CN101639316A

CN101639316A - 气刀装置

Info

Publication number: CN101639316A
Application number: CN200910143060A
Authority: CN
Inventors: 朴镐胤; 李承俊
Original assignee: Display Manufacturing Services Co Ltd
Current assignee: WEIHAI DMS OPTICAL ELECTROMECHANICAL Co.,Ltd.; DMS Co Ltd
Priority date: 2008-07-31
Filing date: 2009-05-26
Publication date: 2010-02-03
Anticipated expiration: 2029-05-26
Also published as: TWI361110B; KR20100013679A; KR101020779B1; TW201004709A; CN101639316B

Abstract

本发明提供一种通过向平板显示元件用基板喷射干燥用空气的方式可容易地对所述基板进行干燥的气刀装置。所述气刀装置包括：主体，其内部设置有空气流入口；第一腔室，其设置在所述主体内侧，并接收由所述空气流入口供给的干燥用空气；第二腔室，其与第一腔室之间设有所述空气流入口，从而与第一腔室相隔配置；吐出单元，其包括用于向外部喷射所述第一腔室和第二腔室内干燥用空气的第一吐出口和第二吐出口；以及流量控制机构，其用于控制从所述空气流入口供给到所述第一腔室和第二腔室的干燥用空气的供给量。

Description

气刀装置

技术领域

本发明涉及一种气刀装置，尤其是涉及一种可在平板显示元件用基板的干燥工序中应用的，特别是以双重喷射方式喷射干燥用空气并可以容易地对所述基板进行干燥的气刀装置。

背景技术

清洗平板显示元件用基板的工序主要以向基板表面喷射(供给)清洗液(例如，去离子水)的方式来进行，所述工序在具备如流体喷射用喷嘴的清洗单元的清洗装置内进行，且所述清洗装置为腔室形状。

这样，用所述清洗装置对基板进行清洗时，重要的是在去除基板上的残留清洗液的同时要对基板进行干燥处理。例如在清洗工序后，如果基板上存在残留清洗液，其表面会产生水斑(water spot)，这有可能成为清洗质量降低的因素。

因此，在进行基板清洗工序的同时需要进行干燥工序，这种干燥工序大部分都是通过气刀喷射干燥用空气，从而吹去基板上的残留清洗液来进行的，这种方式是所属技术领域中已被广泛知晓的技术。

这种在基板干燥工序中使用的气刀已在2003年申请了韩国专利，并于2004年12月31日公开，其公开号为第10-2004-0110783号。

在所述公开号为第10-2004-0110783号的专利中，气刀的主体内侧具有多角度喷嘴，所述多角度喷嘴上设置有多个空气喷射口，所述多角度喷嘴设置为双重(dual)喷射结构，其由在所述主体的下面前后相隔配置的前喷射口和后喷射口组成。

即，在所述公开号为第10-2004-0110783号的韩国专利中，对基板进行干燥工序时，可通过所述前喷射口和后喷射口以不同的喷射角度向基板喷射空气，因此可在加大基板的清洗距离的状态下进行干燥工序。

然而，上述公开专利涉及的气刀装置在进行基板的干燥工序时会产生以下问题。

即，所述气刀主体在喷射空气时，无法适当地调整及设定所述多角度喷嘴的前喷射口和后喷射口的空气喷射量(喷射比例)。

上述结构由于无法提供符合基板尺寸、形状或者作业条件的空气喷射环境，所以很难获得满意的作业兼容性及设备效率。

例如，在基板表面上粘附有许多清洗液的情况下，在第一次通过所述前喷射口将残留清洗液吹出时，若空气的喷射压力较大，则清洗液就会被喷射压力不规则地溅出。

特别是，在上述干燥工序中，若发生残留清洗液在基板上不规则溅出的现象，则由于清洗液被溅到基板的其他部分而不仅会降低干燥效率，而且会引发二次污染。

上述问题是由于没有具备可控制装置，无法根据基板的尺寸或者工作条件对所述前喷射口和后喷射口的喷射环境进行适当调整及设定而导致的。

发明内容

本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种气刀装置，该装置在以双重(dual)喷射方式喷射干燥用空气的同时，对基板进行干燥工序，尤其可调整喷射量和喷射压力，从而能确保进一步提高干燥效率和作业兼容性。

为了实现上述目的，本发明提供一种气刀装置，其包括：主体，其内部设置有空气流入口；第一腔室，其设置在所述主体内侧，接收由所述空气流入口供给的干燥用空气；第二腔室，其与第一腔室之间设有所述空气流入口，从而与第一腔室相隔配置；吐出单元，其包括用于向外部喷射所述第一腔室和第二腔室的干燥用空气的第一吐出口和第二吐出口；以及流量控制机构，其用于控制从所述空气流入口供给到所述第一腔室和第二腔室的干燥用空气的供给量。

如上所述，本发明可通过所述流量控制机构控制所述吐出单元的第一吐出口及第二吐出口的喷射环境，并进行基板的干燥工序。

特别是，所述流量控制机构可设置为以至少一种比例来调整及设定向所述第一腔室和第二腔室供给的干燥用空气的供给量，例如可将所述第一吐出口和第二吐出口的喷射环境(空气喷射量比例)简单设置为至少一种比例，从而使其符合基板的尺寸或者干燥工序的作业环境。

由于所述流量控制机构具备上述结构及作用，因此与两个喷射口的喷射比例始终恒定的现有双重喷射式气刀相比较，本发明可获得更加优秀的干燥效率和作业兼容性。

附图说明

图1是本发明的气刀装置的一个实施例的优选设置状态示意图。

图2是本发明的气刀装置的一个实施例的内部结构示意图。

图3是用于本发明的气刀装置的一个实施例的吐出单元的详细结构图。

图4是本发明的气刀装置的一个实施例的吐出单元的吐出端部的结构示意图。

图5是用于说明图1中主体的优选设置状态(角度)的示意图。

图6是用于说明本发明的气刀装置的一个实施例中的流量控制机构的结构图。

图7是用于说明本发明的气刀装置的一个实施例中的流量控制机构作用的示意图。

图8是用于说明本发明的气刀装置的一个实施例的另一设置状态的结构图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的优选实施例。

在所属技术领域的技术人员能够实施本发明的范围内对本发明的实施例进行说明。

因此，本发明的实施例可以多种形式来实施，本发明的保护范围并不局限于下面描述的实施例。

图1是本发明的气刀装置的一个实施例的优选设置状态示意图，附图标号2为主体，该主体2可设置于如附图中所示的具备干燥用腔室D1和输送装置D2的常规基板干燥装置D的内部。

所述输送装置D2可以从所述干燥用腔室D1内部的一侧向另一侧输送基板G，例如所述输送装置D2被构成为由多个输送用辊R构成的常规辊筒式输送机。

即，所述主体2被设计为向左右方向延伸的长方体结构，其可设置在所述输送装置D2的输送区域上，从而使主体在所述干燥用腔室D1的内部与基板G的一面(上面)相对应。

另外，参照图2，所述主体2内侧设置有空气流入口H，所述空气流入口H用于提供从外部供给干燥用空气A(例如：清洁干燥空气)的通道。

所述空气流入口H贯穿所述主体2的一侧端部，并向另一侧延伸。

虽然图中未显示，但所述空气流入口H通过管体和空气供给装置相连接，从而接收干燥用空气A。所述空气供给装置是用于基板干燥工序中的常规装置。并且干燥用空气A的供给线上设置有流量计、压力计、滤波器等各种流体供给及控制用的周边装置。

本发明的气刀装置的上述实施例包括第一腔室4a和第二腔室4b。

所述第一腔室4a和第二腔室4b分别设置在所述主体2的内侧，从而接收从所述空气流入口H供给的干燥用空气A。

即，如图2所示，所述第一腔室4a为一腔室，其大小适于存储一定量的从所述空气流入口H流入的干燥用空气A。

所述第一腔室4a设置于所述主体2内的空气流入口H的一侧。

同样地，如图2所示，所述第二腔室4b为一腔室，其大小适于存储一定量的从所述空气流入口H流入的干燥用空气A。所述第二腔室4b设置于所述主体2内的空气流入口H的另一侧，并且与所述第一腔室4a相隔。

本发明气刀装置的上述实施例包括吐出单元6。

所述吐出单元6可由多个叶片结合而成，并设置有第一吐出单元6a及第二吐出单元6b。所述第一吐出单元6a及第二吐出单元6b用于向外部喷射所述第一腔室4a及第二腔室4b内的干燥用空气A。

即，如图2和图3所示，所述吐出单元6包括第一吐出叶片B1、第二吐出叶片B2及第三吐出叶片B3。所述第一吐出叶片B1位于所述第一腔室4a和第二腔室4b之间；所述第二吐出叶片B2与第一吐出叶片B1的一面相对，并与之相隔设置，用于形成与所述第一腔室4a相连通的第一吐出口6a；所述第三吐出叶片B3与所述第一吐出叶片B1的另一面相对，并与之相隔设置，用于形成与所述第二腔室4b相连通的第二吐出口6b。

如图2所示，所述第一吐出叶片B1的一侧与所述第一腔室4a及第二腔室4b之间的障壁2a的下部相连接，并以此方式设置在所述主体2上。

所述第二吐出叶片B2及第三吐出叶片B3设置于所述主体2上，并分别与所述第一吐出叶片B1的一面及另一面相对，从而在所述第二吐出叶片B2及第三吐出叶片B3之间形成第一吐出口6a及第二吐出口6b。

而且，所述第一吐出口6a及第二吐出口6b的一侧(上侧)端部分别与所述第一腔室4a及第二腔室4b相连通，而另一侧(下侧)端部的流道朝下侧逐渐变窄。

所述各吐出口6a、6b在左右方向的多个位置上相隔设置有多个加强板6c。如图2所示，当所述第一吐出叶片B1、第二吐出叶片B2及第三吐出叶片B3以重叠状态结合时，所述加强板6c具有稳定地支持所述多个吐出叶片的作用，从而防止所述吐出叶片发生变形。

通常，所述第一吐出口6a及第二吐出口6b的吐出缝隙的大小为0.06mm至0.15mm，所述第一吐出口6a的缝隙大小最好设置为所述第二吐出口6b缝隙的两倍以上。

这样，若加大所述第一吐出口6a的尺寸，则由于干燥用空气A的喷射量增加，在进行基板G的干燥工序时可简便地初步去除基板G上的大量清洗液W。

如图3所示，上述第一吐出叶片B1、第二吐出叶片B2及第三吐出叶片B3分别具有矩形叶片形状，并与所述主体2的长度相对应。如图4所示，所述第一吐出口6a及第二吐出口6b的吐出口末端以狭缝(slit)形状延伸并以相互平行的状态设置，并且具有被所述多个加强板6c分割的多个吐出端部。

例如，虽然未图示，所述吐出单元6以常规方法(例如，密封材料)进行密封处理，从而防止在喷射干燥用空气A时压力从所述第一吐出叶片B1、第二吐出叶片B2及第三吐出叶片B3之间的接缝泄漏。

另外，虽然未图示，所述第一吐出叶片B1、第二吐出叶片B2及第三吐出叶片B3以常规方法(例如：用螺栓连接)与所述主体2的下面相结合。

例如，如图2所示，当在所述干燥用腔室D1内通过所述输送装置D2输送基板G时，上述吐出单元6通过所述第一吐出口6a喷射干燥用空气A，并第一次吹除基板G上的残留清洗液W(例如：去离子水)，然后所述第二吐出口6b在所述第一吐出口6a的后面第二次吹除基板G上的残留清洗液W。

由于具备上述结构，本发明可通过所述吐出单元6的第一吐出口6a和第二吐出口6b经两次(第一次、第二次)吹出干燥用空气A，去除已清洗的基板G上粘附的残留清洗液W。本发明以此方式来进行干燥工序。

而且，在所述基板干燥装置(D)的干燥用腔室D1内，所述主体2在所述基板G的输送区域上最好用以下方式设置。

例如在以图5为基准时，所述主体2可倾斜设置在同与基板G的输送方向相垂直的任意基准线K1具有第一倾斜角Q1的范围内。所述第一倾斜角Q1最好约为30°至38°。

如果倾斜角大于上述第一倾斜角Q1，则当通过所述第一吐出口6a及第二吐出口6b向基板G喷射干燥用空气A时，由于喷射压力容易损失，无法获得满意的去除效果。如果小于上述第一倾斜角Q1，则由于干燥用空气A的喷射压力，有可能发生粘附在基板G上的残留清洗液W被不规则地溅起的现象。

另外，根据本发明的上述实施例的气刀装置包括流量控制机构8。

所述流量控制机构8设置为可控制(调整及设定)干燥用空气A的喷射环境(喷射量)的结构。

参照图6，所述流量控制机构8包括流量分配器T1和用于驱动所述流量分配器T1的驱动器T2。

所述流量分配器T1位于所述主体2的内侧，并以一定比例调整向所述第一腔室4a及第二腔室4b供给的干燥用空气A的供给量。

即，如图2所示，所述流量分配器T1可被设计成具有与所述空气流入口H对应的外周面，并且内部具有供给通道H1的中空管，并且以所述供给通道H1的中心轴线为基准可旋转地安装在所述空气流入口H的内侧。

而且，所述流量分配器T1的外周面上设置有调整单元10，所述调整单元10与所述第一腔室4a及第二腔室4b相对应，并用于控制干燥用空气A的供给量。

当所述流量分配器T1在所述空气流入口H的内侧以中心轴线为基准旋转时，所述调整单元10可用至少一种比例调整及设定所述第一腔室4a和第二腔室4b内干燥用空气A的喷射量。

例如，所述调整单元10可由第一调整单元10a和第二调整单元10b组成，所述第一调整单元10a和第二调整单元10b分别具有第一调整孔V1及第二调整孔V2。通过所述第一调整孔V1及第二调整孔V2可将所述第一腔室4a和第二腔室4b的干燥用空气A的喷射比例分配成1(第一腔室)∶1(第二腔室)或4(第一腔室)∶1(第二腔室)。

这样，通过把所述多个第一调整单元10a和第二调整单元10b的调整孔设计成适当的大小，从而与上述喷射比例成一定比例即可构成调整干燥用空气A的分配量比例的结构。

而且，如图2所示，所述流量分配器T1和空气流入口H之间的接缝处最好设置密封件C。

所述密封件C可使用橡胶或者硅树脂(Silicone)，如果所述密封件C被设置于所述流量分配器T1和空气流入口H之间的接缝，则不仅可防止干燥用空气A通过接缝向外部泄漏，而且可最大限度地减少所述流量分配器T1旋转时发生的摩擦。

另外，如图6所示，所述驱动器T2以步进电动机作为驱动源来使用，并且其电动机轴端部和所述流量分配器T1的一端相连接。

即，当步进电动机驱动时，所述驱动器T2将所述空气流入口H内的所述流量分配器T1旋转至电机轴旋转的角度大小，并可调整及设定干燥用空气A的喷射量比例。

虽然图中未显示，所述驱动器T2除了通过上述常规步进电动机驱动以外，还可以通过气缸、皮带、螺杆或齿条齿轮等驱动方式传递动力，并以此来驱动所述流量分配器T1。

这种驱动结构是所属技术领域中的技术人员容易实施的，因此在这里不再详细说明。

上述流量控制机构8可通过如下操作适当地分配从所述主体2的内侧供给到所述第一腔室4a和第二腔室4b的干燥用空气A的供给量。

例如，如图2所示，通过所述驱动器T2来旋转所述流量分配器T1，从而将所述第一调整单元10a的多个第一调整孔V1设置成与所述第一腔室4a及第二腔室4b相匹配(连通)。

基于上述设置状态，本发明可通过所述第一调整单元10a的多个第一调整孔V1将从所述空气流入口H供给到所述第一腔室4a及第二腔室4b的干燥用空气A的喷射量比例设定为1∶1。

另外，如图7所示，所述第二调整单元10b的多个第二调整孔V2可设置成与所述第一腔室4a及第二腔室4b相匹配(连通)。

基于这种设置状态，本发明可通过所述第二调整单元10b的多个第二调整孔V2将从所述空气流入口H供给到所述第一腔室4a及第二腔室4b的干燥用空气A的喷射量比例设定为4∶1。

因此，通过操作所述流量控制机构8来调整供给到所述第一腔室4a及第二腔室4b的干燥用空气A的分配量，从而可适当地控制所述吐出单元6的第一吐出口6a及第二吐出口6b的喷射环境。

虽然本发明的说明书和附图中只示出流量控制机构8的调整单元10由第一调整单元10a及第二调整单元10b组成，从而将分配比例控制成两个比例(1∶1或4∶1)的实施方式，然而本发明并不局限于此。

例如，虽然图中未显示，所述调整单元10进一步包括第三调整单元，从而可用三种分配比例来控制，除此以外，还可用至少两种分配比例调整及设定干燥用空气A的供给量，从而使其与工作条件相配合。

因此，当本发明的气刀装置的上述实施例向基板G喷射干燥用空气并进行干燥作业时，可利用流量控制机构8将所述吐出单元6的第一吐出口6a及第二吐出口6b的喷射环境(喷射量比例)设定为至少一种类型，从而使其符合基板G的尺寸、形状或作业条件，因此可确保作业兼容性和干燥效率进一步得到提高。

另外，虽然本发明的说明书和附图中只揭示了将所述主体2设置成图1所示的结构，即主体2在输送装置D2的输送区域内与基板G的一面相对应设置的实施方式，但本发明并不局限于上述结构。

例如，如图8所示，主体2还可设置为由两个主体在输送装置D2的上下两侧相隔设置的结构，从而在所述输送装置D2的输送区域内与基板G的一面(上面)和另一面(底面)相对应。此外，虽然图中未显示，主体2可相隔设置在基板G的输送区域内的至少两个位置上。

基于上述结构，在输送基板G的过程中，本发明可以通过对该基板G两个面中的至少一个面喷射干燥用空气A的方式进行干燥工序。

Claims

1.一种气刀装置，其特征在于，包括：

主体，其内部设置有空气流入口；

第一腔室，其设置在所述主体内侧，并接收由所述空气流入口供给的干燥用空气；

第二腔室，其与第一腔室之间设有所述空气流入口，从而与第一腔室相隔配置；

吐出单元，其包括用于向外部喷射所述第一腔室和第二腔室内干燥用空气的第一吐出口和第二吐出口；以及

流量控制机构，其用于控制从所述空气流入口供给到所述第一腔室和第二腔室的干燥用空气的供给量。

2.根据权利要求1所述的气刀装置，其特征在于：

所述第一腔室和第二腔室由具有可存储一定量的从所述空气流入口流入的干燥用空气的腔室组成。

3.根据权利要求1所述的气刀装置，其特征在于，所述吐出单元包括：

第一吐出叶片，其在所述主体下部位于所述第一腔室和第二腔室的边界上；

第二吐出叶片，其与所述第一吐出叶片的一面相对应设置，并且在两者之间形成与所述第一腔室连通的第一吐出口；以及

第三吐出叶片，其与所述第一吐出叶片的另一面相对应设置，并且在两者之间形成与所述第二腔室连通的第二吐出口。

4.根据权利要求1所述的气刀装置，其特征在于，所述流量控制机构包括：

流量分配器，其具有用于分配供给到所述第一腔室和第二腔室的干燥用空气的调整单元，并位于所述空气流入口内侧；

驱动器，其用于驱动所述流量分配器，从而通过所述调整单元来调整干燥用空气的分配量。

5.根据权利要求4所述的气刀装置，其特征在于：

所述流量分配器为中空管，其具有与所述空气流入口的内周面相互对应的外周面。

6.根据权利要求4所述的气刀装置，其特征在于：

所述调整单元中与所述第一腔室和第二腔室对应的两个调整孔组成一组，并且设置于所述流量分配器的外周面的多个位置上。

7.根据权利要求6所述的气刀装置，其特征在于：

所述两个调整孔具有相同或者不同大小的通道。

8.根据权利要求4所述的气刀装置，其特征在于：

所述驱动器以步进电动机或气缸、皮带及滑轮、齿条及齿轮来产生及传递动力，并带动所述流量分配器以中空管轴线为中心进行旋转。

9.根据权利要求1所述的气刀装置，其特征在于：

所述主体倾斜设置在同与基板的输送方向相垂直的任意基准线具有第一倾斜角的范围内，所述第一倾斜角为30°至38°。