JP2005257981A - 光変調素子アレイの駆動方法、光変調装置、及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 形成したい画像に基づいて画像形成装置の光学出力をONからON、ONからOFF、OFFからON、OFFからOFFに切り替える場合、切り替え前に可動ミラーを強制的にOFF状態にし、この状態で光学出力ONへの切り替えを開始する。
【選択図】 図3
Description
図9に示すように、SLM70は、シリコン基板71上に形成されたメモリ機能を有する駆動回路72と、駆動回路72上に図示しない絶縁膜を介して形成される第1固定電極73及び第2固定電極74と、第1固定電極73及び第2固定電極74と空隙を介して対峙し、シリコン基板71に立設される支持部(不図示)によって支持されたヒンジ部75によりシリコン基板71に対して弾性変位可能に支持される可動ミラー76と、2つのパッド77とを備える。
画像形成装置80は、レーザ、高圧水銀ランプ、及びショートアークランプ等の光源82と、上記光変調装置と、画像形成面である感材やスクリーン等に対して光を投影するためのマイクロレンズアレイ等からなる投影光学系81とを備える。画像形成装置80は、光源82からの光をSLM70の可動ミラー76に入射し、可動ミラー76からの反射光を投影光学系81に入射させたり、投影光学系81に入射させないようにしたりすることで光変調を行い、画像形成面に画像を形成する。
図10の画像形成装置80は、(a)に示すように、可動ミラー76が左に傾いてパッド77に接触した状態(この状態を可動ミラー76の左最終変位状態という)では、反射光が投影光学系81に入射して、光が画像形成面に到達する。又、(b)に示すように、可動ミラー76が左右どちらにも傾いていない状態では反射光が投影光学系81に入射せず、光は画像形成面に到達しない。又、(c)に示すように、可動ミラー76が右に傾いてパッド77に接触した状態(この状態を可動ミラー76の右最終変位状態という)では、反射光が投影光学系81に入射せず、光は画像形成面に到達しない。
図11は、従来の光変調装置を搭載する画像形成装置80の動作を説明するためのタイミングチャートである。
(a)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をONからONに切り替える際のタイミングチャート、(b)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をOFFからONに切り替える際のタイミングチャート、(c)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をONからOFFに切り替える際のタイミングチャート、(d)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をOFFからOFFに切り替える際のタイミングチャートである。図11では、可動ミラー76が左最終変位状態にあるときを可動ミラー76の変位がONであるものとし、可動ミラー76が右最終変位状態にあるときを可動ミラー76の変位がOFFであるものとした。
画像形成装置80では、駆動バイアス電圧Vbを下げ、画像に基づく駆動データに応じて可動ミラー76を変位させてから、再度駆動バイアス電圧Vbを下げ、新しい画像に基づく駆動データに応じて可動ミラー76を変位させるまでの期間を駆動サイクルTcとして、この駆動サイクルTcを繰り返す。図11において、Tw(d)は、駆動データの書き込み時間を示す。Tr(d)は、可動ミラー76の変位がONからOFF、又はOFFからONになるまでの時間であり、この時間が可動ミラー76の応答時間となる。
本発明の第一実施形態を説明するための露光装置やプロジェクタ等の画像形成装置は、図10に示した画像形成装置80と同様の構成のものである。このため、以下では、必要に応じて図7、図9、図10を援用して説明する。
図1の光変調装置10は、同一平面上の行方向(図1のX方向)にSLM70がN個配列されたSLM行11が、列方向(図1のY方向)にM行配列されたSLMアレイ12と、SLM行11毎に駆動データを書き込む駆動データ書き込み部13と、駆動バイアス電圧VbをSLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加し、駆動バイアス電圧Vbを制御して可動ミラー76の変位状態を制御する駆動制御部14と、駆動データの書き込みを行うSLM行11を選択する行選択部15と、駆動データ書き込み部13及び行選択部15を制御する書き込み制御部16とを備える。
尚、駆動バイアス電圧Vbの制御は、1行毎、複数行のブロック毎、全行毎等、任意の行単位で行うことが可能である。例えば、1行単位の制御の場合、指定の行に駆動データを書き込んだ後、指定の行の駆動バイアス電圧Vbを同時に制御し、指定の行の可動ミラーの変位状態を同時に制御する。複数行のブロック単位の制御の場合、指定のブロックの行毎に駆動データを書き込んだ後、指定のブロックの駆動バイアス電圧Vbを同時に制御し、可動ミラーの変位状態を同時に制御する。全行単位の制御の場合、全ての行に駆動データを書き込んだ後、全ての行の駆動バイアス電圧Vbを同時に制御し、可動ミラーの変位状態を同時に制御する。
図2に示す駆動回路72は、メモリ回路であるSRAM72aを有し、SRAM72aは、トランジスタ72bと、2つのNOT回路72cとを備える。
図2に示すように、行選択信号EN[j]で選択されたSRAM72aにトランジスタ72bを介して駆動データD[i]が供給され、この駆動データD[i]に応じたアドレス電圧Va1及びVa2が、NOT回路72cから第1固定電極73及び第2固定電極74に出力される。駆動データとしてQというデータが書き込まれると、第1固定電極73にはQに応じた電圧(例えば5V)が、第2固定電極74にはNOTQ(/Q)に応じた電圧(例えば0V)が印加され、駆動データとしてNOTQ(/Q)というデータが書き込まれると、第1固定電極73にはNOTQ(/Q)に応じた電圧(例えば0V)が、第2固定電極74にはQに応じた電圧(例えば5V)が印加される。
図3は、本発明の第一実施形態を説明するための光変調装置10を搭載する画像形成装置80の動作を説明するためのタイミングチャートである。
(a)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をONからONに切り替える際のタイミングチャート、(b)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をOFFからONに切り替える際のタイミングチャート、(c)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をONからOFFに切り替える際のタイミングチャート、(d)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をOFFからOFFに切り替える際のタイミングチャートである。図3では、可動ミラー76が左最終変位状態にあるときを可動ミラー76の変位がONであるものとし、可動ミラー76が右最終変位状態にあるときを可動ミラー76の変位がOFFであるものとした。
尚、図3では、形成したい画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をON又はOFFに駆動する期間のことを、駆動サイクルT1又はT2で示した。光変調装置10は、この駆動サイクルT1又はT2を繰り返すことで、光変調を行って画像形成面に画像を形成させる。
駆動データ書き込み部13は、駆動サイクルT1において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をONにするためのデータ)をSLM70のメモリ回路に書き込む。 書き込み後、駆動制御部14は、画像に基づく駆動データ10bを書き込んだSLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76は、その変位がOFFからONに遷移し始め、変位が光学的閾値よりもON側になった時点で、可動ミラー76は画像に基づくON状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくONとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位がONのときに、駆動データ書き込み部13が、SLM70のメモリ回路に画像に関係のない駆動データ10a(可動ミラー76の変位をOFFにするためのデータ)を書き込む。書き込み後、駆動制御部14が、駆動データ10aを書き込んだSLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、可動ミラー76の変位がONからOFFに遷移し、変位が光学的閾値よりもOFF側になった時点で、可動ミラー76はOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力はOFFとなる。
駆動データ書き込み部13は、駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10c(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込み、駆動サイクルT2を終了する。
駆動データ書き込み部13は、駆動サイクルT1において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をONにするためのデータ)をSLM70のメモリ回路に書き込む。書き込み後、駆動制御部14は、画像に基づく駆動データ10bを書き込んだSLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76は、その変位がOFFからONに遷移し始め、変位が光学的閾値よりもON側になった時点で、可動ミラー76は画像に基づくON状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくONとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位がONのときに、駆動データ書き込み部13が、SLM70のメモリ回路に画像に関係のない駆動データ10a(可動ミラー76の変位をOFFにするためのデータ)を書き込む。書き込み後、駆動制御部14が、駆動データ10aを書き込んだSLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、可動ミラー76の変位がONからOFFに遷移し、変位が光学的閾値よりもOFF側になった時点で、可動ミラー76はOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力はOFFとなる。
駆動データ書き込み部13は、駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10c(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込み、駆動サイクルT2を終了する。
駆動データ書き込み部13は、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をOFFにするためのデータ)をSLM70のメモリ回路に書き込む。書き込み後、駆動制御部14は、画像に基づく駆動データ10bを書き込んだSLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76の変位がOFFのまま維持され、可動ミラー76は画像に基づくOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくOFF状態となる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10bに応じてOFFになっているときに、駆動データ書き込み部13が、SLM70のメモリ回路に画像に関係のない駆動データ10a(可動ミラー76の変位をOFFにするためのデータ)を書き込む。書き込み後、駆動制御部14が、駆動データ10aを書き込んだSLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、可動ミラー76の変位がOFFのまま維持され、画像形成装置80の光学出力はOFFを維持する。
駆動データ書き込み部13は、駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10c(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込み、駆動サイクルT2を終了する。
駆動データ書き込み部13は、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をOFFにするためのデータ)をSLM70のメモリ回路に書き込む。書き込み後、駆動制御部14は、画像に基づく駆動データ10bを書き込んだSLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76の変位がOFFのまま維持され、可動ミラー76は画像に基づくOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくOFFとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10bに応じてOFFになっているときに、駆動データ書き込み部13が、SLM70のメモリ回路に画像に関係のない駆動データ10a(可動ミラー76の変位をOFFにするためのデータ)を書き込む。書き込み後、駆動制御部14が、駆動データ10aを書き込んだSLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、可動ミラー76の変位がOFFのまま維持され、画像形成装置80の光学出力はOFFを維持する。
駆動データ書き込み部13は、駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10c(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込み、駆動サイクルT2を終了する。
本発明の第二実施形態を説明するための露光装置やプロジェクタ等の画像形成装置に搭載される光変調装置は、図1に示した光変調装置10と同様の構成であるため、必要に応じて図1を援用して説明する。
(a)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をONからONに切り替える際のタイミングチャート、(b)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をOFFからONに切り替える際のタイミングチャート、(c)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をONからOFFに切り替える際のタイミングチャート、(d)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をOFFからOFFに切り替える際のタイミングチャートである。図4では、可動ミラー76が左最終変位状態にあるときを可動ミラー76の変位がONであるものとし、可動ミラー76が右最終変位状態にあるときを可動ミラー76の変位がOFFであるものとした。
尚、図4では、形成したい画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をON又はOFFに駆動する期間のことを、駆動サイクルT1又はT2で示した。光変調装置10は、この駆動サイクルT1又はT2を繰り返すことで、光変調を行って画像形成面に画像を形成させる。
駆動データ書き込み部13は、駆動バイアス電圧Vbが下がっている間に、SLM70のメモリ回路に画像に基づく駆動データ10a(可動ミラー76の変位をONにするためのデータ)を書き込む。書き込み後、駆動制御部14が、上記下げた駆動バイアス電圧Vbを元に戻す。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76の変位がフラット位置からONに遷移し、変位が光学的閾値よりもON側になった時点で、可動ミラー76は画像に基づくON状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくONとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてONになっているときに、駆動制御部14は、可動ミラー76の変位がフラット位置になるまで、可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを下げる。これにより、可動ミラー76の変位はONからフラット位置に遷移し、変位が光学的閾値よりもフラット位置側になった時点で、可動ミラー76はOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力はOFFとなる。
駆動データ書き込み部13は、駆動バイアス電圧Vbが下がっている間に、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込み、駆動サイクルT2を終了する。
駆動データ書き込み部13は、駆動バイアス電圧Vbが下がっている間に、SLM70のメモリ回路に画像に基づく駆動データ10a(可動ミラー76の変位をONにするためのデータ)を書き込む。書き込み後、駆動制御部14が、上記下げた駆動バイアス電圧Vbを元に戻す。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76の変位がフラット位置からONに遷移し、変位が光学的閾値よりもON側になった時点で、可動ミラー76は画像に基づくON状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくONとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてONになっているときに、駆動制御部14は、可動ミラー76の変位がフラット位置になるまで可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを下げる。これにより、可動ミラー76の変位はONからフラット位置に遷移し、変位が光学的閾値よりもフラット位置側になった時点で、可動ミラー76はOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力はOFFとなる。
駆動データ書き込み部13は、駆動バイアス電圧Vbが下がっている間に、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込み、駆動サイクルT2を終了する。
駆動データ書き込み部13は、駆動バイアス電圧Vbが下がっている間に、SLM70のメモリ回路に画像に基づく駆動データ10a(可動ミラー76の変位をOFFにするためのデータ)を書き込む。書き込み後、駆動制御部14が、上記下げた駆動バイアス電圧Vbを元に戻す。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76の変位がフラット位置からOFFに遷移し、可動ミラー76は画像に基づくOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくOFFとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、駆動制御部14は、可動ミラー76の変位がフラット位置になるまで可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを下げる。これにより、可動ミラー76の変位はOFFからフラット位置に遷移し、可動ミラー76はOFF状態を維持し、画像形成装置80の光学出力はOFFを維持する。
駆動データ書き込み部13は、駆動バイアス電圧Vbが下がっている間に、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込み、駆動サイクルT2を終了する。
駆動データ書き込み部13は、駆動バイアス電圧Vbが下がっている間に、SLM70のメモリ回路に画像に基づく駆動データ10a(可動ミラー76の変位をOFFにするためのデータ)を書き込む。書き込み後、駆動制御部14が、上記下げた駆動バイアス電圧Vbを元に戻す。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76の変位がフラット位置からOFFに遷移し、可動ミラー76は画像に基づくOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくOFFとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、駆動制御部14は、可動ミラー76の変位がフラット位置になるまで可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを下げる。これにより、可動ミラー76の変位はOFFからフラット位置に遷移し、可動ミラー76はOFF状態を維持し、画像形成装置80の光学出力はOFFを維持する。
駆動データ書き込み部13は、駆動バイアス電圧Vbが下がっている間に、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込み、駆動サイクルT2を終了する。
本発明の第三実施形態を説明するための露光装置やプロジェクタ等の画像形成装置は、図10に示した画像形成装置80と同様の構成のものである。このため、以下では、必要に応じて図7、図9、図10を援用して説明する。
図5に示すSLM70の駆動回路72は、図2に示す駆動回路72に、AND回路72dと、NOT回路72eとを追加したものである。
AND回路72dには、SRAM72aのNOT回路72cからのデータ(Q又は/Q)と、後述する駆動制御部からの所定の信号(クリア信号(CLR))とが入力される。AND回路72dは、図6に示すように、クリア信号がLのときに、SRAM72aに記憶されている駆動データQ、/Qをそのまま出力し、クリア信号がHのときに可動ミラー76の変位がOFFになるような駆動データ(例えば、Va1が0V、Va2が5Vとなるような駆動データ)を出力する。本実施形態のSLM70は、AND回路72dにクリア信号が入力された場合でも、SRAM72aに記憶されている駆動データが消去されない構成となっている。尚、AND回路72dにクリア信号が入力された場合に駆動データを消去する構成としても構わない。
図7の光変調装置30は、SLMアレイ12と、駆動データ書き込み部13と、駆動制御部34と、行選択部15と、駆動データ書き込み部13及び行選択部15を制御する書き込み制御部16とを備える。
尚、駆動バイアス電圧Vbの制御は、1行毎、複数行のブロック毎、全行毎等、任意の行単位で行うことが可能である。例えば、行単位の制御の場合、指定の行に駆動データを書き込んだ後、指定の行の駆動バイアス電圧Vbを同時に制御し、指定の行の可動ミラーの変位状態を同時に制御する。複数行のブロック単位の制御の場合、指定のブロックの行毎に駆動データを書き込んだ後、指定のブロックの駆動バイアス電圧Vbを同時に制御し、可動ミラーの変位状態を同時に制御する。全行単位の制御の場合、全ての行に駆動データを書き込んだ後、全ての行の駆動バイアス電圧Vbを同時に制御し、可動ミラーの変位状態を同時に制御する。又、駆動制御部34は、SLM70の駆動回路72に含まれるAND回路72dへのクリア信号の入力制御も行う。
図8は、本発明の第三実施形態を説明するための光変調装置10を搭載する画像形成装置80の動作を説明するためのタイミングチャートである。
(a)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をONからONに切り替える際のタイミングチャート、(b)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をOFFからONに切り替える際のタイミングチャート、(c)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をONからOFFに切り替える際のタイミングチャート、(d)は、画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をOFFからOFFに切り替える際のタイミングチャートである。図8では、可動ミラー76が左最終変位状態にあるときを可動ミラー76の変位がONであるものとし、可動ミラー76が右最終変位状態にあるときを可動ミラー76の変位がOFFであるものとした。
尚、図8では、形成したい画像に基づいて画像形成装置80の光学出力をON又はOFFに駆動する期間のことを、駆動サイクルT1又はT2で示した。光変調装置10は、この駆動サイクルT1又はT2を繰り返すことで、光変調を行って画像形成面に画像を形成させる。
駆動制御部34は、可動ミラー76の変位がクリア信号に応じてOFFになってから、クリア信号をLにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76の変位がOFFからONに遷移し始め、変位が光学的閾値よりもON側になった時点で、可動ミラー76は画像に基づくON状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくONとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてONになっているときに、駆動データ書き込み部13が、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込む。これにより、新しい画像に基づく駆動データ10bがSRAM72aに記憶される。その後、駆動制御部34は、AND回路72dに入力するクリア信号をHにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、可動ミラー76の変位がONからOFFに遷移し、変位が光学的閾値よりもOFF側になった時点で、可動ミラー76はOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力はOFFとなる。
駆動制御部34は、可動ミラー76の変位がクリア信号に応じてOFFになってからクリア信号をLにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、駆動サイクルT2が終了し、次の駆動サイクルが開始される。
駆動制御部34は、可動ミラー76の変位がクリア信号に応じてOFFになってからクリア信号をLにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76は、その変位がOFFからONに遷移し始め、変位が光学的閾値よりもON側になった時点で、可動ミラー76は画像に基づくON状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくONとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてONになっているときに、駆動データ書き込み部13が、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込む。これにより、新しい画像に基づく駆動データ10bがSRAM72aに記憶される。その後、駆動制御部34は、AND回路72dに入力するクリア信号をHにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、可動ミラー76の変位がONからOFFに遷移し、変位が光学的閾値よりもOFF側になった時点で、可動ミラー76はOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力はOFFとなる。
駆動制御部34は、可動ミラー76の変位がクリア信号に応じてOFFになってからクリア信号をLにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、駆動サイクルT2が終了し、次の駆動サイクルが開始される。
駆動制御部34は、可動ミラー76の変位がクリア信号に応じてOFFになってからクリア信号をLにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76の変位がOFFのまま維持され、可動ミラー76は画像に基づくOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくOFFとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、駆動データ書き込み部13が、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込む。これにより、新しい画像に基づく駆動データ10bがSRAM72aに記憶される。その後、駆動制御部34は、AND回路72dに入力するクリア信号をHにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、可動ミラー76の変位がOFFのまま維持され、画像形成装置80の光学出力はOFFを維持する。
駆動制御部34は、可動ミラー76の変位がクリア信号に応じてOFFになってからクリア信号をLにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、駆動サイクルT2が終了し、次の駆動サイクルが開始される。
駆動制御部34は、可動ミラー76の変位がクリア信号に応じてOFFになってからクリア信号をLにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、次の駆動サイクルT2が開始され、可動ミラー76の変位がOFFのまま維持され、可動ミラー76は画像に基づくOFF状態となり、画像形成装置80の光学出力は画像に基づくOFFとなる。
駆動サイクルT2において、可動ミラー76の変位が駆動データ10aに応じてOFFになっているときに、駆動データ書き込み部13が、SLM70のメモリ回路に新しい画像に基づく駆動データ10b(可動ミラー76の変位をON又はOFFにするためのデータ)を書き込む。これにより、新しい画像に基づく駆動データ10bがSRAM72aに記憶される。その後、駆動制御部34は、AND回路72dに入力するクリア信号をHにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、可動ミラー76の変位がOFFのまま維持され、画像形成装置80の光学出力もOFFを維持する。
駆動制御部34は、可動ミラー76の変位がクリア信号に応じてOFFになってからクリア信号をLにすると共に、SLM70のヒンジ部75及び可動ミラー76に印加している駆動バイアス電圧Vbを所定時間下げる。これにより、駆動サイクルT2が終了し、次の駆動サイクルが開始される。
11 SLM行
12 SLMアレイ
13 駆動データ書き込み部
14 駆動制御部
15 行選択部
16 書き込み制御部
Claims (21)
- 駆動データを記憶する記憶部と、前記駆動データに応じて、光を出射させるON状態と光を出射させないOFF状態とを少なくとも取り得る光変調部とを含む光変調素子を複数配列した光変調素子アレイに対し、前記駆動データを前記記憶部に書き込み、前記書き込んだ駆動データに応じて前記光変調部の状態を変化させて光変調を行わせる前記光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記光変調部を画像に基づく前記駆動データに応じた状態に遷移させてから新しい画像に基づく前記駆動データに応じた状態に遷移させるまでの期間に、前記光変調部を前記OFF状態に制御し、この状態で前記光変調部を前記新しい画像に基づく前記駆動データに応じた状態に遷移させる光変調素子アレイの駆動方法。 - 請求項1記載の光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記制御は、前記光変調部を前記OFF状態にするためのOFF状態用の駆動データを前記記憶部に書き込み、前記書き込んだOFF状態用の駆動データに応じて前記光変調部を前記OFF状態に変化させることで行う光変調素子アレイの駆動方法。 - 請求項1記載の光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記光変調素子は、所定の信号の入力に応じて、前記記憶部に記憶されている駆動データに依らず前記光変調部を前記OFF状態にするものであり、
前記制御は、前記光変調素子への前記所定の信号の入力により、前記光変調部を前記OFF状態に変化させることで行う光変調素子アレイの駆動方法。 - 請求項3記載の光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記記憶部は、前記所定の信号が入力された場合でも、前記新しい画像に基づく前記駆動データを維持する光変調素子アレイの駆動方法。 - 請求項1記載の光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記光変調部は、弾性変位可能に支持され少なくとも一部に可動電極を備えた可動部と、該可動部に対峙して配置された固定電極とを有し、前記可動電極及び固定電極への駆動電圧の印加に応じて発生する静電気力によって前記可動部を変位させて前記ON状態と前記OFF状態とを少なくとも取り得るものである光変調素子アレイの駆動方法。 - 請求項5記載の光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記制御は、前記可動電極及び固定電極の少なくとも一方に印加する前記駆動電圧を制御することで行う光変調素子アレイの駆動方法。 - 請求項6記載の光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記可動部は、前記静電気力に応じて異なる方向に変位するミラーにより構成され、
前記ミラーは、前記ON状態の最終状態で所定方向に傾き、前記OFF状態の最終状態で前記所定方向と反対方向に傾くものであり、
前記制御は、前記ミラーが前記所定方向及び反対方向のどちらにも傾いていない状態になるように前記駆動電圧を制御することで行う光変調素子アレイの駆動方法。 - 請求項1〜4のいずれか記載の光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記光変調部は、弾性変位可能に支持され少なくとも一部に可動電極を備えた可動部と、該可動部に対峙して配置された固定電極とを有し、前記可動電極への駆動電圧の印加と、前記固定電極への前記駆動データに応じた電圧の印加とに応じて発生する静電気力によって前記可動部を変位させて前記ON状態と前記OFF状態とを少なくとも取り得るものであり、
前記可動部は、前記静電気力に応じて異なる方向に変位するミラーにより構成される光変調素子アレイの駆動方法。 - 請求項1〜8のいずれか記載の光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記光変調素子は、前記光変調部が前記ON状態及びOFF状態のいずれかの状態において前記記憶部に前記駆動データが書き込まれた場合でも、前記状態を維持するラッチ機能を有する光変調素子アレイの駆動方法。 - 請求項1〜9のいずれか記載の光変調素子アレイの駆動方法であって、
前記記憶部への前記画像に基づく駆動データの少なくとも一部の書き込みを、前記光変調部が前記OFF状態のときに行う光変調素子アレイの駆動方法。 - 駆動データを記憶する記憶部と、前記駆動データに応じて光を出射させるON状態と光を出射させないOFF状態とを少なくとも取り得る光変調部とを含む光変調素子を複数配列した光変調素子アレイと、前記駆動データを前記記憶部に書き込み、前記書き込んだ駆動データに応じて前記光変調部の状態を変化させて光変調を行わせる光変調制御部とを有する光変調装置であって、
前記光変調制御部は、前記光変調部を画像に基づく前記駆動データに応じた状態に遷移させてから新しい画像に基づく前記駆動データに応じた状態に遷移させるまでの期間に、前記光変調部を前記OFF状態に制御し、この状態で前記光変調部を前記新しい画像に基づく前記駆動データに応じた状態に遷移させる光変調装置。 - 請求項11記載の光変調装置であって、
前記光変調制御部は、前記光変調部を前記OFF状態にするためのOFF状態用の駆動データを前記記憶部に書き込み、前記書き込んだOFF状態用の駆動データに応じて前記光変調部を前記OFF状態に変化させることで前記制御を行う光変調装置。 - 請求項11記載の光変調装置であって、
前記光変調素子は、所定の信号の入力に応じて、前記記憶部に記憶されている駆動データに依らず前記光変調部を前記OFF状態にするものであり、
前記光変調制御部は、前記光変調素子への前記所定の信号の入力により、前記光変調部を前記OFF状態に変化させることで前記制御を行う光変調装置。 - 請求項13記載の光変調装置であって、
前記記憶部は、前記所定の信号が入力された場合でも、前記新しい画像に基づく前記駆動データを維持する光変調装置。 - 請求項11記載の光変調装置であって、
前記光変調部は、弾性変位可能に支持され少なくとも一部に可動電極を備えた可動部と、該可動部に対峙して配置された固定電極とを有し、前記可動電極及び固定電極への駆動電圧の印加に応じて発生する静電気力によって前記可動部を変位させて前記ON状態と前記OFF状態とを少なくとも取り得るものである光変調装置。 - 請求項15記載の光変調装置であって、
前記光変調制御部は、前記可動電極及び固定電極の少なくとも一方に印加する前記駆動電圧を制御することで前記制御を行う光変調装置。 - 請求項16記載の光変調装置であって、
前記可動部は、前記静電気力に応じて異なる方向に変位するミラーにより構成され、
前記ミラーは、前記ON状態の最終状態で所定方向に傾き、前記OFF状態の最終状態で前記所定方向と反対方向に傾くものであり、
前記光変調制御部は、前記ミラーが前記所定方向及び反対方向のどちらにも傾いていない状態になるように前記駆動電圧を制御することで前記制御を行う光変調装置。 - 請求項11〜14のいずれか記載の光変調装置であって、
前記光変調部は、弾性変位可能に支持され少なくとも一部に可動電極を備えた可動部と、該可動部に対峙して配置された固定電極とを有し、前記可動電極への駆動電圧の印加と、前記固定電極への前記駆動データに応じた電圧の印加とに応じて発生する静電気力によって前記可動部を変位させて前記ON状態と前記OFF状態とを少なくとも取り得るものであり、
前記可動部は、前記静電気力に応じて異なる方向に変位するミラーにより構成され、
前記光変調制御部は、前記可動電極に印加する前記駆動電圧を制御する光変調装置。 - 請求項11〜18のいずれか記載の光変調装置であって、
前記光変調素子は、前記光変調部が前記ON状態及びOFF状態のいずれかの状態において前記記憶部に前記駆動データが書き込まれた場合でも、前記状態を維持するラッチ機能を有する光変調装置。 - 請求項11〜19のいずれか記載の光変調装置であって、
前記光変調制御部は、前記記憶部への前記画像に基づく駆動データの少なくとも一部の書き込みを、前記光変調部が前記OFF状態のときに行う光変調装置。 - 請求項11〜20のいずれか記載の光変調装置と、
前記光変調素子アレイに光を入射する光源と、
前記光変調素子アレイから出射される光を画像形成面に投影する投影光学系とを備える画像形成装置。
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