KR102657774B1 - 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치 - Google Patents

에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프가 일체로 구성된 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판의 상면을 향해 유체를 분사하고, 양측면의 하부영역에 각각 돌출 형성된 회전돌기와, 상기 양측면의 상부영역에 각각 돌출 형성된 각도조절돌기를 포함하는 상부 에어나이프; 상기 상부 에어나이프이 상부에 배치되어 상기 상부 에어나이프를 지지하는 상부 지지유닛; 상기 상부 에아나이프에 대해 일정 간격 이격되게 배치되어 상기 기판의 하면을 향해 유체를 분사하는 하부 에어나이프; 상기 하부 에어나이프의 하부에 배치되어 상기 하부 에어나이프를 지지하는 하부 지지유닛; 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되되, 내측면 상부영역에는 상기 상부 에어나이프의 일측단부가 결합되고, 내측면 하부영역에는 상기 하부 에어나이프의 일측단부가 결합되는 측면 지지유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리 및 기판건조장치를 제공한다.

Description

에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치{AIR KNIFE MODULE　ASSEMBLE AND SUBSTRATE DRYING APPARATUS USING THE SAME}
본 발명은 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프가 일체로 구성된 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD)의 기판 등을 제조할 때에, 제반 공정을 거치는 과정에서 기판의 표면은 외부로부터 유입되는 이물질이나 기판 자체에서 발생하는 파티클 등의 오염물질에 의해 오염이 된다. 따라서, 기판 표면의 각종 오염물질을 제거하기 위하여 일부 제조공정의 전/후로 세정공정이 수행된다. 예를 들어, 세정공정은 약액처리공정과 린스공정으로 이루어지고, 이들 공정 후에 건조공정이 수행됨으로써 기판 표면의 잔류물이나 세정액이 제거된다.
일반적으로 건조공정에서는 기판의 표면에 건조공기(Clean Dry Air : CDA)를 가압 분사하는 에어나이프가 이용되고 있다.
통상적인 기판을 건조시키기 위한 챔버 내부에서 에어나이프는 기판의 상부와 하부 측에 각각 기판의 너비방향으로 설치된다.
한편, 점차 평판 디스플레이 장치의 크기가 대형화됨에 따라 종래의 기판 건조 장치 및 에어나이프의 크기도 역시 대형화되는 추세에 있다.
또한, 에어나이프는 기판상의 탈이온수를 효과적으로 제거할 수 있도록 기판 표면에 대해 비스듬하게 가스가 분사되도록 에어나이프를 소정 각도로 기울여서 설치하게 된다.
따라서, 에어나이프 자체의 자중으로 인해 처짐이 발생하며, 이로 인해 가스의 분사각이 변하게 되는 문제점이 있다. 종래에는 이러한 에어나이프의 처짐과 에어나이프의 높이 및 각도조절을 하기 위해서는 상부 에어나이프와 하부 에어나이프를 각각 조절하도록 구현되었다.
즉, 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프의 처짐과, 높이 및 각도를 조절하기 위해서 각각의 조절수단이 구비됨에 따라 장치의 부품수가 증가되어 장치가 커지게 되고, 정밀하게 조절하기가 어려운 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1034519호(2011.05.12 등록공고, 발명의 명칭 : 대면적 기판의 건조장치)
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프를 일체형 모듈 어셈블리로 구성하고, 일체형 모듈 어셈블리상에서 각 에어나이프의 간격조절과, 각도조절 및 처짐의 보상에 대한 위치조절을 수행할 수 있도록 하는 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치를 제공하는데 있다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리는, 기판의 상면을 향해 유체를 분사하고, 양측면의 하부영역에 각각 돌출 형성된 회전돌기와, 상기 양측면의 상부영역에 각각 돌출 형성된 각도조절돌기를 포함하는 상부 에어나이프; 상기 상부 에어나이프이 상부에 배치되어 상기 상부 에어나이프를 지지하는 상부 지지유닛; 상기 상부 에아나이프에 대해 일정 간격 이격되게 배치되어 상기 기판의 하면을 향해 유체를 분사하는 하부 에어나이프; 상기 하부 에어나이프의 하부에 배치되어 상기 하부 에어나이프를 지지하는 하부 지지유닛; 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되되, 내측면 상부영역에는 상기 상부 에어나이프의 일측단부가 결합되고, 내측면 하부영역에는 상기 하부 에어나이프의 일측단부가 결합되는 측면 지지유닛; 상기 측면 지지유닛상에 배치되어, 상기 기판의 상면과 상기 상부 에어나이프의 사이간격을 조절하고, 상기 기판의 하면과 상기 하부 에어나이프의 사이간격을 조절하는 간격조절유닛; 상기 측면 지지유닛상에 배치되어, 상기 기판의 상면에 대해 상부 에어나이프의 분사각도를 조절하고, 상기 기판의 하면에 대해 상기 하부 에어나이프의 분사각도를 조절하는 각도조절유닛; 및 상기 상부 지지유닛 및 상기 하부 지지유닛에 배치되어, 상기 상부 에어나이프 및 상기 하부 에어나이프의 처짐에 대한 위치를 보상하기 위한 위치보상유닛;을 포함한다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 측면 지지유닛은 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되는 측면 플레이트; 상기 상부 에어나이프의 일측단부를 결합시키기 위하여, 상기 측면 플레이트의 내측면 상부영역에 이동 가능하게 배치되는 상부 결합블록; 및 상기 하부 에어나이프의 일측단부를 결합시키기 위하여, 상기 측면 플레이트의 내측면 하부영역에 이동 가능하게 배치되는 하부 결합블록;을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 상부 결합블록은, 상기 상부 결합블록의 일측면 하부영역에 형성되어 상기 회전돌기가 회전 가능하게 결합되는 회전돌기 결합부; 상기 각도조절돌기를 상기 상부 결합블록에 결합시키기 위하여, 상기 상부 결합블록의 일측면 상부영역에 형성된 각도조절홈부;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 간격조절유닛은, 상기 기판의 상면과 상기 상부 에어나이프의 사이간격을 조절하기 위하여, 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제1 나사홀에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트상에서 상기 상부 결합블록을 상하방향으로 이동시키는 제1 간격조절봉; 및 상기 기판의 하면과 상기 하부 에어나이프의 사이간격을 조절하기 위하여, 상기 하부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제2 나사홀에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트상에서 상기 하부 결합블록을 상하방향으로 이동시키는 제2 간격조절봉;을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 제2 간격조절봉의 길이는 상기 제1 간격조절봉의 길이보다 길게 형성되고, 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제1 관통홀을 관통한 상태로 상기 제2 나사홀에 나사 결합되는 것을 특징한다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 간격조절유닛은, 상기 측면 플레이트상에서 상기 상부 결합블록 및 상기 하부 결합블록의 이동을 안내하기 위하여, 상기 측면 플레이트의 길이방향을 따라 오목하게 형성된 가이드홈부; 및 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 돌출 형성되어 상기 가이드홈부에 결합되는 제1 가이드; 및 상기 하부 결합부의 길이방향을 따라 돌출 형성되어 상기 가이드홈부에 결합되는 제2 가이드;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 각도조절유닛은, 상기 각도조절홈부에 이동가능하게 배치되고, 상기 각도조절돌기가 이동가능하게 결합되는 이동홈이 마련된 각도조절블록; 상기 상부 결합블록의 일측면에 형성된 제3 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 각도조절블록의 일측면에 형성된 각도조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 각도조절홈부상에서 상기 각도조절블록을 이동시키는 각도조절나사; 및 상기 상부 결합블록의 일측면에 형성된 제4 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 각도조절홈부에 배치되어 상기 각도조절나사에 의해 이동되는 상기 각도조절블록의 이동위치를 제한하는 제1 이동제한나사; 포함할 수 있다.
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본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 위치보상유닛은, 상기 상부 지지유닛의 상부에 배치되어, 상기 상부 에어나이프의 좌우방향 위치를 보상하기 위한 제1 위치보상수단; 상기 제1 위치보상수단상에 배치되어, 상기 상부에어나이프의 상하방향 위치를 보상하기 위한 제2 위치보상수단; 및 상기 제2 위치보상수단에 연결되어 상기 상부 에어나이프를 이동가능하게 지지하기 위한 지지수단;을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 제1 위치보상수단은, 상기 상부 지지유닛에 이동가능하게 결합되되, 상기 상부 에어나이프의 좌측방향의 위치를 보상하기 위한 좌측방향 위치보상부와, 상기 좌측방향 위치보상부의 일측에 형성되어 상기 상부 에어나이프의 우측방향의 위치를 보상하기 위한 우측방향 위치보상부 및 상기 좌측방향 위치보상부와 상기 우측방향 위치보상부가 연결된 부위로부터 하측방향으로 돌출 형성되어 상기 제2 위치보상수단의 일부가 배치되는 연장부 포함하는 제1 위치보상블록; 상기 상부 지지유닛에 형성되되, 상기 좌측방향 위치보상부와 대응되는 위치에 형성된 제5 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 좌측방향 위치보상부의 폭방향을 따라 형성된 좌측방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 좌측방향 위치보상부를 이동시키는 좌측방향 위치조절나사; 및 상기 제5 나사홀에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제6 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 좌측 방향 위치보상부의 일측면 사이에 배치되어 상기 좌측방향 위치조절나사에 의해 이동되는 상기 좌측방향 위치보상부의 이동위치를 제한하는 제2 이동제한나사;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 제1 위치보상수단은, 상기 상부 지지유닛에 형성되되 상기 우측방향 위치보상부와 대응되는 위치에 형성된 제7 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 우측방향 위치보상부의 폭방향을 따라 형성된 우측방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 우측방향 위치보상부를 이동시키는 우측방향 위치조절나사; 및 상기 제7 나사홀에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제8 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 우측방향 위치보상부의 일측면 사이에 배치되어 상기 우측방향 위치조절나사에 의해 이동되는 상기 우측방향 위치보상부의 이동위치를 제한하는 제3 이동제한나사;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 제2 위치보상수단은, 상기 연장부에 형성된 이동홀에 이동가능하게 배치되는 상하방향 위치보상부와, 상기 상하방향 위치보상부의 일측에 형성되어 상기 지지수단이 결합되는 지지수단 결합부를 포함하는 제2 위치보상블록; 및 상기 상부 지지유닛의 상면에 형성된 제2 관통홀에 관통되고 상기 제1 위치보상블록의 상면에서 높이방향을 따라 형성된 제3 관통홀에 관통된 상태에서 상기 상하방향 위치보상부의 높이방향을 따라 형성된 상하방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 상하방향 위치보상부를 이동시키는 상하방향 위치조절나사;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 지지수단은, 상기 지지수단 결합부에 형성된 힌지홀에 결합되는 힌지부재; 및 일측은 상기 힌지부재에 결합되고 타측은 상기 상부 에어나이프가 결합되는 결합브라켓;을 포함하되, 상기 결합브라켓은, 상기 힌지부재와 결합되는 힌지부재 결합부 및 상기 힌지부재 결합부의 일측단부로부터 연장 형성되어 상기 상부 에어나이프가 결합되는 상부 에어나이프 결합부;를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 에이나이프 모듈 어셈블리에 있어서, 상기 하부 지지유닛상에 배치되되 상기 기판의 유입되는 입구측에 배치되어, 상기 기판의 하면을 지지하는 복수 개의 제1 아이들롤러; 및 상기 하부 지지유닛상에 배치되되 상기 기판이 배출되는 출구측에 배치되어, 상기 기판의 하면을 지지하는 복수 개의 제2 아이들롤러;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판건조장치는, 앞서 기재된 에어나이프 모듈 어셈블리; 상기 기판이 처리되는 내부공간을 형성되고, 상기 내부공간상에 상기 에어나이프 모듈 어셈블리가 배치되는 챔버; 및 상기 내부공간상에 배치되어 상기 기판을 이송시키는 이송수단:을 포함한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치는, 상부 에어나이프 및 하부 에어나이프를 일체형 모듈 어셈블리로 구성하고, 일체형 모듈 어셈블리상에서 각 에어나이프의 간격조절과, 각도조절 및 처짐의 보상에 대한 위치조절을 수행함에 따라, 각 에어나이프의 간격조절과, 각도조절 및 처짐의 보상에 대한 위치조절을 정밀하게 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치는, 상부 에어나이프, 하부 에어나이프, 간격조절유닛, 각도조절유닛 및 위치보상유닛을 일체형으로 구성함에 따라, 기판건조장치를 콤팩트하게 제작할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리 및 이를 이용한 기판건조장치는, 에어나이프 모듈 어셈블리 중 기판의 유입되는 유입구측 및 기판이 배출되는 배출구측에 각각의 아이들롤러를 설치함에 따라, 이송되는 기판의 처짐을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리의 전방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리의 후방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 에어나이프가 측면 지지유닛에 설치된 상태를 나타낸 요부 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 에어나이프가 상부 결합블록에 결합되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 측면 지지유닛의 구성을 분해한 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 전방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 후방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 구성을 분해한 분해 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판건조장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리의 전방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리의 후방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 에어나이프가 측면 지지유닛에 설치된 상태를 나타낸 요부 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 에어나이프가 상부 결합블록에 결합되는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
또한, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 측면 지지유닛의 구성을 분해한 분해 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 전방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.
또한, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 후방측 구조를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 위치보상유닛의 구성을 분해한 분해 사시도이다.
도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명에 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)는 상부 에어나이프(100)와, 상부 지지유닛(200)과, 하부 에어나이프(300)와, 하부 지지유닛(400)과, 측면 지지유닛(500)과, 간격조절유닛(600) 및 각도조절유닛(700)을 포함한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 상부 에어나이프(100)는 기판(S)의 상면을 향해 유체를 분사하여 상기 기판(S)의 상면을 건조시킬 수 있다.
이때, 상기 상부 에어나이프(100)의 양측면에는 상기 상부 에어나이프(100)의 분사각도를 조절하기 위한 회전돌기(도 4의 110)와, 각도조절돌기(도 4의 120)가 구비될 수 있다.
상기 회전돌기(110)는 상부 에어나이프(100)의 양측면 하부영역에 구비될 수 있고, 상기 각도조절돌기(120)는 상부영역에 구비될 수 있다.
상기 상부 지지유닛(200)은 상기 상부 에어나이프(100)이 상부에 배치되어 상기 상부 에어나이프(100)를 지지할 수 있다.
상기 하부 에어나이프(300)는 기판(S)의 하면을 향해 유체를 분사하여 상기 기판(S)의 하면을 건조시킬 수 있다.
이때, 하부 에어나이프(300)는 상기 하부 에어나이프(300)의 분사각도를 조절하기 위하여 상기 상부 에어나이프(100)와 동일하게, 상기 회전돌기(110)와 각도조절돌기(120)가 구비될 수 있다.
상기 하부 지지유닛(400)은 상기 하부 에어나이프(300)이 하부에 배치되어 상기 상부 에어나이프(100)를 지지할 수 있다.
상기 측면 지지유닛(500)은 상기 상부 지지유닛(200)의 일측면과 상기 하부 지지유닛(400)의 일측면에 동시에 결합될 수 있다.
이때, 상기 측면 지지유닛(500)의 내측면 상부영역에는 상기 상부 에어나이프(100)의 일측단부가 결합되고, 내측면 하부영역에는 상기 하부 에어나이프(300)의 일측단부가 결합될 수 있다.
한편, 상기 상부 지지유닛(200)의 타측면과 상기 하부 지지유닛(400)이 타측면에 동시에 결합되되 내측면 상부영역에는 상기 상부 에어나이프(100)의 타측단부가 결합되고, 내측면 하부영역에는 상기 하부 에어나이프(300)의 타측단부가 결합되는 또 하나의 측면 지지유닛(500)이 구비되는 것은 당연할 것이다.
이하에서는 상기 상부 지지유닛(200)과 하부 지지유닛(400)의 양측에 결합되는 측면 지지유닛(500)의 구조가 동일하여 하나의 측면 지지유닛(500)에 대해서만 설명하기로 한다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 측면 지지유닛(500)은 측면 플레이트(510)와 상부 결합블록(520) 및 하부 결합블록(530)을 포함할 수 있다.
상기 측면 플레이트(510)는 상기 상부 지지유닛(200)의 일측면과 상기 하부 지지유닛(400)의 일측면에 동시에 결합될 수 있다.
상기 상부 결합블록(520)은 상기 측면 플레이트(510)에 상기 상부 에어나이프(100)의 일측단부가 이동가능하게 결합시키기 위한 구성인 것으로서, 상기 상부 결합블록(520)는 상기 측면 플레이트(510)의 내측면 상부영역에 이동 가능하게 배치될 수 있다.
상기 상부 결합블록(520)은 회전돌기 결합부(521) 및 각도조절홈부(522)를 포함할 수 있다.
상기 회전돌기 결합부(521)는 상기 상부 결합블록(520)의 일측면 하부영역에 형성되어 상기 회전돌기(110)가 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이때, 상기 회전돌기 결합부(521)는 상기 회전돌기(110)가 삽입되는 홀 형태로 형성될 수 있다.
상기 각도조절홈부(522)는 상기 각도조절돌기(120)를 상기 상부 결합블록(520)에 결합시키기 위한 구성인 것으로서, 상기 각도조절홈부(522)는 상기 상부 결합블록(520)의 일측면 상부영역에 형성될 수 있다.
이때, 상기 각도조절홈부(522)에는 후술하는 각도조절블록(710)이 결합되고 상기 각도조절블록(710)에 형성된 이동홈(711)에 상기 각도조절돌기(120)가 이동가능하게 결합될 수 있다.
즉, 상기 상부 결합블록(520)에 형성된 회전돌기 결합부(521)에 상기 회전돌기(110)가 결합되고, 상기 각도조절블록(710)에 형성된 이동홈(711)에 상기 각도조절블록(710)이 결합된 상태에서 상기 각도조절블록(710)이 상기 각도조절홈부(522)에 결합됨으로써, 상기 상부 결합블록(520)에 상기 상부 에어나이프(100)의 일측단부가 결합되게 된다.
상기 간격조절유닛(600)은 상기 측면 지지유닛(500)상에 배치되어, 상기 기판(S)의 상면과 상기 상부 에어나이프(100)의 사이간격을 조절하고, 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절할 수 있다.
상기 간격조절유닛(600)은 제1 간격조절봉(610) 및 제2 간격조절봉(620)을 포함할 수 있다.
상기 제1 간격조절봉(610)은 상기 기판(S)의 상면과 상기 상부 에어나이프(100)의 사이간격을 조절하기 위한 구성인 것으로서, 상기 제1 간격조절봉(610)은 상기 상부 결합블록(520)의 길이방향을 따라 형성된 제1 나사홀(H1)에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트(510)상에서 상기 상부 결합블록(520)을 상하방향으로 이동시킬 수 있다.
한편, 사용자의 조작을 위하여 상기 제1 간격조절봉(610)의 일측단부는 상기 상부 지지유닛(200)의 상면을 관통한 상태로 외부로 노출되도록 설치되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 기판(S)의 상면과 상기 상부 에어나이프(100)의 사이간격을 조절하기 위하여 사용자가 상기 제1 간격조절봉(610)을 조절하게 되면, 상기 제1 간격조절봉(610)과 나사 결합된 상기 상부 결합블록(520)이 이동되고 상기 상부 결합블록(520)이 이동됨에 따라 상기 상부 결합블록(520)에 결합된 상기 상부 에어나이프(100)의 일측단부가 이동되면서 상기 기판(S)의 상면과 상기 상부 에어나이프(100)의 사이간격을 조절할 수 있게 된다.
상기 제2 간격조절봉(620)은 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절하기 위한 구성인 것으로서, 상기 제2 간격조절봉(620)은 상기 하부 결합블록(530)의 길이방향을 따라 형성된 제2 나사홀(H2)에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트(510)상에서 상기 하부 결합블록(530)을 상하방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 제2 간격조절봉(620)의 길이는 상기 제1 간격조절봉(610)의 길이보다 긴 길이를 가지도록 형성되고, 상기 상부 결합블록(520)의 길이방향을 따라 형성된 제1 관통홀(K1)을 관통한 상태로 상기 제2 나사홀(H2)에 나사 결합될 수 있다.
한편, 사용자의 조작을 위하여 상기 제2 간격조절봉(620)의 일측단부는 상기 상부 지지유닛(200)의 상면을 관통한 상태로 외부로 노출되도록 설치되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절하기 위하여 사용자가 상기 제2 간격조절봉(620)을 조절하게 되면, 상기 제2 간격조절봉(620)과 나사 결합된 상기 하부 결합블록(530)이 이동되고 상기 하부 결합블록(530)가 이동됨에 따라 상기 하부 결합블록(530)에 결합된 상기 하부 에어나이프(300)의 일측단부가 이동되면서 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절할 수 있게 된다.
한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제2 간격조절봉(620)은 상기 제1 간격조절봉(610)과 동일하게 형성될 수 있으며, 이 경우에는 상기 제1 간격조절봉(610)과 반대방향으로 상기 제2 간격조절봉(620)을 상기 하부 결합블록(530)에 나사 결합시켜 상기 측면 플레이트(510)의 하측 방향에서 상기 제2 간격조절봉(620)을 조절하여 상기 기판(S)의 하면과 상기 하부 에어나이프(300)의 사이간격을 조절할 수 있다.
상기 간격조절유닛(600)은 상기 측면 플레이트(510)상에서 상기 상부 결합블록(520) 및 상기 하부 결합블록(530)의 이동을 안내하기 위한 가이드홈부(511)와, 제1 가이드(523) 및 제2 가이드(531)를 더 포함할 수 있다.
상기 가이드홈부(511)는 상기 측면 플레이트(510)의 길이방향을 따라 오목하게 형성될 수 있으며, 상기 제1 가이드(523)는 상기 상부 결합블록(520)의 길이방향을 따라 돌출 형성될 수 있다.
또한, 상기 제2 가이드(531)는 상기 하부 결합부의 길이방향을 따라 돌출 형성될 수 있으며, 상기 제1 가이드(523) 및 제2 가이드(531)는 상기 가이드홈부(511)에 결합되어 상기 가이드홈부(511)에 안내를 받아 이동될 수 있다.
즉, 상기 상부 결합블록(520)에 형성된 제1 가이드(523) 및 상기 하부 결합블록에 형성된 제2 가이드(531)가 상기 가이드홈부(511)을 따라 이동되면서 상기 측면 플레이트(510)상에서 상기 상부 결합블록(520) 및 하부 결합블록(530)이 안정적으로 이동될 수 있게 된다.
상기 각도조절유닛(700)은 상기 측면 지지유닛(500)상에 배치되어, 상기 기판(S)의 상면에 대해 상부 에어나이프(100)의 분사각도를 조절하고, 상기 기판(S)의 하면에 대해 상기 하부 에어나이프(300)의 분사각도를 조절할 수 있다.
상기 각도조절유닛(700)은 각도조절블록(710)과, 각도조절나사(720) 및 제1 이동제한나사(730)를 포함할 수 있다.
상기 각도조절블록(710)은 상기 각도조절홈부(522)에 이동가능하게 배치될 수 있으며, 상기 각도조절돌기(120)가 이동가능하게 결합되는 이동홈(711)이 마련될 수 있다.
상기 각도조절나사(720)는 상기 상부 결합블록(520)의 일측면에 형성된 제3 나사홀(H3)에 나사 결합된 상태에서 상기 각도조절블록(710)의 일측면에 형성된 각도조절 나사홀(712)에 나사 결합되어 상기 각도조절홈부(522)상에서 상기 각도조절블록(710)을 이동시킬 수 있다.
한편, 상기 각도조절나사(720)의 일측단부는 사용자가 조작을 위하여 상기 상부 지지유닛(200)의 측면을 관통한 상태로 외부로 노출되도록 설치되는 것이 바람직하다.
상기 제1 이동제한나사(730)는 상기 상부 결합블록(520)의 일측면에 형성된 제3 나사홀(H3)에 나사 결합된 상태로 상기 각도조절홈부(522)에 배치되어 상기 각도조절나사(720)에 의해 이동되는 상기 각도조절블록(710)의 이동위치를 제한할 수 있다.
한편, 상기 제1 이동제한나사(730)의 일측단부는 사용자가 조작을 위하여 상기 상부 지지유닛(200)의 측면을 관통한 상태로 외부로 노출되도록 설치되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 기판(S)의 상면에 대해 상기 상부 에어나이프(100)의 분사각도를 조절하기 위해서는, 먼저 상기 제1 이동제한나사(730)를 조절하여 상기 각도조절블록(710)의 이동될 위치를 맞춘 다음, 상기 각도조절나사(720)를 조절하여 상기 각도조절블록(710)이 상기 제1 이동제한나사(730)까지 이동될 수 있도록 한다.
이때, 상기 각도조절블록(710)은 상기 제1 이동제한나사(730)에 접촉되어 더 이상 이동되지는 않는다.
결과적으로, 상기 각도조절나사(720)의 조절에 의해 상기 각도조절블록(710)이 이동되면 상기 이동홈(711)상에서 상기 각도조절돌기(120)가 이동하게 되고, 상기 회전돌기 결합부(521)에 결합된 상기 회전돌기(110)가 회전하게 되어 상기 상부 에어나이프(100)이 분사각도가 조절되게 된다.
도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)는 상기 상부 지지유닛(200) 및 상기 하부 지지유닛(400)에 배치되어, 상기 상부 에어나이프(100) 및 상기 하부 에어나이프(300)의 처짐에 대한 위치를 보상하기 위한 위치보상유닛(800)을 더 포함할 수 있다.
여기서, 각 에어나이프의 처짐에 대한 위치보상은 기준위치에서 에어나이프가 좌측방향 또는 우측방향으로 비틀어지는 것에 대한 에어나이프의 좌우방향 위치를 보상하는 것과 에어나이프가 지면을 향해 처치는 것에 대한 에어나이프의 상하방향 위치를 보상하는 것을 포함하여 정의할 수 있다. 상기 기준위치는 에어나이프가 세팅될 위치를 의미할 수 있다.
이때, 상기 상부 지지유닛(200)에 배치되는 위치보상유닛(800)과 상기 하부 지지유닛(400)에 배치되는 위치보상유닛(800)은 상호 동일하여 상기 상부 지지유닛(200)에 배치되는 위치보상유닛(800)에 대해서만 설명하기로 한다.
상기 위치보상유닛(800)은 제1 위치보상수단(810)과, 제2 위치보상수단(820) 및 지지수단(830)을 포함할 수 있다.
상기 제1 위치보상수단(810)은 상기 상부 지지유닛(200)의 상부에 배치되어, 상기 상부 에어나이프(100)의 좌우방향 위치 즉, 상기 상부 에어나이프(100)가 좌측방향 또는 우측방향으로 틀어진 위치를 보상하기 위한 구성인 것으로서, 이러한 상기 제1 위치보상수단(810)은 제1 위치보상블록(811)과, 좌측방향 위치조절나사(815)와, 제2 이동제한나사(816)와, 우측방향 위치조절나사(817) 및 제3 이동제한나사(818)를 포함할 수 있다.
상기 제1 위치보상블록(811)은 상기 상부 지지유닛(200)에 이동가능하게 결합되되, 상기 상부 에어나이프(100)의 좌측방향의 위치를 보상하기 위한 좌측방향 위치보상부(812)와, 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 일측에 형성되어 상기 상부 에어나이프(100)의 우측방향의 위치를 보상하기 위한 우측방향 위치보상부(813) 및 상기 좌측방향 위치보상부(812)와 상기 우측방향 위치보상부(813)가 연결된 부위로부터 하측방향으로 돌출 형성되어 상기 제2 위치보상수단(820)의 일부가 배치되는 연장부(814) 포함할 수 있다.
상기 좌측방향 위치조절나사(815)는 상기 상부 지지유닛(200)에 형성되되 상기 좌측방향 위치보상부(812)와 대응되는 위치에 형성된 제5 나사홀(H5)에 나사 결합된 상태에서 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 폭방향을 따라 형성된 좌측방향 위치조절 나사홀(812a)에 나사 결합되어 상기 좌측방향 위치보상부(812)를 이동시킬 수 있다.
상기 제2 이동제한나사(816)는 상기 제5 나사홀(H5)에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제6 나사홀(H6)에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛(200)의 일측면과 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 일측면 사이에 배치되어 상기 좌측방향 위치조절나사(815)에 의해 이동되는 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 이동위치를 제한할 수 있다.
즉, 상기 상부 에어나이프(100)가 기준위치로부터 좌측방향으로 틀어진 위치를 보상하기 위해서는, 먼저 상기 제2 이동제한나사(816)를 조절하여 상기 좌측방향 위치보상부(812)의 이동될 위치를 맞춘 다음, 상기 좌측방향 위치조절나사(815)를 조절하여 상기 좌측방향 위치보상부(812)가 상기 제2 이동제한나사(816)까지 이동될 수 있도록 한다. 이때, 상기 좌측방향 위치보상부(812)는 상기 제2 이동제한나사(816)에 접촉되어 더 이상 이동되지 않는다.
결과적으로, 상기 좌측방향 위치조절나사(815)의 조절에 의해 상기 좌측방향 위치보상부(812)가 이동됨으로써, 후술하는 지지수단(830)을 매개로 상기 제1 위치보상블록(811)과 연결된 상기 상부 에어나이프(100)가 이동되어 기준위치에 대해 상기 상부 에어나이프(100)의 좌측방향으로 비틀어진 위치를 보상할 수 있게 된다.
상기 우측방향 위치조절나사(817)는 상기 상부 지지유닛(200)에서 상기 우측방향 위치보상부(813)와 대응되는 위치에 형성된 제7 나사홀(H7)에 나사 결합된 상태에서 상기 우측방향 위치보상부(813)의 폭방향을 따라 형성된 우측방향 위치조절 나사홀(813a)에 나사 결합되어 상기 우측방향 위치보상부(813)를 이동시킬 수 있다.
상기 제3 이동제한나사(818)는 상기 제7 나사홀(H7)에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제8 나사홀(H8)에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛(200)의 일측면과 상기 우측방향 위치보상부(813)의 일측면 사이에 배치되어 상기 우측방향 위치조절나사(817)에 의해 이동되는 상기 우측방향 위치보상부(813)의 이동위치를 제한할 수 있다.
즉, 상기 상부 에어나이프(100)가 기준위치로부터 우측방향으로 틀어진 위치를 보상하기 위해서는, 먼저 상기 제3 이동제한나사(818)를 조절하여 상기 우측방향 위치보상부(813)의 이동될 위치를 맞춘 다음, 상기 우측방향 위치조절나사(817)를 조절하여 상기 우측방향 위치보상부(813)가 상기 제3 이동제한나사(818)까지 이동될 수 있도록 한다. 이때, 상기 우측방향 위치보상부(813)는 상기 제3 이동제한나사(813)에 접촉되어 더 이상 이동되지 않는다.
결과적으로, 상기 우측방향 위치조절나사(817)의 조절에 의해 상기 우측방향 위치보상부(813)가 이동됨으로써, 상기 지지수단(830)을 매개로 상기 제1 위치보상블록(811)과 연결된 상기 상부 에어나이프(100)가 이동되어 기준위치에 대해 상기 상부 에어나이프(100)의 우측방향으로 비틀어진 위치를 보상할 수 있게 된다.
상기 제2 위치보상수단(820)은 상기 제1 위치보상수단(810)상에 배치되어, 상기 상부 에어나이프(100)의 상하방향 위치를 보상하기 위한 구성인 것으로서, 상기 제2 위치보상수단(820)은 제2 위치보상블록(821) 및 상하방향 위치조절나사(824)를 포함할 수 있다.
상기 제2 위치보상블록(821)은 상기 연장부(814)에 형성된 이동홀(814a)에 이동가능하게 배치되는 상하방향 위치보상부(822)와, 상기 상하방향 위치보상부(822)의 일측에 형성되어 상기 지지수단(830)이 결합되는 지지수단 결합부(823)를 포함할 수 있다.
상기 상하방향 위치조절나사(824)는 상기 상부 지지유닛(200)의 상면에 형성된 제2 관통홀(K2)에 관통되고 상기 제1 위치보상블록(811)의 상면에서 높이방향을 따라 형성된 제3 관통홀(K3)에 관통된 상태에서 상기 상하방향 위치보상부(822)의 높이방향을 따라 형성된 상하방향 위치조절 나사홀(822a)에 나사 결합되어 상기 상하방향 위치보상부(822)를 이동시킬 수 있다.
즉, 상기 상부 에어나이프(100)가 상하방향으로 처진 위치를 보상하기 위해서는 상기 상하방향 위치조절 나사(824)를 조절하여 상기 상하방향 위치보상부(822)가 이동될 수 있도록 함으로써, 상기 지지수단(830)을 매개로 상기 제2 위치보상블록(821)과 연결된 상기 상부 에어나이프(100)가 이동되어 상기 상부 에어나이프(100)의 상하방향으로 처진 위치를 보상할 수 있게 된다.
상기 지지수단(830)은 상기 제2 위치보상수단(820)에 연결되어 상기 상부 지지유닛(200)상에서 상기 상부 에어나이프(100)를 이동가능하게 지지할 수 있다.
상기 지지수단(830)은 힌지부재(831)와 결합브라켓(832)을 포함할 수 있다.
상기 힌지부재(831)는 상기 지지수단 결합부(823)에 형성된 힌지홀(823a)에 결합될 수 있다.
상기 결합브라켓(832)은 일측이 상기 힌지부재(831)에 결합되고 타측은 상기 상부 에어나이프(100)가 결합되어 상기 상부 지지유닛(200)상에서 상기 상부 에어나이프(100)를 지지할 수 있다.
이때, 상기 결합브라켓(832)은 힌지부재 결합부(833) 및 에어나이프 결합부(834)를 포함할 수 있다.
상기 힌지부재 결합부(833)는 상기 힌지부재(833)와 결합되어 상기 에어나이프 결합부(834)를 지지할 수 있다.
상기 에어나이프 결합부(834)는 상기 힌지부재(831) 결합부로부터 연장 형성되어 상기 상부 에어나이프(100)가 결합될 수 있다. 이때, 도시되지는 않았지만, 상기 에어나이프 결합부(834)에 상기 상부 에어나이프(100)의 결합은 나사(미도시) 등과 같은 별도의 체결부재에 의해 결합될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)는 복수 개의 제1 아이들롤러(910) 및 복수 개의 제2 아이들롤러(920)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 아이들롤러(910)는 상기 하부 지지유닛(400)상에 배치되되 상기 기판(S)의 유입되는 입구측에 배치되어 상기 기판(S)의 하면을 지지할 수 있다.
상기 제2 아이들롤러(920)는 상기 하부 지지유닛(400)상에 배치되되 상기 기판(S)이 배출되는 출구측에 배치되어 상기 기판(S)의 하면을 지지할 수 있다.
즉, 상기 제1 아이들롤러(910) 및 상기 제2 아이들롤러(920)가 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)에 포함되도록 제작됨에 따라 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)를 더욱 콤팩트하게 제작할 수 있게 된다.
이하에서는 도 9를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 다른 기판건조장치에 대해 설명하기로 한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판건조장치의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판건조장치는 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)과, 챔버(2000) 및 이송수단(3000)을 포함할 수 있다.
상기 챔버(2000)는 기판(S)이 처리되는 내부공간(2100)을 형성하고, 상기 내부공간(2100)에 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)가 배치될 수 있다.
이때, 상기 챔버(2000)의 일측에는 기판(S)이 유입되는 유입구(2001)가 마련되고, 상기 챔버(2000)의 타측에는 기판(S)처리가 완료된 기판(S)이 배출되는 배출구(2002)가 마련될 수 있다.
상기 이송수단(3000)은 상기 챔버(2000)의 내부공간(2100)에 배치되어 상기 기판(S)을 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)측으로 이송시킬 수 있다.
자세히 도시되지는 않았지만, 상기 이송수단(3000)은 챔버(2000)의 내부공간(2100)상에 기판(S)을 일방향으로 이송시키는 역할을 한다. 상기 이송수단(3000)은 예를 들면, 기판(S)의 이송 방향을 따라서 배치되는 복수 개의 이송축(3100)을 포함한다.
상기 이송축(3100)은 기판(S)이 이송되는 방향과 수직한 방향으로 연장되고, 상호 평행하도록 동일한 간격으로 배치될 수 있다.
상기 이송축(3100)에는 이송축을 부분적으로 둘러싸고, 기판(S)의 하면 일부와 직접적으로 접촉하여 기판(S)을 이송하는 복수 개의 이송롤러(3200)이 구비될 수 있다.
즉, 상기 이송축(3100)이 회전함에 의해 상기 이송롤러(3200)도 회전하게 되고, 상기 이송롤러(3200)의 회전으로 이송롤러(3200)와 접촉된 기판(S)의 이송되면서, 상기 기판(S)의 건조를 위해 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)를 통과하게 된다.
상기 기판(S)이 상기 에어나이프 모듈 어셈블리(1000)를 통과하면서, 상기 상부 에어나이프(100)에 의해 상기 기판(S)의 상면이 건조되고, 상기 하부 에어나이프(300)에 의해 상기 기판(S)의 하면이 건조된다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100: 상부 에어나이프 110: 회전돌기
120: 각도조절돌기 200: 상부 지지유닛
300: 하부 에어나이프 400: 하부 지지유닛
500: 측면 지지유닛 510: 측면 플레이트
511: 가이드홈부 520: 상부 결합블록
521: 회전돌기 결합부 522: 각도조절홈부
523: 제1 가이드 530: 하부 결합블록
531: 제2 가이드 600: 간격조절유닛
610: 제1 간견조절봉 620: 제2 간격조절봉
700: 각도조절유닛 710: 각도조절블록
711: 이동홈 712: 각도조절블록 나사홀
720: 각도조절나사 730: 제1 이동제한나사
800: 위치보상유닛 810: 제1 위치보상수단
811: 제1 위치보상블록 812: 좌측방향 위치보상부
812a: 좌측방향 위치조절 나사홀 813: 우측방향 위치보상부
813a:우측방향 위치조절 나사홀 814: 연장부
815: 좌측방향 위치조절나사 816: 제2 이동제한나사
817: 우측방향 위치조절나사 818: 제3 이동제한나사
820: 제2 위치보상수단 821: 제2 위치보상블록
822: 상하방향 위치보상부 822a: 상하방향 위치조절 나사홀
823: 지지수단 결합부 823a: 힌지홀
824: 상하방향 위치조절나사 830: 지지수단
831: 힌지부재 832: 결합브라켓
833: 힌지부재 결합부 834: 에어나이프 결합부
910: 제1 아이들롤러 920: 제2 아이들롤러
1000: 에어나이프 모듈 어셈블리 2000: 챔버
2100: 내부공간 3000: 이송수단

Claims (15)

  1. 기판의 상면을 향해 유체를 분사하고, 양측면의 하부영역에 각각 돌출 형성된 회전돌기와, 상기 양측면의 상부영역에 각각 돌출 형성된 각도조절돌기를 포함하는 상부 에어나이프;
    상기 상부 에어나이프이 상부에 배치되어 상기 상부 에어나이프를 지지하는 상부 지지유닛;
    상기 상부 에어나이프에 대해 일정 간격 이격되게 배치되어 상기 기판의 하면을 향해 유체를 분사하는 하부 에어나이프;
    상기 하부 에어나이프의 하부에 배치되어 상기 하부 에어나이프를 지지하는 하부 지지유닛;
    상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되되, 내측면 상부영역에는 상기 상부 에어나이프의 일측단부가 결합되고, 내측면 하부영역에는 상기 하부 에어나이프의 일측단부가 결합되는 측면 지지유닛;
    상기 측면 지지유닛상에 배치되어, 상기 기판의 상면과 상기 상부 에어나이프의 사이간격을 조절하고, 상기 기판의 하면과 상기 하부 에어나이프의 사이간격을 조절하는 간격조절유닛;
    상기 측면 지지유닛상에 배치되어, 상기 기판의 상면에 대해 상부 에어나이프의 분사각도를 조절하고, 상기 기판의 하면에 대해 상기 하부 에어나이프의 분사각도를 조절하는 각도조절유닛; 및
    상기 상부 지지유닛 및 상기 하부 지지유닛에 배치되어, 상기 상부 에어나이프 및 상기 하부 에어나이프의 처짐에 대한 위치를 보상하기 위한 위치보상유닛;을 포함하고,
    상기 위치보상유닛은,
    상기 상부 지지유닛의 상부에 배치되어, 상기 상부 에어나이프의 좌우방향 위치를 보상하기 위한 제1 위치보상수단;
    상기 제1 위치보상수단상에 배치되어, 상기 상부에어나이프의 상하방향 위치를 보상하기 위한 제2 위치보상수단; 및
    상기 제2 위치보상수단에 연결되어 상기 상부 에어나이프를 이동가능하게 지지하기 위한 지지수단;을 포함하며,
    상기 제1 위치보상수단은,
    상기 상부 지지유닛에 이동가능하게 결합되되, 상기 상부 에어나이프의 좌측방향의 위치를 보상하기 위한 좌측방향 위치보상부와, 상기 좌측방향 위치보상부의 일측에 형성되어 상기 상부 에어나이프의 우측방향의 위치를 보상하기 위한 우측방향 위치보상부 및 상기 좌측방향 위치보상부와 상기 우측방향 위치보상부가 연결된 부위로부터 하측방향으로 돌출 형성되어 상기 제2 위치보상수단의 일부가 배치되는 연장부 포함하는 제1 위치보상블록;
    상기 상부 지지유닛에 형성되되, 상기 좌측방향 위치보상부와 대응되는 위치에 형성된 제5 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 좌측방향 위치보상부의 폭방향을 따라 형성된 좌측방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 좌측방향 위치보상부를 이동시키는 좌측방향 위치조절나사; 및
    상기 제5 나사홀에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제6 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 좌측 방향 위치보상부의 일측면 사이에 배치되어 상기 좌측방향 위치조절나사에 의해 이동되는 상기 좌측방향 위치보상부의 이동위치를 제한하는 제2 이동제한나사;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측면 지지유닛은
    상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 하부 지지유닛의 일측면에 동시에 결합되는 측면 플레이트;
    상기 상부 에어나이프의 일측단부를 결합시키기 위하여, 상기 측면 플레이트의 내측면 상부영역에 이동 가능하게 배치되는 상부 결합블록; 및
    상기 하부 에어나이프의 일측단부를 결합시키기 위하여, 상기 측면 플레이트의 내측면 하부영역에 이동 가능하게 배치되는 하부 결합블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상부 결합블록은,
    상기 상부 결합블록의 일측면 하부영역에 형성되어 상기 회전돌기가 회전 가능하게 결합되는 회전돌기 결합부; 및
    상기 각도조절돌기를 상기 상부 결합블록에 결합시키기 위하여, 상기 상부 결합블록의 일측면 상부영역에 형성된 각도조절홈부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 간격조절유닛은,
    상기 기판의 상면과 상기 상부 에어나이프의 사이간격을 조절하기 위하여, 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제1 나사홀에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트상에서 상기 상부 결합블록을 상하방향으로 이동시키는 제1 간격조절봉; 및
    상기 기판의 하면과 상기 하부 에어나이프의 사이간격을 조절하기 위하여, 상기 하부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제2 나사홀에 나사 결합되어 상기 측면 플레이트상에서 상기 하부 결합블록을 상하방향으로 이동시키는 제2 간격조절봉;을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 간격조절봉의 길이는 상기 제1 간격조절봉의 길이보다 길게 형성되고, 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 형성된 제1 관통홀을 관통한 상태로 상기 제2 나사홀에 나사 결합되는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 간격조절유닛은,
    상기 측면 플레이트상에서 상기 상부 결합블록 및 상기 하부 결합블록의 이동을 안내하기 위하여, 상기 측면 플레이트의 길이방향을 따라 오목하게 형성된 가이드홈부; 및 상기 상부 결합블록의 길이방향을 따라 돌출 형성되어 상기 가이드홈부에 결합되는 제1 가이드; 및
    상기 하부 결합블록의 길이방향을 따라 돌출 형성되어 상기 가이드홈부에 결합되는 제2 가이드;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 각도조절유닛은,
    상기 각도조절홈부에 이동가능하게 배치되고, 상기 각도조절돌기가 이동가능하게 결합되는 이동홈이 마련된 각도조절블록;
    상기 상부 결합블록의 일측면에 형성된 제3 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 각도조절블록의 일측면에 형성된 각도조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 각도조절홈부상에서 상기 각도조절블록을 이동시키는 각도조절나사; 및
    상기 상부 결합블록의 일측면에 형성된 제4 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 각도조절홈부에 배치되어 상기 각도조절나사에 의해 이동되는 상기 각도조절블록의 이동위치를 제한하는 제1 이동제한나사; 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제1 위치보상수단은,
    상기 상부 지지유닛에 형성되되 상기 우측방향 위치보상부와 대응되는 위치에 형성된 제7 나사홀에 나사 결합된 상태에서 상기 우측방향 위치보상부의 폭방향을 따라 형성된 우측방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 우측방향 위치보상부를 이동시키는 우측방향 위치조절나사; 및
    상기 제7 나사홀에 대해 일정간격 이격되게 형성된 제8 나사홀에 나사 결합된 상태로 상기 상부 지지유닛의 일측면과 상기 우측방향 위치보상부의 일측면 사이에 배치되어 상기 우측방향 위치조절나사에 의해 이동되는 상기 우측방향 위치보상부의 이동위치를 제한하는 제3 이동제한나사;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제2 위치보상수단은,
    상기 연장부에 형성된 이동홀에 이동가능하게 배치되는 상하방향 위치보상부와, 상기 상하방향 위치보상부의 일측에 형성되어 상기 지지수단이 결합되는 지지수단 결합부를 포함하는 제2 위치보상블록; 및
    상기 상부 지지유닛의 상면에 형성된 제2 관통홀에 관통되고 상기 제1 위치보상블록의 상면에서 높이방향을 따라 형성된 제3 관통홀에 관통된 상태에서 상기 상하방향 위치보상부의 높이방향을 따라 형성된 상하방향 위치조절 나사홀에 나사 결합되어 상기 상하방향 위치보상부를 이동시키는 상하방향 위치조절나사;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 지지수단은,
    상기 지지수단 결합부에 형성된 힌지홀에 결합되는 힌지부재; 및
    일측은 상기 힌지부재에 결합되고 타측은 상기 상부 에어나이프가 결합되는 결합브라켓;을 포함하되,
    상기 결합브라켓은,
    상기 힌지부재와 결합되는 힌지부재 결합부 및
    상기 힌지부재 결합부의 일측단부로부터 연장 형성되어 상기 상부 에어나이프가 결합되는 상부 에어나이프 결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 하부 지지유닛상에 배치되되 상기 기판의 유입되는 입구측에 배치되어, 상기 기판의 하면을 지지하는 복수 개의 제1 아이들롤러; 및
    상기 하부 지지유닛상에 배치되되 상기 기판이 배출되는 출구측에 배치되어, 상기 기판의 하면을 지지하는 복수 개의 제2 아이들롤러;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 모듈 어셈블리.
  15. 제1항 내지 제7항 및 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 에어나이프 모듈 어셈블리;
    상기 기판이 처리되는 내부공간을 형성되고, 상기 내부공간상에 상기 에어나이프 모듈 어셈블리가 배치되는 챔버; 및
    상기 내부공간상에 배치되어 상기 기판을 이송시키는 이송수단:를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판건조장치.
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