CN103712428B - 一种干燥装置 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例提供了一种干燥装置，涉及显示技术的制备领域，可以提高待干燥基板的干燥效率，避免由于基板干燥不充分而影响后续的工艺制程。所述干燥装置，包括腔体，以及位于所述腔体内的气刀、承载装置和抽气装置；其中，所述气刀至少包括第一气刀，且所述第一气刀沿第一方向呈锐角倾斜；所述抽气装置和所述第一气刀均位于所述承载装置的上方，且所述抽气装置设置在所述第一气刀与所述第一方向呈锐角夹角的一侧，并靠近所述第一气刀；位于所述承载装置上方的待干燥基板相对所述第一气刀，沿所述第一方向移动。用于待干燥的基板的干燥处理。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术的制备领域，尤其涉及一种干燥装置。
背景技术
目前，在显示技术领域的相关器件，如阵列基板、彩膜基板等基板的制造过程中，为了提高基板的合格率，基板在经过如湿法刻蚀、清洗或剥离等工艺后，需要经过干燥工序以去除基板表面的清洗液等残留液水痕，这一过程往往是通过气刀(AirKnife)向待干燥的基板表面喷射干燥用空气，从而吹去基板上的残留液。
如图1所示，在干燥装置10的腔体101内部设置有位置固定的第一气刀111，待干燥基板140放置在传输滚轮120a之上，在传输滚轮120a的带动下沿着设定的传输方向传送至第一气刀111处，并从第一气刀111喷出的清洁干燥的高压空气之间穿过，通过第一气刀111喷出的空气，将待干燥基板140表面各部分残留的清洗液吹向未干燥区01，从而完成整块基板的干燥过程。
在实现上述基板的干燥的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题；
如图2所示，由于第一气刀111需要与待干燥基板140的表面具有一定的倾斜角度，才能够将待干燥基板140的表面残存的水痕沿着图中方向a吹向未干燥区01，从而使得待干燥基板140穿过第一气刀111后完成干燥过程。在第一气刀111将传输至出气口110a的待干燥基板140表面的水汽吹向未干燥区01的过程中，由于高压空气的回流作用，如图中方向b所示，一部分水汽会进入到已干燥区02，使经过第一气刀111的基板表面部分区域残存清洗液，从而降低了待干燥基板140的干燥效率；此外，表面具有残存清洗液的基板在后续的工艺，例如镀膜工艺中，将产生膜层气泡或颗粒残留等工艺不良，从而影响基板的整体性能。
发明内容
本发明的实施例提供一种干燥装置，可以提高待干燥基板的干燥效率，避免由于基板干燥不充分而影响后续的工艺制程。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案；
本发明实施例提供了一种干燥装置，包括腔体，所述干燥装置还包括位于所述腔体内的气刀、承载装置和抽气装置；其中，所述气刀至少包括第一气刀，且所述第一气刀沿第一方向呈锐角倾斜；所述抽气装置和所述第一气刀均位于所述承载装置的上方，且所述抽气装置设置在所述第一气刀与所述第一方向呈锐角夹角的一侧，并靠近所述第一气刀；位于所述承载装置上方的待干燥基板相对所述第一气刀沿所述第一方向移动。
可选的，所述第一气刀沿与所述第一方向相反的方向移动，且所述抽气装置与所述第一气刀同步沿相同方向移动；所述待干燥基板位置固定。
优选的，所述干燥装置还包括与所述第一气刀和所述抽气装置连接的传动丝杠，以及与所述传动丝杠连接的驱动装置。
可选的，所述承载装置控制位于所述承载装置上方的待干燥基板沿所述第一方向移动；所述第一气刀和所述抽气装置位置固定。
进一步可选的，所述气刀还包括第二气刀，所述第二气刀沿所述第一方向呈锐角倾斜；所述第二气刀位于所述承载装置的上方，且沿所述第一方向，所述抽气装置设置在所述第一气刀与所述第二气刀之间。
优选的，在所述抽气装置与所述第一气刀同步沿相同方向移动的情况下，所述第一气刀、所述第二气刀以及所述抽气装置同步沿相同方向移动。
可选的，所述抽气装置的吸气槽到所述待干燥基板的垂直距离大于所述第二气刀的出气口到所述待干燥基板的垂直距离。
可选的，所述气刀还包括第三气刀，所述第三气刀沿所述第一方向呈锐角倾斜；其中，所述第三气刀位于所述承载装置的下方。
优选的，在所述抽气装置与所述第一气刀同步沿相同方向移动的情况下，所述第一气刀、所述第三气刀以及所述抽气装置同步沿相同方向移动。
进一步优选的，所述第三气刀与所述第一气刀相对所述承载装置上方的待干燥基板对称设置。
本发明实施例提供了一种干燥装置，包括腔体，所述干燥装置还包括位于所述腔体内的气刀、承载装置和抽气装置；其中，所述气刀至少包括第一气刀，且所述第一气刀沿第一方向呈锐角倾斜；所述抽气装置和所述第一气刀均位于所述承载装置的上方，且所述抽气装置设置在所述第一气刀与所述第一方向呈锐角夹角的一侧，并靠近所述第一气刀；位于所述承载装置上方的待干燥基板相对所述第一气刀沿所述第一方向移动。
这样，在所述待干燥基板相对所述第一气刀沿所述第一方向移动的过程中，通过设置在所述第一气刀与所述第一方向呈锐角夹角的一侧的所述抽气装置，能够在所述第一气刀将靠近的所述待干燥基板表面的水汽吹向未干燥区的过程中，通过所述抽气装置将回流进入已干燥区的水汽吸走，从而提高所述待干燥基板的整体干燥效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术提供的一种干燥装置的剖面结构示意图；
图2为现有技术提供的一种干燥装置中对应于图1中的虚线部分的放大示意图；
图3为本发明实施例提供的一种干燥装置的剖面结构示意图一；
图4为本发明实施例提供的一种干燥装置中对应于图3中的虚线部分的放大示意图；
图5为本发明实施例提供的一种干燥装置的剖面结构示意图二；
图6为本发明实施例提供的一种干燥装置的剖面结构示意图三；
图7为本发明实施例提供的一种干燥装置的剖面结构示意图四；
图8为本发明具体实施例提供的一种干燥装置的剖面结构示意图。
附图标记；
01-未干燥区；02-已干燥区；10-干燥装置；101-腔体；110a-出气口；111-第一气刀；112-第二气刀；113-第三气刀；120-承载装置；120a-传输滚轮；130-抽气装置；130a-吸气槽；140-待干燥基板；140a-上底面；140b-下底面。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供了一种干燥装置10，如图3～图7所示，所述干燥装置10包括腔体101，以及位于所述腔体101内的气刀、承载装置120和抽气装置130；其中，所述气刀至少包括第一气刀111，且所述第一气刀111沿第一方向呈锐角倾斜；所述抽气装置130和所述第一气刀111均位于所述承载装置120的上方，且所述抽气装置130设置在所述第一气刀111与所述第一方向呈锐角夹角的一侧，并靠近所述第一气刀111；位于所述承载装置120上方的待干燥基板140相对所述第一气刀111沿所述第一方向移动。
需要说明是，第一，如图3所示，以所述第一气刀111为分界，沿着与所述第一方向相反方向的所述腔体101区域即为所述未干燥区01，而沿着所述第一方向的所述腔体101区域即为所述已干燥区02。
第二，本发明实施例不限定所述第一气刀111与所述第一方向的具体锐角值，可根据所述待干燥基板140上残留清洗液的湿润程度以及所述第一气刀111喷出的气体压力来调整所述第一气刀111沿第一方向倾斜的锐角角度值。
第三，如图4所示，所述抽气装置130的作用是：在所述第一气刀111将靠近的所述待干燥基板140表面的水汽吹向未干燥区01的过程中，通过所述抽气装置130将如图中方向b所示的进入已干燥区02的部分回流水汽吸走，从而提高所述待干燥基板140的整体干燥效率。
这里，可根据进入已干燥区02的回流水汽的具体方向与体积，来调控所述抽气装置130与所述第一气刀111之间的距离、以及所述第一气刀111的出气口110a到所述待干燥基板140的垂直距离，以能够最大限度地提高所述待干燥基板140的干燥效率为准。
第四，位于所述承载装置120上的待干燥基板140相对所述第一气刀111，沿所述第一方向移动，可以通过使所述待干燥基板140位置固定，所述第一气刀111沿与所述第一方向相反的方向移动的方式，或通过所述第一气刀111的位置固定，所述待干燥基板140沿所述第一方向移动的方式，或通过使所述第一气刀111沿与所述第一方向相反的方向移动，同时使所述待干燥基板140沿所述第一方向移动的方式，并通过控制所述抽气装置130的位置以及移动方向来实现，具体根据实际情况进行设定，以能够实现上述待干燥基板140的干燥为准。
本发明实施例提供了一种干燥装置10，所述干燥装置10包括腔体101，以及位于所述腔体101内的气刀、承载装置120和抽气装置130；其中，所述气刀至少包括第一气刀111，且所述第一气刀111沿第一方向呈锐角倾斜；所述抽气装置130和所述第一气刀111均位于所述承载装置120的上方，且所述抽气装置130设置在所述第一气刀111与所述第一方向呈锐角夹角的一侧，并靠近所述第一气刀111；位于所述承载装置120上方的待干燥基板140相对所述第一气刀111沿所述第一方向移动。
这样，在所述待干燥基板140相对所述第一气刀111沿所述第一方向移动的过程中，通过设置在所述第一气刀111与所述第一方向呈锐角夹角的一侧的所述抽气装置130，能够在所述第一气刀111将靠近的所述待干燥基板140表面的水汽吹向未干燥区01的过程中，通过所述抽气装置130将回流进入已干燥区02的水汽吸走，从而提高所述待干燥基板140的整体干燥效率。
在上述基础上，由于通常所述干燥装置10的腔体101相对于地面是固定不动的，因此，以所述腔体101为参照对象，本发明实施例优选可采用以下两种方式实现所述第一气刀111与所述待干燥基板140之间的相对移动，即：
第一种方式为：相对所述腔体101，所述待干燥基板140位置固定，所述第一气刀111沿与所述第一方向相反的方向移动，且所述抽气装置130与所述第一气刀111同步沿相同方向移动。
这里，由于所述第一气刀111沿所述第一方向呈锐角倾斜，即所述第一气刀111喷出的气体方向与所述第一方向相反，因此，所述第一气刀111需沿与所述第一方向相反的方向移动，才能够将位于第一气刀111到沿第一方向相反方向的所述腔体壁之间的未干燥区01的所述待干燥基板140进行干燥；此外，由上述描述可知，所述抽气装置130需设置在已干燥区02且靠近所述第一气刀111设置，才能够将进入已干燥区02的回流的水汽吸走，因此，在所述第一气刀111沿与所述第一方向相反的方向移动的情况下，所述抽气装置130需与所述第一气刀111同步沿相同方向移动。
在此情况下，所述干燥装置10还包括与所述第一气刀111和所述抽气装置130连接的传动丝杠，以及与所述传动丝杠连接的驱动装置。这样，所述传动丝杠在所述驱动装置的驱动下，便可实现所述抽气装置130与所述第一气刀111同步沿相同方向移动。
第二种方式为：相对所述腔体101，所述第一气刀111与所述抽气装置130的位置固定，通过所述承载装置120控制位于所述承载装置120上方的所述待干燥基板140沿所述第一方向移动。
这里，考虑到当需要对多个待干燥基板140进行连续的干燥时，只需要通过所述承载装置120控制位于所述承载装置120上方的多个所述待干燥基板140依次沿所述第一方向移动，即可方便快捷地实现多个待干燥基板140的连续干燥，因此，本发明实施例优选的，采用上述第二种方式对所述待干燥基板140进行干燥。
在此基础上，如图5所示，所述承载装置120控制位于所述承载装置120上方的所述待干燥基板140移动的原理如下所述：
所述承载装置120包括多个间隔排列的传输滚轮120a，所述传输滚轮120a可通过固定于其两端的滚轮轴带动传输滚轮120a沿图中方向c定轴转动。由于所述待干燥基板140放置在所述传输滚轮120a之上，并与所述传输滚轮120a直接接触，在所述传输滚轮120a的摩擦力带动下，从而使得所述待干燥基板140沿所述第一方向移动。
在上述描述基础上，如图6所示，可选的，所述气刀还包括第二气刀112，所述第二气刀112沿所述第一方向呈锐角倾斜，并且，所述第二气刀112位于所述承载装置120的上方，且沿所述第一方向，所述抽气装置130设置在所述第一气刀111与所述第二气刀112之间。
由于所述第二气刀112是沿所述第一方向呈锐角倾斜的，因此当所述第一气刀111将靠近的所述待干燥基板140表面的水汽吹向已干燥区02时，通过所述第二气刀112喷出的气体将回流进入已干燥区02的水汽聚集在所述第一气刀111与所述第二气刀112之间的区域内，有利于所述抽气装置130对这部分回流水汽的吸附，从而进一步提高所述待干燥基板140的整体干燥效率。
这里，图6中仅给出通过所述承载装置120控制位于所述承载装置120上方的所述待干燥基板140沿所述第一方向移动的情况，当然，本发明实施例不限于此，在所述抽气装置130与所述第一气刀111同步沿第一方向的相反方向移动的情况下，为了使所述第一气刀111、所述第二气刀112以及所述抽气装置130作为一个整体，在与所述待干燥基板140产生相对移动的过程中对所述待干燥基板140进行上述干燥处理，优选的，所述第一气刀111、所述第二气刀112以及所述抽气装置130同步沿第一方向的相反方向移动。
需要说明的是，本发明实施例不限定所述第一气刀111与所述第二气刀112分别沿所述第一方向倾斜的锐角夹角θ1和θ2的角度值，以及所述第一气刀111的出气口和所述第二气刀112的出气口分别到所述待干燥基板140的垂直距离h1和垂直距离h2。可根据进入已干燥区02的回流水汽的体积、所述第一气刀111及所述第二气刀112喷出的气体的压力、以及所述第一气刀111与所述待干燥基板140之间的相对移动的速度等参数来调整锐角θ1、锐角θ2、距离h1以及距离h2的具体数值。
进一步的，为了使所述抽气装置130能够充分地吸附聚集在所述第一气刀111与所述第二气刀112之间的回流水汽，本发明实施例优选为，所述抽气装置130的吸气槽130a到所述待干燥基板140的垂直距离大于所述第二气刀112的出气口到所述待干燥基板140的垂直距离。
在上述描述的基础上，对所述待干燥基板140进行干燥处理后，通常仅在其一个面(如上底面140a)上进行后续的工艺，例如在完成干燥处理后的基板上底面140a上进行沉积镀膜工艺，然而，由于没有对基板的下底面进行干燥，下底面残留的清洗液可能会在后续工艺过程中引入污染，因此，如图7和图8所示所示，优选的，所述气刀还包括第三气刀113，所述第三气刀113位于所述承载装置120的下方，且所述第三气刀113沿所述第一方向呈锐角倾斜。
在所述抽气装置130与所述第一气刀111同步沿相同方向移动的情况下，为了使所述第一气刀111、所述第三气刀113以及所述抽气装置130作为一个整体，在与所述待干燥基板140产生相对移动的过程中对所述待干燥基板140进行上述干燥处理，优选的，所述第一气刀111、所述第三气刀113以及所述抽气装置130同步沿相同方向移动。
这里，考虑到在对所述待干燥基板140的上底面140a以及下底面140b同时进行干燥时，通过所述承载装置120控制位于所述承载装置120上方的所述待干燥基板140沿所述第一方向移动，更易实现上述干燥过程，因此，优选为，所述第一气刀111、所述第三气刀113以及所述抽气装置130相对所述腔体101位置固定，所述待干燥基板140沿所述第一方向移动。
进一步的，为了提高所述干燥装置10对所述待干燥基板140的上底面140a和下底面140b的干燥效率，优选为，所述第三气刀113与所述第一气刀111相对所述承载装置120上方的待干燥基板140对称设置，即：参考图7中所示，所述第一气刀111沿所述第一方向倾斜的锐角夹角θ1与所述第三气刀113沿所述第一方向倾斜的锐角夹角θ3相等，同时，所述第一气刀111的出气口到所述待干燥基板140的上底面140a的垂直距离h1与所述第三气刀113的出气口到所述待干燥基板140的下底面140b的垂直距离h3也相等。
基于上述的描述，由于所述干燥装置10的干燥原理是通过所述气刀喷出的气体将所述待干燥基板140的表面残存的水痕沿着方向a吹向未干燥区01，因此，本发明实施例优选为，所述干燥装置10还包括与所述气刀的进气口连接的供气装置，用以给所述气刀提供清洁干燥的高压空气。
下面提供一个具体实施例，用以详细描述上述的干燥装置10。
本发明实施例提供了一种干燥装置10，如图8所示，所述干燥装置10包括腔体101，以及位于所述腔体101内的气刀、与所述气刀的进气口连接的供气装置，用以给所述气刀提供清洁干燥的高压空气、抽气装置130、以及多个间隔排列的传输滚轮120a和控制所述传输滚轮120a定轴转动，使位于所述传输滚轮120a之上的所述待干燥基板140沿第一方向移动的驱动装置。
所述气刀包括沿第一方向呈锐角倾斜的第一气刀111，所述第一气刀111和所述抽气装置130均位于所述多个间隔排列的传输滚轮120a的上方，且所述抽气装置130设置在所述第一气刀111与所述第一方向呈锐角夹角的一侧，并靠近所述第一气刀111。
其中，在所述待干燥基板140沿所述第一方向移动的过程中，所述抽气装置130的作用是吸走回流进入已干燥区02的水汽，为了提高所述抽气装置130对这部分水汽的吸附作用，所述气刀还包括位于所述多个间隔排列的传输滚轮120a的上方、且沿所述第一方向呈锐角倾斜的第二气刀112；其中，沿所述第一方向，所述抽气装置130设置在所述第一气刀111与所述第二气刀112之间。
这里，所述抽气装置130的吸气槽130a到所述待干燥基板140的垂直距离大于所述第二气刀112的出气口到所述待干燥基板140的垂直距离。通过所述第二气刀112喷出的气体使回流进入已干燥区02的水汽聚集在所述第一气刀111与所述第二气刀112之间，从而进一步提高所述待干燥基板140的整体干燥效率。
在上述基础上，为了避免所述待干燥基板140的下底面140b上的残留液污染所述待干燥基板140的后续工艺，所述气刀还包括位于所述多个间隔排列的传输滚轮120a的下方、且沿所述第一方向呈锐角倾斜的第三气刀113；其中，为了能够进一步提高所述待干燥基板140的上底面140a和下底面140b的干燥效率，所述第一气刀111与所述第三气刀113相对所述承载装置120上方的待干燥基板140对称设置。
这里，为了提高所述待干燥基板140在沿所述第一方向移动的稳定性，可通过调整所述气刀的出气口喷出的空气压力，使所述第一气刀111与所述第二气刀112喷出的空气的压力总和大于等于所述第三气刀113喷出的空气的压力，从而使所述待干燥基板140能够平稳地移动。
需要说明的是，本发明所有附图是所述干燥装置的简略的示意图，只为清楚描述本方案体现了与发明点相关的结构，对于其他的与发明点无关的结构是现有结构，在附图中并未体现或只体现部分。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (9)
1.一种干燥装置，包括腔体，其特征在于，所述干燥装置还包括位于所述腔体内的气刀、承载装置和抽气装置；
其中，所述气刀至少包括第一气刀，且所述第一气刀沿第一方向呈锐角倾斜；
所述抽气装置和所述第一气刀均位于所述承载装置的上方，且所述抽气装置设置在所述第一气刀与所述第一方向呈锐角夹角的一侧，并靠近所述第一气刀；
位于所述承载装置上方的待干燥基板相对所述第一气刀沿所述第一方向移动；
所述气刀还包括第二气刀，所述第二气刀沿所述第一方向呈锐角倾斜；
所述第二气刀位于所述承载装置的上方，且所述抽气装置设置在所述第一气刀与所述第二气刀之间。
2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述第一气刀沿与所述第一方向相反的方向移动，且所述抽气装置与所述第一气刀同步沿相同方向移动；
所述待干燥基板位置固定。
3.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括与所述第一气刀和所述抽气装置连接的传动丝杠，以及与所述传动丝杠连接的驱动装置。
4.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述承载装置控制位于所述承载装置上方的待干燥基板沿所述第一方向移动；
所述第一气刀和所述抽气装置位置固定。
5.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，在所述抽气装置与所述第一气刀同步沿相同方向移动的情况下，所述第一气刀、所述第二气刀以及所述抽气装置同步沿相同方向移动。
6.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述抽气装置的吸气槽到所述待干燥基板的垂直距离大于所述第二气刀的出气口到所述待干燥基板的垂直距离。
7.根据权利要求1至4任一项所述的干燥装置，其特征在于，所述气刀还包括第三气刀，所述第三气刀沿所述第一方向呈锐角倾斜；
其中，所述第三气刀位于所述承载装置的下方。
8.根据权利要求7所述的干燥装置，其特征在于，在所述抽气装置与所述第一气刀同步沿相同方向移动的情况下，所述第一气刀、所述第三气刀以及所述抽气装置同步沿相同方向移动。
9.根据权利要求8所述的干燥装置，其特征在于，所述第三气刀与所述第一气刀相对所述承载装置上方的待干燥基板对称设置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310689621.0A CN103712428B (zh) | 2013-12-16 | 2013-12-16 | 一种干燥装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310689621.0A CN103712428B (zh) | 2013-12-16 | 2013-12-16 | 一种干燥装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103712428A CN103712428A (zh) | 2014-04-09 |
| CN103712428B true CN103712428B (zh) | 2016-02-03 |
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ID=50405601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310689621.0A Expired - Fee Related CN103712428B (zh) | 2013-12-16 | 2013-12-16 | 一种干燥装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103712428B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102180040B1 (ko) * | 2014-06-16 | 2020-11-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 건조 장치 |
| CN106249447B (zh) * | 2016-08-08 | 2020-02-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种面板的除水设备 |
| CN107179655A (zh) * | 2017-07-28 | 2017-09-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显影方法及显影装置 |
| CN113154862B (zh) * | 2021-02-26 | 2022-07-15 | 东莞汇和电子有限公司 | 一种电子线路板装配活塞干燥风刀 |
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