TWI433802B - Vertical circulation handling equipment - Google Patents

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TWI433802B
TWI433802B TW097139555A TW97139555A TWI433802B TW I433802 B TWI433802 B TW I433802B TW 097139555 A TW097139555 A TW 097139555A TW 97139555 A TW97139555 A TW 97139555A TW I433802 B TWI433802 B TW I433802B
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Description

鉛直循環搬運設備
本發明是關於在清淨室內沿鉛直方向搬運物品的設備。
專利文獻1(日本特開2002－104641號)揭示鉛直循環搬運設備的例子。將該鉛直循環搬運設備設置在清淨室內的情形，來自設備的機構部分的塵埃所造成之被搬運物品或連接於設備之樓層內空間的污染，必須加以避免。本申請案的發明人針對這點提出一種技術，係藉由配置在棚架的大致對角線上的2個鏈條等，來使循環於設備內的棚架進行昇降。藉由在棚架的對角線位置設置2個鏈條，而能使棚架穩定地進行昇降。但這時必須在棚架的前面和背面雙方都配置鏈條，因此要使棚架的前面側與在鏈條的驅動部產生塵埃的空氣隔絕會有困難。於是本發明人，為了將鉛直循環搬運設備的棚架與在鏈條的驅動部產生塵埃的空氣隔絕，又為了在棚架和設備外部之間進行物品的搬入搬出時避免產生塵埃的空氣流到設備的外部，係進行深入的探討而到達本發明的完成。
〔專利文獻1〕日本特開2002－104641號
本發明的課題，除為了使棚架能以穩定的姿勢進行昇 降以外，並讓棚架及設備外部與在棚架的驅動部產生塵埃的空氣隔絕。又本發明的追加課題，是為了避免經由鉛直循環搬運設備而產生樓層間的氣流。
本發明之鉛直循環搬運設備，係在無端狀的驅動構件上安裝棚架而讓其鉛直循環的設備，其特徵在於：係設置：包圍讓棚架進行鉛直循環的內部空間之內壁、將該內壁從外側進行包圍的外壁；在前述內部空間配置棚架，並讓設置於棚架的對角位置的一對突出部從設置於內壁的狹縫朝內壁和外壁之間的外部空間突出，將前述各突出部安裝於無端狀的驅動構件，進一步將前述驅動構件的驅動機構設置於前述外部空間內，且設置物品的搬出搬入用的通道，其貫穿前述外部空間而將內部空間和設備的外部予以連接。
較佳為，鉛直循環搬運設備是在複數個樓層間搬運物品，且至少最下層的樓層在地板下具備排氣空間，又設置將前述外部空間的空氣淨化後朝前述內部空間供應的風扇過濾器單元，且使前述內部空間的氣壓保持比鉛直循環搬運設備周圍的樓層內的氣壓高，使前述外部空間的氣壓保持比前述樓層內的氣壓低但比設於樓層的地板下之排氣空間高。又在具有複數個排氣空間的情形，使外部空間的氣壓保持比各排氣空間高。更佳為，設置從設備外部吸入空氣而朝前述內部空間供應的風扇過濾器單元，且設置將前述外部空間的空氣朝前述排氣空間進行排氣的排氣口。
在本發明，是在棚架的對角位置設置一對的突出部， 且在各突出部安裝驅動構件而讓其進行鉛直循環。結果，能以穩定的姿勢讓棚架進行循環。又在設備的內部是被內壁區隔成內部空間和外部空間，讓棚架的突出部從狹縫朝外部空間突出，並用驅動構件進行驅動。又將驅動構件及其驅動機構收容於外部空間。結果，驅動機構等產生的塵埃變得不容易進行內部空間，又由於內部空間和設備的外部是透過貫穿外部空間的通道來連接，故能在不曝露於外部空間的空氣下進行物品的搬出搬入。
若設置用來將前述外部空間的空氣淨化後朝前述內部空間供應的風扇過濾器單元，可將設備內產生的塵埃在設備內進行處理，以減少朝外部之污染空氣的排出量。又若藉由風扇過濾器單元將內部空間的氣壓昇高，容易使內部空間的氣壓比設備周圍的樓層內的氣壓更高，又藉由利用風扇過濾器單元進行吸引，容易使外部空間的氣壓比樓層內的氣壓更低。又若設置從設備外部將空氣吸入而朝內部空間供應的風扇過濾器單元，容易使內部空間的氣壓比外部的樓層更高。又若設置將外部空間的空氣朝排氣空間進行排氣的排氣口，容易使外部空間的氣壓比外部樓層更低但比排氣空間更高。
以下說明用來實施本發明之最佳實施例。
〔實施例〕
第1圖至第4圖係顯示實施例的鉛直循環搬運設備2。鉛直循環搬運設備2是構成2層的筒狀，4代表其內部空間，是清淨度最高的空間。6代表外部空間，其包圍著內部空間4，而藉由空間4、6間的內壁8將兩者遮斷，10代表用來使外部空間6與設備的外部隔絕的外壁。在鉛直循環搬運設備2，如第2圖所示是設置面對樓層空間F1、F2之通道12，通道12貫穿外部空間6，以將內部空間4和設備的外部予以連接。又在通道12設置機械式的開閉器24，僅在foup18等的物品進行搬入搬出時該開閉器24打開，14代表通道12的外壁。
棚架16是在內部空間4內進行鉛直循環，各棚架16在對角線上具備一對的突出部28、28，突出部28、28是從設置於內壁8的狹縫26朝外部空間6側突出。又在突出部28安裝無端狀的鏈條30或無端狀皮帶等，藉由第2圖、第3圖所示的鏈輪34及其驅動部36，沿鉛直方向進行循環。在內部空間4內，沿著鉛直方向平行配置著2列棚架16，並藉由鏈輪34進行循環動作。
在棚架16裝載foup18等的物品，物品的種類可以是任意的。又在通道12設置移載機械人20(使用水平多關節臂(Scara arm)等)，在將開閉器24打開時，能在棚架16和外部之間進行foup18等的移載。在此，雖是在開閉器24的外側配置移載機械人20，但也能將開閉器24配置於通道12的出口，而將移載機械人20配置於通道12的內部。又在外部空間6的適當位置設置風扇過濾器單元 (FFU)22，以將外部空間6內的空氣予以淨化後送往內部空間4。再者，在鉛直循環搬運設備2的例如頂部設置風扇過濾器單元(FFU)32，以將設備2的外部空氣予以淨化後送往內部空間4。
如第2圖所示，鉛直循環搬運設備2是貫穿複數個樓層空間F1、F2之間，38、40代表樓層的地板，在此雖顯示在2個樓層空間F1、F2間進行搬運，但沿鉛直方向的樓層空間的數目可以是任意的。在地板38的下部設置排氣空間42，在外壁10設置排氣口44，以將外部空間6內的空氣朝排氣空間42側進行排氣。又在排氣空間42一般是設置吸引風扇，以使環境氣氛保持負壓。
接著說明實施例的動作。藉由鏈輪34，透過鏈條30使棚架16沿鉛直方向進行循環移動。棚架16是在大致對角線上的2個位置被鏈條30所支承，因此不容易因foup18的荷重等而造成傾斜，而能以水平的姿勢進行鉛直循環。當棚架16到達用來進行物品的搬出搬入之樓層空間時，停止進行鉛直循環運動，將開閉器24打開，藉由移載機械人20在其和鉛直循環搬運設備2的外部之間進行物品的搬入搬出。在此，在樓層空間F1、F2雙方同時進行物品的搬出搬入的情形，經由內部空間4而使空氣在樓層空間F1、F2間流動是有可能的。而在樓層空間F1、F2的清淨度不同的情形，若產生從清淨度低的空間朝向清淨度高的空間之氣流，就會造成問題。
接下來說明鉛直循環搬運設備2內的清淨度。藉由上 部的風扇過濾器單元32對內部空間4供應清淨空氣，並經由狹縫26使清淨空氣漏往外部空間6，而從排氣口44朝排氣空間42進行排氣。內部空間4的清淨度，是設定成複數個樓層空間F1、F2中的最高的清淨度以上。外部空間6，由於是與樓層空間F1、F2及內部空間4隔絕，故只要具有適當的清淨度即可。
第4圖係示意顯示鉛直循環搬運設備2的各部的氣壓。內部空間4的氣壓設定成比樓層空間F1、F2的氣壓更高，而外部空間6的氣壓則設定成比任一樓層空間F1、F2更低，且將排氣空間42的氣壓設定成最低。又從風扇過濾器單元32朝內部空間4始終供應清淨空氣，且從排氣口44始終將外部空間6的空氣進行排氣。又將風扇過濾器單元32的送風量設定成，比從開閉器24流往樓層空間的空氣量更大。如此，即使開閉器24打開，內部空間4內的氣壓基本上不會改變，而能保持比樓層空間F1、F2更高。在將開閉器24打開時，會產生從內部空間4朝樓層空間F1、F2的氣流，但不會產生相反方向的氣流，因此在樓層空間F1、F2間不會發生空氣的混合。所以各樓層空間的清淨度不會改變。
2‧‧‧鉛直循環搬運設備
4‧‧‧內部空間
6‧‧‧外部空間
8‧‧‧內壁
10‧‧‧外壁
12‧‧‧通道
14‧‧‧通道外壁
16‧‧‧棚架
18‧‧‧foup
20‧‧‧移載機械人
22、32‧‧‧風扇過濾器單元
24‧‧‧開閉器
26‧‧‧狹縫
28‧‧‧突出部
30‧‧‧鏈條
34‧‧‧鏈輪
36‧‧‧驅動部
38、40‧‧‧地板
42‧‧‧排氣空間
44‧‧‧排氣口
F1、F2‧‧‧樓層空間
第1圖係實施例的鉛直循環搬運設備的水平方向截面圖，其顯示內外的空間和通道。
第2圖係沿著第1圖的II－II方向的鉛直方向截面圖 ，其顯示內外的空間、通道及鏈條的配置。
第3圖係沿著第2圖的III－III方向的水平截面圖，其顯示鏈條和鏈輪的配置。
第4圖係顯示實施例各部的氣壓之示意圖。
2‧‧‧鉛直循環搬運設備
4‧‧‧內部空間
6‧‧‧外部空間
8‧‧‧內壁
10‧‧‧外壁
12‧‧‧通道
14‧‧‧通道外壁
16‧‧‧棚架
18‧‧‧foup
20‧‧‧移載機械人
22‧‧‧風扇過濾器單元
24‧‧‧開閉器
26‧‧‧狹縫
28‧‧‧突出部
30‧‧‧鏈條

Claims (3)

  1. 一種鉛直循環搬運設備，係在無端狀的驅動構件上安裝棚架而讓其鉛直循環，藉此在複數個樓層間搬運物品的設備，其特徵在於：係設置：從4周包圍讓棚架進行鉛直循環的內部空間之內壁、將該內壁從外側的4周進行包圍的外壁；在前述內部空間沿鉛直方向將棚架配置成左右2列，並讓設置於棚架的對角位置的一對突出部從設置於內壁的狹縫，在棚架的的正面側和背面側分別朝內壁和外壁之間的外部空間突出，將左右2列的各棚架的正面側的突出部安裝於第1無端狀的驅動構件，將左右2列的各棚架的背面側的突出部安裝於第2無端狀的驅動構件，將前述第1無端狀的驅動構件的驅動機構設置於棚架的正面側的外部空間內，將前述第2無端狀的驅動構件的驅動機構設置於棚架的背面側的外部空間內，且對前述複數個樓層設置物品的搬出搬入用的複數個通道，該通道貫穿前述外部空間而將內部空間和設備的外部予以連接。
  2. 如申請專利範圍第1項記載之鉛直循環搬運設備，其中，至少最下層的樓層在地板下具備排氣空間，又設置將前述外部空間的空氣淨化後朝前述內部空間供應的風扇過濾器單元，且使前述內部空間的氣壓保持比鉛直循環搬運設備周圍的樓層內的氣壓高，使前述外部空間的氣壓保持比前述 樓層內的氣壓低但比設於樓層的地板下之排氣空間高。
  3. 如申請專利範圍第2項記載之鉛直循環搬運設備，其中，在前述各通道設置移載機械人，在左右2列棚架的任一方都能將物品移載自如。
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