JP2007071984A - パターン記録方法及び画像記録装置 - Google Patents

パターン記録方法及び画像記録装置 Download PDF

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Abstract

【課題】周期的なパターンを、周期的なむらが視認されにくくなるように記録する。
【解決手段】フィルタの長手方向が主走査方向に沿う第1の向きでフィルタパターンを記録するときの主走査方向に沿ったフィルタパターンのピッチP1、フィルタの長手方向が副走査方向に沿う第2の向きで記録媒体にフィルタパターンを記録するときの主走査方向に沿ったフィルタパターンのピッチP2との最小公倍数を演算し、第1の向き及び第2の向きのうち、演算した最小公倍数に相当するピッチで現れるむらに対する人間の視覚系のレスポンスがより小さい向きで記録媒体にフィルタパターンを記録する。
【選択図】図20

Description

本発明はパターン記録方法及び画像記録装置に係り、特に、記録媒体上での記録位置が、第1方向に沿って第1のピッチで配置されかつ記録媒体に対して第1方向と直交する第2方向に相対移動される複数の記録素子によって、記録媒体上に周期的なパターンを記録するためのパターン記録方法、及び、該パターン記録方法を適用可能な画像記録装置に関する。
LCD等のフラットパネルディスプレイ(FPD)は、表示画素の光透過率や表示輝度を個々の表示画素毎に独立に変化させるための機構が、間隔を隔てて対向配置された一対の基板内に設けられて構成されており、カラー画像を表示可能なFPDでは、更に個々の表示画素に対応する矩形状のR,G,Bのカラーフィルタがストライプ状に配置されたフィルタパターンが一方の基板上に形成されている。このフィルタパターンは、例えば特許文献1に記載の記録装置等を用いて形成することができる。
特許文献1に記載の記録装置では、支持層と受像層が積層されて成る受像シートを支持体に密着させ、受像層を支持体に転写した後に支持層を剥離し、続いて支持層、光熱変換層及び画像形成層(トナー層)が積層されて成る特定色の転写シートを支持体に密着させ、レーザ光の照射によって複数の記録スポットから成り主走査方向及び副走査方向に傾斜させた記録スポット列Spを転写シート上に形成し、フィルタパターンを表す画像データに基づいて記録スポット列Spの個々の記録スポットのオンオフ制御を行いながら記録スポット列Spを転写シート上で走査させる。これにより、転写シートのトナー層が受像層に転写され、転写シートを剥離することで受像層に特定色のパターン画像が形成される。上記処理がR,G,B,K各色について繰り返されることで、フィルタパターンを形成することができる。
特開2004−167995号公報
しかしながら、上記のように主走査方向(及び副走査方向)に沿った位置の異なる複数の記録位置での記録を並列に行うことで、フィルタパターンのような周期的なパターンを形成する場合、形成した周期的なパターンに、視認可能なむらが主走査方向に沿って周期的に現れることがある、という問題があった。このような周期的なむらは、形成したパターンの顕著な画質低下として視認されるので望ましくない。
本発明は上記事実を考慮して成されたもので、周期的なパターンを、周期的なむらが視認されにくくなるように記録できるパターン記録方法及び画像記録装置を得ることが目的である。
本願発明者等は、記録媒体上での記録位置が、主走査方向に沿って一定のピッチで配置されかつ記録媒体に対して主走査方向と直交する副走査方向に相対移動される複数の記録素子によって、フィルタパターンのような周期的な種々のパターンを記録させ、記録させたパターンに現れている主走査方向に沿った周期的なむらについて、その周期(ピッチ)を計測すると共に、むらの周期(ピッチ)を計測した結果に基づいて、むらを低減するための対策について検討した。その結果、上記のむらは、記録した周期的なパターンの主走査方向に沿ったピッチが、主走査方向に沿った記録位置のピッチの整数倍であるときには発生しないものの、記録した周期的なパターンの主走査方向に沿ったピッチが、主走査方向に沿った記録位置のピッチの整数倍でない場合(実際にはこの場合が殆どである)に発生すると共に、むらが発生した場合の周期が、主走査方向に沿った記録位置のピッチと、記録した周期的なパターンの主走査方向に沿ったピッチの最小公倍数に相当する周期となることが判明した。
詳しくは、記録媒体上での記録位置が主走査方向に沿って離間している(主走査方向に沿って離散的に並んでいる)複数の記録素子によって記録媒体に画像を記録する場合、記録画像のエッジは記録媒体上での記録位置の中間部に位置させる必要があるので、記録媒体上での本来のエッジの位置に対して記録媒体上での実際のエッジの記録位置にずれ(丸め誤差)が生ずることがあるが、記録媒体に記録する画像が周期的なパターンであり、かつ該パターンの主走査方向に沿ったピッチが、主走査方向に沿った記録位置のピッチの非整数倍である場合、上記のずれ(丸め誤差)の大きさは、主走査方向に沿った記録位置のピッチの1/2を最大値、最小値を0として、主走査方向に沿った記録位置のピッチと、上記パターンの主走査方向に沿ったピッチの最小公倍数に相当する周期で変動する。前述した周期的なむらは、記録媒体上での本来のエッジの位置に対する実際のエッジの記録位置のずれ(丸め誤差)の大きさが、主走査方向に沿って周期的に変動していることが原因であることが判明した。
そして本願発明者等は、周期的なむらに対する人間の視覚系のレスポンス(視認され易さ)はむらの周期に応じて変化することに基づき、周期的なパターンが記録媒体上に第1の向き及び第2の向きで記録可能で、かつ記録媒体に第1の向きで記録するときの主走査方向に沿ったピッチと、記録媒体に第2の向きで記録するときの主走査方向に沿ったピッチが相違している場合には、第1の向きで記録するときと第2の向きで記録するときとで上記のむらの周期が相違し、これに伴ってむらの視認され易さも相違することから、周期的なパターンの記録に際してその向きを適切に選択すれば、周期的なむらが視認されにくくなることに想到して本発明を成すに至った。
上記に基づき請求項1記載の発明に係るパターン記録方法は、記録媒体上での記録位置が、第1方向に沿って第1のピッチで配置されかつ前記記録媒体に対して前記第1方向と直交する第2方向に相対移動される複数の記録素子によって、前記記録媒体上に周期的なパターンを記録するにあたり、前記周期的なパターンが、前記複数の記録素子によって前記記録媒体上に第1の向き及び第2の向きで記録可能で、かつ前記記録媒体に前記第1の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチと、前記記録媒体に前記第2の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチが相違している場合に、前記第1の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチ及び前記第2の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチについて、前記第1のピッチとの最小公倍数を各々演算し、前記第1の向き及び前記第2の向きのうち、前記演算した最小公倍数に相当するピッチで現れるむらに対する人間の視覚系のレスポンスがより小さい向きを選択し、前記周期的なパターンを前記選択した向きで前記記録媒体に記録することを特徴としている。
請求項1記載の発明では、記録媒体上での記録位置が、第1方向に沿って第1のピッチで配置されかつ記録媒体に対して第1方向と直交する第2方向に相対移動される複数の記録素子によって、記録媒体上に周期的なパターンが記録される。なお周期的なパターンとしては、具体的には、例えば請求項2に記載したように、基板上に矩形状のフィルタをストライプ状に多数形成するためのストライプパターンや、対向配置される一対の基板を一定間隔に保持するスペーサ、又は、カラーフィルタを囲むように形成されるブラックマトリックス、又は、液晶表示パネルの液晶層内に設けられる液晶配向制御用突起を基板のX方向及びY方向に異なるピッチで形成するためのパターンを適用することができる。
ここで、請求項1記載の発明では、周期的なパターンが、複数の記録素子によって記録媒体上に第1の向き及び第2の向きで記録可能で、かつ記録媒体に第1の向きで記録するときの第1方向に沿ったピッチと、記録媒体に第2の向きで記録するときの第1方向に沿ったピッチが相違している場合に(上記のストライプパターンや上記のスペーサを形成するためのパターンはこの条件を満足する)、第1の向きで記録するときの第1方向に沿ったピッチ及び第2の向きで記録するときの第1方向に沿ったピッチについて、第1のピッチとの最小公倍数を各々演算し、第1の向き及び第2の向きのうち、演算した最小公倍数に相当するピッチで現れるむらに対する人間の視覚系のレスポンスがより小さい向きを選択し、周期的なパターンを選択した向きで記録媒体に記録する。
これにより、第1の向きと第2の向きのうち、発生する周期的なむらがより視認されにくい向きが選択され、選択された向きで記録媒体に周期的なパターンが記録されることになるので、周期的なパターンを、周期的なむらが視認されにくくなるように記録することができる。
なお、請求項1記載の発明において、複数の記録素子は、記録媒体上での記録位置がm行n列のマトリクス状に配列されていると共に、記録媒体上での記録位置のマトリクス状の配列における行方向及び列方向が第1方向に対して各々傾斜されていてもよい。この構成において、マトリクス状の配列における列方向と第1方向の成す角度が、マトリクス状の配列における列方向と第1方向の成す角度と等しくない場合、記録媒体上での第1方向に沿った記録位置のピッチ(第1のピッチ)には、i行目j列目,i+1行目j列目,i+2行目j列目,…の各記録位置の第1方向に沿ったピッチと、i行目j列目,i行目j+1列目,i行目j+2列目,…の各記録位置の第1方向に沿ったピッチの2種類のピッチが存在することになる。
このような場合には、例えば請求項3に記載したように、周期的なパターンを記録媒体上に第1の向きで記録するときの、i行目j列目の記録位置とi+1行目j列目の記録位置の第1方向に沿ったピッチと、周期的なパターンの第1方向に沿ったピッチとの最小公倍数、及び、i行目j列目の記録位置とi行目j+1列目の記録位置の第1方向に沿ったピッチと、周期的なパターンの第1方向に沿ったピッチとの最小公倍数を演算すると共に、周期的なパターンを記録媒体上に第2の向きで記録するときの、i行目j列目の記録位置とi+1行目j列目の記録位置の第1方向に沿ったピッチと、周期的なパターンの第1方向に沿ったピッチとの最小公倍数、及び、i行目j列目の記録位置とi行目j+1列目の記録位置の第1方向に沿ったピッチと、周期的なパターンの第1方向に沿ったピッチとの最小公倍数を演算し(これにより個々の向き毎に2つの最小公倍数が演算される)、第1の向き及び第2の向きのうち、演算した最小公倍数に相当するピッチで現れるむらに対する人間の視覚系のレスポンスが最大値を示す最小公倍数に対応する向きと異なる向きを選択することが好ましい。これにより、複数の記録素子の記録媒体上での記録位置がm行n列のマトリクス状に配列されている場合にも、発生する周期的なむらがより視認されにくい向きを確実に選択することができる。
また、請求項3記載の発明のように、記録媒体上での記録位置のマトリクス状の配列における行方向及び列方向を第1方向に対して各々傾斜させた場合、記録媒体に記録する周期的なパターンによっては無視できないジャギーが発生する恐れがある。これを考慮すると、例えば請求項4に記載したように、複数の記録素子は、記録媒体上に周期的なパターンを記録するための記録データに基づいて、対応する記録位置が記録媒体上のドット記録位置に到達したタイミングでドットを記録するように駆動され、記録媒体上でのドット記録位置の配置と、記録データが表す記録対象パターンとの関係で生じるジャギーのジャギーピッチ又はジャギー振幅が所定値以下となるように、行方向及び列方向と第1方向との傾斜角度、行方向又は列方向に沿った記録位置のピッチ、ドット記録位置の第2方向に沿ったピッチ、及び、ドット記録位置の配列方向の少なくとも1つを調整することが好ましい。これにより、周期的なパターンを記録するに際し、周期的なむらに加えてジャギーも視認されにくくすることができる。
請求項5記載の発明に係る画像記録装置は、記録媒体上での記録位置が、第1方向に沿って第1のピッチで配置されかつ前記記録媒体に対して前記第1方向と直交する第2方向に相対移動される複数の記録素子によって、前記記録媒体上に画像を記録する画像記録装置であって、前記記録媒体に記録する画像が、前記複数の記録素子によって前記記録媒体上に第1の向き及び第2の向きで記録可能で、かつ前記記録媒体に前記第1の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチと、前記記録媒体に前記第2の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチが相違している周期的なパターンである場合に、前記第1の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチ及び前記第2の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチについて、前記第1のピッチとの最小公倍数を各々演算する演算手段と、前記第1の向き及び前記第2の向きのうち、前記演算手段によって演算された最小公倍数に相当するピッチで現れるむらに対する人間の視覚系のレスポンスがより小さい向きを選択する選択手段と、前記周期的なパターンを前記選択手段によって選択された向きで前記記録媒体に記録させるパターン記録制御手段と、を備えたことを特徴としているので、請求項1記載の発明と同様に、周期的なパターンを、周期的なむらが視認されにくくなるように記録することができる。
以上説明したように本発明は、記録媒体上での記録位置が第1方向に沿って第1のピッチで配置されかつ記録媒体に対して第1方向と直交する第2方向に相対移動される複数の記録素子によって記録媒体上に記録する周期的なパターンが、記録媒体上に第1の向き及び第2の向きで記録可能で、かつ第1の向きで記録するときの第1方向に沿ったピッチと、第2の向きで記録するときの第1方向に沿ったピッチが相違している場合に、第1の向きで記録するときの第1方向に沿ったピッチ及び第2の向きで記録するときの第1方向に沿ったピッチについて、第1のピッチとの最小公倍数を各々演算し、第1の向き及び前記第2の向きのうち、演算した最小公倍数に相当するピッチで現れるむらに対する人間の視覚系のレスポンスがより小さい向きを選択し、周期的なパターンを選択した向きで記録媒体に記録するようにしたので、周期的なパターンを、周期的なむらが視認されにくくなるように記録できる、という優れた効果を有する。
以下、図面を参照して本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。図1には、本実施形態に係るフラットベッドタイプの画像露光装置10が示されている。画像露光装置10は本発明に係る画像記録装置に対応しており、複数の脚部12によって支持された変形の極めて小さい定盤14を備え、この定盤14上には、2本のガイドレール16を介して移動ステージ18が矢印方向に往復移動可能に設置されている。移動ステージ18には、記録媒体84(詳細は後述)が吸着保持される。定盤14の中央部には、ガイドレール16を跨ぐようにコ字状のゲート20が設置される。ゲート20の一方の側部には、記録媒体84に記録されたアラインメントマークを検出するカメラ22a、22bが固定され、他方の側部には、記録媒体84に対して画像を露光記録する複数の露光ヘッド24a〜24jが位置決め保持されたスキャナ26が固定される。
なお、画像露光装置10は、入力された画像データ(描画用ラスタデータ)が表す画像(例えば基板に形成すべきフィルタパターンや配線パターン等)をデジタル描画方式により基板(記録媒体84)に直接描画することで、FPD用のカラーフィルタ基板や、電気・電子回路の部品を搭載するためのプリント配線基板を製造する機能を備えた装置であり、例えばカラーフィルタ基板の製造は、図2に示す各工程の処理が順次行われることで実現される。
すなわち、まず図2(A)に示す支持体86が移動ステージ18上に載置され、この支持体86が吸着保持されることで移動ステージ18上に固定される。なお、支持体86はFPDの基板として使用可能な平板上で光透過性を有する部材であり、例えばガラスや合成樹脂等の材質で構成されている。
次に、移動ステージ18の移動経路上の任意の位置に配設された受像シート供給部(図示省略)によって図2(B)に示す受像シート88が供給され、この受像シート88が支持体86に重ね合わされることで積層される。受像シート88は、PET(ポリエチレン・テレフタレート)又はTAC(トリアセチルセルロース)又はPEN(ポリエチレンナフタレート)から成る支持層86Aと、転写されるトナーを受け止める働きをする受像層88Bが積層されて構成されており、受像層88Bが支持体86に接する向きで積層される。支持体86に受像シート88が積層されると、図示しないスクイズローラによって受像シート88を支持体86側へ押圧することで、受像シート88の受像層88Bを支持体86に密着させる。なお、ヒートローラを用いて受像シート88を支持体86へ加熱密着(ラミネート)させる処理を更に加えてもよい。
次に、移動ステージ18の移動経路上の任意の位置に配設された剥離処理部(図示省略)により、図2(C)に示すように受像シート88の支持層88Aが剥離される。これにより、受像層88Bが支持体86に転写される。
続いて、移動ステージ18の移動経路上の任意の位置に配設された転写シート供給部(図示省略)によって図2(D)に示す特定色の転写シート90が供給され、この転写シート90が支持体86に重ね合わされることで積層される(工程D)。転写シート90は、支持層90A、光熱変換層90B及び画像形成層(トナー層)90Cが順に積層されて構成されている。なお、支持層90Aは光透過性を有する材料であればよく、例えば受像シート88の支持層88Aと同様の材料で構成することができる。また、光熱変換層90Bは照射されたレーザ光のエネルギーを熱エネルギーに変換する機能を有する材料であればよく、例えばカーボンや黒色物質、赤外吸収色素、特定波長吸収物質等の一般的な光熱変換材料から任意の材料を選択することができる。またトナー層90Cとしては種々の色が用意されているが、FPD用のカラーフィルタ基板を製造する際には、R,G,B,Kのうちの何れかの色のトナー層90Cが設けられた4種類の転写シート90が用いられる。転写シート90はトナー層90Cが受像層88Bに接する向きで積層され、図示しないスクイズローラによって支持体86側へ押圧することで、トナー層90Cが受像層88Bに密着される。なお、ヒートローラを用いて転写シート90を支持体86側へ加熱密着(ラミネート)させる処理を更に加えてもよい。
画像露光装置10のスキャナ26の構成については後述するが、スキャナ26は、図2(D)に示すように、支持体86に受像層88Bが転写されると共に転写シート90が積層・密着された状態の記録媒体84を画像露光記録の対象としており、特定色の転写シート90が積層・密着された状態の記録媒体84に対し、入力された画像データのうち特定色の画像データ(特定色のフィルタパターンを表す画像データ)に基づいて、スキャナ26の複数の露光ヘッド24a〜24jから射出されるレーザ光を変調して記録媒体84に照射させる(図2(E)も参照)ことで、特定色のフィルタパターンの画像を記録媒体84に露光記録する(工程E)。これにより、記録媒体84のうちレーザ光が照射された部分で転写シート90のトナー層90Cが受像層88Bへ転写され、支持体86上に特定色のフィルタパターンが形成される。そして、前述の剥離処理部(図示省略)により、図2(F)に示すように転写シート90が剥離される(工程F)。
カラーフィルタ基板を製造する場合には、上述した工程D〜工程FがR,G,B各色毎に1回で計3回(R,G,Bのフィルタの間にブラックストライプを形成する場合には、R,G,B,K各色毎に1回で計4回)が繰り返される。これにより、図2(G)に示すように、支持体86上に各色のフィルタがストライプ状に配置されたカラーフィルタ基板が完成することになる。なお、プリント配線基板を製造する際には、上記の支持体86に代えて、ガラスエポキシから成る平板状の基材の表裏面に銅製の導電層が形成された基板が用いられ、この基板に、PET等から成り光透過性を有する支持層と、感光材料から成る感光層が積層されて構成されたレジストフィルムが貼着された状態で、形成すべき配線パターンに応じて変調したレーザ光が照射されることで、配線パターンの露光記録が成される。
次に画像露光装置10のスキャナ26について説明する。スキャナ26に設けられている個々の露光ヘッド24a〜24jは、図3に示すように、光源ユニット28を構成する複数の半導体レーザから出力されたレーザ光Lが合波され光ファイバ30を介して導入される。レーザ光Lが導入された光ファイバ30の射出端には、ロッドレンズ32、反射ミラー34、及びデジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)36が順に配列されており、ロッドレンズ32を透過して反射ミラー34で反射されたレーザ光LはDMD36の全面に照射される。
図4に示すように、DMD36はSRAMセル(メモリセル)38上に、各々画素(ピクセル)を構成する多数の微小ミラー(マイクロミラー)40が格子状に配列されてなるミラーデバイスである。各ピクセルにおいて、最上部には支柱に支えられたマイクロミラー40が設けられており、マイクロミラー40の表面にはアルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。DMD36は、SRAMセル38にデジタル信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラー40が、対角線を中心としてDMD36が配置された基板側に対して±α度(例えば±12度)の範囲で傾斜される。なお、図5はマイクロミラー40がオン状態である+α度傾斜された状態を示し、図6はマイクロミラー40がオフ状態である−α度傾斜された状態を示す。
DMD36には制御ユニット42が接続されており、制御ユニット42は、記録媒体84へ記録すべき画像を表す画像データに応じて、DMD36のマイクロミラー40の傾きを各ピクセル毎に独立にオン状態又はオフ状態に制御する。これにより、DMD36に入射したレーザ光Lは、個々のピクセルを単位として、各ピクセルのマイクロミラー40の傾き方向へ反射される。オン状態のマイクロミラー40で反射されたレーザ光Lの射出方向には、当該レーザ光を記録媒体84へ導く光学系(後述)が配置されている一方、オフ状態のマイクロミラー40で反射されたレーザ光Lの射出方向には光吸収体(図示省略)が配置されている。従って、DMD36に入射されたレーザ光Lは、制御ユニット42に入力された画像データに応じて、DMD36の個々のピクセルを単位として、オン(記録媒体84に照射)又はオフ(記録媒体84への照射停止)が制御され、記録媒体84へ照射された照射されたレーザ光(オン状態のマイクロミラー40で反射されたレーザ光)によって記録媒体84にドットが露光記録されることで、画像データに応じた画像が記録媒体84に露光記録されることになる。
また、オン状態のマイクロミラー40によって反射されたレーザ光Lの射出側には、拡大光学系である第1結像光学レンズ44、46、DMD36の各マイクロミラー40に対応して多数のレンズを配設したマイクロレンズアレイ48、ズーム光学系である第2結像光学レンズ50、52が順に配列されている。なお、マイクロレンズアレイ48の前後には、迷光を除去すると共に、レーザ光Lを所定の径に調整するためのマイクロアパーチャアレイ54、56が配設されている。
また露光ヘッド24a〜24jは、図7に示すように、記録媒体84の走査方向(移動ステージ18の移動方向:以下便宜的に副走査方向と称する)と直交する方向(以下便宜的に主走査方向と称する)に2列かつ千鳥状に配列される。各露光ヘッド24a〜24jに組み込まれているDMD36は、記録媒体84に露光記録する画像の高解像度化を実現するために、図8に示すように副走査方向(及び主走査方向)に対して所定角度傾斜されており、これに伴い、記録媒体84上におけるDMD36の各ピクセルに対応するレーザ光の照射位置(記録位置)の配列も副走査方向に対して所定角度傾斜されている。これにより、DMD36の各ピクセルに対応するレーザ光の照射位置の主走査方向に沿ったピッチが小さくなり、主走査方向の解像度を向上させることができる。なお、各露光ヘッド24a〜24jによる記録媒体84上の露光エリア58a〜58jは、各露光エリア58a〜58jの間に未露光の領域が生じないように、主走査方向に沿って隣り合う露光エリアと一部重なるように設定されている。
図9に示すように、画像露光装置10の制御ユニット42は、エンコーダ62から出力される移動ステージ18の位置を表す位置データに基づいて同期信号を生成する同期信号生成部64と、生成された同期信号に基づいて移動ステージ18を走査方向に移動させる露光ステージ駆動部66と、記録媒体84に露光記録すべき画像のデータを記憶する画像データ記憶部68と、同期信号及び画像データに基づいてDMD36のSRAMセル38を変調制御し、マイクロミラー40を駆動するDMD変調部70を備えている。また制御ユニット42は、同期信号生成部64によって生成された同期信号を調整する周波数変更部72、位相差変更部74及び移動速度変更部75を備えている。
周波数変更部72は、DMD36の個々のマイクロミラー40のオンオフ制御のタイミングを決定する周波数を変更する周波数変更信号を同期信号生成部64に供給することで、記録媒体84に露光記録される画素の副走査方向に沿ったピッチを調整する。また位相差変更部74は、主走査方向に隣接して配列されたマイクロミラー40のオンオフ制御のタイミングの位相差を変更する信号を同期信号生成部64に供給することで、記録媒体84に露光記録される画素の副走査方向に沿った位相差を調整する。移動速度変更部75は、移動ステージ18の移動速度を変更する移動速度変更信号を同期信号生成部64に供給することで移動ステージ18の移動速度を調整する。
また制御ユニット42には、必要に応じて、露光ヘッド回転駆動部76及び光学倍率変更部78を配設してもよい。露光ヘッド回転駆動部76は、露光ヘッド24a〜24jをレーザ光Lの光軸回りに所定角度回転させることで、記録媒体84上に形成される画素配列の走査方向に対する傾斜角度を調整する。なお、露光ヘッド24a〜24jの一部の光学部材を回転させることによって、画素配列の傾斜角度を調整するようにしてもよい。また光学倍率変更部78は、露光ヘッド24a〜24jの第2結像光学レンズ50、52により構成されるズーム光学系79を制御して光学倍率を変更し、隣接するマイクロミラー40により記録媒体84上に形成される画素の配列ピッチ又は同一のマイクロミラー40によって露光記録される画素の副走査方向に沿ったピッチを調整する。
次に本実施形態の作用として、最初に、記録媒体84に画像を露光する際の画像露光装置10の動作を説明する。記録媒体84に画像を露光する場合、制御ユニット42は、移動ステージ18に記録媒体84を吸着保持させた後に、露光ステージ駆動部66を駆動することで、移動ステージ18をガイドレール16に沿って所定方向へ移動させる。移動ステージ18がゲート20間を通過する際、記録媒体84の所定位置に記録されているアライメントマークがカメラ22a、22bによって読み取られる。制御ユニット42は、カメラ22a、22bによって読み取られたアライメントマークの位置を表す位置データに基づいて、記録媒体84の位置を補正するための位置補正データを算出する。
制御ユニット42は、位置補正データを算出した後、移動ステージ18を所定方向と逆方向(副走査方向)へ移動させ、スキャナ26による記録媒体84への画像の露光記録を開始させる。これにより、光源ユニット28から射出されたレーザ光Lが、光ファイバ30を介して各露光ヘッド24a〜24jに導入され、ロッドレンズ32から反射ミラー34を介してDMD36に入射される。一方、制御ユニット42では、画像データ記憶部68から読み出され、前述の位置補正データにより補正された画像データが、DMD変調部70において、同期信号生成部64から供給される同期信号に従ったタイミングで変調されてDMD36に供給される。これにより、DMD36の各マイクロミラー40が、同期信号に応じたタイミングで、画像データに従ってオンオフ制御される。
DMD36の各マイクロミラー40のうちオン状態のマイクロミラー40によって反射されたレーザ光Lは、第1結像光学レンズ44、46によって拡大された後、マイクロアパーチャアレイ54、マイクロレンズアレイ48及びマイクロアパーチャアレイ56を介し、DMD36の個々のピクセル(マイクロミラー40)に対応するレーザ光毎に所定のビーム径に調整され、続いて、光学倍率変更部78を構成する第2結像光学レンズ50、52によって所定の倍率に調整されて記録媒体84に照射される。このとき、移動ステージ18はガイドレール16に沿って副走査方向へ一定速度で移動されているので、移動ステージ18に吸着保持されている記録媒体84には、画像データが表す画像が露光ヘッド24a〜24jによって順次露光記録される。
ところで、本実施形態に係る画像露光装置10は、DMD36の各マイクロミラー40のうちオン状態のマイクロミラー40によって反射されたレーザ光Lを記録媒体84に各々照射し、照射した個々のレーザ光Lによって記録媒体84上にドットを各々形成させることで、記録媒体84上に画像を露光記録する構成であり、画像データが表す画像(オリジナル画像)は、記録媒体84上に離散的に配置・形成された多数のドットにより画像として再現されるため、オリジナル画像と記録媒体84上におけるドット記録位置の配置との関係で、記録媒体84に露光記録した画像にジャギーが発生したり、オリジナル画像における線幅に対し露光記録した画像における線幅の変化が許容範囲から外れる等の不具合が発生する恐れがある。このため、本実施形態では記録媒体84上におけるドット記録位置の配置を調整することでジャギーの発生等を抑制している。以下、その調整方法を説明する。
図10には、単一のDMD36を構成する多数のマイクロミラー40の配列を模式的に示す。なお、DMD36の個々のマイクロミラー40は本発明に係る記録素子に各々対応している。また、図10に示す配列は、各マイクロミラー40に対応するレーザ光の記録媒体84上での照射位置(本発明に係る記録位置)の位置関係も表しており、DMD36の各マイクロミラー40が全てオン状態の場合、各マイクロミラー40に対応するレーザ光は、図10に示す位置関係を維持したまま記録媒体84に照射される。図10において、記録媒体84の移動方向(副走査方向)をy、副走査方向yと直交する主走査方向をxとし、副走査方向yにおよそ沿って(僅かに傾斜されて)配列されるマイクロミラー40の列をスワス77と定義する。この場合、スワス77は、描画される画像のx方向に対する解像度を高めるため、x方向に対して所定の角度θs(≠90゜)(以下、スワス傾斜角度θsという)に設定される。なお、スワス77上で隣接する2つのマイクロミラー40をDMD画素A、Bとする。
また図11には、上記のように傾斜されたDMD36を用いて記録媒体84上に形成可能なドットの位置を表すアドレス格子点(制御点)と(図11ではアドレス格子点を実線及び破線の円で示す)、記録媒体84上に露光記録すべき直線状のオリジナル画像80との関係を模式的に示す。図11の例において、オリジナル画像80は、実線の円で示す複数のアドレス格子点に各々形成されたドットによって再現される。なお、レーザ光Lは、各アドレス格子点を中心とする所定のビーム径(ドット径)でドットを形成するので、記録媒体84上に実際に露光記録される画像は、図11に外郭線82として示すように、実線で示すアドレス格子点の輪郭よりも線幅が広がった画像となる。
アドレス格子点の並びには、図11及び図12に示すように、格子点列1〜3の3種類がある。各格子点列1〜3を特徴づけるパラメータとしては、格子点列1〜3のx方向に対する傾斜角度θgi(i=1〜3)、格子点列1〜3を構成するアドレス格子点の格子点ピッチpgi(i=1〜3)、及び、格子点列1〜3の列ピッチdgi(i=1〜3)がある。これらのパラメータは、スワス77上で隣接するDMD画素A,B(図10参照)により記録媒体84上に形成されるアドレス格子点(以下、アドレス格子点A,Bとも言う)の配列ピッチps、スワス傾斜角度θs(x方向を基準として反時計回りを+とする)、各アドレス格子点のy方向に沿ったピッチpyにより決定される。以下、これらのパラメータの関係を説明する。
(a) 傾斜角度θgi(i=1〜3)
図12に示す3つの隣接するアドレス格子点A,B',B″を考える。格子点列3の傾斜角度θg3は、
θg3=90゜ …(1)
である。また、格子点列1、2の傾斜角度θg1,θg2については、
N1=integer(ps・sinθs/py)
(integer( )は、切り捨て演算を表す)
N2=N1+1
とすると、アドレス格子点Aに対するアドレス格子点B',B"のy方向の距離Δy1,Δy2(位相差)は、
Δyi=ps・sinθs−py・N1 (但しi=1,2)
となる。また、アドレス格子点A,B',B"のx方向に沿ったピッチpxは、
px=ps・cosθs
であるから、
tanθgi=Δyi/py (但しi=1,2) …(2)
となる。従って、格子点列1〜3の傾斜角度θg1,θg2は、
θgi=tan-1{(ps・sinθs−py・Ni)/(ps・cosθs)} …(3)
(但しi=1、2)
上記(3)式から求まる。
(b) 格子点ピッチpgi(i=1〜3)
格子点列3は、y方向に配列されたアドレス格子点で構成されているので、
pg3=py …(4)
である。また、
pgi=px/cosθgi (但しi=1,2) …(5)
である。
(c) 列ピッチdgi(i=1〜3)
格子点列3の列ピッチdg3は、
dg3=px …(6)
である。また、
dgi=py・cosθgi (但しi=1,2) …(7)
である。
一方、オリジナル画像80をアドレス格子点によって再現した際に発生するジャギーは、格子点列1〜3によって発生するため、上記で求めた格子点列1〜3のパラメータ及びオリジナル画像80のx方向に対する傾斜角度θLを用いて定義することができる。この場合、ジャギーをジャギーピッチpj1〜pj3、ジャギー振幅aj1〜aj3で表す。
(d) ジャギーピッチpji(i=1〜3)
ジャギーピッチpjiは、格子点列1〜3の列ピッチdgiと、格子点列1〜3の傾斜角度θgi及びオリジナル画像80の傾斜角度θLの差(θgi−θL)とで決まる。この場合、各格子点列1〜3上にアドレス格子点が連続的に形成されるものと仮定したときの、平均値としてのジャギーピッチpjiは、
pji=dgi/sin(θgi−θL) (但しi=1〜3) …(8)
となる。
(e) ジャギー振幅aji(i=1〜3)
図13は、格子点列1と画像データが表すオリジナル画像80との関係で発生するジャギーを説明する図である。図13において、オリジナル画像80の境界と格子点列1との交点間の距離がジャギーピッチpj1となる。また、ジャギー振幅aj1は、格子点列1及び格子点列2と、格子点列1及び格子点列3との間でそれぞれ定義できる。これらのジャギー振幅aj1のうち、小さい方を代表値としてのジャギー振幅aj1に選択すると、図13に示す関係から、
aj1=pj1・tanθ'1・tanθ'2/(tanθ'2−tanθ'1)
(θ'1=θg1−θL)
となる。従って、ジャギー振幅ajiは、
aji=pji・tanθ'i・tanθ'k/(tanθ'k−tanθ'i) …(9)
(但しi=1〜3,θ'i=θgi−θL,k=1〜3,i≠k)
である。なお、θ'kは、選択されたジャギー振幅ajiの小さい格子点列とオリジナル画像80とのなす角度である。
記録媒体84上に露光記録される画像におけるジャギーは、ジャギーピッチpji及びジャギー振幅ajiが共にある程度大きい場合に視認される。露光記録される画像を構成する各ドット(画素)は、図11に示すアドレス格子点を中心として、レーザ光Lのビーム径に応じた所定の径のドットとして形成されるため、ジャギーピッチpjiが小さい場合には、ジャギー振幅ajiが大きくてもジャギーが視認されることはない。従って、ジャギーの視認を低下させるためには、ジャギーピッチpji又はジャギー振幅ajiの何れかが所定値以下となるように、パラメータを設定すればよいことになる。なお、所定値としては、例えばレーザ光Lのビーム径を用いることができる。
ジャギーピッチpji及びジャギー振幅ajiは、(1)〜(9)式から、画像データが表すオリジナル画像80のx方向に対する傾斜角度θL、スワス傾斜角度θs(請求項4に記載の「行方向及び列方向と第1方向との傾斜角度」に相当)、スワス77上で隣接するDMD画素A,Bの配列ピッチps、アドレス格子点のy方向に沿ったピッチpy(請求項4に記載の「ドット記録位置の第2方向に沿ったピッチ」に相当)の各パラメータによって決定される。従って、これらのパラメータを個別に調整するか、これらのパラメータのうちの2つ以上のパラメータを同時に調整することで、ジャギーの視認性を低下させた画像を露光記録することができる。
但し、傾斜角度θLは、記録媒体84に描画するオリジナル画像80によって予め決まっている。スワス傾斜角度θsは、露光ヘッド24a〜24jに組み込まれたDMD36の傾斜角度によって決定されるが、この傾斜角度θsは、露光ヘッド回転駆動部76により露光ヘッド24a〜24jを光軸回りに所定角度回転させることで調整することができる。なお、露光ヘッド24a〜24jの一部の光学部材、例えば、マイクロレンズアレイ48、マイクロアパーチャアレイ54、56を回転させることで傾斜角度θsを調整することもできる。また、光学像を回転させるダブプリズム等の像回転素子を配設し、この像回転素子を回転させて傾斜角度θsを調整することもできる。上記の像回転素子は、例えば第2結像光学レンズ50、52の後に配置することができる。また、第2結像光学レンズ50、52を配設することなく、マイクロレンズアレイ48により直接記録媒体84上にレーザ光Lを結像させる装置構成であれば、上記の像回転素子をマイクロレンズアレイ48の後段に配置すればよい。
配列ピッチpsは、DMD36を構成するマイクロミラー40の間隔に依存するが、光学倍率変更部78によりズーム光学系79を構成する第2結像光学レンズ50、52の位置を変更することで、DMD画素A,Bに対応する記録媒体84上のアドレス格子点A,Bの配列ピッチps(請求項4に記載の「行方向又は列方向に沿ったドット記録位置のピッチ」に相当)を調整することができる。アドレス格子点のy方向に沿ったピッチpyは、同期信号生成部64により生成される同期信号の出力タイミングを周波数変更部72からの周波数変更信号によって調整するか、移動速度変更部75からの移動速度変更信号を同期信号生成部64に供給して同期信号の出力タイミングを変更し、露光ステージ駆動部66により移動ステージ18のy方向への移動速度を変更することで調整することができる。なお、画像データが表すオリジナル画像80が、傾斜角度θLがy方向に沿った位置によって変化する画像である場合には、スワス傾斜角度θsをオリジナル画像80の傾斜角度θLに応じて迅速に変更することは困難であるため、例えば周波数変更部72によってアドレス格子点のy方向に沿ったピッチpyを変更するのが適当である。
更に、ジャギーピッチpji及びジャギー振幅ajiは、例えばDMD画素A,Bの変調を同時に行わずに、位相差変更部74によってDMD画素A,Bの変調タイミングを所定時間ずらすことにより、DMD画素Aに対応する記録媒体84上のアドレス格子点Aとx方向に隣接して形成されるアドレス格子点B',B"の位相差Δyi(y方向に沿った距離、図12参照)を変更し、この結果として傾斜角度θgi(請求項4に記載の「ドット記録位置の配列方向」に相当)を変更して調整することもできる。
図14〜図16はジャギー抑制のための調整方法を適用しない場合、図17〜図19は本実施形態に係る調整方法を適用して各パラメータを所定の値に設定した場合について、先の(8)及び(9)式に従い各格子点列1〜3のジャギーピッチpji及びジャギー振幅ajiを計算した結果を示す。なお、格子点列間で生じるジャギー振幅については、小さい方の値の絶対値を選択した。また、ジャギーピッチpjiの許容範囲を−5μm〜+5μm、ジャギー振幅ajiの許容範囲を−1μm〜+1μmとした。
図14に示す格子点列1では、オリジナル画像80の傾斜角度θL=0゜〜55゜の範囲で許容範囲を越えるジャギーが発生し、図15に示す格子点列2では、オリジナル画像80の傾斜角度θL=110゜〜135゜の範囲で許容範囲を越えるジャギーが発生し、図16に示す格子点列3では、ジャギーが発生しないことが予測されている。この場合、例えばオリジナル画像80に傾斜角度15゜前後の直線が含まれていると、この直線に格子点列1に起因する許容できないジャギーが発生する恐れがある。これに対して、パラメータ変更後を示す図17〜図19の格子点列1〜3では、オリジナル画像80の傾斜角度15゜の前後で何れもジャギーが発生しておらず、記録媒体84に露光記録した画像におけるジャギーの視認性を低下させることができる。
次に、本実施形態において、記録媒体84に露光記録する画像が、例えばカラーフィルタ基板の製造におけるフィルタパターン等の周期的なパターンである場合に、上述したジャギー低減のためのパラメータの設定を行うことで、DMD36の各ピクセル(各マイクロミラー40)に対応するレーザ光の記録媒体84上での照射位置(本発明に係る記録位置)のx方向(主走査方向)に沿ったピッチが確定した後で行われる、記録媒体84に露光記録する画像の向きの選択について説明する。
上述したように、本実施形態に係る画像露光装置10は、DMD36の各ピクセル(各マイクロミラー40)に対応するレーザ光が、記録媒体84上で主走査方向(及び副走査方向)に沿って異なる位置に照射され、各記録位置がドット記録位置(アドレス格子点)に一致したときにドットを形成(露光記録)することを並列に行うことで、記録媒体84上に画像を露光記録するが、この種の記録方式によってフィルタパターンのような周期的なパターンを形成する際には、記録媒体84上に露光記録する周期的なパターンにおける主走査方向に沿ったピッチが、ドット記録位置の主走査方向に沿ったピッチの整数倍でない殆どの場合、形成した周期的なパターンに、視認可能なむらが主走査方向に沿って周期的に現れる。このような周期的なむらは、形成したパターンの顕著な画質低下として視認されるので望ましくない。
また、上記のむらはドット記録位置の主走査方向に沿ったピッチと、記録媒体84上に露光記録する周期的なパターンにおける主走査方向に沿ったピッチの最小公倍数に相当する周期で現れるが、図20にも示すように、カラーフィルタ基板を製造するために記録媒体84に形成すべきフィルタパターン(R,G,B各色のフィルタの配列)は、個々のフィルタがおよそ矩形状とされ、個々のフィルタの長手方向に沿ったフィルタパターンのピッチと、個々のフィルタの長手方向に直交する方向に沿ったフィルタパターンのピッチは相違しているので、個々のフィルタの長手方向が主走査方向に一致する向きで記録媒体84にフィルタパターンを形成した場合と、個々のフィルタの長手方向が副走査方向に一致する向きで記録媒体84にフィルタパターンを形成した場合では、発生するむらの周期も相違することになる。そして、むらの視認され易さ(人間の視覚のレスポンス)はむらの周期によって相違している。
このため、画像露光装置10の制御ユニット42は、ジャギー低減のためのパラメータの設定を行った後に、記録媒体84に露光記録する画像がフィルタパターンのような周期的な画像であった場合に、DMD36の各ピクセル(各マイクロミラー40)に対応するレーザ光の記録媒体84上での照射位置(以下、これを記録位置と称する)の主走査方向に沿ったピッチを演算する。本実施形態に係る画像露光装置10ではスワス傾斜角度θs≠90゜とされているので、記録位置の主走査方向に沿ったピッチには、i行目j列目の記録位置とi+1行目j列目の記録位置の主走査方向に沿ったピッチPxと、i行目j列目の記録位置とi行目j+1列目の記録位置の主走査方向に沿ったピッチPsxの2種類があり、制御ユニット42はこのピッチPx,Psxを各々演算する。
また制御ユニット42は、記録媒体84に記録すべきフィルタパターンを表す画像データに基づいて、個々のフィルタの長手方向に沿ったフィルタパターンのピッチP1(図20(A)参照)と、個々のフィルタの長手方向に直交する方向に沿ったフィルタパターンのピッチP2(図20(B)参照)を各々演算する。そして制御ユニットは、個々のフィルタの長手方向が主走査方向に一致する向きでフィルタパターンを形成した場合に発生するむらの周期として、ピッチPxとピッチP1の最小公倍数、ピッチPsxとピッチP1の最小公倍数を各々演算すると共に、個々のフィルタの長手方向が副走査方向に一致する向きでフィルタパターンを形成した場合に発生するむらの周期として、ピッチPxとピッチP2の最小公倍数、ピッチPsxとピッチP2の最小公倍数を各々演算する。
なお、ピッチPx,Psxのうちの何れか一方が請求項3に記載の「i行目j列目の記録位置とi+1行目j列目の記録位置の第1方向に沿ったピッチ」に、他方が請求項3に記載の「i行目j列目の記録位置とi行目j+1列目の記録位置の第1方向に沿ったピッチ」に各々対応していると共に、フィルタパターンのピッチP1,P2のうちの何れか一方が請求項3に記載の「周期的なパターンを記録媒体上に第1の向きで記録するときの、…周期的なパターンの第1方向に沿ったピッチ」に、他方が請求項3に記載の「周期的なパターンを記録媒体上に第2の向きで記録するときの、…周期的なパターンの第1方向に沿ったピッチ」に各々対応しており、上述した処理は請求項5に記載の演算手段に対応している。
また、制御ユニット42の図示しない不揮発性の記憶手段には、例として図21に示すような人間の視覚の空間周波数特性を表すデータが予め記憶されており、制御ユニット42は、上記で演算した4種類の最小公倍数を各々空間周波数に換算し、それぞれの空間周波数におけるレスポンスを、上記の空間周波数特性を表すデータから各々導出する。なお、空間周波数特性を表すデータとしては、関数やテーブル等の任意の形態で空間周波数特性を表すデータを用いることができる。そして制御ユニット42は、導出したレスポンスの中の最大値を抽出し、記録媒体84にフィルタパターンを記録する向きとして、抽出した最大値に対応する向きと異なる向きを選択する。
具体的には、例えばピッチPx=0.0011mm、ピッチPsx=0.0656mm、ピッチP1=0.3mm、ピッチP2=0.1mmの場合、ピッチPxとピッチP1の最小公倍数は3.3mm、ピッチPsxとピッチP1の最小公倍数は24.6mmとなるのに対し、ピッチPxとピッチP2の最小公倍数は1.1mm、ピッチPsxとピッチP2の最小公倍数は8.2mmになる。ここで、ピッチPxとピッチP2の最小公倍数であるピッチ1.1mmを空間周波数に換算すると0.9〔cycles/mm〕となり、図21からも明らかなように、人間の視覚のレスポンスはこの空間周波数でほぼ最大となるので、個々のフィルタの長手方向が副走査方向に一致する向きでフィルタパターンを形成した場合、非常に視認され易い周期のむらが発生することが理解できる。従って、この例では、抽出した最大値に対応する向きと異なる向きとして、個々のフィルタの長手方向が主走査方向に一致する向き(図20(A)に示す向き)が選択される。なお、上記で挙げた数値は単なる一例であり、ピッチPx,Psx,P1,P2の値によっては、周期的なむらが視認されにくい向きとして、個々のフィルタの長手方向が副走査方向に一致する向き(図20(B)に示す向き)が選択されることも生じ得ることは言うまでもない。上述した処理は請求項5に記載の選択手段に対応している。
上記のようにして、記録媒体84にフィルタパターンを記録する向きを選択すると、制御ユニット42は、フィルタパターンを先に選択した向きで記録媒体84に記録するために、必要に応じて画像データの回転等の処理を行った後に、記録媒体84へのフィルタパターンの露光記録を行う。これにより、記録媒体84にフィルタパターン等の周期的なパターンを露光記録するにあたり、当該周期的なパターンを、周期的なむらが視認されにくくなるように記録することができ、記録媒体84に露光記録する周期的なパターンの画質を向上させることができる。
なお、上記では周期的なパターンの一例として、カラーフィルタ基板に形成すべきフィルタパターンを説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、記録媒体上に第1の向き及び第2の向きで記録可能で、かつ第1の向きで記録するときの主走査方向(副走査方向と直交する方向)に沿ったピッチと、第2の向きで記録するときの主走査方向に沿ったピッチが相違している任意の周期的なパターンを記録する際に適用可能である。また、本発明に係る周期的なパターンは画像に限定されるものでもない。例えば、FPDの一種であるLCDのカラーフィルタ基板を製造する際には、特開2004-4228号公報にも記載されているように、フィルタパターンの形成時に、基板の間隔を一定に保持するためのスペーサも各フィルタの間隙に形成されることがあるが、このスペーサも基板上に一定ピッチで形成されるので周期的なむらとして視認される可能性がある。このような場合にも本発明を適用し、一定ピッチで形成されるスペーサに起因する周期的なむらが視認されにくい向きを選択し、選択した向きでスペーサを記録・形成するようにしてもよい。
また、本発明を適用して記録・形成時の向きを選択する周期的なパターンは、以下で説明する製造工程を経て液晶パネルに形成されるスペーサやブラックマトリックス、液晶配向制御用パターンであってもよい。すなわち、図22には液晶パネルの製造工程の概要が示されている。液晶パネルは、カラーフィルタ基板製造工程100において製造されたカラーフィルタ基板と、アレイ基板製造工程102において製造されたTFTアレイ基板とを、液晶セル製造工程104において貼り合せることにより製造される。
カラーフィルタ基板製造工程100及びアレイ基板製造工程102では、通常、1枚の透明基板106上に、製品パネル数枚分のカラーフィルタ構造、もしくはTFTアレイ構造が形成される。例えば、図23に例示するカラーフィルタ基板4は、横幅約2メートルの透明基板上に20インチ液晶パネル16個分のカラーフィルタ構造108を形成したものである。透明基板106上には、カラーフィルタ構造領域108のほか、基板上の主な位置(四隅、中心など)を示すマーク110A、110B、110C、110D、110E、110F、110G、110H及び110Jが形成される。TFTアレイ基板製造工程102でも同様に、1枚の透明基板上に液晶パネル複数個分のアレイ構造と、基板上の位置を示すマークが形成される。カラーフィルタ基板とTFTアレイ基板は、液晶セル製造工程104において、基板同士を貼り合せる前に、もしくは貼り合せた後に、製品サイズに分割され、これにより液晶パネルが完成する。
以下、カラーフィルタ基板製造工程100について説明する。図24は、カラーフィルタ基板製造工程100の詳細を示すフローチャートである。カラーフィルタ基板は、透明基板上に図24のフローチャートの各ステップに示される部材を形成することにより製造される。透明基板としては、表面に酸化珪素被膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス板、ノンアルカリガラス板、石英ガラス板等の公知のガラス板またはプラスチックフィルムを用いることができる。カラーフィルタ基板製造工程100では、まず透明基板上にブラックマトリックスを形成する(ステップ130)。図25はステップ130のブラックマトリックス形成工程を経た基板の一部(約1画素分に相当する領域)を拡大したものであり、図25(A)は基板の上面、図25(B)は基板の断面を示している。
図25(A)及び図25(B)に示すように、ステップ130では膜厚0.5〜5μm程度のブラックマトリックスパターン112が形成される。ブラックマトリックスパターン112は、一方向(図25(A)の縦方向)に平行に伸びた複数の線から、各線と垂直な方向(図の横方向)に100μm弱の短い線と、それより更に短い線が、縦方向に約150μm間隔で交互に突き出た構造となっている。この構造では、一画素分のパターンはアルファベットのEを3個並べたような形になる。後述するように、本実施形態では、カーボンブラックなどの黒色顔料を含む感光性レジストを露光・現像により上記形状に加工することによりブラックマトリックスパターン112が形成される。但し、本発明においてブラックマトリックスの形成方法、パターン形状、材料は特に限定されず、あらゆる公知技術を用いることができる。例えば特開2004−361447号に開示されているように、金属微粒子を含有する感光性組成物によりブラックマトリックスを形成してもよい。また、ブラックマトリックス形成工程では、ブラックマトリックスパターン112と共に、図23に示したマーク110A〜110Jが形成される。すなわち、黒色感光性レジストの所定箇所に、図23に示した十文字形状のパターンが露光される。
続いて、透明基板106上にR(赤)の着色画素層が形成される(ステップ132)。図26(A)及び(B)に示すように、R画素パターン116は、透明基板106上のブラックマトリックスパターン112の上記平行に伸びた複数の線の間に3列に1列の割合で形成される。R画素パターン116の材料としては、顔料成分等の赤色着色剤及びバインダーを主成分とし、必要に応じて光重合性のモノマーやオリゴマーからなる光重合成化合物、光重合開始材等を含む材料を用いることができる。R画素パターン116は、上記材料を露光・現像により上記パターン形状に加工することによって形成される。
続いて、緑色着色剤、青色着色剤を含む材料を用いて、同様の方法により、Rの着色画素層が形成されていない列に、G(緑)の着色画素層とB(青)の着色画素層が形成される(ステップ134,136)。図27(A)及び(B)に、G画素パターン118、B画素パターン120形成後の状態を示す。なお、着色画素パターンの材料は特に限定されず、カラーフィルタの材料として公知のあらゆる材料を採用することができる。3色の着色画素層を形成したら、次に、それらの層を覆うように透明樹脂から成る保護膜124が形成される(ステップ138)。更に、その上にスパッタリングにより透明電極126(ITO:Indium Tin Oxide)が形成される(ステップ140)。なお、保護膜124の膜厚は例えば1μm程度、透明電極126の膜厚は例えば800Å程度とすることができる。これらの層についても、公知の保護膜あるいは透明電極の材料を採用することができる。
続いて、透明電極126上にスペーサ122が形成される(ステップ142)。スペーサ122は、液晶セルのギャップを均一に制御できる程度の間隔で、ブラックマトリックスパターン112の線と重なるように形成される。本実施形態では、図27(A)及び(B)に示すように、R画素パターン116の周囲を囲むように形成されたブラックマトリックスパターンのE型の短いほうの横線と縦線との交点上に、2〜4μm程度の高さの円柱状のスペーサ122が配置される。スペーサ122は、公知の感光性樹脂を露光・現像により上記パターン形状に加工することによって形成される。スペーサ122の材料としては透明樹脂を採用することが好ましいが、光透過性が低い材料を採用することも可能である。なお、液晶セルのギャップを制御するスペーサとしては、液晶セル製造工程において基板上に散布するビーズ状のスペーサボールが知られているが、本明細書では、上記のとおり、カラーフィルタ基板製造工程100において、基板上の所定の位置に露光により形成される柱状の部材をスペーサと称する。
次に透明電極126の上に配向制御部材(リブ材)が形成される(ステップ144)。図28(A)及び(B)に配向制御部材形成後の基板の状態を示す。図28(A)に示すように、配向制御部材は、着色画素パターン116,118,120上で、一の方向に平行に形成された複数の線状パターンと、その方向と略垂直な方向に平行に形成された複数の線状パターンとからなる。また図28(B)に示すように、線状パターン128は高さ1μm程度の突起状のパターンである。この突起状のパターンはカラーフィルタ基板とアレイ基板の貼り合せ後、液晶セルの液晶分子を所定の向きに配向する。配向制御部材の材料としては、公知の透明感光性樹脂を用いることができる。
上記のように、カラーフィルタ基板4を構成する各構造部材は露光及び現像により形成されるが、露光・現像による構造部材の形成手順について、以下で更に説明する。
図29は、図24のステップ130のブラックマトリックス形成工程の詳細を示すフローチャートである。まず、透明基板が洗浄され(ステップ150)、洗浄された基板の全面もしくはカラーフィルタ構造を形成する領域に、黒色のネガ型感光性レジストが塗布される(ステップ152)。続いて、レジスト材料に応じた適切な温度でベーキングが行われ(プリベーク:ステップ154)、塗布されたレジスト層がブラックマトリックスパターンの形状に露光される。この露光には、先に説明した画像露光装置10等が用いられ、デジタル記録によりブラックマトリックスパターン112が露光記録される(ステップ156)。具体的には、ブラックマトリックスパターン112を表す2値画像を生成し、その2値画像の各画素値に基づいて、値が1の画素に対応する箇所は露光され、値が0の画素に対応する箇所は露光されないように、基板への光の照射が制御される。
続いて、露光後の基板が現像される(ステップ158)。本実施形態では、レジストはネガ型レジストであるため、露光された部分がパターンとして基板上に残る。このパターンに対して再度ベーキングが行われる(ポストベーク)ことでパターンが基板上に固定される(ステップ160)。以上により、図25(A)及び (B)に示すブラックマトリックスパターン112が形成される。
図30は、図24のR画素形成工程(ステップ132)、G画素形成工程(ステップ134)、B画素形成工程(ステップ136)、スペーサ形成工程(ステップ142)、配向制御部材形成工程(ステップ144)に共通な、部材形成工程を示すフローチャートである。まず、パターンが形成された基板が洗浄される(ステップ164)。例えばR画素形成工程ではブラックマトリックスが形成された基板が洗浄される。また、配向制御部材形成工程では、ブラックマトリックス、着色画素層及びスペーサが形成された基板が洗浄される。続いて、形成する部材の材料となるレジストが塗布される(ステップ166)。本実施形態では、ネガ型の感光レジストが塗布される。続いて、レジスト材料に応じた適切な温度でベーキング(プリベーク)が行われる(ステップ168)。
その後、下層に形成されているパターンと、これから形成するパターンとの位置を合わせるために、基板の読取り(ステップ170)と、画像の補正(ステップ172)が行われるが、これらの処理については説明を省略する。続いて、塗布されたレジストが、補正された画像に描かれているパターン形状に露光される(ステップ174)。露光はブラックマトリックス形成時と同様、画像露光装置10を用いたデジタル記録により行われる。そして、露光後の基板が現像され(ステップ176)、現像後基板上に残ったパターンに対して再度ベーキング(ポストベーク)が行われることで基板上に固定される(ステップ178)。以上の工程により各部材のパターンが形成される。
上記で説明した製造工程を経て液晶パネルに形成されるスペーサやブラックマトリックス、液晶配向制御用パターンのうち、特に図27,28に示すスペーサ122は、基板上における形成ピッチが画像露光装置10による記録位置のピッチの整数倍でない場合に、周期的なむらとして視認され易い。このような場合も本発明を適用し、一定ピッチで形成されるスペーサ122に起因する周期的なむらが視認されにくい向きを選択し、選択した向きでスペーサ122を記録・形成するようにすれば、周期的なむらが視認されにくくなるようにスペーサ122を形成することができる。
また、上述したスペーサや液晶配向制御用パターン(リブ材となる液晶配向制御用突起)は、以下のような製造工程を経て液晶パネルに形成することも可能である。すなわち、先に説明したように3色の着色画素層から成るカラーフィルタ膜、保護膜、透明電極を基板上に順次形成した後に、光感度の高い第1のネガ型感光性透明樹脂層(第1透明層)と、これに対し相対的に光感度の低い第2のネガ型感光性透明樹脂層(第2透明層)が形成された転写シートを、基板上の透明電極と接するように貼り合わせてラミネートすることにより、透明電極側から順次、第1透明層と第2透明層を設けた後、基板側から、液晶配向制御用突起部位となる領域には低エネルギー量にて、スペーサ部位となる領域には高エネルギー量にてレーザ露光し、その後現像することで、図31に示すように、配向制御用突起180及びスペーサ182を形成する。なお、低エネルギー量/高エネルギー量の切替えは、例えば液晶配向制御用突起部位に対しては1回の副走査のみにおいてレーザ露光を行い、スペーサ部位に対しては2回の副走査において共にレーザ露光を行う、という操作によって実現可能である。
これにより、配向制御用突起180は第1透明層のみが残った凸部で構成され、スペーサ182は第1及び第2透明層が残った柱部で構成される。図31に示すように、第1透明層と第2透明層とが残されて成るスペーサ182は、第1透明層のみが残されて成る液晶配向制御用突起180と比べて、厚みが第2透明層の厚み分だけ厚くなっている。ネガ型感光性透明樹脂層の各々の厚みを適宜所望に応じて選択することで、好適な厚み、つまり高さを持つ配向制御用突起180やスペーサ182を形成することができる。上記の製造工程を経て配向制御用突起180又はスペーサ182を一定ピッチで形成する場合にも本発明を適用し、一定ピッチで形成される配向制御用突起180又はスペーサ182に起因する周期的なむらが視認されにくい向きを選択し、選択した向きで配向制御用突起180又はスペーサ182を記録・形成するようにすれば、周期的なむらが視認されにくくなるように配向制御用突起180又はスペーサ182を形成することができる。
また、上記では記録媒体84上でのレーザ光の照射位置(記録位置)マトリクス状に配列されていると共に、記録媒体84上での記録位置のマトリクス状の配列における行方向及び列方向が主走査方向に対して各々傾斜されている態様を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば行方向及び列方向の一方が主走査方向に沿い、他方が副走査方向に沿うように各記録位置が配列されている場合や、記録位置が主走査方向に沿って一列に配列されている場合にも適用可能である。この場合は、記録位置の主走査方向に沿ったピッチとして1種類のピッチを求め、求めたピッチと、周期的なパターンをそれぞれの向きで記録するときの主走査方向に沿ったピッチとの最小公倍数を各々演算すればよい。
また、上記では画像露光装置10の制御ユニット42が、周期的なむらが視認されにくい向きを自動的に選択し、選択した向きで周期的なパターンを記録する態様を説明したが、最小公倍数の演算や周期的なパターンを記録する向きの選択をオペレータが行い、選択した向きを画像露光装置10に入力することで、選択した向きでの周期的なパターンの記録を行わせるようにしてもよい。また、画像露光装置10で記録する可能性の有る各種のパターンについて、周期的なむらが視認されにくい向きを事前に判断し、各パターンのIDと対応付けて画像露光装置10に予め登録しておき、画像露光装置10は記録するパターンのIDと対応付けて登録されている向きを読み出すことで、周期的なむらが視認されにくい向きを認識するようにしてもよい。
また、上記で説明した反射型空間光変調素子であるDMD36に代えて、例えば透過型空間光変調素子(LCD)を使用してもよく、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)タイプの空間光変調素子(SLM:SpacialLight Modulator)や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子(PLZT素子)、液晶光シャッタ(FLC)等の液晶シャッターアレイ等、MEMSタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、MEMSとは、IC製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、制御回路を集積化した微細システムの総称であり、MEMSタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、グレーティングライトバルブ(GLV:Grating Light Valve)を複数並べて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子(GLV)や透過型空間光変調素子(LCD)を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
更に、上記では光源として半導体レーザを挙げて説明したが、固体レーザ、紫外LD、赤外LD等を用いてもよい。更に、複数の発光点が二次元状に配列された光源(例えば、LDアレイ、有機ELアレイ等)を使用してもよい。
また、上記では本発明に係る画像記録装置として、フラッドベッドタイプの画像露光装置10を例に説明したが、感光材料がドラムの外周面に巻きつけられるアウタードラムタイプの画像露光装置、感光材料がシリンダの内周面に装着されるインナードラムタイプの画像露光装置であってもよい。
また、上述した画像露光装置10は、プリント配線基板(PWB:PrintedWiring Board)の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト(DFR:Dry Film Resist)の露光、液晶表示装置(LCD)の製造工程におけるカラーフィルタの形成以外に、TFTの製造工程におけるDFRの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP)の製造工程におけるDFRの露光等の用途に用いることができる。なお、感光材料が基板上に塗布されたものを本発明の対象としてもよい。
更に、上述した画像露光装置10には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用できる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ光源としてGaN系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ光源としてAlGaAs系半導体レーザ(赤外レーザ)、固体レーザが使用される。
また、本発明では、画像露光装置に限らず、例えば、インクジェット記録ヘッドに同様の構成を採用することが可能である。すなわち、一般にインクジェット記録ヘッドでは、記録媒体(例えば、記録用紙やOHPシート等)に対向するノズル面に、インク滴を吐出するノズルが形成されているが、インクジェット記録ヘッドのなかには、このノズルを格子状に複数配置し、ヘッド自体を走査方向に対して傾斜させて、高解像度で画像を記録可能なものがある。このような二次元配列が採用されたインクジェット記録ヘッドに本発明を適用した場合にも、画像上での周期的なむら(やジャギー)の発生を抑制することができる。
本実施形態に係る画像露光装置の外観を示す斜視図である。 FPD用のカラーフィルタ基板の製造工程を説明するための概略図である。 露光ヘッドの概略構成図である。 DMDを部分的に拡大して示す斜視図である。 DMDのマイクロミラーのオン状態を示す斜視図である。 DMDのマイクロミラーのオフ状態を示す斜視図である。 露光ヘッドとシートフイルムとの位置関係を示す斜視図である。 露光ヘッドによるシートフイルム上の露光エリアを示す平面図である。 画像露光装置の制御系の概略構成を示すブロック図である。 DMD(のマイクロミラーの配列)の傾斜を示す平面図である。 記録媒体上のアドレス格子点と記録媒体上に露光記録すべきオリジナル画像の一例を各々示す概略図である。 アドレス格子点の3種類の並びを示す概略図である。 格子点列1と画像データが表すオリジナル画像との関係で発生するジャギーを説明するための概略図である。 本実施形態に係る調整方法に従ってパラメータを変更する前の、オリジナル画像の主走査方向に対する傾斜角度θLと、露光記録される画像のジャギーピッチ及びジャギー振幅との関係の一例を示す線図である。 本実施形態に係る調整方法に従ってパラメータを変更する前の、オリジナル画像の主走査方向に対する傾斜角度θLと、露光記録される画像のジャギーピッチ及びジャギー振幅との関係の一例を示す線図である。 本実施形態に係る調整方法に従ってパラメータを変更する前の、オリジナル画像の主走査方向に対する傾斜角度θLと、露光記録される画像のジャギーピッチ及びジャギー振幅との関係の一例を示す線図である。 本実施形態に係る調整方法に従ってパラメータを変更した後の、オリジナル画像の主走査方向に対する傾斜角度θLと、露光記録される画像のジャギーピッチ及びジャギー振幅との関係の一例を示す線図である。 本実施形態に係る調整方法に従ってパラメータを変更した後の、オリジナル画像の主走査方向に対する傾斜角度θLと、露光記録される画像のジャギーピッチ及びジャギー振幅との関係の一例を示す線図である。 本実施形態に係る調整方法に従ってパラメータを変更した後の、オリジナル画像の主走査方向に対する傾斜角度θLと、露光記録される画像のジャギーピッチ及びジャギー振幅との関係の一例を示す線図である。 記録媒体上でのドット記録位置の配列と記録媒体に記録するフィルタパターンの配列との関係の一例を示す概略図である。 人間の視覚の空間周波数特性の一例を示す線図である。 液晶パネルの製造工程の概要を示す概略図である。 カラーフィルタ基板の一例を示す平面図である。 カラーフィルタ基板製造工程の詳細を示すフローチャートである。 ブラックマトリックス形成工程後の基板を拡大して示す、(A)は平面図、(B)は断面図である。 R画素パターン形成工程後の基板を拡大して示す、(A)は平面図、(B)は断面図である。 全着色画素パターン形成工程後の基板を拡大して示す、(A)は平面図、(B)は断面図である。 配向制御部材形成工程後の基板を拡大して示す、(A)は平面図、(B)は断面図である。 ブラックマトリックス形成工程を示すフローチャートである。 各部材の形成工程を示すフローチャートである。 液晶パネルを拡大して示す概略断面図である。
符号の説明
10 画像露光装置
16 ガイドレール
18 移動ステージ
24 各露光ヘッド
26 スキャナ
36 DMD
40 マイクロミラー
42 制御ユニット
84 記録媒体

Claims (5)

  1. 記録媒体上での記録位置が、第1方向に沿って第1のピッチで配置されかつ前記記録媒体に対して前記第1方向と直交する第2方向に相対移動される複数の記録素子によって、前記記録媒体上に周期的なパターンを記録するにあたり、
    前記周期的なパターンが、前記複数の記録素子によって前記記録媒体上に第1の向き及び第2の向きで記録可能で、かつ前記記録媒体に前記第1の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチと、前記記録媒体に前記第2の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチが相違している場合に、
    前記第1の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチ及び前記第2の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチについて、前記第1のピッチとの最小公倍数を各々演算し、
    前記第1の向き及び前記第2の向きのうち、前記演算した最小公倍数に相当するピッチで現れるむらに対する人間の視覚系のレスポンスがより小さい向きを選択し、
    前記周期的なパターンを前記選択した向きで前記記録媒体に記録することを特徴とするパターン記録方法。
  2. 前記周期的なパターンは、基板上に矩形状のカラーフィルタをストライプ状に多数形成するためのストライプパターン、又は、対向配置される一対の基板を一定間隔に保持するスペーサ、又は、前記カラーフィルタを囲むように形成されるブラックマトリックス、又は、液晶表示パネルの液晶層内に設けられる液晶配向制御用突起を基板のX方向及びY方向に異なるピッチで形成するためのパターンであることを特徴とする請求項1記載のパターン記録方法。
  3. 前記複数の記録素子は、前記記録媒体上での記録位置がm行n列のマトリクス状に配列されていると共に、前記記録媒体上での記録位置のマトリクス状の配列における行方向及び列方向が前記第1方向に対して各々傾斜されており、
    前記周期的なパターンを前記記録媒体上に第1の向きで記録するときの、i行目j列目の記録位置とi+1行目j列目の記録位置の前記第1方向に沿ったピッチと、前記周期的なパターンの前記第1方向に沿ったピッチとの最小公倍数、及び、i行目j列目の記録位置とi行目j+1列目の記録位置の前記第1方向に沿ったピッチと、前記周期的なパターンの前記第1方向に沿ったピッチとの最小公倍数を演算すると共に、前記周期的なパターンを前記記録媒体上に第2の向きで記録するときの、i行目j列目の記録位置とi+1行目j列目の記録位置の前記第1方向に沿ったピッチと、前記周期的なパターンの前記第1方向に沿ったピッチとの最小公倍数、及び、i行目j列目の記録位置とi行目j+1列目の記録位置の前記第1方向に沿ったピッチと、前記周期的なパターンの前記第1方向に沿ったピッチとの最小公倍数を演算し、
    前記第1の向き及び前記第2の向きのうち、前記演算した最小公倍数に相当するピッチで現れるむらに対する人間の視覚系のレスポンスが最大値を示す最小公倍数に対応する向きと異なる向きを選択することを特徴とする請求項1記載のパターン記録方法。
  4. 前記複数の記録素子は、前記記録媒体上に前記周期的なパターンを記録するための記録データに基づいて、対応する記録位置が前記記録媒体上のドット記録位置に到達したタイミングでドットを記録するように駆動され、
    前記記録媒体上でのドット記録位置の配置と、前記記録データが表す記録対象パターンとの関係で生じるジャギーのジャギーピッチ又はジャギー振幅が所定値以下となるように、前記行方向及び前記列方向と前記第1方向との傾斜角度、前記行方向又は前記列方向に沿った前記ドット記録位置のピッチ、前記ドット記録位置の前記第2方向に沿ったピッチ、及び、前記ドット記録位置の配列方向の少なくとも1つを調整することを特徴とする請求項3記載のパターン記録方法。
  5. 記録媒体上での記録位置が、第1方向に沿って第1のピッチで配置されかつ前記記録媒体に対して前記第1方向と直交する第2方向に相対移動される複数の記録素子によって、前記記録媒体上に画像を記録する画像記録装置であって、
    前記記録媒体に記録する画像が、前記複数の記録素子によって前記記録媒体上に第1の向き及び第2の向きで記録可能で、かつ前記記録媒体に前記第1の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチと、前記記録媒体に前記第2の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチが相違している周期的なパターンである場合に、前記第1の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチ及び前記第2の向きで記録するときの前記第1方向に沿ったピッチについて、前記第1のピッチとの最小公倍数を各々演算する演算手段と、
    前記第1の向き及び前記第2の向きのうち、前記演算手段によって演算された最小公倍数に相当するピッチで現れるむらに対する人間の視覚系のレスポンスがより小さい向きを選択する選択手段と、
    前記周期的なパターンを前記選択手段によって選択された向きで前記記録媒体に記録させるパターン記録制御手段と、
    を備えたことを特徴とする画像記録装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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