JP2004184921A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】オリジナルの画像データを増やさずに、描画パターンの斜め輪郭部に生じる段差を小さくすることができる露光装置を得る。
【解決手段】輪郭部検出部によって段差であると判断された箇所(領域A)において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、補間画素データ生成部で生成された1/4の画素サイズの補間画素データ68を補間することで、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差を小さくすることができ、描画パターンが滑らかになる。このため、段差を小さくするためにオリジナルの画像データを送信するホスト装置側の解像度を上げる必要はない。従って、ホスト装置側の解像度を上げることによって生じる、オリジナルの画像データの増大、或いはプリント基板20の伸縮をキャンセルするための画像処理時間、画像データの転送時間の増大等の問題は生じない。
【選択図】 図9
【解決手段】輪郭部検出部によって段差であると判断された箇所(領域A)において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、補間画素データ生成部で生成された1/4の画素サイズの補間画素データ68を補間することで、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差を小さくすることができ、描画パターンが滑らかになる。このため、段差を小さくするためにオリジナルの画像データを送信するホスト装置側の解像度を上げる必要はない。従って、ホスト装置側の解像度を上げることによって生じる、オリジナルの画像データの増大、或いはプリント基板20の伸縮をキャンセルするための画像処理時間、画像データの転送時間の増大等の問題は生じない。
【選択図】 図9
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ走査デジタル露光装置等の露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プリント基板(PWB)やフラットパネルディスプレイ(FPD)の基板に所定のパターンを露光する手段として、従来からマスクを用いた面露光装置が広く用いられてきた。
【0003】
しかし、PWBでは部品実装の高密度に伴う高精細化が進み、また、FPDでは高生産化を目的とした基板の大サイズ化が進んでいる。このため、マスクの伸縮や基板の伸縮に伴う描画パターンの位置ズレの問題が顕在化してきている。
【0004】
一方、特許文献1には、マスクレスによる描画が可能なレーザ走査デジタル露光装置等が開示されている。このレーザ走査デジタル露光装置を用いて、基板の伸縮量をキャンセルするような画像データで描画することで、基板の伸縮に伴う描画パターンの位置ズレの問題を解消することができる。
【0005】
しかしながら、例えば、格子状の画素で斜め輪郭部を描画する場合において、描画の単位が解像度に対応する画素単位であるため、画素単位で階段状の段差が生じてしまう。
【0006】
これを防ぐ手段としては、ホスト装置から送信するオリジナル画像の解像度を高くし、該段差を小さくする方法が一般的に知られている。しかし、オリジナル画像の解像度を高くした場合、画像データが増え、基板伸縮をキャンセルするための画像処理に時間が掛ったり、画像データの転送に多大な時間が掛る等の問題が生じる。
【0007】
【特許文献1】
特許第3200020号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事実を考慮し、オリジナルの画像データを増やさずに、描画パターンの斜め輪郭部に生じる段差を小さくすることができる露光装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、入力される画像データのN倍の解像度を有する露光装置において、入力された画像データによって形成される画像の輪郭部を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された前記輪郭部の段差が小さくなるようにN倍の解像度の補間画像データを補間する補間手段と、を備えたことを特徴としている。
【0010】
請求項1に記載の発明では、露光装置は入力される画像データのN倍の解像度を有している。検出手段は入力された画像データで描画された画像の輪郭部を検出し、また、補間手段が輪郭部の段差が小さくなるようにN倍の解像度の補間画像データを補間する。
【0011】
これにより、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差(いわゆるジャギー)を小さくすることができ、描画パターンが滑らかになる。このため、段差を小さくするためにオリジナルの画像データを送信するホスト装置側の解像度を上げる必要はない。
【0012】
従って、ホスト装置側の解像度を上げることによって生じる、オリジナルの画像データの増大、或いは基板伸縮をキャンセルするための画像処理時間、画像データの転送時間の増大等の問題は生じない。このため、段差を小さくするためにホスト装置側の解像度を高くした装置と比較して、ホスト装置及び画像データ転送部の構成を簡単、低速、安価に実現することができる。
【0013】
請求項2に記載の発明では、入力された画像データの画素サイズ×Nの大きさのウインドで画像データをスキャンして、ウインド内の画像データの有無を判断し、画素間の段差を検出する。
【0014】
例えば、N=2のとき、画素が4つ見れるウインドで画像データをスキャンすることになる。そして、4つのうち一つの画素に画像データがないと、その箇所が段差と判断される。
【0015】
請求項3に記載の発明では、段差において、画像データ有りの画素に隣接する部分に、1/Nの画素サイズの補間画素データを補間する。段差において、画像データ有りの画素に隣接する部分では、画像データの斜め輪郭部が存在すると推測することができる。このため、画像データ有りの画素に隣接する部分に、1/Nの画素サイズの補間画素データを補間することで、段差が小さくなる。
【0016】
請求項4に記載の発明では、解像度変換部によって、画像データを1/Nの画素サイズに変換させ、画像合成手段によって、1/Nの画素サイズに変換された画素データと補間画像データを合成させる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0018】
まず、露光装置の構成について説明する。
【0019】
図1に示すように、本発明の実施の形態に係る露光装置10には、4本の脚部12によって支持された直方体状の設置台14が備えられており、この設置台14の上面には、設置台14の長手方向に沿って延びた一対のガイド16が配設されている。
【0020】
ガイド16の上面には、平板状のステージ18が、ガイド16を架け渡した状態で載置されており、ステージ18の上面には、プリント基板20が保持されている。
【0021】
一方、設置台14の長手方向の中央部には、略コ字状のゲート22が、ステージ18の上面との間に隙間を設けた状態で設置台14を跨いで固定されている。このゲート22の一方の側面には、スキャナ24が設けられており、他方の側面には、ステージ18の上面に保持されたプリント基板20の側端部を検知する複数(例えば、2個)の検知センサ26が設けられている。
【0022】
ここで、ステージ18は、図示しない駆動手段によって、ガイド16に沿って移動可能となっており、スキャナ24及び検知センサ26は、図示しないコントローラに接続されている。
【0023】
スキャナ24は、図2及び図3に示すように、複数の露光ヘッド28によって構成されており、各露光ヘッド28には、光源波長が350〜450nm(但し、ヒートモードの場合は、波長範囲が広がり350〜1100nmとなる)のファイバアレイ光源30が備えられている。
【0024】
このファイバアレイ光源30から出射されたレーザ光は、レンズ系32を構成する1対の組合せレンズ34によって平行光化され、1対の組合せレンズ36へ入射される。
【0025】
組合せレンズ36は、レンズの光軸に近い部分は光束を広げ、且つ光軸から離れた部分は光束を縮める機能を備えており、光量分布が均一となるようにレーザ光を補正する。
【0026】
この組合せレンズ36によって、光量分布が均一となるように補正されたレーザ光は、集光レンズ38によって集光され、反射ミラー40を介して、入射されたレーザ光を画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子であるデジタル・マイクロミラー・デバイス42(以下、「DMD42」という)へ入射される。そして、DMD42へ入射されたレーザ光は、レンズ系44、46によりプリント基板20上に結像される。
【0027】
ここで、DMD42は、図4に示すように、SRAMセル(メモリセル)48上に、微小ミラー(マイクロミラー)50が支柱により支持されて配置されたものであり、画素(ピクセル)を構成する多数の(例えば、600個×800個)の微小ミラーを格子状に配列して構成されたミラーデバイスである。
【0028】
各ピクセルには、最上部に支柱に支えられたマイクロミラー50が設けられている。マイクロミラー50の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのCMOSのSRAMセル48が配置されており、全体はモノリシック(一体型)に構成されている。
【0029】
DMD42のSRAMセル48にデジタル信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラー50が、対角線を中心としてDMD42が配置された基板側に対して±α度(例えば±10度)の範囲で傾けられる。
【0030】
ここで、図5(A)は、マイクロミラー50がオン状態である+α度に傾いた状態を示し、図5(B)は、マイクロミラー50がオフ状態である−α度に傾いた状態を示している。
【0031】
それぞれのマイクロミラー50は、露光装置10に備えられた制御部52(図7参照)からの画像信号に応じて、DMD42の各ピクセルにおけるマイクロミラー50の傾きが制御され、DMD42に入射された光はそれぞれのマイクロミラー50の傾き方向へ反射される。なお、オフ状態のマイクロミラー50によって光ビームが反射される方向には、光吸収体(図示せず)が配置されている。
【0032】
ここで、DMD42は、長手方向に800個のマイクロミラー50が配列されており、短手方向に600個のマイクロミラー50が配列されている。この短手方向を副走査方向に対して所定角度θ(例えば、0.1°〜5°)僅かに傾斜させて配置する方が好ましい。
【0033】
図6(A)はDMD42を傾斜させない場合の各マイクロミラー50による反射光像(露光ビーム)54の走査軌跡を示し、図6(B)はDMD42を傾斜させた場合の露光ビーム54の走査軌跡を示している。ここで、DMD42の傾斜角は微小であるので、DMD42を傾斜させた場合の走査幅W2と、DMD42を傾斜させない場合の走査幅W1とは略同一である。
【0034】
図6(B)に示すように、DMD42を傾斜させることにより、各マイクロミラー50による露光ビーム54の走査軌跡(走査線)のピッチP1が、DMD42を傾斜させない場合の走査線のピッチP2より狭くなり、解像度を大幅に向上させることができる。
【0035】
また、異なるマイクロミラー50列により同じ走査線上が重ねて露光(多重露光)されることになる。このように、多重露光されることで、露光位置の微少量をコントロールすることができ、高精細な露光を実現することができる。さらに、主走査方向に配列された複数の露光ヘッド28の間のつなぎ目を微少量の露光位置制御により段差無くつなぐことができる。
【0036】
なお、DMD42を傾斜させる代わりに、各マイクロミラー50列を副走査方向と直交する方向に所定間隔ずらして千鳥状に配置しても、同様の効果を得ることができる。
【0037】
一方、図7に示すように、この露光装置10には制御部52が備えられており、制御部52には露光ヘッド28及び画像処理部55が接続されている。画像処理部55は、輪郭部検出部60、解像度1/N処理部(解像度変換部)62、補間画素データ生成部66及び画像データ合成部70で構成されており、これら各部は制御部52によってそれぞれ動作が制御されている。
【0038】
ここで、輪郭部検出部60及び解像度1/N処理部(解像度変換部)62には、ホスト装置56から送信されたオリジナルの画像データ58がそれぞれ入力される。このオリジナルの画像データ58は、プリント基板20の伸縮を考慮し、ホスト装置56において、プリント基板20の伸縮をキャンセルする画像処理が施されている。
【0039】
輪郭部検出部60へ入力されたオリジナルの画像データ58は、画素サイズ×Nの大きさのウインドによってスキャンされ(後述する)、ウインド内の画素毎の画像データの有無を判断して、画素間の段差を検出する(入力されたオリジナルの画像データ58で描画された画像の輪郭部を検出する)。
【0040】
例えば、N=2のとき、縦横各々2倍し、入力された画像データの画素サイズの4倍のウインドが必要となる。すなわち、図9(A)(図8(A)の部分拡大図)に示すように(なお、図7及び図8(A)、(B)を参照する)、画素が4つ見れるウインド64で画像データ57をスキャンする。そして、ウインド64で見れる4つの画素のうちの一つに画像データがない(領域A)場合、その箇所は段差であると判断される。
【0041】
ここで、段差であると判断された箇所において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分では、画像データ57の斜め輪郭部(斜線P)が存在すると推測することができる。
【0042】
このため、補間画素データ生成部66において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、1/4の画素サイズの補間画素データを補間するため、図9(C)(図8(B)の部分拡大図)に示すように、1/4の画素サイズの補間画素データ68を生成する。
【0043】
一方、解像度1/N処理部62では、入力されたオリジナルの画像データ58を1/Nの画素サイズに変換させる。すなわち、図9(B)に示すように、入力されたオリジナルの画像データ58を縦横各々1/2の画素サイズに変換し、入力されたオリジナルの画像データ58の画素サイズの1/4の大きさの画素サイズにする。
【0044】
このように、輪郭部検出部60によって段差であると判断された箇所(領域A)において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、図9(C)に示すように、補間画素データ生成部66で生成された1/4の画素サイズの補間画素データ68を補間する。
【0045】
ここで、画素サイズは、解像度1/N処理部62によって、入力されたオリジナルの画像データ58の画素サイズの1/4の大きさに変換(図9(A)→図8(B)に変換)されており、画像データ合成部70によって、この変換された画像データ59と補間画素データ68とが合成される。これにより、図9(C)に示すように、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、補間画素データ68が補間され、画像データ61が形成される。
【0046】
このように、画像データ59と補間画素データ68とが合成された画像データ61の画像信号は、DMD42へ入力される。ここで、DMD42は、制御部52によって、解像度1/N処理部62で変換される解像度に対応させたピクセル(画像データ61の一画素に対応するマイクロミラー50の数)に設定されており、入力された画像信号に応じて、DMD42の各ピクセルにおけるマイクロミラー50の傾きが制御される。
【0047】
次に、本形態に係る露光装置の作用について説明する。
【0048】
図7及び図9(A)、(B)、(C)に示すように、輪郭部検出部60によって段差であると判断された箇所(領域A)において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、補間画素データ生成部66で生成された1/4の画素サイズの補間画素データ68を補間することで、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差(いわゆるジャギー)を小さくすることができ、描画パターンが滑らかになる。このため、段差を小さくするためにオリジナルの画像データ58を送信するホスト装置56側の解像度を上げる必要はない。
【0049】
従って、ホスト装置56側の解像度を上げることによって生じる、オリジナルの画像データ58の増大、或いはプリント基板20の伸縮をキャンセルするための画像処理時間、画像データの転送時間の増大等の問題は生じない。
【0050】
このため、段差を小さくするためにホスト装置56側の解像度を高くした装置と比較して、ホスト装置56及び画像データ転送部の構成を簡単、低速、安価に実現することができる。
【0051】
なお、ここでは、輪郭部検出部60によって段差であると判断された箇所(領域A)において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、補間画素データ生成部66で生成された1/4の画素サイズの補間画素データ68を補間したが、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差を小さくできれば良いため、本実施例に限るものではない。
【0052】
また、本形態において、スキャナ24による副走査方向への1回の走査でプリント基板20の全面を露光してもよく、また、スキャナ24によりプリント基板20を副走査方向へ走査した後、スキャナ24を主走査方向に1ステップ移動し、副走査方向へ走査を行うというように、走査と移動を繰り返して、複数回の走査でプリント基板20の全面を露光するようにしてもよい。
【0053】
また、スキャナ24を構成する露光ヘッド28にDMD42を備えることで、プリント基板20の面露光を可能としたが、これに限るものではなく、1ビームに対してポリゴンなどの光偏向器によって主走査させることで面露光を可能としても良いのは勿論のことである。
【0054】
但し、この場合、DMD42等による面露光とは異なり、描画時間が長くなってしまうが、光学系の数を少なくすることができるため、コストダウンを図ることができる。
【0055】
また、上記の露光装置では、プリント基板以外にも、フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト(DFR;Dry Film Resist)の露光、液晶表示装置(LCD)の製造工程におけるカラーフィルタの形成、TFTの製造工程におけるDFRの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP)の製造工程におけるDFRの露光等の用途に好適に用いることができる。
【0056】
なお、TFTのパターニングに使用される液体レジストやカラーフィルタをパターニングするために使用される液体レジストを露光する場合には、酸素阻害による感度低下(減感)を無くすために、窒素雰囲気下で被露光材料を露光することが好ましい。窒素雰囲気下で露光することで光重合反応の酸素阻害が抑制されてレジストが高感度化し、高速露光が可能となる。
【0057】
また、上記の露光装置には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。
【0058】
さらに、上記の実施の形態では、DMDを備えた露光ヘッドについて説明したが、例えば、DMD以外の他のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)タイプの空間変調素子(SLM;Spacial Light Modulator)や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子(PLZT素子)や液晶光シャッタ(FLC)等を用いても良い。
【0059】
なお、MEMSとは、IC製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、MEMSタイプの空間変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間変調素子を意味している。
【0060】
【発明の効果】
本発明は、上記構成としたので、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差(いわゆるジャギー)を小さくすることができ、描画パターンが滑らかになる。このため、段差を小さくするためにオリジナルの画像データを送信するホスト装置側の解像度を上げる必要はない。
【0061】
従って、ホスト装置側の解像度を上げることによって生じる、オリジナル画像データの増大、或いは基板伸縮をキャンセルするための画像処理時間、画像データの転送時間の増大等の問題は生じない。このため、段差を小さくするためにホスト装置側の解像度を高くした装置と比較して、ホスト装置及び画像データ転送部の構成を簡単、低速、安価に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る露光装置を示す斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る露光装置のスキャナの構成を示す斜視図である。
【図3】図2のスキャナを構成する露光ヘッドの構成を示す平面図である。
【図4】デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)の構成を示す部分拡大図である。
【図5】(A)及び(B)はDMDの動作説明図である。
【図6】(A)は、DMDを傾斜配置させない場合を示す平面図であり、(B)はDMDを傾斜配置させた場合を示す平面図である。
【図7】本発明の実施の形態に係る露光装置の構成を示すブロック図である。
【図8】本発明の実施の形態に係る露光装置による補間画素データの補間方法を示す図であり、(A)は解像度を1/N処理する前の画像データであり、(B)は補間画素データが補間された画像データである。
【図9】本発明の実施の形態に係る露光装置による補間画素データの補間方法を示す図であり、(A)は図8(A)の部分拡大図であり、(B)は解像度を1/N処理した画像データ、(C)は図8(B)の部分拡大図である。
【符号の説明】
10 露光装置
60 輪郭部検出部(検出手段)
62 解像度1/N処理部(解像度変換部)
66 補間画素データ生成部(補間手段)
68 補間画素データ
70 画像データ合成部(画像合成手段)
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ走査デジタル露光装置等の露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
プリント基板(PWB)やフラットパネルディスプレイ(FPD)の基板に所定のパターンを露光する手段として、従来からマスクを用いた面露光装置が広く用いられてきた。
【0003】
しかし、PWBでは部品実装の高密度に伴う高精細化が進み、また、FPDでは高生産化を目的とした基板の大サイズ化が進んでいる。このため、マスクの伸縮や基板の伸縮に伴う描画パターンの位置ズレの問題が顕在化してきている。
【0004】
一方、特許文献1には、マスクレスによる描画が可能なレーザ走査デジタル露光装置等が開示されている。このレーザ走査デジタル露光装置を用いて、基板の伸縮量をキャンセルするような画像データで描画することで、基板の伸縮に伴う描画パターンの位置ズレの問題を解消することができる。
【0005】
しかしながら、例えば、格子状の画素で斜め輪郭部を描画する場合において、描画の単位が解像度に対応する画素単位であるため、画素単位で階段状の段差が生じてしまう。
【0006】
これを防ぐ手段としては、ホスト装置から送信するオリジナル画像の解像度を高くし、該段差を小さくする方法が一般的に知られている。しかし、オリジナル画像の解像度を高くした場合、画像データが増え、基板伸縮をキャンセルするための画像処理に時間が掛ったり、画像データの転送に多大な時間が掛る等の問題が生じる。
【0007】
【特許文献1】
特許第3200020号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事実を考慮し、オリジナルの画像データを増やさずに、描画パターンの斜め輪郭部に生じる段差を小さくすることができる露光装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、入力される画像データのN倍の解像度を有する露光装置において、入力された画像データによって形成される画像の輪郭部を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された前記輪郭部の段差が小さくなるようにN倍の解像度の補間画像データを補間する補間手段と、を備えたことを特徴としている。
【0010】
請求項1に記載の発明では、露光装置は入力される画像データのN倍の解像度を有している。検出手段は入力された画像データで描画された画像の輪郭部を検出し、また、補間手段が輪郭部の段差が小さくなるようにN倍の解像度の補間画像データを補間する。
【0011】
これにより、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差(いわゆるジャギー)を小さくすることができ、描画パターンが滑らかになる。このため、段差を小さくするためにオリジナルの画像データを送信するホスト装置側の解像度を上げる必要はない。
【0012】
従って、ホスト装置側の解像度を上げることによって生じる、オリジナルの画像データの増大、或いは基板伸縮をキャンセルするための画像処理時間、画像データの転送時間の増大等の問題は生じない。このため、段差を小さくするためにホスト装置側の解像度を高くした装置と比較して、ホスト装置及び画像データ転送部の構成を簡単、低速、安価に実現することができる。
【0013】
請求項2に記載の発明では、入力された画像データの画素サイズ×Nの大きさのウインドで画像データをスキャンして、ウインド内の画像データの有無を判断し、画素間の段差を検出する。
【0014】
例えば、N=2のとき、画素が4つ見れるウインドで画像データをスキャンすることになる。そして、4つのうち一つの画素に画像データがないと、その箇所が段差と判断される。
【0015】
請求項3に記載の発明では、段差において、画像データ有りの画素に隣接する部分に、1/Nの画素サイズの補間画素データを補間する。段差において、画像データ有りの画素に隣接する部分では、画像データの斜め輪郭部が存在すると推測することができる。このため、画像データ有りの画素に隣接する部分に、1/Nの画素サイズの補間画素データを補間することで、段差が小さくなる。
【0016】
請求項4に記載の発明では、解像度変換部によって、画像データを1/Nの画素サイズに変換させ、画像合成手段によって、1/Nの画素サイズに変換された画素データと補間画像データを合成させる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0018】
まず、露光装置の構成について説明する。
【0019】
図1に示すように、本発明の実施の形態に係る露光装置10には、4本の脚部12によって支持された直方体状の設置台14が備えられており、この設置台14の上面には、設置台14の長手方向に沿って延びた一対のガイド16が配設されている。
【0020】
ガイド16の上面には、平板状のステージ18が、ガイド16を架け渡した状態で載置されており、ステージ18の上面には、プリント基板20が保持されている。
【0021】
一方、設置台14の長手方向の中央部には、略コ字状のゲート22が、ステージ18の上面との間に隙間を設けた状態で設置台14を跨いで固定されている。このゲート22の一方の側面には、スキャナ24が設けられており、他方の側面には、ステージ18の上面に保持されたプリント基板20の側端部を検知する複数(例えば、2個)の検知センサ26が設けられている。
【0022】
ここで、ステージ18は、図示しない駆動手段によって、ガイド16に沿って移動可能となっており、スキャナ24及び検知センサ26は、図示しないコントローラに接続されている。
【0023】
スキャナ24は、図2及び図3に示すように、複数の露光ヘッド28によって構成されており、各露光ヘッド28には、光源波長が350〜450nm(但し、ヒートモードの場合は、波長範囲が広がり350〜1100nmとなる)のファイバアレイ光源30が備えられている。
【0024】
このファイバアレイ光源30から出射されたレーザ光は、レンズ系32を構成する1対の組合せレンズ34によって平行光化され、1対の組合せレンズ36へ入射される。
【0025】
組合せレンズ36は、レンズの光軸に近い部分は光束を広げ、且つ光軸から離れた部分は光束を縮める機能を備えており、光量分布が均一となるようにレーザ光を補正する。
【0026】
この組合せレンズ36によって、光量分布が均一となるように補正されたレーザ光は、集光レンズ38によって集光され、反射ミラー40を介して、入射されたレーザ光を画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子であるデジタル・マイクロミラー・デバイス42(以下、「DMD42」という)へ入射される。そして、DMD42へ入射されたレーザ光は、レンズ系44、46によりプリント基板20上に結像される。
【0027】
ここで、DMD42は、図4に示すように、SRAMセル(メモリセル)48上に、微小ミラー(マイクロミラー)50が支柱により支持されて配置されたものであり、画素(ピクセル)を構成する多数の(例えば、600個×800個)の微小ミラーを格子状に配列して構成されたミラーデバイスである。
【0028】
各ピクセルには、最上部に支柱に支えられたマイクロミラー50が設けられている。マイクロミラー50の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのCMOSのSRAMセル48が配置されており、全体はモノリシック(一体型)に構成されている。
【0029】
DMD42のSRAMセル48にデジタル信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラー50が、対角線を中心としてDMD42が配置された基板側に対して±α度(例えば±10度)の範囲で傾けられる。
【0030】
ここで、図5(A)は、マイクロミラー50がオン状態である+α度に傾いた状態を示し、図5(B)は、マイクロミラー50がオフ状態である−α度に傾いた状態を示している。
【0031】
それぞれのマイクロミラー50は、露光装置10に備えられた制御部52(図7参照)からの画像信号に応じて、DMD42の各ピクセルにおけるマイクロミラー50の傾きが制御され、DMD42に入射された光はそれぞれのマイクロミラー50の傾き方向へ反射される。なお、オフ状態のマイクロミラー50によって光ビームが反射される方向には、光吸収体(図示せず)が配置されている。
【0032】
ここで、DMD42は、長手方向に800個のマイクロミラー50が配列されており、短手方向に600個のマイクロミラー50が配列されている。この短手方向を副走査方向に対して所定角度θ(例えば、0.1°〜5°)僅かに傾斜させて配置する方が好ましい。
【0033】
図6(A)はDMD42を傾斜させない場合の各マイクロミラー50による反射光像(露光ビーム)54の走査軌跡を示し、図6(B)はDMD42を傾斜させた場合の露光ビーム54の走査軌跡を示している。ここで、DMD42の傾斜角は微小であるので、DMD42を傾斜させた場合の走査幅W2と、DMD42を傾斜させない場合の走査幅W1とは略同一である。
【0034】
図6(B)に示すように、DMD42を傾斜させることにより、各マイクロミラー50による露光ビーム54の走査軌跡(走査線)のピッチP1が、DMD42を傾斜させない場合の走査線のピッチP2より狭くなり、解像度を大幅に向上させることができる。
【0035】
また、異なるマイクロミラー50列により同じ走査線上が重ねて露光(多重露光)されることになる。このように、多重露光されることで、露光位置の微少量をコントロールすることができ、高精細な露光を実現することができる。さらに、主走査方向に配列された複数の露光ヘッド28の間のつなぎ目を微少量の露光位置制御により段差無くつなぐことができる。
【0036】
なお、DMD42を傾斜させる代わりに、各マイクロミラー50列を副走査方向と直交する方向に所定間隔ずらして千鳥状に配置しても、同様の効果を得ることができる。
【0037】
一方、図7に示すように、この露光装置10には制御部52が備えられており、制御部52には露光ヘッド28及び画像処理部55が接続されている。画像処理部55は、輪郭部検出部60、解像度1/N処理部(解像度変換部)62、補間画素データ生成部66及び画像データ合成部70で構成されており、これら各部は制御部52によってそれぞれ動作が制御されている。
【0038】
ここで、輪郭部検出部60及び解像度1/N処理部(解像度変換部)62には、ホスト装置56から送信されたオリジナルの画像データ58がそれぞれ入力される。このオリジナルの画像データ58は、プリント基板20の伸縮を考慮し、ホスト装置56において、プリント基板20の伸縮をキャンセルする画像処理が施されている。
【0039】
輪郭部検出部60へ入力されたオリジナルの画像データ58は、画素サイズ×Nの大きさのウインドによってスキャンされ(後述する)、ウインド内の画素毎の画像データの有無を判断して、画素間の段差を検出する(入力されたオリジナルの画像データ58で描画された画像の輪郭部を検出する)。
【0040】
例えば、N=2のとき、縦横各々2倍し、入力された画像データの画素サイズの4倍のウインドが必要となる。すなわち、図9(A)(図8(A)の部分拡大図)に示すように(なお、図7及び図8(A)、(B)を参照する)、画素が4つ見れるウインド64で画像データ57をスキャンする。そして、ウインド64で見れる4つの画素のうちの一つに画像データがない(領域A)場合、その箇所は段差であると判断される。
【0041】
ここで、段差であると判断された箇所において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分では、画像データ57の斜め輪郭部(斜線P)が存在すると推測することができる。
【0042】
このため、補間画素データ生成部66において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、1/4の画素サイズの補間画素データを補間するため、図9(C)(図8(B)の部分拡大図)に示すように、1/4の画素サイズの補間画素データ68を生成する。
【0043】
一方、解像度1/N処理部62では、入力されたオリジナルの画像データ58を1/Nの画素サイズに変換させる。すなわち、図9(B)に示すように、入力されたオリジナルの画像データ58を縦横各々1/2の画素サイズに変換し、入力されたオリジナルの画像データ58の画素サイズの1/4の大きさの画素サイズにする。
【0044】
このように、輪郭部検出部60によって段差であると判断された箇所(領域A)において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、図9(C)に示すように、補間画素データ生成部66で生成された1/4の画素サイズの補間画素データ68を補間する。
【0045】
ここで、画素サイズは、解像度1/N処理部62によって、入力されたオリジナルの画像データ58の画素サイズの1/4の大きさに変換(図9(A)→図8(B)に変換)されており、画像データ合成部70によって、この変換された画像データ59と補間画素データ68とが合成される。これにより、図9(C)に示すように、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、補間画素データ68が補間され、画像データ61が形成される。
【0046】
このように、画像データ59と補間画素データ68とが合成された画像データ61の画像信号は、DMD42へ入力される。ここで、DMD42は、制御部52によって、解像度1/N処理部62で変換される解像度に対応させたピクセル(画像データ61の一画素に対応するマイクロミラー50の数)に設定されており、入力された画像信号に応じて、DMD42の各ピクセルにおけるマイクロミラー50の傾きが制御される。
【0047】
次に、本形態に係る露光装置の作用について説明する。
【0048】
図7及び図9(A)、(B)、(C)に示すように、輪郭部検出部60によって段差であると判断された箇所(領域A)において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、補間画素データ生成部66で生成された1/4の画素サイズの補間画素データ68を補間することで、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差(いわゆるジャギー)を小さくすることができ、描画パターンが滑らかになる。このため、段差を小さくするためにオリジナルの画像データ58を送信するホスト装置56側の解像度を上げる必要はない。
【0049】
従って、ホスト装置56側の解像度を上げることによって生じる、オリジナルの画像データ58の増大、或いはプリント基板20の伸縮をキャンセルするための画像処理時間、画像データの転送時間の増大等の問題は生じない。
【0050】
このため、段差を小さくするためにホスト装置56側の解像度を高くした装置と比較して、ホスト装置56及び画像データ転送部の構成を簡単、低速、安価に実現することができる。
【0051】
なお、ここでは、輪郭部検出部60によって段差であると判断された箇所(領域A)において、画像データ有りの画素(領域B、C、D)に隣接する部分に、補間画素データ生成部66で生成された1/4の画素サイズの補間画素データ68を補間したが、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差を小さくできれば良いため、本実施例に限るものではない。
【0052】
また、本形態において、スキャナ24による副走査方向への1回の走査でプリント基板20の全面を露光してもよく、また、スキャナ24によりプリント基板20を副走査方向へ走査した後、スキャナ24を主走査方向に1ステップ移動し、副走査方向へ走査を行うというように、走査と移動を繰り返して、複数回の走査でプリント基板20の全面を露光するようにしてもよい。
【0053】
また、スキャナ24を構成する露光ヘッド28にDMD42を備えることで、プリント基板20の面露光を可能としたが、これに限るものではなく、1ビームに対してポリゴンなどの光偏向器によって主走査させることで面露光を可能としても良いのは勿論のことである。
【0054】
但し、この場合、DMD42等による面露光とは異なり、描画時間が長くなってしまうが、光学系の数を少なくすることができるため、コストダウンを図ることができる。
【0055】
また、上記の露光装置では、プリント基板以外にも、フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト(DFR;Dry Film Resist)の露光、液晶表示装置(LCD)の製造工程におけるカラーフィルタの形成、TFTの製造工程におけるDFRの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP)の製造工程におけるDFRの露光等の用途に好適に用いることができる。
【0056】
なお、TFTのパターニングに使用される液体レジストやカラーフィルタをパターニングするために使用される液体レジストを露光する場合には、酸素阻害による感度低下(減感)を無くすために、窒素雰囲気下で被露光材料を露光することが好ましい。窒素雰囲気下で露光することで光重合反応の酸素阻害が抑制されてレジストが高感度化し、高速露光が可能となる。
【0057】
また、上記の露光装置には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。
【0058】
さらに、上記の実施の形態では、DMDを備えた露光ヘッドについて説明したが、例えば、DMD以外の他のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)タイプの空間変調素子(SLM;Spacial Light Modulator)や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子(PLZT素子)や液晶光シャッタ(FLC)等を用いても良い。
【0059】
なお、MEMSとは、IC製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、MEMSタイプの空間変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間変調素子を意味している。
【0060】
【発明の効果】
本発明は、上記構成としたので、画像データの斜め輪郭部を描画するときに生じる階段状の段差(いわゆるジャギー)を小さくすることができ、描画パターンが滑らかになる。このため、段差を小さくするためにオリジナルの画像データを送信するホスト装置側の解像度を上げる必要はない。
【0061】
従って、ホスト装置側の解像度を上げることによって生じる、オリジナル画像データの増大、或いは基板伸縮をキャンセルするための画像処理時間、画像データの転送時間の増大等の問題は生じない。このため、段差を小さくするためにホスト装置側の解像度を高くした装置と比較して、ホスト装置及び画像データ転送部の構成を簡単、低速、安価に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る露光装置を示す斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る露光装置のスキャナの構成を示す斜視図である。
【図3】図2のスキャナを構成する露光ヘッドの構成を示す平面図である。
【図4】デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)の構成を示す部分拡大図である。
【図5】(A)及び(B)はDMDの動作説明図である。
【図6】(A)は、DMDを傾斜配置させない場合を示す平面図であり、(B)はDMDを傾斜配置させた場合を示す平面図である。
【図7】本発明の実施の形態に係る露光装置の構成を示すブロック図である。
【図8】本発明の実施の形態に係る露光装置による補間画素データの補間方法を示す図であり、(A)は解像度を1/N処理する前の画像データであり、(B)は補間画素データが補間された画像データである。
【図9】本発明の実施の形態に係る露光装置による補間画素データの補間方法を示す図であり、(A)は図8(A)の部分拡大図であり、(B)は解像度を1/N処理した画像データ、(C)は図8(B)の部分拡大図である。
【符号の説明】
10 露光装置
60 輪郭部検出部(検出手段)
62 解像度1/N処理部(解像度変換部)
66 補間画素データ生成部(補間手段)
68 補間画素データ
70 画像データ合成部(画像合成手段)
Claims (4)
- 入力される画像データのN倍の解像度を有する露光装置において、
入力された画像データによって形成される画像の輪郭部を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された前記輪郭部の段差が小さくなるようにN倍の解像度の補間画像データを補間する補間手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記検出手段が、入力された画像データの画素サイズ×Nの大きさのウインドで前記画像データをスキャンして、前記ウインド内の画像データの有無を判断し、画素間の段差を検出することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記補間手段は、前記段差において、画像データ有りの画素に隣接する部分に、1/Nの画素サイズの補間画素データを補間することを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記画像データを1/Nの画素サイズに変換する解像度変換部と、
前記1/Nの画素サイズの画素データと前記補間画像データを合成する画像合成手段と、
を有することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。
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