KR100267568B1 - 기판 건조용 에어 나이프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 TFT(thin film transistor) 및 LCD(liquid crystal display) 등의 평판 디스플레이의 제조공정에서 기판을 건조시키는 에어 나이프에 관한 것으로서, 특히 분사되는 공기의 이동거리가 길고 부분적인 공기의 양을 조절할 수 있으므로 공기를 균일하게 분사시킬 수 있으며 고정밀도의 가공이 필요 없고 길이에 상관없이 무게가 가볍고 설치가 용이하며 급격한 공기의 흐름이 없으므로 소음을 저감시킬 수 있는 기판 건조용 에어 나이프에 관한 것으로서,

공기가 흡입되는 메인 밸브와, 상기 메인 밸브와 결합될 수 있도록 소켓(socket) 가공부가 형성되고 그 반대쪽은 밀폐되며 상기 메인 밸브로부터 흡입된 공기가 상부에 형성된 배출 구멍을 통해 배출되는 원형 파이프와, 상기 원형 파이프가 삽입되고 상기 배출 구멍으로부터 분출된 공기가 내부를 타고 이동되어 하부에 형성된 슬릿 홈으로 분사되는 사각 파이프로 구성된다.

Description

기판 건조용 에어 나이프

본 발명은 TFT(thin film transistor) 및 LCD(liquid crystal display) 등의 평판 디스플레이의 제조공정에서 기판을 건조시키는 에어 나이프에 관한 것으로서, 특히 공기를 고르게 분사하여 얼룩을 발생시키지 않고, 고정밀도를 요구하지 않으므로 제작이 쉽고, 소음이 적으며, 분사되는 공기의 양을 쉽게 조절할 수 있는 기판 건조용 에어 나이프에 관한 것이다.

종래의 에어 나이프는 도 1에 도시된 바와 같이 전면 플레이트(1)와, 상기 전면 플레이트(1)의 상부에 결합되고 공기가 흡입되는 복수개의 엘보우(2)와, 후면 플레이트(3)와, 상기 전면 플레이트(1)와 상기 후면 플레이트(3) 사이에 설치되고 상부와 양 측면은 밀폐시키는 가스켓(4)과, 상기 전면 플레이트(1) 및 상기 후면 플레이트(3) 그리고 상기 가스켓(4)을 결합시키는 복수개의 볼트(5)로 구성된다.

여기서, 상기 전면 플레이트와 상기 후면 플레이트 사이에 결합되는 상기 가스켓은 하부가 개방된 슬릿 홈(10)이 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 종래 에어 나이프의 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 에어 나이프 아래의 롤러(12)가 회전되면서 건조될 기판(11)이 상기 롤러(12) 위로 이동되어 오고, 상기 엘보우(2)를 통해 공기가 흡입되고, 상기 엘보우(2)에 흡입된 공기는 상기 전면 플레이트(1)와 상기 후면 플레이트(3) 사이를 지나서 상기 슬릿 홈(10)을 통과하여 상기 기판(11)으로 분사된다.

이때, 상기 전면 플레이트(1)와 상기 후면 플레이트(3) 사이의 상부와 양 측면은 상기 가스켓(4)으로 밀폐되어 있으므로 밀폐되지 않은 상기 슬릿 홈(10)으로만 공기가 분사되게 된다.

상기 슬릿 홈(10)으로부터 분사된 공기에 의해 상기 기판(11)은 건조되고, 상기 롤러(12)의 회전에 의해 다음 공정으로 이동해 간다.

그러나, 종래의 에어 나이프는 공기가 상기 엘보우(2)로부터 상기 슬릿 홈(10)으로 분사되기까지의 이동거리가 짧아 공기가 상기 슬릿 홈(10)으로 균일하게 분사되지 않으므로 상기 엘보우(2)와 수직으로 나란한 부위에서는 공기가 과다하게 분사(20)되어 상기 기판(11)에 얼룩(11a)이 발생되는 문제점이 있다.

또한, 상기 전면 플레이트(1)와 상기 후면 플레이트(3) 사이의 넓은 공간을 가공해야 하고, 상기 가스켓(4)의 접합부위의 누설을 막고 상기 슬릿 홈(10)으로부터 균일한 공기의 분사를 위해 정밀하게 가공해야 되며, 길이가 긴 기판을 건조시킬 경우 정밀하게 제작하기가 더욱 어렵고 그 무게로 인해 설치가 곤란한 문제점이 있다.

또한, 흡입되는 공기는 상기 엘보우(2)에서 수직으로 방향이 바뀌고, 또 다시 내부공간에서 방향이 수직으로 바뀜으로 소음발생이 큰 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 공기의 진행거리가 길어 공기가 균일하게 분사될 수 있고, 부분적인 공기의 분출량을 조절할 수 있으며, 결합 및 가공이 용이하고 길이에 상관없이 무게가 가볍고 설치가 용이한 기판 건조용 에어 나이프를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1a는 종래 기술의 사시도

도 1b는 종래 기술의 부품 구성도

도 1c는 종래 기술에 의해 얼룩이 발생된 기판의 사시도

도 2a는 본 발명의 동작도

도 2b는 본 발명의 부품 구성도

도 2c는 본 발명의 사시도

도 2d는 도 2c에 도시된 AA, BB, CC선에 의한 단면도

＜도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명＞

51 : 메인 밸브 52 : 원형 파이프

52a : 소켓 가공부 52b : 배출 구멍

52c : 대면 가공부 52d : 볼트 구멍

53 : 사각 파이프 53a : 슬릿 홈

53b : 체결 구멍 54 : 조임 볼트

55 : 세트 스크류 56 : 너트

본 발명은 평판 디스플레이의 제조공정중 기판이 한 장씩 진행되면서 건조되는 기판 건조장치에 있어서,

한쪽은 개방되어 공기가 흡입되고 그 반대쪽은 밀폐되며 상부에는 흡입된 공기가 배출될 수 있도록 길이 방향으로 복수개의 배출 구멍이 형성된 원형 파이프와, 상기 배출 구멍이 막히지 않도록 상기 원형 파이프가 삽입되고 상기 원형 파이프의 삽입부위를 제외한 모든 부위가 밀폐되며 상기 배출 구멍으로부터 배출된 공기가 외부로 배출되는 슬릿 홈이 형성된 사각 파이프를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 실시예를 참조된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 의한 기판 건조용 에어 나이프는 도 2에 도시된 바와 같이 공기가 흡입되는 메인 밸브(51)와, 상기 메인 밸브(51)와 결합될 수 있도록 소켓(socket) 가공부(52a)가 형성되고 그 반대쪽은 밀폐되며 상기 메인 밸브(51)로부터 흡입된 공기가 상부에 형성된 배출 구멍(52b)을 통해 배출되는 원형 파이프(52)와, 상기 원형 파이프(52)가 삽입되고 상기 배출 구멍(52b)으로부터 분출된 공기가 내부를 타고 이동되어 하부에 형성된 슬릿 홈(53a)으로 분사되는 사각 파이프(53)로 구성된다.

또한, 상기 원형 파이프(52) 및 상기 사각 파이프(53)에 삽입되어 그 사이의 거리를 조절하는 조임 볼트(54)와, 상기 원형 파이프(52)에는 접촉하고 상기 사각 파이프(53)에는 삽입되는 세트 스크류(55)와, 상기 사각 파이프(53)의 외부에서 상기 세트 스크류(55)에 삽입되고 상기 조임 볼트(54)와 함께 상기 원형 파이프(52) 및 상기 사각 파이프(53) 사이의 거리를 조절하는 너트(56)로 구성된다.

여기서, 상기 배출 구멍(52b)은 상기 원형 파이프(52)와 상기 사각 파이프(53)의 결합시 막히지 않도록 결합되고, 상기 배출 구멍(52b) 양옆의 접촉부위에는 상기 배출 구멍(52b)으로부터 배출된 공기가 상기 원형 파이프(52)를 타고 흐를 수 있도록 평면으로 가공된 대면 가공부(52c)가 형성되어 있으며, 상기 조임 볼트(54)가 삽입될 수 있도록 볼트 구멍(52d)이 형성되어 있다.

또한, 사각 파이프(53)에는 상기 조임 볼트(54) 및 상기 세트 스크류(55)가 삽입될 수 있도록 체결 구멍(53b)이 형성되어 있다.

본 발명에 의한 에어 나이프의 조립 및 동작을 상세하게 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상기 메인 밸브(51)와 상기 원형 파이프(52)를 조립하고, 그 상태에서 상기 원형 파이프(52)를 상기 사각 파이프(53)에 삽입한다.

그 후, 상기 조임 볼트(54)를 상기 체결 구멍(53b) 및 상기 볼트 구멍(52d)에 삽입하여 조이고, 상기 세트 스크류(55)를 상기 원형 파이프(52)에 접촉하도록 상기 체결 구멍(53b)에 삽입하고 상기 너트(56)를 상기 세트 스크류(55)에 삽입한다.

상기와 같이 조립된 상태에서, 상기 메인 밸브(51)로 공기가 흡입되면, 상기 메인 밸브(51)로 흡입된 공기는 상기 원형 파이프(52) 내로 이동된다.

상기 원형 파이프(525) 내로 이동된 공기는 그 공기압에 의해 상기 배출 구멍(52b)으로 배출되고, 상기 배출 구멍(52b)으로 배출된 공기는 상기 대면 가공부(52c)를 거쳐 상기 원형 파이프(52)의 원주방향을 따라 이동되고, 상기 슬릿 홈(53a)을 통과하여 외부로 분사되게 된다.

이때, 도 2d에 도시된 바와 같이 기본 상태에서 상기 조임 볼트(54)를 조이거나 상기 너트(56)를 회전시켜 상기 세트 스크류(55)의 중심부로 이동시키면, 상기 원형 파이프(52)와 상기 사각 파이프(53)의 하부 접촉부위의 공간이 좁아져 이동되는 공기의 양이 적어지게 된다.

반대로 상기 조임 볼트(54)를 풀거나 상기 너트(56)를 반대로 회전시켜 상기 세트 스크류(55)의 중심부로부터 멀어지도록 이동시키면, 상기 원형 파이프(52)와 상기 사각 파이프(53)의 하부 접촉부위의 공간이 넓어져 이동되는 공기의 양이 많아지게 된다.

상기와 같이 상기 슬릿 홈(53a)을 통과한 공기는 롤러(61)에 의해 이동되는 기판(60)을 균일하게 건조시키게 된다.

이와 같이, 본 발명에 의한 기판 건조용 에어 나이프는 분사되는 공기의 이동거리가 길고 부분적인 공기의 양을 조절할 수 있으므로 공기를 균일하게 분사시킬 수 있으며 고정밀도의 가공이 필요 없고 길이에 상관없이 무게가 가볍고 설치가 용이하며 급격한 공기의 흐름이 없으므로 소음을 저감시킬 수 있다.

Claims (5)

1. 평판 디스플레이의 제조공정중 기판이 한 장씩 진행되면서 건조되는 기판 건조장치에 있어서,

   한쪽은 개방되어 공기가 흡입되고 그 반대쪽은 밀폐되며 상부에는 흡입된 공기가 배출될 수 있도록 길이 방향으로 복수개의 배출 구멍이 형성된 원형 파이프와, 상기 배출 구멍이 막히지 않도록 상기 원형 파이프가 삽입되고 상기 원형 파이프의 삽입부위를 제외한 모든 부위가 밀폐되며 상기 배출 구멍으로부터 배출된 공기가 외부로 배출되는 슬릿 홈이 형성된 사각 파이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조용 에어 나이프.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 배출 구멍 양 옆의 상기 원형 파이프와 상기 사각파이프의 접촉부위에는 상기 배출 구멍으로부터 배출된 공기가 상기 슬릿 홈으로 이동될 수 있도록 상기 사각 파이프와의 접촉부위가 평면으로 가공된 대면 가공부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 건조용 에어 나이프.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 대면 가공부 외의 상기 원형 파이프와 상기 사각 파이프의 접촉부위에는 이동되는 공기의 양을 조절할 수 있도록 풍량 조절수단이 부가된 것을 특징으로 하는 기판 건조용 에어 나이프.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 풍량 조절수단은 상기 원형 파이프 및 상기 사각 파이프에 삽입되는 조임 볼트인 것을 특징으로 하는 기판 건조용 에어 나이프.
5. 제 3항에 있어서,

   상기 풍량 조절수단은 상기 사각 파이프에 삽입되고 상기 원형 파이프에 접촉하는 세트 스크류와, 상기 세트 스크류에 삽입되고 상기 원형 파이프와 상기 사각 파이프 사이의 공간을 조절하는 너트로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 건조용 에어 나이프.