JP4638826B2 - 描画装置及び描画方法 - Google Patents
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複数の描画素子(40)を二次元状に配列して構成され、前記描画面の前記走査方向に対し所定の傾斜角度(θs)で傾斜した複数の描画要素点(41)により二次元状の描画点群を形成する描画素子群(36)と、
前記描画データに従い前記各描画素子(40)を所定のタイミングで変調制御する制御手段(42)と、
を備え、前記描画面に形成される描画点の配置と、前記描画データに係る描画パターン(80)との関係で生じるジャギーのジャギーピッチ(pji)又はジャギー振幅(aji)が所定値以下となるよう、隣接する前記描画要素点(41)間の配列ピッチ(ps)、前記傾斜角度(θs)、前記走査方向に形成される前記描画点の描画ピッチ(py)、又は、隣接する前記描画要素点(41)間での前記走査方向に対する描画位置の位相差(ΔΔy)が設定されることを特徴とする。
前記描画面に形成される描画点の配置と、前記描画データに係る描画パターン(80)との関係で生じるジャギーのジャギーピッチ(pji)又はジャギー振幅(aji)が所定値以下となるよう、隣接する前記描画要素点(41)間の配列ピッチ(ps)、前記傾斜角度(θs)、前記走査方向に形成される前記描画点の描画ピッチ(py)、又は、隣接する前記描画要素点(41)間での前記走査方向に対する描画位置の位相差(ΔΔy)を設定し、前記描画データに従い前記各描画素子(40)を所定のタイミングで変調制御することを特徴とする。
前記描画要素点(41)の略走査方向に沿った配列ピッチ(ps)、前記描画要素点(41)の並び方向(θs)、前記描画要素点(41)により形成される描画点の前記走査方向に対する描画ピッチ(py)、又は、隣接する前記描画要素点(41)間での前記走査方向に対する描画位置の位相差(ΔΔy)の少なくとも1つと、描画する描画パターン(80)により生じるジャギーの形状との相関関係を用意し、
前記相関関係に基づいて、前記配列ピッチ(ps)、前記並び方向(θs)、前記描画ピッチ(py)、又は、前記位相差(ΔΔy)の少なくとも1つを設定又は変更することを特徴とする。
前記描画要素点(41)により形成される描画点の配列状態と、描画する描画パターン(80)により生じるジャギーの形状との相関関係を用意し、
前記相関関係に基づいて前記配列状態を設定又は変更することを特徴とする。
描画する描画パターン(80)により生じるジャギーが低減されるよう、前記描画要素点(41)により描画される描画点の配列状態を設定又は変更することを特徴とする。
図11に示す3つの隣接するアドレス格子点A、B′、B″を考える。格子点列3の傾斜角度θg3は、
θg3=90゜ (1)
である。また、格子点列1、2の傾斜角度θg1、θg2については、
N1=integer(ps・sinθs/py)
(integerは、切り捨て演算を表す。)
N2=N1+1
とすると、アドレス格子点Aに対するアドレス格子点B′、B″のy方向のずれ量Δy1、Δy2は、
Δyi=ps・sinθs−py・N1 (i=1、2)
となる。また、アドレス格子点A、B′、B″のx方向の描画ピッチpxは、
px=ps・cosθs
であるから、
tanθgi=Δyi/py (i=1、2) (2)
となる。従って、格子点列1〜3の傾斜角度θg1、θg2は、
θgi=tan-1{(ps・sinθs−py・Ni)/(ps・cosθs)} (i=1、2) (3)
として求まる。
格子点列3は、y方向に配列されたアドレス格子点で構成されるから、
pg3=py (4)
である。また、
pgi=px/cosθgi (i=1、2) (5)
である。
格子点列3の列間隔dg3は、
dg3=px (6)
である。また、
dgi=py・cosθgi (i=1、2) (7)
である。
ジャギーピッチpjiは、格子点列1〜3の列間隔dgiと、格子点列1〜3の傾斜角度θgi及びオリジナル画像80の傾斜角度θLの差(θgi−θL)とで決まる。この場合、各格子点列1〜3上にアドレス格子点が連続的に形成されるものと仮定して、平均値としてのジャギーピッチpjiは、
pji=dgi/sin(θgi−θL) (i=1〜3) (8)
となる。
図12は、格子点列1とオリジナル画像80との間で発生するジャギーの説明図である。この場合、オリジナル画像80の境界と格子点列1との交点間の距離がジャギーピッチpj1となる。また、ジャギー振幅aj1は、格子点列1及び格子点列2と、格子点列1及び格子点列3との間でそれぞれ定義できる。これらのジャギー振幅aj1のうち、小さい方を代表値としてのジャギー振幅aj1に選択すると、図12に示す関係から、
aj1=pj1・tanθ′1・tanθ′2/(tanθ′2−tanθ′1) (θ′1=θg1−θL)
となる。従って、ジャギー振幅ajiは、
aji=pji・tanθ′i・tanθ′k/(tanθ′k−tanθ′i) (i=1〜3、θ′i=θgi−θL、k=1〜3、i≠k)
(9)
である。なお、θ′kは、選択されたジャギー振幅ajiの小さい格子点列とオリジナル画像80とのなす角度である。
24a〜24j…露光ヘッド 26…スキャナ
28…光源ユニット 36…DMD
38…SRAMセル 40…マイクロミラー
42…制御ユニット 48…マイクロレンズアレー
58a〜58j…露光エリア 64…同期信号生成部
66…露光ステージ駆動部 68…描画データ記憶部
70…DMD変調部 72…周波数変更部
74…位相差変更部 75…移動速度変更部
76…露光ヘッド回転駆動部 77…スワス
78…光学倍率変更部 79…ズーム光学系
80…オリジナル画像 F…シートフイルム
L…レーザビーム
Claims (24)
- 描画面に沿った所定の走査方向へ相対移動する描画ヘッドを備え、描画データに基づいて描画を行う描画装置であって、
複数の描画素子を二次元状に配列して構成され、前記描画面の前記走査方向に対し所定の傾斜角度で傾斜した列からなる複数の描画要素点により二次元状の描画点群を形成する描画素子群と、
前記描画データに従い前記各描画素子を所定のタイミングで変調制御する制御手段と、
を備え、前記描画面に形成される描画点のうち、隣り合う描画点間の並びにより複数の異なる方向に延びる列を仮定し、平行に並ぶ列を1つの格子点列とした場合に、
前記格子点列の列間隔、前記格子点列の傾斜角度と前記描画データの描画パターンの傾斜角度との差により定まるジャギーのジャギーピッチ、又は、2つの前記格子点列が交差する点から前記描画データの描画パターンの境界線に直交する点までの間隔により定まる前記ジャギーのジャギー振幅が所定値以下となるよう、隣接する前記描画要素点間の配列ピッチ、前記描画要素点の列の傾斜角度、前記走査方向に形成される前記描画点の描画ピッチ、又は、隣接する前記描画要素点間での前記走査方向に対する描画位置の位相差が設定されることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記描画素子群は、前記描画データに従い、入射した照明光を変調して前記描画面に導く空間光変調素子であることを特徴とする描画装置。 - 請求項2記載の装置において、
前記空間光変調素子は、前記照明光を反射する反射面の角度が前記描画データに従って変更可能な多数のマイクロミラーを二次元的に配列して構成されるマイクロミラーデバイスであることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記描画ヘッドの全体又は一部を回転させることで前記描画要素点の前記傾斜角度を変更する描画要素点回転手段を備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記描画面に形成される前記描画要素点の描画倍率を変更することで前記配列ピッチを変更する倍率変更手段を備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記描画素子による前記描画点の描画周波数を変更することで前記描画ピッチを変更する描画周波数変更手段を備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記描画面に対する前記描画ヘッドの相対移動速度を変更することで前記描画ピッチを変更する移動速度変更手段を備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記走査方向に隣接する前記描画素子の変調制御のタイミングを変更することで前記位相差を変更する変調制御タイミング変更手段を備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記ジャギーピッチの前記所定値は、前記描画面に形成される前記描画点のドット径以下に設定されることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
複数の前記描画ヘッドを有し、前記各描画ヘッドでの前記配列ピッチ、前記傾斜角度、前記描画ピッチ、又は、前記位相差が個別に設定されることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
複数の前記描画ヘッドを有し、前記各描画ヘッドで生じる前記ジャギーピッチ又は前記ジャギー振幅の平均値が所定値以下となるよう、前記配列ピッチ、前記傾斜角度、前記描画ピッチ、又は、前記位相差が設定されることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記描画パターンの前記走査方向に対する傾斜角度に応じて、前記配列ピッチ、前記傾斜角度、前記描画ピッチ、又は、前記位相差が設定されることを特徴とする描画装置。 - 請求項1記載の装置において、
前記走査方向と直交し、又は、略直交する方向の前記描画パターンにより生じる前記ジャギーピッチ又は前記ジャギー振幅が所定値以下となるよう、前記配列ピッチ、前記傾斜角度、前記描画ピッチ、又は、前記位相差が設定されることを特徴とする描画装置。 - 複数の描画素子が二次元状に配列された描画ヘッドを描画面に沿った所定の走査方向へ相対移動させるとともに、前記各描画素子を描画データに従って変調制御し、前記描画面の前記走査方向に対し所定の傾斜角度で傾斜した列からなる複数の描画要素点により二次元状の描画点群を形成する描画方法であって、
前記描画面に形成される描画点のうち、隣り合う描画点間の並びにより複数の異なる方向に延びる列を仮定し、平行に並ぶ列を1つの格子点列とした場合に、
前記格子点列の列間隔、前記格子点列の傾斜角度と前記描画データの描画パターンの傾斜角度との差により定まるジャギーのジャギーピッチ、又は、2つの前記格子点列が交差する点から前記描画データの描画パターンの境界線に直交する点までの間隔により定まる前記ジャギーのジャギー振幅が所定値以下となるよう、隣接する前記描画要素点間の配列ピッチ、前記描画要素点の列の傾斜角度、前記走査方向に形成される前記描画点の描画ピッチ、又は、隣接する前記描画要素点間での前記走査方向に対する描画位置の位相差を設定し、前記描画データに従い前記各描画素子を所定のタイミングで変調制御することを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記傾斜角度は、前記描画ヘッドの全体又は一部を回転させて変更することを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記配列ピッチは、前記描画面に形成される前記描画要素点の描画倍率を変更することで変更されることを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記描画ピッチは、前記描画素子による前記描画点の描画周波数を変更することで変更されることを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記描画ピッチは、前記描画面に対する前記描画ヘッドの相対移動速度を変更することで変更されることを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記位相差は、隣接する前記描画素子の変調制御のタイミングを変更することで変更されることを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記ジャギーピッチの前記所定値は、前記描画面に形成される前記描画点のドット径以下に設定されることを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
複数の前記描画ヘッドを有し、前記各描画ヘッドでの前記配列ピッチ、前記傾斜角度、前記描画ピッチ、又は、前記位相差を個別に設定することを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
複数の前記描画ヘッドを有し、前記各描画ヘッドで生じる前記ジャギーピッチ又は前記ジャギー振幅の平均値が所定値以下となるよう、前記配列ピッチ、前記傾斜角度、前記描画ピッチ、又は、前記位相差を設定することを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記描画パターンの前記走査方向に対する傾斜角度に応じて、前記配列ピッチ、前記傾斜角度、前記描画ピッチ、又は、前記位相差を設定することを特徴とする描画方法。 - 請求項14記載の方法において、
前記走査方向と直交し、又は、略直交する方向の前記描画パターンにより生じる前記ジャギーピッチ又は前記ジャギー振幅が所定値以下となるよう、前記配列ピッチ、前記傾斜角度、前記描画ピッチ、又は、前記位相差を設定することを特徴とする描画方法。
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