KR20090047348A - 연직 순환 반송 설비 - Google Patents

연직 순환 반송 설비 Download PDF

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Abstract

[구성] 선반을 연직 순환시키는 내부 스페이스를 둘러싸는 내벽과, 내벽을 외측으로부터 둘러싸는 외벽을 설치하고, 내부 스페이스에 선반을 배치한다. 선반의 대각 위치에 설치한 1쌍의 돌출부를 내벽에 형성한 슬릿으로부터 내벽과 외벽 사이의 외부 스페이스에 돌출시키고, 각 돌출부를 무한 구동 부재에 장착하고, 또한 구동 부재의 구동 기구를 외부 스페이스 내에 설치한다. 또한 외부 스페이스를 관통해서 내부 스페이스와 설비의 외부를 접속시키는 물품의 반출입용 터널을 설치한다.
[효과] 선반을 안정된 자세로 연직 순환시킬 수 있고, 구동부 등에서의 먼지 발생으로 선반 등을 오염시키지 않는다.
연직 순환 반송 설비

Description

연직 순환 반송 설비{VERTICAL CIRCULATION CONVEYING FACILITY}
본 발명은 클린룸 내에서 물품을 연직 방향으로 반송하는 설비에 관한 것이다.
특허문헌 1(일본 특허공개 2002-104641)은 연직 순환 반송 설비의 예를 나타내고 있다. 이러한 연직 순환 반송 설비를 클린룸 내에 설치할 경우, 설비의 기구부분으로부터의 먼지 발생에 의해 피반송 물품도 설비에 접속된 플로어 내 스페이스도 오염되지 않도록 할 필요가 있다. 발명자는 한편, 설비 내를 순환하는 선반을, 선반에 대하여 대략 대각선 상에 배치한 2개의 체인 등으로 승강시키는 것을 검토했다. 선반의 대각선 위치에 2개의 체인을 설치하면 선반을 안정되게 승강시킬 수 있다. 그러나 이렇게 하면 선반의 앞면과 배면의 쌍방에 체인이 배치되므로 선반의 앞면측을 체인의 구동부에서 먼지가 발생된 공기로부터 차단하는 것이 어렵다. 그래서 발명자는 연직 순환 반송 설비의 선반을 체인의 구동부에서 먼지가 발생된 공기로부터 차단시킴과 아울러, 선반과 설비의 외부 사이에서 물품을 반출 입할 때에 먼지가 발생한 공기가 설비의 외부로 흘러나가지 않도록 하는 것을 검토하여 본 발명에 이르렀다.
[특허문헌 1] 일본 특허공개 2002-104641
본 발명의 과제는 선반을 안정된 자세로 승강시킴과 아울러, 선반의 구동부에서 먼지가 발생된 공기를 선반으로부터도 설비의 외부로부터도 차단하는 것에 있다. 본 발명에서의 추가 과제는 연직 순환 반송 설비를 통해서 플로어 사이에서의 기류가 발생하지 않도록 하는 것에 있다.
본 발명은 무한 구동 부재에 선반을 장착해서 연직 순환시키는 설비에 있어서, 선반을 연직 순환시키는 내부 스페이스를 둘러싸는 내벽과, 상기 내벽을 외측으로부터 둘러싸는 외벽을 설치하고, 상기 내부 스페이스에 선반을 배치함과 아울러, 선반의 대각 위치에 설치한 1쌍의 돌출부를 내벽에 형성한 슬릿으로부터 내벽과 외벽 사이의 외부 스페이스에 돌출시키고, 상기 각 돌출부를 무한 구동 부재에 장착하며, 또한 상기 구동 부재의 구동 기구를 상기 외부 스페이스 내에 설치하고, 또한 상기 외부 스페이스를 관통해서 내부 스페이스와 설비의 외부를 접속시키는 물품의 반출입용의 터널을 설치한 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 연직 순환 반송 설비는 복수의 플로어 사이에서 물품을 반송하고, 또한 적어도 최하층의 플로어는 바닥 밑에 배기 스페이스를 구비하고 있으며, 상기 외부 스페이스의 공기를 정화시켜서 상기 내부 스페이스로 공급하기 위한 팬 필터 유닛을 설치함과 아울러, 상기 내부 스페이스의 기압을 연직 순환 반송 설비 주위의 플로어 내의 기압보다 높게 하고, 상기 외부 스페이스의 기압을 상기 플로어 내의 기압보다 낮으며, 플로어의 바닥 밑에 설치한 배기 스페이스보다 높게 유지하도록 한다. 또한 배기 스페이스가 복수로 있을 경우, 외부 스페이스의 기압 을 각 배기 스페이스보다 높게 유지하도록 한다. 특히 바람직하게는, 상기 내부 스페이스에 설비의 외부로부터 공기를 받아들여서 공급하는 팬 필터 유닛을 설치함과 아울러, 상기 배기 스페이스에 상기 외부 스페이스의 공기를 배기시키는 배기구를 설치한다.
(발명의 효과)
본 발명에서는 선반의 대각 위치에 1쌍의 돌출부를 형성하고, 각 돌출부에 구동 부재를 장착하여 연직 순환시킨다. 이 결과, 안정된 자세로 선반을 순환시킬 수 있다. 설비의 내부는 내벽에 의해 내부 스페이스와 외부 스페이스로 구분되고, 선반의 돌출부를 슬릿으로부터 외부 스페이스로 돌출시켜서 구동 부재로 구동한다. 그리고 구동 부재 및 그 구동 기구를 외부 스페이스에 수용한다. 이들의 결과, 구동 기구 등으로부터의 먼지 발생은 내부 스페이스에 들어가기 어려워진다. 또한 내부 스페이스와 설비의 외부를 외부 스페이스를 관통하는 터널로 접속시키므로 외부 스페이스의 공기에 노출되지 않고 물품을 반출입할 수 있다.
외부 스페이스의 공기를 정화시켜서 내부 스페이스로 공급하기 위한 팬 필터 유닛을 설치하면 설비 내에서의 먼지 발생을 설비 내에서 처리하여 외부로의 오염 공기의 배출량을 적게 할 수 있다. 또한 팬 필터 유닛에서 내부 스페이스의 기압을 높이면, 내부 스페이스의 기압을 설비 주위의 플로어 내의 기압보다 용이하게 높게 할 수 있고, 팬 필터 유닛에서의 흡인에 의해 외부 스페이스의 기압을 플로어 내의 기압보다 용이하게 낮게 할 수 있다. 여기에서 내부 스페이스로 설비의 외부로부터 공기를 받아들여서 공급하는 팬 필터 유닛을 설치하면 내부 스페이스의 기압을 외 부 플로어보다 보다 용이하게 높게 할 수 있다. 또한 배기 스페이스로 외부 스페이스의 공기를 배기하는 배기구를 설치하면 외부 스페이스의 기압을 보다 용이하게 외부 플로어보다 낮게, 또한 배기 스페이스보다 높게 할 수 있다.
이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다.
실시예
도 1~도 4에 실시예의 연직 순환 반송 설비(2)를 나타낸다. 연직 순환 반송 설비(2)는 2중의 통형상으로 구성되고, 4는 그 내부 스페이스이며 클린도가 가장 높은 스페이스이다. 6은 외부 스페이스이고, 내부 스페이스(4)를 둘러싸며, 스페이스(4,6) 사이의 내벽(8)에 의해 양자를 차단하고, 10은 외부 스페이스(6)를 설비의 외부로부터 차단하는 외벽이다. 연직 순환 반송 설비(2)에는 도 2에 나타내는 플로어 스페이스(Fl,F2)를 향해 터널(12)을 설치하고, 터널(12)은 외부 스페이스(6)를 관통해 내부 스페이스(4)와 설비의 외부를 접속시킨다. 또한 터널(12)에는 기계식의 셔터(24)를 설치하고, foup(18) 등의 물품을 반출입시킬 때에만 셔터(24)를 개방한다. 14는 터널(12)의 외벽이다.
내부 스페이스(4) 내를 선반(16)이 연직 순환하고, 각 선반(16)은 대각선 상에 1쌍의 돌출부(28,28)를 구비하고, 돌출부(28,28)는 내벽(8)에 형성한 슬릿(26)으로부터 외부 스페이스(6)측으로 돌출되어 있다. 그리고 돌출부(28)에는 무한 체인(30) 또는 무한 벨트 등을 장착하고, 도 2, 도 3에 나타내는 스프로킷(34) 및 그 구동부(36)에 의해 연직 방향으로 순환시킨다. 내부 스페이스(4) 내에는 연직 방향 을 따라서 선반(16)이 2열로 평행하게 배치되고, 스프로킷(34)에 의해 순환 동작한다.
선반(16)에는 foup(18) 등의 물품을 적재하고, 물품의 종류는 임의이다. 또한 터널(12)에는 스칼라 암 등을 사용한 이송 로봇(20)을 설치하고, 셔터(24)를 개방했을 때에 선반(16)과 외부 사이에서 foup(18) 등을 이송할 수 있게 한다. 여기에서는 셔터(24)의 외측에 이송 로봇(20)을 배치했지만, 셔터(24)를 터널(12)의 출구에 배치하고, 이송 로봇(20)을 터널(12)의 내부에 배치해도 좋다. 또한 외부 스페이스(6)의 적당한 위치에 팬 필터 유닛(FFU)(22)을 설치하여 외부 스페이스(6) 내의 공기를 정화시키고, 내부 스페이스(4)로 보내준다. 또한 연직 순환 반송 설비(2)의 예를 들면 천정부에 팬 필터 유닛(FFU)(32)을 설치하여 설비(2) 외부의 공기를 정화시키고, 내부 스페이스(4)로 보내준다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 연직 순환 반송 설비(2)는 복수의 플로어 스페이스(F1,F2) 사이를 관통하고, 38, 40은 플로어의 바닥이며, 여기에서는 2개의 플로어 스페이스(Fl,F2) 사이의 반송을 나타내지만, 연직 방향을 따른 플로어 스페이스의 수는 임의이다. 바닥(38)의 하부에는 배기 스페이스(42)가 형성되고, 외벽(10)에 배기구(44)를 형성하여 외부 스페이스(6) 내의 공기를 배기 스페이스(42)측으로 배기시킨다. 또한 배기 스페이스(42)에는 일반적으로 흡인 팬이 형성되고, 분위기는 부압으로 유지되고 있다.
실시예의 동작을 나타낸다. 스프로킷(34)에 의해 체인(30)을 통해서 선반(16)이 연직 방향으로 순환 이동한다. 선반(16)은 거의 대각선 상의 2개의 위치 에서 체인(30)에 의해 지지되고 있으므로, foup(18)로부터의 하중 등에 의해서는 경사지기 어렵고, 수평인 자세로 연직 순환한다. 선반(16)이 물품의 반출입을 행하는 플로어 스페이스에 도착하면 연직 순환 운동을 정지하고, 셔터(24)를 개방하여 이송 로봇(20)에 의해 연직 순환 반송 설비(2)의 외부와의 사이에서 물품을 반출입한다. 여기에서 플로어 스페이스(Fl,F2)의 쌍방에서 동시에 물품을 반출입하는 경우, 내부 스페이스(4)를 통해서 플로어 스페이스(Fl,F2) 사이에서 공기가 흐른다고 생각된다. 그리고 플로어 스페이스(Fl,F2)는 클린도가 다른 경우, 클린도가 낮은 스페이스로부터 높은 스페이스를 향해서 기류가 발생하면 문제가 있다.
연직 순환 반송 설비(2) 내의 클린도를 설명한다. 상부의 팬 필터 유닛(32)에 의해 내부 스페이스(4)에 클린 에어가 공급되고, 슬릿(26)으로부터 클린 에어가 외부 스페이스(6)로 새어나가 배기구(44)로부터 배기 스페이스(42)로 배기된다. 내부 스페이스(4)의 클린도를 복수의 플로어 스페이스(Fl,F2) 중의 최고인 클린도 이상으로 한다. 외부 스페이스(6)는 플로어 스페이스(Fl,F2)와도 내부 스페이스(4)와도 차단되어 있으므로 클린도는 적당하고 좋다.
연직 순환 반송 설비(2)의 각 부의 기압을 도 4에 모식적으로 나타낸다. 내부 스페이스(4)의 기압을 플로어 스페이스(Fl,F2)의 기압보다 높게 하고, 외부 스페이스(6)의 기압을 모두 플로어 스페이스(Fl,F2)보다 낮게 하여 배기 스페이스(42)의 기압을 최저로 한다. 또한 팬 필터 유닛(32)으로부터 내부 스페이스(4) 내에 상시 클린 에어를 공급하고, 배기구(44)로부터 외부 스페이스(6)의 공기를 상시 배기시킨다. 또한 팬 필터 유닛(32)으로부터의 송풍량을 셔터(24)로부터 플로어 스페이스로 흐르는 공기의 양보다 크게 한다. 이렇게 하면, 셔터(24)를 개방해도 내부 스페이스(4) 내의 기압은 기본적으로 변하지 않고, 플로어 스페이스(Fl,F2)보다 높은 그대로이다. 셔터(24)를 개방하면 내부 스페이스(4)로부터 플로어 스페이스(Fl,F2)로의 기류가 발생하고, 역방향의 기류는 발생하지 않으므로 플로어 스페이스(Fl,F2) 사이에서 공기가 서로 섞일 일이 없다. 따라서 각 플로어 스페이스의 클린도를 어지럽히지 않는다.
도 1은 실시예의 연직 순환 반송 설비의 수평 방향 단면도이고, 내외의 스페이스와 터널을 나타낸다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 방향을 따른 연직 방향 단면도이고, 내외의 스페이스와 터널 및 체인의 배치를 나타낸다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 방향을 따른 수평 단면도이고, 체인과 스프로킷의 배치를 나타낸다.
도 4는 실시예의 각 부에서의 기압을 모식적으로 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2 : 연직 순환 반송 설비 4 : 내부 스페이스
6 : 외부 스페이스 8 : 내벽
10 : 외벽 12 : 터널
14 : 터널 외벽 16 : 선반
18 : foup 20 : 이송 로봇
22, 32 : 팬 필터 유닛(FFU) 24 : 셔터
26 : 슬릿 28 : 돌출부
30 : 체인 34 : 스프로킷
36 : 구동부 38,40 : 바닥
42 : 배기 스페이스 44 : 배기구
F1, F2 : 플로어 스페이스

Claims (3)

  1. 무한 구동 부재에 선반을 부착해서 연직 순환시키는 설비에 있어서:
    선반을 연직 순환시키는 내부 스페이스를 둘러싸는 내벽과, 상기 내벽을 외측으로부터 둘러싸는 외벽을 설치하고, 상기 내부 스페이스에 선반을 배치함과 아울러;
    선반의 대각 위치에 설치한 1쌍의 돌출부를 내벽에 형성한 슬릿으로부터 내벽과 외벽 사이의 외부 스페이스에 돌출시키고, 상기 각 돌출부를 무한 구동 부재에 장착하고, 또한 상기 구동 부재의 구동 기구를 상기 외부 스페이스 내에 설치하며;
    또한 상기 외부 스페이스를 관통해서 내부 스페이스와 설비의 외부를 접속시키는 물품의 반출입용 터널을 설치한 것을 특징으로 하는 연직 순환 반송 설비.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 연직 순환 반송 설비는 복수의 플로어 사이에서 물품을 반송하고, 또한 적어도 최하층의 플로어는 바닥 밑에 배기 스페이스를 구비하고 있고;
    상기 외부 스페이스의 공기를 정화시켜서 상기 내부 스페이스로 공급하기 위한 팬 필터 유닛을 설치함과 아울러;
    상기 내부 스페이스의 기압을 연직 순환 반송 설비 주위의 플로어 내의 기압보다 높게 하고, 상기 외부 스페이스의 기압을 상기 플로어 내의 기압보다 낮으며, 플로어의 바닥 밑에 설치한 배기 스페이스보다 높게 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 연직 순환 반송 설비.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 내부 스페이스로 설비의 외부로부터 공기를 받아들여서 공급하는 팬 필터 유닛을 설치함과 아울러, 상기 배기 스페이스로 상기 외부 스페이스의 공기를 배기시키는 배기구를 형성한 것을 특징으로 하는 연직 순환 반송 설비.
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