JP2009075557A - リソグラフィのための複数のアクチュエータおよび照明装置を制御する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アクチュエータ(21)の少なくとも幾つかのグループがコントローラ(30)により個別に制御可能であり、各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに、少なくとも1つの記憶素子(24)が割り当てられており、この記憶素子が、1つ以上のアクチュエータを制御するための少なくとも1つのパラメータを記憶することができ、これにより、少なくとも2つのパラメータが、各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに割り当てられ、アクチュエータの1つの位置がそれぞれのパラメータに割り当てられる。
【選択図】図3
Description
Claims (27)
- コントローラ(30,31)により複数のアクチュエータ(21)を制御するための装置を備えており、前記複数のアクチュエータ(21)が、前記コントローラによって制御可能であり、該コントローラによって少なくとも幾つかのアクチュエータグループを個別に制御することができる、マイクロリソグラフィのための投影露出システムにおいて、第1組のアクチュエータの各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに、少なくとも1つの記憶素子(24)が割り当てられており、該記憶素子(24)が、1つ以上のアクチュエータを制御するための少なくとも1つのパラメータを記憶することができ、これにより、少なくとも2つのパラメータが、各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに割り当てられ、アクチュエータの1つの位置がそれぞれのパラメータに割り当てられることを特徴とする、マイクロリソグラフィのための投影露出システム。
- 前記投影露出システムに、第1組のアクチュエータとは異なる第2組のアクチュエータのうち、いずれのアクチュエータも配置されていないか、または第2組のアクチュエータの少なくとも1つのアクチュエータが、付加的に配置されている、請求項1記載の投影露出システム。
- それぞれの前記アクチュエータ(21)が、前記コントローラ(30,31)を介して個々に制御可能である、請求項1記載の投影露出システム。
- 前記第1組のアクチュエータの各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに、少なくとも1つの前記記憶素子(24)が割り当てられており、該記憶素子(24)が、アクチュエータを制御するための少なくとも2つのパラメータを記憶することができ、アクチュエータの1つの位置が、それぞれのパラメータに割り当てられる、請求項1から3までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記第1組のアクチュエータの各アクチュエータ(21)または各アクチュエータグループのために、2つ以上の前記記憶素子が割り当てられ、該記憶素子が、アクチュエータを制御するための1つ以上のパラメータを記憶することができ、アクチュエータの1つの位置が、それぞれのパラメータに割り当てられる、請求項1から4までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 記憶された前記パラメータが、前記第1組のアクチュエータの前記アクチュエータ(21)のための制御信号である、請求項1から5までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 記憶された前記パラメータが、前記第1組のアクチュエータのアクチュエータに設けられた1つ以上の運動自由度のための制御信号を備える、請求項1から6までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記記憶装置(30,31)が、複数のサブコントローラ(32)を備えており、該サブコントローラが、特にその数において第1組のアクチュエータのアクチュエータまたはアクチュエータグループの数に対応している、請求項1から7までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記コントローラ(30,31)および前記サブコントローラ(32)が、調整ユニットとして形成されている、請求項1から8までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記コントローラ(30)が、集積回路または特定用途向け集積回路ASIC(23)を備えているか、または、集積回路または特定用途向け集積回路ASIC(23)のいずれかによって形成されており、該集積回路または特定用途向け集積回路ASIC(23)が、個々の、または幾つかの、または全てのアクチュエータに制御信号を供給する、請求項1から9までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記記憶素子(24)が、集積回路または前記特定用途向け集積回路ASIC(23)の部分である、請求項1から10までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記記憶素子内に記憶されたパラメータが、第1組のアクチュエータのアクチュエータ(21)を制御するために直接に提供されている、請求項1から11までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記記憶素子(24)が、不揮発性の記憶素子によって形成されている、請求項1から12までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記記憶素子が、RAM、SRAM、DRAM、SDRAM、ROM、EPROM、EEPROM、FLASHメモリ素子を含むグループから選択される、請求項1から13までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記第1組のアクチュエータの前記アクチュエータ(21)が、MEMS(微小電気機械システム)ユニットによって形成されている、請求項1から14までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記装置が、1ウェーハシステム、2ウェーハシステム、3ウェーハシステム、4ウェーハシステムまたはマルチウェーハシステムを備えている、請求項1から15までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記アクチュエータが、投影装置、マイクロリソグラフィのための投影露出システム、光変調器、空間光変調器(SLMs)、およびマルチミラーアレイ(MMAs)(2,12,17)からなるグループの装置に用いられる操作システムの部分である、請求項1から16までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記アクチュエータ(21)が、ミラー素子(22)を位置決めするための対応数だけ設けられている、請求項1から17までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記アクチュエータ(21)が、6百万個または4百万個までの、または4,000〜1,000,000個のミラー(22)を位置決めするための対応数だけ設けられており、それぞれのミラーが、少なくとも2つの回転軸を中心として好ましくは旋回可能である、請求項1から18までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 前記装置が、照明光学系および/または投影レンズ内に設けられている、請求項1から19までのいずれか1項記載の投影露出システム。
- 好ましくは請求項1から20までのいずれか1項記載の装置を用いて、コントローラ(30,31)によって投影露出システム内の複数のアクチュエータ(21)を制御する方法において、前記コントローラによって少なくとも幾つかのアクチュエータグループを個別に制御できるようにし、第1組のアクチュエータの各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに、少なくとも1つの記憶素子(24)を割り当て、第1組のアクチュエータの各アクチュエータまたは各アクチュエータグループのために、第1組のアクチュエータの1つ以上のアクチュエータを制御するための少なくとも1つのパラメータを、割り当てられた少なくとも1つの記憶素子に記憶し、これにより、第1組のアクチュエータの各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに少なくとも2つのパラメータを割り当て、前記アクチュエータの1つの位置をそれぞれのパラメータに割り当てる、投影露出システム内の複数のアクチュエータ(21)を制御する方法。
- 少なくとも2つのパラメータを記憶素子に記憶し、1つ以上のパラメータを、前記第1組のアクチュエータのアクチュエータまたはアクチュエータグループに割り当てられた幾つかの記憶素子にそれぞれ記憶する、請求項21記載の方法。
- 複数のアクチュエータの少なくとも幾つかの記憶素子に、アクチュエータによって駆動される素子の動作中にパラメータを供給する、請求項21または22記載の方法。
- アクチュエータが周期的または段階的に操作される場合に、アクチュエータの記憶素子に、少なくとも2つ以上の周期または段階のためのパラメータを供給する、請求項21または23記載の方法。
- 前記第1組のアクチュエータのアクチュエータまたはアクチュエータグループに割り当てられた前記記憶素子に、記憶された第1のパラメータ値を有するアクチュエータの動作中または切換周期中に、第1のパラメータとは異なる第2のパラメータを読み込む、請求項21から24までのいずれか1項記載の方法。
- 前記記憶素子に、連続して一時的にパラメータを読み込む、請求項21から25までのいずれか1項記載の方法。
- パラメータを1つの周期で、または繰返し周期で、交換する、請求項21から26までのいずれか1項記載の方法。
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