CN103286087A - 用于面板的清洁系统和面板的清洁方法 - Google Patents

Abstract

公开一种用于面板的清洁系统，所述用于面板的清洁系统包括用于向所述面板上喷射蒸汽的蒸汽喷射器和用于向所述面板上喷射冷却水的冷却水喷射器，以及公开一种面板的清洁方法，所述面板的清洁方法通过蒸汽喷射和冷却水喷射执行清洁所述面板。当所述面板使用蒸汽喷射时，可使附着于所述面板的异物暂时地膨胀或经历相变。在喷射所述蒸汽的过程之后，使用冷水喷射所述面板，通过该过程所述异物被冷却并凝缩，这可造成与所述面板的连接力的削弱。

Description

用于面板的清洁系统和面板的清洁方法

技术领域

本公开涉及一种包括蒸汽装置和冷却装置的清洁系统以及一种使用该系统的清洁方法，具体而言，涉及用于清洁显示面板的系统和方法。

背景技术

近来，由于对于诸如液晶显示器（LED）、等离子体显示面板（PDP）、有机发光二极管（OLED）显示器和类似物之类的高质量显示设备的需求的增加，对开发高质量显示设备的研究已在积极地执行。

由于高质量显示设备被精密制造，即使极小的污染也可造成缺陷。因此，清洁过程在高质量显示设备的制造中变得非常重要。也就是说，除去存在于面板或基板上的杂质的清洁过程是防止显示设备产生缺陷的重要因素。

具体而言，就诸如近来引人注目的有源矩阵有机发光二极管（AMOLED）显示器之类的敏感显示设备来说，由于在显示面板的表面上形成SiO₂膜，所以显示设备具有相对弱的表面强度。因此，当通过诸如使用抛光带抛光、刷洗、叶片清洁以及类似的一般清洁方法之类的方法执行清洁时，由于清洁强度强，存在显示面板的SiO₂膜脱落或在表面上出现擦伤的问题。同时，为了防止对显示器表面的诸如擦伤或脱落之类的损坏，如果清洁强度被削弱，则存在不能获得所期望的充分的清洁效果的问题。

因此，需要开发清洁系统和方法以有效除去杂质或异物，而不对显示面板的表面造成损坏。

发明内容

本公开致力于提供一种清洁系统和一种清洁方法，该清洁系统和该清洁方法能够有效除去存在于显示面板表面的杂质或异物，而不对显示面板的表面造成损坏。

本公开致力于提供一种包括蒸汽装置和冷却装置的用于清洁面板的系统。

本公开致力于提供一种包括蒸汽和冷却方法的用于清洁面板的方法。

本公开致力于提供一种清洁系统和一种清洁方法，该清洁系统和该清洁方法能够有效除去存在于显示面板表面的物质，而不对其表面造成损坏。

本公开一示例性实施例提供一种用于面板的清洁系统，包括：面板支架，所述面板被装载在所述面板支架上；和被设置在所述面板支架上方的清洁头，其中所述清洁头包括用于向所述面板上喷射蒸汽的蒸汽喷射器和用于向所述面板上喷射冷却水的冷却水喷射器。

从所述蒸汽喷射器喷射的所述蒸汽的温度可为50℃至100℃。从所述冷却水喷射器喷射的所述冷却水的温度可为0℃至20℃。

所述清洁头可进一步包括清洁液体喷射器、带清洁器（belt cleaner）和刷子中的至少一个。

所述用于面板的清洁系统可进一步包括水箱，其中所述蒸汽喷射器可被连接到所述水箱，并且所述蒸汽喷射器可包括用于从所述水箱抽水的泵，用于加热从所述泵供给的水以产生蒸汽的加热装置，以及用于喷射所述蒸汽的蒸汽喷射管口。

所述用于面板的清洁系统可进一步包括用于将空气应用到所述面板的空气喷射器。

所述空气喷射器可包括用于排放空气的叶片，而且空气可通过用于空气喷射的所述叶片而被喷射。

所述面板可为显示面板。所述显示面板可为有机发光二极管显示面板。

本公开另一示例性实施例提供一种用于面板的清洁方法，包括：将所述面板装载在面板支架上；向所述面板上喷射蒸汽；在所述喷射蒸汽之后，向所述面板上喷射冷却水；以及通过清洁构件处理所述面板。

所述冷却水的所述喷射可在执行所述蒸汽的所述喷射之后被连续执行。

在所述蒸汽的所述喷射中所喷射的所述蒸汽的温度可被控制为大约50℃至100℃。在所述蒸汽的所述喷射中所喷射的所述蒸汽的喷射时间可被控制为大约1秒至20秒。

在所述冷却水的所述喷射中所喷射的所述冷却水的温度可被控制为大约0℃至20℃。在所述冷却水的所述喷射中所喷射的所述冷却水的喷射时间可被控制为大约1秒至10秒。在所述冷却水的所述喷射中所喷射的所述冷却水的喷射压力可被控制在0.5kgf/cm²至1.5kgf/cm²的范围内。

所述面板通过所述清洁构件的所述处理可包括：喷射清洁液体，使用带清洁器的带清洁，使用刷子刷洗，或者其结合。

所述清洁方法可进一步包括向所述面板上喷射空气。所述空气可通过用于空气喷射的所述叶片而被喷射。

所述面板可为显示面板。所述显示面板可为有机发光二极管显示面板。

根据本公开的示例性实施例，待被清洁的异物首先被蒸汽处理，并且随后被冷却。当所述异物通过将蒸汽处理到待被清洁的所述异物而膨胀时，立即冷却，并迅速冷却，所述异物的释放力（releasing force）和硬度可被削弱，并且所述异物在随后的另外的清洁过程中可被容易地除去。在只通过所述蒸汽执行清洁的情况下，所述异物被清洁，但是出现异物斑点。然而，根据本文提出的方法，清洁可在没有所述异物斑点的情况下被执行。

前述总结仅为例示性的，并非旨在以任何方式限制。除上面描述的例示方面、实施例和特征之外，另外的方面、实施例和特征将通过参考附图和接下来的详细描述而变得显而易见。

附图说明

图1为根据本公开的示例性实施例的用于面板的清洁系统的示意图，其示意性地示出通过使用所述清洁系统清洁显示面板。

图2示意性地示出根据本公开的示例性实施例的附着于面板的异物通过向所述面板上喷射蒸汽之后喷射冷却水而被膨胀并随后被凝缩以引起相变。

图3示意性地示出根据本公开的示例性实施例的清洁系统中的清洁头的结构。

图4示出根据本公开的示例性实施例的清洁过程的流程图。

图5为根据本公开的示例性实施例的用于面板的清洁系统的示意图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图详细描述本公开的示例性实施例。然而，本公开的范围并不限于下面的示例性实施例和附图。

为了参考，在附图中各个部件及其形状被示意性地绘制或放大绘制，以易于理解。在附图中，执行相同或相似功能的部件由相同的附图标记表示。

在图1中，示意性地示出根据本公开的示例性实施例的用于面板的清洁系统的结构。

在下文中，为了描述的一致，将基于用于清洁作为面板的显示面板的清洁系统和清洁方法描述用于实施本公开的详细的示例性实施例。

根据图1中所示的示例性实施例，用于面板的清洁系统包括面板支架200以及设置在面板支架200上方的清洁头300，面板100装载在面板支架200上。清洁头300包括用于喷射蒸汽401的蒸汽喷射器400和用于喷射冷却水501的冷却水喷射器500。在图1中所示的示例性实施例中，除蒸汽喷射器400和冷却水喷射器500之外，清洁头300进一步包括带清洁器610。

蒸汽喷射器400是用于向面板上喷射蒸汽401的装置。附着在面板上的异物通过被暴露于蒸汽而可被暂时地膨胀或可经历相变。

水被用于在蒸汽喷射器中供应蒸汽。特别地，可使用水中的去离子水（DI水）。作为另一示例，可使用通过使用混合有清洁物质的水而产生的蒸汽，而且例如，也可使用通过蒸发清洁液体而产生的蒸汽，在该清洁液体中，作为清洁物质的表面活性剂和化学清洁剂与水混合。

用于面板的清洁系统包括水箱（未示出），该水箱用于储存清洁所需的水。

如图5所示，蒸汽喷射器400与水箱700连接，并可包括用于喷射蒸汽的蒸汽喷射管口430。详细而言，蒸汽喷射器400可包括用于从水箱抽水以将水供给到蒸汽喷射器的泵410、用于加热从泵410供给的水以形成蒸汽的加热装置420，以及用于喷射蒸汽的蒸汽喷射管口430。另外，蒸汽喷射器400可包括水室440，用于加热水以产生蒸汽并将蒸汽供给到蒸汽喷射管口430。

蒸汽通过蒸汽喷射管口被喷射在装载在面板支架200上的面板100上。

蒸汽喷射器400可进一步包括用于控制蒸汽的压力的压力控制器（未示出）。作为压力控制器的示例，可使用用于控制由供给气体从蒸汽喷射管口喷射的蒸汽的压力的压力控制器。在根据示例性实施例的用于面板的清洁系统中，蒸汽的喷射压力为1巴或更少。

蒸汽喷射器400与单独的控制单元（未示出）连接，以控制蒸汽的喷射时间。例如，包括控制蒸汽喷射管口的打开和闭合的控制单元，以控制蒸汽喷射管口的打开和闭合，从而控制蒸汽的喷射时间。

蒸汽的喷射时间可根据异物的种类和面板的种类而变化，并且蒸汽被喷射一时间段，在该时间段内，附着于面板的异物可被充分地膨胀或引起相变。由于相变的程度根据每种异物而变化，因此必要时可单独控制蒸汽的喷射时间。在示例性实施例中，显示面板被作为面板的例子，但是考虑到附着于显示面板的一般异物的特性，蒸汽的喷射时间可为大约1至20秒。

蒸汽喷射器400可进一步包括用于测量蒸汽温度的温度测量构件和用于控制蒸汽温度的温度控制单元。例如，该温度控制单元被连接到温度测量构件以测量蒸汽温度，并可以通过控制加热装置控制蒸汽的温度。

蒸汽的温度可根据异物的种类而变化，并且可为能够使异物相变并膨胀的蒸汽的温度。由于相变温度根据每种异物而变化，故必要时可控制蒸汽的温度。根据本公开的示例性实施例，从蒸汽喷射器喷射的蒸汽的温度可为50℃至100℃。考虑到附着于面板的异物的种类、状态等等，本领域技术人员可以将蒸汽的温度控制在该温度范围内。

冷却水喷射器500是用于向面板上其上已经喷射蒸汽的位置喷射冷却水501的装置，以冷却被蒸汽加热的异物，即清洁对象。被蒸汽喷射而膨胀或相变的异物通过添加冷却水而被冷却以被凝结，使得与面板的连接力可被削弱。

冷却水喷射器500与蒸汽喷射器400设置在一起，以使冷却水在蒸汽被喷射到面板之后立即被喷射，结果，通过蒸汽被加热而被膨胀或相变的异物被冷却。

从冷却水喷射器500喷射低温度的水。换句话说，从冷却水喷射器500排出的冷却水501的温度低于从蒸汽喷射器400排出的蒸汽401的温度。特别地，水中的去离子水（DI水）可被使用。同时，可使用混合有另外的清洁物质的水，而且例如，也可使用清洁液体，在清洁液体中，表面活性剂和化学清洁剂作为清洁物质被与水混合。

尽管图1中没有示出，但是冷却水喷射器500被连接到储存水的水箱，并且可包括用于喷射冷却水的冷却水喷射管口。冷却水喷射器500可包括用于从水箱抽水的泵。

在此，冷却水喷射器500和蒸汽喷射器400可被连接到相同的水箱。在从水箱抽水之后，只有供给到蒸汽喷射器的水被加热，以转变为蒸汽。

冷却水喷射器500可进一步包括用于控制被喷射的冷却水的压力的压力控制装置（未示出）。作为压力控制装置的示例，用于控制将水箱的水供给到喷射管口的泵以控制泵送压力的装置可被使用。

在根据示例性实施例的用于面板的清洁系统中，冷却水的喷射压力可在0.5至1.5kgf/cm²的范围内。

冷却水喷射器500可包括控制单元（未示出），以控制冷却水的喷射时间。例如，包括控制冷却水喷射管口的打开和闭合的控制单元，以控制冷却水喷射管口的打开和闭合，从而控制冷却水的喷射时间。

冷却水的喷射时间可根据异物的种类和面板的种类而变化，并且冷却水被喷射一时间段，在该时间段内，膨胀的或相变的异物可被充分凝缩。冷却水的喷射时间可根据异物的种类和面板的种类而被单独控制。在示例性实施例中，显示面板作为面板的例子，但是考虑到附着于显示面板的一般异物的特性，冷却水的喷射时间可大约为1至10秒。

冷却水喷射器500可进一步包括用于测量冷却水温度的温度测量构件。冷却水喷射器500可进一步包括用于防止冷却水温度上升的绝热构件或用于将冷却水的温度保持在预定温度或更低温度的冷却构件。

从冷却水喷射器500喷射的冷却水的温度可根据异物的种类而变化，并且冷却水的温度与相变的或膨胀的异物可被冷却的温度相适应。根据本公开的示例性实施例，从冷却水喷射器500喷射的冷却水的温度可为0℃至20℃。考虑到附着于面板的异物的种类、状态等等，本领域的技术人员可将冷却水的温度控制在该温度范围内。

在图1所示的示例性实施例中，除蒸汽喷射器400和冷却水喷射器500之外，清洁头300包括带清洁器610。

详细地，除蒸汽喷射器400和冷却水喷射器500之外，清洁头300可进一步包括清洁液体喷射器、带清洁器和刷子中的至少一个，并且作为示例，图1中所示的用于面板的清洁系统包括带清洁器610。

带清洁器610使用围绕辊缠绕的带抛光面板的表面，以执行清洁。带清洁器被称作“抛光带零件”。带清洁器可为在本领域中广泛使用的用于清洁的抛光带中的任一种。

尽管在附图中没有示出，清洁头300可包括清洁液体喷射器。例如，清洁液体喷射器可被设置在带清洁器610的内部或外部，并且可独立于带清洁器610而被设置。清洁液体喷射器可在带清洁器610执行带清洁时向面板上喷射清洁液体。带清洁的效率可通过向面板上喷射清洁液体而被改善。可在即将由带清洁器610执行带清洁之前喷射清洁液体。

图2示意性地示出附着于面板100的异物101通过向面板上喷射蒸汽之后喷射冷却水而被膨胀并且随后被凝缩以引起相变。

如图2中所示，当异物101附着于面板100时，所附着的异物不易于通过一般清洁过程而被完全除去。因此，在本公开的示例性实施例中，异物101通过将蒸汽401应用到附着于面板100的表面的异物101而膨胀。在这种情况下，蒸汽401被应用，以使异物101的温度上升到异物101的玻化温度。

随后，异物101通过被暴露于从冷却水喷射器500排出的冷却水501而被凝缩。如上所述，当异物101通过蒸汽401而在高温膨胀并且随后通过冷却水501被凝缩时，由于异物的性能改变或表面张力的削弱，异物可被除去，而没有可由一般清洁过程造成的痕迹。

图3示出根据本公开另一示例性实施例的用于面板的清洁系统中的清洁头300的结构的示例。

在图3所示的示例性实施例中，清洁头300包括蒸汽喷射器400、冷却水喷射器500、带清洁器610、预淋器620、辊刷（roll brush）630、冲洗零件640和空气喷射器（或叶片）650。

尽管在附图中没有示出，清洁头300可包括清洁液体喷射器。清洁液体喷射器与冷却水喷射器500、带清洁器610、预淋器620或辊刷630连接，以在冷却水喷射器500、带清洁器610、预淋器620或辊刷630运转时向面板上喷射清洁液体。

清洁的效率可通过由清洁液体喷射器将清洁液体喷射在面板上而被改善。从清洁液体喷射器排出的清洁液体可为清洁物质与溶剂混合的清洁液体。溶剂可为水，也可为另外的溶剂。清洁物质可为本领域内众所周知的清洁物质。清洁物质的种类不限于并包括液体清洁物质和固体清洁物质二者。本领域的技术人员可以根据需要选择和使用合适的清洁物质。

蒸汽喷射器400、冷却水喷射器500和带清洁器610与在图1中所示的示例性实施例中描述的相同。

预淋器620为用于在带清洁被完成之后将水或清洁液体供给到面板的零件。

辊刷630为包括刷子的零件，并且为用于使用辊型刷清洁面板的零件。当面板通过包括在辊刷630中的辊型刷清洁时，清洁液体或水可被连续地应用到面板。

冲洗零件640为用于通过将干净的水供给到由辊刷630清洁的面板而清洁面板的零件。在示例性实施例中，冲洗可为清洁的最后步骤。

空气喷射器650为在经过冲洗过程之后用于将空气应用在面板上的零件。空气喷射器650还可被称为干燥零件，该干燥零件为用于通过使用空气而干燥面板的零件。

根据本公开的示例性实施例，空气喷射器650可包括用于排放气体的叶片，而且空气可通过用于空气喷射的叶片而被喷射。

根据本公开的示例性实施例的清洁系统利于显示面板的清洁。因此，在示例性实施例中，面板可为显示面板。根据本公开的示例性实施例的清洁系统在有机发光二极管显示面板的清洁中是有用的。因此，根据示例性实施例的显示面板可为发光二极管显示面板。

图1示意性地示出使用根据本公开的示例性实施例的清洁系统清洁显示面板的过程。

图1中所示的面板的清洁方法包括：将待清洁的面板100装载在面板支架200上，向面板100上喷射蒸汽，在面板100上的应用蒸汽的位置喷射冷却水，以及通过清洁构件处理面板100。在此，面板通过清洁构件的处理例如包括通过带清洁器610清洁带。

就使用根据本公开的示例性实施例的清洁系统执行清洁来说，其上装载面板100的面板支架200或清洁头300沿预定的方向移动。或者，在执行清洁时，面板支架200和清洁头300沿彼此相反的方向移动。

在下文中，在本公开的示例性实施例中，将作为示例描述在清洁头300被固定在一位置并且面板支架200如图1中箭头所表示的从左向右移动时执行清洁的情况。

在下文中，在本公开的示例性实施例中，例示清洁作为面板的显示面板的情况，并且特别地，将作为示例描述清洁有机发光二极管显示器的面板的情况。

参见图1，尽管在图1中没有示出，在待被清洁的面板100被装载在面板支架200上之后，首先执行蒸汽的喷射。

蒸汽喷射由蒸汽喷射器400执行。附着于面板的异物通过从蒸汽喷射器400排放的蒸汽401而可被暂时地膨胀或者可经历相变。

在蒸汽的喷射中，通过加热水获得的蒸汽被使用。特别地，水中的去离子水（DI水）可被使用。同时，由混合有一般清洁物质的水制成的蒸汽可被使用，而且例如，通过蒸发清洁液体制成的蒸汽也可被使用，在清洁液体中表面活性剂和化学清洁剂作为清洁物质与水混合。

在根据示例性实施例的清洁中，蒸汽的喷射压力可为1巴或更少，而且蒸汽的喷射时间可大约为1至20秒。

蒸汽在蒸汽的温度被控制为50℃至100℃的状态下被喷射在面板上。

在蒸汽的喷射之后，在面板上执行冷却水的喷射。

冷却水的喷射为用于冷却面板的通过蒸汽加热的异物的步骤。也就是说，通过蒸汽喷射而膨胀或相变的异物被冷却水冷却，并被凝缩，以使与面板的连接力被削弱。

冷却水的喷射在蒸汽喷射之后立即被执行。也就是说，连续的过程被执行，以使冷却水在蒸汽被喷射到面板之后立即被喷射，因而被蒸汽加热以膨胀或相变的异物被冷却。

相对较低温度的水在冷却水喷射中被喷射。特别地，水中的去离子水（DI水）可被使用。同时，混合有清洁物质的水可被使用，而且例如，清洁液体也可被使用，在清洁液体中，表面活性剂与化学清洁剂作为清洁物质被与水混合。

在根据示例性实施例的清洁方法中，冷却水可以充分冷却附着于面板的异物，并且以不损坏面板的压力被喷射。考虑到这个特性，冷却水的喷射压力可在0.5至1.5kgf/cm²的范围内。

冷却水被喷射直到膨胀的或相变的异物可被充分凝缩。冷却水的喷射时间可根据异物的种类和面板的种类而被单独控制。在示例性实施例中，考虑到从作为面板的有机发光二极管显示面板产生的异物的特性，冷却水的喷射时间可大约为1至10秒。

从冷却水喷射器500喷射的冷却水的温度可根据异物的种类而变化，而且冷却水的温度与相变或膨胀的异物可被冷却的温度相适应。根据本公开的示例性实施例，从冷却水喷射器500喷射的冷却水的温度可为0℃至20℃。考虑到附着于面板的异物的种类、状态等等，本领域的技术人员可将冷却水的温度控制在该温度范围内。

如同使用清洁系统的面板处理那样，图1中所示的清洁包括通过带清洁器610的带清洁。

详细地，根据示例性实施例的面板的清洁方法可包括喷射清洁液体、使用带清洁器的带清洁以及使用刷子刷洗中的至少一个，如同通过清洁系统的面板处理那样，根据图1中所示的示例性实施例的面板的清洁方法包括通过包含在清洁头300中的带清洁器610的带清洁。

带清洁通过使用包括在带清洁器610中的围绕辊缠绕的带抛光面板的表面来执行清洁。在带清洁中，清洁液体可被喷射。也就是说，带清洁可与清洁液体的喷射一起被执行。在执行带清洁时，清洁液体可被连续喷射或可在带清洁前被喷射。

图4分阶段示出根据本公开的另一示例性实施例的面板的清洁方法的过程的流程图。

图4中所示的示例性实施例中的清洁方法包括：将待清洁的面板100装载在面板支架200上（S10），通过蒸汽喷射器400向面板100上喷射蒸汽401（S20），通过在面板上的喷射蒸汽的位置喷射冷却水501冷却面板100（S30），可包括使用带清洁面板的带清洁（S40），可包括将水或清洁液体供给到面板以清洁面板的预淋（S50），使用辊型刷辊刷洗（S60），冲洗（S70），干燥（S80），以及从面板支架200卸载被干燥的面板（S90）。

装载（S10），加蒸汽（S20），冷却（S30），以及带清洁（S40）与图1所示的清洁方法中描述的相同。

预淋（S50）为用于在带清洁被完成之后将水或清洁液体供给到面板的步骤。也就是说，在辊刷洗前，水或清洁液体被预先应用到面板。

辊刷洗（S60）相当于使用刷子刷洗。在示例性实施例中，辊刷洗（S60）为使用辊刷630清洁面板的步骤，辊刷630为图3中所示的辊型刷。在辊刷洗过程中，清洁液体或水可被连续应用到面板。

冲洗（S70）为通过将干净的水供给到通过辊刷洗（S60）而被清洁的面板来清洁面板的步骤。冲洗（S70）可基本相当于清洁的最后步骤。

干燥（S80）为通过使用空气喷射器650将空气喷射到经过冲洗（S70）的面板的干燥步骤。使用空气喷射器650的干燥也可被称为气冷干燥。空气喷射器650包括用于空气喷射的叶片，并且空气通过用于空气喷射的叶片而被喷射。

卸载（S90）为将通过干燥（S80）而被干燥的面板从面板支架200分离的步骤。用于额外处理的另外的过程可在完成清洁过程的被分离的面板上被执行。

如上所述，描述了根据本公开的清洁系统的示例性实施例和面板的清洁方法的示例性实施例。该示例性实施例仅为用于描述本公开的示例，本公开的范围并不限于上述示例性实施例和附图。

如前所述，将理解，本公开的各种实施例在此被描述用于例示的目的，在不背离本公开的范围和精神的情况下，可以做出各种不同的修改。因此，在此公开的各种实施例不是旨在限制，其真正的范围和精神通过所附的权利要求书而被指出。

Claims (20)

1.一种用于面板的清洁系统，包括：

面板支架，所述面板被装载在所述面板支架上；和

被设置在所述面板支架上方的清洁头，所述清洁头包括：

用于向所述面板上喷射蒸汽的蒸汽喷射器；和

用于向所述面板上喷射冷却水的冷却水喷射器。

2.根据权利要求1所述的用于面板的清洁系统，其中从所述蒸汽喷射器喷射的所述蒸汽的温度为50℃至100℃。

3.根据权利要求1所述的用于面板的清洁系统，其中从所述冷却水喷射器喷射的所述冷却水的温度为0℃至20℃。

4.根据权利要求1所述的用于面板的清洁系统，其中所述清洁头进一步包括清洁液体喷射器、带清洁器和刷子中的至少一个。

5.根据权利要求1所述的用于面板的清洁系统，进一步包括：

水箱，所述蒸汽喷射器被连接到所述水箱，所述蒸汽喷射器包括：

用于从所述水箱抽水的泵；

用于加热从所述泵供给的水以产生蒸汽的加热装置；和

用于喷射所述蒸汽的蒸汽喷射管口。

6.根据权利要求1所述的用于面板的清洁系统，进一步包括：

用于将空气应用到所述面板的空气喷射器。

7.根据权利要求6所述的用于面板的清洁系统，其中所述空气喷射器包括用于排放空气的叶片。

8.根据权利要求1所述的用于面板的清洁系统，其中所述面板为显示面板。

9.根据权利要求8所述的用于面板的清洁系统，其中所述显示面板为有机发光二极管显示面板。

10.一种面板的清洁方法，包括：

将所述面板装载在面板支架上；

向所述面板上喷射蒸汽；

在所述喷射蒸汽之后向所述面板上喷射冷却水；以及

通过清洁构件处理所述面板。

11.根据权利要求10所述的面板的清洁方法，其中所述冷却水的所述喷射在执行所述蒸汽的所述喷射之后被连续地执行。

12.根据权利要求10所述的面板的清洁方法，其中在所述蒸汽的所述喷射中所喷射的所述蒸汽的温度为50℃至100℃。

13.根据权利要求10所述的面板的清洁方法，其中在所述蒸汽的所述喷射中所喷射的所述蒸汽的喷射时间为1秒至20秒。

14.根据权利要求10所述的面板的清洁方法，其中在所述冷却水的所述喷射中所喷射的所述冷却水的温度为0℃至20℃。

15.根据权利要求10所述的面板的清洁方法，其中在所述冷却水的所述喷射中所喷射的所述冷却水的喷射时间为1秒至10秒。

16.根据权利要求10所述的面板的清洁方法，其中在所述冷却水的所述喷射中所喷射的所述冷却水的喷射压力为0.5kgf/cm²至1.5kgf/cm²。

17.根据权利要求10所述的面板的清洁方法，其中所述通过所述清洁构件处理所述面板包括从由喷射清洁液体、使用带清洁器的带清洁、使用刷子刷洗和其结合组成的组中选择的一种方法。

18.根据权利要求10所述的面板的清洁方法，进一步包括：

向所述面板上喷射空气。

19.根据权利要求10所述的面板的清洁方法，其中所述面板为显示面板。

20.根据权利要求19所述的面板的清洁方法，其中所述显示面板为有机发光二极管显示面板。

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