KR100432053B1

KR100432053B1 - 건조장치

Info

Publication number: KR100432053B1
Application number: KR10-2001-0039930A
Authority: KR
Inventors: 예동선; 이준규
Original assignee: (주)케이.씨.텍
Priority date: 2001-07-05
Filing date: 2001-07-05
Publication date: 2004-05-17
Also published as: KR20030005145A

Abstract

기판을 건조하기 위한 건조 장치가 개시되고 있다. 상기 장치는 기판의 건조 공정이 수행되는 공정 챔버를 구비하고, 상기 공정 챔버의 내부 공간은 내벽에 의해 제1공간과 제2공간으로 구분된다. 기판과 함께 공정 챔버의 내부로 유입되는 이물질 및 물입자들은 제1공간에서 외부로 배출된다. 기판을 건조하기 위한 에어 나이프가 제2공간에서 사선으로 설치된다. 기판이 통과하는 입구와 출구를 연결하는 기판의 진행 라인을 따라 공정 챔버에 설치되는 구동축들은 기판을 지지하여 이송하는 구동 롤러들을 구동한다. 기판의 진행 라인과 공정 챔버의 바닥 사이에 설치되는 플레이트에 에어 나이프와 에어 나이프에 인접하는 구동축들을 지지하는 제1, 제2지지 부재가 설치된다. 상부 배기구가 공정 챔버의 상부 측벽에 설치되고, 하부 배기구가 공정 챔버의 바닥에 설치되어 공정 챔버의 내부에 흐르는 공기를 원활하게 배출한다. 따라서, 상기 건조 장치는 외부의 이물질 차단과 기판의 원활한 이송 및 공정 챔버의 내부 구조 단순화를 구현함으로서 기판의 건조 품질을 향상시키고, 장치의 정비를 간단하게 할 수 있다.

Description

건조 장치{Drying Apparatus}

본 발명은 건조 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 플레이트 형상의 피건조물을 건조하기 위한 건조 장치에 관한 것이다.

최근 들어 정보 처리 기기는 다양한 형태와 기능, 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있으며, 이러한 정보 처리 장치는 가공된 정보를표시하는 디스플레이 장치를 필요로 한다. 정보 디스플레이 장치로는 지금까지 주로 CRT 모니터가 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 경량, 소형이면서 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치가 급격히 증대하고 있다.

현재까지 개발된 평판 디스플레이 장치 가운데 소형 경량이면서 저소비전력을 구현할 수 있고 CRT에 근접하는 화상표시 능력을 갖는 액정표시장치가 가장 광범위하게 이용되고 있다.

일반적으로 액정표시장치는 상부기판과 하부기판 사이에 있는 액정 분자들의 배열구조가 갖는 외부에서 인가되는 구동신호의 변화로 발생하는 빛의 투과율 차이를 이용하는 디스플레이 장치로서, 최근에는 표시정보량의 증대와 이에 따른 표시면적의 증대 요구에 부응하기 위해 화면을 구성하는 모든 화소에 대해 개별적으로 구동신호를 인가하는 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식의 액정표시장치(AMLCD)에 대해 활발한 연구개발이 진행되고 있다.

특히, 각 화소의 구동신호를 제어하기 위한 액티브 매트릭스 방식의 스위칭 소자로서 박막 트랜지스터를 이용하는 박막 트랜지스터 액정표시장치(TFT-LCD)는 저온 공정으로 대면적 유리기판에 적용할 수 있으며, 저전압으로도 충분히 구동할 수 있는 장점을 가지고 있어 가장 널리 사용되는 AMLCD이다.

이러한 TFT-AMLCD는 화상 데이터를 액정의 광학적 성질을 이용하여 디스플레이 하는 액정 패널과 이를 구동하기 위한 구동회로를 포함하는 액정 패널 어셈블리, 화면표시를 위한 광을 공급하는 백라이트 어셈블리 및 액정 패널 어셈블리와 백라이트 어셈블리를 고정, 수용하는 몰드 프레임으로 구성된다.

상기 액정패널은 전극패턴이 형성된 2매의 유리기판에 배향막 및 스페이서(spacer)를 형성하고 중합시켜 다수의 액정셀을 형성한 후 다양한 커팅 도구를 이용하여 개별적인 액정셀 별로 절단함으로써 제작된다.

이때, 상기 액정 패널을 구성하는 전극패턴은 청정공정, 세정공정, 성막공정 및 패터닝(patterning) 공정을 통하여 형성되고, 액정을 수용하는 액정셀은 러빙(rubbing)공정을 포함하는 배향막 형성공정과 밀봉공정 및 스페이서(spacer) 배치공정에 의해 형성된다.

특히, 세정공정은 액정패널의 수율을 향상하기 위한 중요한 공정으로서 박막트랜지스터를 구비하는 박막 트랜지스터 기판과 색상을 구현하는 칼러필터 기판의 제조과정에서 모두 필요한 공정이다.

이러한 기판의 세정방식에는 자외선이나 공기를 이용한 드라이(dry) 세정방식과 필요한 농도를 갖는 조성액으로 구성된 세제를 이용하여 세정하는 웨트(wet) 세정방식이 있다.

공정의 구성이나 기판상태에 따라 드라이 세정 및 웨트 세정방식중 적당한 방식을 선택하여 사용하며, 일반적으로 유지류 및 유기물이나 무기물 제거를 위한 세정방식으로는 웨트 세정방식이 이용된다.

웨트 세정방식이란 오염의 종류에 따라 적절한 세정액을 선택한 후, 온욕조 안에서 세정액을 순환시켜서 세정하는 방식이다. 이러한 세정액 내부에는 일반적으로 매우 많은 진성 미립자가 포함되어 있기 때문에 세정을 거친 후에는 초음파 세정, 샤워(shower) 세정, 브러싱(brushing) 세정 및 수세 등을 병용한다.

세정을 마친 기판은 회전에 의한 원심력을 이용하여 기판의 표면에 부착된 물입자들을 제거하는 방식, 기판의 표면으로 에어를 분사하는 방식 등의 다양한 방식에 의해 건조 공정을 거치게 된다.

기판의 건조 공정이 수행되는 동안, 기판의 표면에 이물질이 다시 부착되거나 공정이 수행된 후 기판의 표면에 워터 마크(Water Mark)가 발생되는 경우 상기 이물질 또는 워터 마크는 후속 공정의 불량 요인으로 작용한다.

기판의 표면에 부착되어 있는 세정액을 흡수하기 위한 흡수 롤러와 상기 흡수 롤러를 탈수시키는 탈수 롤러를 포함하는 기판 건조 장치에 대한 일 예가 박민호에게 허여된 대한민국 특허등록 제187,019호에 개시되어 있다.

기판의 표면에 부착된 액체를 제거하기 위해 기판으로 기체를 공급하는 기체 공급부와 기판의 표면에 부착된 액체의 두께를 일정하게 하고, 기판으로 공급된 상기 기체와 상기 액체의 혼합물을 기판으로부터 배출하기 위한 기액혼합물 배출부를 포함하는 건조 장치의 일 예가 대한민국 특허공개 제2001-0015181호에 개시되어 있다.

기판의 표면을 건조하기 위해 기판의 표면으로 공기를 분사하는 에어 나이프에 대한 일 예가 추창문에게 허여된 대한민국 특허등록 제267,568호에 개시되어 있다.

도 1은 종래의 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다. 도 2는 도 1에 도시한 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 기판(10)의 건조 공정이 수행되는 공정 챔버(12)가 도시되어 있다. 공정 챔버(12)의 일측 벽에는 기판(10)이 반입되는 입구(14)가 형성되고, 입구(14)가 형성되는 일측 벽에 대향하는 타측 벽에는 기판(10)이 반출되는 출구(16)가 형성되어 있다.

공정 챔버(12)의 내부에는 세정 단계에서 기판(10)의 표면에 부착되는 물을 제거하기 위한 에어 나이프(Air Knife, 18)가 입구(14)로부터 출구(16)로 향하는 기판(10)의 진행 방향에 대하여 일정한 각도를 가지고 건조 장치(12)의 저면에 설치되는 제1지지대(17)에 설치되어 있다.

도 1 및 도 2에 도시한 화살표는 기판(10)이 진행되는 방향을 표시한다.

상기 에어 나이프(18)에는 기판(10)의 이송 방향과 반대 방향으로 기판(10)의 표면에 소정의 입사각을 가지고 공기를 분사하는 다수개의 노즐이 설치된다. 기판(10)의 표면에 부착되어 있는 물은 에어 나이프(18)에서 분사되는 공기에 의해 기판(10)의 표면으로부터 제거된다.

공정 챔버(12)의 양측 벽의 외부에는 상기 양측 벽을 따라 수평 방향으로 연장되는 두 개의 제1구동축(20)이 설치된다. 상기 두 개의 제1구동축(20)중 하나의 일측에는 구동력을 제공하는 구동 모터(22)가 연결된다.

그리고, 공정 챔버(12)에는 기판(10)을 이송하기 위한 다수개의 제2구동축(24)들이 에어 나이프(18)와 간섭되지 않도록 양측 벽을 관통하여 설치되고, 제2구동축(24)들에는 기판(10)의 하부면을 지지하여 이송하기 위한 다수개의 구동 롤러(26)들이 각각 설치되어 있다. 두 개의 제1구동축(20)과 제2구동축(24)들은 각각 베벨 기어(28)의 치차 결합에 의해 연결된다.

기판(10)의 진행 방향에 대하여 소정의 각도를 가지는 에어 나이프(18)가 설치되는 구역에는 기판(10)의 이송을 보조하기 위해 구동되지 않는 다수개의 무구동축(30)들이 공정 챔버(12)의 저면에 설치되어 상방향으로 연장되는 다수개의 제2지지대(32)들에 설치된다. 그리고 상기 무구동축(30)에 구동되지 않는 다수개의 무구동 롤러(34)들이 설치된다.

기판(10)의 표면에 부착되어 있는 물은 에어 나이프(18)에서 분사되는 공기에 의해 기판(10)으로부터 이탈된다. 기판(10)의 표면으로부터 이탈되는 물의 일부는 미세한 물입자의 형태로 공정 챔버(12)의 상부 측벽에 구비되는 상부 배기구(36)를 통해 상기 공기와 함께 외부로 배출되고, 일부는 아래로 떨어진다.

아래로 떨어지는 상기 물은 공정 챔버(12)의 바닥에 구비되는 배수구(38)를 통해 외부로 배출되고, 기판(10)의 하부로 비산되는 물입자들은 공정 챔버(12)의 하부 측벽에 구비되는 하부 배기구(40)를 통해 공기와 함께 외부로 배출된다.

또한, 상기 건조 장치는 기판(10)이 에어 나이프(18)로 이송되기 전에 기판(10)의 표면이 건조되는 현상을 방지하기 위해 기판(10)의 표면으로 순수를 공급하는 순수 공급부(42)를 포함한다. 순수 공급부(42)는 공정 챔버(12)의 내부에서 에어 나이프(18)의 전방에 구비된다.

상기와 같은 건조 장치는 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.

첫째, 공정 챔버의 입구로부터 기판과 함께 외부의 이물질 및 세정 단계에서 발생한 미세한 물입자들이 유입되어 기판의 표면에 부착되고, 기판의 건조 품질을 저하시키는 요인으로 작용한다.

둘째, 공정 챔버의 하부 측벽에 구비되는 배기구와 상기 에어 나이프 및 상기 무구동축들을 지지하기 위한 제1, 제2지지대들은 에어 나이프에서 분사되는 공기의 원만한 흐름을 방해하는 요인으로 작용하고, 기판의 건조 품질을 저하시킨다.

셋째, 기판의 진행 방향에 대하여 일정한 각도를 가지고 설치되는 에어 나이프로 인해 구동 롤러들이 설치되지 못하는 영역에서 기판의 진행을 보조하기 위한 무구동 롤러들이 설치된다. 그러나 상기 무구동 롤러들은 기판을 이송시킬 수 있는 회전력이 없고, 단순히 기판을 지지하는 역할만을 한다. 따라서, 기판의 진행이 원만하게 이루어지지 않고, 상기 에어 나이프와 무구동 롤러들을 설치하기 위해 공정 챔버의 저면에 설치되는 지지대들로 인해 챔버 내부 공간의 구성이 복잡해지고, 공정 챔버 내부의 복잡성으로 인해 정비 및 부품 교체가 힘들다는 단점이 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하고, 기판의 건조 품질을 향상시키기 위한 본 발명의 제1목적은 기판이 건조되는 공간으로 외부의 이물질이 유입되는 것을 방지하는 건조 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 제2목적은 공정 챔버의 내부에서 기류의 흐름을 원활하게 하고, 단순한 내부 구조를 갖는 건조 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 제3목적은 공정 챔버의 내부에서 기판을 원활하게 이송시킬 수 있는 건조 장치를 제공하는데 있다.

도 1은 종래의 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.

도 2는 도 1에 도시한 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.

도 4는 도 3에 도시한 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 5는 도 3에 도시한 건조 장치의 하부 배수구 및 하부 배기구를 설명하기 위한 개략도이다.

도 6은 도 3에 도시한 건조 장치의 하부 구조를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.

도 7은 도 3에 도시한 공정 챔버 내부의 공기 흐름을 설명하기 위한 개략도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10, 100 : 기판 12, 102 : 공정 챔버

14, 104 : 입구 16, 106 : 출구

17 : 제1지지대 18, 120 : 에어 나이프

20, 136 : 제1구동축 22, 144 : 모터

24, 138 : 제2구동축 26, 148 : 구동 롤러

28 : 베벨 기어 30 : 무구동축

32 : 제2지지대 34 : 무구동 롤러

36, 130 : 상부 배기구 38 : 배수구

40, 134 : 하부 배기구 42 : 순수 공급부

108 : 제1공간 110 : 제2공간

112 : 내벽 114 : 도어

116 : 제1배수구 118 : 제1배기구

122 : 플레이트 124 : 제1지지 부재

132 : 제2배수구 140 : 제1기어

142 : 제2기어 146 : 감속기

150 : 가이드 롤러 152 : 구동 단축

154 : 제2지지 부재

상기 제1목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 건조 장치는 플레이트 형상을가지는 피건조물의 건조 공정이 수행되고, 상기 피건조물을 반입하는 입구 및 반출하는 출구를 포함하는 공정 챔버를 포함한다.

상기 건조 장치는 상기 공정 챔버의 내부에 설치되고, 상기 피건조물의 상하부면에 부착된 물을 제거하기 위해 상기 입구에서 상기 출구로 향하는 피건조물의 진행 방향에 대하여 반대 방향으로 상기 피건조물의 상하부면에 공기를 분사하는 공기 분사 수단을 포함한다.

상기 건조 장치는 상기 공정 챔버의 내부에 설치되고, 상기 설치에 의해 상기 공정 챔버 내부를 상기 입구와 인접하는 제1공간 및 상기 출구와 인접하고, 상기 공기 분사 수단이 설치되는 제2공간으로 구획하고, 상기 피건조물이 상기 제1공간에서 제2공간으로 반입되는 도어를 포함하는 내벽을 포함한다.

상기 제1공간은 상기 입구를 통하여 유입되는 이물질이 상기 제2공간으로 유입되는 것을 차단한다.

상기 내벽은 상기 공정 챔버의 천장에 연결되어 아래로 연장되고, 상기 도어를 포함하는 제1내벽 및 상기 공정 챔버의 상기 입구보다 낮은 위치에서 입구측 벽에 연결되어 수평방향으로 연장되어 상기 제1내벽의 하단부와 연결되는 제2내벽을 포함한다.

상기 공정 챔버의 입구측 벽에 연결되는 상기 제2내벽의 일측 단부에 상기 입구로부터 물입자의 형태로 상기 제1공간으로 유입되어 상기 제2내벽으로 떨어지는 물을 배출하기 위한 제1배수구가 형성되어 있다.

상기 건조 장치는 상기 제1공간의 상부 측벽에 설치되고, 상기 입구로부터유입된 이물질 및 미세한 물입자들을 배출하기 위한 제1배기 수단을 더 포함한다.

상기 도어는 상기 제1공간으로 유입된 이물질 및 미세한 물입자들이 상기 제2공간으로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 피건조물의 두께에 따라 개폐 정도가 조절된다.

상기 제2목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 건조 장치는 플레이트 형상을 가지는 피건조물의 건조 공정이 수행되고, 상기 피건조물을 반입하는 입구 및 반출하는 출구를 포함하는 공정 챔버를 포함한다.

상기 건조 장치는 상기 공기 분사 수단의 아래에서 상기 공정 챔버의 바닥에 설치되고, 상기 공기 분사 수단으로부터 분사된 공기와 상기 공기에 의해 상기 피건조물의 표면으로부터 미세한 입자의 형태로 비산되는 물입자들을 배출하기 위한 하부 배기 수단을 포함한다.

상기 건조 장치는 상기 공정 챔버의 바닥과 상기 피건조물이 진행되는 라인 사이에서 상기 공정 챔버의 양측 벽의 내측에 수평으로 연결되고, 상기 공기 분사 수단의 양측 단부를 지지하는 제1지지 부재가 설치되는 플레이트를 더 포함한다.

상기 하부 배기 수단은 상기 공정 챔버의 바닥으로부터 물이 유입되지 않도록 상기 바닥에서 상방향으로 돌출되는 본체와 상기 물입자들이 유입되지 않도록상기 본체의 돌출된 부위를 덮어주는 덮개를 포함한다.

상기 공기 분사 수단은 상기 피건조물의 진행 방향에 대하여 45° 내지 90°의 각도를 갖도록 설치된다.

상기 공기 분사 수단은 피건조물의 상하부면으로 분사되는 공기의 입사각을 상기 피건조물의 상하부면에 대하여 45°에서 90°까지 조정할 수 있도록 설치된다.

상기 건조 장치는 상기 공기 분사 수단의 전방으로 상기 공정 챔버의 상부 측벽에 설치되고, 상기 공기 분사 수단으로부터 분사된 공기와 상기 공기에 의해 상기 피건조물의 표면으로부터 미세한 입자의 형태로 비산되는 물입자들을 배출하기 위한 상부 배기 수단을 더 포함한다.

상기 건조 장치는 상기 공기 분사 수단의 전방으로 상기 공정 챔버의 바닥에 설치되고, 상기 공기 분사 수단으로부터 분사되는 공기에 의해 상기 피건조물의 표면으로부터 제거되어 상기 공정 챔버의 바닥으로 떨어지는 물을 배출하기 위한 제2배수구를 더 포함한다.

상기 제3목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 건조 장치는 플레이트 형상을 가지는 피건조물의 건조 공정이 수행되고, 상기 피건조물을 반입하는 입구 및 반출하는 출구를 포함하는 공정 챔버를 포함한다.

상기 건조 장치는 상기 공정 챔버의 내부에 상기 입구에서 상기 출구로 향하는 피건조물의 진행 방향에 대하여 사선(Oblique Line)으로 설치되고, 상기 피건조물의 상하부면에 부착된 물을 제거하기 위해 상기 진행 방향에 대하여 반대 방향으로 상기 피건조물의 상하부면에 공기를 분사하는 공기 분사 수단을 포함한다.

상기 건조 장치는 상기 공정 챔버의 내부에 설치되고, 상기 피건조물을 지지하여 이송하는 다수개의 구동 롤러들을 포함하고, 상기 각각의 구동 롤러들을 모두 구동시켜 상기 피건조물을 입구로부터 상기 공기 분사 수단을 통과하여 상기 출구까지 이송하는 이송 수단을 포함한다.

상기 이송 수단은 상기 피건조물의 진행 라인보다 낮은 위치에서 상기 공정 챔버의 양측 벽의 외측에 설치되어 상기 양측 벽을 따라 수평 방향으로 각각 연장되는 제1구동축과 상기 각각의 제1구동축에 설치되는 다수개의 제1기어를 포함한다.

상기 이송 수단은 상기 제1구동축이 설치되는 높이와 동일한 높이에서 상기 공기 분사 수단과 간섭되지 않도록 상기 피건조물의 진행 라인과 직각 방향으로 상기 공정 챔버를 관통하여 양측으로 돌출되는 다수개의 제2구동축을 포함한다.

상기 이송 수단은 상기 제2구동축이 설치되는 높이와 동일한 높이에서 상기 제2구동축과 평행하게 상기 공정 챔버의 측벽을 관통하여 상기 공기 분사 수단과 인접하는 위치까지 연장되고, 각각의 길이가 다른 다수개의 구동 단축을 포함한다.

상기 이송 수단은 상기 제2구동축들의 양측 단부와 상기 구동 단축들의 일측 단부에 상기 제1기어들에 각각 대응되도록 설치되어 상기 제1구동축들에 제2구동축들과 구동 단축들을 연결하는 다수개의 제2기어 및 상기 각각의 제2구동축들과 구동 단축들에 설치되어 상기 피건조물을 지지하는 다수개의 구동 롤러를 포함한다.

상기 이송 수단은 상기 제1구동축들 중 하나에 구동력을 제공하는 모터 및상기 제1구동축들 중 하나와 상기 모터 사이에 연결되어 상기 모터의 회전 속도를 조절하는 감속기를 더 포함한다.

상기 제2구동축들에 각각 설치되는 상기 구동 롤러들은 3 내지 4개이고, 상기 공정 챔버의 양측 벽의 내측에 인접하는 각각의 상기 제2구동축들의 양측에 가이드 롤러가 각각 더 설치된다.

상기 구동 단축들에 각각 설치되는 상기 구동 롤러들은 1 내지 4개이고, 상기 공정 챔버의 측벽의 내측에 인접하는 상기 구동 단축들의 일측에 가이드 롤러가 각각 더 설치된다.

상기 제1기어 및 제2기어는 직각 방향으로 동력을 전달할 수 있는 헬리컬 베벨 기어이다.

상기 이송 수단은 상기 공정 챔버의 바닥과 상기 피건조물이 진행되는 라인 사이에서 상기 공정 챔버의 양측 벽의 내측에 수평으로 연결되는 플레이트와 상기 플레이트의 상부면에 설치되어 상기 공기 분사 수단과 인접하는 상기 구동 단축들의 일측 부위를 각각 지지하는 다수개의 제2지지 부재를 더 포함한다.

상기 제2지지 부재는 상기 구동 단축을 지지하기 위해 형성된 관통홀에 장착되는 베어링을 더 포함하고, 상기 구동 단축의 말단부가 상기 베어링을 관통하여 상기 공기 분사 수단에 인접하도록 돌출되고, 상기 말단부에 적어도 하나의 상기 구동 롤러가 설치된다.

상기와 같은 건조 장치는 피건조물과 함께 상기 건조 장치의 내부로 유입되는 이물질들을 상기 제1공간에서 외부로 배출시키고, 동시에 상기 피건조물이 외기에 노출되지 않도록 함으로서 상기 피건조물이 상기 공기 분사 수단에 도달하기 전에 미리 건조되는 것을 방지한다.

상기 제1공간과 제2공간을 구분하는 내벽에 구비되어 상기 피건조물의 통로 역할을 하는 상기 도어의 개폐 정도를 상기 피건조물의 두께에 따라 조정되도록 함으로서 제2공간으로 유입되는 이물질의 양을 최소화시킨다.

그리고, 상기 공기 분사 수단을 지지하는 제1지지 부재들과 상기 구동 단축들을 지지하는 제2지지 부재들이 설치되는 플레이트를 공정 챔버 내부에 구비함으로서 상기 공정 챔버의 내부 구조를 단순하게 하고, 이에 따라 정비 및 부품 교환을 용이하게 하고, 상기 공기 분사 수단으로부터 분사되는 공기의 흐름을 원활하게 한다.

또한, 상기 공기 분사 수단과 인접하도록 설치되는 상기 구동 단축들이 상기 제2구동축들과 같이 회전되어 상기 피건조물을 이송함으로서 상기 피건조물의 이송이 원활하게 이루어지도록 하고, 상기 공정 챔버의 바닥에 설치되는 상기 하부 배기 수단은 상기 공기 분사 수단으로부터 분사되는 공기의 흐름을 원활하게 한다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다. 도 4는 도 3에 도시한 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 플레이트 형상을 갖는 기판(100)의 건조 공정이 수행되는 공정 챔버(102)가 도시되어 있다. 공정 챔버(102)의 일측 벽에는기판(100)이 반입되는 입구(104)가 형성되고, 타측 벽에는 기판(100)이 반출되는 출구(106)가 형성된다.

도 3 및 도 4에 도시된 화살표는 기판(100)의 진행 방향을 표시한다.

공정 챔버(102)의 내부 공간을 기판(100)이 반입되는 제1공간(108)과 기판(100)의 건조 공정이 수행되는 제2공간(110)으로 구분하는 내벽(112)이 공정 챔버(102)의 내부에 설치된다.

공정 챔버(102)의 내부를 구분하는 내벽(112)은 공정 챔버(102)의 상부 벽과 연결되어 하부로 연장되고, 기판(100)이 통과하는 통로 역할을 하는 도어(114)를 구비하는 제1 내벽(112a)과 공정 챔버(102)의 입구(104)보다 낮은 위치에서 입구측 벽에 연결되어 수평방향으로 연장되어 상기 제1 내벽(112a)의 하단부와 연결되는 제2 내벽(112b)을 포함한다.

공정 챔버(102)의 입구측 벽에 인접하는 제2 내벽(112b)의 일측 단부에는 상기 입구(104)로부터 유입된 물입자들이 배출되는 제1배수구(116)가 형성되어 있다. 상기 제1공간(108)의 상부 측벽에는 공정 챔버(102)의 입구(104)로부터 유입되는 공기에 함유되어 있는 이물질 및 물입자들을 배출하기 위한 제1배기구(118)가 연결된다.

입구(104)를 통해 기판(100)과 함께 유입되는 이물질 및 세정 단계에서 발생한 물입자들은 제1배기구(118)를 통해 배출되고, 제2 내벽(112b)으로 떨어지는 물은 제1배수구(116)를 통해 공정 챔버(102)의 입구측 벽을 따라 흘러내린다.

또한, 제1 내벽(112a)에 구비되는 도어(114)는 기판(100)의 두께에 따라 개폐 정도가 조절되어 제1공간(108)으로 유입된 이물질 및 물입자들이 제2공간(110)으로 유입되는 양을 최소화시킨다.

따라서, 입구(104)로부터 유입되는 이물질 및 물입자들은 제1공간(108)에 구비되는 제1배기구(118) 및 제1배수구(116)를 통하여 배출되고, 외기와 기판(100)이 접촉되지 않는 공간을 제공함으로서 기판(100)이 미리 건조되는 것을 방지할 수 있다.

상기 제2공간(110)에는 기판(100)의 상하부면에 부착되어 있는 물을 제거하기 위해 기판(100)의 진행 방향과 반대 방향으로 기판(100)의 상하부면에 공기를 분사하는 에어 나이프(120)가 설치된다.

에어 나이프(120)는 기판(100)의 상부면에 공기를 분사하는 상부 에어 나이프와 기판의 하부면에 공기를 분사하는 하부 에어 나이프를 포함하고, 기판(100)은 상부 에어 나이프와 하부 에어 나이프 사이로 이송된다.

그리고, 제2공간(110)에는 기판(100)의 진행 라인과 공정 챔버(102)의 바닥 사이에서 공정 챔버(102)의 양측 벽에 수평 방향으로 에어 나이프(120)를 제2공간에 설치하기 위한 플레이트(122)가 연결된다. 플레이트(122)의 상부면에는 에어 나이프(120)의 양측 단부를 지지하는 제1지지 부재(124)가 구비된다.

에어 나이프는 기판(100)의 상하부면으로 분사되는 공기의 입사각(A)을 기판(100)의 표면 상태에 따라 45°에서 90°까지 조절할 수 있도록 설치된다. 또한, 에어 나이프(120)에서 분사되는 공기에 의해 기판(100)이 떨리는 현상을 감소시키기 위해 에어 나이프(120)는 기판(100)의 진행 방향에 대해 45°내지 90°의각도(B)를 갖도록 설치된다.

기판(100)의 표면에 부착되어 있는 물은 에어 나이프(120)로부터 분사되는 공기에 의해 기판(100)으로부터 이탈되어 공정 챔버(102)의 바닥으로 떨어지고, 상기 물의 일부는 상기 공기에 의해 미세한 입자의 형태로 제2공간(110)으로 비산된다.

공정 챔버(102)의 상부 일측 벽에는 에어 나이프(120)에 대하여 기판(100)이 이송되어 오는 방향으로 에어 나이프(120)로부터 분사되는 공기와 기판(100)의 상부면으로부터 비산되는 물입자들을 배출하기 위한 상부 배기구(130)가 연결된다.

공정 챔버(102)의 바닥에는 에어 나이프(120)에 대하여 기판(100)이 이송되어 오는 방향에 기판(100)으로부터 제거된 물을 배출하기 위한 제2배수구(132)가 연결된다.

그리고, 기판(100)의 하부면에서 비산되는 물입자들과 에어 나이프(120)에서 분사된 공기를 배출하기 위한 하부 배기구(134)가 에어 나이프(120)의 하부에서 공정 챔버(102)의 바닥에 구비된다.

하부 배기구(134)는 공정 챔버(102)의 바닥으로부터 물이 유입되지 않도록 상부로 돌출되어 설치되는 원통 형상의 본체(134a)와 제2공간(110)에 부유하는 물입자들이 돌출된 본체(134a)로 유입되지 않도록 하는 덮개(134b)를 포함한다.

이때, 기판(100)의 표면으로부터 비산되는 물입자들의 일부는 에어 나이프(120)의 주변에서 발생되는 와류에 의해 에어 나이프(120)의 후방으로 넘어가게 된다.

상기 물입자들은 에어 나이프(120)의 후방에서 기판(100)에 다시 부착되어 기판(100)의 건조 품질을 저하시킨다. 이러한 문제점을 방지하기 위해 에어 나이프(120)와 공정 챔버(102) 사이에는 물입자들의 이동을 막기 위한 칸막이(도시되지 않음)가 설치된다.

공정 챔버(102)의 양측 벽의 외측에는 공정 챔버(102)의 입구(104)와 도어(114) 및 출구(106)를 연결하는 기판(100)의 진행 라인보다 낮은 위치에서 상기 양측 벽을 따라 수평으로 연장되는 두 개의 제1구동축(136)이 구비된다.

제1구동축(136)의 설치 높이와 동일한 높이에서 공정 챔버(102)의 양측 벽을 관통하여 외부로 돌출되는 다수개의 제2구동축(138)이 기판(100)의 진행 방향을 따라 설치된다.

상기 두 개의 제1구동축(136)에는 구동력을 전달하기 위한 다수개의 제1기어(140)가 설치되고, 공정 챔버(102)의 양측 벽의 외부로 돌출되는 제2구동축(138)들의 양측 단부들에는 제1기어(140)들과 각각 대응하는 제2기어(142)들이 설치된다.

상기 제1기어(140)와 제2기어(142)는 두 개의 제1구동축(136)과 다수개의 제2구동축(138)을 각각 직각 방향으로 연결하여 구동력을 전달하고, 정숙한 운전과 부드러운 동작을 하도록 한 쌍의 헬리컬 베벨 기어로 구성된다.

두 개의 제1구동축(136) 중의 하나에는 구동력을 제공하는 모터(144)와 모터(144)의 회전속도와 토크(Torque)를 제어하기 위한 감속기(146)가 연결된다. 두 개의 제1구동축(136) 중의 하나에는 구동력을 전달하기 위한스프라켓(Sprocket)이 설치되고, 감속기(146)와 연결되는 회전축에도 스프라켓이 연결된다.

상기 두 개의 스프라켓을 체인이 연결함으로서 모터(144)에서 발생되는 회전력이 감속기(146)를 거쳐서 제1구동축(136)으로 전달된다.

그리고, 상기 각각의 제2구동축(138)들에 기판(100)을 지지하여 이송하기 위한 다수개의 구동 롤러(148)들이 설치된다. 구동 롤러(148)들은 제2구동축(138)들에 각각 3 내지 4개 정도가 설치된다.

구동 롤러(148)들이 설치되는 갯수는 공정 챔버(102)의 크기에 따라 적절히 조절될 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 각각 3개씩의 구동 롤러(148)가 설치된다.

각각의 제2구동축(138)들에 구동 롤러(148)들이 설치되는 부위의 양측에는 기판(100)의 진행을 안내하는 가이드 롤러(150)들이 각각 설치된다.

이때, 에어 나이프(120)가 기판(100)의 진행 방향에 대하여 소정의 각도(B)를 갖도록 설치되기 때문에 공정 챔버(102)의 내부에는 제2구동축(138)이 설치되지 않는 영역이 발생한다. 상기 영역에서 기판(100)의 진행을 원활하게 하기 위해 각각의 길이가 다른 다수개의 구동 단축(152)들이 설치된다.

각각의 구동 단축(152)들의 일측 단부는 상기 영역에서 공정 챔버(102)의 일측 벽을 관통하여 공정 챔버(102)의 일측 벽의 외측으로 돌출되고, 타측 단부는 공정 챔버(102)의 내부에 설치되는 에어 나이프(120)에 인접하는 위치까지 연장된다.

구동 단축(152)들의 상기 일측 단부들에는 제1구동축(136)에 설치되는 제1기어(140)들과 각각 대응하는 제2기어(142)들이 설치된다.

그리고, 각각의 구동 단축(152)들의 타측 단부는 플레이트(122)의 상부면에 설치되는 다수개의 제2지지 부재(154)들에 의해 지지된다. 제2지지 부재(154)에는 구동 단축(152)을 지지하기 위한 관통홀이 형성되어 있다.

상기 관통홀에는 베어링(도시되지 않음)이 장착된다. 구동 단축(152)의 타측 단부는 상기 베어링을 관통하여 에어 나이프(120)에 인접하도록 돌출되고, 돌출된 타측 단부에 구동 롤러(148)가 설치된다.

각각의 구동 단축(152)들에 설치되는 구동 롤러(148)들은 상기 타측 단부에 설치되는 구동 롤러(148)를 포함하여 1 내지 4개 정도가 설치되고, 제2구동축(138)에 설치되는 구동 롤러(148)들의 갯수와 마찬가지로 적절한 수량 조절이 가능하다. 본 발명의 실시예에서는 각각 1 내지 3개의 구동 롤러(148)들이 설치된다.

각각의 구동 단축(152)들에는 제2구동축(138)들에 가이드 롤러(150)들이 설치되는 위치에 대응되는 위치에 각각 하나씩의 가이드 롤러(150)가 설치된다.

따라서, 제1구동축(136)에 연결되어 있는 다수개의 제2구동축(138)들과 구동 단축(152)들이 동시에 회전하여 기판(100)을 이송하기 때문에 공정 챔버(102)의 내부에서 기판(100)이 원활하게 이송되고, 구동 단축(152)들을 지지하는 제2지지 부재(154)가 플레이트(122)의 상부면에 설치됨으로서 공정 챔버(102) 내부의 구조가 단순화된다.

또한, 제2지지 부재(154)들이 플레이트(122)의 상부면에 설치됨으로서 플레이트(122)의 하부를 흐르는 공기의 흐름을 방해하지 않는다.

도 5는 도 3에 도시한 건조 장치의 하부 배수구 및 하부 배기구를 설명하기 위한 개략도이다. 도 6은 도 3에 도시한 건조 장치의 하부 구조를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 공정 챔버(102)의 바닥(156)은 기판(100)의 표면으로부터 제거된 물이 쉽게 배출될 수 있도록 경사진 구조를 가진다. 도 6에 도시된 바와 같이 공정 챔버(102)의 출구측에서 보면 공정 챔버(102)의 바닥(156)은 오목한 형상을 갖고, 오목한 부위가 우측으로 치우쳐져 있다.

상기 오목한 부위와 에어 나이프(120)가 교차되는 지점에 하부 배기구(134)가 설치된다.

하부 배기구(134)의 전방에 제2배수구(132)가 설치되어 기판(100)의 표면으로부터 제거된 물과 제1공간(108)에서 배출된 물이 배출되고, 에어 나이프(120)에서 분사된 공기가 하부 배기구(134)를 통해 배출된다.

하부 배기구(134)는 공정 챔버(102)의 바닥(156)으로부터 물이 유입되지 않도록 원통 형상을 갖는 본체(134a)가 공정 챔버(102)의 내부를 향해 돌출되어 설치되고, 본체(134a)의 상부에는 공정 챔버(102)의 내부에 부유하는 물입자들이 유입되는 것을 방지하는 덮개(134b)가 설치된다.

도 7을 참조하면, 공정 챔버(102)의 입구(104)와 도어(114)를 통해 제1공간(108)으로 유입된 이물질 및 물입자들은 제1배기구(118)를 통해 배출되고,제2 내벽(112b)으로 떨어지는 물입자들은 제1배수구(116)를 통해 공정 챔버(102)의 바닥(156)으로 흘러내린다.

에어 나이프(120)로부터 기판(100)의 상부면에 분사되는 공기와 상기 공기에 의해 기판(100)으로부터 비산되는 물입자들은 도시된 화살표 방향으로 상부 배기구(130)를 통해 배출된다.

에어 나이프(120)로부터 기판(100)의 하부면에 분사되는 공기는 도시된 화살표 방향으로 하부 배기구(134)를 통해 배출된다.

이때, 기판(100)의 하부면에 분사되는 공기는 기판(100)의 하부면으로부터 물을 제거시키고, 공정 챔버(102)의 내부에서 회전하여 공정 챔버(102)의 바닥(156)에 형성되는 상기 오목한 부위(도 6 참조)로 집중된다. 상기 공기는 상기 오목한 부위를 따라 하부 배기구(134)로 유입된다.

그리고, 상기 공기가 공정 챔버(102)의 내부를 회전하여 상기 오목한 부위를 지나는 동한 상기 공기 중에 함유되어 있는 물입자들은 공정 챔버(102)의 바닥(156)으로 떨어지고, 공기만 하부 배기구(134)로 유입된다.

따라서, 하부 배기구(134)를 통해 배출되는 공기에 함유되어 있는 물입자들이 최소화되고, 상기 공기의 흐름을 최대한 방해하지 않으며, 공정 챔버(102)의 바닥(156)으로 떨어지지 않은 미세한 물입자들을 함유한 상기 공기가 에어 나이프(120)의 후방으로 넘어가는 것을 방지할 수 있는 최적의 위치에 설치되었다고 할 수 있다.

상기와 같은 본 발명에 따른 건조 장치는 다음과 같은 효과들을 가진다.

첫째, 상기 건조 장치는 공정 챔버의 내부를 제1공간과 제2공간으로 분할하는 내벽을 구비함으로서 기판이 반입되는 입구를 통해 유입되는 세정 단계에서 발생되는 물입자들과 이물질 등을 상기 제1공간에서 배출시키고, 상기 내벽에 구비되는 도어의 개폐 정도를 조절함으로서 상기 물입자들과 이물질 등이 상기 기판의 건조 공정이 수행되는 상기 제2공간으로 유입되는 양을 최소화시킬 수 있다.

둘째, 상기 건조 장치는 상기 기판의 표면에 부착되어 있는 물을 제거하기 위한 에어 나이프와 상기 구동 단축들을 지지하는 제1, 제2지지 부재들이 설치되는 플레이트를 구비함으로서 상기 공정 챔버 내부의 구조를 단순화시킨다.

셋째, 상기 건조 장치는 상기 공정 챔버의 바닥에 설치되는 하부 배기구의 위치를 최적화시키고, 상기 플레이트의 하부로 상기 에어 나이프에서 분사된 공기가 흐르도록 함으로서 상기 공기를 원활하게 배출할 수 있다.

넷째, 상기 건조 장치는 상기 공정 챔버의 외측에 설치되어 구동력을 전달하는 제1구동축들과 상기 공정 챔버의 내부에 설치되는 제2구동축들 및 구동 단축들을 모두 연결하고, 상기 제1구동축들과 제2구동축들 및 구동 단축들을 동시에 구동시킨다. 이에 따라 상기 제2구동축들 및 구동 단축들에 설치되어 상기 기판을 지지하여 이송하는 구동 롤러들을 모두 회전시킴으로서 상기 공정 챔버의 내부에서 상기 기판을 원활하게 이송할 수 있다.

따라서, 상기 건조 장치를 사용하여 기판을 건조하는 경우 기판의 건조 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있고, 상기 건조 장치를 정비하는 경우 단순한 내부구조로 인해 용이하게 정비할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

플레이트 형상을 가지는 피건조물의 건조 공정이 수행되고, 상기 피건조물을 반입하는 입구 및 반출하는 출구를 포함하는 공정 챔버;

상기 공정 챔버의 내부에 설치되고, 상기 피건조물의 상하부면에 부착된 물을 제거하기 위해 상기 입구에서 상기 출구로 향하는 피건조물의 진행 방향에 대하여 반대 방향으로 상기 피건조물의 상하부면에 공기를 분사하는 공기 분사 수단; 및

상기 공정 챔버의 내부에 설치되고, 상기 설치에 의해 상기 공정 챔버 내부를 상기 입구와 인접하는 제1공간 및 상기 출구와 인접하고, 상기 공기 분사 수단이 설치되는 제2공간으로 구획하고, 상기 피건조물이 상기 제1공간에서 제2공간으로 반입되는 도어를 포함하는 내벽을 포함하고,

상기 제1공간은 상기 입구를 통하여 유입되는 이물질이 상기 제2공간으로 유입되는 것을 차단하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제1항에 있어서, 상기 내벽은 상기 공정 챔버의 천장에 연결되어 아래로 연장되고, 상기 도어를 포함하는 제1내벽; 및

상기 공정 챔버의 상기 입구보다 낮은 위치에서 입구측 벽에 연결되어 수평방향으로 연장되어 상기 제1내벽의 하단부와 연결되는 제2내벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제2항에 있어서, 상기 공정 챔버의 입구측 벽에 연결되는 상기 제2내벽의 일측 단부에 상기 입구로부터 물입자의 형태로 상기 제1공간으로 유입되어 상기 제2내벽으로 떨어지는 물을 배출하기 위한 제1배수구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제1항에 있어서, 상기 건조 장치는 상기 제1공간의 상부 측벽에 설치되고, 상기 입구로부터 유입된 이물질 및 미세한 물입자들을 배출하기 위한 제1배기 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제1항에 있어서, 상기 도어는 상기 제1공간으로 유입된 이물질 및 미세한 물입자들이 상기 제2공간으로 유입되는 것을 방지하기 위해 상기 피건조물의 두께에 따라 개폐 정도가 조절되는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
플레이트 형상을 가지는 피건조물의 건조 공정이 수행되고, 상기 피건조물을 반입하는 입구 및 반출하는 출구를 포함하는 공정 챔버;

상기 공정 챔버의 내부에 설치되고, 상기 피건조물의 상하부면에 부착된 물을 제거하기 위해 상기 입구에서 상기 출구로 향하는 피건조물의 진행 방향에 대하여 반대 방향으로 상기 피건조물의 상하부면에 공기를 분사하는 공기 분사 수단; 및

상기 공기 분사 수단의 아래에서 상기 공정 챔버의 바닥에 설치되고, 상기 공기 분사 수단으로부터 분사된 공기와 상기 공기에 의해 상기 피건조물의 표면으로부터 미세한 입자의 형태로 비산되는 물입자들을 배출하기 위한 하부 배기 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제6항에 있어서, 상기 건조 장치는 상기 공정 챔버의 바닥과 상기 피건조물이 진행되는 라인 사이에서 상기 공정 챔버의 양측 벽의 내측에 수평으로 연결되고, 상기 공기 분사 수단의 양측 단부를 지지하는 제1지지 부재가 설치되는 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제6항에 있어서, 상기 하부 배기 수단은 상기 공정 챔버의 바닥으로부터 물이 유입되지 않도록 상기 바닥에서 상방향으로 돌출되는 본체와 상기 물입자들이 유입되지 않도록 상기 본체의 돌출된 부위를 덮어주는 덮개를 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제6항에 있어서, 상기 공기 분사 수단은 상기 피건조물의 진행 방향에 대하여 45° 내지 90°의 각도를 갖도록 설치되는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제6항에 있어서, 상기 공기 분사 수단은 피건조물의 상하부면으로 분사되는 공기의 입사각을 상기 피건조물의 상하부면에 대하여 45°에서 90°까지 조정할 수있도록 설치되는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제6항에 있어서, 상기 건조 장치는 상기 공기 분사 수단의 전방으로 상기 공정 챔버의 상부 측벽에 설치되고, 상기 공기 분사 수단으로부터 분사된 공기와 상기 공기에 의해 상기 피건조물의 표면으로부터 미세한 입자의 형태로 비산되는 물입자들을 배출하기 위한 상부 배기 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제6항에 있어서, 상기 건조 장치는 상기 공기 분사 수단의 전방으로 상기 공정 챔버의 바닥에 설치되고, 상기 공기 분사 수단으로부터 분사되는 공기에 의해 상기 피건조물의 표면으로부터 제거되어 상기 공정 챔버의 바닥으로 떨어지는 물을 배출하기 위한 제2배수구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
플레이트 형상을 가지는 피건조물의 건조 공정이 수행되고, 상기 피건조물을 반입하는 입구 및 반출하는 출구를 포함하는 공정 챔버;

상기 공정 챔버의 내부에 상기 입구에서 상기 출구로 향하는 피건조물의 진행 방향에 대하여 사선(Oblique Line)으로 설치되고, 상기 피건조물의 상하부면에 부착된 물을 제거하기 위해 상기 진행 방향에 대하여 반대 방향으로 상기 피건조물의 상하부면에 공기를 분사하는 공기 분사 수단; 및

상기 공정 챔버의 내부에 설치되고, 상기 피건조물을 지지하여 이송하는 다수개의 구동 롤러들을 포함하고, 상기 각각의 구동 롤러들을 모두 구동시켜 상기 피건조물을 입구로부터 상기 공기 분사 수단을 통과하여 상기 출구까지 이송하는 이송 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제13항에 있어서, 상기 이송 수단은 상기 피건조물의 진행 라인보다 낮은 위치에서 상기 공정 챔버의 양측 벽의 외측에 설치되어 상기 양측 벽을 따라 수평 방향으로 각각 연장되는 제1구동축;

상기 각각의 제1구동축에 설치되는 다수개의 제1기어;

상기 제1구동축이 설치되는 높이와 동일한 높이에서 상기 공기 분사 수단과 간섭되지 않도록 상기 피건조물의 진행 라인과 직각 방향으로 상기 공정 챔버를 관통하여 양측으로 돌출되는 다수개의 제2구동축;

상기 제2구동축이 설치되는 높이와 동일한 높이에서 상기 제2구동축과 평행하게 상기 공정 챔버의 측벽을 관통하여 상기 공기 분사 수단과 인접하는 위치까지 연장되고, 각각의 길이가 다른 다수개의 구동 단축;

상기 제2구동축들의 양측 단부와 상기 구동 단축들의 일측 단부에 상기 제1기어들에 각각 대응되도록 설치되어 상기 제1구동축들에 제2구동축들과 구동 단축들을 연결하는 다수개의 제2기어; 및

상기 각각의 제2구동축들과 구동 단축들에 설치되어 상기 피건조물을 지지하는 다수개의 구동 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제14항에 있어서, 상기 이송 수단은 상기 제1구동축들 중 하나에 구동력을 제공하는 모터 및 상기 제1구동축들 중 하나와 상기 모터 사이에 연결되어 상기 모터의 회전 속도를 조절하는 감속기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제14항에 있어서, 상기 제2구동축들에 각각 설치되는 상기 구동 롤러들은 3 내지 4개이고, 상기 구동 단축들에 각각 설치되는 상기 구동 롤러들은 1 내지 4개인 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제14항에 있어서, 상기 공정 챔버의 양측 벽의 내측에 인접하는 각각의 상기 제2구동축들의 양측에 가이드 롤러가 각각 더 설치되고, 상기 공정 챔버의 내측 벽에 인접하는 상기 구동 단축들의 일측에 가이드 롤러가 각각 더 설치되는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제14항에 있어서, 상기 제1기어는 직각 방향으로 동력을 전달할 수 있는 헬리컬 베벨 기어이고, 상기 제2기어는 상기 제1기에 대응하는 헬리컬 베벨 기어인 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제14항에 있어서, 상기 이송 수단은 상기 공정 챔버의 바닥과 상기 피건조물이 진행되는 라인 사이에서 상기 공정 챔버의 양측 벽의 내측에 수평으로 연결되는 플레이트와 상기 플레이트의 상부면에 설치되어 상기 공기 분사 수단과 인접하는상기 구동 단축들의 일측 부위를 각각 지지하는 다수개의 제2지지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건조 장치.
제19항에 있어서, 상기 제2지지 부재는 상기 구동 단축을 지지하기 위해 형성된 관통홀에 장착되는 베어링을 더 포함하고, 상기 구동 단축의 말단부가 상기 베어링을 관통하여 상기 공기 분사 수단에 인접하도록 돌출되고, 상기 말단부에 적어도 하나의 상기 구동 롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 건조 장치.