JPS6039844A - 物品の収納装置 - Google Patents
物品の収納装置Info
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- JPS6039844A JPS6039844A JP14856583A JP14856583A JPS6039844A JP S6039844 A JPS6039844 A JP S6039844A JP 14856583 A JP14856583 A JP 14856583A JP 14856583 A JP14856583 A JP 14856583A JP S6039844 A JPS6039844 A JP S6039844A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
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- Chain Conveyers (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、例えは半導体ウェーハを収めたカセットな
ど、多数の物品を出し入れ容易に、がっ、防じんして収
める、収納装置に関する。
ど、多数の物品を出し入れ容易に、がっ、防じんして収
める、収納装置に関する。
加工工程の多い物品の製造ラインには、加工工程間で物
品を一時保管するだめの収納装置が必要である。例えは
、ＩＣやＬＳＩなどの半導体装置の製造ラインは、１０
０以上もの加工工程があり、収納効率がよく、出入れが
容易な収納装置を多数要する。さらに、半導体装置はじ
んあいを嫌い、保管中も清浄な環境にしておがねばなら
ない。
品を一時保管するだめの収納装置が必要である。例えは
、ＩＣやＬＳＩなどの半導体装置の製造ラインは、１０
０以上もの加工工程があり、収納効率がよく、出入れが
容易な収納装置を多数要する。さらに、半導体装置はじ
んあいを嫌い、保管中も清浄な環境にしておがねばなら
ない。
収納する物品の？１］として、カセットを第１図に斜視
図で示す。カセットｉ１１は両側部内側に多数条の収納
溝（ｌａ）が設けられていて、半導体ウェーハ（図示は
略す）を多数枚（例えハ２５枚）収納する。
図で示す。カセットｉ１１は両側部内側に多数条の収納
溝（ｌａ）が設けられていて、半導体ウェーハ（図示は
略す）を多数枚（例えハ２５枚）収納する。
従来の収納装置ｉ′１は第２図に斜視図で示すようにな
っていた。（２）は収納装置で、次のように構成されて
いる。（３）は収納庫で、前部が大きく開口しており、
複数段の４ｆｍ（４１が設けられである。（５）は送風
機で外気を吸込し、空気ろ過器（６１に通し清浄な空気
にし、各欄（４）に載せられるカセット（１）の背部側
から圧入し、カセット＋１１に収納されたウェーッ・の
外部からのじんあいの付着を防止するようにしである。
っていた。（２）は収納装置で、次のように構成されて
いる。（３）は収納庫で、前部が大きく開口しており、
複数段の４ｆｍ（４１が設けられである。（５）は送風
機で外気を吸込し、空気ろ過器（６１に通し清浄な空気
にし、各欄（４）に載せられるカセット（１）の背部側
から圧入し、カセット＋１１に収納されたウェーッ・の
外部からのじんあいの付着を防止するようにしである。
上記従来の装置では、各１１１１へのカセット（１）の
出し入れは人手によっており、ｌｌＩ］ｆ４）の奥−や
高い位置の棚（４）への出入れは面倒で、作業性がよく
なかった。また、カセット（１）を自動機によって出し
入れしようとするのに、手前と奥にカセットｉｌ）があ
り、実施が非常に困難であった。そのうえ、収納装（３
）の前面が大きく開口していて、じんあい付着防止が不
十分であった。
出し入れは人手によっており、ｌｌＩ］ｆ４）の奥−や
高い位置の棚（４）への出入れは面倒で、作業性がよく
なかった。また、カセット（１）を自動機によって出し
入れしようとするのに、手前と奥にカセットｉｌ）があ
り、実施が非常に困難であった。そのうえ、収納装（３
）の前面が大きく開口していて、じんあい付着防止が不
十分であった。
この発明は、このような従来装置の欠点をなくするため
になされたもので、収納箱体内の両側に１対のエンドレ
スの走行体を配設し、駆動装置によりこれらの走行体を
走行しＦｌｉ四位１６に停止できるようにし、双方の走
行体にまたがり等間隔に複数の受棚を取付け、これらの
受棚上に物品を載せるようにし、収納箱体の前面に、上
記受棚が止められる所定位置に一棚分に対する開口部を
設け、物品の出し入れをするようにし、物品の出し入れ
が容易で収納効率がよく、物品の出し入れ作業を自動化
することができる収納装置を提供することを・目的とし
てし）る。
になされたもので、収納箱体内の両側に１対のエンドレ
スの走行体を配設し、駆動装置によりこれらの走行体を
走行しＦｌｉ四位１６に停止できるようにし、双方の走
行体にまたがり等間隔に複数の受棚を取付け、これらの
受棚上に物品を載せるようにし、収納箱体の前面に、上
記受棚が止められる所定位置に一棚分に対する開口部を
設け、物品の出し入れをするようにし、物品の出し入れ
が容易で収納効率がよく、物品の出し入れ作業を自動化
することができる収納装置を提供することを・目的とし
てし）る。
さらＧこ、収納箱体内の両側の走行体部側を１対の仕切
板により仕切り、受椰部を囲う収納室を形成し、送風機
からの空気を空気ろ過に通して収納室内に吹込み、前面
の開口部から排出するようにし、防じん性が良好な収納
装置を得ることを目的としている。
板により仕切り、受椰部を囲う収納室を形成し、送風機
からの空気を空気ろ過に通して収納室内に吹込み、前面
の開口部から排出するようにし、防じん性が良好な収納
装置を得ることを目的としている。
〔発明の実施例ｊ
第３図及び第４図はこの発明の一実施例による収納装置
の斜視し１及び側面断面図で、第５図は第４図のｖ−■
線における断面図である。第３図ないし第５図において
、（ＩＬｌｌは収納装置で、上記第１面の下方寄りに開
口部（ｌｌａ）が設けられである。
の斜視し１及び側面断面図で、第５図は第４図のｖ−■
線における断面図である。第３図ないし第５図において
、（ＩＬｌｌは収納装置で、上記第１面の下方寄りに開
口部（ｌｌａ）が設けられである。
Ｑ２１は両側１対の伝棉の鎖車で、伝導軸（１３＋に固
着されている。この伝導軸（１（８）は両側の仕切板（
１４）の下方側に軸受（１５）を介し回転自在に支持さ
れている。（１６）は両側１対の従導の鎖車で、両側の
仕切板（１４）の上方側に軸受（国に支持された１対の
支持軸（１ηをこそれぞれ固着されている。（１９）は
双方の鎖車（１２１と（１６）とにそれぞれ掛けられた
１対のチェーン、＠ｏ） Ｉｔチェーン０特をＢ「定ピ
ツチの間欠走行させるための割出駆動装置で、電動機を
駆動しＲｒ定の割出し運転制御する。（２１）はこの割
出駆動装置例の軸端に固着された駆動の鎖車、（２２）
は伝導軸（Ｉ３）の軸端に固着された伝達の鎖車で、鎖
車（２１）とにチェーン（２３）が掛けられていて回転
が伝えられる。（２４）は１対のチェーン内の間にまた
かり、チェーンの長手方向に対し等間隔に配置された複
数の受棚で、両端がそれぞれ支持腕（２５）の下部に固
着されている。これらの支持腕（２υはチェーンθ翅に
はめられた支持ビン翰に回動支柱に支持されており、受
ｔｌｌｌ］（２４１が常に下方になるように支持してい
る。上記両側の仕切板（１４）には、上記支持ビン翰の
中間部が通過する部分にスリット（１４ａ）を設けであ
る。このスリン） （１４ａ）で分割された仕切板（１
４）の中央側は、収納箱体（１１）の側板に支持部材（
図示は略す）を介し固定しである。（２１）は６受１１
１ ＋２４）上に取付けられたトレイで、複数のカセツ
） ｉｌｌが位置決め載賄されている。
着されている。この伝導軸（１（８）は両側の仕切板（
１４）の下方側に軸受（１５）を介し回転自在に支持さ
れている。（１６）は両側１対の従導の鎖車で、両側の
仕切板（１４）の上方側に軸受（国に支持された１対の
支持軸（１ηをこそれぞれ固着されている。（１９）は
双方の鎖車（１２１と（１６）とにそれぞれ掛けられた
１対のチェーン、＠ｏ） Ｉｔチェーン０特をＢ「定ピ
ツチの間欠走行させるための割出駆動装置で、電動機を
駆動しＲｒ定の割出し運転制御する。（２１）はこの割
出駆動装置例の軸端に固着された駆動の鎖車、（２２）
は伝導軸（Ｉ３）の軸端に固着された伝達の鎖車で、鎖
車（２１）とにチェーン（２３）が掛けられていて回転
が伝えられる。（２４）は１対のチェーン内の間にまた
かり、チェーンの長手方向に対し等間隔に配置された複
数の受棚で、両端がそれぞれ支持腕（２５）の下部に固
着されている。これらの支持腕（２υはチェーンθ翅に
はめられた支持ビン翰に回動支柱に支持されており、受
ｔｌｌｌ］（２４１が常に下方になるように支持してい
る。上記両側の仕切板（１４）には、上記支持ビン翰の
中間部が通過する部分にスリット（１４ａ）を設けであ
る。このスリン） （１４ａ）で分割された仕切板（１
４）の中央側は、収納箱体（１１）の側板に支持部材（
図示は略す）を介し固定しである。（２１）は６受１１
１ ＋２４）上に取付けられたトレイで、複数のカセツ
） ｉｌｌが位置決め載賄されている。
次に、（２８ｉＩま送風機で、外気を吸入し空気ろ過器
四に通し、清浄な空気を収納室（３［１）に圧入し開口
部（Ｘ１ａ）から排出する。こうして、収納室（３１オ
加圧され各カセット（１１内の半導体ウェーッ・にじん
あいが付着するのを防き、かつ、仕切り板（１４）で仕
切られた鎖車（１２１、（＋６１やチェーンＱ＋＋ｉ部
の摩耗粉が収納室（３０）に浸入しないようにしている
。
四に通し、清浄な空気を収納室（３［１）に圧入し開口
部（Ｘ１ａ）から排出する。こうして、収納室（３１オ
加圧され各カセット（１１内の半導体ウェーッ・にじん
あいが付着するのを防き、かつ、仕切り板（１４）で仕
切られた鎖車（１２１、（＋６１やチェーンＱ＋＋ｉ部
の摩耗粉が収納室（３０）に浸入しないようにしている
。
上記一実施例の装置ｒ１′の動作は、次のようになる。
カセツ） ｆ１＋の出し入れ作業は、圧動割出装置ｅ２
０）により双方のチェーン（＋！Ｉ）を走行させ、ｒ９
ｒ少の受４１１ｆｆ （２４１を開口部（ｌｌａ）の位
置に移動し、停止させて行う。
０）により双方のチェーン（＋！Ｉ）を走行させ、ｒ９
ｒ少の受４１１ｆｆ （２４１を開口部（ｌｌａ）の位
置に移動し、停止させて行う。
このカセット＋＋１の出し入れは人手で行えるが、カセ
ツ）（＋ｌを把持し移動する装置を配設すれは、自動化
することができる。さらに、マイクロコンピュータなど
を用い、物品のロフト番号を記憶させることにより、任
意のロット番号のカセット＋ｌｌを出し入れすることが
できる。
ツ）（＋ｌを把持し移動する装置を配設すれは、自動化
することができる。さらに、マイクロコンピュータなど
を用い、物品のロフト番号を記憶させることにより、任
意のロット番号のカセット＋ｌｌを出し入れすることが
できる。
なお、上記実施例では、物品として半導体ウェーハを収
納したカセットｉｌｌの場合を示したが、これに限らず
、他の種の物品の収納の場合にも適用できるものである
。
納したカセットｉｌｌの場合を示したが、これに限らず
、他の種の物品の収納の場合にも適用できるものである
。
また、上記実施例では、缶受ｔＩｌｌｌ （２４）を支
持し移動するのに、チェーン及びθ車による装置ｌＩを
用いたが、ベルトＲｉ、 ＦＡなどの走行体による支持
移Ｕカ装置Ｇこよってもよい。
持し移動するのに、チェーン及びθ車による装置ｌＩを
用いたが、ベルトＲｉ、 ＦＡなどの走行体による支持
移Ｕカ装置Ｇこよってもよい。
以上のように、この発明によれは、収納箱体内の両側に
１対のエンドレスの走行体を配設し、ｎ［要位楢°に停
止できるようにし、双方の走行体にまたかり等間隔に複
数の受棒を取付け、この受棚は常につり下げられた姿勢
を維持するようにし、上記収納箱の前面に設けたー棚分
の開口部から物品を停止状態の受棚に載せ収納したり、
取出したりするようにしたので、物品の出し入れが芥易
で収納効率がよく、物品の出し入れ作業の自動化が可能
になる。
１対のエンドレスの走行体を配設し、ｎ［要位楢°に停
止できるようにし、双方の走行体にまたかり等間隔に複
数の受棒を取付け、この受棚は常につり下げられた姿勢
を維持するようにし、上記収納箱の前面に設けたー棚分
の開口部から物品を停止状態の受棚に載せ収納したり、
取出したりするようにしたので、物品の出し入れが芥易
で収納効率がよく、物品の出し入れ作業の自動化が可能
になる。
また、収納箱体内の両側を１対の仕切板によりそれぞれ
走行走体部を仕切り、受棚部を囲う収納室を形成し、送
風機により外気を吸入し、空気ろ過器に通して上記収納
室に圧入し、収納箱体の比較的高さの小さい開口部がら
排出するようにしたので、物品を良好な防じん状態で収
納保管することができる。
走行走体部を仕切り、受棚部を囲う収納室を形成し、送
風機により外気を吸入し、空気ろ過器に通して上記収納
室に圧入し、収納箱体の比較的高さの小さい開口部がら
排出するようにしたので、物品を良好な防じん状態で収
納保管することができる。
第１図は収納するカセットの斜視図、第２図は従来の収
納装置の斜視図、第３図及び第４図はこの発明の一実施
例による収納装置の斜視図及び側面断面図、第５図は第
４図のｖ−ｖ線Ｇこおける断面図である。 図において、コ・・・カセット、１０・・・収納装置、
１１・・・収納箱体、ｌｌａ・・・開口部、１２．１６
・・・鎖車、１４・・・仕切板、１４ａ・・・スリット
、１９・・・チェーン、２０・・・割出駆動装置、２１
．２２・・・鎖車、２３・・・チェーン、２４・・・受
棚、２Ｂ・・・送風機、２９・・・空気ろ過器、３０・
・・収納室。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
納装置の斜視図、第３図及び第４図はこの発明の一実施
例による収納装置の斜視図及び側面断面図、第５図は第
４図のｖ−ｖ線Ｇこおける断面図である。 図において、コ・・・カセット、１０・・・収納装置、
１１・・・収納箱体、ｌｌａ・・・開口部、１２．１６
・・・鎖車、１４・・・仕切板、１４ａ・・・スリット
、１９・・・チェーン、２０・・・割出駆動装置、２１
．２２・・・鎖車、２３・・・チェーン、２４・・・受
棚、２Ｂ・・・送風機、２９・・・空気ろ過器、３０・
・・収納室。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 一欄分の物品が出し入れされる開口部が前面に設けられ
た収納箱体、この収納箱体内の両側に配設されてあり、
等速度で走行される１対のエンドレスの走行体、これら
の走行体を所定ピッチ宛移動走行させる駆動手段、上記
１対の走行体間にまたがり、常時つり下げ状態で支持さ
れ、走行方向に対し等間隔に配置されてあり、物品が載
せられる複数の受棚、上記収納箱体内の両側の走行体部
側を仕切り、上記受槽部を囲って収納室を形成する両側
１対の仕切板、及び外気を吸入し空気ろ過器に通して上
記収納室内に圧入し、上記収納箱体の開口部から排出さ
せる送風機を備えた物品の収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14856583A JPH0680723B2 (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 物品の収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14856583A JPH0680723B2 (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 物品の収納装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039844A true JPS6039844A (ja) | 1985-03-01 |
| JPH0680723B2 JPH0680723B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=15455586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14856583A Expired - Lifetime JPH0680723B2 (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 物品の収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680723B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6079710A (ja) * | 1983-10-06 | 1985-05-07 | Tokyo Erekutoron Kk | 半導体ウエハカセツトのストツカ |
| JPS60219723A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | Mitsubishi Electric Corp | マスク板保管装置 |
| US4986715A (en) * | 1988-07-13 | 1991-01-22 | Tokyo Electron Limited | Stock unit for storing carriers |
| EP2058852A3 (en) * | 2007-11-07 | 2010-03-10 | Murata Machinery, Ltd. | Vertical carousel and vertical transportation method using the vertical carousel |
| IT202000018559A1 (it) * | 2020-07-30 | 2022-01-30 | Cyber S R L | Magazzino automatico verticale a piani mobili |
-
1983
- 1983-08-12 JP JP14856583A patent/JPH0680723B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6079710A (ja) * | 1983-10-06 | 1985-05-07 | Tokyo Erekutoron Kk | 半導体ウエハカセツトのストツカ |
| JPH0447450B2 (ja) * | 1983-10-06 | 1992-08-04 | Tokyo Electron Ltd | |
| JPS60219723A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | Mitsubishi Electric Corp | マスク板保管装置 |
| US4986715A (en) * | 1988-07-13 | 1991-01-22 | Tokyo Electron Limited | Stock unit for storing carriers |
| EP2058852A3 (en) * | 2007-11-07 | 2010-03-10 | Murata Machinery, Ltd. | Vertical carousel and vertical transportation method using the vertical carousel |
| US8388296B2 (en) | 2007-11-07 | 2013-03-05 | Murata Machinery, Ltd. | Vertical carousel and vertical transportation method using the vertical carousel |
| IT202000018559A1 (it) * | 2020-07-30 | 2022-01-30 | Cyber S R L | Magazzino automatico verticale a piani mobili |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0680723B2 (ja) | 1994-10-12 |
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