此鄰接配置的第二磁力零件130而傳遞旋轉力。藉由動力傳遞零件140在第二磁力零件130之間傳遞旋轉力，驅動零件150向第二磁力零件130中的任一個第二磁力零件130提供旋轉力。當向任一個第二磁力零件130提供驅動零件150的旋轉力時，藉由動力傳遞零件140來將旋轉力傳遞至鄰接配置的第二磁力零件130之間，將第二磁力零件130的旋轉力傳遞至與第二磁力零件130磁耦合的第一磁力零件120。利用此種驅動機制來將驅動零件150的旋轉力最終傳遞至與第一磁力零件120結合的軸110，藉此來向一個方向運送與軸110的輥112接觸且受到該輥112支撐的基板S。
可以使用鏈輪(Sprocket)驅動方式、傳送帶驅動方式、及齒輪系(Gear Train)驅動方式等直接驅動方式，來作為用以將驅動零件150的旋轉力傳遞至第二磁力零件130之間的驅動機制。所謂直接驅動方式，是指將驅動零件150的旋轉力直接傳遞到至少一個第二磁力零件130上，從而亦將旋轉力直接傳送至第二磁力零件130之間的驅動方式。作為與此相對應的概念即間接驅動方式，是指經由如傳送帶-滑輪組合(belt-pulley assembly)般的中間媒介體，而將驅動零件150的旋轉力間接地傳遞至第二磁力零件130的驅動方式。
為了利用直接驅動方式來將驅動零件150的旋轉力傳遞至第二磁力零件130，必須於第二磁力零件130的圓周面上形成突出部，以便使第二磁力零件130旋轉的外力起作用，且動力傳遞零件140必須與相鄰接的任意兩個第二磁力零件130上所形成的突出部相嚙合。
例如，在圖2所示的鏈輪驅動方式的情況下，突出部為鏈輪(Sprocket)的齒形，且動力傳遞零件140是與鏈輪的齒形相嚙合的鏈條(Chain)。如圖5～圖7所示，鏈輪的齒形138a、138b可以沿著圓周方向並以固定間隔而形成於外殼132的圓周面上，且該齒形138a、138b可以沿著外殼132的旋轉軸方向而並排地形成為兩行構造。如圖8所示，動力傳遞零件140(即，鏈條)與彼此相鄰接的任意兩個第二磁力零件130上所形成的鏈輪的齒形138a、138b相嚙合。另一方面，驅動零件150可以設置成直接將旋轉力傳遞至第二磁力零件130中的任一者上，且亦可設置成利用鏈輪驅動方式而將旋轉力傳遞至第二磁力零件130上。
以下，列舉傳送帶驅動方式、及齒輪系(Gear Train)驅動方式為例，對用以將驅動零件150的旋轉力傳遞至第二磁力零件130間的驅動機制進行說明。
首先，參照圖9～圖13，對傳送帶驅動方式進行說明。此處，對與圖2及圖5～圖8所示的構成要素相同的構成要素附上相同的參照符號，並省略與這些構成要素相關的具體說明。
如圖9所示，第二磁力零件130'與第一磁力零件120逐一對應，且以與第一磁力零件120相向的方式而配置於腔室22的外側。如圖10～圖12所示，第二磁力零件130'具有圓板形狀的外殼132，且於外殼132的內部配置著磁鐵134。各磁鐵134具有圓板形狀，且以外殼132的中央為中心而排列為環狀。當自排列著磁鐵134的平面的上方觀察時，相鄰接的磁鐵134以彼此具有不同極性的方式而配置著。而且，第二磁力零件130'的磁鐵134配置成具有與第一磁力零件120的磁鐵124不同的極性。藉由此種磁鐵124、134的配置構造，磁引力會作用於第一磁力零件120與第二磁力零件130'之間，藉由該力來使第一磁力零件120與第二磁力零件130'磁耦合。而且，為了增強在磁鐵134之間傳遞的磁力，可以在磁鐵134的一側配置不鏽鋼材質的加強板135。
又，如圖9所示，與第一磁力零件120磁耦合的各第二磁力零件130'，分別以可旋轉的方式而受到旋轉軸136與軸承零件137的支撐。各第二磁力零件130'分別自彼此鄰接配置的第二磁力零件130'而傳遞旋轉力。藉由動力傳遞零件140'而在第二磁力零件130'之間傳遞旋轉力，驅動零件150向第二磁力零件130'中的任一個第二磁力零件130'提供旋轉力。
可以使用傳送帶驅動方式，作為用以將驅動零件150的旋轉力傳遞至第二磁力零件130'之間的驅動機制。在圖9所示的傳送帶驅動方式的情況下，用以使第二磁力零件130'旋轉的外力作用於突出部138'，該突出部138'是形成於外殼132的圓周面上的凹凸形狀，且動力傳遞零件140'是與凹凸形狀的突出部138'相嚙合的傳送帶。如圖10～圖12所示，上述突出部138'可以沿著圓周方向而形成於外殼132的圓周面上。當自排列著磁鐵134的平面的上方觀察時，突出部138'的凹部與凸部可以形成為具有相同的寬度。於動力傳遞零件140'即傳送帶的內側面上，形成著與外殼132的圓周面上的凹凸形狀相對應的凹凸形狀，如圖13所示，傳送帶140'與彼此相鄰接的任意兩個第二磁力零件130'上所形成的凹凸形狀的突出部138'相嚙合。
其次，參照圖14～圖18，對齒輪系驅動方式進行說明。此處，對與圖2及圖5～圖8所示的構成要素相同的構成要素附上相同的參照符號，並省略與這些構成要素相關的具體說明。
如圖14所示，第二磁力零件130"與第一磁力零件120逐一對應，且以與第一磁力零件120相向的方式而配置於腔室22的外側。如圖15～圖17所示，第二磁力零件130"具有圓板形狀的外殼132，且於外殼132的內部配置著磁鐵134。各磁鐵134具有圓板形狀，且以外殼132的中央為中心而排列為環狀。當自排列著磁鐵134的平面的上方觀察時，相鄰接的磁鐵134以彼此具有不同極性的方式而配置著。而且，第二磁力零件130"的磁鐵134配置成具有與第一磁力零件120的磁鐵124不同的極性。藉由此種磁鐵124、134的配置構造，磁引力會作用於第一磁力零件120與第二磁力零件130"之間，藉由該力來使第一磁力零件120與第二磁力零件130"磁耦合。而且，為了增強在磁鐵134之間傳遞的磁力，可以在磁鐵134的一側配置不鏽鋼材質的加強板135。
又，如圖14所示，與第一磁力零件120磁耦合的各第二磁力零件130"，分別以可旋轉的方式而受到旋轉軸136與軸承零件137的支撐。各第二磁力零件130"分別自彼此鄰接配置的第二磁力零件130"而傳遞旋轉力。藉由動力傳遞零件140"而在第二磁力零件130"之間傳遞旋轉力，驅動零件150向第二磁力零件130"中的任一個第二磁力零件130"提供旋轉力。
可以使用齒輪系驅動方式，作為用以將驅動零件150的旋轉力傳遞至第二磁力零件130"之間的驅動機制。在圖14所示的齒輪系驅動方式的情況下，用以使第二磁力零件130"旋轉的外力作用於突出部138"，該突出部138"是形成於外殼132的圓周面上的正齒輪(Spur Gear)形狀，且動力傳遞零件140"是與正齒輪形狀的突出部138"相嚙合的齒輪。如圖15～圖17所示，正齒輪形狀的突出部138"沿著圓周方向而形成於外殼132的圓周面上。如圖18所示，用作動力傳遞零件的齒輪140"位於彼此鄰接的任意兩個第二磁力零件130"之間，並與第二磁力零件130"上所形成的正齒輪形狀的突出部138"相嚙合。
如上所述，可以使用鏈輪驅動方式、傳送帶驅動方式、及齒輪系驅動方式等的直接驅動方式，作為用以將驅動零件150的旋轉力傳遞至第二磁力零件130之間的驅動機制，藉此來與先前利用傳送帶-滑輪組合的間接驅動方式相比較，具有如下的優點，即，可以簡化將旋轉力傳遞至第二磁力零件之間的驅動機制的構成。
而且，可以藉由驅動機制的簡化來降低基板處理裝置的製造費用，並可以減小基板處理裝置的設備佔據面積，以提高空間的有效利用率。
又，利用鏈輪驅動方式、傳送帶驅動方式、齒輪系驅動方式等的直接驅動方式來將旋轉力傳遞至第二磁力零件之間，因此與先前的間接驅動方式相比較，可以更穩定地運送基板。
另一方面，根據申請專利範圍，上述實施形態中所提及的第一磁力零件及第二磁力零件相當於從動磁力零件及驅動磁力零件。
以上的說明僅以例示的方式來對本發明的技術思想進行了說明，因此，對於具有本發明所屬技術領域中的通常知識的人員而言，當可在不脫離本發明的本質特性的範圍內作多種修正及變形。因此，本發明所揭示的實施形態用以對本發明的技術思想進行說明，而並非限定本發明的技術思想，不應根據上述實施形態來限定本發明的技術思想的範圍。當根據申請專利範圍來理解本發明的保護範圍，且處於與其同等的範圍內的所有技術思想當包含於本發明的權利範圍內。
1．．．基板處理裝置
10、20、22、24、30．．．腔室
12．．．流入口
14．．．流出口
30．．．乾燥腔室
30a．．．乾燥噴嘴
100．．．基板運送單元
110．．．軸
112．．．輥
120．．．第一磁力零件
122、132．．．外殼
124、134．．．磁鐵
125、135．．．加強板
130、130'、130"．．．第二磁力零件
136．．．旋轉軸
137．．．軸承零件
138a、138b、138'、138"．．．突出部
140、140'、140"．．．動力傳遞零件
150．．．驅動零件
200、300．．．清洗單元
S．．．基板
圖1是表示本發明的一實施形態的基板處理裝置的圖。
圖2是表示圖1中的基板運送單元的一實施形態的圖。
圖3是圖2中的第一磁力零件的剖面圖。
圖4是沿著圖3中的A-A'線的剖面圖。
圖5是圖2中的第二磁力零件的立體圖。
圖6是圖5中的第二磁力零件的剖面圖。
圖7是沿著圖6中的B-B'線的剖面圖。
圖8是沿著圖2中的C-C'線的剖面圖。
圖9是表示圖1中的基板運送單元的其他實施形態的圖。
圖10是圖9中的第二磁力零件的立體圖。
圖11是圖10中的第二磁力零件的剖面圖。
圖12是沿著圖11中的D-D'線的剖面圖。
圖13是沿著圖9中的E-E'線的剖面圖。
圖14是表示圖1中的基板運送單元的進而其他實施形態的圖。
圖15是圖14中的第二磁力零件的立體圖。
圖16是圖15中的第二磁力零件的剖面圖。
圖17是沿著圖16中的F-F'線的剖面圖。
圖18是沿著圖14中的G-G'線的剖面圖。
22．．．腔室
110．．．軸
112．．．輥
120．．．第一磁力零件
130．．．第二磁力零件
136．．．旋轉軸
137．．．軸承零件
140．．．動力傳遞零件
150．．．驅動零件
S．．．基板

Claims (17)

  1. 一種基板運送單元，其運送基板，上述基板運送單元的特徵在於包括：彼此並排地排列的基板運送用的軸；第一磁力零件，設置於上述軸的一端；第二磁力零件，與上述第一磁力零件相向地設置，以與上述第一磁力零件磁耦合，且沿著圓周面而形成有多個突出部；動力傳遞零件，藉由與上述第二磁力零件中相鄰接的任意兩個上述第二磁力零件上所形成的上述突出部相嚙合，來將旋轉力傳遞至上述第二磁力零件之間；以及驅動零件，向上述第二磁力零件中的任一者提供旋轉力。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之基板運送單元，其中上述突出部形成為鏈輪的齒形，上述動力傳遞零件由與上述鏈輪的齒形的上述突出部相嚙合的鏈條所構成。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之基板運送單元，其中上述突出部沿著圓周方向而形成為凹凸形狀，上述動力傳遞零件由與上述凹凸形狀的上述突出部相嚙合的傳送帶所構成。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之基板運送單元，其中上述突出部形成為正齒輪形狀，上述動力傳遞零件由與上述正齒輪形狀的上述突出部相嚙合的齒輪所構成。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之基板運送單元，其中上述第一磁力零件及第二磁力零件各自具備外殼、以及配置於上述外殼內的多個磁鐵，上述第一磁力零件的上述磁鐵與上述第二磁力零件的上述磁鐵設置成彼此相向且具有不同的極性。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之基板運送單元，其中上述第一磁力零件及第二磁力零件各自具備外殼；以及板狀的磁鐵，以形成環狀的排列的方式而配置於上述外殼內；上述第一磁力零件的上述磁鐵相鄰接地配置於彼此不同的極性之間，上述第二磁力零件的上述磁鐵相鄰接地配置於彼此不同的極性之間，上述第一磁力零件及第二磁力零件的彼此相向的上述磁鐵配置成具有彼此不同的極性。
  7. 一種基板處理裝置，其特徵在於包括：進行基板處理步驟的步驟腔室；運送用的軸，並排地排列於上述步驟腔室內，且設置著與基板接觸的多個輥；圓板形的第一磁力零件，設置於上述軸的一端；圓板形的第二磁力零件，以與上述第一磁力零件相向的方式而設置於上述步驟腔室的外側；動力傳遞零件，將旋轉力傳遞至上述第二磁力零件之間；以及驅動零件，向上述第二磁力零件中的任一者提供旋轉力；於上述第二磁力零件的圓周面上，沿著圓周方向而形成有多個突出部，上述動力傳遞零件藉由與相鄰接的任意兩個上述第二磁力零件上所形成的上述突出部相嚙合來傳遞旋轉力。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之基板處理裝置，其中上述突出部形成為鏈輪的齒形，上述動力傳遞零件由與上述鏈輪的齒形的上述突出部相嚙合的鏈條所構成。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之基板處理裝置，其中上述突出部沿著圓周方向而形成為凹凸形狀，上述動力傳遞零件由與上述凹凸形狀的上述突出部相嚙合的傳送帶所構成。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之基板處理裝置，其中上述突出部形成為正齒輪形狀，上述動力傳遞零件由與上述正齒輪形狀的上述突出部相嚙合的齒輪所構成。
  11. 如申請專利範圍第7項所述之基板處理裝置，其中上述第一磁力零件及第二磁力零件各自具備：圓板形狀的外殼；以及板狀的磁鐵，以環狀的排列的方式而配置於上述外殼內；上述第一磁力零件的上述磁鐵相鄰接地配置於彼此不同的極性之間，上述第二磁力零件的上述磁鐵相鄰接地配置於彼此不同的極性之間，上述第一磁力零件及上述第二磁力零件的彼此相向的上述磁鐵配置成具有彼此不同的極性。
  12. 一種驅動磁力零件，向經磁耦合的從動磁力零件提供旋轉力，上述驅動磁力零件的特徵在於包括圓板形狀的可旋轉的外殼、以及配置於上述外殼內的多個磁鐵，上述外殼具有沿著圓周面而突出地形成的多個突出部，以便使上述外殼旋轉的外力能夠起作用。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之驅動磁力零件，其中上述多個突出部形成為鏈輪的齒形。
  14. 如申請專利範圍第12項所述之驅動磁力零件，其中上述多個突出部沿著圓周方向而形成為凹凸形狀。
  15. 如申請專利範圍第12項所述之驅動磁力零件，其中上述多個突出部形成為正齒輪形狀。
  16. 如申請專利範圍第13至15項中任一項所述之驅動磁力零件，其中上述多個磁鐵以形成環狀排列的方式而配置於上述外殼內。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之驅動磁力零件，其中上述多個磁鐵以互不相同的極性彼此相鄰接的方式而配置著。
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