TWI405042B - 曝光資料產生裝置 - Google Patents

Description

曝光資料產生裝置

本發明係相關於一種曝光資料產生裝置(exposure－data generating apparatus)，且特別是關於可產生曝光資料以驅動諸如DMD(Digital Micro－mirror Device，數位微型鏡裝置)的一部二維顯示裝置(two－dimensional display device)的一種裝置。

本發明提出應用了二維顯示裝置的，諸如DMD的一種多重曝光裝置。

在應用了諸如DMD的二維顯示裝置的多重曝光裝置之中，被利用來驅動二維顯示裝置的曝光資料，係依據諸如位元映對資料(bitmap data)的繪圖資料(drawing data)，以及對應於構成二維顯示裝置一單元其一胞之胞編號的一胞座標而產生的，如同日本末審查專利公告(KOKAI)2003－50469號案中所揭示者。

不過，當曝光資料被產生出來時，胞座標即從為每一胞單元儲存胞座標的胞座標表中被讀出。在此種情況下，為了產生曝光資料而對胞座標表所進行的擷取次數，即等於胞的數目。因此，阻礙曝光資料產生加速的其中一個因素，即為對胞座標表所需進行的，為數眾多的擷取次數。

因此，本發明之一目的即在於提供可以高速產生曝光資料的一種曝光資料產生裝置。

依據本發明，一種曝光資料產生裝置包含有一第一記憶，一第二記憶，與一曝光資料記憶。第一記憶以位元映對格式將繪圖資料儲存作為供曝光用之第一資料。第二記憶儲存第二資料，其在行方向上的資料單位依據第一資料而被轉換為每一胞之資訊之解析度單位。曝光資料記憶儲存曝光資料，其係為於每一行單元上利用第三資料的叢發傳輸所獲得的光域資料。第二資料被重新安排並轉換成為該第三資料，而在行方向上第二資料的每一胞之資料的安排被改變為列方向。該胞構成了依據曝光資料而執行曝光的一數位微型鏡裝置(DMD)的一個顯示單元。

本發明參考所附圖式中所顯示之實施例將說明如下。在此實施例中，一多重曝光裝置1包含有控制器10及一頭單元30(見圖1及2)。

控制器10以繪圖資料(drawing data，例如，向量資料或CAD資料)為依據，而執行可產生曝光資料(光域資料，raster data)的繪圖處理操作。

頭單元30具有一裝置控制器31及一DMD 33，其可依據曝光資料而執行曝光。裝置控制器31依據曝光資料而驅動DMD 33。

控制器10擁有五個記憶(一第一記憶11，一第二記憶13，一胞座標表15，一第三記憶16，以及一曝光資料記憶17)。

控制器10於以下所將說明的，由第一，第二，第三，第四及第五步驟所構成的一程序之中，將繪圖資料轉換為驅動DMD 33所需要的曝光資料，並將曝光資料儲存於曝光資料記憶17之中。

繪圖資料，其為CAD資料，被轉換為位元映對資料，作為第一資料而被儲存於第一記憶11中。換言之，第一記憶11以位元映對格式將繪圖資料儲存作為第一資料。

位元映對資料(第一資料)其行方向上的資料單位，被轉換為一胞的1/n單位，並儲存於第二記憶13中作為第二資料。換言之，依據其在行方向及列方向上的資料單位係為一長度單位的第一資料，第二記憶13儲存了其行方向資料單位被轉換為一胞之1/n單位的第二資料(亦即，每一胞的資訊之解析度單位)。

胞座標表15，於此一被揭示之實施例中係為，例如，可儲存對應於胞之胞編號的胞座標之一轉換表的一SRAM(靜態隨機存取記憶，Static Random Access Memory)。胞座標係為頂位元對應於將變為叢發傳輸之目標行的頂胞其列位址，換言之，即叢發傳輸所要執行之行。

第二資料，其在行方向上的資料單位被轉換為一胞的1/n單位者，被重新安排並被儲存於第三記憶16中，其在此一被揭示之實施例中係為，例如，一DRAM(Dynamic Random Access Memory，動態隨機存取記憶)，以作為第三資料(轉換資料)。第二資料的每一胞之資料在行方向上的重新安排，因此即於胞單位上被改變(轉置)為列方向。

曝光資料記憶17儲存位元映對格式的曝光資料，其係利用在每一行單元上進行第三資料的叢發傳輸而獲得的。

在第一步驟之中，對應於繪圖區域，並由DMD 33所顯示的繪圖資料，被轉換為位元映對資料(第一資料)，並儲存於第一記憶11中。第一資料的資料單位係為，例如，一個1 μm單位的長度單位。

在第二步驟之中，被儲存於第一記憶11中的位元映對資料(第一資料)的資料單位，係由長度單位而轉換為構成DMD 33的一顯示單元其一胞的1/n單位，並儲存於第二記憶13中作為第二資料(見圖3及5)。一胞的1/n單位係為每一胞資訊的解析度單位。

解析度n，其為胞之切割之數量，係為大於胞的大小Lc的一個整數，並亦為通常為位元組單位的第二記憶13之行大小的一個整數乘積。

解析度n被設定大於胞的大小Lc，以避免彩色資訊的損失。

解析度n被設定為第二記憶13之行大小的一個整數乘積，以便在重新安排之後，將胞間距(cell pitch)的資訊安排於行方向上。

圖5顯示一實例，其中胞的大小Lc為10，其解析度n，即胞的切割數，是為16。

特定而言，其資料係安排於行方向，其資料之量(數目)是為行方向胞數量C乘以解析度n(胞之切割數)的乘積，以便對應於第一資料的第二資料得以被產生出來。行方向胞之數目C，其較佳者應設定為1024或稍多於1024。

例如，在第一資料的資料單位是為1 μm的單位，胞的大小為10 μm，且解析度n(胞之切割數)為16的情況下，其10個資料被安排於行方向的第一資料，可被轉換為(即，被擴張為)16個資料被安排於行方向上的第二資料。

行方向上所有位元映對資料(第一資料)，其資料單位由長度單位被轉換為一胞的1/n單位的轉換處理，係在第二步驟之中執行。

不過，列方向上位元映對資料，其資料單位由長度單位轉換為一胞的1/n單位的轉換處理，則未被執行。換言之，列方向上的位元映對資料(第一資料)，其資料單位未有改變。

如圖6所顯示，第二資料所擁有之安排為，其在列方向上的資料之數量為R，其係等於或稍大於，例如，768(＝DMD 33在列方向上構成顯示單元的胞之數量)，而其在行方向上資料的數目則為C×n(＝行方向上胞之數目C乘以解析度n(胞之切割數)的乘積)。

在轉換處理之前行方向上第一資料的座標y1，與轉換處理之後行方向上第二資料y2之間的關係，係以y2＝y1÷Lc×n表示。

在第三步驟中，一行中其胞之數量為C的資料，係由位元映對資料(第二資料)中被讀出，其係被儲存於第二記憶13之中，且其在行方向上的安排是以一胞的1/n單位表示，而其在胞單元上行的資料之安排(在切割的每一個編號，n上)，係由行方向被轉換為列方向，以使轉換資料(第三資料)得以被產生出來(見圖4及7)。

換言之，胞被安排於行方向上的位元，被重新安排於列方向上，以使每一胞的第k個位元皆被安排在相同一列內。”k”在此係為大於或等於1，且亦小於或等於胞之切割數n的一個整數。圖4顯示當n等於4時的重新安排情形。

被重新安排的第三資料係被儲存於第三記憶16之中。

如圖7所示，第三資料具有一種安排，其在列方向上的資料數是為n，而其在行方向上的資料數是為C，作為一行的資料，而其在列方向上的資料數，n×R(＝胞之切割數n乘以列方向第二資料之數目R的乘積)，且行方向上之資料數C，係為所有行的資料。

對應於DMD 33之第一列胞座標x的位元(在列方向上具有n位元的區塊之頂位元)之列位址Arx₁ ，係以Arx₁ ＝x×n表示。

對應於座標y的位元之列位址Ary₁ ，則係以Ary₁ ＝Arx₁ ＋y2＝(x＋y÷Lc)×n表示。

對應於DMD 33之第m列胞之座標x的位元(在列方向上具有n位元的區塊之頂位元)之列位址Arx_m ，係以Arx_m ＝{x＋Lc×(m－1)}×n表示，其中”m”在此係為大於或等於1，且亦小於或等於R(列方向上第二資料之數目)的一個整數。

對應於座標y的位元之列位址Ary_m ，則係以Ary_m ＝Arx_m ＋y2＝{x＋y÷Lc＋Lc×(m－1)}×n表示。

在第四步驟中，控制器10擷取胞座標表15，且對應於叢發傳輸所要執行之行之頂胞的頂位元之列位址，則由胞座標表15中被讀出。

在第五步驟之中，包括有對應於行之頂胞的頂位元之列位址的一行之位元映對資料，其由第三記憶16至曝光資料記憶17的叢發傳輸，係依據由胞座標表15中所讀出之列位址而被執行，且其後，所傳輸的位元映對資料即被儲存於曝光資料記憶17之中。

換言之，當第三資料的叢發傳輸於每一行單元中被執行時，第三資料係依據相關於叢發傳輸所被執行的行之頂胞的胞座標的資訊，而於每一行單元上被執行，其係為利用擷取胞座標表15而獲得者。

例如，在第m行的位元映對資料(第三資料)的叢發傳輸被執行的情況下，對應於頂胞之頂位元的列位址Ary_m 係由胞座標表15中被讀出，且其後，包含有對應於第三資料中列位址Ary_m (第m個行資料)的頂位元之頂胞的行之位元映對資料，其對曝光資料記憶17的叢發傳輸即被執行。

在第三，第四及第五步驟中的操作，針對所有列(例如，此一被揭露實施例中為768列)而被重覆執行之後，曝光資料，即具有對應於構成DMD 33每一胞的位元映對資料的資料，對應於DMD 33所顯現(放射出)的一影像，即被產生出來，並被儲存於曝光資料記憶17之中。

因此，在第四步驟中對胞座標表15所進行的擷取次數，即等於列之數目R(＝在列方向上構成DMD 33之每一顯示單元的胞之數量，即，768)。換言之，在每一行單元上皆有一位元被讀取。因此，為產生曝光資料而對胞座標表15所進行的擷取次數，相較於在每一胞單元上皆讀取一位元的情況，即得以減少。在此種情況下，為產生曝光資料而對胞座標表15所進行的擷取次數，即等於列數R乘以行數C的乘積(於此一揭示實施例中＝768×1024)。

擷取次數的減少有助於曝光資料產生的加速。換言之，曝光資料產生裝置1可以高速產生曝光資料。

雖然本發明之實施例已疵考所附圖式而說明如上，但顯然習於本技藝者在不偏離於本發明精神範疇的情況下仍可進行其各種修改及變化。

1．．．多重曝光裝置

10．．．控制器

11．．．第一記憶

13．．．第二記憶

15．．．胞座標表

16．．．第三記憶

17．．．曝光資料記憶

30．．．頭單元

31．．．裝置控制器

33．．．DMD，數位微型鏡裝置

圖1係為一實施例多重曝光裝置之立體圖；圖2係為多重曝光裝置之方塊圖；圖3顯示位元映對資料之一行方向上資料單位被由一長度單位轉換為一胞的一個1/n單位的轉換情形；圖4顯示第二資料之每一胞之資料的安排被轉置，以使排列於行方向上的胞資料被重新安排於列方向上的重新安排情形；圖5顯示由第一資料至第二資料之轉換細節；圖6顯示第二資料；及圖7顯示第三資料。

1．．．多重曝光裝置

10．．．控制器

11．．．第一記憶

13．．．第二記憶

15．．．胞座標表

16．．．第三記憶

17．．．曝光資料記憶

30．．．頭單元

31．．．裝置控制器

33．．．DMD

Claims (4)

1. 一種曝光資料產生裝置，包含：一第一記憶，以位元映對格式將繪圖資料儲存作為供曝光用之第一資料；儲存第二資料的一第二記憶，該第二資料在行方向上的資料單位依據該第一資料而被轉換為每一胞之資訊之一解析度單位；及儲存曝光資料的一曝光資料記憶，該曝光資料係於每一行單元上利用第三資料的一次叢發傳輸所獲得的光域資料，該第二資料被重新安排並轉換成為該第三資料，其中在該行方向上該第二資料的每一胞之資料的安排被改變為列方向，該胞構成了依據該曝光資料而執行該曝光的一數位微型鏡裝置的一個顯示單元。
2. 如申請專利範圍第1項之曝光產生裝置，其中更包含有一胞座標表，其儲存一胞對應於該胞之一胞編號的一轉換表；當該第三資料之該叢發傳輸於每一行單元上被執行時，該第三資料係以相關於該列一頂胞之該胞座標之資訊為依據，而於該叢發傳輸所被執行的每一行單元上讀取，其係利用擷取該胞座標表而獲得。
3. 如申請專利範圍第2項之曝光產生裝置，其中該胞座標表包含有一靜態隨機存取記憶。
4. 如申請專利範圍第1項之曝光產生裝置，其中更包含有儲存該第三資料的一動態隨機存取記憶。