JP5126312B2 - 洗浄乾燥装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態について図1乃至図5を用いて詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施形態に使用する表面処理部品の洗浄乾燥装置の全体構成図である。また、図2は保液部材を成す保液ブロックの正面図、図3は、図2の保液部材と被洗浄部品となる表面処理部品との右側面図、図4は、図2の保液部材部分の平面図である。
次に、洗浄工程について説明する。表面処理が終わり薬液が付着した被洗浄部品1を、ハンガー式の搬送コンベア80で把持して、連続的に図1の矢印A1,A2に沿って左から右に搬送コンベア80で搬送する。被洗浄部品1は、洗浄乾燥工程の位置へ順次送られる。洗浄乾燥工程の位置には、洗浄液を貯液する貯液槽2と噴射ノズル5とが備えられている。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、以降の各実施形態においては、上述した第1実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略し、異なる構成および特徴について説明する。第1実施形態において、保液部材7の表面は平坦であったが、この第2実施形態は保液部材7の表面に凹凸面を形成したものである。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。図9は本発明の第3実施形態を示す保液部材7を成す保液ブロックの正面図である。上述した実施形態と異なる特徴部分を説明する。第2実施形態ではパンチングプレートを使用したが、この第3実施形態は、図9の破線で示すように、チェッカープレートまたは金網からなる凹凸形成部材10を保液部材7の表面に接合して凹凸面または多孔質面を形成したものである。このように、凹凸形成部材10を保液部材7の表面に接合することで、凝縮液(8)の保液力(保持力)を高めることが出来る。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。上述した実施形態と異なる特徴部分を説明する。図10は本発明の第4実施形態を示す、ペルチェ素子を設けた保液部材7の右側面図である。上記各実施形態では、保液部材7として単なる金属板のみを使用したが、この第4実施形態では、図10に示すように、ペルチェ素子11a、11b(2種類の金属の接合部に電流を流すと、片方の金属からもう片方へ熱が移動するというペルチェ効果を利用した半導体素子)を利用して積極的に保液部材7を冷却し、凝縮液8の保液を促せたものである。
本発明は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張することができる。例えば、上述の各実施形態において、保液部材の表面または保液部材に接合した部材の凹凸面もしくは多孔質面の表面に撥水性のコーティング膜を形成しても良い。
2 貯液槽
3 圧送ポンプ
4 熱交換器
5 噴射ノズル(噴射手段)
6 配管
7、7a、7b 保液部材
7p 多孔質面を形成する多孔板
8、8a、8b 凝縮液
8s 保液層
10 凹凸面を形成する凹凸形成部材
11a、11b ペルチェ素子
13、14 金属プレートからなる電極
50 制御装置(洗浄制御手段)
80 搬送コンベア(乾燥手段)
N12 N型半導体
G1 隙間
G2 凸部相互間の間隔
P12 P型半導体
R1 噴射の領域
Claims (2)
- 被洗浄物品に洗浄液を大気圧下では沸点以上となる加圧過加熱状態で噴射する噴射手段、
前記噴射手段で噴射された前記洗浄液の凝縮液を保持させるように前記被洗浄物品との間に隙間を形成する保液部材、及び
前記噴射手段による噴射を経た前記被洗浄物品を空気中に保持して、前記凝縮液の凝縮熱により乾燥させる乾燥手段を備え、
前記保液部材は、表面に洗浄液を保持するための凹凸面または多孔質面が形成された部材からなることを特徴とする洗浄乾燥装置。 - 前記保液部材は、前記隙間を形成する側の面にペルチェ素子で冷却される冷却面を有し、該冷却面と反対側の面に放熱面を有していることを特徴とする請求項1に記載の洗浄乾燥装置。
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