TWI361110B - Air knife apparatus - Google Patents

Description

^01110 的尺寸或者τ 乂Λ· ^笮作條件來適當地調整及設定所述前喷射口和 後赁射口的喑 幻01射環境而導致的。 【發明内容】 • 本發明鑒於上述問題而作’其目的在於提供一種氣刀 二ΐ袭置以雙重（dual)喷射方式喷射乾燥用空氣的同 時ί基板進行乾燥製程，尤其可調整喷射量和噴射壓力， 而可確保進—步提高的乾燥效率和作業兼容性。 爲了實現上述目的，本發明提供—種氣刀裝置，其包 括：主體，其内部設置有空氣流入口；第一腔室其設 ，所述主體内側，接收由所述空氣流入口供給的乾燥：空 乳，第二腔室，其與第一腔室之間設有所述空氣流入口， - 從而與第一腔室相隔配置；吐出單元，其包括用^ .噴射所.述第一腔室和第二腔室的乾燥用空氣的第一吐出口 和第二吐出口；以及流量控制機構，其用於控制從所述办 口供給到所述第一腔室和第二腔室的乾燥用空氣： 如上所述，本發明可通過所述流量控制機構來控 述吐出軍元的第-吐出口及第二吐出口的喷射環境並進 行基板的乾燥製程。 特別是，所述流量控制機構可設置爲以至少―種比例 來調整及設定向所述第一腔室和第二腔室 氣的供給量，例如可將所述第一吐出口和第二吐出L燥用二 射環境(空氣喷射量比例)簡單設置爲至少一種::出= 5 1361110 其符合基板的尺寸或者乾燥製程的作業環境。 由於所述流量控制機構具備上述結構及作用，因此與 兩個噴射口的喷射比例始終恒定的現有雙重喷射式氣刀相 比較，本發明可獲得更加優秀的乾燥效率和作業兼容性》 【實施方式】 以下，參照附圖詳細說明本發明的較佳實施例。 在所屬技術領域的技術人員能夠實施本發明的範圍内 對本發明的實施例進行說明。 因此，本發明的實施例可以多種形式來實施，本發明 的保護範圍並不局限於下面描述的實施例。 圖1是本發明氣刀裝置一個實施例的較佳的設置狀態 示意圖’元件符號2爲主體，該主體2可設置於如附圖中 所示的具備乾燥用腔室D1和輪送裝置〇2的常規的基板乾 燥裝置D的内部。 所述輸送裝置D2可以從所述乾燥用腔室D1内部的一 側向另一側輸送基板G，例如所述輸送裝置〇2被構成爲由 多個輸送用輥R構成的常規輥筒式輸送機。 即’所述主體2被構成爲向左右方向延伸的長方體結 構’其可設置在所述輸送裝置D2.的輸送區域上，從而使主 體在所述乾燥用腔室D1的内部與基板g的一面（上面）相 對應。 另外’參照圖2 ’所述主體2内側設置有空氣流入口 H, 其用於提供從外部供給乾燥用空氣A(例如：清潔乾燥空氣） 1361110 的通道。 所述空氣流入口 Η貫穿所述主體2的—側端部，並向 另一側延伸。 雖然圖中未顯示’所述空氣流入口 Η通過管體和空氣 供給裝置相連接，從而接收乾燥用空氣Α»所述空氣供給裝 置疋用於基板乾燥製程中的常規裝置。並且乾燥用空氣A 的供給線上設置有流量計、壓力計、濾波器等各種流體供 給及控制用的周邊裝置》 本發明氣刀裝置的上述實施例包括第一腔室4a和第二 腔室4b。 所述第一腔室4a和第二腔室4b分別設置在所述主體2 的内側’從而接收從所述空氣流入口 Η供給的乾燥用空氣 Α 〇 即’如圖2所示’所述第一腔室4a爲一腔室，其大小 適於存儲一定量的從所述空氣流入口 Η流入的乾燥用空氣 Α。 所述第一腔室4a設置於所述主體2内空氣流入口 Η的 —側。 而且’如圖2所示’所述第二腔室4b爲一腔室，其大 小適於存健一定量的從所述空氣流入口 Η流入的乾燥用空 氣Α。所述第二腔室4b設置於所述主體2内空氣流入口 η 的另一側’並且與所述第一腔室4a相隔。 本發明氣刀裝置的上述實施例包括吐出單元6。 所述吐出單元6可由多個葉片結合而成，旅設置有第 7 吐出口 6a及第二吐出口 私、+.贫 *口讣。所述第一吐出口 6a及第一 吹出D 6b用於向外部喷射所、+.铱一映— 系一 内的乾燥用空氣A。 〜 至4a及第二腔室4b 出葉如圖2和圖3所示，所述吐出單元6包括第一吐 出業片Bl、笫二斗屮接。 吐 -吐出葉片B1:於所:.B2及第三吐出葉“3。所述第 IS:吐出葉…第-吐出葉…-面相面: 业興之相隔設置，用於 一 用於形成與所述第一腔室4a相連通的第 口 6a;所述第三吐 R 比出葉片B3與所边第一吐出蕓圮 的另一面相面對，祐泡 、 _ 並與之相隔設置’用於形成與所述第 -腔至4b相連通的第二吐出口⑪。 如圖2所示，所祕飨 吓疋第一吐出葉片B1以其一側與所述第 腔室4a及第-βλ a ^ ^ —腔至4b之間的障壁2a下部相連接的狀態 3又置在所述主體2上。

所述第二吐出葉M 果片B2及第三吐出葉片B3設置於所述 主體2上，並分別與 辟所述第一吐出葉片B1的一面及另一面 相面對，從而在所+ _ 疋第二吐出葉片B2及第三吐出葉片B3 之間形成第一吐出口 β 6a及第二吐出口 6b。 而且，所述第—d , 吐出口 6a及第二吐出口 6b的一側（上 側）端部分別與所述笛 I第一腔室4a及第二腔室4b相連通，而 另一側（下側）端部的- ^ 道朝下側逐漸變窄。 所述各吐出〇6 6b的左右方向的多個位置上相隔設 置有多個加強板6c。, 如圖2所示，當所述第一吐出葉片Bl、 第二吐出葉片 久第三吐出葉片B3以重疊狀態結合時’ 8 1361110 整孔vi設置爲與所述第一腔室4a及第二腔室4b相匹配（連 通）。 基於上述設置狀態，本發明可通過所述第一調整單元 10a的多個第一調整孔vi將從所述空氣流入口 Η供給到所 .述第一腔室4a及第二腔室4b的乾燥用空氣Α的喷射量比 例設定爲1:1。 另外’如圖7所示，所述第二調整單元1〇b的多個第 二調整孔V2可設置爲與所述第一腔室4a及第二腔室外相 Φ 匹配（連通）。 基於這種設置狀態’本發明可通過所述第二調整單元 10b的多個第二調整孔V2將從所述空氣流入口 H供給到所 述第一腔室4a及第二腔室4b的乾燥用空氣Α的噴射量比 例設定爲4:1。 • 因此，通過操作上述流量控制機構8來調整供給到所 述第一腔室4a及第二腔室4b的乾燥用空氣Α的分配量， • 從而可適當地控制所述吐出單元6的第一吐出口 6a及第二 吐出口 6b的噴射環境。 雖然本發明的說明書和附圖中只示出流量控制機構8 的調整單it 10由第一調整單元⑽及第二調整單元⑽組 成，從而將分配比例控制成兩個比例（1:1或41)的實施方 式’然而本發明並不局限於此。 例如，雖然圖中未顯示，所述調整單元1〇進一步包括 】三調整單元，從而可用三種分配比例來控制，除此：外 <可用至少兩種分配比例調整及設定乾燥用Μ A的供給 13 1361110 量’從而使其配合工作條件β 因此，當本發明氣刀裝置的上述實施例向基板〇喷射 乾燥用空氣並進行乾燥作業時，可利用流量控制機構8將 所述吐出單元6的第一吐出口 6a及第二吐出口讣的噴射環 境（喷射量比例）設定爲至少一種類型，從而使其符合基 板G的尺寸、形狀或作業條件，因此可確保作業兼容性和 乾燥效率進一步得到提高。 而且’雖然本發明的說明書和附圖中只示出將所述主 體2設置成圖丨所示的結構，即主體2在輸送裝置D2的輸 送區域内與基板G的一面相對應設置的實施方式，但本發 明並不局限於上述結構。 例如，如圖8所示，主體2還可設置爲由兩個主體在 輸送裝置D2的上下兩側相隔設置的結構，從而在所述輸送 裝置D2的輸送區域内與基板G的一面（上面）和另一面（底 面）相對應。此外，雖然圖中未顯示，主體2可相隔設置 在基板G的輸送區域内的至少兩個位置上。 基於上述結構，在輸送基板G的過程中，本發明可以 通過對該基板G的一面及另一面的至少一處喷射乾燥用空 氣A的方式進行乾燥製程。 【圖式簡單說明】 圖1疋本發明的栽刀裝置一個實施例的較佳設置狀態 示意圖。 圖2是本發明的氣刀裝置一個實施例的内部結構示意 14

Claims (1)

1361110 ., *-------— 100年10月25日修正替換頁 ' 七、申請專利範圍： L----— 1. /種氣刀裝置，其中包括： 主體，其内部設置有空氣流入口； . 帛，腔室，其設置在所述主體内側，並接收由所述空 氣流入口供給的乾燥用空氣； 第；腔室’其與第一腔室之間設有所述空氣流入口， 從而與第一腔室相隔配置； 吐出單元’其包括用於向外部喷射所述第一腔室和第 鲁二腔室内㈣用空氣的第一吐出口和第二吐出〇 ;以及 流量控制機構，其用於控制從所述空氣流人口供給到 所述第/腔至和第二腔室的乾燥用空氣的供給量； 其中，所述流量控制機構包括： 流量分配器，其具有用於分配供給到所述第一腔室和 '第二腔室的乾燥用空氣的調整單元，並位於所述空氣流入 :' 口内側； 驅動器，其用於驅動所述流量分配器，從而通過所述 调整單元來調整乾燥用空氣的分配量。 2·如申請專利範圍第.丨項所述之氣刀裝置，其中，所 述第一腔室和第二腔室由具有可存儲一$量的所述空氣流 入口的乾燥用空氣之大小的腔室組成。 3 ·如申請專利範圍第丨項所述之氣刀裝置，其中，所 述吐出單元包括： 八 第一吐出葉片，其在所述主體下部位於 宣 和第二腔室的邊界上； ^ 17 1361110 100年10月25日修正替換頁’ 第二吐出葉片’其與所述第—吐出葉片的一面相對應 設置，並且在兩者之間形成與所述第—腔室連通的第—吐 出口；以及 >第三吐出葉片，其與所述第—吐出葉片的另一面相對 應《•又置，並且在兩者之間形成與所述第二腔室連通的第二 吐出口。 4 .如申請專利範圍第丨項所述之氣刀裝置，其中，所 述流量分配器爲具有與所述空氣流入口的内周面相互對應 的外周面之中空管。 5.如申請專利範圍第1項所述之氣刀裝置，其中，所 述調整單元中與所述第一腔室和第二腔室對應的兩個調整 孔組成一組，並且設置於所述流量分配器的外周面的多個 位置上。 6.如申請專利範圍第5項所述之氣刀裝置，其中，所 述兩個調整孔具有相同或者不同大小的通道。 ’如申請專利範圍第1項所述之氣刀裝置 述驅動器以步進電動機或氣缸、皮帶及滑輪、 來產生及傳遞動力，並帶動所述流量分配器以 爲中心進行旋轉。 8 .如申請專利範圍第1項所述之氣刀裝置，其中，所 述主體傾斜設置在同與基板的輸送方向相垂直的任意基準 線具有第—傾斜角的範圍内，所述第一傾斜角爲30。_38〇

’其中，所 齒條及齒輪 中空管軸線 18 1361110 - • · · 100年10月25曰修正替換頁 ' 八、圖式： (如次頁）

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圖4 1361110

• 圖5

8 1361110

圖7