JP2000168923A - ローラーコンベヤシステム - Google Patents

ローラーコンベヤシステム

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JP2000168923A
JP2000168923A JP10342689A JP34268998A JP2000168923A JP 2000168923 A JP2000168923 A JP 2000168923A JP 10342689 A JP10342689 A JP 10342689A JP 34268998 A JP34268998 A JP 34268998A JP 2000168923 A JP2000168923 A JP 2000168923A
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Japan
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roller conveyor
control unit
adjacent
motor
control units
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JP10342689A
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English (en)
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Narisawa Ryo
ナリサワ リョー
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HYAC CORP
Original Assignee
HYAC CORP
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Publication date
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】クリーンルームでの使用に適したローラーコン
ベヤ及びかかるコンベヤに対する制御システムを提供す
る。 【解決手段】ローラーコンベヤは、個々にステッピング
モーター5に接続された複数本の駆動ローラー4と、複
数本のアイドルローラー3とを備え、縦方向に複数の部
分に分割される。各部分はセンサー6と複数枚の制御カ
ードのうちの1枚を備えている。複数枚の制御カードは
シーケンシャルに接続され、物体がこれらのローラー上
において縦方向に1つの部分から次の部分まで衝突せず
に搬送されるように相互に信号を交換する。各駆動ロー
ラーは、関係するステッピングモーターの駆動軸を取り
巻く耐摩耗性ライニングを備え、たとえ関係するモータ
ーが急に始動しまたは停止しても、徐々に回転し始め、
回転を停止し得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カセット内に入れ
られたシリコンウエハーまたはメモリーディスクような
物体を搬送するためのローラーコンベヤ、並びにこのよ
うなローラーコンベヤに対する制御システムに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】種々の形式のコンベヤがこれまでに開発
されてきており、これらのコンベヤには、ベルトコンベ
ヤおよびローラーコンベヤ、並びにモーターによって駆
動されるベルトおよびローラーを備えたコンベヤが含ま
れる。これらのコンベヤは、それぞれ特定の目的のため
に使用され、そして、改良されたコンベヤが、種々の欠
点を解消するために、また特定の要求あるいはニーズを
満たすために常に導入されてきた。
【0003】従来のコンベヤの欠点の1つは、それらが
非常に高価であるということである。典型的な従来のベ
ルトコンベヤまたはローラーコンベヤは、複雑で重い配
線系を組み込まれ、物体を搬送する知能を欠いた複雑な
制御システムを用いるようになっており、その結果、物
体の衝突または損傷がしばしば生じ、それによって微粒
子による汚染を引き起こしていた。
【0004】すなわち、従来のコンベヤの別の主要な欠
点は、微粒子の発生を生じないクリーンな環境を維持す
ることができないということにある。多くの工業分野に
おいては、物体を円滑に運動させることおよび汚染を制
御することが主要な課題となっている。クリーンルーム
内への適用に関して、ベルトコンベヤのスリップに起因
する微粒子の発生は、埃が発生しない環境を維持するこ
とにとって、重要な問題となっている。シリコンウエハ
ーやメモリーディスクのようなデリケートな物体を搬送
するに際し、急に始動し、停止するコンベヤは、物体表
面に損傷を引き起こすおそれがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
課題は、シリコンウエハーやメモリーディスクを搬送す
る等のクリーンルームでの使用に適した、改良されたロ
ーラーコンベヤおよびかかるコンベヤのための制御シス
テムを提供することによって、従来のローラーコンベヤ
の欠点を解消することにある。
【0006】本発明の別の課題は、円滑に始動し、停止
し得るローラーコンベヤを提供することにある。本発明
のさらに別の課題は、知能を備えているが、安価に製造
し得るローラーコンベヤ用制御システムを提供すること
にある。本発明のさらに別の課題は、微粒子を発生しな
いローラーコンベヤを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題は、本発明によ
り、個々にステッピングモーターに接続された複数本の
駆動ローラーおよび複数本のアイドルローラー、並びに
複数個のセンサーを備えていることを特徴とするローラ
ーコンベヤを提供することによって解決される。コンベ
ヤは、縦方向に複数の部分に分割されており、物体は、
順次、1つの部分から隣接する部分へと搬送されるよう
になっている。
【0008】各部分は、単純な制御手段として機能する
制御カードを備えている。これらの制御カードは、シー
ケンシャルに接続され、相互に信号交換を行えるような
関係にあり、よって、カセットは互いに衝突することな
く円滑に搬送され得る。駆動ローラーは、関係するステ
ッピングモーターの駆動軸の外径より大きな内径を有す
る耐摩耗性ライニングを備えている。その結果、トルク
は駆動ローラーに及ぼされる負荷に応じて伝達される。
【0009】こうして駆動ローラーは、たとえ関係する
モーターが急に始動し、または停止しても、円滑に回転
し始め、回転を停止し、その結果、カセットのような物
体の搬送速度が急に変化することがなく、それによって
カセットに入れられたシリコンウエハーやメモリーディ
スクが損傷を受けることがない。空気通路がモーターま
たはコンベヤのカバーを介してもたらされ、それによっ
て、耐摩耗性ライニングとモーターの駆動軸との間にお
いて発生する微粒子は、効果的に除去され得る。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の好ましい実施例を説明する。図1および図2は本発
明の一実施例によるローラーコンベヤシステム10を示
したものである。ローラーコンベヤシステム10は、3
本の直線状コンベヤユニット12を有している。そし
て、3本のコンベヤユニット12のうちの2本は互いに
平行に配置され、残りの1本は他の2本に対して垂直に
配置されている。
【0011】ローラーコンベヤシステム10は、さら
に、平行な2本のコンベヤユニット12のうちの一方の
コンベヤユニットの一端から、他方のコンベヤユニット
の他端まで、物体を横方向に搬送するためのシャトルユ
ニット13と、平行な2本のコンベヤユニットのうちの
一方のコンベヤユニットから垂直なコンベヤユニットま
で搬送する90度回転ユニット14とを備えている。
【0012】図3から明らかなように、直線状コンベヤ
ユニット12は、それぞれ、個々にステッピングモータ
ー5に接続された複数本の駆動ローラー4と、複数本の
アイドルローラー3とを備えている。駆動ローラー4お
よびアイドルローラー3は、2本のフレームバー1、2
によって回転可能に支持され、かつ縦2列に正確に整列
せしめられている。縦2列のうちの一方の列には、アイ
ドルローラー3だけが備えられ、他方の列には、アイド
ルローラー3と駆動ローラー4が交互に備えられてい
る。
【0013】複数個のセンサー6が、カセット11が存
在するか、存在しないかを検出するために設けられてい
る。
【0014】図1および図2に示した実施例によれば、
モジュール式の直線状コンベヤユニット12は、それぞ
れ40インチ(101.6cm)の長さを有し、それぞ
れ10インチ(25.4cm)の長さを有する4つの部
分からなっている。これら4つの部分はそれぞれ、2本
の駆動ローラー4と、その部分の範囲内に物体が存在す
るか、存在しないかを検出するように適合せしめられた
1個のセンサー6とを備えている。
【0015】図6に示したように、これら4つの部分は
それぞれ、4枚の制御カードのうちの対応する1枚によ
って制御されるようになっている。制御カードはそれぞ
れ、コンパクトに設計された制御ユニットとして機能す
る。これら4枚の制御カードは、コンベヤユニット12
の本体内部に含まれた配線によってシーケンシャルに接
続されている。
【0016】これらの制御カードの互いに隣接する対
は、それぞれ、外部に配置された電線による接続を用い
ることなく、相互に信号を交換する関係を有している。
制御カードはそれぞれ、当該部分に関係づけられたセン
サー6に接続され、そのセンサー6から信号を受け取
り、その部分に関係するモーター5の動作を制御するよ
うに適合せしめられている。
【0017】各カードの制御ロジックは、表1に示した
ようになる。ここで、“センサーオン”および“センサ
ーオフ”は、それぞれ、その制御カードによって制御さ
れた部分に関係づけられたセンサーが、その部分の範囲
内にカセットが存在すること、または存在しないことを
示していることを表している。
【0018】“リクエストアウト”は、上流側に隣接す
る部分に対する制御カードに伝送された、カセットの積
み込みを要求する信号を表しており、“リクエストイ
ン”は、下流側に隣接する部分に対するカードから受け
取られた、カセットの積み込みを要求する信号を表して
いる。
【0019】表1の最下欄は、その部分に対するセンサ
ーが当該部分の範囲内にカセットが存在しないことを検
出するときはいつでも(センサーオフ)、次のカセット
の積み込み要求が自動的に出力されること(リクエスト
アウト=オン)を意味し、その部分は新たなカセットを
受け取る準備ができていることを示している。
【0020】
【表1】
【0021】この制御ロジックは、当該部分の範囲内に
カセットが存在し(センサーオン)、下流側に隣接する
部分からのカセットの積み込み要求が存在しないときを
除いて、モーターが常に作動しているということによっ
て特徴付けられる。さらに、積み込み要求が存在しない
ということは、下流側に隣接する部分の範囲内にカセッ
トが存在するということを意味し、よって、カセットが
直ぐさま下流側に搬送されないようにすることによって
衝突が環境回避される。
【0022】表2には、各カードの制御ロジックの別の
例が示してある。この制御ロジックは、上で表1を参照
して説明したロジックとほとんど類似しているが、以下
の点において相違している。すなわち、たとえ下流側に
隣接する部分からのカセット積み込み要求が存在する場
合でも(リクエストイン(アウト))、上流側に隣接す
る部分または当該部分の範囲内にカセットが存在しない
とき(上流側センサーオフおよびセンサーオフ)、その
部分のモーターが停止せしめられる(モーターオフ)と
いう点において相違する。
【0023】それ以外の点では、表2に示した制御ロジ
ックは、表1に示した制御ロジックと同一である。言い
換えれば、もし如何なる要求信号も下流側から受け取ら
れないならば、下流側に隣接する部分にカセットが存在
し、よって、如何なるカセットも下流側に搬送されず、
衝突は全く生じない。
【0024】
【表2】
【0025】図1および図2において、シャトルユニッ
ト13および90度回転ユニット14は上で詳細に説明
した直線状ローラーコンベヤ12の1つの部分における
のと同様に、それぞれステッピングモーターに接続され
た複数本の駆動ローラーと、複数本のアイドルローラー
と、複数個のセンサーとを備えている。
【0026】シャトルユニット13は、それを支持する
ローラーとともにカセットを横方向に動かすように適合
せしめられていることによって特徴づけられる。90度
回転ユニット14は、それを支持するローラーとともに
カセットを90度だけ回転させるように適合せしめられ
ていることによって特徴付けられる。
【0027】これらのユニットの横方向および回転運動
のための機構は、それと同一の目的のために使用される
従来のユニットと異ならないので、ここでは敢えて説明
しない。
【0028】本発明によるシャトルユニット13および
90度回転ユニット14は、共に(図示しない)簡単な
リレーまたはトランジスタ論理制御ユニットによって制
御されるようになっている。シャトルユニット13は、
それが上流側の直線状コンベヤユニットに対して整列せ
しめられるとき、第1の位置にあると呼ばれ、また、下
流側の直線状コンベヤユニットに対して整列せしめられ
るとき、第2の位置にあると呼ばれる。
【0029】シャトルユニット13に対する制御ユニッ
トは、シャトルユニット13が第1の位置にあるとき、
上で表1および表を参照して説明した制御ロジックと類
似の制御ロジックによってモーターを作動させ、それに
よって駆動ローラーを回転させてカセットを取り込む。
【0030】シャトルユニット13上にカセットが存在
することがセンサーによって検出されたとき、駆動ロー
ラーは停止せしめられ、シャトルユニット13は第1の
位置から第2の位置まで動かされる。シャトルユニット
13が第2の位置に達した後、駆動ローラーは、下流側
に隣接する直線状コンベヤユニット12の方に向かって
再び始動せしめられ、カセットを送り出す。カセット
が、シャトルユニット13から離れたことがセンサーに
よって確認された後、駆動ローラーに対するモーターは
停止せしめられ、シャトルユニット13は、再び第1の
位置まで動かされ、それによってその1サイクルの動作
が完了する。
【0031】90度回転ユニット14に対する制御ロジ
ックもまた、同様である。90度回転ユニット14は、
第1の位置にあるとき、上流側の隣接する直線状コンベ
ヤユニット12に整列せしめられてカセットを受け取る
ように適合せしめられ、また、第2の位置にあるとき、
下流側に隣接する直線状コンベヤユニット12に対して
整列せしめられて受け取ったカセットを送り出すように
適合せしめられている。
【0032】90度回転ユニット14に対する制御ユニ
ットは、90度回転ユニット14が第1の位置にあると
き、上で表1および表2を参照して説明した制御ロジッ
クと類似の制御ロジックに従ってモーターを作動させ、
それによって駆動ローラーを回転させ、カセットを取り
込むようになっている。
【0033】90度回転ユニット14上にカセットが存
在することがその90度回転ユニットのセンサーによっ
て検出されたとき、駆動ローラーは停止せしめられ、9
0度回転ユニット14は、90度だけ回転せしめられ
て、第1の位置から第2の位置に移動する。90度回転
ユニット14が第2の位置に達したとき、その回転運動
は停止せしめられ、駆動ローラーは、下流側に隣接する
直線状コンベヤユニット12の方向に向かって再び始動
せしめられ、カセットを送り出す。カセットが90度回
転ユニット14から離れたことがセンサーによって確認
された後、駆動ローラーに対するモーターは停止せしめ
られ、90度回転ユニット14は第1の位置まで戻さ
れ、それによってその1周期の動作が完了する。
【0034】本発明による直線状ユニット12およびシ
ャトルユニット13、並びに90度回転ユニット14
は、互いに容易に連結されて、図7に示したようなシス
テムを形成し得る。このシステムは、分離装置を備えて
おり、制御ユニットの各対の間における信号伝送用電線
およびケーブルは、すべて内在的に含まれ得る。
【0035】図8は、個別に外部にさらされた電線およ
びケーブルによって搬送されるべき物体のための経路に
沿って配置された、駆動ローラーに対するモーターに接
続されねばならない単一の中央制御ユニットによって制
御された、従来のコンポーネントを用いた本発明のシス
テムに匹敵するシステムを示したものである。
【0036】本発明による個々のユニットの接続は、次
のような利点を有している。すなわち、個々の部分に対
する簡単な制御ユニットを用いることができ、言い換え
れば、各部分は、それ自体に属する人工知能を備えた制
御ユニットを備えている一方、これらの制御ユニットの
互いに隣接する対の間において簡単な通信がなされると
いう利点である。
【0037】図9は、各駆動ローラー4を対応するモー
ター5に接続するための機構を詳細に示した図である。
この実施例によれば、駆動ローラー4は、柔軟なポリエ
チレン製ゴムから形成され、硬質プラスチック製の差し
込み部材16に取り付けられており、この差し込み部材
16は、順次、モーター5の駆動軸15に差し込まれて
いる。
【0038】駆動ローラー4と硬質プラスチック製差し
込み部材16との接触面上の溝および突起17は、それ
らを互いに固定し、それによって差し込み部材16とゴ
ム製ローラー4との間のスリップを防止するように機能
する。この機能によって、モーター5の駆動軸15と駆
動ローラー4との間のスリップを生じさせることなく、
高トルクの伝達が可能になる。
【0039】図10は、駆動ローラー4を対応するモー
ター5の駆動軸に接続するための別の機構が示してあ
る。この機構は、2つの軸受22およびスプリング23
の使用によって特徴づけられる。スプリング23の一端
は、駆動ローラー4の内壁に固定され、他端は、ライニ
ング差し込み部材21の内側において駆動軸の外壁に固
定されている。環状のスペーサー20は、2つの軸受2
2の間に配置されて軸受間の隙間を維持するようになっ
ており、また、それらの振動を減少させるように機能す
る。
【0040】こうして構成された機構を用いることによ
って、ローラー4は、モーター5が停止せしめられたと
き、突然停止することはないか、スプリング23が駆動
方向に巻き戻されることによって、徐々に停止する。十
分に停止した後、スプリング23は、完全な停止を行う
ために逆方向に巻かれる。モーター5が回転し始めたと
き、ローラー4は、同様にして徐々に回転し始める。
【0041】図11および図12は、駆動ローラー4を
徐々に回転させ、徐々に静止させるための機構の別の例
を示したものである。図11に示した機構は、モーター
5の駆動軸25を耐摩耗性ライニング26の内側におい
て回転させ、駆動ローラー4に対する差し込み部材とし
て機能させることによって特徴づけられる。
【0042】このライニング26の内径は、駆動軸25
の外径よりわずかに大きくなっており、トルクの伝達
は、駆動ローラー4に及ぼされる負荷に依存するように
なる。負荷が十分に大きいとき、ローラー4は回転し始
める。たとえモーター5が突然停止せしめられたとして
も、駆動ローラー4は、駆動軸25とライニング26と
の間の内部スリップに起因して徐々に停止する。
【0043】このようなライニングを用いた機構の欠点
の1つは、駆動軸25とライニング26との間の摩擦に
よって微粒子が発生する可能性があるということであ
る。したがって、発生するかもしれない微粒子を除去す
るために、排気路(空気通路)が設けられる。
【0044】図11および図12において、このような
排気路を通る空気の流れを矢印で示した。図11は、モ
ーター5が、(図示しない)真空ポンプに接続された開
口を有するカバー28によって閉じられ、空気通路がモ
ーター5によって形成されているような構成例を示した
ものである。図12は、空気通路が、モーター5とカバ
ー28との間の空隙によって形成されるような構成例を
示したものである。
【0045】以上、本発明の好ましい実施例を説明した
が、本発明の構成はこれらの実施例に限定されるもので
はなく、特許請求の範囲に規定される構成の範囲内にお
いて、種々の変形例を考案することが当業者によって容
易になし得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例によるローラーコンベヤシス
テムの平面図である。
【図2】本発明の一実施例によるローラーコンベヤシス
テムの側面図である。
【図3】図1および図2の直線状コンベヤユニットの一
部を示した平面図である。
【図4】図3の直線状コンベヤユニット上にカセットを
載せた状態を示す側面図である。
【図5】図4の2C−2C線に沿った断面図である。
【図6】直線状コンベヤユニットのそれぞれの制御シス
テムのブロック図である。
【図7】図1に示したシステムを制御するためのケーブ
ル接続のブロック図である。
【図8】本発明のシステムに対応する従来のコンベヤシ
ステムに対する従来のケーブル接続のブロック図であ
る。
【図9】駆動ローラーをそれに関係するモーターに接続
するための機構の断面図である。
【図10】駆動ローラーをそれに関係するモーターに接
続するための別の機構の断面図である。
【図11】駆動ローラーをそれに関係するモーターに接
続するための別の機構の断面図である。
【図12】駆動ローラーをそれに関係するモーターに接
続するための別の機構の断面図である。
【符号の説明】
1、2 フレームバー 3 アイドルローラー 4 駆動ローラー 5 ステッピングモーター 6 センサー 10 ローラーコンベヤシステム 12 コンベヤユニット 13 シャトルユニット 14 90度回転ユニット 15 駆動軸 16 差し込み部材 20 スペーサー 22 軸受 23 スプリング 26 ライニング 28 カバー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3F027 AA03 CA01 DA04 EA01 FA12 3F033 BA01 BB02 BB14 BB19 BC04 BC06 BC07 BC08 GA06 GB04 GB08 GE05 5F031 CA01 DA01 FA03 FA07 GA53

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 縦方向に上流端から下流端に向かって物
    体を搬送するためのローラーコンベヤにおいて、前記物
    体がその上に置かれ、縦方向に前記物体を搬送する、縦
    方向に配置された複数本の駆動ローラーと、それぞれ、
    前記複数本の駆動ローラーのうちの対応する1本の駆動
    ローラーに関係づけられ、かつ接続された個々のモータ
    ーとを備え、前記ローラーコンベヤは、縦方向に複数の
    部分に分割され、前記複数の部分は、それぞれ、前記複
    数本の駆動ローラーのうちの少なくとも1本の駆動ロー
    ラーを備えており、さらに、前記物体を検出し、それに
    応じて検出信号を出力する複数個のセンサーを備え、前
    記複数の部分はそれぞれ、前記複数個のセンサーのうち
    の対応する1個のセンサーを備えており、さらに、それ
    ぞれ、前記複数の部分のうちの1つの部分に関係づけら
    れ、シーケンシャルに接続された複数の制御ユニットを
    備え、互いに隣接する前記複数の制御ユニットの各対
    は、相互に信号を交換する関係にあり、前記複数の制御
    ユニットはそれぞれ、前記複数個のセンサーのうちの対
    応する1個のセンサーからの検出信号、および前記複数
    の制御ユニットのうちの隣接する制御ユニットからの信
    号に応じて、前記複数本の駆動ローラーのうちの対応す
    る1本の駆動ローラーを回転させ、または静止させるよ
    うに適合せしめられており、さらに、前記モーターのい
    ずれにも接続されず、前記物体が上に置かれ、縦方向に
    前記物体を搬送するように適合せしめられた複数本のア
    イドルローラーを備え、前記複数本のアイドルローラー
    および前記複数本の駆動ローラーは、縦方向に2列に配
    置され、前記2列のうち一方の列は、前記アイドルロー
    ラーだけを有し、他方の列は、交互に配置された前記ア
    イドルローラーおよび前記駆動ローラーを有しているも
    のであることを特徴とするローラーコンベヤ。
  2. 【請求項2】 前記モーターは、ステッピングモーター
    からなっていることを特徴とする請求項1に記載のロー
    ラーコンベヤ。
  3. 【請求項3】 前記複数の制御ユニットはそれぞれ、そ
    れに関係する対応する部分の下流側に隣接する部分の範
    囲内に物体が存在することを前記検出信号が示している
    場合に、前記対応する部分に対するモーターを停止させ
    たままにしておくように適合せしめられていることを特
    徴とする請求項1に記載のローラーコンベヤ。
  4. 【請求項4】 前記複数の制御ユニットは、それぞれ、
    前記制御ユニットの下流側に隣接する制御ユニットから
    要求信号を受け、かつ前記物体の1つが対応する部分の
    範囲内にあることを対応するセンサーが示している場合
    に、前記制御ユニットの上流側に隣接する制御ユニット
    に対して要求信号を出力するとともに、関係する部分の
    前記モーターを作動させるように適合せしめられている
    ことを特徴とする請求項1に記載のローラーコンベヤ。
  5. 【請求項5】 前記複数の制御ユニットは、それぞれ、
    前記制御ユニットの下流側に隣接する制御ユニットから
    要求信号を受けた場合に、前記制御ユニットの上流側に
    隣接する制御ユニットに対して要求信号を出力するとと
    もに、関係する部分の前記モーターを作動させるように
    適合せしめられていることを特徴とする請求項1に記載
    のローラーコンベヤ。
  6. 【請求項6】 縦方向に上流端から下流端に向かって物
    体を搬送するためのローラーコンベヤにおいて、前記物
    体がその上に置かれ、縦方向に前記物体を搬送する、縦
    方向に配置された複数本の駆動ローラーと、それぞれ、
    前記複数本の駆動ローラーのうちの対応する1本の駆動
    ローラーに関係づけられ、かつ接続された個々のモータ
    ーとを備え、前記ローラーコンベヤは、縦方向に複数の
    部分に分割され、前記複数の部分はそれぞれ、前記複数
    本の駆動ローラーのうちの少なくとも1本の駆動ローラ
    ーを備え、前記モータはそれぞれ、1本の駆動軸を備
    え、前記複数本の駆動ローラーはそれぞれ、前記モータ
    のうちの関係する1個のモーターに接続して前記関係す
    るモーターが急に始動し、停止するときに徐々に回転し
    始め、回転を停止するための接続機構を有し、前記接続
    機構は、前記駆動ローラーと前記駆動軸との間に配置さ
    れた軸受と、一端が前記駆動ローラーに固定され、他端
    が前記駆動軸に接触するライニングに固定されたスプリ
    ングとを有しており、さらに、前記物体を検出し、それ
    に応じて検出信号を出力する複数個のセンサーを備え、
    前記複数の部分はそれぞれ、前記複数個のセンサーのう
    ちの対応する1個のセンサーを備えており、さらに、そ
    れぞれ、前記複数の部分のうちの1つの部分に関係づけ
    られ、シーケンシャルに接続された複数の制御ユニット
    を備え、互いに隣接する前記複数の制御ユニットの各対
    は、相互に信号を交換する関係にあり、前記複数の制御
    ユニットはそれぞれ、前記複数個のセンサーのうちの対
    応する1個のセンサーからの検出信号、および前記複数
    の制御ユニットのうちの隣接する制御ユニットからの信
    号に応じて、前記複数本の駆動ローラーのうちの対応す
    る1本の駆動ローラーを回転させ、または静止させるよ
    うに適合せしめられているものであることを特徴とする
    ローラーコンベヤ。
  7. 【請求項7】 前記モーターは、ステッピングモーター
    からなっていることを特徴とする請求項6に記載のロー
    ラーコンベヤ。
  8. 【請求項8】 前記複数の制御ユニットはそれぞれ、そ
    れに関係づけられた対応する部分の下流側に隣接する部
    分の範囲内に物体が存在することを前記検出信号が示し
    ている場合に、前記対応する部分に対するモーターを停
    止させたままにしておくように適合せしめられているこ
    とを特徴とする請求項6に記載のローラーコンベヤ。
  9. 【請求項9】 前記複数の制御ユニットはそれぞれ、前
    記制御ユニットの下流側に隣接する制御ユニットから要
    求信号を受け、かつ前記物体の1つが対応する部分の範
    囲内にあることを対応するセンサーが示している場合
    に、前記制御ユニットの上流側に隣接する制御ユニット
    に対して要求信号を出力するとともに、関係する部分の
    前記モーターを作動させるように適合せしめられている
    ことを特徴とする請求項6に記載のローラーコンベヤ。
  10. 【請求項10】 前記複数の制御ユニットはそれぞれ、
    前記制御ユニットの下流側に隣接する制御ユニットから
    要求信号を受けた場合に、前記制御ユニットの上流側に
    隣接する制御ユニットに対して要求信号を出力するとと
    もに、関係する部分の前記モーターを作動させるように
    適合せしめられていることを特徴とする請求項6に記載
    のローラーコンベヤ。
  11. 【請求項11】 縦方向に上流端から下流端に向かって
    物体を搬送するためのローラーコンベヤにおいて、前記
    物体がその上に置かれ、縦方向に前記物体を搬送する、
    縦方向に配置された複数本の駆動ローラーと、それぞ
    れ、前記複数本の駆動ローラーのうちの対応する1本の
    駆動ローラーに関係づけられ、かつ接続された個々のモ
    ーターとを備え、前記ローラーコンベヤは、縦方向に複
    数の部分に分割され、前記複数の部分はそれぞれ、前記
    複数本の駆動ローラーのうちの少なくとも1本の駆動ロ
    ーラーを備え、前記モーターはそれぞれ、1本の駆動軸
    を備え、前記複数本の駆動ローラーはそれぞれ、前記モ
    ーターのうちの関係する1個のモーターに接続して前記
    関係するモーターが急に始動し、停止するときに徐々に
    回転し始め、回転を停止するための接続機構を有し、前
    記接続機構は、前記駆動軸の外径よりも大きな内径をも
    つ耐磨耗性ライニングを有しており、さらに、前記物体
    を検出し、それに応じて検出信号を出力する複数個のセ
    ンサーを備え、前記複数の部分はそれぞれ、前記複数個
    のセンサーのうちの対応する1個のセンサーを備えてお
    り、さらに、それぞれ、前記複数の部分のうちの1つの
    部分に関係づけられ、シーケンシャルに接続された複数
    の制御ユニットを備え、互いに隣接する前記複数の制御
    ユニットの各対は、相互に信号を交換する関係にあり、
    前記複数の制御ユニットはそれぞれ、前記複数個のセン
    サーのうちの対応する1個のセンサーからの検出信号、
    および前記複数の制御ユニットのうちの隣接する制御ユ
    ニットからの信号に応じて、前記複数本の駆動ローラー
    のうちの対応する1本の駆動ローラーを回転させ、また
    は静止させるように適合せしめられているものであるこ
    とを特徴とするローラーコンベヤ。
  12. 【請求項12】 前記モーターは、ステッピングモータ
    ーからなっていることを特徴とする請求項11に記載の
    ローラーコンベヤ。
  13. 【請求項13】 前記複数の制御ユニットはそれぞれ、
    それに関係づけられた対応する部分の下流側に隣接する
    部分の範囲内に物体が存在することを前記検出信号が示
    している場合に、前記対応する部分に対するモーターを
    停止させたままにしておくように適合せしめられている
    ことを特徴とする請求項11に記載のローラーコンベ
    ヤ。
  14. 【請求項14】 前記複数の制御ユニットはそれぞれ、
    前記制御ユニットの下流側に隣接する制御ユニットから
    要求信号を受け、かつ前記物体の1つが対応する部分の
    範囲内にあることを対応するセンサーが示している場合
    に、前記制御ユニットの上流側に隣接する制御ユニット
    に対して要求信号を出力するとともに、関係する部分の
    前記モーターを作動させるように適合せしめられている
    ことを特徴とする請求項11に記載のローラーコンベ
    ヤ。
  15. 【請求項15】 前記駆動軸は、前記複数の駆動ローラ
    ーのうちの対応する駆動ローラーに及ぼされる負荷に応
    じて、前記対応する駆動ローラーにトルクを伝達するよ
    うになっていることを特徴とする請求項11に記載のロ
    ーラーコンベヤ。
  16. 【請求項16】 前記耐磨耗性ライニングから発生する
    微粒子を除去するための空気通路を、さらに備えている
    ものであることを特徴とする請求項11に記載のローラ
    ーコンベヤ。
  17. 【請求項17】 複数の直線状ユニットと、1つのシャ
    トルユニットとを備え、前記直線状ユニットおよび前記
    シャトルユニットは、シーケンシャルに接続され、その
    上にある物体を上流端から下流端に順次搬送するように
    なっており、前記複数の直線状ユニットはそれぞれ、前
    記物体がその上に置かれ、縦方向に前記物体を搬送す
    る、縦方向に配置された複数本の駆動ローラーと、それ
    ぞれ、前記複数本の駆動ローラーのうちの対応する1本
    の駆動ローラーに関係づけられ、かつ接続された個々の
    モーターとを備え、前記ローラーコンベヤは、縦方向に
    複数の部分に分割され、前記複数の部分は、それぞれ、
    前記複数本の駆動ローラーのうちの少なくとも1本の駆
    動ローラーを備えており、さらに、前記物体を検出し、
    それに応じて検出信号を出力する複数個のセンサーを備
    え、前記複数の部分はそれぞれ、前記複数個のセンサー
    のうちの対応する1個のセンサーを備えており、さら
    に、それぞれ、前記複数の部分のうちの1つの部分に関
    係づけられ、シーケンシャルに接続された複数の制御ユ
    ニットを備え、互いに隣接する前記複数の制御ユニット
    の各対は、相互に信号を交換する関係にあり、前記複数
    の制御ユニットはそれぞれ、前記複数個のセンサーのう
    ちの対応する1個のセンサーからの検出信号、および前
    記複数の制御ユニットのうちの隣接する制御ユニットか
    らの信号に応じて、前記複数本の駆動ローラーのうちの
    対応する1本の駆動ローラーを回転させ、または静止さ
    せるように適合せしめられており、前記シャトルユニッ
    トは、縦方向に配置されたローラーを備えているととも
    に、上流側から下流側に沿って互いに平行に配置された
    前記直線状ユニットの一方から他方に向かって前記物体
    を横方向に動かすように適合せしめられているものであ
    ることを特徴とするローラーコンベヤシステム。
  18. 【請求項18】 前記シャトルユニットは、前記シャト
    ルユニットの動作、およびその上に置かれた前記物体の
    運動を制御することによって、前記物体が、一度に1個
    づつ、前記シャトルユニットを通過し、前記シャトルユ
    ニット上において前記物体の衝突が生じないようにする
    コントローラーを有していることを特徴とする請求項1
    7に記載のローラーコンベヤシステム。
  19. 【請求項19】 複数の直線状ユニットと、1つの回転
    ユニットを備え、前記複数の直線状ユニットおよび前記
    回転ユニットは、シーケンシャルに接続され、その上に
    置かれた物体を上流端から下流端に順次搬送するように
    なっており、前記複数の直線状ユニットは、それぞれ、
    前記物体がその上に置かれ、縦方向に前記物体を搬送す
    る、縦方向に配置された複数本の駆動ローラーと、それ
    ぞれ、前記複数本の駆動ローラーのうちの対応する1本
    の駆動ローラーに関係づけられ、かつ接続された個々の
    モーターとを備え、前記ローラーコンベヤは、縦方向に
    複数の部分に分割され、前記複数の部分は、それぞれ、
    前記複数本の駆動ローラーのうちの少なくとも1本の駆
    動ローラーを備えており、さらに、前記物体を検出し、
    それに応じて検出信号を出力する複数個のセンサーを備
    え、前記複数の部分はそれぞれ、前記複数個のセンサー
    のうちの対応する1個のセンサーを備えており、さら
    に、それぞれ、前記複数の部分のうちの1つの部分に関
    係づけられ、シーケンシャルに接続された複数の制御ユ
    ニットを備え、互いに隣接する前記複数の制御ユニット
    の各対は、相互に信号を交換する関係にあり、前記複数
    の制御ユニットはそれぞれ、前記複数個のセンサーのう
    ちの対応する1個のセンサーからの検出信号、および前
    記複数の制御ユニットのうちの隣接する制御ユニットか
    らの信号に応じて、前記複数本の駆動ローラーのうちの
    対応する1本の駆動ローラーを回転させ、または静止さ
    せるように適合せしめられており、前記回転ユニット
    は、縦方向に配置された複数本のローラーを備え、互い
    に垂直に配置された前記直線状ユニットの一方から他方
    に前記物体を動かすように適合せしめられているもので
    あることを特徴とするローラーコンベヤシステム。
  20. 【請求項20】 前記回転ユニットは、前記回転ユニッ
    トの動作、およびその上に置かれた前記物体の運動を制
    御することによって、前記物体が、一度に1個づつ、前
    記回転ユニットを通過し、前記回転ユニット上において
    前記物体の衝突が生じないようにするコントローラーを
    有していることを特徴とする請求項19に記載のローラ
    ーコンベヤシステム。
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