JP2008158153A - 露光データ作成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】露光データ作成を高速化する露光データ作成装置を提供する。
【解決手段】露光装置１における露光データ作成装置（制御部１０）は、露光のために使用される描画データをビットマップ形式で第１データとして記録する描画データメモリ１１を備える。第１データが、カラム方向のデータ単位を、セルごとの情報の分解能単位（セルの１／ｎ単位）に変換された状態の第２データを記録するセルサイズメモリ１３を備える。第２データが、セルごとにカラム方向の並びをロウ方向に並び替えた第３データが、カラムごとにバースト転送されて得られた第４データをラスタデータである露光データとして記録する露光データメモリ１７を備える。セルは、露光データに基づいて露光を行うＤＭＤ３３のセルである。
【選択図】図２

Description

本発明は、露光データの作成装置に関し、特にＤＭＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ Ｄｅｖｉｃｅ）などの二次元表示素子を駆動するための露光データの作成装置に関する。

従来、ＤＭＤなどの二次元表示素子を使った多重露光装置が提案されている。

ＤＭＤなどの二次元表示素子を使った多重露光装置において、二次元表示素子を駆動するための露光データは、ビットマップなどの描画データと、二次元表示素子を構成するセルの番号に対応するセル座標に基づいて作成される（例えば特許文献１）。
特開２００３−５０４６９号公報

特許文献１の装置などＤＭＤなどの二次元表示素子を使った多重露光装置における露光データの作成の際、セル座標は、セル座標テーブルから読み出しされるが、この読み出しは、セルごとに行われるため、セル座標テーブルとのアクセス回数が露光データ作成の高速化を妨げる原因になっていた。

したがって本発明の目的は、露光データ作成を高速化する露光データ作成装置を提供することである。

本発明に係る露光装置における露光データ作成装置は、露光のために使用される描画データをビットマップ形式で第１データとして記録する描画データメモリと、第１データが、カラム方向のデータ単位を、セルごとの情報の分解能単位に変換された状態の第２データを記録するセルサイズメモリと、第２データが、セルごとにカラム方向の並びをロウ方向に並び替えた第３データが、カラムごとにバースト転送されて得られた第４データをラスタデータである露光データとして記録する露光データメモリとを備え、セルは、露光データに基づいて露光を行うＤＭＤのセルである。

好ましくは、セルの番号に対応したセル座標の変換テーブルを記録するセル座標テーブルを更に備え、第３データのカラムごとのバースト転送の際、第３データは、セル座標テーブルにアクセスして得られるバースト転送されるカラムの先頭セルのセル座標の情報に基づいて前記カラムごとに読み出しされる。

さらに好ましくは、セル座標テーブルは、ＳＲＡＭである。

また、好ましくは、前記第３データを記録するＤＲＡＭを更に備える。

以上のように本発明によれば、露光データ作成を高速化する露光データ作成装置を提供することができる。

以下、本実施形態について、図を用いて説明する。本実施形態における多重露光装置１は、制御部１０、及び装置ヘッド部３０とを備える。制御部１０は、描画データ（ベクタデータ、ＣＡＤデータ）に基づいて露光データ（ラスタデータ）を作成する描画データ処理を行う。装置ヘッド部３０は、ＤＭＤ３３と露光データに基づいてＤＭＤ３３を駆動するデバイス制御部３１とを有する（図１、図２参照）。

制御部１０は、第１〜第５ステップの手順で描画データを、ＤＭＤ３３を駆動するための露光データに変換して露光データメモリ１７に記録する。

制御部１０は、描画データメモリ１１、セルサイズメモリ１３、セル座標テーブル１５、転換メモリ１６、及び露光データメモリ１７の４つのメモリを有する。

描画データメモリ１１は、ＣＡＤデータである描画データを、ビットマップデータに変換された状態で記録する（第１データ）。セルサイズメモリ１３は、ビットマップデータ（第１データ）を、カラム方向のデータ単位が１／ｎセル単位に変換された状態（第２データ）で記録する。セル座標テーブル１５は、セル番号に対応したセル座標（バースト転送の対象となる列（カラム）の先頭セルに対応する先頭ビットのロウアドレス）の変換テーブルを記録するＳＲＡＭである。

転換メモリ１６は、カラム方向のデータ単位が１／ｎセル単位に変換されたデータ（第２データ）を並び替えた転換データ（第３データ）を記録するＤＲＡＭである。

露光データメモリ１７は、ビットマップ形式の露光データ（第４データ）を記録する。

第１ステップで、ＤＭＤ３３によって照射される描画領域に対応する描画データ（ＤＭＤ３３のサイズ分の描画データ）が描画データの表現単位（例えば、１μｍ単位）であるビットマップデータ（第１データ）に変換され、描画データメモリ１１に格納される。

第２ステップで、描画データメモリ１１に格納されたビットマップデータ（第１データ）のカラム方向のデータ単位が、描画データ単位からＤＭＤ３３の表示素子を構成するセルの１／ｎ単位（セルごとの情報の分解能単位）に変換され、セルサイズメモリ１３に記録される（第２データ、図３、図５参照）。分解能ｎはセルサイズＬｃより大きい整数で、セルサイズメモリ１３のカラムサイズ（通常バイト単位）の整数倍である。セル分割数ｎがセルサイズＬｃよりも大きいのは、色情報を失わないためであり、整数倍にするのは並べ替え後のセルピッチの情報がカラム方向に並ぶようにするためである。図５に、セルサイズＬｃ＝１０、セル分割数ｎ＝１６の場合の例を示す。

具体的には、ＤＭＤ３３の表示素子を構成するセルのカラム方向の数Ｃ（１０２４個、またはこれよりも少し多めの数）とセル分割数ｎとの積の個数だけのデータがカラム方向に並べられ、第１データに対応する第２データが作成される。例えば、第１データが１μｍ単位、セルサイズが１０μｍ、ｎ＝１６の場合、カラム方向に並んだ１０個の第１データは、第２データにおいて、１６個のカラム方向に並んだデータとして拡張される。

第２ステップでは、上述のカラム単位の変換処理が、総ての列（カラム）について行われる。但し、ロウ方向のデータ単位については、描画データ単位のまま変換しない。第２データは、ロウ方向に、ＤＭＤ３３の表示素子を構成するセルのロウ方向の数Ｒ個（７６８個、またはこれよりも少し多めの数）、カラム方向にＣ×ｎ個だけ並べられる配列を有する（図６参照）。

セルサイズ変換前の第１データにおいてカラム方向の座標（ｙ座標）ｙ１に対応する、セルサイズ変換後の第２データにおけるカラム方向の座標（ｙ座標）ｙ２は、ｙ２＝ｙ１÷Ｌｃ×ｎで表される。

第３ステップで、セルサイズメモリ１３に格納され、カラム方向については１／ｎセル単位で並べられたビットマップデータ（第２データ）を、順次１列（１カラム）分のセル数Ｃのデータが読み出しされ、セル分割数ｎごとに（セル単位で）カラム方向の並びが、ロウ方向に並び替えられた転換データ（第３データ）が作成される（図４、図７参照）。すなわち、１つのセル内のビットがロウ方向に並べられ、各セルのｋ番目のビットが同じ列に並べられる（ｋは１以上ｎ以下の整数）。図４は、ｎ＝４の場合のセル並び替えを示す。

この並び替えられた第３データは転換メモリ１６に書き込まれる。第３データは、１カラム分のデータとして、ロウ方向にｎ個、カラム方向にＣ個並べられる配列を有し、全カラム分のデータとして、ロウ方向にｎ×Ｒ個、カラム方向にＣ個並べられる配列を有する（図７参照）。

ＤＭＤ３３の第１列目のセル座標ｘに対応するビット（ロウ方向にｎ個のビットを有するブロックの先頭ビット）のロウアドレスＡｒｘ_１は、Ａｒｘ_１＝ｘ×ｎで表され、セル座標ｙに対応するビットのロウアドレスＡｒｙ_１は、Ａｒｙ_１＝Ａｒｘ_１＋ｙ２＝（ｘ＋ｙ÷Ｌｃ）×ｎで表される。

ＤＭＤ３３の第ｍ列目のセル座標ｘに対応するビット（ロウ方向にｎ個のビットを有するブロックの先頭ビット）のロウアドレスＡｒｘ_ｍは、Ａｒｘ_ｍ＝｛ｘ＋Ｌｃ×（ｍ−１）｝×ｎで表され、セル座標ｙに対応するビットのロウアドレスＡｒｙ_ｍは、Ａｒｙ_ｍ＝Ａｒｘ_ｍ＋ｙ２＝｛ｘ＋ｙ÷Ｌｃ＋Ｌｃ×（ｍ−１）｝×ｎで表される。ｍは、１以上Ｒ以下の整数である。

第４ステップで、セル座標テーブル１５にアクセスされ、バースト転送の対象となる列（カラム）の先頭セルに対応する先頭ビットのロウアドレスがセル座標テーブル１５から読み出しされる。

第５ステップで、読み出しされたロウアドレスに基づいて、先頭セルに対応した先頭ビットのロウアドレスを含む１列（１カラム）分のビットマップデータが、露光データメモリ１７に、バースト転送され、記録される。

例えば、第ｍ列目のデータ（第３データ）をバースト転送する場合には、先頭セルに対応した先頭ビットのロウアドレスに対応してロウアドレスＡｒｘ_ｍがセル座標テーブル１５から読み出しされ、第３データのうちでロウアドレスＡｒｘ_ｍに対応した先頭ビットの先頭セルを含む列のビットマップデータ（第ｍ列目のデータ）が、露光データメモリ１７にバースト転送される。

第３〜第５ステップは、総ての列（ロウ：７６８列）について繰り返し行われ、これによりＤＭＤ３３を介して表示される１画面分の露光データ（ＤＭＤ３３を構成するセルそれぞれに対応したビットマップデータを有する第４データ）が作成され、露光データメモリ１７に記録される。そのため、第４ステップで行われるセル座標テーブル１５へのアクセスは、列の数（７６８列）だけで済むため、露光データ作成の際に、セルごとビット読み出しを行う場合のアクセス回数（１０２４×７６８回）に比べて大幅に減少させることが出来る。このアクセス回数の削減は、露光データ作成処理を高速化できる。

本実施形態における多重露光装置を示す斜視図である。 多重露光装置の構成図である。 本実施形態におけるセルサイズ変換を示す図である。 本実施形態におけるセル並べ替えを示す図である。 セルサイズ変換（第１データから第２データへ）の詳細を示す図である。 第２データを示す図である。 第３データを示す図である。

符号の説明

１ 多重露光装置
１０ 制御部
１１ 描画データメモリ
１３ セルサイズメモリ
１５ セル座標テーブル
１６ 転換メモリ
１７ 露光データメモリ
３０ 装置ヘッド部
３１ デバイス制御部
３３ ＤＭＤ

Claims (4)

1. 露光のために使用される描画データをビットマップ形式で第１データとして記録する描画データメモリと、
   前記第１データが、カラム方向のデータ単位を、セルごとの情報の分解能単位に変換された状態の第２データを記録するセルサイズメモリと、
   前記第２データが、前記セルごとに前記カラム方向の並びをロウ方向に並び替えた第３データが、カラムごとにバースト転送されて得られた第４データをラスタデータである露光データとして記録する露光データメモリとを備え、
   前記セルは、前記露光データに基づいて露光を行うＤＭＤのセルであることを特徴とする露光装置における露光データ作成装置。
2. 前記セルの番号に対応したセル座標の変換テーブルを記録するセル座標テーブルを更に備え、
   前記第３データの前記カラムごとのバースト転送の際、前記第３データは、前記セル座標テーブルにアクセスして得られる前記バースト転送されるカラムの先頭セルのセル座標の情報に基づいて前記カラムごとに読み出しされることを特徴とする請求項１に記載の露光データ作成装置。
3. 前記セル座標テーブルは、ＳＲＡＭであることを特徴とする請求項２に記載の露光データ作成装置。
4. 前記第３データを記録するＤＲＡＭを更に備えることを特徴とする請求項１に記載の露光データ作成装置。
   

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