KR20120040561A - 패널 비접촉 세정장치 - Google Patents

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KR20120040561A
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Abstract

패널 비접촉 세정장치에 대한 발명이 개시된다. 개시된 패널 비접촉 세정장치는 베이스에 지지되어 상측으로 분리된 상태로 패널을 이송하는 이송부와, 이송부에 의해 이송되는 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 미리 분사하여 파티클을 세척하는 프리샤워부와, 프리샤워부에서 이송부에 의해 이송된 패널을 세정액이 담겨진 저장조를 통과시켜 초음파 세정을 수행하여 파티클을 제거하는 초음파세정부와, 초음파세정부에서 이송부에 의해 이송된 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 분사하여 마무리 세척하는 파이널샤워부와, 파이널샤워부에서 이송된 패널에 상측,하측 또는 양측에 에어를 분사하여 패널에 묻은 세정액을 건조하는 건조부와, 프리샤워부, 초음파세정부, 파이널샤워부 및 건조부에서 이송부에 의해 이송되는 패널의 주변을 보호하면서 통과시키는 챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

패널 비접촉 세정장치{CONTACTLESS CLEANING APPARATUS FOR PANEL}
본 발명은 패널 비접촉 세정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 패널에 묻은 파티클을 제거하기 위해 이송된 패널의 표면에 프리 샤워, 초음파세정, 후처리 샤워 및 공기분사를 순차적으로 수행하여 비접촉 방식으로 패널을 세정하도록 하는 패널 비접촉 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시 장치는 액정을 이용하는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마를 이용하는 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 소자를 이용하는 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.
평판 표시 장치는 기본적으로 영상을 표시하는 패널을 포함하여 이루어진다. 패널은 유리기판 등의 대면적을 갖는 기판을 모 기판으로 하여 기판에 증착 공정, 에칭 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 다양한 처리 공정을 반복적으로 수행하여 제조된다.
상기 처리 공정들 중에서 특히 세정 공정은 각 공정들이 수행한 뒤에 반복적으로 수행된다. 예를 들어 에칭공정을 수행한 뒤에는 기판상에 잔류하는 불순물 및 에칭에 사용된 케미컬 등의 파티클(particle)을 세정하기 위하여 에칭 공정을 거친 기판을 대상으로 세정 공정을 수행하게 된다.
특히 파티클의 부착은 디바이스의 수율에 미치는 영향이 크다.
따라서 공정 전,후 신뢰성 확보 및 수율 향상을 위해 파티클을 제거해 주어야하며, 기술이 진보함에 따라서 패널의 대형화 및 패턴의 미세화가 이루어지면서 세정 공정 또한 기술적 발전을 요하고 있다.
기존에는 패널을 세정하기 위하여 주로 롤 브러쉬 타입 세정장치를 이용하여 접촉방식으로 패널에 묻은 이물질을 제거하는 방식을 주로 이용하였다.
전술한 발명은 본 발명이 속하는 기술분야의 배경기술을 의미하며, 종래 기술을 의미하는 것은 아니다.
그런데, 종래의 롤 브러쉬타입 세정장치를 이용한 접촉식 세정방법은 패널의 패턴 등을 손상시킬 수 있고, 롤 브러쉬에 묻은 파티클이 오히려 패널에 재부착되는 문제점이 있다.
또한, 패널과 접촉이 이루어지는 롤 브러쉬를 깨끗하게 유지하기 위해 정기적으로 교체해야 하므로 교체작업시간과 비용이 많이 들어 세정장치의 관리가 어려운 문제점이 있었다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 패널에 묻은 파티클을 제거하기 위해 이송된 패널의 표면에 프리 샤워, 초음파세정, 후처리 샤워 및 공기분사를 순차적으로 수행하여 비접촉 방식으로 세정하도록 하는 패널 비접촉 세정장치를 제공하는 것이 목적이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 비접촉 세정장치는 베이스에 지지되어 상측으로 분리된 상태로 패널을 이송하는 이송부; 상기 이송부에 의해 이송되는 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 미리 분사하여 파티클을 세척하는 프리샤워부; 상기 프리샤워부에서 상기 이송부에 의해 이송된 패널을 세정액이 담겨진 저장조를 통과시켜 초음파 세정을 수행하여 파티클을 제거하는 초음파세정부; 상기 초음파세정부에서 상기 이송부에 의해 이송된 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 분사하여 마무리 세척하는 파이널샤워부; 상기 파이널샤워부에서 이송된 패널에 상측,하측 또는 양측에 에어를 분사하여 패널에 묻은 세정액을 건조하는 건조부; 및 상기 프리샤워부, 상기 초음파세정부, 상기 파이널샤워부 및 상기 건조부에서 이송부에 의해 이송되는 패널의 주변을 보호하면서 통과시키는 챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송부의 전후 측에는 상기 패널을 로딩시키거나 언 로딩시키는 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송유닛은 상기 패널을 안착 이송하고, 구동롤러와 피동롤러에 감겨져 무한궤도상으로 구동하는 이송벨트; 상기 구동롤러에 연결되어 구동력을 제공하는 구동부; 및 상기 이송벨트에 안치된 패널의 좌우 양측을 지지하고, 상기 패널의 크기에 따라 좌우 양측으로 이동가능하게 형성되는 너비조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 너비조절부는 상기 패널의 좌우 양측에 지지브라켓에 의해 다수 개 고정 지지되어 패널에 접촉되고, 패널 이송시 공 회전하는 아이들롤러; 상기 지지브라켓의 외측으로 각각 연결되는 이동프레임; 상기 아이들롤러의 중심을 기준으로 반대방향으로 형성된 나사산이 상기 이동프레임에 각각 결합되고, 고정프레임에 지지되어 회전에 의해 아이들 롤러의 좌우 간격을 동일하게 조절하는 나사축부재; 및 상기 나사축부재에 축 결합되어 회전력을 제공하는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송부는 상기 베이스의 전측과 후측에 상기 베이스 면으로부터 상측으로 분리되도록 각각 설치되는 설치브라켓; 상기 설치브라켓에 상기 패널의 너비만큼의 좌우 간격을 갖도록 한 쌍 배치되고, 설치브라켓의 전 후측에 각각 연결되는 가이드플레이트; 상기 가이드플레이트의 양단부에 구비된 구동롤러와 피동롤러를 감싸도록 설치되고, 회전에 의해 상기 패널의 모서리가 안치되어 공중 부양 상태로 이송하는 복수의 안착이송벨트; 및 상기 안착이송벨트를 구동하도록 상기 가이드플레이트에 형성된 각각의 구동롤러에 연결되는 복수의 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드플레이트의 좌우측면에는 상기 안착이송벨트가 안정적으로 이동하도록 가이드홈을 구비하고, 상기 가이드 플레이트에는 상기 챔버 내에 고정되어 하중을 지지하는 하나 이상의 지지부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 설치브라켓과 상기 가이드플레이트에는 상기 가이드플레이트의 좌우 간격이 조절되도록 간격조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 간격조절부는 상기 설치브라켓에 구비되고, 복수의 가이드플레이트의 중심을 기준으로 양측으로 서로 반대방향 나사산이 각각 형성된 수나사축부재; 상기 수나사축부재가 결합되는 암나사부재가 구비되고 상기 가이드플레이트에 고정되어 좌우이동하는 연결브라켓; 상기 설치브라켓과 상기 가이드플레이트에 각각 구비되어 상기 가이드플레이트의 좌우 이동을 안내하는 엘엠가이드; 및 상기 수나사축부재에 축결합되어 동력을 제공하는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 안착이송벨트는 상기 가이드플레이트에 구비된 장력조절부에 의해 장력이 조절되고, 상기 장력조절부는 상기 가이드플레이트의 상하 측에 결합되는 고정플레이트; 상기 고정플레이트에 형성되는 복수의 고정롤러; 및 상기 고정롤러 사이에 배치되어 상기 고정프레이트에 형성된 장공을 따라 이동하여 장력을 조절하는 장력조절롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프리샤워부는 상기 챔버 내에 구비되어 상기 이송부에 의해 이송되는 패널에 세정액을 미리 분사하는 제1분사노즐; 상기 제1분사노즐이 수평 저면으로 지지되고, 세정액을 공급하도록 양단이 지지되는 제1공급파이프; 및 상기 제1공급파이프를 상기 챔버 내에 지지하는 제1지지블럭을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 초음파세정부는 상기 저장조에서 상기 이송부가 통과하도록 형성된 이송공; 상기 저장조의 바닥면에 설치되어 세정액에 초음파를 가하는 초음파 세정기; 및 상기 저장조 내부로 상기 세정액을 공급하도록 저장조 측면에 구비된 공급관을 포함하고, 상기 공급관을 통하여 공급된 세정액의 량이 상기 이송공으로 배출되는 량보다 많게 하여 이송공을 통과하는 패널 전체 면이 세정액에 담겨져 초음파 세정되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 파이널 샤워부는 상기 챔버 내에 구비되어 상기 이송부에 의해 이송되는 패널에 세정액을 최종 분사하여 세척하는 제2분사노즐; 상기 제2분사노즐이 수평 저면으로 지지되고, 세정액을 공급하도록 양단이 지지되는 제2공급파이프; 및 상기 제2공급파이프를 상기 챔버 내에 지지하는 제2지지블럭을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 건조부는 상기 챔버 내에 설치되는 연결프레임에 상하 간격을 갖도록 구비되는 복수의 연결블럭; 상기 패널에 상하 양측으로 에어를 분사하여 세정액을 제거하도록 에어공급부에서 에어를 공급받는 에어나이프; 상기 에어나이프를 양측에서 지지하고, 상기 연결블럭에 일측이 연결되고, 타측이 가이드프레임에 연결되는 중간블럭; 상기 패널의 상하면으로부터 상기 에어나이프의 높이를 조절하는 높이조절부; 및 상기 패널의 상하면에 대해 상기 에어나이프의 회전각도를 조절하도록 각도조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 높이조절부는 상기 연결블럭에 삽입되고, 일단이 상기 중간블럭에 고정되는 연결축; 상기 연결블럭에 절개 형성된 제1절개부; 및 상기 연결블럭에 체결되어 상기 제1절개부를 벌려주거나 오므려줌에 따라 상기 연결축의 상하높이를 조절하여 에어나이프의 높이를 조절하는 제1나사부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 각도조절부는 상기 중간블럭에 삽입되고, 상기 에어나이프의 양측에 형성된 회전축; 상기 중간블럭에 절개 형성된 제2절개부; 및 상기 중간블럭에 체결되어 상기 제2절개부를 벌려주거나 오므려줌에 따라 상기 회전축의 회전각도를 조절하여 에어나이프의 기울기를 조절하는 제2나사부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 건조부는 상기 에어나이프가 상기 패널의 진입면에 대해 진입각도를 조절하도록 경사조절부를 구비하고, 상기 경사조절부는 상기 가이드프레임에 형성되는 가이드축; 및 상기 가이드축이 슬라이딩 가능하게 결합되고, 일측에 구비된 회동축의 회전에 의해 상기 연결축을 기준으로 에어나이프의 진입각도를 조절하는 경사조절플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 챔버는 상기 프리샤워부 및 상기 초음파세정부 사이와, 상기 파이널샤워부 및 상기 건조부 사이에 간섭을 방지하기 위해 격벽으로 분리 형성되고, 상기 챔버는 상기 프리샤워부, 상기 초음파 세정부와 상기 파이얼샤워부, 상기 건조부의 일측에 내부압력을 낮추기 위한 배기 덕트를 각각 구비하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 패널 비접촉 세정장치는 패널에 묻은 파티클을 제거하기 위해 이송된 패널의 표면에 프리 샤워, 초음파세정, 후처리 샤워 및 공기분사를 순차적으로 수행하여 비접촉 방식으로 간편하게 세정하도록 할 수 있다.
또한, 패널을 비접촉방식으로 세정하므로 이물질이 재부착하는 것이 원천적으로 차단되고, 세정도구를 교환할 필요성이 없어지므로 세정장치의 관리가 용이한 장점을 지닌다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 정면도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 평면도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 진입측 로딩 이송유닛의 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 진입측 로딩 이송유닛의 평면도.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 진입측 로딩 이송유닛의 정면도.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 배출측 언로딩 이송유닛의 사시도.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 이송부 사시도.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 이송부 평면도.
도 10은 도 8에 도시된 이송부의 후단부 확대 사시도.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 이송부의 진입측 측단면도.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 초음파세정부 및 파이널샤워부의 이송단면도.
도 13은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 건조부의 분해 사시도.
도 14는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 건조부의 저면 사시도.
도 15는 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 건조부에서 패널 이송상태도.
도 16은 본 발명의 일 실시 예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 건조부에서 패널 이송 상태 측면도.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 패널 비접촉 세정장치를 설명하도록 한다.
이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 비접촉 세정장치는, 베이스(2), 이송부(40), 프리샤워부(90), 초음파세정부(100), 파이널샤워부(110), 건조부(120) 및 챔버(4)를 포함하여 이루어진다.
베이스(2)는 상부면이 넓은 판체 형상으로 이루어지고 하측에는 다수의 다리가 구비된다.
도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명은 이송부(40)의 전후 측에는 베이스(2) 상에 설치되어 패널을 로딩시키거나 언 로딩시키는 이송유닛(10)을 포함한다.
본 발명에 적용되는 패널은, 주로 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP) 및 유기 발광 표시 장치(OLED)용 패널을 지칭하지만, 그 이외에도 다양한 용도로 사용되는 세정용 패널을 포괄적으로 모두 포함한다.
우선, 도 4 내지 도 6을 참조하여 진입측 로딩용 이송유닛(10)의 구성을 살펴 보면, 이송유닛(10)은 이송벨트(12), 구동부(18) 및 너비조절부(20)를 포함한다.
이송벨트(12)는 패널을 안착 이송하고, 구동롤러(14)와 피동롤러(16)에 감겨져 무한궤도상으로 구동한다.
이송벨트(12)의 좌우 너비는 패널의 좌우 너비보다 좁은 것을 사용하는 것이 바람직하다.
구동부(18)는 구동롤러(14)에 연결되어 구동력을 제공한다.
구동부(18)는 이송유닛(10)의 전측 또는 후측에 어디에 구비되어도 무방하다.
구동부(18)는 구동모터를 사용하는 것이 바람직하다.
구동부(18)는 구동모터가 직접 연결되거나 감속기를 구비할 수도 있다.
너비조절부(20)는 이송벨트(12)에 안치된 패널의 좌우 양측을 지지하고, 패널의 크기에 따라 좌우 양측으로 이동가능하게 형성된다.
너비조절부(20)는 아이들롤러(24), 이동프레임(26), 나사축부재(28) 및 구동모터(30)를 포함한다.
아이들롤러(24)는 패널의 좌우 양측에 지지브라켓(22)에 의해 다수 개 고정 지지되어 패널에 접촉되고, 패널 이송시 공 회전한다.
아이드롤러(24)의 둘레 면에는 패널이 삽입되는 안착홈이 구비되는 것이 바람직하다.
2개의 고정프레임(32)에는 이동프레임(26)에 연결되고, 이동프레임 슬라이드이동시 가이드하도록 나사축부재(28)의 전측과 후측에 각각 가이드축부재(34)를 구비할 수 있다.
이동프레임(26)은 지지브라켓(22)의 외측으로 각각 연결된다.
나사축부재(28)는 아이들롤러(24)의 중심을 기준으로 반대방향으로 형성된 나사산이 이동프레임(26)에 각각 결합되고, 고정프레임(32)에 지지되어 회전에 의해 아이들롤러(24)의 좌우 간격을 동일하게 조절한다.
이동프레임(26)에는 나사축부재(28)의 나사산이 체결되는 암나사부재가 구비되고, 고정프레임(32)은 베이스(2) 상에 고정된다.
구동모터(30)는 고정프레임(32)에 고정되고, 나사축부재(28)에 축 결합되어 회전력을 제공한다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 배출측 언로딩용 이송유닛(10)의 사시도로서, 도 4 내지 도 6에 도시된 진입측 로딩용 이송유닛(10)의 구성과 길이에서 차이가 있을 뿐 실제적인 구성은 동일하므로 상세한 설명을 생략한다.
도 8 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 이송부(40)는 베이스(2)에 지지되어 상측으로 분리된 상태로 패널을 이송한다.
이송부(40)는 설치브라켓(42), 가이드플레이트(44), 안착이송벨트(52) 및 구동부(54)를 포함한다.
설치브라켓(42)은 베이스(2)의 전측과 후측에 베이스 면으로부터 상측으로 분리되도록 각각 설치된다.
베이스(2) 전측의 설치브라켓(42)은 진입측 이송유닛(10)과 연결되고, 베이스(2) 후측의 설치브라켓(42)은 배출측 이송유닛(10)과 연결된다.
설치브라켓(42)은 베이스(2)에 2개 부분이 지지되고, 상측으로 각각 수직 연장되어 다시 수평으로 연결되도록 구성된다.
가이드플레이트(44)는 설치브라켓(42)에 패널의 너비만큼의 좌우 간격을 갖도록 한 쌍 배치되고, 설치브라켓(42)의 전 후 양측에 각각 연결된다.
안착이송벨트(52)는 가이드플레이트(44)의 전후 양단부에 구비된 구동롤러(48)와 피동롤러(50)를 감싸도록 설치되고, 회전에 의해 패널의 좌우 모서리가 걸림턱(53)에 안치되어 공중 부양 상태로 이송하도록 복수 개 형성된다.
가이드플레이트(44)의 좌우측면에는 안착이송벨트(52)가 안정적으로 이동하도록 가이드홈(46)을 구비한다.
가이드플레이트(44)에는 챔버(4) 내에 고정되어 하중을 지지하는 하나 이상의 지지부재(60)를 구비한다.
지지부재(60)는 가이드플레이트(44)에 고정되는 슬라이딩 베어링부재(62) 및 슬라이딩 베어링부재(62)에 삽입되고, 양단이 챔버(4)의 내벽 면에 나사 또는 볼트로 체결 고정되는 고정축부재(64)를 포함한다.
이때, 가이드플레이트(40가 벌려지거나 오므려지는 경우, 슬라이딩 베어링부재(62)에 삽입된 고정축부재(64)를 따라서 이동하게 된다.
구동부(54)는 안착이송벨트(52)를 구동하도록 가이드플레이트(44)에 형성된 각각의 구동롤러(48)에 복수 개 연결된다.
구동부(54)는 구동롤러(48)에 직접 연결되거나 감속기를 통해 연결되는 구동모터인 것이 바람직하다.
설치브라켓(42)과 가이드플레이트(44)에는 가이드플레이트(44)의 좌우 간격이 조절되도록 간격조절부(70)를 포함한다.
간격조절부(70)는 수나사축부재(72), 연결브라켓(74), 엘엠가이드(76) 및 구동모터(78)를 포함한다.
수나사축부재(72)는 설치브라켓(42)에 구비되고, 복수의 가이드플레이트(144)의 중심을 기준으로 양측으로 서로 반대방향 나사산이 각각 형성된다.
연결브라켓(74)은 수나사축부재(72)가 결합되는 암나사부재가 구비되고 가이드플레이트(44)에 고정되어 수나사축부재(72)의 회동에 의해 좌우이동한다.
엘엠가이드(76)는 설치브라켓(42)과 가이드플레이트(44)에 각각 구비되어 가이드플레이트(44)의 좌우 이동을 안내한다.
엘엠가이드(76)는 설치브라켓(42)에 형성된 가이드레일; 및 가이드레일에 결합되어 가이드하도록 가이드플레이트(44)에 구비된 가이드슬롯을 포함한다.
가이드플레이트(144)의 좌우 간격을 조정하고자 한다면, 전측 및 후측의 설치브라켓(42)에 구비된 구동모터(78)를 구동하면, 수나사축부재(72)를 회전하게 된다.
그리고, 수나사축부재(72)에 나사결합된 암나사부재에 의해 연결브라켓(74)이 좌우로 벌려지거나 오므려짐에 따라 연결브라켓(74)에 고정된 가이드플레이트(144)가 엘엠가이드(76)를 따라 슬라이딩 이동하여 가이드플레이트(144)의 간격이 조절되는 것이다.
안착이송벨트(52)는 가이드플레이트(44)에 구비된 장력조절부(70)에 의해 장력이 조절된다.
장력조절부(70)는 가이드플레이트(44)의 상하 측에 결합되는 고정플레이트(82), 고정플레이트(82)에 형성되는 복수의 고정롤러(84) 및 고정롤러(84) 사이에 배치되어 고정프레이트(82)에 형성된 장공을 따라 이동하고, 볼트 또는 너트 등에 의해 체결되어 장력을 조절하는 장력조절롤러(86)를 포함한다.
장력조절부(70)는 1개의 가이드플레이트(44)의 전측과 후측에 각각 하나씩 2개 형성되므로, 한 쌍의 가이드플레이트(44)에 모두 4개 형성되는 것이 바람직하다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 프리샤워부(90)는 이송부(40)에 의해 이송되는 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 미리 분사하여 파티클을 세척한다.
프리샤워부(90)는 챔버(4) 내에 구비되어 이송부(40)에 의해 이송되는 패널에 세정액을 미리 분사하는 제1분사노즐(92), 제1분사노즐(92)이 수평 저면으로 지지되고, 세정액을 공급하도록 양단이 지지되는 제1공급파이프(94) 및 제1공급파이프(94)를 챔버(4) 내에 지지하는 제1지지블럭(96)을 포함한다.
이때, 프리샤워부(90)에서 분사하는 세정액은 물, 특히 순수인 것이 바람직하다.
도 1 내지 도 3 및 도 12에 도시된 바와 같이, 초음파세정부(100)는 프리샤워부(90)에서 이송부(40)에 의해 이송된 패널을 세정액이 담겨진 저장조(102)를 통과시켜 초음파 세정을 수행하여 파티클을 제거한다.
초음파세정부(100)는 이송공(104), 초음파세정기(106) 및 공급관(108)을 포함하여 이루어진다.
이송공(104)는 저장조(102)에서 이송부(40)가 통과하도록 형성된다.
이송공(104)은 저장조(102)의 전측과 후측에 동일 크기로 각각 형성되는 것이 바람직하다.
초음파세정기(106)는 저장조(102)의 바닥면에 설치되어 세정액에 초음파를 가한다.
공급관(108)은 저장조(102) 내부로 세정액을 공급하도록 저장조(102) 측면에 구비된다.
공급관(108)은 다수 개 형성되고, 바람직하게는 3개 정도 형성된다.
공급관(108)은 저장조(102)의 하부 일측면에 구비되는 것이 바람직하다.
공급관(108)을 통하여 공급된 세정액의 량이 이송공(104)으로 배출되는 량보다 많게 하여 이송공(104)을 통과하는 패널 전체 면이 세정액에 담겨져 저장조(102)에 구비된 초음파세정기(106)로 초음파 세정되도록 구성된다.
저장조(102)에는 저장조(102)에 담겨지는 세정액 량을 감지하도록 세정액에 의해 부유하는 플로팅 센서(floating sensor, 109)가 구비된다.
이때, 초음파세정부(100)에서 공급하는 세정액은 물, 특히 순수인 것이 바람직하다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 파이널샤워부(110)는 초음파세정부(100)에서 이송부(40)에 의해 이송된 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 분사하여 마무리 또는 마지막 세척한다.
파이널샤워부(110)는 챔버(4) 내에 구비되어 이송부(40)에 의해 이송되는 패널에 세정액을 최종 분사하여 세척하는 제2분사노즐(112), 제2분사노즐(112)이 수평 저면으로 지지되고, 세정액을 공급하도록 양단이 지지되는 제2공급파이프(114) 및 제2공급파이프(114)를 챔버(4) 내에 지지하는 제2지지블럭(116)을 포함한다.
이때, 파이널샤워부(110)에서 분사하는 세정액은 물, 특히 순수인 것이 바람직하다.
도 13 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 건조부(120)는 파이널샤워부(110)에서 이송된 패널에 상측,하측 또는 양측에 에어를 분사하여 패널에 묻은 세정액을 건조한다.
건조부(120)는 연결블럭(124), 에어나이프(126), 중간블럭(130), 높이조절부(140) 및 각도조절부(150)를 포함하여 이루어진다.
연결블럭(124)은 챔버(4) 내에 설치되는 연결프레임(122)에 상하 간격을 갖도록 구비된다.
연결블럭(124)는 챔버(4)의 바닥면에 수직으로 세워지는 연결프레임(122)의 일측면에 상하로 설정된 간격을 갖도록 2개 구비된다.
에어나이프(126)는 패널에 상하 양측으로 에어를 분사하여 세정액을 제거하도록 에어공급부(129)에서 에어를 공급받는다.
에어나이프(126)는 토출구의 전체 면으로 에어가 분사되도록 구성된다.
에어공급부(129)는 에어나이프(126)의 양측 일측면으로 각각 연결되는 2개의 공급파이프를 각각 적용하여 상하로 2개씩 연결되도록 배치하는 것이 바람직하다.
중간블럭(130)은 에어나이프(126)를 양측에서 지지하고, 연결블럭(124)에 일측이 연결되고, 타측이 가이드프레임(132)에 연결된다.
중간블럭(130)는 2개의 에어나이프(126)의 중심라인을 기준으로 상하로 대칭되게 형성된다.
높이조절부(140)는 패널의 상하면으로부터 에어나이프(126)의 높이를 조절하도록 구성된다.
높이조절부(140)는 연결블럭(124)에 삽입되고, 일단이 중간블럭(130)에 고정되는 연결축(142), 연결블럭(124)에 절개 형성된 제1절개부(144) 및 연결블럭(142)에 체결되어 제1절개부(144)를 벌려주거나 오므려줌에 따라 연결축(142)의 상하높이를 조절하여 에어나이프(126)의 높이를 조절하는 제1나사부재(146)를 포함하여 이루어진다.
상측 연결축(142)의 상단 둘레에는 상측 에어나이프(126)의 높이 조절시, 연결축(142)이 하측으로 이탈되는 것을 방지하도록 이동제한턱을 구비한다.
하측 연결축(142)의 상단에는 중간블럭(130)이 연결되어 이동제한턱 역할을 하므로 하측 연결축에는 별도의 이동제한턱을 구비할 필요가 없다.
높이조절부(140)는 제1나사부재(146)를 풀어주어 제1절개부(144)를 벌린 상태에서 각각의 연결축(142)을 상하로 이동하여 패널의 상하면에 대해 2개의 에어나이프(126)의 높이를 맞춘다.
이러한 상태에서 제1나사부재(146)를 조여줌에 따라 제1절개부(144)를 오므려서 연결축(142)을 고정하므로 에어나이프(126)의 높이를 조절한다.
각도조절부(150)는 패널의 상하면에 대해 에어나이프(126)의 기울기를 조절하도록 한다.
각도조절부(150)는 중간블럭(130)에 삽입되고, 에어나이프(126)의 양측에 형성된 회전축(152), 중간블럭(130)에 절개 형성된 제2절개부(154) 및 중간블럭(130)에 체결되어 제2절개부(154)를 벌려주거나 오므려줌에 따라 회전축(152)의 회전각도를 조절하여 패널 면에 대해 에어나이프(126)의 기울기를 조절하는 제2나사부재(156)를 포함하여 이루어진다.
각도조절부(150)는 제2나사부재(156)를 풀어주어 제2절개부(154)를 벌린 상태에서 각각의 회전축(152)을 회전하여 패널의 상하면에 대해 2개의 에어나이프(126)의 회전각도를 맞춘다.
이러한 상태에서 제2나사부재(156)를 조여줌에 따라 제2절개부(152)를 오므려서 회전축(152)을 고정하므로 패널면에 대한 에어나이프(126)의 기울기를 최종적으로 조절한다.
건조부(120)는 에어나이프(126)가 패널의 진입면에 대해 진입각도를 조절하도록 경사조절부(160)를 구비한다.
에어나이프(126)는 2열로 배열되는 것이 바람직하다. 물론, 1열 또는 3열이상 구성될 수도 있다.
경사조절부(160)는 가이드프레임(132)에 형성되는 가이드축(162) 및 가이드축(162)이 장공에 슬라이딩 가능하게 결합되고, 일측에 구비된 회동축(166)의 회전에 의해 연결축(142)을 기준으로 에어나이프(126)의 진입각도를 조절하는 경사조절플레이트(164)를 포함한다.
도 15에 도시된 바와 같이, 제1나사부재(146)를 풀어 연결축(142)를 기준으로 에어나이프(126)를 회동하면, 가이드프레임(132)의 하측에 구비된 가이드축(162)이 우측으로 회동한다.
그리고, 가이드축(162)에 의해 장공에 결합된 경사조절플레이트(164)가 회동축(166)을 기준으로 회동하므로 패널의 진입면에 대한 에어나이프(126)의 진입각도가 조절되는 것이다.
챔버(4)는 프리샤워부(90), 초음파세정부(100), 파이널샤워부(110) 및 건조부(120)에서 이송부(40)에 의해 이송되는 패널의 주변을 보호하면서 통과공으로 통과시키는 역할을 한다.
즉, 세정액이 외부로 튀는 것을 챔버(4)가 보호하는 것이다.
챔버(4)는 프리샤워부(90) 및 초음파세정부(100) 사이와, 파이널샤워부(110) 및 건조부(120) 사이에 세정액의 이동 및 간섭을 방지하기 위해 격벽(170)으로 분리 형성된다.
챔버(4)는 프리샤워부(90), 초음파 세정부(100)와 파이널샤워부(110), 건조부(120)의 일측에 세정액 분사 및 공급시 발생되는 공기 공급에 의한 내부압력을 낮추기 위한 배기 덕트(180)를 각각 구비한다.
챔버(4)의 상측에는 구간마다 또는 전체 면에 걸쳐 투명 또는 불투명 덮개가 덮여진다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 비접촉 세정장치의 작용 및 효과를 살펴보도록 한다.
우선, 패널을 세정하고자 한다면, 베이스(2)의 진입 측에 있는 진입측 로딩용 이송유닛(10)의 이송벨트(12)에 적재기구(미도시)를 이용하여 다수 개의 패널을 순서대로 안치하면, 구동부(18)에 축연결된 구동롤러(14)가 피동롤러(16)에 대해 무한궤도상으로 구동한다.
이송벨트(12)를 따라 이동하는 패널의 양측에는 아이들롤러(24)가 접촉되어 좌우 양측을 지지하면서 이동하게 된다.
이때, 패널의 좌우크기가 변경되는 경우, 구동모터(30)의 구동으로 나사축부재(28)를 회동시켜 나사결합된 암나사부재를 구동하여 이동프레임(26)를 좌우측으로 이동한다.
따라서, 이동프레임(26)의 지지브라켓(22)에 설정된 간격으로 배열된 아이들롤러(24)가 좌우 측으로 이동하여 접촉되므로 패널의 크기에 따라 아이들롤러(24)의 간격을 맞출 수 있다.
아이드롤러(24)에는 둘레 면에는 패널이 삽입되는 안착홈이 구비되는 것이 바람직하다.
한편, 이송벨트(12)에 놓여져 후측으로 이동한 패널은 이송부(40)의 안착이송벨트(52)의 안착턱에 안치되면서 2개의 구동부(54)에 의해 구동하는 구동롤러(48)의 구동에 의해 패널이 안착이송벨트(52)를 따라 후측으로 이동하게 된다.
안착이송벨트(52)는 구동롤러(48)와 피동롤러(50)에 의해 가이드플레이트(44)의 주위를 구동한다.
이때, 이송유닛(10)의 좌우 간격에 맞도록 가이드플레이트(144)의 좌우 간격을 조정하고자 한다면, 전측 및 후측의 설치브라켓(42)에 구비된 구동모터(78)를 구동하면, 수나사축부재(72)를 회전하게 된다.
그리고, 수나사축부재(72)에 나사결합된 암나사부재에 의해 연결브라켓(74)이 좌우로 벌려지거나 오므려짐에 따라 연결브라켓(74)에 고정된 가이드플레이트(144)가 엘엠가이드(76)를 따라 슬라이딩 이동하여 가이드플레이트(144)의 간격이 조절되는 것이다.
그리고, 안착이송벨트(52)를 따라 이송한 패널은 챔버(4)의 관통공을 거쳐 프리샤워부(90)로 진입하게 되고, 상 하측에 배치된 제1분사노즐(92)에서 분사되는 세정액에 의해 파티클이 미리 세정 된다.
그리고, 안착이송벨트(52)를 따라 이송한 패널은 챔버(4)의 관통공을 거쳐 격벽(170)의 관통공을 거쳐 초음파세정부(100)의 저장조(102)로 진입하게 된다.
연이어, 저장조(102)의 이송공(104)로 진입한 패널은 공급관(108)을 통하여 공급된 세정액의 량이 이송공(104)으로 배출되는 량보다 많게 하여 이송공(104)을 통과하는 패널 전체 면이 세정액에 담겨져 저장조(102)에 구비된 초음파세정기(106)로 초음파 세정된다.
연이어서, 이송공(104)을 통해 저장조(102)를 빠져나온 패널은 파이널샤워부(110)로 진입하게 되고, 상 하측에 배치된 제2분사노즐(112)에서 분사되는 세정액에 의해 깨끗하게 마무리 세정 된다.
그리고, 안착이송벨트(52)를 따라 이송한 패널은 격벽(170)의 관통공을 거쳐 건조부(120)로 진입하게 된다.
건조부(120)로 진입한 패널은 상 하측에 2열로 배열된 에어나이프(126)에서 에어를 경사지게 분사하여 세정액을 건조시키므로 패널의 표면을 깨끗한 상태를 유지하게 한다.
이때, 에어나이프(126)의 높이를 조절하고자 한다면, 제1나사부재(146)를 풀어주어 제1절개부(144)를 벌린 상태에서 각각의 연결축(142)을 상하로 이동하여 패널의 상하면에 대해 2개의 에어나이프(126)의 높이를 맞춘다.
이러한 상태에서 제1나사부재(146)를 조여줌에 따라 제1절개부(144)를 오므려서 연결축(142)을 고정하므로 에어나이프(126)의 높이를 조절한다.
그리고, 에어나이프(126)의 기울기를 조절하고자 한다면, 제2나사부재(156)를 풀어주어 제2절개부(154)를 벌린 상태에서 각각의 회전축(152)을 회전하여 패널의 상하면에 대해 2개의 에어나이프(126)의 회전각도를 맞춘다.
이러한 상태에서 제2나사부재(156)를 조여줌에 따라 제2절개부(152)를 오므려서 회전축(152)을 고정하므로 에어나이프(126)의 기울기를 최종적으로 조절한다.
연이어, 에어나이프(126)의 진입각도를 조절하고자 한다면, 제1나사부재(146)를 풀어 연결축(142)를 기준으로 에어나이프(126)를 회동하면, 가이드프레임(132)의 하측에 구비된 가이드축(162)이 우측으로 회동한다.
그리고, 가이드축(162)에 의해 장공에 결합된 경사조절플레이트(164)가 회동축(166)을 기준으로 회동하므로 패널의 진입면에 대한 에어나이프(126)의 진입각도가 조절되는 것이다.
연이어, 안착이송벨트(52)를 따라 이송한 패널은 격벽(170)의 관통공을 벗어나 건조부(120)에서 빠져 나와 이송부(40)에 연결된 배출측 언로딩용 이송유닛(10)의 이송벨트(12)에 안착되어 이송된다.
그리고, 이송벨트(12) 상에 높여진 패널은 언로딩 기구(미도시)를 사용하여 소정 장소로 이송하고, 이송된 패널에 후속 공정을 진행한다.
본 발명에 따른 패널 비접촉 세정장치는 패널에 묻은 파티클을 제거하기 위해 이송된 패널의 표면에 프리 샤워, 초음파세정, 후처리 샤워 및 공기분사를 순차적으로 수행하여 비접촉 방식으로 간편하게 세정하도록 할 수 있다.
또한, 패널을 비접촉방식으로 세정하므로 이물질이 재부착하는 것이 원천적으로 차단되고, 세정도구를 교환할 필요성이 없어지므로 세정장치의 관리가 용이한 장점을 지닌다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
2 : 베이스 4 : 챔버
10 : 이송유닛 12 : 이송벨트
20 : 너비조절부 24 : 아이들롤러
26 : 이동프레임 28 : 나사축부재
40 : 이송부 42 : 설치브라켓
44 : 가이드플레이트 52 : 안착이송벨트
60 : 지지부재 70 : 간격조절부
72 : 수나사축부재 74 : 연결브라켓
76 : 엘엠가이드 80 : 장력조절부
82 : 고정플레이트 84 : 장력조절롤러
90 ; 프리샤워부 100 : 초음파세정부
102 : 저장조 106 : 초음파세정기
110 : 파이널샤워부 120 : 건조부
122 : 연결프레임 124 : 연결블럭
126 : 에어나이프 130 : 중간블럭
132 : 가이드프레임 140 : 높이조절부
150 : 각도조절부 160 : 경사조절부
162 : 가이드축 164 : 경사조절플레이트
170 : 격벽 180 : 배기덕트

Claims (17)

  1. 베이스에 지지되어 상측으로 분리된 상태로 패널을 이송하는 이송부;
    상기 이송부에 의해 이송되는 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 미리 분사하여 파티클을 세척하는 프리샤워부;
    상기 프리샤워부에서 상기 이송부에 의해 이송된 패널을 세정액이 담겨진 저장조를 통과시켜 초음파 세정을 수행하여 파티클을 제거하는 초음파세정부;
    상기 초음파세정부에서 상기 이송부에 의해 이송된 패널에 상측,하측 또는 양측에 세정액을 분사하여 마무리 세척하는 파이널샤워부;
    상기 파이널샤워부에서 이송된 패널에 상측,하측 또는 양측에 에어를 분사하여 패널에 묻은 세정액을 건조하는 건조부; 및
    상기 프리샤워부, 상기 초음파세정부, 상기 파이널샤워부 및 상기 건조부에서 이송부에 의해 이송되는 패널의 주변을 보호하면서 통과시키는 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송부의 전후 측에는 상기 패널을 로딩시키거나 언 로딩시키는 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 이송유닛은
    상기 패널을 안착 이송하고, 구동롤러와 피동롤러에 감겨져 무한궤도상으로 구동하는 이송벨트;
    상기 구동롤러에 연결되어 구동력을 제공하는 구동부; 및
    상기 이송벨트에 안치된 패널의 좌우 양측을 지지하고, 상기 패널의 크기에 따라 좌우 양측으로 이동가능하게 형성되는 너비조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 너비조절부는
    상기 패널의 좌우 양측에 지지브라켓에 의해 다수 개 고정 지지되어 패널에 접촉되고, 패널 이송시 공 회전하는 아이들롤러;
    상기 지지브라켓의 외측으로 각각 연결되는 이동프레임;
    상기 아이들롤러의 중심을 기준으로 반대방향으로 형성된 나사산이 상기 이동프레임에 각각 결합되고, 고정프레임에 지지되어 회전에 의해 아이들 롤러의 좌우 간격을 동일하게 조절하는 나사축부재; 및
    상기 나사축부재에 축 결합되어 회전력을 제공하는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 이송부는
    상기 베이스의 전측과 후측에 상기 베이스 면으로부터 상측으로 분리되도록 각각 설치되는 설치브라켓;
    상기 설치브라켓에 상기 패널의 너비만큼의 좌우 간격을 갖도록 한 쌍 배치되고, 설치브라켓의 전 후측에 각각 연결되는 가이드플레이트;
    상기 가이드플레이트의 양단부에 구비된 구동롤러와 피동롤러를 감싸도록 설치되고, 회전에 의해 상기 패널의 모서리가 안치되어 공중 부양 상태로 이송하는 복수의 안착이송벨트; 및
    상기 안착이송벨트를 구동하도록 상기 가이드플레이트에 형성된 각각의 구동롤러에 연결되는 복수의 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가이드플레이트의 좌우측면에는 상기 안착이송벨트가 안정적으로 이동하도록 가이드홈을 구비하고,
    상기 가이드 플레이트에는 상기 챔버 내에 고정되어 하중을 지지하는 하나 이상의 지지부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 설치브라켓과 상기 가이드플레이트에는 상기 가이드플레이트의 좌우 간격이 조절되도록 간격조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 간격조절부는
    상기 설치브라켓에 구비되고, 복수의 가이드플레이트의 중심을 기준으로 양측으로 서로 반대방향 나사산이 각각 형성된 수나사축부재;
    상기 수나사축부재가 결합되는 암나사부재가 구비되고 상기 가이드플레이트에 고정되어 좌우이동하는 연결브라켓;
    상기 설치브라켓과 상기 가이드플레이트에 각각 구비되어 상기 가이드플레이트의 좌우 이동을 안내하는 엘엠가이드; 및
    상기 수나사축부재에 축결합되어 동력을 제공하는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 안착이송벨트는 상기 가이드플레이트에 구비된 장력조절부에 의해 장력이 조절되고,
    상기 장력조절부는 상기 가이드플레이트의 상하 측에 결합되는 고정플레이트;
    상기 고정플레이트에 형성되는 복수의 고정롤러; 및
    상기 고정롤러 사이에 배치되어 상기 고정프레이트에 형성된 장공을 따라 이동하여 장력을 조절하는 장력조절롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 프리샤워부는
    상기 챔버 내에 구비되어 상기 이송부에 의해 이송되는 패널에 세정액을 미리 분사하는 제1분사노즐;
    상기 제1분사노즐이 수평 저면으로 지지되고, 세정액을 공급하도록 양단이 지지되는 제1공급파이프; 및
    상기 제1공급파이프를 상기 챔버 내에 지지하는 제1지지블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 초음파세정부는
    상기 저장조에서 상기 이송부가 통과하도록 형성된 이송공;
    상기 저장조의 바닥면에 설치되어 세정액에 초음파를 가하는 초음파 세정기; 및
    상기 저장조 내부로 상기 세정액을 공급하도록 저장조 측면에 구비된 공급관을 포함하고,
    상기 공급관을 통하여 공급된 세정액의 량이 상기 이송공으로 배출되는 량보다 많게 하여 이송공을 통과하는 패널 전체 면이 세정액에 담겨져 초음파 세정되는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 파이널 샤워부는
    상기 챔버 내에 구비되어 상기 이송부에 의해 이송되는 패널에 세정액을 최종 분사하여 세척하는 제2분사노즐;
    상기 제2분사노즐이 수평 저면으로 지지되고, 세정액을 공급하도록 양단이 지지되는 제2공급파이프; 및
    상기 제2공급파이프를 상기 챔버 내에 지지하는 제2지지블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  13. 제 1 항에 있어서, 상기 건조부는
    상기 챔버 내에 설치되는 연결프레임에 상하 간격을 갖도록 구비되는 복수의 연결블럭;
    상기 패널에 상하 양측으로 에어를 분사하여 세정액을 제거하도록 에어공급부에서 에어를 공급받는 에어나이프;
    상기 에어나이프를 양측에서 지지하고, 상기 연결블럭에 일측이 연결되고, 타측이 가이드프레임에 연결되는 중간블럭;
    상기 패널의 상하면으로부터 상기 에어나이프의 높이를 조절하는 높이조절부; 및
    상기 패널의 상하면에 대해 상기 에어나이프의 기울기를 조절하는 각도조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 높이조절부는
    상기 연결블럭에 삽입되고, 일단이 상기 중간블럭에 고정되는 연결축;
    상기 연결블럭에 절개 형성된 제1절개부; 및
    상기 연결블럭에 체결되어 상기 제1절개부를 벌려주거나 오므려줌에 따라 상기 연결축의 상하높이를 조절하여 에어나이프의 높이를 조절하는 제1나사부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  15. 제 13 항에 있어서, 상기 각도조절부는
    상기 중간블럭에 삽입되고, 상기 에어나이프의 양측에 형성된 회전축;
    상기 중간블럭에 절개 형성된 제2절개부; 및
    상기 중간블럭에 체결되어 상기 제2절개부를 벌려주거나 오므려줌에 따라 상기 회전축의 회전각도를 조절하여 에어나이프의 기울기를 조절하는 제2나사부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 건조부는 상기 에어나이프가 상기 패널의 진입면에 대해 진입각도를 조절하도록 경사조절부를 구비하고,
    상기 경사조절부는 상기 가이드프레임에 형성되는 가이드축; 및
    상기 가이드축이 슬라이딩 가능하게 결합되고, 일측에 구비된 회동축의 회전에 의해 상기 연결축을 기준으로 에어나이프의 진입각도를 조절하는 경사조절플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버는 상기 프리샤워부 및 상기 초음파세정부 사이와, 상기 파이널샤워부 및 상기 건조부 사이에 간섭을 방지하기 위해 격벽으로 분리 형성되고,
    상기 챔버는 상기 프리샤워부, 상기 초음파 세정부와 상기 파이얼샤워부, 상기 건조부의 일측에 내부압력을 낮추기 위한 배기 덕트를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 패널 비접촉 세정장치.
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