CN101206408A - 曝光数据产生装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供曝光数据产生装置。所述曝光数据产生装置包括第一存储器、第二存储器和曝光数据存储器。第一存储器按位图格式存储绘图数据，作为用于曝光的第一数据。第二存储器存储第二数据，根据所述第一数据，所述第二数据在列方向的数据单位被转换为各个单元的信息的分辨率单位。曝光数据存储器存储曝光数据，所述曝光数据是通过在每个列单位的对第三数据的脉冲传输而获得的光栅数据。将第二数据重新排列并转换为第三数据，其中，将第二数据在列方向的各个单元的数据排列改变为行方向。所述单元构成根据所述曝光数据进行曝光的数字微镜装置的显示元素。

Description

曝光数据产生装置
技术领域
本发明涉及一种曝光数据产生装置，具体地涉及产生用于驱动二维显示装置(例如DMD(数字微镜装置))的曝光数据的装置。
背景技术
提出了使用诸如DMD的二维显示装置的多重曝光装置。
如日本特开2003-50469号公报中所示的，在使用诸如DMD的二维显示装置的多重曝光装置中，基于诸如位图数据的绘图数据以及与构成二维显示装置的元素的单元的单元号对应的单元坐标来产生用于驱动二维显示装置的曝光数据。
然而，当产生曝光数据时，从存储每个单元单位的单元坐标的单元坐标表中读取单元坐标。在此情况下，对用于产生曝光数据的单元坐标表的访问次数等于单元数量。因此，阻碍加速产生曝光数据的一个原因是对单元坐标表的访问很多。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种可以高速产生曝光数据的曝光数据产生装置。
根据本发明，曝光数据产生装置包括第一存储器、第二存储器和曝光数据存储器。第一存储器按位图格式存储绘图数据，作为用于曝光的第一数据。第二存储器存储第二数据，根据第一数据将第二数据的列方向的数据单位转换为各个单元的信息的分辨率单位。曝光数据存储器存储曝光数据，曝光数据是由在每个列单位的第三数据的脉冲(burst)传输而获得的光栅数据。将第二数据重新排列并转换为第三数据，其中将第二数据在列方向的各个单元的数据排列改变为行方向。所述单元构成根据所述曝光数据进行曝光的数字微镜装置(DMD)的显示元素。
附图说明
参照附图，根据以下描述可以更好地理解本发明的目的和优点，在附图中：
图1是本实施方式的多重曝光装置的立体图；
图2是多重曝光装置的框图；
图3表示数据单位的转换，其中将位图数据在列方向上的数据单位从长度单位转换为1/n个单元单位；
图4表示重新排列，其中将第二数据的各个单元的数据排列转置为使得位于列方向上的单元数据重新排列在行方向上；
图5表示从第一数据转换到第二数据的转换的细节；
图6表示第二数据；以及
图7表示第三数据。
具体实施方式
以下参照附图中表示的实施方式描述本发明。在该实施方式中，多重曝光装置1包括控制器10和头单元30(参见图1和图2)。
控制器10进行根据绘图数据(例如，向量数据或CAD数据)产生曝光数据(光栅数据)的绘图处理操作。
头单元30具有装置控制器31和根据曝光数据进行曝光的DMD 33。装置控制器31根据曝光数据驱动DMD 33。
控制器10具有五个存储器(第一存储器11、第二存储器13、单元坐标表15、第三存储器16和曝光数据存储器17)。
如下所述，控制器10按照包括第一步骤、第二步骤、第三步骤、第四步骤和第五步骤的顺序，将绘图数据转换为用于驱动DMD 33的曝光数据并将曝光数据存储在曝光数据存储器17中。
将作为CAD数据的绘图数据转换为位图数据并存储在第一存储器11中，作为第一数据。换句话说，第一存储器11按位图格式存储绘图数据作为第一数据。
将位图数据(第一数据)在列方向上的数据单位转换为1/n单元单位，并存储在第二存储器13中，作为第二数据。换句话说，第二存储器13存储第二数据，根据在列方向和行方向上的数据单位是长度单位的第一数据，将第二数据在列方向上的数据单位转换为1/n单元单位(即，各个单元的信息的分辨率单位)。
在公开的实施方式中单元坐标表15例如是SRAM(静态随机存取存储器)，用于存储与单元的单元号对应的单元坐标的转换表。单元坐标是与成为脉冲传输对象的列(即，进行脉冲传输的列)的先头单元对应的先头位的行地址。
将在列方向上的数据单位被转换为1/n单元单位的第二数据重新排列并存储在第三存储器16中，作为第三数据(转换数据)，在公开的实施方式中第三存储器16例如是DRAM(动态随机存取存储器)。因此，在一个单元单位，第二数据在列方向上的各个单元的数据排列改变(转置)为行方向。
曝光数据存储器17存储曝光数据，该曝光数据是位图格式并由在每个列单位的第三数据的脉冲传输而获得。
在第一步骤中，将与DMD 33显示的绘图区域对应的绘图数据转换为位图数据(第一数据)并存储在第一存储器11中。第一数据的数据单位是长度单位，例如，1μm的单位。
在第二步骤中，将存储在第一存储器11中的位图数据(第一数据)的数据单位从长度单位转换为构成DMD 33的显示元素的单元的1/n单位，并存储在第二存储器13中，作为第二数据(参见图3和图5)。单元的1/n个单位是各个单元的信息的分辨率单位。
作为单元分割数量的分辨率n是大于单元大小Lc的整数，并且是第二存储器13的列大小(其通常是字节单位)的整倍数。
将分辨率n设置为大于单元大小Lc以避免颜色信息的损失。
将分辨率n设置为第二存储器13的列大小的整倍数，从而在重新排列之后在列方向上排列单元节距的信息。
图5表示单元大小Lc是10并且作为单元分割数量的分辨率n是16的实施例。
具体来说，在列方向上设置数据，其中数据量(数量)是在列方向上的单元数量C乘以分辨率n(单元分割数量)的乘积，从而产生与第一数据对应的第二数据。优选地将在列方向上的单元数量C设置为1024或略大于1024。
例如，在第一数据的数据单位是1μm单位、单元大小是10μm并且分辨率n(单元分割数量)是16的情况下，将在列方向上排列有10个数据的第一数据转换为(即，扩张为)在列方向上排列有16个数据的第二数据。
在第二步骤中，进行针对数据单位从长度单位转换为单元的1/n单位的列方向上的所有位图数据(第一数据)的转换处理。
然而，不进行针对数据单位从长度单位转换为单元的1/n单位的行方向上的所有位图数据(第一数据)的转换处理。换句话说，不改变位图数据(第一数据)在行方向上的数据单位。
如图6所示，第二数据具有如下排列：行方向上的数据数量为R，其等于或略大于例如768(＝构成DMD 33的显示元素的单元在行方向上的数量)，并且在列方向上的数据数量为C×n(＝列方向上的单元数量C乘以分辨率n(单元分割数量)的乘积)。
第一数据在转换处理之前在列方向上的坐标y1与第二数据在转换处理之后在列方向上的坐标y2之间的关系由y2＝y1÷Lc×n表示。
在第三步骤中，从存储在第二存储器13中并且在列方向上的排列按单元的1/n单位的位图数据(第二数据)中读取单元数量为C的一列数据，并且，在一个单元单位(在每个分割号处，n)，将这一列数据的排列从列方向改变为行方向，从而产生转换数据(第三数据)(参见图4和图7)。
换句话说，将排列在列方向上的单元的位重新排列在行方向上，从而各个单元的第k位排列在相同行。“k”是大于或等于1并且小于或等于作为单元分割数量的n的整数。图4表示当n等于4的重新排列。
将重新排列的第三数据存储在第三存储器16中。
如图7所示，第三数据具有如下排列：作为一列数据，在行方向上的数据数量是n并且在列方向上的数据数量是C；作为所有列的数据，在行方向上的数据数量是n×R(＝单元分割数量n乘以在行方向上的第二数据数量R的乘积)，列方向上的数据数量是C。
与DMD 33的第1行单元的坐标x对应的位(在行方向上有n位的块的先头位)的行地址Arx1由Arx1＝x×n表示。
与坐标y对应的位的行地址Ary1由Ary1＝Arx1+y2＝(x+y÷Lc)×n表示。
与DMD 33的第m行单元的坐标x对应的位(在行方向上有n位的块的先头位)的行地址Arxm由Arxm＝{x+Lc×(m-1)}×n表示，其中“m”是大于或等于1并且小于或等于R(在行方向上的第二数据数量R)的整数。
与坐标y对应的位的行地址Arym由Arym＝Arxm+y2＝{x+y÷Lc+Lc×(m-1)}×n表示。
在第四步骤中，控制器10访问单元坐标表15，从单元坐标表15读取与进行脉冲传输的列的先头单元对应的先头位的行地址。
在第五步骤中，根据从单元坐标表15读取的行地址，进行将包括与列的先头单元对应的先头位的行地址的一列位图数据从第三存储器16到曝光数据存储器17的脉冲传输，然后，将传输的位图数据存储在曝光数据存储器17中。
换句话说，当在每个列单位进行第三数据的脉冲传输时，根据通过访问单元坐标表15获得的、关于进行脉冲传输的列的先头单元的单元坐标的信息，在每个列单位读取第三数据。
例如，在进行第m列的位图数据(第三数据)的脉冲传输的情况下，从单元坐标表15读取与先头单元对应的先头位的行地址Arym，然后，进行将包括与第三数据中的行地址Arym对应的先头位的先头单元的列的位图数据(第m列数据)向曝光数据存储器17的脉冲传输。
在对所有行(例如，在公开的实施方式中是768行)重复进行第三步骤、第四步骤和第五步骤的操作之后，产生与由DMD 33显示(辐射)的一张图片对应的曝光数据(该曝光数据具有与构成DMD 33的各个单元对应的位图数据)并将其存储在曝光数据存储器17中。
因此，在第四步骤中对单元坐标表15的访问次数等于行数R(＝构成DMD 33的各个显示元素的单元在行方向上的数量，即768)。换句话说，按每个列单位读取位。相应地，与按每个单元单位读取位的情况相比，可以减少对用于产生曝光数据的单元坐标表15的访问次数。在这样的情况下，对用于产生曝光数据的单元坐标表15的访问次数等于行数R乘以列数C的乘积(在公开的实施方式中＝768×1024)。
访问次数的减少有助于加速曝光数据的产生。换句话说，曝光数据产生装置1可以高速产生曝光数据。
虽然这里已经参照附图描述了本发明的实施方式，但是很明显，本领域技术人员可以在不脱离本发明的范围的情况下作出很多变型和修改。

Claims (4)

1.一种曝光数据产生装置，该曝光数据产生装置包括：
第一存储器，其按位图格式存储绘图数据，作为用于曝光的第一数据；
第二存储器，其存储第二数据，根据所述第一数据，所述第二数据在列方向的数据单位被转换为各个单元的信息的分辨率单位；以及
曝光数据存储器，其存储曝光数据，所述曝光数据是通过在每个列单位的对第三数据的脉冲传输而获得的光栅数据，
将所述第二数据重新排列并转换为所述第三数据，其中，将所述第二数据在所述列方向的各个单元的数据排列改变为行方向，并且
所述单元构成根据所述曝光数据进行所述曝光的数字微镜装置的显示元素。
2.根据权利要求1所述的曝光数据产生装置，该曝光数据产生装置进一步包括单元坐标表，所述单元坐标表存储与所述单元的单元号对应的单元坐标的转换表；
其中，当在每个列单位进行对所述第三数据的所述脉冲传输时，根据通过访问所述单元坐标表而获得的、关于进行所述脉冲传输的所述列的先头单元的所述单元坐标的信息，在每个列单位读取所述第三数据。
3.根据权利要求2所述的曝光数据产生装置，其中，所述单元坐标表包括静态随机存取存储器。
4.根据权利要求1所述的曝光数据产生装置，该曝光数据产生装置进一步包括存储所述第三数据的动态随机存取存储器。
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