KR20220112338A

KR20220112338A - 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치

Info

Publication number: KR20220112338A
Application number: KR1020210015605A
Authority: KR
Inventors: 민남홍; 김기윤
Original assignee: 주식회사 세미티에스
Priority date: 2021-02-03
Filing date: 2021-02-03
Publication date: 2022-08-11
Also published as: KR102464473B1

Abstract

본 발명에 따르면, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에 있어서, 하부 프레임, 하부 프레임의 양측단에 각각 설치되는 제1 측면 프레임 및 제2 측면 프레임을 포함하는 컨베이어 바디; 상기 제1 프레임의 내측면에 각각의 제1 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 각각의 제1 회동 중심축들이 동일 직선 상에 위치하도록 설치되고, 상기 각각의 제1 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n - 상기 n은 2 이상의 정수임 - 햇 타입 롤러; 상기 제2 프레임의 내측면에 각각의 제2 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 각각의 제2 회동 중심축들이 동일 직선 상에 위치하도록 설치되고, 상기 각각의 제2 일측단들에 햇들이 형성된 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러; 상기 제1 프레임의 내측면에 각각의 제3 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 각각의 제1 외주면들이 제1 크라운들로 형성되되, 각각의 상기 제1 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제1 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제1 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성된 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 제1_m - 상기 m은 2 이상의 정수임 - 크라운 타입 롤러; 상기 제2 프레임의 내측면에 각각의 제4 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 각각의 제2 외주면들이 제2 크라운들로 형성되되, 각각의 상기 제2 크라운의 최고점의 위치들이 각각의 상기 제2 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제2 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성된 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 제2_m 크라운 타입 롤러; 상기 제1_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제1_n 햇 타입 롤러와, 상기 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제1_m 크라운 타입 롤러에 결합된 제1 컨베이어 벨트; 및 상기 제2_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제2_n 햇 타입 롤러와, 상기 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제2_m 크라운 타입 롤러에 결합된 제2 컨베이어 벨트;를 포함하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

Description

웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치{BELT CONVEYOR APPARATUS FOR TRANSFERRING WAFER CONTAINER}

본 발명은 벨트 컨베이어 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체 제조 공정 중 웨이퍼를 보관하는 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에 대한 것이다.

일반적인 반도체 제조 공정에서, 단위 공정이 진행된 웨이퍼를 다음 단위 공정을 수행하는 설비로 반송할 경우에는 웨이퍼 보관 용기에 웨이퍼를 저장하고 OHT(Overhead Hoist Transfer)라는 운반수단을 이용한다.

그러나, OHT는 반도체 제조 공정이 수행되는 클린룸의 천장에 OHT의 운반수단을 안내하기 위한 레일을 설치하여야 하며, 레일은 설계가 복잡하고 설치에 많은 비용이 발생한다.

또한, OHT는 OHT의 운반수단 각각이 웨이퍼 보관 용기를 반송하게 되므로, 수많은 OHT의 운반수단이 레일을 왕복해야 하는 상황이 발생할 수도 있다.

따라서, OHT는 반송되는 수많은 웨이퍼 보관 용기의 위치 추적 및 OHT의 운반수단 중 어느 일개소에 고장이 발생하면 공정 자체가 원활하게 수행되지 못하는 문제점도 발생한다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 최근에는 고장 발생시에 즉각적인 대응과 교체 및 수리가 가능하고 저비용으로 원활한 반도체 제작 공정의 수행이 가능하도록 하는 웨이퍼 보관 용기 반송용 벨트 컨베이어 장치가 이용되고 있으며, OHT가 웨이퍼 보관 용기를 벨트 컨베이어에 언로딩하면 벨트 컨베이어가 동작하여 웨이퍼 보관 용기를 적정 위치로 이동하게 하며, OHT가 적정 위치로 이동된 웨이퍼 보관 용기를 벨트 컨베이어 장치로부터 로딩하여 다음 공정을 진행하기 위한 위치로 웨이퍼 보관 용기를 이동한다.

이와 같은 벨트 컨베이어 장치는 크게 벨트를 회전하기 위한 구동 롤러와, 웨이퍼 보관 용기를 지지하는 아이들 롤러로 이루어진다.

특히, 최근에는 구동 롤러에 의해 회전하는 벨트가 벨트 컨베이어 장치의 바디에 접촉되는 것을 방지하기 위하여 아이들 롤러에 햇(hat)을 형성하여 사용하고 있다.

그러나, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치의 고속 회전에 의해 벨트가 아이들 롤러의 햇과의 마찰이 발생하며, 벨트와 햇과의 마찰에 의해 파티클이 발생되는 문제점이 있다.

따라서, 종래 벨트 컨베이어 장치가 가지는 문제점과 한계를 극복하여, 벨트와 햇과의 접촉에 의한 마모를 방지할 수 있는 새로운 구조의 벨트 컨베이어 장치가 필요한 실정이다.

본 발명은, 벨트와 햇들에 접촉에 의한 마모를 방지하여 웨이퍼 보관 용기의 반송 과정에서 파티클의 발생을 방지하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은, 크라운 타입 롤러들을 사용하여 컨베이어 벨트 장치에서 벨트가 햇들에 접촉되는 것을 방지할 수 있도록 하는 것을 다른 목적으로 한다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하고, 후술하는 본 발명의 특징적인 효과를 실현하기 위한, 본 발명의 특징적인 구성은 하기와 같다.

본 발명의 일 태양에 따르면, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에 있어서, 하부 프레임, 상기 하부 프레임의 양측단에 각각 설치되는 제1 측면 프레임 및 제2 측면 프레임을 포함하는 컨베이어 바디; 상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제1 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제1 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 상기 각각의 제1 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n - 상기 n은 2 이상의 정수임 - 햇 타입 롤러와, 상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제2 회동 중심축들이 상기 제1 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제2 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제1_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제1_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제1 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제1 크라운들로 형성된 제1_1 크라운 타입 롤러와 제1_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제1 아이들 롤러들; 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제3 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제3 일측단들이 회동 가능하게 결합되며 상기 각각의 제3 일측단들에 햇들이 형성된 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러와, 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제4 회동 중심축들이 상기 제3 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제4 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제2_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제2_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제2 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제2 크라운들로 형성된 제2_1 크라운 타입 롤러와 제2_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제2 아이들 롤러들; 상기 제1 측면 프레임의 내측면과 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 양측단이 각각 회동 가능하게 설치된 구동 롤러; 상기 구동 롤러의 일측단 영역과 상기 제1 아이들 롤러들에 결합된 제1 컨베이어 벨트; 및 상기 구동 롤러의 타측단 영역과 상기 제2 아이들 롤러들에 결합된 제2 컨베이어 벨트;를 포함하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

일례로서, 각각의 상기 제1 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제1 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제1 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성되고, 각각의 상기 제2 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제2 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성된 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

일례로서, 상기 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제1_n 크라운 타입 롤러의 상기 제1 외주면들은 각각, 제1 일측단들로부터의 일정 영역인 제1 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제1 영역을 제외한 나머지 영역인 제2 영역에서 제1 곡률 형상을 가지되, 상기 제1 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제1 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되고, 상기 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제2_n 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 외주면들은 각각, 제2 일측단들로부터의 일정 영역인 제3 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제3 영역을 제외한 나머지 영역인 제4 영역에서 제2 곡률 형상을 가지되, 상기 제2 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

일례로서, 상기 제1 크라운들의 상기 제1 외주면들은 제3 곡률 형상을 가지되, 상기 제3 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제1 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제1 크라운 타입 롤러들의 상기 제1 일측단들의 지름이 제1 타측단들의 지름보다 작고, 상기 제2 크라운들의 상기 제2 외주면들은 제4 곡률 형상을 가지되, 상기 제4 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제2 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 일측단들의 지름이 제2 타측단들의 지름보다 작은 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

일례로서, 상기 구동 롤러는, 상기 제1 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 형성된 상기 제1 측면 프레임의 제1 롤러 영역과, 상기 제2 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 형성된 상기 제2 측면 프레임의 제2 롤러 영역 각각에 상기 양측단이 회동 가능하게 설치된 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

일례로서, 상기 컨베이어 바디에 설치되어 상기 구동 롤러를 상기 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시키는 구동 모터;를 더 포함하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

일례로서, 상기 구동 롤러는, 그 내부에 구동 모터와 감속기를 내장한 모터 롤러인 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

일례로서, 상기 제1 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 상기 제1 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제1 텐션 롤러; 및 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 상기 제2 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제2 텐션 롤러;를 더 포함하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

일례로서, 상기 제1 텐션 롤러는, 제3 외주면이 제3 크라운으로 형성되되, 상기 제3 크라운의 최고점의 위치가 상기 제3 외주면의 폭방향 중심에서 상기 제1 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제3 크라운 타입 롤러이며, 상기 제2 텐션 롤러는, 제4 외주면이 제4 크라운으로 형성되되, 상기 제4 크라운의 최고점의 위치가 상기 제4 외주면의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제4 크라운 타입 롤러인 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

일례로서, 상기 제1 아이들 롤러들, 상기 제2 아이들 롤러들, 및 상기 구동 롤러 중 적어도 일부는, 상기 제1 컨베이어 벨트 및 상기 제2 컨베이어 벨트와 접촉되는 부분의 마찰력을 증대시키기 위한 소정의 코팅이 되어 있는 벨트 컨베이어 장치가 제공된다.

본 발명은, 벨트와 햇들에 접촉에 의한 마모를 방지하여 웨이퍼 보관 용기의 반송 과정에서 파티클의 발생을 방지하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은, 크라운 타입 롤러들을 사용하여 컨베이어 벨트 장치에서 벨트가 햇들에 접촉되는 것을 방지하는 효과가 있다.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치의 제1 측면 프레임의 내측면을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치의 크라운 타입 롤러의 형상을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에서 크라운 타입 롤러의 최고점의 위치 변경에 의한 제1 컨베이어 벨트의 위치 변경을 개략적으로 나타내는 도면이다.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다.

또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)를 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)는, 하부 프레임(130)과 하부 프레임(130)의 양측단에 각각 설치되는 제1 측면 프레임(110) 및 제2 측면 프레임(120)을 포함하는 컨베이어 바디를 포함할 수 있다. 제1 측면 프레임(110)의 구체적인 구성은 아래에서 도 2를 참조하여 설명하도록 한다.

참고로, 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)과 대향되는 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 설치된 구성요소들은 도 1 내지 도 4의 도면에는 도시되어 있지 않으나, 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 설치된 구성요소들과 같은 종류의 구성요소들이 서로 대응되도록 설치될 수 있다. 그리고, 아래에서는, 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 설치된 구성요소들을 기준으로 설명하고, 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 설치된 구성요소들은 별도의 설명이 없을 수 있으나, 그런 경우에도 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 설치된 구성요소들에는 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 설치된 구성요소들에 대한 설명과 유사한 내용이 적용될 수 있다.

도 2는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)의 제1 측면 프레임(110)의 내측면을 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 2를 참조하면, 컨베이어 장치(100)는 제1 프레임(110)의 내측면(200)에 각각의 제1 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제1 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 상기 각각의 제1 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제1_1 햇 타입 롤러(210_(1_1)) 내지 제1_7 햇 타입 롤러(210_(1_7))를 포함할 수 있다. 도 2의 예시에서, 햇 타입 롤러들은 총 7개 설치되어 있지만, 설치되는 햇 타입 롤러들의 개수는 이에 제한되지 않으며, n개의 햇 타입 롤러들이 설치될 수 있을 것이다. 여기서, n은 2 이상의 정수일 수 있다.

또한, 컨베이어 장치(100)는, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제1 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제1 크라운들로 형성된 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))를 포함할 수 있다.

이때, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러의 제1 회동 중심축들 및 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))의 제2 회동 중심축들은 동일 직선상에 위치할 수 있으며, 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))는 동일 직선상의 양끝단에 위치할 수 있을 것이다.

여기서, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러, 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))는 제1 아이들 롤러들로 작용할 수 있다.

그리고, 햇 타입 롤러들의 햇들의 형태는 모자와 같은 형태일 수 있다. 이때, 햇들의 직경은 햇 타입 롤러들의 타측단의 직경보다 클 수 있다. 햇들은 햇 타입 롤러들에 일체로 형성되거나, 햇 타입 롤러들과 분리되어 따로 형성된 후 햇 타입 롤러들에 결합될 수도 있을 것이다.

또한, 컨베이어 장치(100)는 제2 측면 프레임의 내측면(200)에 각각의 제3 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제3 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 상기 각각의 제3 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러를 포함할 수 있다.

또한, 컨베이어 장치(100)는, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제2 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제2 크라운들로 형성된 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러를 포함할 수 있다.

이때, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러의 제3 회동 중심축들 및 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러의 제4 회동 중심축들은 동일 직선상에 위치할 수 있으며, 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러는 동일 직선상의 양끝단에 위치할 수 있을 것이다.

여기서, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러, 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러는 제2 아이들 롤러들로 작용할 수 있다.

다음으로, 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))의 제1 크라운들의 형상에 대해, 도 3을 참조하여 설명하도록 한다.

도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)의 크라운 타입 롤러의 형상을 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 3의 (a) 및 (b)는, 각각 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 설치되는 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 제1_n 크라운 타입 롤러들 중 어느 하나를 도시한 것이다. 편의상, '크라운 타입 롤러'로 지칭하도록 한다. 여기서, 도 3의 (a)에 도시된 크라운 타입 롤러 및 도 3의 (b)에 도시된 크라운 타입 롤러 각각의 제1 크라운들 및 제1 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 제1 외주면들의 폭방향 중심에서 제1 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성될 수 있다.

먼저, 도 3의 (a)를 참조하면, 도 3의 (a)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 외주면은 제1 일측단들로부터의 일정 영역인 제1 영역(d1)에서 곡률이 없는 직선 형상을 가질 수 있다. 여기서, 도 3의 (a)에 도시된 크라운 타입 롤러는 제1 영역(d1)을 제외한 나머지 영역인 제2 영역(d2)에서 제1 곡률 형상을 가질 수 있다. 이때, 제1 곡률 형상의 적어도 일부는 제2 영역(d2)에서 크라운 타입 롤러의 제1 크라운의 최고점(212_a)을 중심으로 대칭일 수 있다. 즉, 제2 영역 전체에서는 제1 크라운의 최고점(212_a)를 중심으로 대칭일 수도 있지만, 제1 영역(d1)과 제2 영역(d2)을 포함하는 크라운 타입 롤러의 전체 외주면에서는 제1 크라운의 곡률 형상이 대칭이 아닐 수도 있을 것이다. 또한, 위에서 설명된 것과 같이, 도 3의 (a)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 크라운의 최고점(212_a)은 제1 외주면의 폭방향 중심(211_a)에서 제1 측면 프레임(110)에서 멀어지는 영역에 형성될 수 있다.

다음으로, 도 3의 (b)를 참조하면, 도 3의 (b)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 크라운의 제1 외주면은 제3 곡률 형상을 가질 수 있다. 여기서, 제3 곡률 형상의 적어도 일부는 제1 크라운의 최고점(212_b)을 중심으로 대칭이며, 제1 크라운 타입 롤러들의 상기 제1 일측단들의 지름이 제1 타측단들의 지름보다 작을 수 있다. 따라서, 도 3의 (b)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 외주면은 그 전체가 곡률 형상을 가지며, 일측단의 지름과 타측단의 지름이 다를 수 있다. 또한, 위에서 설명된 것과 같이, 도 3의 (b)에 도시된 크라운 타입 롤러의 제1 크라운의 최고점(212_b)은 제1 외주면의 폭방향 중심(211_b)에서 제1 측면 프레임(110)에서 멀어지는 영역에 형성될 수 있다.

또한, 각각 제2 측면 프레임의 내측면에 설치되는 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 제2_n 크라운 타입 롤러도 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 제1_n 크라운 타입 롤러들과 동일한 형상을 가질 수 있으며, 그 설치되는 방향이 서로 반대가 되도록 할 수 있다.

즉, 제2_1 크라운 타입 롤러 내지 제2_n 크라운 타입 롤러의 제2 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제2 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성될 수 있다.

그리고, 제2 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 외주면들은 제2 일측단들로부터의 일정 영역인 제3 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제3 영역을 제외한 나머지 영역인 제4 영역에서 제2 곡률 형상을 가지되, 상기 제2 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭될 수 있다.

또한, 상기 제2 크라운들의 상기 제2 외주면들은 제4 곡률 형상을 가지되, 상기 제4 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제2 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 일측단들의 지름이 제2 타측단들의 지름보다 작을 수 있다.

다음으로, 다시 도 2를 참조하면, 벨트 컨베이어 장치(100)는 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)과 상기 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 양측단이 각각 회동 가능하게 설치된 구동 롤러(410)를 포함할 수 있다.

이때, 구동 롤러(410)는 제1 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 형성된 제1 롤러 영역과, 제2 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 제2 측면 프레임(120)의 내측면(300)에 형성된 제2 롤러 영역 각각에 양측단이 회동 가능하게 설치될 수 있다.

또한, 벨트 컨베이어 장치(100)는 컨베이어 바디에 설치되어 구동 롤러(410)를 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시킬 수 있다.

이와는 달리, 벨트 컨베이어(100)는 구동 롤러(410)를 내부에 구동 모터와 감속기를 내정한 모터 롤러로 형성할 수 있다.

또한, 벨트 컨베이어 장치(100)는 구동 롤러(410)의 일측단 영역과 제1 아이들 롤러들에 결합된 제1 컨베이어 벨트(240)와, 구동 롤러의 타측단 영역과 제2 아이들 롤러들에 결합된 제2 컨베이어 벨트를 포함할 수 있다.

즉, 제1 컨베이어 벨트(240)는 구동 롤러(410)의 일측단 영역, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러, 및 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))에 결합되고, 구동 모터(411)가 회전하여 구동 롤러(410)를 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시킬 때, 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러, 및 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))와 함께 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전할 수 있을 것이다.

그리고, 제2 컨베이어 벨트는 구동 롤러(410)의 타측단 영역, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러, 및 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러에 결합되고, 구동 모터(411)가 회전하여 구동 롤러(410)를 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시킬 때, 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러, 및 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러와 함께 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전할 수 있을 것이다.

또한, 벨트 컨베이어 장치(100)는 제1 측면 프레임(110)의 내측면(200)에 회동 가능하게 결합되며, 제1 컨베이어 벨트(240)의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제1 텐션 롤러를 더 포함할 수 있다. 이때, 적어도 하나의 제1 텐션 롤러는 제1 컨베이어 벨트(240)에 구동 롤러(410), 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n 햇 타입 롤러, 및 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))와 함께 결합될 수 있다. 도 2를 참조하면, 벨트 컨베이어 장치(100)는 제1_1 텐션 롤러(230_(1_1)) 및 제1_2 텐션 롤러(230_(1_2))를 가질 수 있고, 이는 제1 텐션 롤러에 포함된다.

여기서, 제1 텐션 롤러는, 제3 외주면이 제3 크라운으로 형성되되, 제3 크라운의 최고점의 위치가 제3 외주면의 폭방향 중심에서 제1 측면 프레임(110)에서 멀어지는 영역에 형성된 제3 크라운 타입 롤러일 수 있다. 이때, 제3 크라운 타입 롤러의 형태, 즉 제1 텐션 롤러의 형태는, 위에서 설명한 것과 같이 도 3의 (a) 또는 도 3의 (b)와 같은 형태일 수 있을 것이다.

그리고, 벨트 컨베이어 장치(100)는 제2 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 제2 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제2 텐션 롤러를 더 포함할 수 있다. 이때, 적어도 하나의 제2 텐션 롤러는 제2 컨베이어 벨트에 구동 롤러(410), 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러, 및 제2_1 크라운 타입 롤러 및 제2_2 크라운 타입 롤러와 함께 결합될 수 있다.

여기서, 제2 텐션 롤러는, 제2 외주면이 제2 크라운으로 형성되되, 제2 크라운의 최고점의 위치가 제2 외주면의 폭방향 중심에서 제2 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제4 크라운 타입 롤러일 수 있다. 이때, 제4 크라운 타입 롤러의 형태, 즉 제2 텐션 롤러의 형태는, 제1 텐션 롤러와 같을 수 있으며, 설치 위치가 서로 반대가 되도록 할 수 있다.

또한, 제1 아이들 롤러들, 제2 아이들 롤러들, 및 구동 롤러 중 적어도 일부는, 그 외주면의 적어도 일부에 제1 컨베이어 벨트 및 제2 컨베이어 벨트와 접촉되는 부분의 마찰력을 증대시키기 위한 소정의 코팅이 되어 있을 수 있다. 소정의 코팅에 따라 마찰력이 증대되면, 제1 컨베이어 벨트와 제2 컨베이어 벨트가 제1 아이들 롤러들, 제2 아이들 롤러들, 및 구동 롤러로부터 슬립되어 이탈되는 것을 방지할 수 있을 것이다.

다음으로, 도 4를 참조하여 제1 컨베이어 벨트(240)의 위치 변경을 설명하도록 한다.

도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른, 웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(100)에서 크라운 타입 롤러의 최고점의 위치 변경에 의한 제1 컨베이어 벨트(240)의 위치 변경을 개략적으로 나타내는 도면이다.

먼저, 도 4의 (a)를 참조하면, 컨베이어 장치(100)의 기존 크라운 타입 롤러(C)의 최고점이 기존 크라운 롤러(C)의 일측단과 타측단의 정 가운데에 있으므로, 제1 컨베이어 벨트(240)의 폭방향의 중심이 기존 크라운 롤러(C)의 중심에 위치한다. 이때, 컨베이어 벨트(240)는 햇 타입 롤러들의 햇들과 가까운 상태로 회전하게 되므로, 파티클이 생성될 수 있다.

반면에, 도 4의 오른쪽 도면을 참조하면, 컨베이어 장치(100)의 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1))의 최고점이 제1 일측단과 제1 타측단 중 제1 타측단에 더 가까이 있으므로, 위에서 설명한 것과 같이 제1_1 크라운 타입 롤러(220_(1_1)) 및 제1_2 크라운 타입 롤러(220_(1_2))의 제1 크라운들의 최고점들이 제1 타측단들에 더 가까운 위치에서 형성될 수 있다. 따라서, 제1 컨베이어 벨트(240)의 폭방향의 중심이 크라운 타입 롤러들의 타측단들에 더 가까운 곳에 위치될 수 있다. 그 결과로, 제1 컨베이어 벨트(240)의 위치가 제1_1 햇 타입 롤러(210_(1_1)) 내지 제1_7 햇 타입 롤러(210_(1_7))의 햇들과 더 멀리 위치하여 파티클의 생성을 방지할 수 있을 것이다.

또한, 제2 컨베이어 벨트의 위치 변경도 제1 컨베이어 벨트의 위치 변경을 설명한 내용으로부터 용이하게 이해할 수 있을 것이다.

이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.

따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

100 : 벨트 컨베이어 장치 110 : 제1 측면 프레임
120 : 제2 측면 프레임 130 : 하부 프레임
200 : 제1 측면 프레임 내측면 300 : 제2측면 프레임 내측면
210_(1_1), 210_(1_2), ..., 210_(1_7) : 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_7 햇 타입 롤러
211_a : (a) 도면에서의 제1 외주면의 폭방향 중심
212_a : (a) 도면에서의 제1 크라운의 최고점
d1 : 제1 영역 d2 : 제2 영역
211_b : (b) 도면에서의 제1 외주면의 폭방향 중심
212_b : (b) 도면에서의 제1 크라운의 최고점
220_(1_1), 220_(1_2) : 제1_1 크라운 타입 롤러 및 제1_2 크라운 타입 롤러
230_(1_1) : 제1_1 텐션 롤러 230_(1_2) : 제1_2 텐션 롤러
240 : 제1 컨베이어 벨트 410 : 구동 롤러
411 : 구동 모터

Claims

웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치에 있어서,
하부 프레임, 상기 하부 프레임의 양측단에 각각 설치되는 제1 측면 프레임 및 제2 측면 프레임을 포함하는 컨베이어 바디;
상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제1 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제1 일측단들이 회동 가능하게 결합되며, 상기 각각의 제1 일측단들에 햇(hat)들이 형성된 제1_1 햇 타입 롤러 내지 제1_n - 상기 n은 2 이상의 정수임 - 햇 타입 롤러와, 상기 제1 측면 프레임의 내측면에 각각의 제2 회동 중심축들이 상기 제1 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제2 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제1_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제1_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제1 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제1 크라운들로 형성된 제1_1 크라운 타입 롤러와 제1_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제1 아이들 롤러들;
상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제3 회동 중심축들이 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제3 일측단들이 회동 가능하게 결합되며 상기 각각의 제3 일측단들에 햇들이 형성된 제2_1 햇 타입 롤러 내지 제2_n 햇 타입 롤러와, 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 각각의 제4 회동 중심축들이 상기 제3 회동 중심축이 이루는 동일 직선상에 위치하도록 각각의 제4 일측단들이 회동 가능하게 결합되고, 상기 제2_1 햇 타입 롤러 내지 상기 제2_n 햇 타입 롤러의 외측에 각각 설치되며, 각각의 제2 외주면들의 곡률 형상이 비대칭인 제2 크라운들로 형성된 제2_1 크라운 타입 롤러와 제2_2 크라운 타입 롤러를 포함하는 제2 아이들 롤러들;
상기 제1 측면 프레임의 내측면과 상기 제2 측면 프레임의 내측면에 양측단이 각각 회동 가능하게 설치된 구동 롤러;
상기 구동 롤러의 일측단 영역과 상기 제1 아이들 롤러들에 결합된 제1 컨베이어 벨트; 및
상기 구동 롤러의 타측단 영역과 상기 제2 아이들 롤러들에 결합된 제2 컨베이어 벨트;
를 포함하는 벨트 컨베이어 장치.
제1항에 있어서,
각각의 상기 제1 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제1 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제1 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성되고,
각각의 상기 제2 크라운들의 최고점들의 위치들이 각각의 상기 제2 외주면들의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 각각의 영역들에 형성된 벨트 컨베이어 장치.
제2항에 있어서,
상기 제1_1 크라운 타입 롤러 내지 상기 제1_n 크라운 타입 롤러의 상기 제1 외주면들은 각각, 제1 일측단들로부터의 일정 영역인 제1 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제1 영역을 제외한 나머지 영역인 제2 영역에서 제1 곡률 형상을 가지되, 상기 제1 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제1 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되고,
상기 제2_1크라운 타입 롤러 내지 상기 제2_n 크라운 타입 롤러의 상기 제2 외주면들은 각각, 제2 일측단들로부터의 일정 영역인 제3 영역에서 곡률이 없는 직선 형상을 가지고, 상기 제3 영역을 제외한 나머지 영역인 제4 영역에서 제2 곡률 형상을 가지되, 상기 제2 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되는 벨트 컨베이어 장치.
제2항에 있어서,
상기 제1 크라운들의 상기 제1 외주면들은 제3 곡률 형상을 가지되, 상기 제3 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제1 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제1 크라운 타입 롤러들의 상기 제1 일측단들의 지름이 제1 타측단들의 지름보다 작고,
상기 제2 크라운들의 상기 제2 외주면들은 제4 곡률 형상을 가지되, 상기 제4 곡률 형상의 적어도 일부는 상기 제2 크라운들의 최고점을 중심으로 대칭되며, 상기 제2 크라운 타입 롤러들의 상기 제2 일측단들의 지름이 제2 타측단들의 지름보다 작은 벨트 컨베이어 장치.
제1항에 있어서,
상기 구동 롤러는, 상기 제1 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 형성된 상기 제1 측면 프레임의 제1 롤러 영역과, 상기 제2 아이들 롤러들 각각의 상면들과 하면들이 투사되어 형성된 상기 제2 측면 프레임의 제2 롤러 영역 각각에 상기 양측단이 회동 가능하게 설치된 벨트 컨베이어 장치.
제1항에 있어서,
상기 컨베이어 바디에 설치되어 상기 구동 롤러를 상기 웨이퍼 보관 용기의 반송 방향에 대응되도록 회전시키는 구동 모터;
를 더 포함하는 벨트 컨베이어 장치.
제1항에 있어서,
상기 구동 롤러는, 그 내부에 구동 모터와 감속기를 내장한 모터 롤러인 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 상기 제1 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제1 텐션 롤러; 및
상기 제2 측면 프레임의 내측면에 회동 가능하게 결합되며, 상기 제2 컨베이어 벨트의 텐션을 조정하는 적어도 하나의 제2 텐션 롤러;
를 더 포함하는 벨트 컨베이어 장치.
제8항에 있어서,
상기 제1 텐션 롤러는, 제3 외주면이 제3 크라운으로 형성되되, 상기 제3 크라운의 최고점의 위치가 상기 제3 외주면의 폭방향 중심에서 상기 제1 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제3 크라운 타입 롤러이며,
상기 제2 텐션 롤러는, 제4 외주면이 제4 크라운으로 형성되되, 상기 제4 크라운의 최고점의 위치가 상기 제4 외주면의 폭방향 중심에서 상기 제2 측면 프레임에서 멀어지는 영역에 형성된 제4 크라운 타입 롤러인 것을 특징으로 하는 벨트 컨베이어 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 아이들 롤러들, 상기 제2 아이들 롤러들, 및 상기 구동 롤러 중 적어도 일부는, 상기 제1 컨베이어 벨트 및 상기 제2 컨베이어 벨트와 접촉되는 부분의 마찰력을 증대시키기 위한 소정의 코팅이 되어 있는 벨트 컨베이어 장치.