JPS62121112A

JPS62121112A - 保管装置

Info

Publication number: JPS62121112A
Application number: JP25833685A
Authority: JP
Inventors: Takayasu Asano; 浅野　貴庸; Kenichi Kinoshita; 健一木下; Wataru Okase; 亘大加瀬
Original assignee: TERU SAAMUKO KK; Tokyo Electron Sagami Ltd
Current assignee: TERU SAAMUKO KK; Tokyo Electron Sagami Ltd
Priority date: 1985-11-18
Filing date: 1985-11-18
Publication date: 1987-06-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野〕この発明は、塵埃の汚染を避けて半導体ウェーハなどを
清浄状態で保管する保管装置に係り、特に、保管物を載
置する棚の機構部で発生する塵埃の回避に関する。

Ｃ従来の技術〕半導体ウェー八に付着する塵埃は、ＩＣなどの製品の性
能に影響を及ぼすため、半導体ウェーハは高度に清浄化
された雰囲気中で各種の処理が行われ、その保管につい
ても例外ではない。

従来、半導体ウェー八を清浄状態で保管するための保管
装置は、外部からの塵埃を避ける保管庫に半導体ウェー
ハを載せたうニーバカセントを収納し、清浄空気を通流
させて半導体ウェーハに対する塵埃の付着を防止してい
る。

そして、このような保管装置には、保管装置の容積効率
を高めるため、その内部に多数の棚を設置し、その棚の
位置をウェーバカセントの搬入、搬出に応じて移動可能
にしたものも３ｇされている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような保管装置において、半導体ウ
ェーハの間に清浄空気を通流させることによって、保管
装置外の塵埃からの汚染は、無視できる程度に減少させ
ることができるが、保管装置内部に設置されている棚の
移動機構部で発生し−た塵埃が半導体ウェーハを汚染さ
せるおそれがある。

従来、このような保管装置内部で発生した塵埃による汚
染を防止する場合、保管装置の機構が複雑になり、大型
化するとともに、容積効率が低下するなどの欠点があっ
た。

そこで、この発明は、簡単な構成によって、保管装置内
部で発生した塵埃からの汚染をも防止した保管装置の提
供を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の保管装置は、第１図に示すように、保管物（
ウェーハカセット２０）を載置する複数の柵６を支持す
るとともに、各欄を任意の位置に移動させる機構部１０
と、この機構部以外の部分から棚側に清浄空気を供給す
る清浄空気供給手段（フィルタ室１４、通気部２６）と
、棚側を通過した清浄空気を前記機構部側から排気する
排気手段（排気部２８、吸気装置３２）とから構成した
ものである。

〔作　　　用〕

この発明の保管装置は、機構部によって複数の棚が移動
可能に支持され、各欄に機構部以外の部分から清浄空気
を供給し、各欄を通過させて機構部側から排気すること
によって、保管物に対して機構部側で発生した塵埃によ
る汚染を防止している。

そして、この発明の保管装置において、機構部は、たと
えば、一対の無端回動帯の間に一定の間隔で複数の棚を
取り付け、無端回動帯に回転力を与えて任意の高さ位置
に棚を移動可能にすれば、複数の棚を設置することがで
き、保管空間を有効に利用し、容積効率を高めることが
できる。

また、この発明の保管装置において、排気手段は、機構
部に排気管を設置した各欄の側部から排気を行えば、簡
単な構造によって、機構部側で発生した塵埃の影響を確
実に防止することができる。

〔実　施　例〕

以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図ないし第３図は、この発明の保管装置の実施例を
示す。

第１図に示すように、この保管装置は、密閉された矩形
形状の外装体２で構成されており、外装体２の内部には
、半導体ウェー八などの保管物を保管する保管部４と、
この保管部４に設置された複数の棚６を移動可能に支持
する機構部１０とが仕切壁１２によって区分されて設置
されているとともに、これら保管部４および機構部１０
の背面部には空気を清浄化して供給する清浄空気供給手
段としてフィルタ室１４が設置されている。

この実施例の場合、保管部４には、前後方向に２組、上
下方向に複数段の棚６が、可動支持機構１５によって可
動自在に支持されている。可動支持機構１５は、無端回
動帯としてロークリ式の一対のチェーン１６．１８およ
びその駆動機構から構成されており、各チェーン１６．
１８には、棚６に載置された複数のウェーハカセット２
０が常に水平に維持されるように、各欄６の端部が固定
されている。この実施例のように、ロークリ式のチェー
ン１６．１８を用いた場合、機械的構成が簡単になる。

この場合、ウェーハカセット２０には、複数の半導体カ
セットが縦方向に整列させて保管される。

そして、保管部４の背面部材２２には、フィルタ室１４
から清浄空気２４を保管部４の内部に汚く供給手段とし
て通気部２６が設けられている。

保管物としてのウェーハカセット２０を上流側に設定し
て保管部４に導入された清浄空気２４は、ウェーハカセ
ット２０の隙間あるいはその内部に収納されている半導
体ウェーハの間を通流した後、前面側に放流されるとと
もに、機構部１０側に設置された排気手段としての排気
部２８から排気される。この実施例の場合、排気部２８
は機構部１０のチェーン１６．１８の側面側に配設した
多孔管などからなる排気管３０によって構成されている
。そして、排気管３０には、モータなどの駆動手段で駆
動される吸気装置３２が設置され、第２図に示すように
、通気部２６から棚６の側部に供給された清浄空気２４
は、棚６の前面側に通過させるとともに、排気管３０を
介して機構部１０側から常時強制的に排気される。

第３図は、棚６の位置を変更する可動支持機構１５の構
成例を示す。

棚６ば、支持軸３４を介してチェーン１６．１８に固定
され、支持軸３４の両端部には、棚６の移動を安定化さ
せるためのサイドローラ３６が取り付けられている。チ
ェーン１６は、スプロケットホイール３８．４０間、チ
ェーン１８は、スプロケットホイール４２．４４間に懸
は回されており、各チェーン１６．１８を同期回転させ
て各欄６が長手方向にも水平に維持されるようになって
いる。

スプロケットホイール４０．４４の回転軸４６には、棚
６の位置を検出する位置検出器としてのエンコーダ４８
が設けられ、エンコーダ４８で検出された位置情報は、
駆動制御装置５０に制御入力として加えられる。また、
スプロケットホイール３８．４２の回転軸５２には、プ
ーリ５４とともに制動装置５６が取り付けられ、プーリ
５４と、駆動モータ５８に取り付けられた駆動プーリ６
０との間には、駆動ベルト６２が懸は廻されている。

制動装置５６は、チェーン１６．１８の慣性による移動
を抑制するものであり、また、駆動モータ５８は、位置
情報ならびに移動命令に応して駆動制御装置５０から出
力された駆動出力によって駆動される。

そして、チェーン１６には、光学的あるいは電気的に停
止位置を検出する位置検出器６４が設置されており、位
置検出器６４が出力する停止位置情報は、駆動制御装置
５０に加えられており、駆動制御装置５０は、その停止
位置情報に応じて駆動モータ５８の回転速度を制御する
。この場合、停止位置から離れている場合には、駆動モ
ータ５８を定回転として停止位置の近傍まで、迅速に棚
６を移動させた後、停止位置近傍で駆動モータ５８の回
転速度を低下させ、所定の停止位置に迅速に停止させる
ことにより、停止精度を向上させている。

したがって、この保管装置では、複数の棚６のそれぞれ
に複数の保管物としてウェーハカセット２０などを保管
し、各ウェーハカセット２０の側部から棚６側に清浄空
気２４を供給する。そして、供給された清浄空気２４は
、ウェーハカセット２０などの保管物の間を通過させた
後、その前面側に放流するとともに、機構部ＩＯ側から
排気し、保管物の塵埃による汚染を防止できる。特に、
棚６側を上流側、機構部１０側を下流側にして清浄空気
２４を供給するので、機構部１０側で生じた塵埃による
汚染を防止できる。

また、この保管装置において、可動支持機構１５は、簡
単な構成で収容空間を大きく取ることができ、保管物の
収容効率が高く、また、棚６の移動区間が短いので移動
処理時間の短縮化が図られている。

なお、実施例では、保管物として半導体ウェーハの保管
について説明したが、この発明は、塵埃による汚染から
保護すべきあらゆるものの保管に用いることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、次のような効
果が得られる。

（ａｌ　　構成が簡単であり、保管物の収容空間を大き
くでき、しかも、設置、移動、取り扱いが容易である。

（ｂ）　　保管物を保管する棚の設置部分と、その棚を
駆動する機構部とが分離され、機構部以外の部分から棚
側に清浄空気を供給し、棚を通過した清浄空気の排気を
機構部側から行うので、保管物に対する外部からの塵埃
の汚染防止とともに、機構部側で生じた塵埃による汚染
を確実に防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の保管装置の実施例を示す一部断面斜
視図、第２図は第１図に示した保管装置の構成を示す図
、第３図は第１図に示した可動支持機構の構成を示す図
である。６・・・棚、１５・・・可動支持機構、２４・・・清浄
空気、２６・・通気部、２８・・排気部、３０・・・排
気管、３２・・・吸気装置。第３図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）保管物を載置する複数の棚を支持するとともに、
各棚を任意の位置に移動させる機構部と、この機構部以
外の部分から棚側に清浄空気を供給する清浄空気供給手
段と、前記棚側を通過した清浄空気を前記機構部側から排気す
る排気手段とから構成したことを特徴とする保管装置。
（２）前記機構部は、一対の無端回動帯の間に一定の間
隔で複数の棚を取り付け、前記無端回動帯に回転力を与
えて任意の高さ位置に棚を移動可能にしたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の保管装置。
（３）前記排気手段は、前記機構部に排気管を設置した
各棚の側部から排気を行うことを特徴とする特許請求の
範囲第１項に記載の保管装置。