KR102180040B1 - 기판 건조 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 건조 장치는 기판의 상부에 배치되어 상기 기판의 상면에 고압의 공기를 분사하는 제1 기판 건조부 및 상기 기판의 하부에 배치되어 상기 기판의 하면에 상기 고압의 공기를 분사하는 제2 기판 건조부를 포함하고, 상기 제1 기판 건조부는 제1 하우징, 상기 제1 하우징의 하부에 연결되어 상기 고압의 공기를 상기 기판의 상기 상면에 분사하는 제1 노즐, 상기 기판의 이송 방향과 마주보는 상기 제1 하우징의 전면의 하부의 소정의 영역에 배치되어 상기 기판의 이송 방향과 반대 방향으로 돌출되는 증발부, 및 상기 증발부를 가열하는 히터부를 포함한다.

Description

기판 건조 장치{APPARATUS FOR DRYING SUBSTRATE}
본 발명은 기판의 건조 불량을 방지할 수 있는 기판 건조 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 표시 장치의 제조시 기판상에 박막 소자들이 형성되고, 표면 처리 공정이 수행된다. 표면 처리 공정시, 세정 작업과 건조 작업이 필수적으로 요구된다.
세정 공정시 기판의 표면이나 박막 소자에 부착되는 불순물이 세정액에 의해 제거된다. 세정 공정 후 기판에 잔존하는 세정액이 에어 나이프와 같은 기판 건조 장치에 의해 제거된다. 기판 건조 장치는 고압의 공기를 기판상에 분사하여 기판에 잔존하는 세정액을 제거한다.
고압의 공기가 기판상에 제공될 경우, 세정액의 일부가 파편과 같은 형태의 미스트들로서 공정 챔버 내에 잔존할 수 있다. 고압의 공기가 기판상에 제공될 경우, 미스트들은 고압의 공기에 의해 형성되는 기류를 따라서 공정 챔버 내에서 이동하다 서로 결합될 수 있다.
서로 결합된 미스트들은 더 큰 크기의 물방울로 형성되어, 기판상에 떨어질 수 있다. 따라서, 기판의 건조 불량이 발생될 수 있다.
본 발명의 목적은 기판의 건조 불량을 방지할 수 있는 기판 건조 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 건조 장치는 기판의 상부에 배치되어 상기 기판의 상면에 고압의 공기를 분사하는 제1 기판 건조부, 및 상기 기판의 하부에 배치되어 상기 기판의 하면에 상기 고압의 공기를 분사하는 제2 기판 건조부를 포함하고, 상기 제1 기판 건조부는, 제1 하우징, 상기 제1 하우징의 하부에 연결되어 상기 고압의 공기를 상기 기판의 상기 상면에 분사하는 제1 노즐, 상기 기판의 이송 방향과 마주보는 상기 제1 하우징의 전면의 하부의 소정의 영역에 배치되어 상기 기판의 이송 방향과 반대 방향으로 돌출되는 증발부, 및 상기 증발부를 가열하는 히터부를 포함한다.
상기 증발부의 일측은 상기 제1 하우징의 상기 전면에 연결되고, 상기 증발부의 타측은 경사면을 가지며, 상기 증발부의 상면의 길이는 상기 증발부의 하면의 길이보다 길다.
상기 제1 노즐은 상기 기판의 이송방향과 마주보는 방향으로 소정의 각도를 갖도록 꺽여서 상기 제1 노즐의 하부가 상기 기판의 상기 상면을 향하도록 배치된다.
상기 제1 기판 건조부는, 상기 제1 하우징의 상기 전면의 반대 측면인 상기 제1 하우징의 후면과 마주보도록 배치되어 상기 고압의 공기를 발생하는 제1 기체 공급관, 제1 방향으로 연장되어 상기 제1 기체 공급관에 연결되어 상기 고압의 공기를 제공받는 제1 기체 이송부, 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 제1 하우징에 수용되고, 상기 제1 기체 이송부에 연결되어 상기 제1 기체 이송부로부터 상기 고압의 공기를 제공받아 상기 제1 노즐에 제공하는 제2 기체 이송부를 더 포함한다.
상기 제1 노즐은 상기 제2 기체 이송부의 하부에 연결되어 상기 제2 기체 이송부를 통해 제공받은 상기 고압의 공기를 상기 기판의 상기 상면에 분사한다.
상기 제1 노즐은 상기 제2 기체 이송부의 상기 하부에 연결되어 상기 기판의 상기 상면을 향하도록 배치되는 제1 홀을 포함하고, 상기 제1 홀은 상기 제2 기체 이송부를 통해 제공받은 상기 고압의 공기를 상기 기판의 상기 상면에 분사한다.
상기 기판은 상기 제1 방향으로 장변을 갖고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 단변을 갖고, 상기 제1 방향으로 이송되며, 상기 제1 하우징, 상기 제1 노즐, 및 상기 증발부는 상기 제3 방향으로 연장된다.
상기 기판이 배치되어 이송되며, 상기 제1 및 제2 기판 건조부들이 수용되는 공정 챔버, 상기 공정 챔버의 상부의 내측면의 소정의 영역에 배치된 더미 증발부, 및 상기 더미 증발부를 가열하는 더미 히터부를 더 포함한다.
상기 더미 증발부는 상기 고압의 공기와 상기 기판의 상기 상면의 접촉 지점에 오버랩되도록 배치되고, 상기 증발부와 오버랩되지 않도록 배치된다.
상기 더미 증발부의 일측은, 상기 제1 하우징의 상기 전면에 연결되지 않은 상기 증발부의 측면에 접촉하고 상부 및 하부 방향으로 연장된 연장축에 인접하게 배치되며, 상기 더미 증발부는 상기 연장축에서부터 상기 증발부가 배치되지 않은 방향으로 소정의 영역만큼 연장된다.
상기 증발부는 상기 제1 하우징의 상기 전면부터 상기 고압의 공기와 상기 기판의 상기 상면의 접촉 지점까지의 크기보다 작은 크기를 갖도록 돌출되어 상기 고압의 공기와 상기 기판의 상기 상면의 접촉 지점과 오버랩되지 않도록 배치된다.
상기 히터부 및 상기 더미 히터부는 상기 기판의 상기 상면에 잔존하는 세정액이 상기 고압의 공기에 의해 제거될 경우 발생하는 미스트들을 증발시킬 수 있는 온도로 상기 증발부 및 상기 더미 증발부를 가열한다.
본 발명의 기판 건조 장치는 기판의 건조 불량을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 건조 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 제1 및 제2 기판 건조부들을 통해 수행되는 기판 건조 공정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 제1 기판 건조부에 의해 기판 건조 공정이 수행될 경우, 미스트들의 이동 흐름을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 4a 내지 도 4f는 제1 기판 건조부의 증발부의 다양한 실시 예들을 도시한 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제 1, 제 2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 소자, 제 1 구성요소 또는 제 1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제 2 소자, 제 2 구성요소 또는 제 2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 건조 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 기판 건조 장치(100)는 공정 챔버(10), 기판 건조부(110,120)(또는 에어 나이프), 더미 히터부(21), 더미 증발부(22), 및 롤러(ROL)를 포함한다.
기판 건조부(110,120), 더미 증발부(22), 및 롤러(ROL)는 공정 챔버(10) 내에 배치된다. 더미 히터부(21)는 공정 챔버(10) 외부에 배치될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 더미 히터부(21)는 공정 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다.
공정 챔버(10)는 기판 유입부(11), 기판 유출부(12), 및 배기관(13)을 포함한다. 예시적인 실시 예로서 기판 유입부(11)는 공정 챔버(10)의 좌측에 배치되고, 기판 유출부(12)는 공정 챔버(10)의 우측에 배치될 수 있다. 또한, 배기관(13)은 공정 챔버(10)의 하부에 배치될 수 있다. 세정 공정이 수행된 기판(SUB)은 기판 유입부(11)를 통해 공정 챔버(10)로 유입된다.
공정 챔버(10)로 유입된 기판(SUB)은 공정 챔버(10) 내에 배치된 롤러들(ROL)에 의해 이송된다. 롤러들(ROL)은 소정의 방향으로 회전하면서 기판(SUB)을 제1 방향(D1)으로 이송시킬 수 있다. 예시적인 실시 예로서 기판(SUB)은 시계 방향으로 회전하는 롤러들(ROL)에 의해 제1 방향(D1)의 좌측에서 우측 방향으로 이동될 수 있다.
기판 건조부(110,120)는 고정 상태이고, 롤러들(ROL)에 의해 공정 챔버(10)로 유입된 기판(SUB)이 이송된다. 기판 건조부(110,120)는 이송되는 기판(SUB)을 향해 고압의 공기를 분사함으로써 기판 건조 공정을 수행한다.
기판 건조 공정시, 기판(SUB)에 분사되는 고압의 공기에 의해 기판(SUB)에 잔존하는 세정액이 제거된다. 고압의 공기에 의해 제거된 세정액의 입자들은 배기관(13)을 통해 배출될 수 있다. 기판 건조부(110,120)에 의해 기판 건조 공정이 수행된 기판(SUB)은 롤러들(ROL)에 의해 이송되어 기판 유출부(12)를 통해 외부로 유출된다.
기판 건조부(110,120)는 제1 기판 건조부(110) 및 제2 기판 건조부(120)를 포함한다. 제1 기판 건조부(110)는 기판(SUB)의 상부에 배치되어 기판(SUB)의 상면에 고압의 공기를 분사한다. 제2 기판 건조부(120) 및 기판(SUB)의 하부에 배치되어 기판(SUB)의 하면에 고압의 공기를 분사한다.
제1 기판 건조부(110)는 제1 기체 공급관(111), 제1 기체 이송부(112), 제2 기체 이송부(113), 제1 하우징(114), 제1 노즐(115), 히터부(116), 및 증발부(117)를 포함한다.
이하 기판(SUB)의 이송 방향과 마주보는 제1 하우징(114)의 측면은 전면(FS)으로 정의되고, 제1 하우징(114)의 전면(FS)의 반대 측면은 제1 하우징(114)의 후면(BS)으로 정의된다.
제1 기체 공급관(111)은 제1 하우징(114)의 후면과 마주보도록 배치된다. 제1 기체 이송부(112)는 제1 기체 공급관(111)에 연결되어 제1 방향(D1)으로 연장된다.
제2 기체 이송부(113)는 제1 하우징(114)에 수용된다. 제1 하우징(114) 내에 배치된 제2 기체 이송부(113)는 제1 방향(D1)과 교차하는 제2 방향(D2)으로 연장되어 기판(SUB)이 배치된 하부 방향으로 연장된다. 제2 기체 이송부(113)는 제1 기체 이송부(112)에 연결된다.
제1 기체 이송부(112)는 제2 기체 이송부(113)의 상부의 소정의 영역에 연결된다. 제1 기체 이송부(112)는 제1 기체 공급관(111) 및 제2 기체 이송부(113) 사이에 배치되어 제1 기체 공급관(111) 및 제2 기체 이송부(113)를 연결하는 역할을 한다.
제1 노즐(115)은 제1 하우징(114)의 하부에 연결된다. 또한, 제1 노즐(115)은 제2 기체 이송부(113)의 하부에 연결된다. 제2 기체 이송부(113)는 제1 기체 이송부(112) 및 제1 노즐(115) 사이에 배치되어 제1 기체 이송부(112) 및 제1 노즐(115)을 연결하는 역할을 한다.
제1 노즐(115)은 기판(SUB)의 이송 방향과 마주보는 방향으로 소정의 각도를 갖도록 꺽여서 제1 노즐(115)의 하부가 기판(SUB)의 상면을 향하도록 배치된다. 예를 들어, 기판(SUB)이 좌측에서 우측으로 이송될 경우, 제1 노즐(115)은 좌측으로 소정의 각도를 갖도록 꺽여서 제1 노즐(115)의 하부가 기판(SUB)의 상면을 향하도록 배치된다.
제1 노즐(115)은 제1 홀(H1)을 포함한다. 제1 홀(H1)은 기판(SUB)의 상면을 향하도록 배치된다. 또한, 제1 홀(H1)은 제2 기체 이송부(113)의 하부에 연결된다.
제1 기체 공급관(111)은 고압의 공기를 발생시킨다. 제1 기체 이송부(112)는 제1 기체 공급관(111)으로부터 고압의 공기를 제공받아 제2 기체 이송부(113)에 제공한다. 또한, 제2 기체 이송부(113)는 고압의 공기를 제공받아 제1 노즐(115)에 제공한다.
즉, 제1 및 제2 기체 이송부들(112,113)은 제1 기체 공급관(111)에서 발생된 고압의 공기의 이동 경로를 제공한다. 따라서, 제1 기체 공급관(111)에서 발생된 고압의 공기는 제1 및 제2 기체 이송부들(112,113)을 통해 제1 노즐(115)에 제공된다.
제1 노즐(115)의 제1 홀(H1)은 제2 기체 이송부(113)를 통해 고압의 공기를 제공받는다. 고압의 공기는 제1 홀(H1)을 통해 기판(SUB)의 상면을 향해 분사된다. 기판(SUB)을 향해 분사된 고압의 공기에 의해 기판(SUB)의 상면에 잔존하는 세정액이 제거된다.
증발부(117)는 제1 하우징(114)의 전면(FS)의 하부의 소정의 영역에 배치되어 기판(SUB)의 이송 방향과 반대 방향으로 돌출된다. 증발부(117)의 일측은 제1 하우징(114)의 전면(FS)에 연결되고, 증발부(117)의 타측은 경사면을 갖는다. 또한, 증발부(117)의 상면의 길이는 증발부(117)의 하면의 길이보다 길다. 가열부(116)는 증발부(117)에 연결되어 증발부(117)를 가열시킨다.
제2 기판 건조부(120)는 제2 기체 공급관(121), 제3 기체 이송부(122), 제4 기체 이송부(123), 제2 하우징(124), 및 제2 노즐(125)을 포함한다. 제2 노즐(125)은 제2 홀(H2)을 포함한다.
가열부(116) 및 증발부(117)가 없는 것을 제외하면, 제2 기판 건조부(120)의 구성은 실질적으로 제1 기판 건조부(110)와 동일하다. 제1 기판 건조부(110) 및 제2 기판 건조부(120)는 기판(SUB)을 사이에 두고 배치되며, 서로 대칭되도록 배치된다.
제2 기체 공급관(121)은 고압의 공기를 발생시킨다. 제3 기체 이송부(122)는 제2 기체 공급관(121)에 연결되어 제2 기체 공급관(121)으로부터 고압의 공기를 제공받는다. 제4 기체 이송부(123)는 제3 기체 이송부(122)에 연결되어 제3 기체 이송부(122)로부터 고압의 공기를 제공받는다. 제4 기체 이송부(123)는 제2 하우징(124)에 수용된다.
제2 노즐(125)은 제2 하우징(124)의 상부에 연결된다. 또한, 제2 노즐(125)의 제2 홀(H2)은 제4 기체 이송부(123)의 상부에 연결되어 고압의 공기를 제공받는다. 제2 홀(H2)은 고압의 공기를 기판(SUB)의 하면을 향해 분사한다. 기판(SUB)을 향해 분사된 고압의 공기에 의해 기판(SUB)의 하면에 잔존하는 세정액이 제거된다.
따라서, 제2 기판 건조부(120)는 기판(SUB)의 하면을 향해 고압의 공기를 분사하여 기판 건조 공정을 수행할 수 있다.
더미 증발부(22)는 공정 챔버(10)의 상부의 내측면의 소정의 영역에 배치된다. 더미 증발부(22)는 고압의 공기와 기판(SUB)의 상면의 접촉 지점과 오버랩되도록 배치된다. 더미 증발부(22)의 구체적인 배치 영역은 이하 상세히 설명될 것이다. 더미 히터부(21)는 더미 증발부(22)에 연결되어 더미 증발부(22)를 가열시킨다.
고압의 공기에 의해 제거된 세정액의 일부가 배기관(13)을 통해 배출되지 않고, 파편과 같은 형태의 미스트들로서 공정 챔버(10) 내에 잔존할 수 있다.
미스트들은 고압의 공기에 의해 형성되는 기류를 따라서 제1 기판 건조부(110)의 제1 하우징(114)의 전면에 흡착될 수 있다. 이러한 미스트들이 서로 결합되어 보다 큰 물방울로 형성될 경우, 제1 하우징(114)의 전면(BS)을 따라 흘러내릴 수 있다. 제1 하우징(114)의 전면(BS)을 따라 흘러내린 미스트들은 증발부(117)에 모일 수 있다.
히터부(116)는 미스트들을 증발시킬 수 있는 온도로 증발부(117)를 가열시킨다. 따라서, 증발부(117)에 도달한 미스트들은 증발부(117)에서 증발되어 제거될 수 있다.
또한, 미스트들은 고압의 공기에 의해 형성되는 기류를 따라서 이동하여 공정 챔버(10)의 상부의 내측면의 소정의 영역에 배치된 더미 증발부(22)에 흡착될 수 있다. 더미 히터부(21)는 미스트들을 증발시킬 수 있는 온도로 더미 증발부(22)를 가열시킨다. 따라서, 더미 증발부(22)에 흡착된 미스트들은 더미 증발부(22)에서 증발되어 제거될 수 있다.
미스트들이 증발되는 구체적인 동작은 이하, 도 3을 참조하여 상세히 설명될 것이다.
도 2는 제1 및 제2 기판 건조부들을 통해 수행되는 기판 건조 공정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2에는 설명의 편의를 위해 기판(SUB), 제1 하우징(114), 제1 및 제2 노즐들(115,125), 및 증발부(117) 만을 도시하였다. 다른 구성들은 앞서, 도 1을 참조하여 상세히 설명되었으므로, 도시하지 않았다.
도 2를 참조하면, 기판(SUB)은 제1 방향(D1)으로 장변을 갖고, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)과 수직한 제3 방향(D3)으로 단변을 갖는다.
제1 하우징(114), 제1 및 제2 노즐들(115,125), 및 증발부(117)는 제3 방향(D3)으로 연장된다. 따라서, 제1 하우징(114), 제1 및 제2 노즐들(115,125), 및 증발부(117)는 기판(SUB)의 단축과 평행하도록 배치된다. 도시하지 않았으나, 제2 하우징(124)도 제3 방향(D3)으로 연장된다.
전술한 바와 같이, 제1 노즐(115)은 기판(SUB)의 이송 방향과 마주보는 방향으로 소정의 각도를 갖도록 꺽여서 제1 노즐(115)의 하부가 기판(SUB)의 상면을 향하도록 배치된다. 역시, 제2 노즐(125)도 기판(SUB)의 이송 방향과 마주보는 방향으로 소정의 각도를 갖도록 꺽여서 제2 노즐(125)의 상부가 기판(SUB)의 하면을 향하도록 배치된다.
제1 노즐(115)의 제1 홀(H1)을 통해 고압의 공기(AIR)가 기판(SUB)의 상면으로 분사된다. 제2 노즐(125)의 제2 홀(H2)은 기판(SUB)의 하면을 향하도록 배치된다. 따라서, 제2 노즐(125)의 제2 홀(H2)을 통해 고압의 공기(AIR)가 기판(SUB)의 하면으로 분사된다. 따라서, 기판(SUB)의 상면 및 하면에 잔존하는 세정액이 제거된다.
도 3은 제1 기판 건조부에 의해 기판 건조 공정이 수행될 경우, 미스트들의 이동 흐름을 예시적으로 도시한 도면이다.
설명의 편의를 위해, 도 3에는 제1 기판 건조부(110)에 의해 기판 건조 공정이 수행되는 기판(SUB)의 일부분 및 공정 챔버(10)의 일부분과 제1 기판 건조부(110)가 확대되어 도시되었다.
도 3을 참조하면, 증발부(117)는 제1 하우징(114)의 전면부터 고압의 공기(AIR)와 기판(SUB)의 상면의 접촉 지점까지의 크기보다 작은 크기를 갖도록 돌출되어 제1 하우징(114)의 전면에 연결된다. 따라서, 증발부(117)는 고압의 공기(AIR)와 기판(SUB)의 상면의 접촉 지점에 오버랩되지 않도록 배치될 수 있다.
전술한 바와 같이, 더미 증발부(22)는 공정 챔버(10)의 상부의 내측면의 소정의 영역에 배치된다. 구체적으로, 더미 증발부(22)는 고압의 공기(AIR)와 기판(SUB)의 상면의 접촉 지점에 오버랩되도록 배치될 수 있다.
더미 증발부(22)의 일측은, 제1 하우징(114)의 전면에 연결된 증발부(117)의 일측의 반대측인 증발부(117)의 타측에 접촉하고 상부 및 하부 방향(또는 제2 방향(D2))으로 연장된 연장축(EA)에 인접하게 배치된다.
더미 증발부(22)는 연장축(EA)에서부터 증발부(117)가 배치되지 않은 방향으로 소정의 영역만큼 연장될 수 있다. 따라서, 더미 증발부(22)는 증발부(117)와 오버랩되지 않도록 배치될 수 있다.
제1 노즐(115)의 제1 홀(H1)을 통해 고압의 공기(AIR)가 기판(SUB)의 상면을 향해 분사된다. 기판(SUB)의 상면에 잔존하는 세정액(30)은 고압의 공기(AIR)에 의해 제거된다. 그러나, 고압의 공기(AIR)에 의해 제거된 세정액(30)의 일부가 미스트들(M)로서 공정 챔버(10) 내에 잔존할 수 있다.
구체적으로, 제1 홀(H1)을 통해 고압의 공기(AIR)가 기판(SUB)의 상면에 제공될 경우, 도 3에 도시된 바와 같이, 고압의 공기(AIR)와 기판(SUB)의 상면의 접촉 지점을 기준으로 상부 방향으로 타원형의 기류가 형성될 수 있다. 기류는 미스트들(M)의 이동 경로로 정의될 수 있다.
이러한 기류에 의해 미스트들(M)이 고압의 공기(AIR)와 기판(SUB)의 상면의 접촉 지점을 기준으로 상부 방향으로 타원형으로 이동될 수 있다.
기류에 따라서 이동하는 미스트들(M)은 중력에 의해 하강하여 제1 기판 건조부(110)의 제1 하우징(114)의 전면에 흡착될 수 있다. 또한, 미스트들(M)은 서로 결합되어 보다 큰 물방울로 형성될 수 있다. 이러한 경우, 미스트들(M)은 제1 하우징(114)의 전면을 따라 흘러내릴 수 있다. 제1 하우징(114)의 전면을 따라 흘러내린 미스트들(M)은 증발부(117)에 모일 수 있다.
히터부(116)는 미스트들(M)을 증발시킬 수 있는 온도로 증발부(117)를 가열시킨다. 따라서, 증발부(117)에 도달한 미스트들(M)은 증발부(117)에서 증발되어 제거될 수 있다.
또한, 미스트들(M)은 고압의 공기에 의해 형성되는 기류를 따라서 이동하여 공정 챔버(10)의 상부의 내측면의 소정의 영역에 배치된 더미 증발부(22)에 흡착될 수 있다. 더미 히터부(21)는 미스트들(M)을 증발시킬 수 있는 온도로 더미 증발부(22)를 가열시킨다. 따라서, 더미 증발부(22)에 흡착된 미스트들(M)은 더미 증발부(22)에서 증발되어 제거될 수 있다.
도시하지 않았으나, 제2 기판 건조부(120)에 의해 기판 건조 공정이 수행될 때 미스트들(M)이 발생될 수 있다. 제1 기판 건조부(110)보다 제2 기판 건조부(120)가 배기관(13)에 가깝게 배치된다.
제2 기판 건조부(120)에 의해 기판 건조 공정이 수행될 때 발생된 미스트들(M)은 실질적으로 대부분 중력에 의해 하부로 이동되어 배기관(13)에 의해 배출될 수 있다. 따라서, 실질적으로 제2 기판 건조부(120)에 의해 기판 건조 공정이 수행될 때 건조 불량이 발생되지 않을 수 있다.
결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 건조 장치(100)는 증발부(117) 및 더미 증발부(22)를 통해 미스트들(M)을 제거할 수 있어 기판의 건조 불량을 방지할 수 있다.
도 4a 내지 도 4f는 제1 기판 건조부의 증발부의 다양한 실시 예들을 도시한 도면이다.
도 4a 내지 도 4f를 참조하면, 증발부(117)는 돌출 방향으로 삼각형, 직사각형, 타원형, 원형, 및 부정형의 형상 중 어느 하나의 형상을 가질 수 있다. 도 4e에 도시된 부정형의 형상은 일정한 모양이나 형상을 갖지 않은 형상으로 정의될 수 있다.
도 4a 및 도 4 b에 도시된 증발부(117)의 삼각형의 삼면 중 어느 하나의 일면은 제1 하우징(114)의 전면(FS)에 연결될 수 있다.
삼각형의 형상을 갖는 증발부(117)의 상면은 도 4a에 도시된 바와 같이, 제1 방향(D1)과 평행하도록 배치될 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 삼각형의 형상을 갖는 증발부(117)의 상면은 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1 방향(D1)과 소정의 각도를 갖도록 배치될 수 있다.
삼각형의 형상을 갖는 증발부(117)의 상면이 제1 방향(D1)과 소정의 각도를 갖도록 배치되더라도, 미스트들(M)은 히터부(116)에 의해 가열된 증발부(117)에 접촉되자마자 증발될 수 있다. 따라서, 미스트들(M)이 도 4b에 도시된 삼각형의 형상을 갖는 증발부(117)의 상면을 따라서 흘러내리지 않고 바로 제거될 수 있다.
또한, 도 4d 내지 4f에 도시된 바와 같이, 증발부(117)가 돌출 방향으로 타원형, 원형, 또는 부정형을 갖더라도 미스트들(M)은 히터부(116)에 의해 가열된 증발부(117)에 접촉되자마자 증발될 수 있다. 따라서, 미스트들(M)이 도 4d 내지 4f에 도시된 타원형, 원형, 또는 부정형의 형상을 갖는 증발부(117)를 따라서 흘러내리지 않고 바로 제거될 수 있다.
그 결과, 도 4a 내지 도 4f에 도시된 증발부들(117)에 의해서 기판 건조 공정시 발생된 미스트들(M)이 제거될 수 있다.
결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 건조 장치(100)는 증발부(117) 및 더미 증발부(22)를 통해 미스트들(M)을 제거할 수 있어 기판의 건조 불량을 방지할 수 있다.
이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 기판 건조 장치 110: 제1 기판 건조부
120: 제2 기판 건조부 111: 제1 기체 공급관
112: 제1 기체 이송부 113: 제2 기체 이송부
114: 제1 하우징 115: 제1 노즐
116: 히터부 117: 증발부
121: 제2 기체 공급관 122: 제3 기체 이송부
123: 제4 기체 이송부 124: 제2 하우징
125: 제2 노즐 10: 공정 챔버
21: 더미 히터부 22: 더미 증발부
30: 세정액 ROL: 롤러
SUB: 기판 H1: 제1 홀
H2: 제2 홀

Claims (14)

  1. 기판의 상부에 배치되어 상기 기판의 상면에 고압의 공기를 분사하는 제1 기판 건조부; 및
    상기 기판의 하부에 배치되어 상기 기판의 하면에 상기 고압의 공기를 분사하는 제2 기판 건조부를 포함하고,
    상기 제1 기판 건조부는,
    제1 하우징;
    상기 제1 하우징의 하부에 연결되어 상기 고압의 공기를 상기 기판의 상기 상면에 분사하는 제1 노즐;
    상기 기판의 이송 방향과 마주보는 상기 제1 하우징의 전면의 하부의 소정의 영역에 배치되어 상기 기판의 이송 방향과 반대 방향으로 돌출되는 증발부; 및
    상기 증발부를 가열하는 히터부를 포함하는 기판 건조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 증발부의 일측은 상기 제1 하우징의 상기 전면에 연결되고, 상기 증발부의 타측은 경사면을 가지며, 상기 증발부의 상면의 길이는 상기 증발부의 하면의 길이보다 긴 기판 건조 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 노즐은 상기 기판의 이송방향과 마주보는 방향으로 소정의 각도를 갖도록 꺽여서 상기 제1 노즐의 하부가 상기 기판의 상기 상면을 향하도록 배치되는 기판 건조 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 기판 건조부는,
    상기 제1 하우징의 상기 전면의 반대 측면인 상기 제1 하우징의 후면과 마주보도록 배치되어 상기 고압의 공기를 발생하는 제1 기체 공급관;
    제1 방향으로 연장되어 상기 제1 기체 공급관에 연결되어 상기 고압의 공기를 제공받는 제1 기체 이송부; 및
    상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 제1 하우징에 수용되고, 상기 제1 기체 이송부에 연결되어 상기 제1 기체 이송부로부터 상기 고압의 공기를 제공받아 상기 제1 노즐에 제공하는 제2 기체 이송부를 더 포함하는 기판 건조 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 노즐은 상기 제2 기체 이송부의 하부에 연결되어 상기 제2 기체 이송부를 통해 제공받은 상기 고압의 공기를 상기 기판의 상기 상면에 분사하는 기판 건조 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1 노즐은 상기 제2 기체 이송부의 상기 하부에 연결되어 상기 기판의 상기 상면을 향하도록 배치되는 제1 홀을 포함하고, 상기 제1 홀은 상기 제2 기체 이송부를 통해 제공받은 상기 고압의 공기를 상기 기판의 상기 상면에 분사하는 기판 건조 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제1 방향으로 장변을 갖고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향으로 단변을 갖고, 상기 제1 방향으로 이송되며,
    상기 제1 하우징, 상기 제1 노즐, 및 상기 증발부는 상기 제3 방향으로 연장되는 기판 건조 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판이 배치되어 이송되며, 상기 제1 및 제2 기판 건조부들이 수용되는 공정 챔버;
    상기 공정 챔버의 상부의 내측면의 소정의 영역에 배치된 더미 증발부; 및
    상기 더미 증발부를 가열하는 더미 히터부를 더 포함하는 기판 건조 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 더미 증발부는 상기 고압의 공기와 상기 기판의 상기 상면의 접촉 지점에 오버랩되도록 배치되고, 상기 증발부와 오버랩되지 않도록 배치되는 기판 건조 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 더미 증발부의 일측은, 상기 제1 하우징의 상기 전면에 연결되지 않은 상기 증발부의 측면에 접촉하고 상부 및 하부 방향으로 연장된 연장축에 인접하게 배치되며, 상기 더미 증발부는 상기 연장축에서부터 상기 증발부가 배치되지 않은 방향으로 소정의 영역만큼 연장되는 기판 건조 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 증발부는 상기 제1 하우징의 상기 전면부터 상기 고압의 공기와 상기 기판의 상기 상면의 접촉 지점까지의 크기보다 작은 크기를 갖도록 돌출되어 상기 고압의 공기와 상기 기판의 상기 상면의 접촉 지점과 오버랩되지 않도록 배치되는 기판 건조 장치.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 히터부 및 상기 더미 히터부는 상기 기판의 상기 상면에 잔존하는 세정액이 상기 고압의 공기에 의해 제거될 경우 발생하는 미스트들을 증발시킬 수 있는 온도로 상기 증발부 및 상기 더미 증발부를 가열하는 기판 건조 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 증발부는 돌출 방향으로 직사각형, 삼각형, 타원형, 원형, 및 부정형 중 어느 하나의 형상을 갖는 기판 건조 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 기판 건조부는,
    상기 고압의 공기를 발생하는 제2 기체 공급관;
    상기 제2 기체 공급관에 연결되어 상기 고압의 공기를 제공받는 제3 기체 이송부;
    상기 제3 기체 이송부에 연결되어 상기 제3 기체 이송부로부터 상기 고압의 공기를 제공받는 제4 기체 이송부;
    상기 제4 기체 이송부를 수용하는 제2 하우징; 및
    상기 제2 하우징의 상부에 연결되어 상기 제4 기체 이송부로부터 상기 고압의 공기를 제공받아 상기 기판의 상기 하면에 분사하는 제2 노즐을 포함하는 기판 건조 장치.
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