CN110553496B - 气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及上部气刀和下部气刀构成为一体的气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置。本发明提供一种基板干燥装置，其包括：上部气刀；上部支撑单元；下部气刀；下部支撑单元；侧面支撑单元；间隔调节单元，调节上述上部气刀、上述下部气刀与基板之间的间隔；以及角度调节单元，调节上述上部气刀的喷射角度和上述下部气刀的喷射角度的。

Description

气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置

技术领域

本发明涉及气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置，更具体地涉及上部气刀和下部气刀构成为一体的气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置。

背景技术

在制造平板显示器(Flat Panel Display：FDP)的基板等时，在经过各种工序的过程中，基板的表面被从外部流入的异物或由基板自身产生的颗粒等的污染物质污染。

因此，在一部分制造工序的前/后执行清洗工序，以除去基板表面的各种污染物质。例如，清洗工序由药液处理工序和冲洗工序组成，在这些工序之后执行干燥工序，从而除去基板表面的残留物或清洗液。

通常在干燥工序中使用气刀，上述气刀将清洁的干燥空气(Clean Dry Air：CDA)加压喷射到基板的表面。

用于干燥通常基板的腔室内部中，在基板的上部侧和下部侧分别沿着基板的宽度方向独立地设置气刀。

另一方面，随着平板显示装置的尺寸逐渐大型化，以往的基板干燥装置、气刀的尺寸也呈现大型化的趋势。

另外，以偏移规定角度的方式设置气刀，以便使气体偏移地喷射到基板表面，以便有效地除去基板上的去离子水。

因此，存在因气刀本身的自重而发生偏移，从而导致气体的喷射角发生变化的问题。以往存在有如下问题：为了调节上部气刀和下部气刀的偏移、高度、以及角度，单独地设置每个调节装置，从而导致装置的部件数增加，使装置变大，而且难以进行精密的调节。

现有技术文献

专利文献

专利文献：韩国授权专利公报第10-1034519号(2011.05.12授权公告，发明名称：大面积基板的干燥装置)

发明内容

发明要解决的问题

本发明要解决的问题是提供一种气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置，上述气刀模块组件将上部气刀和下部气刀构成为一体型模块组件，能够在一体型模块组件上执行各气刀的间隔调节、角度调节、以及针对偏移的补偿的位置调节。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，本发明提供一种气刀模块组件，其包括：上部气刀，朝向基板的上面喷射流体，包括在两侧面的下部区域分别突出形成的旋转支撑突起、以及在上述两侧面的上部区域分别突出形成的角度调节支撑突起；上部支撑单元，配置在上述上部气刀的上部，支撑上述上部气刀；下部气刀，相对于上述上部气刀隔开一定间隔地配置，朝向上述基板的下面喷射流体；下部支撑单元，配置在上述下部气刀的下部，支撑上述下部气刀；侧面支撑单元，同时结合到上述上部支撑单元的一侧面和上述下部支撑单元的一侧面，上述上部气刀的一端结合到内侧面上部区域，上述下部气刀的一端结合到内侧面下部区域；间隔调节单元，配置在上述侧面支撑单元上，调节上述基板的上表面和上述上部气刀之间的间隔、以及上述基板的下表面和上述下部气刀之间的间隔；以及角度调节单元，配置在上述侧面支撑单元上，调节上述气刀相对于上述基板的上表面的喷射角度、以及上述气刀相对于上述基板的下表面的喷射角度。

上述侧面支撑单元可包括：侧面板，同时结合到上述上部支撑单元的一侧面和上述下部支撑单元的一侧面；上部结合块，与上述上部气刀的一端结合，可移动地配置在上述侧面板的内侧面上部区域；以及下部结合块，与上述下部气刀的一端结合，可移动地配置在上述侧面板的内侧面下部区域。

上述上部结合块可包括：旋转支撑突起结合部，形成在上述上部结合块的一侧面下部区域，上述旋转支撑突起可旋转地结合到上述旋转支撑突起结合部；以及角度调节槽部，形成在上述上部结合块的一侧面上部区域，以便将上述角度调节支撑突起结合到上述上部结合块。

上述间隔调节单元可包括：第一间隔调节杆，螺纹结合到沿着上述上部结合块的长度方向形成的第一螺孔，上述上部结合块可在上述侧面板上向上下方向移动，以调节上述基板的上表面和上述上部气刀之间的间隔；以及第二间隔调节杆，螺纹结合到沿着上述下部结合块的长度方向形成的第二螺孔，上述下部结合块可在上述侧面板上向上下方向移动，以调节上述基板的下表面和上述下部气刀之间的间隔。

上述第二间隔调节杆的长度可形成为长于上述第一间隔调节杆的长度，贯通沿着上述上部结合块的长度方向形成的第一贯通孔并螺纹结合到上述第二螺孔。

上述间隔调节单元还可包括：引导槽部，沿着上述侧面板的长度方向凹入形成，以便在上述侧面板上引导上述上部结合块和上述下部结合块的移动；第一引导部，沿着上述上部结合块的长度方向突出形成，与上述引导槽部相结合；以及第二引导部，沿着上述下部结合块的长度方向突出形成，与上述引导槽部相结合。

上述角度调节单元可包括：角度调节块，可移动地配置在上述角度调节槽部，具有移动槽，上述角度调节突起可移动地结合到上述移动槽；角度调节螺钉，在螺纹结合到形成于上述上部结合块的一侧面的第四螺孔的状态下，螺纹结合到形成于上述角度调节块的一侧面的角度调节螺孔，以在上述角度调节槽部上移动上述角度调节块；以及第一移动限制螺钉，以螺纹结合到形成于上述上部结合块的一侧面的第三螺孔的状态配置在角度调节槽部，以限制通过上述角度调节螺钉而移动的上述角度调节块的移动位置。

上述气刀模块组件还可包括位置补偿单元，配置在上述上部支撑单元和上述下部支撑单元，用于补偿针对上述上部气刀和上述下部气刀的偏移的位置。

上述位置补偿单元可包括：第一位置补偿装置，与上述上部支撑单元结合，用于补偿上述上部气刀的左右方向位置；第二位置补偿装置，与上述第一位置补偿装置结合，用于补偿上述上部气刀的上下方向位置；以及支撑装置，连接到上述第二位置补偿装置，用于支撑上述上部气刀。

上述第一位置补偿装置可包括：第一位置补偿块，可移动地结合到上述上部支撑单元，并包括左侧方向位置补偿部、右侧方向位置补偿部、以及延伸部，上述左侧方向位置补偿部用于补偿上述上部气刀的左侧方向的位置，上述右侧方向位置补偿部形成在上述左侧方向位置补偿部的一侧，用于补偿上述上部气刀的右侧方向的位置，上述延伸部从上述左侧方向位置补偿部和上述右侧方向位置补偿部连接的部位向下侧方向突出形成，上述第二位置补偿装置的一部分插入上述延伸部；左侧方向位置调节螺钉，在螺纹结合到第五螺孔的状态下，螺纹结合到沿着上述左侧方向位置补偿部的宽度方向形成的左侧方向位置调节螺孔，用于移动上述左侧方向位置补偿部，上述第五螺孔形成在上述上部支撑单元的对应于上述左侧方向位置补偿部的位置；第二移动限制螺钉，配置在上述上部支撑单元的一侧面和上述左侧方向位置补偿部的一侧面之间，与第六螺孔螺纹结合，以限制通过上述左侧方向位置调节螺钉而移动的上述左侧方向位置补偿部的移动位置，所述第六螺孔相对于上述第五螺孔隔开一定间隔。

上述第一位置补偿装置还可包括：右侧方向位置调节螺钉，在螺纹结合到第七螺孔的状态下，与沿着上述右侧方向位置补偿部的宽度方向形成的右侧方向位置调节螺孔螺纹结合，用于移动上述右侧方向位置补偿部，上述第七螺孔形成在上述上部支撑单元的对应于上述右侧方向位置补偿部的位置；第三移动限制螺钉，以螺纹结合到第八螺孔的状态配置在上述上部支撑单元的一侧面和上述右侧方向位置补偿部的一侧面之间，以限制通过上述右侧方向位置调节螺钉而移动的上述右侧方向位置补偿部的移动位置，上述第八螺孔相对于上述第七螺孔隔开一定间隔。

上述第二位置补偿装置可包括：第二位置补偿块，包括上下方向位置补偿部和支撑装置结合部，上述上下方向位置补偿部可移动地配置在形成于上述延伸部的移动孔，上述支撑装置结合部形成在上述上下方向位置补偿部的一侧，与上述支撑装置结合部结合；以及上下方向位置调节螺钉，贯通第二贯通孔和第三贯通孔，与沿着上述上下方向位置补偿部的高度方向形成的上下方向位置调节螺孔螺纹结合，以移动上述上下方向位置补偿部，上述第二贯通孔形成在上述上部支撑单元的上表面，上述第三贯通孔在上述第一位置补偿块的上表面沿着高度方向形成。

上述支撑装置可包括铰链部件和结合支架。上述铰链部件结合到形成在上述支撑装置结合部的铰链孔，上述结合支架的一侧结合到上述铰链部件，上述上部气刀结合到上述结合支架的另一侧，上述结合支架可包括铰链部件结合部和上部气刀结合部，上述铰链部件结合部与上述铰链部件结合，上述上部气刀结合部形成为从上述铰链部件结合部的一端延伸，上述上部气刀结合到上述气刀结合部。

根据本发明的气刀模块组件还可包括：多个第一空转辊，配置在上述下部支撑单元上，并配置在引入上述基板的入口侧，以支撑上述基板的下表面；以及多个第二空转辊，配置在上述下部支撑单元上，并配置在用于排出上述基板的出口侧，以支撑上述基板的下表面。

根据本发明的基板干燥装置包括：上述记载的气刀模块组件；腔室，形成处理上述基板的内部空间，上述气刀模块组件配置在上述内部空间；以及传送装置，配置在上述内部空间，以传送上述基板。

附图说明

图1是示意性地示出根据本发明的一实施例的气刀模块组件的前方侧结构的主要部分立体图。

图2是示意性地示出根据本发明的一实施例的气刀模块组件的后方侧结构的主要部分立体图。

图3是示出根据本发明的一实施例的上部气刀设置在侧面支撑单元的状态的主要部分立体图。

图4是用于说明根据本发明的一实施例的上部气刀结合到上部结合块的过程的图。

图5是分解根据本发明的一实施例的侧面支撑单元的结构的分解立体图。

图6是示意性地示出根据本发明的一实施例的位置补偿单元的前方侧结构的主要部分立体图。

图7是示意性地示出根据本发明的一实施例的位置补偿单元的后方侧结构的主要部分立体图。

图8是分解根据本发明的一实施例的位置补偿单元的结构的分解立体图。

图9是示意性地示出根据本发明的一实施例的基板干燥装置的结构的图。

具体实施方式

以下，将参照本发明的优选实施例的附图进行说明，上述实施例可以具体实现上述要解决的问题。在说明本实施例时，对相同的结构使用相同的名称和相同的符号，并在下文中省略对此的附加说明。

图1是示意性地示出根据本发明的一实施例的气刀模块组件的前方侧结构的主要部分立体图，图2是示意性地示出根据本发明的一实施例的气刀模块组件的后方侧结构的主要部分立体图。

图3是示出根据本发明的一实施例的上部气刀设置在侧面支撑单元的状态的主要部分立体图，图4是用于说明根据本发明的一实施例的上部气刀结合到上部结合块的过程的图。

图5是分解根据本发明的一实施例的侧面支撑单元的结构的分解立体图，图6是示意性地示出根据本发明的一实施例的位置补偿单元的前方侧结构的主要部分立体图。

图7是示意性地示出根据本发明的一实施例的位置补偿单元的后方侧结构的主要部分立体图，图8是分解根据本发明的一实施例的位置补偿单元的结构的分解立体图。

参照图1至图8，根据本发明的一实施例的气刀模块组件1000包括上部气刀100、上部支撑单元200、下部气刀300、下部支撑单元400、侧面支撑单元500、间隔调节单元600、以及角度调节单元700。

如图1和图2所示，上部气刀100可向基板S的上面喷射流体，从而干燥基板S的上面。

此时，上部气刀100的两侧面可具备：旋转支撑突起(图4中的110)，用于在调节上部气刀100的喷射角度时在上部气刀的一端支撑旋转；以及角度调节支撑突起(图4中的120)，与上部气刀的另一端一起移动。

旋转支撑突起110可配置在上部气刀100的两侧面下部区域，角度调节支撑突起120可配置在上部区域。

上部支撑单元200配置在上部气刀100的上部，能够支撑上部气刀100。

下部气刀300向基板S的下表面喷射流体，能够干燥基板S的下表面。

此时，与上部气刀100相同地，下部气刀300可具备旋转支撑突起110和角度调节支撑突起120，以调节下部气刀300的喷射角度。

下部支撑单元400配置在下部气刀300的下部，能够支撑下部气刀300。

侧面支撑单元500可同时与上部支撑单元200的一侧面和下部支撑单元400的一侧面结合。

此时，上部气刀100的一端可结合到侧面支撑单元500的内侧面上部区域，下部气刀300的一端可结合到侧面支撑单元500的内侧面下部区域。

另外，当然还具备另一个侧面支承单元500，其同时结合到上部支撑单元200的另一侧面和下部支撑单元400的另一侧面。并且，上部气刀100的另一端结合到上述另一个侧面支承单元500的内侧面上部区域，下部气刀300的另一端结合到上述另一个侧面支承单元500的内侧面下部区域。

在下文中，由于结合到上部支承单元200和下部支承单元400的两侧的侧面支承单元500的结构相同，因而仅对一个侧面支承单元500进行说明。

如图3至图5所示，侧面支撑单元500可包括侧面板510、上部结合块520、以及下部接合块530。

侧面板510可同时结合到上部支承单元200的一侧面和下部支承单元400的一侧面。

上部结合块520是用于将上部气刀100的一端可移动地结合到侧面板510的结构。上部结合块520可移动地配置在侧面板510的内侧面上部区域。

上部结合块520可包括旋转支撑突起结合部521和角度调节槽部522。

旋转支撑突起结合部521形成在上部结合块520的一侧面下部区域，使得旋转支撑突起110能够可旋转地结合。在这种情况下，旋转支撑突起结合部521可形成为由旋转支撑突起110插入的孔型。

角度调节槽部522是用于将角度调节支撑突起120结合到上部结合块520的结构，角度调节槽部522可形成在上部结合块520的一侧面的上部区域。

在这种情况下，后述的角度调节块710结合到角度调节槽部522。而且，角度调节支撑突起120能够可移动地结合到形成于角度调节块710的移动槽711。

即，旋转支撑突起110插入到形成于上部结合块520的旋转支撑突起结合部521。而且，在角度调节块710插入到角度调节槽部522的状态下，角度调节支撑突起120插入到形成于角度调节块710的移动槽711。由此，上部气刀100的一端结合到上部结合块520。

间隔调节单元600配置在侧面支撑单元500上，可调节基板S的上表面和上部气刀100之间的间隔、以及基板S的下表面和下部气刀300之间的间隔。

间隔调节单元600可包括第一间隔调节杆610和第二间隔调节杆620。

第一间隔调节杆610是用于调节基板S的上表面和上部气刀100之间的间隔的结构。第一间隔调节杆610螺纹结合到沿着上部结合块520的长度方向形成的第一螺孔H1，从而在侧面板510上向上下方向移动上部结合块520。

另外，为了使用者的操作，优选的是，设置第一间隔调节杆610的一端贯通上部支撑单元200的上表面后露出到外部。

即，当使用者为了调节基板S的上表面和上部气刀100之间的间隔而调节第一间隔调节杆610时，与第一间隔调节杆610螺纹结合的上部结合块520进行移动。

随着上部结合块520的移动，结合到上部结合块520的上部气刀100的一端进行移动，从而能够调节基板S的上表面和上部气刀100之间的间隔。

第二间隔调节杆620是用于调节基板S的下表面和下部气刀300之间的间隔的结构。第二间隔调节杆620螺纹结合到沿着下部结合块530的长度方向形成的第二螺孔H2，从而能够在侧面板510上向上下方向移动下部结合块530。

第二间隔调节杆620的长度形成为长于第一间隔调节杆610的长度，而且，能够贯通沿着上部结合块520的长度方向形成的第一贯通孔K1并结合到第二螺孔H2。

另外，为了使用者的操作，优选的是，设置第二间隔调节杆620的一端贯通上部支撑单元200的上表面而露出到外部。

即，当使用者为了调节基板S的下面和下部气刀300之间的间隔而调节第二间隔调节杆620时，与第二间隔调节杆620螺纹结合的下部结合块530进行移动。

随着下部结合块530的移动，结合到下部结合块530的下部气刀300的一端进行移动，从而能够调节基板S的下表面和下部气刀300之间的间隔。

另外，虽然未图示，第二间隔调节杆620能够以与第一间隔调节杆610相同的方式形成。在这种情况下，向与第一间隔调节杆610相反的方向将第二间隔调节杆620螺纹结合到下部接合块530，因而可通过在侧面板510的下侧方向调节第二间隔调节杆620来调节基板S的下表面和下部气刀300之间的间隔。

间隔调节单元600还可包括用于在侧面板510上引导上部结合块520和下部接合块530的引导槽部511、第一引导部523、以及第二引导部531。

引导槽部511可形成为沿着侧面板510的长度方向凹入，第一引导部523可形成为沿着上部结合块520的长度方向突出。

另外，第二引导部531可形成为沿着下部结合块530的长度方向突出，而且，第一引导部523和第二引导部531结合到引导槽部511，因而可通过引导槽部511的引导进行移动。

即，形成于上部结合块520的第一引导部523和形成于下部结合块的第二引导部531沿着引导槽部511移动，从而使上部结合块520和下部结合块530能够在侧面板510上稳定地移动。

角度调节单元700配置在侧面支撑单元500上，可调节相对于基板S的上表面的上部气刀100的喷射角度、以及相对于基板S的下表面的下部气刀300的喷射角度。

由于用于调节上部气刀的喷射角度的角度调节单元和用于调节下部气刀的喷射角度的角度调节单元相同，因而在下文中仅说明用于调节上部气刀的喷射角度的角度调节单元。

角度调节单元700可包括角度调节块710、角度调节螺钉720、以及第一移动限制螺钉730。

角度调节块710可移动地配置在角度调节槽部522，可具备与角度调节支撑突起120可移动地结合的移动槽711。

角度调节螺钉720在与形成于上部结合块520的一侧面的第四螺孔H4螺纹结合后，螺纹结合到形成在角度调节块710的一侧面的角度调节螺孔712，因而能够在角度调节槽部522上移动角度调节块710。

另外，为了使用者的操作，优选的是，设置角度调节螺钉720的一端为贯通上部支撑单元200的侧面后露出到外部。

第一移动限制螺钉730以螺纹结合到形成于上部结合块520的一侧面的第三螺孔H3的状态配置在角度调节槽部522，因而能够限制通过角度调节螺钉720而移动的角度调节块710的移动位置。

另外，为了使用者的操作，优选的是，设置第一移动限制螺钉730的一端贯通上部支撑单元200的侧面后露出到外部。

即，为了调节相对于基板S的上表面的上部气刀100的喷射角度，首先，调节第一移动限制螺钉730，对准角度调节块710将要移动的位置，然后，调节角度调节螺钉720，从而使角度调节块710能够移动到第一移动限制螺钉730。

在这种情况下，角度调节块710接触到第一移动限制螺钉730，不再移动。

结果，当通过角度调节螺钉720的调节来移动角度调节块710时，角度调节支撑突起120在移动槽711上移动。而且，上部气刀100以结合到旋转支撑突起结合部521的旋转支撑突起110为中心进行旋转，从而调节上部气刀100的喷射角度。

如图6至图8所示，根据本发明的一实施例的气刀模块组件1000还可包括位置补偿单元800，其配置在上部支撑单元200和下部支撑单元400，用于补偿对上部气刀100和下部气刀300的偏移的位置。

这里，对各气刀的偏移的位置补偿可定义为包括：针对气刀从基准位置在左侧方向上或在右侧方向上扭转而对气刀的左右方向位置的补偿；以及针对气刀向地面偏移而对气刀的上下方向位置的补偿。上述基准位置可以是指气刀所设置的位置。

在这种情况下，配置于上部支撑单元200的位置补偿单元800和配置于下部支撑单元400的位置补偿单元800相互相同，因而仅对配置于上部支撑单元200的位置补偿单元800进行说明。

位置补偿单元800可包括第一位置补偿装置810、第二位置补偿装置820、以及支撑装置830。

第一位置补偿装置810配置在上部支撑单元200的下部，是用于补偿上部气刀100的左右方向位置(即，上部气刀100向左侧方向或右侧方向偏移的位置)的结构，这种第一位置补偿装置810可包括第一位置补偿块811、左侧方向位置调节螺钉815、第二移动限制螺钉816、右侧方向位置调节螺钉817、以及第三移动限制螺钉818。

第一位置补偿块811可移动地结合到上部支撑单元200，并且，可包括：左侧方向位置补偿部812，用于补偿上部气刀100的左侧方向的位置；右侧方向位置补偿部813，形成在左侧方向位置补偿部812的一侧，用于补偿上部气刀100的右侧方向的位置；延伸部814，形成为从左侧方向位置补偿部812和右侧方向位置补偿部813连接的部位向下侧方向突出，第二位置补偿装置820的一部分插入延伸部814。

左侧方向位置调节螺钉815在螺纹结合到第五螺孔H5的状态下螺纹结合到沿着左侧方向位置补偿部812的宽度方向形成的左侧方向位置调节螺孔812a，从而能够移动左侧方向位置补偿部812，上述第五螺孔H5形成在上部支撑单元200的对应于左侧方向位置补偿部812的位置。

第二移动限制螺钉816以螺纹结合到第六螺孔H6的状态配置在上部支撑单元200的一侧面和左侧方向位置补偿部812的一侧面之间，从而限制通过左侧方向位置调节螺钉815而移动的左侧方向位置补偿部812的移动位置，上述第六螺孔H6相对于第五螺孔H5隔开一定间隔。

即，为了补偿上部气刀100从基准位置在左侧方向上扭转的位置，首先，调节第二移动限制螺钉816，对准左侧方向位置补偿部812将要移动的位置，然后，调节左侧方向位置调节螺钉815，从而能够使左侧方向位置补偿部812移动到第二移动限制螺钉816。在这种情况下，左侧方向位置补偿部812接触到第二移动限制螺钉816，不再移动。

结果，通过调节左侧方向位置调节螺钉815来移动左侧方向位置补偿部812，因此，通过后述的支撑装置830与第一位置补偿块811相连的上部气刀100进行移动，从而补偿上部气刀100相对于基准位置在左侧方向上扭转的位置。

右侧方向位置调节螺钉817在螺纹结合到第七螺孔H7的状态下螺纹结合到沿着右侧方向位置补偿部813的宽度方向形成的右侧方向位置调节螺孔813a，从而能够移动右侧方向位置补偿部813，上述第七螺孔H7形成在上部支撑单元200的对应于右侧方向位置补偿部813的位置。

第三移动限制螺钉818以螺纹结合到第八螺孔H8的状态配置在上部支撑单元200的一侧面和右侧方向位置补偿部813的一侧面之间，从而能够限制通过右侧方向位置调节螺钉817而移动的右侧方向位置补偿部813的移动位置，上述第八螺孔H8相对于第七螺孔H7隔开一定间隔。

即，为了补偿上部气刀100从基准位置在右侧方向上扭转的位置，首先，调节第三移动限制螺钉818，对准右侧方向位置补偿部813将要移动的位置，然后，调节右侧方向位置调节螺钉817，使右侧方向位置补偿部813能够移动到第三移动限制螺钉818。在这种情况下，右侧方向位置补偿部813接触到第三移动限制螺钉818，不再移动。

结果，通过调节右侧方向位置调节螺钉817来移动右侧方向位置补偿部813，因此，通过后述的支撑装置830与第一位置补偿块811相连的上部气刀100进行移动，从而能够补偿上部气刀100相对于基准位置向右侧方向扭转的位置。

第二位置补偿装置820配置在第一位置补偿装置810上，是用于补偿上部气刀100的上下方向位置的结构，第二位置补偿装置820可包括第二位置补偿块821和上下方向位置调节螺钉824。

第二位置补偿块821可包括：上下方向位置补偿部822，可移动地配置在形成于延伸部814的移动孔814a；以及支撑装置结合部823，形成在上下方向位置补偿部822的一侧，支撑装置830结合到支撑装置结合部823。

上下方向位置调节螺钉824贯通第二贯通孔K2和第三贯通孔K3并与沿着上下方向位置补偿部822的高度方向形成的上下方向位置调节螺孔822a螺纹结合，从而能够移动上下方向位置补偿部822，上述第二贯通孔K2形成在上部支撑单元200的上表面，上述第三贯通孔K3从上述第一位置补偿块811的上表面沿着高度方向形成。

即，调节上下方向位置调节螺钉824，使上下方向位置补偿部822能够移动，因而使通过支撑装置830与第二位置补偿块821相连的上部气刀100进行移动，从而能够补偿上部气刀100向上下方向偏移的位置。

支撑装置830连接到第二位置补偿装置820，在支撑单元200上能够可移动地支撑上部气刀100。

支撑装置830可包括铰链部件831和结合支架832。

铰链部件831可结合到形成于支撑装置结合部823的铰链孔823a。

结合支架832的一侧结合到铰链部件831，上部气刀100结合到结合支架832的另一侧，在上部支撑单元200上能够支撑上部气刀100。

在这种情况下，结合支架832可包括铰链部件结合部833和气刀结合部834。

铰链部件结合部833与铰链部件831结合，从而能够支撑气刀结合部834。

气刀结合部834从铰链部件831结合部延伸形成，上部气刀100可结合到气刀结合部834。在这种情况下，虽然未图示，气刀结合部834与上部气刀100的结合可通过诸如螺钉(未图示)等的其他的紧固部件来结合。

根据本发明的一实施例的气刀模块组件1000还可包括多个第一空转辊910和多个第二空转辊920。

第一空转辊910配置在下部支撑单元400上，并配置在引入基板S的入口侧，能够支撑基板S的下面。

第二空转辊920配置在下部支撑单元400上，并配置在排出基板S的出口侧，能够支撑基板S的下面。

即，随着以第一空转辊910和第二空转辊920包括在气刀模块组件1000内的方式进行制造，能够更紧凑地制造气刀模块组件1000。

在下文中，将参照图9对根据本发明的一实施例的基板干燥装置进行说明。

图9是示意性地示出根据本发明的一实施例的基板干燥装置的结构的图。

如图9所示，根据本发明的一实施例的基板干燥装置可包括气刀模块组件1000、腔室2000、以及传送装置3000。

气刀模块组件1000形成处理基板S的内部空间2100，气刀模块组件1000可配置在内部空间2100。

在这种情况下，在腔室2000的一侧可具有引入基板S的引入口2001，在腔室2000的另一侧可具有输出已完成基板S处理的基板S的输出口2002。

传送装置3000配置在腔室2000的内部空间2100，能够将基板S传送到气刀模块组件1000侧。

虽然未详细图示，但传送装置3000起在腔室2000的内部空间中向一个方向传送基板S的作用。传送装置3000包括例如，沿着基板S的传送方向配置的多个传送轴3100。

上述传送轴3100向垂直于移送基板S的方向的方向延伸，能够以相同的间隔配置，以便相互平行。

传送轴3100可配备多个传送辊3200，其直接接触基板S的下表面的一部分，从而传送基板S。

即，随着传送轴3100的旋转，传送辊3200也旋转，随着传送辊3200的旋转，与传送辊3200接触的基板S被传送，并通过气刀模块组件1000干燥基板S。

在基板S通过气刀模块组件1000的同时，利用上部气刀100干燥基板S的上表面，利用下部气刀300干燥基板S的下表面。

如上所述，根据本发明的气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置，通过将上部气刀和下部气刀构成为一体型模块组件，在一体型模块组件上执行各个气刀的间隔调节、角度调节、以及对偏移的补偿的位置调节，从而具有能够精密地执行各个气刀的间隔调节、角度调节、以及对偏移的补偿的位置调节的效果。

另外，根据本发明的气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置，通过一体型地构成上部气刀、下部气刀、间隔调节单元、角度调节单元、以及位置补偿单元，从而具有能够紧凑地制造基板干燥装置的效果。

另外，根据本发明的气刀模块组件及利用该组件的基板干燥装置，通过在气刀模块组件中的引入基板的引入口侧和排出基板的输出口侧分别设置空转辊，从而具有能够防止被传送的基板偏移的效果。

如上所述，参照附图对本发明的优选实施例进行了说明，但是，所属领域的技术人员在不脱离上述的权利要求范围中所记载的本发明的构思和领域的范围内，能够对本发明进行各种修改或变更。

Claims (14)

1.一种气刀模块组件，其特征在于，包括：

上部气刀，朝向基板的上面喷射流体，包括在两侧面的下部区域分别突出形成的旋转支撑突起、以及在所述两侧面的上部区域分别突出形成的角度调节支撑突起；

上部支撑单元，配置在所述上部气刀的上部，支撑所述上部气刀；

下部气刀，相对于所述上部气刀隔开一定间隔地配置，朝向所述基板的下面喷射流体；

下部支撑单元，配置在所述下部气刀的下部，支撑所述下部气刀；

侧面支撑单元，同时结合到所述上部支撑单元的一侧面和所述下部支撑单元的一侧面，所述上部气刀的一端结合到内侧面上部区域，所述下部气刀的一端结合到内侧面下部区域；

间隔调节单元，配置在所述侧面支撑单元上，调节所述基板的上表面和所述上部气刀之间的间隔、以及所述基板的下表面和所述下部气刀之间的间隔；以及

角度调节单元，配置在所述侧面支撑单元上，调节所述气刀相对于所述基板的上表面的喷射角度、以及所述气刀相对于所述基板的下表面的喷射角度；

所述侧面支撑单元包括：

侧面板，同时结合到所述上部支撑单元的一侧面和所述下部支撑单元的一侧面；

上部结合块，所述上部结合块与所述上部气刀的一端结合，可移动地配置在所述侧面板的内侧面上部区域，

所述上部结合块包括：

旋转支撑突起结合部，形成在所述上部结合块的一侧面的下部区域，所述旋转支撑突起可旋转地结合到所述旋转支撑突起结合部；以及

角度调节槽部，形成在所述上部结合块的一侧面的上部区域，以便将所述角度调节支撑突起结合到所述上部结合块，

所述角度调节单元包括：

角度调节块，可移动地配置在所述角度调节槽部，具有移动槽，所述角度调节突起可移动地结合到所述移动槽；以及

角度调节螺钉，在螺纹结合到形成于所述上部结合块的一侧面的第四螺孔的状态下，螺纹结合到形成于所述角度调节块的一侧面的角度调节螺孔，在所述角度调节槽部上移动所述角度调节块。

2.根据权利要求1所述的气刀模块组件，其特征在于，所述侧面支撑单元还包括：

下部结合块，与所述下部气刀的一端结合，可移动地配置在所述侧面板的内侧面下部区域。

3.根据权利要求2所述的气刀模块组件，其特征在于，所述间隔调节单元包括：

第一间隔调节杆，螺纹结合到沿着所述上部结合块的长度方向形成的第一螺孔，所述上部结合块能够在所述侧面板上向上下方向移动，以调节所述基板的上表面和所述上部气刀之间的间隔；以及

第二间隔调节杆，螺纹结合到沿着所述下部结合块的长度方向形成的第二螺孔，所述下部结合块能够在所述侧面板上向上下方向移动，以调节所述基板的下表面和所述下部气刀之间的间隔。

4.根据权利要求3所述的气刀模块组件，其特征在于，所述第二间隔调节杆的长度形成为长于所述第一间隔调节杆的长度，贯通沿着所述上部结合块的长度方向形成的第一贯通孔并螺纹结合到所述第二螺孔。

5.根据权利要求2所述的气刀模块组件，其特征在于，所述间隔调节单元还包括：

引导槽部，沿着所述侧面板的长度方向凹入形成，以便在所述侧面板上引导所述上部结合块和所述下部结合块的移动；

第一引导部，沿着所述上部结合块的长度方向突出形成，与所述引导槽部相结合；以及

第二引导部，沿着所述下部结合块的长度方向突出形成，与所述引导槽部相结合。

6.根据权利要求1所述的气刀模块组件，其特征在于，所述角度调节单元还包括：

第一移动限制螺钉，以螺纹结合到形成于所述上部结合块的一侧面的第三螺孔的状态配置在角度调节槽部，限制通过所述角度调节螺钉而移动的所述角度调节块的移动位置。

7.根据权利要求1所述的气刀模块组件，其特征在于，还包括位置补偿单元，配置在所述上部支撑单元和所述下部支撑单元，用于补偿针对所述上部气刀和所述下部气刀的偏移的位置。

8.根据权利要求7所述的气刀模块组件，其特征在于，所述位置补偿单元包括：

第一位置补偿装置，与所述上部支撑单元结合，用于补偿所述上部气刀的左右方向位置；

第二位置补偿装置，与所述第一位置补偿装置结合，用于补偿所述上部气刀的上下方向位置；以及

支撑装置，连接到所述第二位置补偿装置，用于支撑所述上部气刀。

9.根据权利要求8所述的气刀模块组件，其特征在于，所述第一位置补偿装置包括：

第一位置补偿块，可移动地结合到所述上部支撑单元，并包括左侧方向位置补偿部、右侧方向位置补偿部、以及延伸部，所述左侧方向位置补偿部用于补偿所述上部气刀的左侧方向的位置，所述右侧方向位置补偿部形成在所述左侧方向位置补偿部的一侧，用于补偿所述上部气刀的右侧方向的位置，所述延伸部从所述左侧方向位置补偿部和所述右侧方向位置补偿部连接的部位向下侧方向突出形成，所述第二位置补偿装置的一部分插入所述延伸部；

左侧方向位置调节螺钉，在螺纹结合到第五螺孔的状态下，螺纹结合到沿着所述左侧方向位置补偿部的宽度方向形成的左侧方向位置调节螺孔，用于移动所述左侧方向位置补偿部，所述第五螺孔形成在所述上部支撑单元的对应于所述左侧方向位置补偿部的位置；

第二移动限制螺钉，配置在所述上部支撑单元的一侧面和所述左侧方向位置补偿部的一侧面之间，与第六螺孔螺纹结合，限制通过所述左侧方向位置调节螺钉而移动的所述左侧方向位置补偿部的移动位置，所述第六螺孔相对于所述第五螺孔隔开一定间隔。

10.根据权利要求9所述的气刀模块组件，其特征在于，所述第一位置补偿装置还包括：

右侧方向位置调节螺钉，在螺纹结合到第七螺孔的状态下，螺纹结合到沿着所述右侧方向位置补偿部的宽度方向形成的右侧方向位置调节螺孔，用于移动所述右侧方向位置补偿部，所述第七螺孔形成在所述上部支撑单元的对应于所述右侧方向位置补偿部的位置；

第三移动限制螺钉，以螺纹结合到第八螺孔的状态配置在所述上部支撑单元的一侧面和所述右侧方向位置补偿部的一侧面之间，限制通过所述右侧方向位置调节螺钉而移动的所述右侧方向位置补偿部的移动位置，所述第八螺孔相对于所述第七螺孔隔开一定间隔。

11.根据权利要求9所述的气刀模块组件，其特征在于，所述第二位置补偿装置包括：

第二位置补偿块，包括上下方向位置补偿部和支撑装置结合部，所述上下方向位置补偿部可移动地配置在形成于所述延伸部的移动孔，所述支撑装置结合部形成在所述上下方向位置补偿部的一侧，所述支撑装置结合到所述支撑装置结合部；以及

上下方向位置调节螺钉，贯通第二贯通孔和第三贯通孔，并螺纹结合到沿着所述上下方向位置补偿部的高度方向形成的上下方向位置调节螺孔，用于移动所述上下方向位置补偿部，所述第二贯通孔形成在所述上部支撑单元的上表面，所述第三贯通孔在所述第一位置补偿块的上表面沿着高度方向形成。

12.根据权利要求11所述的气刀模块组件，其特征在于，

所述支撑装置包括铰链部件和结合支架，所述铰链部件结合到形成在所述支撑装置结合部的铰链孔，所述结合支架的一侧结合到所述铰链部件，所述上部气刀结合到所述结合支架的另一侧，

所述结合支架包括铰链部件结合部和上部气刀结合部，所述铰链部件结合部与所述铰链部件结合，所述上部气刀结合部形成为从所述铰链部件结合部的一端延伸，所述上部气刀结合到所述气刀结合部。

13.根据权利要求1所述的气刀模块组件，其特征在于，还包括：

多个第一空转辊，配置在所述下部支撑单元上，并配置在引入所述基板的入口侧，以支撑所述基板的下表面；以及

多个第二空转辊，配置在所述下部支撑单元上，并配置在用于排出所述基板的出口侧，以支撑所述基板的下表面。

14.一种基板干燥装置，其特征在于，包括：

根据权利要求1至权利要求13中任一项所述的气刀模块组件；

腔室，形成处理所述基板的内部空间，所述气刀模块组件配置在所述内部空间；以及

传送装置，配置在所述内部空间，传送所述基板。

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