JP2006093294A

JP2006093294A - 描画装置および描画装置の制御方法

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Publication number: JP2006093294A
Application number: JP2004275118A
Authority: JP
Inventors: Daisuke Nakatani; 大輔中谷
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2004-09-22
Filing date: 2004-09-22
Publication date: 2006-04-06

Abstract

【課題】露光ヘッドが複数行にわたり配列された描画装置において、露光ヘッドの行間隔を狭め、描画にかかる時間を短縮する。この際、すべての露光ヘッドについて装置本体への取付け方が同じになるようにして、部品コストを抑える。
【解決手段】２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５を、１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５を１８０度回転させた向きに取り付け、１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５と２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５を、できるだけ近接させて配置する。２行目の露光ヘッドの空間光変調素子に入力する制御信号を生成するときには、１行目の露光ヘッドの空間光変調素子に入力する制御信号を生成するときと異なる順番で画像データを読み出し、空間光変調素子の向きに応じた制御信号を生成する。
【選択図】図２

Description

本発明は、空間光変調素子を備えた描画装置と、その制御方法に関する。

近年、空間光変調素子を用いた描画装置が種々提案されており、中でも、ミラー方式の空間光変調素子を用いた装置が注目されている。例えば、特許文献１には、デジタル・マイクロミラー・デバイス（テキサス・インスツルメンツ社の登録商標。以下、ＤＭＤという）を利用した露光装置が開示されている。

ＤＭＤは、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）の各メモリセルの上に、微小なミラー（以下、マイクロミラーという）が配置された構造の素子である。各マイクロミラーの傾きは、メモリセル内の電荷により生じる静電気力によって制御される。ＤＭＤを利用した描画装置では、１個のマイクロミラーが、画像を構成する１つの画素に対応する。メモリセルに画素値「１」が書き込まれたときには、マイクロミラーの向きは、マイクロミラーの反射光が記録媒体上で結像するような向きに制御される。一方、メモリセルに画素値「０」が書き込まれたときには、マイクロミラーの向きは、マイクロミラーの反射光が記録媒体に照射されないような向きに制御される。

上記露光装置は、上記ＤＭＤを一構成部品として備える露光ヘッドを、同じ向きに複数並べて配置し、それらの露光ヘッドを、感光材料からなる記録媒体に対し一方向に相対移動させることによって、記録媒体を露光する。露光ヘッドは、複数行にわたり千鳥状に配置されている。これは、露光ヘッドの幅は、構造上の制約からＤＭＤの幅より大きくならざるを得ないので、単に露光ヘッドを並べただけでは、記録媒体上に露光できない領域が生じてしまうからである。
特開２００３−３４５０３０号公報

露光ヘッドを複数行にわたり千鳥状に配置した場合、前の行の露光ヘッドによる露光が終了してから、次の行の露光ヘッドによる露光が終了するまでの間に時間差が生ずる。この時間差は、露光ヘッドの行間隔が大きいほど長くなる。すなわち、露光ヘッドの行間隔が大きいほど、描画に要する時間は長くなる。したがって、露光ヘッドの行間隔は狭いほど好ましいが、露光ヘッドの構造上の制約から、行間隔を狭めることは容易ではない。

露光ヘッドは、通常、上記ＤＭＤと、ＤＭＤに光を供給する照明光学系と、ＤＭＤによる反射光を記録媒体上に結像させる結像光学系を備えている。ＤＭＤと結像光学系は、記録媒体を配置するステージに対し垂直な筒状筐体の内部に構成される。照明光学系は、この筒状筐体に対し略垂直に取り付けられた別の筒状筐体内に構成される。

このような構造の露光ヘッドを複数行にわたり千鳥状に、かつ露光ヘッドの行間隔ができるだけ狭くなるように配置するためには、水平方向に突出する照明光学系の配置に注意しなければならない。このため、一般には、複数種類の取り付け部品を用意して露光ヘッドごとに取り付け方を工夫する必要があると考えられている。

しかし、コストの観点からみれば、取り付け部品の種類は少ないほうが好ましい。また、一般に、装置の製造あるいは点検や修理は部品の種類が多いほど困難になるため、製造・保守の観点からみても、取り付け部品の種類は少ないほうが好ましい。

本発明は、製造や保守が容易で且つ露光ヘッドの行間隔が狭く描画速度が速い描画装置を低コストで提供することを目的とする。また本発明は、そのための描画装置の制御方法を提案することを目的とする。

本発明は、上記目的を達成するために、光を供給する照明光学系、その照明光学系から供給された光を入力された制御信号に基づいて変調する空間光変調素子およびその空間光変調素子により変調された光を所定面に結像させる結像光学系を備える露光ヘッドを複数備えた描画装置であって、次のような露光ヘッドおよび制御信号生成手段を備えたことを特徴とする描画装置を提供する。

この描画装置が備える露光ヘッドの中の１以上の露光ヘッドは、第１の向きに配置されており、他の１以上の露光ヘッドは、第１の向きを略１８０度回転した第２の向きに配置されている。

第１の向きは、例えば、空間光変調素子を構成する単位素子の列方向と、露光ヘッドの走査方向とが同じになるような向きとする。あるいは、単位素子の列方向が露光ヘッドの走査方向と傾斜角θ（０≦θ≦９０）度をなすような向きとしてもよい。すなわち、空間光変調素子は、露光ヘッドの走査方向に対し斜めに配置されていてもよい。

なお、ここで空間光変調素子を構成する単位素子とは、個別に制御可能な単位素子を意味する。例えば空間光変調素子がＤＭＤの場合には、１個のマイクロミラーとその下のメモリセルのセットが単位素子に相当する。また、空間光変調素子を構成する単位素子は行列状に（２次元に）配列されるが、ここでは露光ヘッドを傾けずに配置したときの単位素子の走査線方向の並びを「列方向」と称することとする。

また、描画装置が備える制御信号生成手段は、第２の向きに配置された露光ヘッドの空間光変調素子に入力される制御信号により表される画像が、第１の向きに配置された露光ヘッドの空間光変調素子に入力される制御信号により表される画像を略１８０度回転した画像となるように、前記制御信号を生成する。

例えば、制御信号生成手段は、描画する画像を表す画像データを所定の向きに走査して得たデータを使用して、第１の向きに配置された露光ヘッドの空間光変調素子に入力する制御信号を生成し、同じ画像データを前記所定の向きと逆向きに走査して得たデータを使用して第２の向きに配置された露光ヘッドの空間光変調素子に入力する制御信号を生成する。

また、本発明の描画装置の制御方法は、光を供給する照明光学系、その照明光学系から供給された光を入力された制御信号に基づいて変調する空間光変調素子およびその空間光変調素子により変調された光を所定面に結像させる結像光学系を備える露光ヘッドを複数備えた描画装置の制御方法であって、次の処理を実行することを特徴とする。

まず、描画装置が備える所定の記憶媒体に前記各露光ヘッドの向きの情報を記憶しておく。そして露光ヘッドの向きの情報を利用して前記空間光変調素子に入力する制御信号を露光ヘッドごとに生成し、生成された制御信号を各露光ヘッドの空間光変調素子に入力する。

本発明の描画装置およびその制御方法では、空間光変調素子に入力する制御信号を生成する際、空間光変調素子の向きに応じた制御信号を生成するので、露光ヘッドを配置する際に、空間光変調素子の向きを一定の向きに揃える必要がない。このため、向きを調整して空間光変調素子同士をより近接させて配置することが可能になり、描画時間を短縮することができる。

以下、本発明の描画装置の一形態である露光装置について、図面を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る露光装置１０の外観の概略を表す図である。露光装置１０は、図に示すように、シート状の感光材料１２を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド２０が設置されている。ステージ１４は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド２０によって往復移動可能に支持されている。なお、この露光装置１０には、移動手段としてのステージ１４をガイド２０に沿って駆動するステージ駆動装置（図示せず）が設けられている。

設置台１８の中央部には、ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設けられている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。このゲート２２を挟んで一方の側にはスキャナ２４が設けられ、他方の側には感光材料１２の先端および後端を検知する複数（たとえば２個）のセンサ２６が設けられている。スキャナ２４およびセンサ２６はゲート２２に各々取り付けられて、ステージ１４の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ２４およびセンサ２６は、これらを制御する図示しないコントローラに接続されている。

図２は、スキャナ２４の詳細構造を表す図である。スキャナ２４は、図に示すように２行５列の略マトリックス状に配列された１０個の露光ヘッド３０を備えている。なお、以下の説明では、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド３０_ｍｎと表記する。

各露光ヘッド３０は、ＤＭＤと、ＤＭＤに光を供給する照明光学系と、ＤＭＤによる反射光をステージ１４上に設置された感光材料１２表面に結像させる結像光学系を備えている。ＤＭＤと結像光学系は、ステージ１４と垂直な筒状筐体２９の内部に構成され、照明光学系は、この筒状筐体２９に対し略垂直に取り付けられた別の筒状筐体２８内に構成されている。

図に示すように、１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５と、２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５とは、照明光学系を含む筒状筐体（以下、単に照明光学系という）２８_１１〜２８_１５と２８_２１〜２８_２５が衝突しないよう、異なる向きに取り付けられている。本実施形態では、２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５は、１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５を１８０度回転させた向きに取り付けられている。この際、１行目の露光ヘッドの構造と２行目の露光ヘッドの構造は同じであるため、２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５が備えるＤＭＤは、１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５が備えるＤＭＤを１８０度回転させた向きに配置されることとなる。

なお、実際には±０．１度以内の取付誤差があるため、完全に１８０度回転させた向きとならない場合もあるが、以下の説明では、便宜上、取付誤差がある場合も含め１８０度と表現するものとする。

図３は、上記スキャナ２４の構造の利点について説明するための図である。図３（Ａ）は、スキャナ２４の上面図である。図３（Ｂ）は、１行目の露光ヘッドと２行目の露光ヘッドを同じ向きに取り付けたスキャナの上面図である。

図３（Ｂ）に示すように、同じ構造の露光ヘッド３０を２行同じ向きに配置する場合には、照明光学系２８同士の衝突を避けるために露光ヘッドの行間を広く確保しなければならない。また、この構造では、スキャナ本体部分への露光ヘッドの取り付け方が、１行目と２行目とで異なることになるため、露光ヘッドを本体部分に取り付けるための部品（取付金具など）を、少なくとも２種類用意しなければならなくなる。

これに対し、図３（Ａ）に示す構造では、１行目の露光ヘッドと２行目の露光ヘッドを、照明光学系２８の位置を気にすることなく、十分に近接して配置することができる。また、この構造では、１行目の露光ヘッドも２行目の露光ヘッドも、スキャナ本体部分への露光ヘッドの取り付け方は同じになるため、部品は共通のものを用いることができる。

前述のように、１行目の露光ヘッドと２行目の露光ヘッドの行間が狭いほど、描画時間は短くなり、露光装置の製造や保守は、装置を構成する部品数が少ないほど簡単になる。部品数が少なければ、装置の製造コストを低く抑えることができる。このように、性能、製造、保守、コストのいずれの観点からみても、図３（Ａ）に示すスキャナ２４の構造に利点があることは明らかである。

但し、図２および図３（Ａ）に示す構造では、前述のように、２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５が備えるＤＭＤは、１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５が備えるＤＭＤを１８０度回転させた向きに配置されるため、ＤＭＤを制御する際に、ＤＭＤの向きを考慮した制御を行う必要がある。以下、露光ヘッド内部の詳細構造を開示しながら、ＤＭＤの制御方法について説明する。

図４は、各露光ヘッド３０の内部構造の概略を、露光装置が動作するときの光の経路とともに示した図である。前述のように、各露光ヘッド３０は、ＤＭＤ３６と、ＤＭＤに光を供給する照明光学系と、ＤＭＤによる反射光をステージ１４上に設置された感光材料１２表面に結像させる結像光学系を備えている。

図に示すように、照明光学系は、ファイバアレイ光源３８、ファイバアレイ光源３８から出射されたレーザ光を補正してＤＭＤ上に集光させるレンズ系４０、このレンズ系４０を透過したレーザ光をＤＭＤ３６に向けて反射するミラー４２により構成される。

なお、図ではレンズ系４０を概略的に示しているが、詳細には、レンズ系４０は、ファイバアレイ光源３８から出射されたレーザ光を平行光化する１対の組合せレンズ、平行光化されたレーザ光の光量分布が均一になるように補正する１対の組合せレンズ、および光量分布が補正されたレーザ光をＤＭＤ３６上に集光する集光レンズで構成されている。

また、結像光学系は、ＤＭＤ３６で反射されたレーザ光を感光材料１２の露光面上に結像するレンズ系５０により構成される。レンズ系５０は、ＤＭＤ３６と感光材料１２の露光面とが共役な関係となるように配置された、２枚のレンズ５２および５４からなる。

本実施形態では、ファイバアレイ光源３８から出射されたレーザ光は、実質的に５倍に拡大された後、ＤＭＤ３６上の各マイクロミラーからの光線が上記のレンズ系５０によって約５μｍに絞られるように設定されている。

図５は、ＤＭＤ３６の一部を拡大して表した図である。ＤＭＤ３６は、ＳＲＡＭ５６の各メモリセル上に各々画素（ピクセル）を構成するマイクロミラー５８を配置してなるミラーデバイスである。本実施形態では、１０２４列×７６８行のマイクロミラー５８が配されてなるＤＭＤを使用する。

各マイクロミラー５８は支柱に支えられており、その表面にはアルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。本実施形態では、各マイクロミラー５８の反射率は９０％以上であり、その配列ピッチは縦方向、横方向ともに１３．７μｍである。ＳＲＡＭ５６は、ヒンジおよびヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳであり、多数のメモリセルがモノリシック（一体型）に構成されている。

なお、本実施形態では、ＤＭＤ３６が備える１０２４列×７６８行のマイクロミラーのうち、１０２４列×２５６行のマイクロミラーのみを駆動させて露光を行う。ＤＭＤの１ライン当りの変調速度は使用するマイクロミラー数に比例するため、一部のマイクロミラーのみを使用することにより１ライン当りの変調速度を向上させている。

ＳＲＡＭ５６の各メモリセルに、データ値「１」または「０」が書き込まれると、支柱に支えられた各マイクロミラー５８が、対角線を中心としてＤＭＤ３６が配置された基板側に対して±α度（たとえば±１０度）のいずれかに傾く。図は、各マイクロミラー５８が＋α度または−α度に制御されている状態の一例を示している。

マイクロミラー５８が＋α度傾いている状態では、マイクロミラーの反射光は結像光学系を経てステージ１４の感光材料１２に照射される。マイクロミラー５８が−α度傾いている状態では、マイクロミラーの反射光は結像光学系に入射されず、感光材料１２に照射されることはない。

この構造によれば、二値画像を構成する各画素の値「１」または「０」を各ＳＲＡＭ５６の各メモリセルに書き込むことにより、感光材料１２上にＳＲＡＭセル５６に書き込んだ二値画像と同等の画像を形成することができる。ＳＲＡＭ５６へのデータの書込みと、マイクロミラーの駆動は、ＤＭＤ３６に接続されたコントローラにより制御される。

図６は、コントローラの機能について説明するための図である。図に示すように、コントローラは、ＤＭＤ３６に入力する制御信号を生成する制御信号生成部６２と、ＤＭＤ３６のミラーの駆動を制御するミラー駆動制御部６４を備える。

感光材料上に形成する画像を表す画像データ６８は、画像メモリ６６に記憶されている。画像データ６８は、ＣＡＤシステムなど他のシステムにより生成されて露光装置１０に入力された二値画像データである。あるいは、他のシステムから露光装置１０に入力され、露光装置１０内で二値化された画像データでもよい。

また、前述のように、各露光ヘッドが備えるＤＭＤ３６は、複数のメモリセルを備えたＳＲＡＭ５６と、ＳＲＡＭ５６の各メモリセルの上に配置されたマイクロミラー５８とにより構成される。なお、ＳＲＡＭとマイクロミラーの構造は図５を参照して説明したとおりであるが、図６では、コントローラの機能を説明する便宜上、ＳＲＡＭとマイクロミラーを並べて表示している。

コントローラ６０の制御信号生成部６２は、画像メモリ６６に対し、画像メモリ６６の所望のアドレスを指定する信号（以下、アドレス指定信号という）を供給する。画像メモリ６６は、このコントローラ６０からの信号を受けて、指定されたアドレスに格納されているデータを、ＤＭＤ３６のＳＲＡＭ５６へと転送する。転送されたデータはＳＲＡＭ５６のメモリセル群７２に書き込まれる。

各露光ヘッドにより記録される画像（画像の一部領域）はそれぞれ異なるため、制御信号生成部６２により指定されるアドレスは、露光ヘッドごとに異なる。

また、前述のように、本実施形態では、ＤＭＤ３６が備える１０２４列×７６８行のマイクロミラーのうち、１０２４列×２５６行のマイクロミラーのみを駆動させて露光を行う。このため、制御信号生成部６２は、１０２４×２５６画素分の部分画像データ７０が画像メモリ６８から読み出され、ＳＲＡＭ５６のメモリセル群７２に書き込まれるように、アドレス指定信号を発生させる。

ＳＲＡＭ５６のメモリセル群７２に１０２４×２５６画素分のデータが書き込まれると、コントローラ６０のミラー駆動制御部６４が作動する。ミラー駆動制御部６４は、各ＤＭＤに対しリセット信号を送信する。リセット信号を受けると、ＤＭＤ３６のマイクロミラーに対し、ＳＲＡＭ５６のメモリセル群７２に蓄積された電荷により生じた静電気力が働く。メモリセル群のデータに変更があった場合には、データが変更されたメモリセルに対応するマイクロミラー５８に吸引力が働き、そのマイクロミラー５８の向きが変化する。

ＳＲＡＭ５６のメモリセル群７２に記録されていたデータは、リセット信号受信時に消去される。データが消去された後のメモリセル群７２には、画像メモリ６６から読み込まれた次のデータが書き込まれる。

以降、コントローラ６０の制御信号生成部６２およびミラー駆動制御部６４は、画像データ６８を構成するすべての画素の値を読み終えるまで、同様の処理を繰り返す。

ここで、画像メモリ６６からのデータ読込みと、ＳＲＡＭ５６へのデータ書込みについて、さらに説明する。

図２および図３を参照して説明したように、本実施形態の露光装置１０では、２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５が備えるＤＭＤは、１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５が備えるＤＭＤを１８０度回転させた向きに配置されている。このため、コントローラ６０の制御信号生成部６２は、１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５が備えるＤＭＤ用の制御信号を生成するときと、２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５が備えるＤＭＤ用の制御信号を生成するときとで、異なる処理を実行する。

各露光ヘッドが取り付けられている向きの情報は、図示されないメモリに予め記憶されており、制御信号生成部６２は、その情報を参照することにより実行すべき処理を判断する。

以下、描画する画像の左上隅に「Ｐ」という文字画像が、連続して２個描かれている場合を例にあげて説明する。詳細には、座標値（０，０）〜（１０２３，２５５）の範囲に文字画像「Ｐ」が含まれており、さらに、その領域に隣接する座標値が（１０２４，０）〜（２０４７，２５５）の範囲にも同じく文字画像「Ｐ」が含まれているものとする。

露光ヘッドの配置が図２に示した配置である場合、座標値が（０，０）〜（１０２３，２５５）の範囲の画像は露光ヘッド３０_１１により描画され、座標値が（１０２４，０）〜（２０４７，２５５）の範囲の画像は露光ヘッド３０_２１により描画される。よって、以下、この２つの露光ヘッド３０_１１および露光ヘッド３０_２１を対象とした制御信号生成処理について説明する。

図７（Ａ）は、露光ヘッド３０_１１を対象とした制御信号生成処理、図７（Ｂ）は、露光ヘッド３０_２１を対象とした制御信号生成処理を表す。

制御信号生成部６２は、露光ヘッド３０_１１のＤＭＤ用の制御信号を生成する場合には、図７（Ａ）に示すように、まず、座標値（１０２３，０）に相当するアドレスを指定し、以降、座標値（１０２２，０）から（０，０）に相当するアドレスを順番に指定する。続いて、座標値（１０２３，１）から（０，１）に相当するアドレスを順番に指定し、同様にして（０，２５５）に相当するアドレスまで順番に指定する。

指定された位置の画素値は、図に示すように、ＳＲＡＭ５６のメモリセルに、セル（０，０）から順番に書き込まれる。

一方、制御信号生成部６２は、露光ヘッド３０_２１のＤＭＤ用の制御信号を生成する場合には、図７（Ｂ）に示すように、座標値（１０２４，２５５）に相当するアドレスを指定し、以降、座標値（１０２５，２５５）から（２０４７，２５５）に相当するアドレスを順番に指定する。続いて、座標値（１０２４，２５４）から（２０４７，２５４）に相当するアドレスを順番に指定し、同様にして（２０４７，０）に相当するアドレスまで順番に指定する。

図７（Ａ）に示すように、露光ヘッド３０_１１を対象とした制御信号生成処理では、画像データの上部から下部に向かってデータが読み込まれ、ＳＲＡＭ５６の上部から下部に向かってデータが書き込まれる。これに対し、図７（Ｂ）に示すように、露光ヘッド３０_２１を対象とした制御信号生成処理では、画像データの下部から上部に向かってデータが読み込まれ、ＳＲＡＭ５６の上部から下部に向かってデータが書き込まれる。

すなわち、露光ヘッド３０_２１を対象とした制御信号生成処理では、画像メモリからデータを読み出す際に、露光ヘッド３０_１１を対象とした制御信号生成処理と逆向きの走査を行う。これにより、同じ文字画像「Ｐ」を画像メモリから読み出した場合でも、露光ヘッド３０_１１を対象とした処理と露光ヘッド３０_２１を対象とした処理では、ＳＲＡＭ５６に書き込まれるデータが表す画像の向きは、上下左右ともに反対になる。

図８は、露光ヘッド３０により感光材料１２を走査したときの露光状況を表す図である。図８（Ａ）は感光材料１２上の露光済み領域を示し、図８（Ｂ）は各露光ヘッドの露光エリアの位置関係を示している。

図に示すように、ステージ１４の移動に伴い、感光材料１２は露光ヘッド３０ごとに帯状に露光され、露光済み領域３４には画像が形成される。各行の露光ヘッド３０は、その配列方向に所定間隔(露光エリア３２の長辺の自然数倍、本実施形態では２倍)ずらして配置されている。これにより、１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５により露光されなかった部分は、２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５により露光される。

このように、本実施形態の露光装置１０では、１行目の露光ヘッドと２行目の露光ヘッドが近接して配置され、コントローラ６０の制御信号生成部６２により各露光ヘッドの向きに応じたＤＭＤの制御信号が生成されるため、画像メモリ６６内の画像データが表す画像を感光材料１２上に短時間で形成することができる。

なお、描画装置の中には、図９に示すように、帯状の露光済み領域３４のそれぞれが隣接する露光済み領域３４と部分的に重なるように、露光ヘッド３０_１１〜３０_１５および３０_２１〜３０_２５を斜めに配置したものがある。このような装置では、露光ヘッドは、ＤＭＤのマイクロミラーの列方向の並びが、露光ヘッドの走査方向と傾斜角θ（０≦θ≦９０）度をなすように取り付けられているが、そのような場合でも、２行目の露光ヘッド３０_２１〜３０_２５を１行目の露光ヘッド３０_１１〜３０_１５を概ね１８０度回転させた向きに取り付け、図７を参照して説明したのと同様の処理を行えば、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。

また、ステージ移動方向と垂直な方向に移動可能なスキャナを設け、ステージの移動とスキャナの移動を制御することによって、露光ヘッドが描画面を斜めに走査できるようにした装置も知られている（例えば特開２００３−５０４６９号公報参照）。このような装置は、露光ヘッドの走査方向が一方向でないという点で上記実施形態の装置と異なるが、本発明の効果は露光ヘッドの走査方向に拘わらず生ずる効果であるため、本発明は、このような装置にも適用可能である。

また、上記実施形態の露光装置１０は２行５列の露光ヘッドを備える装置であるが、本発明が、３行以上の露光ヘッドを備える装置、４列以下あるいは６列以上の露光ヘッドを備える装置でも部分的に適用可能な発明であることは言うまでもない。

なお、上記実施形態の露光装置１０は、ＤＭＤ３６が備えるマイクロミラーのうち一部のマイクロミラーのみを駆動させて露光を行っているが、すべてのマイクロミラーを駆動させてもよい。また、上記実施形態の露光装置１０は、反射型空間光変調素子の一種であるＤＭＤを採用したものであるが、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を採用してもよい。その他、上記実施形態の露光装置１０には種々の改変を加えることが可能である。

すなわち、本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲のみによって定められるべきものであることは言うまでもなく、上記実施の形態は一例に過ぎない。

本実施形態に係る露光装置の外観の概略を示す図スキャナの詳細構造を示す図図２の構造の利点について説明するための図露光ヘッドの内部構造の概略を示す図ＤＭＤの一部を拡大して表した図コントローラの機能について説明するための図制御信号生成処理について説明するための図露光ヘッドにより感光材料を走査したときの露光状況を表す図本発明の他の実施形態について説明するための図

符号の説明

１０露光装置、１２感光材料、１４移動ステージ、１６脚部、
１８設置台、２０ガイド、２２ゲート、２４スキャナ、２６センサ、
２８照明光学系を含む筐体、２９ＤＭＤおよび結像光学系を含む筐体、
３０露光ヘッド、３２露光エリア、３４露光済み領域、３６ＤＭＤ、
３８ファイバアレイ光源、４０，５０レンズ系、４２ミラー、
５２，５４レンズ、５６ＳＲＡＭ、５８マイクロミラー、
６０コントローラ、６２制御信号生成部、６４ミラー駆動制御部、
６６画像メモリ、６８画像データ、７０部分画像データ、
７２メモリセル群

Claims

光を供給する照明光学系、該照明光学系から供給された光を入力された制御信号に基づいて変調する空間光変調素子および該空間光変調素子により変調された光を所定面に結像させる結像光学系を備える露光ヘッドを複数備えた描画装置であって、
第１の向きに配置された１以上の露光ヘッドと、
前記第１の向きを略１８０度回転した第２の向きに配置された１以上の露光ヘッドと、
前記第２の向きに配置された露光ヘッドの空間光変調素子に入力される制御信号により表される画像が、前記第１の向きに配置された露光ヘッドの空間光変調素子に入力される制御信号により表される画像を略１８０度回転した画像となるように、前記制御信号を生成する制御信号生成手段とを備えたことを特徴とする描画装置。
前記第１の向きは、空間光変調素子を構成する単位素子の列方向が露光ヘッドの走査方向と傾斜角θ（０≦θ≦９０）度をなすような向きであることを特徴とする請求項１記載の描画装置。
前記制御信号生成手段は、
描画する画像を表す画像データを所定の向きに走査して得たデータを使用して、前記第１の向きに配置された露光ヘッドの空間光変調素子に入力する制御信号を生成し、
前記画像データを前記所定の向きと逆向きに走査して得たデータを使用して、前記第２の向きに配置された露光ヘッドの空間光変調素子に入力する制御信号を生成することを特徴とする請求項１または２記載の描画装置。
光を供給する照明光学系、該照明光学系から供給された光を入力された制御信号に基づいて変調する空間光変調素子および該空間光変調素子により変調された光を所定面に結像させる結像光学系を備える露光ヘッドを複数備えた描画装置の制御方法であって、
前記描画装置が備える所定の記憶媒体に前記各露光ヘッドの向きの情報を記憶しておき、
該露光ヘッドの向きの情報を利用して前記空間光変調素子に入力する制御信号を露光ヘッドごとに生成し、
生成された制御信号を各露光ヘッドの空間光変調素子に入力することを特徴とする描画装置の制御方法。