KR20110046135A - 기판 이송 유닛 및 이를 구비한 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 유닛 및 이를 구비한 기판 처리 장치를 개시한 것으로서, 기판 이송 유닛은 서로 나란하게 배치되며, 기판을 이송하는 복수 개의 이송 샤프트들; 상기 이송 샤프트들 중 어느 하나의 상기 이송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 부재; 및 상기 이송 샤프트들 간에 회전력을 전달하는 동력 전달 부재를 포함하되, 상기 구동 부재는 요(凹)부 형상을 가지고 상기 이송 샤프트의 일단에 결합되며, 측벽에 원주 방향을 따라 제 1 자성체들이 설치된 커플러; 일단이 상기 커플러의 홈부에 삽입되고, 상기 일단에 원주 방향을 따라 제 2 자성체들이 설치된 구동 로드; 및 상기 구동 로드의 타단이 결합되는 구동 모터를 포함한다.
기판 이송, 자성체

Description

기판 이송 유닛 및 이를 구비한 기판 처리 장치{SUBSTRATE TRANSFERRING UNIT AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS WITH THE SAME}
본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평판 표시 소자의 제조에 사용되는 기판을 이송하는 기판 이송 유닛 및 기판 이송 유닛이 구비된 기판 처리 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.
이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 기판 상에는 패턴의 형성을 위해 예컨대, 식각, 수세, 또는 건조와 같은 다양한 공정이 실행되어야 한다. 이 같은 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 공정 챔버에서 이루어지며, 이 같은 각각의 공정 챔버로 기판을 이동시키기 위해 이송 장치가 설치되어 있다.
한편, 최근에는 각각의 샤프트의 단부에 디스크형 자석을 장착하고 챔버의 외측에 이에 대응하는 디스크형 자석을 설치하여 쌍을 이루게 하고, 챔버 외측에 설치된 디스크형 자석들 각각에 풀리를 형성하고 이들 각각의 풀리를 벨트로 연결한 후, 그 풀리들 중 하나의 풀리에 모터를 벨트로 연결하여 이송장치를 작동시키는 방법이 제안되어 있으나, 이 또한 다수의 풀리 및 벨트를 구비해야 하므로, 구성이 복잡해지고, 과도한 설치 공간이 요구되며, 지력에 의해 풀리가 쉽게 파손되는 문제점이 있다.
본 발명은 설비를 간소화하면서도 큰 토크의 회전력을 전달할 수 있는 기판 이송 유닛 및 이를 구비한 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 기판 이송 유닛은 서로 나란하게 배치되며, 기판을 이송하는 복수 개의 이송 샤프트들; 상기 이송 샤프트들 중 어느 하나의 상기 이송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 부재; 및 상기 이송 샤프트들 간에 회전력을 전달하는 동력 전달 부재를 포함하되, 상기 구동 부재는 요 (凹)부 형상을 가지고 상기 이송 샤프트의 일단에 결합되며, 측벽에 원주 방향을 따라 제 1 자성체들이 설치된 커플러; 일단이 상기 커플러의 홈부에 삽입되고, 상기 일단에 원주 방향을 따라 제 2 자성체들이 설치된 구동 로드; 및 상기 구동 로드의 타단이 결합되는 구동 모터를 포함한다.
상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 기판 이송 유닛에 있어서, 상기 커플러와 상기 구동 로드의 사이에는 철(凸)부 형상의 챔버 벽이 위치할 수 있다.
상기 이송 샤프트들은 상기 커플러가 결합되는 구동 샤프트와, 상기 동력 전달 부재에 의해 회전되는 복수 개의 종동 샤프트들을 포함하며, 상기 동력 전달 부재는 상기 커플러의 외주면에 제공되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 제 1 구동 헬리컬 자성체; 상기 종동 샤프트들의 일단에 제공되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 원통 형상의 제 2 구동 헬리컬 자성체; 상기 제 1 및 제 2 구동 헬리컬 자성체들의 아래에 각각 배치되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 원통 형상의 종동 헬리컬 자성체들; 및 상기 종동 헬리컬 자성체들이 결합되는 구동 축을 포함할 수 있다.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 기판 처리 장치는 기판 처리 공정이 진행되는 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내에 나란하게 배열되며, 기판과 접촉되는 다수의 롤러들이 설치된 이송 샤프트들; 상기 이송 샤프트들 중 어느 하나의 상기 이송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 부재; 및 상기 이송 샤프트들 간에 회전력을 전달하는 동력 전달 부재를 포함하되, 상기 구동 부재는 요(凹)부 형상을 가지고 상기 이송 샤프트의 일단에 결합되며, 측벽에 원주 방향을 따라 제 1 자성체들이 설치된 커플러; 일단이 상기 커플러의 홈부에 삽입되고, 상기 일단에 원주 방향을 따라 제 2 자성체들이 설치된 구동 로드; 및 상기 구동 로드의 타단이 결합되는 구동 모터를 포함한다.
상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 커플러와 상기 구동 로드의 사이에는 철(凸)부 형상의 챔버 벽이 위치할 수 있다.
상기 이송 샤프트들은 상기 커플러가 결합되는 구동 샤프트와, 상기 동력 전달 부재에 의해 회전되는 복수 개의 종동 샤프트들을 포함하며, 상기 동력 전달 부재는 상기 커플러의 외주면에 제공되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 제 1 구동 헬리컬 자성체; 상기 종동 샤프트들의 일단에 제공되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 원통 형상의 제 2 구동 헬리컬 자성체; 상기 제 1 및 제 2 구동 헬리컬 자성체들의 아래에 각각 배치되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 원통 형상의 종동 헬리컬 자성체들; 및 상기 종동 헬리컬 자성체들이 결합되는 구동 축을 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 큰 토크의 회전력을 이용하여 기판을 이송할 수 있다.
그리고 본 발명에 의하면, 설비를 간소화할 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 기판 이송 유닛 및 이를 구비한 기판 처리 장치를 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
( 실시 예 )
본 실시 예에서 기판(W)은 평판 디스플레이(Flat Panel Display) 장치의 제조에 사용되는 기판을 예로 들어 설명한다. 평판 디스플레이 장치는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 진공 형광 디스플레이(Vacuum Fluorescent Display), 전계 방출 디스플레이(Field Emission Display) 등일 수 있다. 기판(W)은 이 밖에도 반도체 디바이스 제조에 사용되는 웨이퍼일 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치(1)를 보여주는 도면이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 복수의 챔버들(10, 20, 30, 40), 기판 이송 유닛(100), 그리고 세정 유닛(200,300)을 포함한다. 각각의 챔버(10, 20, 30, 40)는 기판 처리 공정이 진행되는 공간을 제공한다. 기판 이송 유닛(100)은 챔버들(10, 20, 30, 40) 간에, 그리고 챔버(10, 20, 30, 40) 내에서 기판(S)을 일 방 향으로 이동시킨다. 세정 유닛(200,300)은 챔버(20, 30) 내에서 기판 이송 유닛(100)에 의해 이송되는 기판(S)을 세정한다.
각각의 챔버(10, 20, 30, 40)는 내부가 빈 대체로 직육면체 형상을 가진다. 챔버들(10, 20, 30, 40)은 일렬로 나란하게 배치된다. 각각의 챔버(10, 20, 30, 40)의 일 측벽에는 챔버(10, 20, 30, 40)로 기판(S)이 반입되는 반입구(12)가 제공되고, 이와 마주보는 타 측벽에는 챔버(10, 20, 30, 40)로부터 기판(S)이 반출되는 반출구(14)가 제공된다. 기판(S)은 반입구(12) 및 반출구(14)를 통해 가장 전방에 위치된 챔버로부터 순차적으로 가장 후방에 위치한 챔버까지 이송된다. 각 챔버(10, 20, 30, 40) 내에서는 기판(S)에 대해 소정의 공정이 진행된다. 챔버들(10, 20, 30, 40) 중 적어도 하나의 챔버(20, 30)에서는 세정 공정이 진행된다. 세정 공정이 진행되는 챔버(20)의 전방에 위치한 챔버(10)에서는 식각 공정이 수행되고, 세정 공정이 진행되는 챔버(30)의 후방에 위치한 챔버(40)에서는 건조 공정이 진행될 수 있다.
일 예에 의하면, 제 1 세정 챔버(20), 제 2 세정 챔버(30), 그리고 건조 챔버(40)는 순차적으로 일렬로 배치된다. 제 1 세정 챔버(20)에는 제 1 세정 유닛(200)이 설치되고, 제 2 세정 챔버(30)에는 제 2 세정 유닛(300)이 설치된다. 제 1 세정 챔버(20)에 제공된 제 1 세정 유닛(200)은 브러시 세정 부재이고, 제 2 세정 챔버(30)에 제공된 제 2 세정 유닛(300)은 유체 공급 노즐(Fluid Supply Nozzle)일 수 있다.
기판(S)은 제 1 세정 챔버(20)와 제 2 세정 챔버(30)로 이송되면서 세정되고, 이후 건조 챔버(40)로 이송되어 건조된다. 제 1 세정 유닛(200), 즉 브러시 세정 부재는 기판(S) 상의 영역을 브러시의 물리적 접촉력을 이용하여 세정한다. 제 2 세정 유닛(300), 즉 유체 공급 노즐은 제 1 세정 챔버(20)에서 제거되지 않은 파티클과 제 1 세정 유닛(200)에 의해 기판(S)으로부터 제거되었으나 기판(S) 상에 잔류하는 파티클을 기판(S)으로부터 제거한다. 제 2 세정 유닛(300)은 탈이온수에 고압의 가스를 공급하여 탈이온수를 분무 상태로 만든 후 분무 상태의 탈이온수를 기판(S)으로 분사하는 구조를 가질 수 있다. 제 2 세정 유닛(300)으로는 일 방향으로 긴 길이를 가지는 슬릿 노즐이 사용될 수 있다.
건조 챔버(40)에는 기판(S)으로 건조 가스를 공급하는 건조 노즐(400)이 설치된다. 건조 노즐(400)은 가열된 공기 또는 가열된 질소 가스와 같은 불활성 가스 등을 공급하여 기판(S)을 건조할 수 있다. 선택적으로 건조 노즐(400)은 이소프로필 알코올(Iso-Propyl Alcohol, IPA)과 같은 유기 용제를 기판(S)으로 공급한 후, 가열된 공기 등을 기판(S)으로 공급하여 기판(S)을 건조할 수 있다. 건조 노즐(400)로는 일 방향으로 긴 길이를 가지는 슬릿 노즐이 사용될 수 있다.
도 2는 도 1의 기판 이송 유닛을 보여주는 도면이다.
도 1과 도 2를 참조하면, 기판 이송 유닛(100)은 복수 개의 이송 샤프트들(110)을 가진다. 이송 샤프트들(110)은 챔버(20) 내에 서로 평행하게 나란하게 배치된다. 이송 샤프트들(110)은 반입구(도 1의 도면 참조 번호 12)와 인접한 위치 로부터 반출구(도 1의 도면 참조 번호 14)와 인접한 위치까지 제공된다. 각각의 이송 샤프트들(110)에는 그 길이 방향을 따라 복수 개의 롤러들(112)이 설치된다. 롤러들(112)은 기판의 하면과 접촉한다. 이송 샤프트들(110)의 회전에 의해 롤러들(112)이 회전되고, 기판(S)은 그 하면이 롤러들(112)에 접촉된 상태로 롤러들(112)의 회전에 의해 이송 샤프트들(110)의 배열 방향을 따라 직선 이동된다.
이송 샤프트들(110)은 기판(S)이 수평 상태로 이송되도록 수평으로 배치될 수 있으며, 또한 선택적으로 이송 샤프트들(110)은 기판(S)이 경사 반송되도록 일단과 타단이 서로 상이한 높이에 위치할 수 있다.
이송 샤프트들(110)은 구동 샤프트(110a)와 종동 샤프트들(110b, 110c, 110d)을 포함한다. 구동 샤프트(110a)는 이송 샤프트들(110) 중 어느 하나의 이송 샤프트일 수 있으며, 구동 부재(120)에 의해 회전된다. 종동 샤프트들(110b, 110c, 110d)은 구동 샤프트(110a)를 제외한 나머지의 이송 샤프트들일 수 있으며, 동력 전달 부재(140)에 의해 전달되는 회전력에 의해 회전된다.
구동 부재(120)는 구동 모터(121), 커플러(124), 그리고 제 1 및 제 2 자성체(123,125)를 포함한다. 커플러(124)는 구동 샤프트(110a)의 일단에 결합되고, 챔버(20)를 향하는 일단이 개방된 원통 형상을 가진다. 커플러(124)에 인접한 챔버(20)의 벽(21)은 커플러(124)를 향해 돌출된 철(凸)부 형상을 가진다. 챔버(20) 벽(21)의 철(凸)부는 커플러(124)의 홈부에 수용되는 위치에 형성된다.
구동 모터(121)는 구동 로드(122)를 가지며, 챔버(20)의 외측에 배치된다. 구동 로드(122)는 챔버(20) 벽(21)의 홈부에 삽입되도록 위치한다. 구동 로드(122) 의 단부에는 구동 로드(122)의 중심 축을 둘러싸도록 복수 개의 제 1 자성체(123)가 구비되고, 커플러(124)에는 제 1 자성체(123)들에 대응하도록 복수 개의 제 2 자성체(125)가 구비된다.
구동 모터(121)에 의해 구동 로드(122)가 회전하면, 구동 로드(122)에 설치된 제 1 자성체(123)와 커플러(124)에 설치된 제 2 자성체(125) 간의 자력에 의해 커플러(124)가 회전되고, 커플러(124)의 회전에 의해 구동 샤프트(110a)가 회전된다.
종래의 기판 이송 장치는 원판 형상의 마그네틱 디스크들 간에 작용하는 자력을 이용하여 동력을 전달하였으나, 마그네틱 디스크를 이용한 동력 전달은 큰 토크의 전달에 불리하다. 그러나 본 발명은 구동 샤프트(110a)와 구동 로드(122)를 일 종의 축 결합과 유사한 방식으로 위치시키고, 동심원 구조로 배열된 자석을 이용하여 동력을 전달하므로 큰 토크를 전달할 수 있는 이점을 가진다.
구동 샤프트(110a) 및 커플러(124)의 회전력은 동력 전달 부재(140)에 의해 종동 샤프트들(110b, 110c, 110d)에 전달된다.
도 3은 도 2의 동력 전달 부재의 사시도이고, 도 4는 동력 전달 부재의 동작 상태를 보여주는 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 동력 전달 부재(140)는 구동 축(141), 제 1 헬리컬 자성체들(142a, 142b), 그리고 제 2 헬리컬 자성체들(144a,144b)을 포함한다.
구동 축(141)은 길이 방향이 이송 샤프트들(110)의 길이 방향에 수직한 방향 을 향하도록, 이송 샤프트들(110)의 일단 하부, 즉 커플러(124)의 아래에 배치된다. 구동 축(141)에는 그 길이 방향을 따라 복수 개의 제 1 헬리컬 자성체들(142a, 142b)이 배치되며, 제 1 헬리컬 자성체들(142a, 142b)은 이송 샤프트들(110)의 일단 아래에 위치하도록 배치된다. 제 1 헬리컬 자성체들(142a, 142b)은 나선 형상으로 형성된 자극들(142a-1,142a-2,142b-1,142b-2)을 가진다.
커플러(124)의 외주면에는 제 2 헬리컬 자성체(144a)가 구비되며, 제 2 헬리컬 자성체(144a)는 나선 형상으로 형성된 자극들(144a-1,144a-2)을 가진다. 종동 샤프트(110b)의 일단에는 제 2 헬리컬 자성체(144b)가 구비되며, 제 2 헬리컬 자성체(144b)는 나선 형상으로 형성된 자극들(144b-1,144b-2)을 가진다.
구동 모터(121)의 회전력과 제 1 및 제 2 자성체(123,125) 간의 자력에 의해 커플러(124)가 회전되면, 커플러(124)의 외주면에 구비된 제 2 헬리컬 자성체(144a)와 구동 축(141)에 구비된 제 1 헬리컬 자성체(142a) 간의 자력에 의해 구동 축(141)이 회전된다. 구동 축(141)의 회전에 의해 구동 축(141) 상에 설치된 제 1 헬리컬 자성체(142b)가 회전되고, 제 1 헬리컬 자성체(142b)와 제 2 헬리컬 자성체(144b) 간의 자력에 의해 종동 샤프트(110b)가 회전된다. 이와 같은 방식으로 복수 개의 종동 샤프트들(110b,110c,110d)이 회전되면서, 이송 샤프트들(110) 위에 놓인 기판(S)이 이송된다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질 적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이하에 설명된 도면들은 단지 예시의 목적을 위한 것이고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 기판 이송 유닛을 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 동력 전달 부재의 사시도이다.
도 4는 동력 전달 부재의 동작 상태를 보여주는 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110: 이송 샤프트 120: 구동 부재
121: 구동 모터 122: 구동 로드
123: 제 1 자성체 124: 커플러
125: 제 2 자성체 140: 동력 전달 부재

Claims (6)

  1. 서로 나란하게 배치되며, 기판을 이송하는 복수 개의 이송 샤프트들;
    상기 이송 샤프트들 중 어느 하나의 상기 이송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 부재; 및
    상기 이송 샤프트들 간에 회전력을 전달하는 동력 전달 부재를 포함하되,
    상기 구동 부재는,
    요(凹)부 형상을 가지고 상기 이송 샤프트의 일단에 결합되며, 측벽에 원주 방향을 따라 제 1 자성체들이 설치된 커플러;
    일단이 상기 커플러의 홈부에 삽입되고, 상기 일단에 원주 방향을 따라 제 2 자성체들이 설치된 구동 로드; 및
    상기 구동 로드의 타단이 결합되는 구동 모터를 포함하는 기판 이송 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 커플러와 상기 구동 로드의 사이에는 철(凸)부 형상의 챔버 벽이 위치하는 기판 이송 유닛.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이송 샤프트들은 상기 커플러가 결합되는 구동 샤프트와, 상기 동력 전달 부재에 의해 회전되는 복수 개의 종동 샤프트들을 포함하며,
    상기 동력 전달 부재는,
    상기 커플러의 외주면에 제공되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 제 1 구동 헬리컬 자성체;
    상기 종동 샤프트들의 일단에 제공되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 원통 형상의 제 2 구동 헬리컬 자성체;
    상기 제 1 및 제 2 구동 헬리컬 자성체들의 아래에 각각 배치되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 원통 형상의 종동 헬리컬 자성체들; 및
    상기 종동 헬리컬 자성체들이 결합되는 구동 축을 포함하는 기판 이송 유닛.
  4. 기판 처리 공정이 진행되는 공정 챔버;
    상기 공정 챔버 내에 나란하게 배열되며, 기판과 접촉되는 다수의 롤러들이 설치된 이송 샤프트들;
    상기 이송 샤프트들 중 어느 하나의 상기 이송 샤프트에 회전력을 제공하는 구동 부재; 및
    상기 이송 샤프트들 간에 회전력을 전달하는 동력 전달 부재를 포함하되,
    상기 구동 부재는,
    요(凹)부 형상을 가지고 상기 이송 샤프트의 일단에 결합되며, 측벽에 원주 방향을 따라 제 1 자성체들이 설치된 커플러;
    일단이 상기 커플러의 홈부에 삽입되고, 상기 일단에 원주 방향을 따라 제 2 자성체들이 설치된 구동 로드; 및
    상기 구동 로드의 타단이 결합되는 구동 모터를 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 커플러와 상기 구동 로드의 사이에는 철(凸)부 형상의 챔버 벽이 위치하는 기판 처리 장치.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 이송 샤프트들은 상기 커플러가 결합되는 구동 샤프트와, 상기 동력 전달 부재에 의해 회전되는 복수 개의 종동 샤프트들을 포함하며,
    상기 동력 전달 부재는,
    상기 커플러의 외주면에 제공되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 제 1 구동 헬리컬 자성체;
    상기 종동 샤프트들의 일단에 제공되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 원통 형상의 제 2 구동 헬리컬 자성체;
    상기 제 1 및 제 2 구동 헬리컬 자성체들의 아래에 각각 배치되며, 자극들이 헬리컬 기어 모양으로 배치된 원통 형상의 종동 헬리컬 자성체들; 및
    상기 종동 헬리컬 자성체들이 결합되는 구동 축을 포함하는 기판 처리 장치.
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